JP6269159B2

JP6269159B2 - 照射器

Info

Publication number: JP6269159B2
Application number: JP2014034307A
Authority: JP
Inventors: 田中　大作; 大作田中; 一吉山田
Original assignee: Iwasaki Denki KK
Current assignee: Iwasaki Denki KK
Priority date: 2014-02-25
Filing date: 2014-02-25
Publication date: 2018-01-31
Anticipated expiration: 2034-02-25
Also published as: JP2015159082A

Description

本発明は、線状光源及び反射鏡を備えた照射器に関する。

反射鏡と、反射鏡と被対象物の被照射面との間に複数並列された線状光源とを備えた照射器が知られている（例えば、特許文献１参照）。この照射器においては、線状光源が等間隔で配列されている。

特開２００４−２７３９４３号公報

しかしながら、上述した従来の構成では、被照射面のうちランプの直下では照度が高くなり、ランプ間では照度が低くなるので、均斉度を高くすることが困難であった。
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであり、被照射面の均斉度を向上可能な照射器を提供することを目的とする。

上述した目的を達成するために、本発明の照射器は、並列された複数の線状光源と、この線状光源から照射された光を被対象物に向けて反射する反射鏡とを備えた照射器において、中央の前記線状光源の間隔を空けてスペースを形成し、前記反射鏡は、前記スペースに対向する位置に、前記線状光源側に突出する突出反射面を有するとともに、前記線状光源の並列方向の両側に、側面反射面を有し、前記反射鏡は、中央部に貫通孔を有し、前記貫通孔は、前記線状光源の並列方向に延び、前記線状光源の並列方向に単数または複数で配置し、前記線状光源の長手方向において、前記スペースに対向する位置の前記貫通孔の両側に、前記突出反射面が形成されていることを特徴とする。

上述の構成において、複数の前記線状光源は、前記スペース側よりも前記並列方向外側の間隔を狭く配置されていてもよい。

上述の構成において、前記被対象物を囲む補助反射鏡を備えてもよい。

本発明によれば、中央の線状光源の間隔を空けてスペースを形成し、前記反射鏡は、線状光源の間隔を空けた部分に、前記線状光源側に突出する突出反射面を有するとともに、線状光源の並列方向の両側に、側面反射面を有するため、被照射面の均斉度を向上できる。

本発明の実施形態に係る照射器を示す斜視図である。照射器を示す図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は正面図、（Ｃ）は側面図である。紫外線ランプ、及び主反射板のみの照射によるワークの照度分布を模式的に示す図である。照射器の構成図と、そのワークの照度分布、及びそのワークの並列方向における断面の照度分布を示すグラフである。貫通孔がない部分の紫外線ランプの光路を示す図である。貫通孔がある部分の紫外線ランプの光路を示す図である。貫通孔がある場合とない場合の照度のシミュレーション結果を示すグラフである。本発明の変形例に係る照射器を示す図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は正面図、（Ｃ）は側面図である。

以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。
図１は、本実施形態に係る照射器を示す斜視図である。図２は、照射器を示す図であり、図２（Ａ）は平面図、図２（Ｂ）は正面図、図２（Ｃ）は側面図である。
照射器１は、図１及び図２に示すように、複数の紫外線ランプ（線状光源）１０を内蔵し、ワーク（被対象物）２の全域を均一な照度（すなわち良好な均斉度）で照射する器具であり、筐体３と、紫外線ランプ１０の放射光を制御する主反射板（反射鏡）１２と、補助反射板（補助反射鏡）１４とを備えている。本実施形態では、照射器１は、ウエハ等の基板をワーク２とし、当該ワーク２に光を照射することでワーク２を熱処理する器具として構成されている。
照射器１は、複数（本実施形態では、１０本）の線状光源によりワーク２を照射するものであり、この照射器１では、紫外線光源として直管型の高出力な上記紫外線ランプ１０が用いられている。

