JP2009022853A - 照射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】より均一な照射面が得られる照射装置を提供する。
【解決手段】ランプ２から放射される紫外線を導く補助反射板５１，５２，６１，６２のそれぞれを最大傾斜角で傾けたときに互いに干渉しないように台形にする。これにより、補助反射板５１，５２，６１，６２のぞれぞれを自由に調節することができ、照射面９のコントラスト比を改善することが可能となる。また、補助反射板５１，５２，６１，６２を調整した後に生じる隙間をふさぐ平面鏡７１，７２，７３，７４を備える。これにより、外に漏れる紫外線を抑制し、照射面９の角における照度を向上させることが可能となる。
【選択図】図３

Description

本発明は、紫外線を照射する照射装置に関する。

液晶パネルや半導体製造における洗浄工程では、紫外線を放射するエキシマランプを備えた紫外線照射装置が利用される（例えば特許文献１参照）。
特開２０００−１９３９８６号公報

従来の紫外線照射装置では、ランプが紫外線を放射する側に、互いに直交する長方形の補助反射板を照射面の周囲に合わせて、照射面に対して垂直となるように配置し、ランプから放射された紫外線を導いていた。そして、照射面において均一な紫外線照度を得るために、補助反射板と照射面との角度を調整していた。

しかしながら、長方形の形状である補助反射板は、照射面側の一辺を回転軸として内側（照射面側）に傾けて角度を調整するため、隣接する補助反射板が調整されて傾いている場合には、その隣接する補助反射板がじゃまとなるので、いずれか一方の補助反射板だけしか調整することができなかった。また、隣接する補助反射板の隙間から紫外線が漏れることにより、照射面の角における照度が著しく低下する場合もあった。

本発明は、上記に鑑みてなされたものであり、その課題とするところは、より均一な照射面が得られる照射装置を提供することにある。

本発明に係る照射装置は、紫外線を照射面に照射するランプと、ランプの照射面側に配置され、ランプ側に位置する第１の辺が照射面側に位置する第２の辺よりも短い形状であって、第２の辺を回転軸として照射面に対する角度を調整可能な複数の補助反射板と、隣接する補助反射板の隙間をふさぐように配置された複数の平面鏡と、を有することを特徴とする。

本発明にあっては、ランプから放射された紫外線を導く補助反射板の形状を、補助反射板の回転軸に対向する辺が短い台形とすることにより、補助反射板の角度を調節する際に隣接する補助反射板の干渉を抑制することができるので、より均一な照射面を得ることを可能とする。また、隣接する補助反射板の隙間をふさぐ平面鏡を備えることにより、外部に紫外線が漏れることを防ぎ、照射面の角部の照度を向上することができる。

上記照射装置において、補助反射板のそれぞれを最も傾けて角度を調整したときに、隣接する補助反射板の辺同士が合わさることを特徴とする。

本発明にあっては、各補助反射板の角度を最大傾斜角にしたときに、隣接する補助反射板の辺同士が合わさるような形状とすることにより、他の補助反射板を干渉することなく補助反射板の角度を調節することが可能となる。

本発明によれば、より均一な照射面が得られる照射装置を提供することができる。

以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。

図１は、本実施の形態における照射装置の構成を示す正面図であり、図２は、本実施の形態における照射装置の構成を示す側面図である。図１，２に示す照射装置１は、紫外線を放射する複数のランプ２と、反射板３と、ランプ２及び反射板３などを支える筐体４と、補助反射板５１，５２，６１，６２および補助反射板の隙間に配置された平面鏡７１，７２，７３，７４（図１，２では図示せず）を備える。

本照射装置１は、ランプ２から放射された紫外線を反射板３で反射し、補助反射板５１，５２，６１，６２で導いて、照射面９に照射するものである。本照射装置１は、例えば、液晶パネルの製造過程において紫外線照射をして不純物を除去するための洗浄工程に用いられる。

図１に示すように、本照射装置１は複数のランプ２を長手方向を平行させて配置している。このランプ２には、放電用の希ガスを封入したエキシマランプなどが用いられる。ランプ２の備えた電極に電圧を印加することにより、ランプ２から紫外線が放射される。

ランプ２から放射された紫外線は、照射面９を照射する。また、ランプ２から放射された紫外線の一部は、ランプ２の背面に配置された反射板３に到達して反射し、照射面９を照射する。

ランプ２から放射された紫外線が照射面９以外に漏れないようにするとともに、照射面９に照射される紫外線の均斉度を調整するために、ランプ２の放射面側に補助反射板５１，５２，６１，６２を備える。

