JP2008104980A - 紫外線照射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ランプ交換作業で作業者にかける負担を少なくでき、また作業スペースも少なくて済むようにした紫外線照射装置を提供する。
【解決手段】本発明は、被処理体を収容し、上面から紫外線の照射処理を行う照射室の上面に箱形の紫外線照射ユニットを設置した紫外線照射装置１において、紫外線照射ユニット２は、少なくとも出し入れ口となる一側面が開口した外ケース１１と、細長い紫外線ランプ１１１を収容した内ケース１２と、外ケースに対して内ケースを出し入れ口から引出し・押込み可能にスライドさせるスライド手段１３，１５と、スライド手段における出し入れ口近傍に設けられ、内ケースの全長が外ケースから引出された状態で当該内ケースの後端部を回転可能な状態で支持する回転支持手段１４，１６とを備えたことを特徴とする。
【選択図】図４

Description

本発明は、被処理体を収容し、上面から紫外線の照射処理を行う照射室の上面に箱形の紫外線照射ユニットを設置した紫外線照射装置に関する。

一般に液晶パネル基板は、２枚のガラス板の間に液晶体を封入した構造であり、一方のガラス板上に多数のアクティブ素子（ＴＦＴ）と液晶駆動用電極をマトリクス配列に形成し、ソースバスライン、ゲートバスラインにて各ＴＦＴのソース、ゲートを接続している。そしてＴＦＴ、液晶駆動用電極の上に配向膜を形成している。他方のガラス板の対向面側には、カラーフィルタ、配向膜、そして透明電極（ＩＴＯ）を形成している。そして両ガラス板それぞれの配向膜間には間隔を保持し、補強するためのスペーサを液晶体と共に封入し、シール剤にて周囲を封止している。

このような構造の液晶パネル基板において、配向膜は、電極間に電圧を印加して液晶体を配向させる液晶配向を制御するためのものであり、近年、新しい配向膜の成膜技術が提案されている。それは、ＴＦＴ素子が設けられた第１のガラス板と当該第１のガラス板に相対する第２のガラス板との間に、電圧印加により配向する配向性を持つ液晶体と紫外線に反応して重合を起こすジアゾ系の結合をもつ単量体の紫外線反応材料とを混合した材料を封入しておき、この液晶パネルに紫外線を照射して紫外線反応材料を重合させることで配向膜をガラス板上に形成する方法である。この方法によれば、配向膜形成工程を液晶封入工程の前に必要としないために、製造工程が簡略化でき、コスト、時間を削減できる利点がある。

この新しい液晶パネルの製造技術にあっては、液晶体と紫外線反応材料とを混合した材料に対して所定波長領域の紫外線を一様な面強度になるように照射できる紫外線照射装置が必要である。

図５に示すように、従来の紫外線照射装置１００は、被処理基板１０を処理する照射室１０１内に被処理基板１０を設置し、これに紫外線を照射し、被処理基板１０の内部に配向部を形成させるために複数体の紫外線照射ユニット１０２をその上方に並べて設置し、これら複数体の紫外線照射ユニット１０２の下に波長３８０ｎｍ以上の波長領域の可視光線、紫外線の透過を抑制するフィルタ１０３を配置した構成である。尚、照射室１０１の内部には、被処理基板１０を配置するためのステージ１５１が設けられている。ステージ１５１上には、必要に応じて被処理基板１０を冷却するための冷却板１５２が配置されている。また紫外線照射ユニット１０２は、下面側が開口した逆Ｕ字断面のユニットケース１１０内に紫外線放電ランプ１１１、この紫外線放電ランプ１１１からの紫外線を下方へ反射する主反射鏡１１２、そして紫外線放電ランプ１１１の下方両側において紫外線放電ランプ１１１からの紫外線を効果的に下方へ導く副反射板１１３から構成されている。

そして従来、図６に詳しく示してあるように、このような紫外線照射装置１００における紫外線照射ユニット１０２は、出し入れ口となる一側面が開口した外ケース１２１に対して細長い紫外線ランプ１１１を収容した内ケース１２２をその出し入れ口から引出し・押込み可能に収容した構成である。そして内ケース１２２を外ケース１２１に対してスムーズにスライドさせるためには通常一般的に設けられるローラ機構（図示せず）が設けられている。