ワーク２は、図２（Ｂ）、及び図２（Ｃ）に示すように、補助反射板１４の先端１４Ｂの側の開口（以下、「照射開口」と称し、符号１６を付す）の直下に、隙間δをあけた位置に設定され、照射開口１６と略同じ大きさの領域である。この照射器１では照射開口１６から比較的近接した位置にワーク２が設定される。本実施形態では、ワーク２の被照射面（受光面）の大きさは３００ｍｍ×４００ｍｍに、紫外線ランプ１０から被照射面までの照射距離が１３５ｍｍに設定されている。
紫外線ランプ１０は、ワーク２の真上に並列に延在しており、両端の紫外線ランプ１０はワーク２の縁部の真上に配置されている。図２中、符号１１は、紫外線ランプ１０の電極を示し、紫外線ランプ１０の管長Ｍは電極１１間距離とする。また、紫外線ランプ１０の管長Ｍ（図２（Ｃ））と略同じ長さ、或いは管長Ｍ以下の長さにワーク２の長辺Ｌａが設定されており、管長Ｍが長いロングアークのランプを紫外線ランプ１０に用いることでワーク２の大面積化が図られている。

図３は、紫外線ランプ１０、及び主反射板１２のみの照射によるワーク２の照度分布を模式的に示す図である。
照射器１は、上述の通り、主反射板１２と補助反射板１４とを備え、紫外線ランプ１０の直射光と、主反射板１２、及び補助反射板１４の反射光とでワーク２を均一な照度で照射している。
ここで紫外線ランプ１０の直射光のみによってワーク２を照射した場合、ワーク２の長軸Ｃを含む近傍の照度分布には、紫外線ランプ１０のランプ管軸方向（長手方向）Ｎの輝度分布が略直接的に反映される。
そこで、紫外線ランプ１０から放射されワーク２を外れる光を主反射板１２、及び補助反射板１４で反射し、ワーク２における直射光の照度分布を補うように照らすことで、ワーク２の均斉度が高められている。

主反射板１２は、図３に示すように、紫外線ランプ１０の上方に放射する光をワーク２に向けて反射して、被照射面の照度を向上するとともに、照度の均一化を図るものである。主反射板１２は、複数の紫外線ランプ１０のランプ管軸方向Ｎに沿って延びる平板３０（図２）を備え、平板３０の紫外線ランプ１０と対向する面が反射面（平面反射面）１２Ａに形成されている。主反射板１２の具体的形状については後述する。

補助反射板１４は、主反射板１２とワーク２の間に設けられ、ワーク２の外に漏れる光をワーク２に向けて反射することで、紫外線ランプ１０、及び主反射板１２の照射による照度分布を補うものである。
詳述すると、この照射器１では、紫外線ランプ１０、及び主反射板１２のみで照射した場合、紫外線ランプ１０の両端部Ｑに対応する領域Ｘｃ、及び、紫外線ランプ１０のランプ並列方向（光源並列方向）Ｐにおける領域Ｘａの両側の領域Ｘｄで照度が不足する。この照射器１では、これら領域Ｘｃ、領域Ｘｄの照度不足を反射光によって補うように補助反射板１４が構成されている。

具体的には、補助反射板１４は、紫外線ランプ１０の両端に対面する一対の補助端板２０と、紫外線ランプ１０の両側に対面する一対の補助側板２１とを有し、これらが紫外線ランプ１０の四方を囲む四角筒状に組まれ、その内壁面が反射面として構成されている。補助反射板１４の基端部１４Ａの側には主反射板１２が設けられ、先端１４Ｂの側が平面視矩形に開口し、この開口が上記照射開口１６として構成されている。補助反射板１４の先端１４Ｂには、照射開口１６を塞ぐ透過性の補助底板２２が設けられている。この補助底板２２は、補助反射板１４の照射開口１６が筐体３の開口３Ａから露出するように、筐体３に支持される。

係る構成の下、一対の補助端板２０は、上記領域Ｘｃに向けて光を反射し、また一対の補助側板２１は上記領域Ｘｄに向けて光を反射し、これらの反射光によって領域Ｘｃ、Ｘｄの照度が補われる。
また補助反射板１４は、基端部１４Ａの側から先端１４Ｂの側にかけて拡開するように補助端板２０、及び補助側板２１が傾斜することで、主反射板１２が臨む基端部１４Ａの側の開口よりも広い範囲を照射する。
また、補助端板２０、及び補助側板２１の傾斜角度は、照度を補うべき領域Ｘｃ、Ｘｄに反射光を照射するように調整され、これにより、均斉度が高められる。

このように、紫外線ランプ１０の四方については、補助端板２０及び補助側板２１の角度調整によって照度ムラを比較的少なくすることは可能である。
しかしながら、従来のように紫外線ランプ１０を等間隔に配置したのでは、被照射面のうち紫外線ランプ１０の直下では照度が高くなり、紫外線ランプ１０間では照度が低くなるので、均斉度を高くすることが困難である。

