JP2008086890A - 紫外線照射装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数体の紫外線照射ユニット2を並設し、被処理材10の被処理面に対して一様に所定波長領域の紫外線を照射するための紫外線照射装置1であって、紫外線照射ユニット各々は、光源としての紫外線放電ランプ111と、紫外線放電ランプの側方及び上方を覆うように配置され、当該紫外線放電ランプからの紫外線を下方に反射させる反射面を持つ主反射体112と、紫外線放電ランプの下方に配置され、紫外線放電ランプからの紫外線を散乱させるルーバー装置115とを有し、ルーバー装置は、軸周りの回転によって散乱特性が変化する反射面を有するルーバー単体13を複数体、各ルーバー単体間に所定間隔を空けて並置し、かつ、複数体のルーバー単体各々を軸周りに任意の角度だけ回転させた姿勢に保持する回転操作部12を設けたことを特徴とする。
【選択図】図1
Description
また、本発明の紫外線照射装置では、ルーバー単体13の構造は特に限定されず、軸心の周りに回転可能で、かつ、回転させることで反射特性が変化する形状のものを採用することができ、例えば、図4に示すような楕円断面形状のもの、四角断面形状のもの、羽根形等でかつ外表面が鏡面となっている部材を採用することができる。
10 被処理基板
101 処理室
102 紫外線照射ユニット
103 フィルタ
110 筐体
111 紫外線放電ランプ
112 主反射体
113 補助反射板
115 ルーバー装置
11 外殻
12 回転心棒
13 ルーバー単体
Claims (3)
- 複数体の紫外線照射ユニットを並設し、下方に設置された被処理材の被処理面に対して一様に所定波長領域の紫外線を照射するための紫外線照射装置であって、
前記紫外線照射ユニット各々は、光源としての紫外線放電ランプと、前記紫外線放電ランプの側方及び上方を覆うように配置され、当該紫外線放電ランプからの紫外線を下方に反射させる反射面を持つ主反射体と、前記紫外線放電ランプの下方に配置され、前記紫外線放電ランプからの紫外線を散乱させるルーバー装置とを有し、
前記ルーバー装置は、軸周りの回転によって散乱特性が変化する反射面を有するルーバー単体を複数体、各ルーバー単体間に所定間隔を空けて並置し、かつ、前記複数体のルーバー単体各々を前記軸周りに任意の角度だけ回転させた姿勢に保持する回転操作部を設けた構成であることを特徴とする紫外線照射装置。 - 前記補助反射板は、矩形若しくは菱形断面形状の反射面を持つ外殻と、前記外殻の中心部に挿通された回転軸で構成されていることを特徴とする請求項1に記載の紫外線照射装置。
- 前記補助反射板は、楕円断面形状の反射面を持つ外殻と、前記外殻の中心部に挿通された回転軸で構成されていることを特徴とする請求項1に記載の紫外線照射装置。
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