補助反射板５１，５２，６１，６２それぞれの形状は、照射面９側の辺が長く、ランプ２側の辺が短い台形である。各補助反射板５１，５２，６１，６２を最大傾斜角で傾けたときには、補助反射板５１，５２，６１，６２はお互いに干渉せず、隣接する補助反射板５１，５２，６１，６２の辺が合わさり、補助反射板５１，５２，６１，６２全体でテーパー状となる。補助反射板５１，５２，６１，６２の照射面９側の長辺で囲まれる領域は、照射面９とほぼ同じである。また、補助反射板５１，５２，６１，６２を最大傾斜角で傾けたときの、ランプ２側の短辺で囲まれる領域は、ランプ２の放射面とほぼ同じである。なお、補助反射板５１，５２，６１，６２を最大傾斜角で傾けたとき、照射面９の法線に対する補助反射板５１，５２，６１，６２の角度は５〜１０度である。

補助反射板５１，５２，６１，６２は、照射面９側の長辺を回転軸として、ランプ２側の短辺を動かし、照射面９に照射される紫外線の強度が均一になるように調整される。補助反射板５１，５２，６１，６２は台形の形状をしているので、補助反射板５１，５２，６１，６２を調整する際に、隣接する補助反射板がじゃまになることなく角度を調節することが可能である。

補助反射板５１，５２，６１，６２の角度を調整した場合、図１，２に示すように、補助反射板５１，５２，６１，６２の合わせ目に隙間ができるので、その隙間をふさぐように、補助反射板５１，５２，６１，６２の合わせ目に平面鏡７１，７２，７３，７４を配置する。

次に、平面鏡７１，７２，７３，７４の配置について図を用いて説明する。図３は、照射装置を照射面側から見た斜視図である。同図に示すように、平面鏡７１，７２，７３，７４は、補助反射板５１，５２，６１，６２の合わせ目の外側に配置される。照射窓４１から放射された紫外線のうち補助反射板５１，５２，６１，６２の合わせ目の隙間から漏れる紫外線は、平面鏡７１，７２，７３，７４により反射されて照射面９を照射する。

本照射装置１は補助反射板５１，５２，６１，６２のそれぞれを調整することにより、従来の照射装置に比べて照射面９のコントラスト比を２〜３％改善させることができた。

また、従来の照射装置では暗くなっていた照射面９の角においても、従来の照射装置で９８．３３ｍＷ／ｃｍ²であった照射面の角における照度が、本照射装置１では、１１０．５ｍＷ／ｃｍ²にまで改善させることができた。なお、平面鏡７１，７２，７３，７４を設置しない場合の照射面９の角における照度は、５９．５２ｍＷ／ｃｍ²となった。平面鏡７１，７２，７３，７４を配置することで照射面９の角における照度が向上することが確認できた。

したがって、本実施の形態によれば、ランプ２から放射される紫外線を導く補助反射板５１，５２，６１，６２のそれぞれを最大傾斜角で傾けたときに互いに干渉しないように台形にすることにより、補助反射板５１，５２，６１，６２のぞれぞれを自由に調節することができるので、照射面９のコントラスト比を改善することが可能となる。また、補助反射板５１，５２，６１，６２を調整した後に生じる隙間をふさぐ平面鏡７１，７２，７３，７４を備えることにより、外に漏れる紫外線を抑制し、照射面９の角における照度を向上させることが可能となる。

一実施の形態における照射装置の構成を示す正面図である。 図１の照射装置の側面図である。 図１の照射装置を照射面側から見た斜視図である。

符号の説明

１…照射装置
２…ランプ
３…反射板
４…筐体
４１…照射窓
５１，５２，６１，６２…補助反射板
７１，７２，７３，７４…平面鏡
９…照射面

Claims (2)

1. 紫外線を照射面に照射するランプと、
   前記ランプの照射面側に配置され、前記ランプ側に位置する第１の辺が前記照射面側に位置する第２の辺よりも短い形状であって、前記第２の辺を回転軸として前記照射面に対する角度を調整可能な複数の補助反射板と、
   隣接する前記補助反射板の隙間をふさぐように配置された複数の平面鏡と、
   を有することを特徴とする照射装置。
2. 前記補助反射板のそれぞれを最も傾けて前記角度を調整したときに、隣接する前記補助反射板の辺同士が合わさることを特徴とする請求項１記載の照射装置。

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