そこで、この照射器１では、紫外線ランプ１０の間隔を異ならせるとともに、紫外線ランプ１０の間隔に応じて主反射板１２の形状を設定することで、ワーク２の均斉度が高められている。

図４は、照射器１の構成図と、そのワーク２の照度分布、及びそのワーク２のランプ並列方向Ｐにおける断面の照度分布を示すグラフであり、図４（Ａ）は中央の紫外線ランプ１０の間隔を空け、主反射板１２に突出反射面１２Ｂ、側面反射面１２Ｃ、貫通孔３２を形成した場合、図４（Ｂ）は紫外線ランプ１０を等間隔に配置し、主反射板１２を平板状に形成した場合、図４（Ｃ）は中央の紫外線ランプ１０の間隔を空け、主反射板１２を平板状に形成した場合、図４（Ｄ）は中央の紫外線ランプ１０の間隔を空け、主反射板１２に突出反射面１２Ｂを形成した場合、図４（Ｅ）は中央の紫外線ランプ１０の間隔を空け、主反射板１２に貫通孔３２を形成した場合、図４（Ｆ）は中央の紫外線ランプ１０の間隔を空け、主反射板１２に側面反射面１２Ｃを形成した場合、図４（Ｇ）は中央の紫外線ランプ１０の間隔を空け、主反射板１２に突出反射面１２Ｂ及び側面反射面１２Ｃを形成した場合、図４（Ｈ）は紫外線ランプ１０を等間隔に配置し、主反射板１２に突出反射面１２Ｂ、側面反射面１２Ｃ、貫通孔３２を形成した場合を示す。図４中、符号Ｅ１〜Ｅ６は照度を示しており、照度Ｅ１〜Ｅ６の順に照度が低くなっている。なお、各図４（Ａ）〜図４（Ｇ）では、最も高い照度を１００％とし、照度Ｅ１は９０−１００％、照度Ｅ２は９０−９５％、照度Ｅ３は８５−９０％、照度Ｅ４は８０−８５％、照度Ｅ５は７５−８０％、照度Ｅ６は７０−７５％を示す。但し、図４（Ａ）、（Ｃ）〜（Ｈ）では紫外線ランプ１０から被照射面までの照射距離は１３５ｍｍであり、図４（Ｂ）では紫外線ランプ１０から被照射面までの照射距離は５０ｍｍである。

紫外線ランプ１０を等間隔に配置し、主反射板１２を平板状に形成した場合、図４（Ｂ）に示すように、ワーク２の中央で照度が高くなるとともに、紫外線ランプ１０の直下では照度が高く、紫外線ランプ１０間では照度が低い。図４（Ｂ）の例においては、均斉度が６７．１％である。なお、均斉度は照度最大値をＳｍａｘ、照度最小値をＳｍｉｎとしたとき、(Ｓｍａｘ−Ｓｍｉｎ)／（Ｓｍａｘ＋Ｓｍｉｎ）×１００％で定義されるが、図４及び明細書中に記載した均斉度は、その効果について数値的に理解し易くするため、Ｓｍｉｎ／Ｓｍａｘ×１００％の相対値で示している。

そこで、図４（Ｂ）の構成に対し、中央の紫外線ランプ１０の間隔を空けてスペースＳを形成するとともに、両側５本の紫外線ランプ１０の間隔を、ワーク２の中央では疎に、ワーク２のランプ並列方向Ｐでは密に配置する。具体的には、図２（Ｂ）に示すように、紫外線ランプ１０を、ランプ並列方向Ｐにおいてワーク２の中央から端部に向けて紫外線ランプ１０Ａ〜１０Ｅとすると、中央の紫外線ランプ１０Ａ，１０Ａの間隔（本実施形態では、１１２ｍｍ）を空けている。また、ワーク２の中央に近い紫外線ランプ１０Ａ〜１０Ｃの間隔（本実施形態では、２５ｍｍ）を、ワーク２の端部に近い紫外線ランプ１０Ｃ〜１０Ｅの間隔（本実施形態では、２２ｍｍ）よりも大きくしている。ここで、中央の紫外線ランプ１０Ａ，１０Ａの間隔は、紫外線ランプ１０を等間隔に配置した場合の間隔よりも大きく、紫外線ランプ１０Ａ〜１０Ｅの間隔は、所定の大きさのワーク２に対し、紫外線ランプ１０を等間隔に配置した場合の間隔より狭いものとする。この構成では、図４（Ｃ）に示すように、紫外線ランプ１０の直下と紫外線ランプ１０間での照度差は抑えられるものの、ワーク２の中央で照度が比較的高く、ワーク２のランプ並列方向Ｐの両端で照度が比較的低い。図４（Ｃ）の例においては、均斉度が８２．７％である。

