TWI453786B

TWI453786B - Light irradiation device

Info

Publication number: TWI453786B
Application number: TW100123669A
Authority: TW
Inventors: Noritaka Takezoe; Toshiyuki Suga
Original assignee: Ushio Electric Inc
Priority date: 2010-09-02
Filing date: 2011-07-05
Publication date: 2014-09-21
Also published as: CN102419496B; JP5434852B2; TW201212094A; JP2012053325A; CN102419496A; KR20120024383A; KR101380470B1

Description

光照射裝置

本發明係關於光照射裝置。

液晶面板70係如圖8所示，為於兩張玻璃板之間封入液晶的構造，例如，於一面形成多數主動元件(例如薄膜電晶體：TFT)72及液晶驅動用電極(透明電極：ITO)73，進而於其上形成配向膜74的第1玻璃板71，與於一面形成彩色濾光片76、透明電極77及配向膜78的第2玻璃板75，以經由間隔物構件79而一面彼此相互對向之方式配置，並於第1玻璃板71及第2玻璃板75之間形成液晶層80而構成。

於此種液晶面板70的製造工程中，公知有藉由對於還有對紫外線反應而聚合之光學活性物質(單體)的液晶之液晶面板材，照射紫外線，進行液晶面板材的反應處理(預傾角發現處理，PSVA)之技術(參照專利文獻1)。於此技術中，利用一邊施加電壓，一邊將紫外線對液晶面板照射，可在使液晶配向於特定方向之狀態下使光學活性物質聚合，藉此，可賦予液晶所謂預傾角。

於此種利用紫外線之液晶面板材的反應處理(PSVA)中，需要對於液晶之光學活性物質，以高照度照射紫外線之外，被要求液晶之光學活性物質不會暴露於高溫度下。

光學活性物質的反應速度係溫度依存性較高，光照射中的溫度較高時則會過度聚合而使聚合物顆粒的成長過大。於是，因為沒有均勻的預傾角而對比變差，會造成漏光。

進而，液晶面板材之光照射面中產生溫度不均勻的話，光學活性物質的反應會產生偏差(差離)，使液晶的傾斜(預傾角)也產生不均，此液晶之傾斜不均在成品時會造成濃淡不均。

如上所述，於液晶面板的製造工程中，在進行利用紫外線之液晶面板材的反應處理時，雖然被要求(1)將波長300～400nm的紫外線照射液晶面板材，(2)液晶面板材的光照射面之紫外線照射的面內均勻性較高，(3)液晶面板材的溫度上升較少，液晶面板材的光照射面之溫度的面內均勻性較高，但是，不會對光學活性物質造成壞影響，可進行所希望之液晶面板材的反應處理的紫外線照射裝置並未眾所皆知也是實情。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本特開2003-177408號公報

又，於此種紫外線照射裝置中，例如全長為2500mm以上的長條之準分子燈，於其點燈時例如一邊藉由冷卻風冷卻，一邊使用。

作為冷卻準分子燈的手段，例如設置在準分子燈插通於內部之狀態下具有透光性的外套管，使外套管的內部流通冷卻風，但是，在準分子燈為長條者時，於外套管的內部，必須流動例如流速為20~30m/sec之風量的強力冷卻風。

然而，在此種冷卻方法中，因在外套管的內部會產生亂流而使準分子燈搖晃，產生燈因其震動而破損的問題。

進而又，因為準分子燈搖晃，產生從準分子燈被照射光線的區域之大小及位置會變化，損及被處理對象物的光照射面之照度均勻性的問題。

本發明係有鑑於以上狀況所發明者，目的為提供可進行被處理對象物的光照射面之照度的面內均勻性高之光照射處理的光照射裝置。

本發明的光照射裝置，其特徵為具備光源元件而構成，該光源元件，係藉由長邊方向的兩端部藉由框體保持，垂直於長邊方向之剖面形狀為矩形狀的長條燈，與在該燈插通於內部之狀態下，長邊方向的兩端部藉由前述框體保持所設置，並於內部形成冷卻風流通路徑之具有透光性的長條之筒狀外套管所構成；於前述外套管的內部，設置有將前述燈於其長邊方向的局部位置中對於該外套管加以直接支持的支撐部；該支撐部，係具備與前述燈之4個稜角的角部相接，挾持該燈並加以保持，由絕緣材料所構成的支撐部本體，於該支撐部本體，形成有抵接前述外套管的內面，具備彈性構件的外套管抵接部。