このような提案されている紫外線照射装置１００では、メンテナンスのために各紫外線照射ユニット１０２内の紫外線ランプ１１１の交換その他のメンテナンス作業をする場合、図６に示しているように内ケース１２２を外ケース１２１からほぼ全長分引出しておき、この内ケース１２２を水平に支えた状態で作業をするようにしている。このため、メンテナンス作業において、紫外線照射装置の前側に最低でも紫外線照射ユニットの内ケースの全長分の長さ×装置幅の作業スペースを必要とすると共に、高い位置で水平状態に維持したまま内ケースのランプ交換作業や他のメンテナンス作業をする必要があって作業者に過度の負担をかけ、あるいは作業者を複数人必要とする問題点があった。
特開２００６−３５４３６号公報 特許第３４８２４４２号公報 特開２００２−２９２８２５号公報

本発明は、上述した従来技術の課題に鑑みてなされたもので、メンテナンス作業で作業者にかける負担を少なくでき、また作業スペースも少なくて済む紫外線照射装置を提供することを目的とする。

請求項１の発明は、被処理体を収容し、上面から紫外線の照射処理を行う照射室の上面に箱形の紫外線照射ユニットを設置した紫外線照射装置において、前記紫外線照射ユニットは、少なくとも出し入れ口となる一側面が開口した外ケースと、細長い紫外線ランプを収容した内ケースと、前記外ケースに対して前記内ケースを前記出し入れ口から引出し・押込み可能にスライドさせるスライド手段と、前記スライド手段における前記出し入れ口近傍に設けられ、前記内ケースの全長が前記外ケースから引出された状態で当該内ケースの後端部を回転可能な状態で支持する回転支持手段とを備えたことを特徴とするものである。

請求項２の発明は、請求項１の紫外線照射装置において、前記スライド手段は、前記外ケースの底面に設置されたレールと、前記内ケースの底面後端部に設置された回転支持用ローラとで成り、前記回転支持手段は、前記レールの前記出し入れ口近傍の位置に形成され、前記回転支持用ローラが落ち込むだけの径の半円形の受け溝で成ることを特徴とするものである。

本発明の紫外線照射装置によれば、紫外線照射ユニットを少なくとも出し入れ口となる一側面が開口した外ケース内に内ケースを引出し・押込み可能に収容し、内ケースを外ケースからそのほぼ全長分引出した状態で当該内ケースの後端部を回転可能な状態で支持するようにしたので、紫外線ランプの交換その他のメンテナンス作業時に作業者は内ケースを外ケースから引出して垂直にした状態で作業することができ、メンテナンス作業の負担が軽減でき、またその作業に必要となる作業スペースを小さくできる。

以下、本発明の実施の形態を図に基づいて詳説する。図１は本発明の１つの実施の形態の紫外線照射装置１の通常状態を示し、図２は１つの紫外線照射ユニット２において外ケース１１から内ケース１２を引出して垂直にした状態を示している。

本実施の形態の紫外線照射装置１は、照射室１０の上面に複数体の紫外線照射ユニット２を並設している。照射室１０については、従来例として図５に示した紫外線照射装置１００における照射室１０１と同様である。

図３に詳しいように、紫外線照射ユニット２は、長尺の紫外線放電ランプ１１１を収容し、その上方に紫外線放電ランプ１１１からの紫外線を下方へ反射する主反射鏡１１２を配置し、その下方に紫外線を下方に導くように反射する副反射板１１３を配置した細長い箱形の内ケース１２を、一側面が引出し・押込み用の出し入れ口として開口している外ケース１２内にスライド可能に収容した構成である。そして、内ケース１２の底部両側には主ローラ１３、そして底部後端に主ローラ１３よりも小径の回転支持用ローラ１４が取り付けてある。