そこで、図４（Ｃ）の構成に対し、スペースＳに対向する位置の主反射板１２に紫外線ランプ１０側に突出する突出反射面１２Ｂを形成する。具体的には、図２（Ｂ）に示すように、主反射板１２は、平板３０のランプ並列方向Ｐの中央に、ランプ管軸方向Ｎに亘って延在する突出部３１を備え、この突出部３１の紫外線ランプ１０と対向する面が突出反射面１２Ｂに形成されている。突出反射面１２Ｂは、紫外線ランプ１０側に三角形状に突出して楔状に形成されている。この構成では、図４（Ｄ）に示すように、ワーク２のランプ並列方向Ｐの中央でランプ管軸方向Ｎに亘って照度が高くなるものの、ワーク２のランプ並列方向Ｐの両端で照度がさらに低くなる。図４（Ｄ）の例においては、均斉度が７９．９％である。

また、図４（Ｃ）の構成に対し、主反射板１２の中央部に貫通孔３２を形成した場合を図４（Ｅ）に示す。貫通孔３２は、具体的には、平面反射面１２Ａのランプ並列方向Ｐの長さに略亘って形成されるとともに、ランプ管軸方向Ｎに所定の幅Ｗを有している。この構成では、図４（Ｅ）に示すように、ワーク２のランプ管軸方向Ｎの中央部で照度が低くなり、ランプ管軸方向Ｎにおいて照度ムラが比較的少なくなる。一方、ワーク２のランプ並列方向Ｐ両端では、照度が比較的低い。図４（Ｅ）の例においては、均斉度が８５．４％である。

また、図４（Ｃ）の構成に対し、主反射板１２のランプ並列方向Ｐ両端に側面反射面１２Ｃを形成した場合を図４（Ｆ）に示す。具体的には、主反射板１２は、平板３０のランプ並列方向Ｐの両側に設けられた矩形状の側板３３を備え、この側板３３の紫外線ランプ１０と対向する面が側面反射面１２Ｃに形成されている。この構成では、図４（Ｆ）に示すように、ワーク２のランプ並列方向Ｐの両端で照度が高くなるものの、ワーク２のランプ並列方向Ｐの中央で照度が比較的低い。図４（Ｆ）の例においては、均斉度が８４．７％である。
そこで、図４（Ｆ）の構成に対し、主反射板１２に突出反射面１２Ｂを形成した場合、図４（Ｇ）に示すように、ワーク２のランプ並列方向Ｐの両端で照度が高くなり、かつ、ワーク２のランプ並列方向Ｐの中央で照度が高くなり、ワーク２のランプ並列方向Ｐにおいて照度ムラが比較的少なくなる。図４（Ｇ）の例においては、均斉度が８９．４％である。一方、ワーク２のランプ管軸方向Ｎでは、中央で照度が比較的高い。

そこで、図４（Ｇ）の構成に対し、主反射板１２に貫通孔３２を形成した場合、図４（Ａ）に示すように、ワーク２の全域で照度が略均一となる。図４（Ａ）の例においては、均斉度が９１．９％である。
なお、主反射板１２に突出反射面１２Ｂ、側面反射面１２Ｃ、貫通孔３２を形成しても、紫外線ランプ１０を等間隔に配置した場合、図４（Ｈ）に示すように、ワーク２のランプ並列方向Ｐの中央で照度が高くなる。図４（Ｈ）の例においては、均斉度が８２．３％である。
すなわち、照射器１では、中央の紫外線ランプ１０の間隔を空けてスペースＳを形成するとともに、両側５本の紫外線ランプ１０の間隔を、ワーク２の中央では疎に、ワーク２のランプ並列方向Ｐでは密に配置している。その上で、照射器１では、主反射板１２に、ワーク２のランプ並列方向Ｐの中央で照度を高める突出反射面１２Ｂと、ワーク２のランプ並列方向Ｐの両端(図３中領域Ｘｄの両側の領域Ｘｂ)で照度を高める側面反射面１２Ｃと、ワーク２のランプ管軸方向Ｎの中央で照度を抑える貫通孔３２を形成している。この主反射板１２は、貫通孔３２を形成した一枚の板を折り曲げることで、突出反射面１２Ｂ及び側面反射面１２Ｃを形成している。
なお、突出反射面１２Ｂの形状（本実施形態では、楔型を形成する面１２Ｂ１，１２Ｂ２の角度）、側面反射面１２Ｃの傾斜角度、貫通孔３２の形状、並びに、これら突出反射面１２Ｂ、側面反射面１２Ｃ及び貫通孔３２の大きさは、ワーク２の均斉度が高まるように適宜調整される。