図３に詳しいように、紫外線照射ユニット２の外ケース１１は、内ケース１２を引出し・押込みスライド可能に収容する細長い箱形のもので、内ケース１２の主ローラ１３の転動を支持し、また回転支持用ローラ１４をガイドするレール１５が底面両側に形成してあり、底面における両レール１５，１５間は内ケース１２内の紫外線放電ランプ１１１からの紫外線を下方へ透過させるために開口面にしてある。図４に詳しいように、外ケース１１のレール１５における出し入れ口の近傍位置には回転支持用溝１６が形成してある。この回転支持用溝１６の内径は、内ケース１２側の回転支持用ローラ１４の外径とほぼ同等にして、大径の主ローラ１３は落ち込むことがなく、より小径の回転支持用ローラ１４だけが落ち込んで内ケース１２がそれ以上前方へ引出されるのを防止すると共に、この状態で内ケース１２の後端部を支えてそれよりも前方に引出されている部分が垂直状態になるまで下方へ回転するのを支持するようにしてある。

次に、上記構成の紫外線照射装置１の動作について説明する。図１に示す通常の使用状態から、メンテナンス作業が必要になれば、図２に示すように該当する紫外線照射ユニット２の内ケース１２を外ケース１１からほぼ全長分引出し、そのうちケース１２の後端部を回転支持機構によって回転支持させ、内ケース１２の全体を下方へ回転させて垂直な状態にする。これにより、作業者は縦状態になった内ケース１２の中に収容される紫外線放電ランプ１１１を上側から情報に引出して交換作業をすることができるようになる。これにより、従来のように長い内ケースが引出して水平に維持したままその横から紫外線放電ランプ１１１の交換作業をする場合よりも作業スペースの投影面積を小さくて済み、また水平状態に維持する労力が必要でなくなるのでメンテナンス作業が一人でも簡単に行えるようになる。

尚、内ケース１２は図２に示すように引出して垂直な状態にするとき、図４に示すように、その底部後端に設けられた回転支持用ローラ１４が外ケース１１の底面のレール１５の前端近くの回転支持用受け溝１６に落ち込んで停止、かつ、係止状態になるので、この状態のまま内ケース１２の引出されている引出し前方部分を下方に回転させることができる。

メンテナンス作業が終了し内ケース１２を元の水平な収容状態に戻す時には、内ケース１２を水平な状態まで情報へ回転させ、その状態で少し強めに外ケース１１内に内ケース１２を押込む。この動作により、回転支持用ローラ１４が回転支持用受け溝１６から後方へ押出され、以降はレール１５上を転動して内ケース１２を元の収容位置まで軽い力を加えるだけで押込むことができる。

本発明の１つの実施の形態の紫外線照射装置の斜視図。 上記実施の形態の紫外線照射装置のメンテナンス作業時の状態の斜視図。 上記実施の形態の紫外線照射装置における紫外線照射ユニットの一部破断斜視図。 上記実施の形態の紫外線照射装置における紫外線照射ユニットの動作説明図。 従来の紫外線照射装置の断面図。 従来の紫外線照射装置のメンテナンス作業時の状態の斜視図。

符号の説明

１ 紫外線照射装置
２ 紫外線照射ユニット
１０ 照射室
１１ 外ケース
１２ 内ケース
１３ 主ローラ
１４ 回転支持用ローラ
１５ レール
１６ 回転支持用受け溝
１１１ 紫外線放電ランプ

Claims (2)

1. 被処理体を収容し、上面から紫外線の照射処理を行う照射室の上面に箱形の紫外線照射ユニットを設置した紫外線照射装置において、
   前記紫外線照射ユニットは、
   少なくとも出し入れ口となる一側面が開口した外ケースと、
   細長い紫外線ランプを収容した内ケースと、
   前記外ケースに対して前記内ケースを前記出し入れ口から引出し・押込み可能にスライドさせるスライド手段と、
   前記スライド手段における前記出し入れ口近傍に設けられ、前記内ケースの全長が前記外ケースから引出された状態で当該内ケースの後端部を回転可能な状態で支持する回転支持手段とを備えたことを特徴とする紫外線照射装置。
2. 前記スライド手段は、前記外ケースの底面に設置されたレールと、前記内ケースの底面後端部に設置された回転支持用ローラとで成り、
   前記回転支持手段は、前記レールの前記出し入れ口近傍の位置に形成され、前記回転支持用ローラが落ち込むだけの径の受け溝で成ることを特徴とする請求項１に記載の紫外線照射装置。

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