図５は、貫通孔３２がない部分の紫外線ランプ１０の光路を示す図であり、図５（Ａ）は紫外線ランプ１０Ａ、図５（Ｂ）は紫外線ランプ１０Ｂ、図５（Ｃ）は紫外線ランプ１０Ｃ、図５（Ｄ）紫外線ランプ１０Ｄ、図５（Ｅ）は紫外線ランプ１０Ｅを示す。なお、図５では、左側の紫外線ランプ１０Ａ〜１０Ｅについては、ワーク２のランプ並列方向Ｐの中央に向かう光の光路を、右側の紫外線ランプ１０Ａ〜１０Ｅについては、ワーク２のランプ並列方向Ｐの両端に向かう光の光路を示している。
図５に示すように、紫外線ランプ１０の光は、ワーク２の中央に近い紫外線ランプ１０ほど、主反射板１２の中央の突出反射面１２Ｂによってワーク２の中央付近に入射している。また、主反射板１２の平面反射面１２Ａ、主反射板１２の両端の側面反射面１２Ｃの順に反射した光は、ワーク２のランプ並列方向Ｐの両端付近及びワーク２外に入射している。さらに、平面反射面１２Ａに反射してワーク２に入射する光は、ワーク２の全体に広がっている。

図６は、貫通孔３２がある部分の紫外線ランプ１０の光路を示す図であり、図６（Ａ）は紫外線ランプ１０Ａ、図６（Ｂ）は紫外線ランプ１０Ｂ、図６（Ｃ）は紫外線ランプ１０Ｃ、図６（Ｄ）紫外線ランプ１０Ｄ、図６（Ｅ）は紫外線ランプ１０Ｅを示す。なお、図６においても、左側の紫外線ランプ１０Ａ〜１０Ｅについては、ワーク２のランプ並列方向Ｐの中央に向かう光の光路を、右側の紫外線ランプ１０Ａ〜１０Ｅについては、ワーク２のランプ並列方向Ｐの両端に向かう光の光路を示している。
図６に示すように、貫通孔３２が位置する主反射板１２では光が通過することで反射光が生じないから、ワーク２のランプ管軸方向Ｎ中央で生じる高照度箇所の照度が低められる。また、ワーク２のランプ並列方向Ｐの両端に向かう光は、ワーク２の両端に近い紫外線ランプ１０ほど、側面反射面１２Ｃに反射されてワーク２に入射している。

図７は、貫通孔３２がある場合とない場合の照度のシミュレーション結果を示すグラフであり、図７（Ａ）はランプ管軸方向Ｎにおける照度、図７（Ｂ）はランプ並列方向Ｐにおける照度を示す。図７中、線Ｒ１は貫通孔３２がある場合の結果、線Ｒ２は貫通孔３２ない場合の結果を示す。
図７に示すように、貫通孔３２がない場合より、貫通孔３２がある場合の方が、ランプ管軸方向Ｎ及びランプ並列方向Ｐの両方で、照度差が小さくなっており、均斉度が高められている。

本実施形態では、主反射板１２の上方には、ワーク２のランプ管軸方向Ｎの中央に対応する位置に、排気用のファン（不図示）が配置されている。主反射板１２にはランプ管軸方向Ｎの中央に貫通孔３２が形成されているため、図２（Ｃ）に矢印で示すように、冷却風が紫外線ランプ１０の両端部Ｑ側から主反射板１２の下方を通り、貫通孔３２から上方に排気される。すなわち、貫通孔３２は、主反射板１２の通気孔としても機能しており、貫通孔３２を設けることにより、紫外線ランプ１０、主反射板１２、補助反射板１４及び等の光学部品を効果的に冷却できる。また、ランプ管軸方向Ｎの中央に貫通孔３２を形成し、貫通孔３２に対応する位置にファンを配置することで、簡単な構成で、ランプ管軸方向Ｎに亘って光学部品を均一に冷却することができる。

以上説明したように、本実施形態によれば、中央の紫外線ランプ１０の間隔を空けてスペースＳを形成し、主反射板１２は、スペースＳに対向する位置に、紫外線ランプ１０側に突出する突出反射面１２Ｂを有するとともに、紫外線ランプ１０のランプ並列方向Ｐの両側に、側面反射面１２Ｃを有する構成としたため、被照射面の均斉度を向上できる。また、被照射面のサイズに比べ少ない本数の紫外線ランプ１０で被照射面の均斉度を向上できる。

また、本実施形態によれば、複数の紫外線ランプ１０は、スペースＳ側よりもランプ並列方向Ｐ外側の間隔を狭く配置されているため、ランプ並列方向Ｐの中央の照度を抑えて、ランプ並列方向Ｐの照度を高めることができるので、ランプ並列方向Ｐの照度ムラを抑えることができる。

また、本実施形態によれば、ワーク２を囲む補助反射板１４を備えたため、照度を補うべき領域Ｘｃ、Ｘｄに反射光を照射できるので、均斉度を高めることができる。

また、本実施形態によれば、主反射板１２は、中央部に貫通孔３２を有するため、紫外線ランプ１０、主反射板１２、補助反射板１４及び等の光学部品を効果的に冷却できる。

但し、上述の実施形態は本発明の一態様であり、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能であるのは勿論である。
例えば、上述の実施形態では、主反射板１２の貫通孔３２を単数で形成したが、図８に示すように、貫通孔１３２は複数の孔１３２Ａの組み合わせにより構成してもよい。例えば、各紫外線ランプ１０の上方に紫外線ランプ１０の管径の幅以下で桟１３４を設けて、当該桟１３４を平面反射面１２Ａと繋げる構成としてもよい、この構成によれば、均斉度を保ったままで主反射板１２の剛性を高める上で有利となる。
また、主反射板１２の貫通孔３２を形成したが、必要とする均斉度に応じて貫通孔３２は省略してもよい。

また、上述した実施形態では、突出反射面１２Ｂを楔状に形成したが、突出反射面１２Ｂの形状はこれに限定されるものではない。紫外線ランプ１０からの直接光および平面反射面１２Ａからの反射光が照度を補うべき領域Ｘｃ、Ｘｄに反射できる傾斜面が形成されればよい。

また、上述した実施形態では、線状光源に１０本の紫外線ランプ１０を用いていたが、線状光源の本数はこれに限定されない。また紫外線ランプ１０に代えて、紫外線ＬＥＤ等の発光素子を直線状に配列した線状光源を用いることもできる。また、線状光源が照射する光は紫外線に限定されるものではない。

また、上述した実施形態では、照射器１をウエハ等の熱処理用の照射器として説明したが、本発明は、種々の照射器に適用可能である。

１照射器
２ワーク（被対象物）
１０紫外線ランプ（線状光源）
１２主反射板（反射鏡）
１２Ｂ突出反射面
１２Ｃ側面反射面
１４補助反射板（補助反射鏡）
３２貫通孔
Ｓスペース

Claims

並列された複数の線状光源と、この線状光源から照射された光を被対象物に向けて反射する反射鏡とを備えた照射器において、
中央の前記線状光源の間隔を空けてスペースを形成し、
前記反射鏡は、前記スペースに対向する位置に、前記線状光源側に突出する突出反射面を有するとともに、前記線状光源の並列方向の両側に、側面反射面を有し、
前記反射鏡は、中央部に貫通孔を有し、
前記貫通孔は、前記線状光源の並列方向に延び、前記線状光源の並列方向に単数または複数で配置し、
前記線状光源の長手方向において、前記スペースに対向する位置の前記貫通孔の両側に、前記突出反射面が形成されていることを特徴とする照射器。
複数の前記線状光源は、前記スペース側よりも前記並列方向外側の間隔を狭く配置されていることを特徴とする請求項１に記載の照射器。
前記被対象物を囲む補助反射鏡を備えたことを特徴とする請求項１又は２に記載の照射器。