於本發明的光照射裝置中，前述燈，係由具有延伸於燈泡的長邊方向之開口部的反射材層被形成於前述燈泡之內面的準分子燈所構成；前述支撐部，係作為於與前述反射材層的開口部對向之區域，形成有使隔著該開口部而放射之來自前述準分子燈的放射光通過的空間部之構造為佳。

於此種構造者中，前述支撐部本體，係可作為分別連結整體為略鉤狀之兩個機械臂構件所構成，該機械臂構件之各個前端在以位於與前述反射材層的開口部對向之區域外之方式離開之狀態下被設置，藉此，形成前述空間部的構造。

依據本發明的光照射裝置，作為將燈對於兩端部被框體保持之外套管加以直接支持的支撐部，與燈之4個稜角的角部相接，挾持燈並加以保持之狀態中，藉由構成外套管抵接部的彈性構件壓接於外套管的內面，來保持外套管的構造，藉此，因能以減少因流通於外套管的內部之冷卻風，燈往上下方向搖晃的程度之方式進行抑制，故可進行被處理對象物的光照射面之照度的面內均勻性高之光照射處理，並且迴避燈因震動而破損之狀況。

以下，針對本發明的實施形態，進行詳細說明。

圖1係揭示關於本發明之紫外線照射裝置的一構造例之內部構造的概略的說明圖，圖2係放大揭示圖1所示之紫外線照射裝置之一部份的剖面圖。

此紫外線照射裝置係大致上藉由光源部10、冷卻部40、光導引部50及電源部(未圖示)所構成。

光源部10係具備具有於下方開口之光照射用開口11C之整體為箱型形狀的光源部殼體構件11。

於此光源部殼體構件11的內部，設置有剖面形狀為略H型形狀的框體12，藉由構成框體12之延伸於水平方向之平板狀的間隔壁12A，光源部殼體構件11的內部空間被區分為上下。

藉由間隔壁12A所區分之下方側空間部，係作為配置光源單元20的光源單元配置空間部15，上方側空間部，係作為配置對應光源單元20之例如變壓器35等的電裝體的電裝體配置空間部16。

又，於光源部殼體構件11內之一端側區域，具有藉由構成框體12之延伸於上下方向的一端壁13與光源部殼體構件11的一端壁11A來區分所形成，用以將冷卻風分別導入至電裝體配置空間部16及光源單元配置空間部15之共通的導風用空間部18，並且於光源部殼體構件11內之另一端側區域，具有藉由構成框體12之延伸於上下方向的另一端壁14與光源部殼體構件11的另一端壁11B來區分而形成之共通的排風用空間部19。

於框體12的一端壁13，形成有用以將冷卻風導入至電裝體配置空間部16的導風用通風口13A，於另一端壁14，形成有用以將冷卻風從電裝體配置空間部16排出的排風用通風口14A。

光源單元20係如圖3所示，藉由分別放射於波長300～400nm具有發光峰值之光的長條之準分子燈25，及以在此準分子燈25被插通於內部之狀態下沿著準分子燈25延伸之方式設置的例如圓筒狀的長條之外套管24所構成之光源元件21複數者，例如，在各準分子燈25的軸中心位於相同平面內，並且平行延伸之狀態下，以每隔等間隔，並聯配置而構成。

構成各光源元件21的準分子燈25，係長邊方向之兩端部隔著燈保持部22，以相同水平位準被保持固定於框體12的一端壁13及另一端壁14，又，外套管24係在其一端開口24A位於導風用空間部18，並且另一端開口24B位於排風用空間部19之狀態下，長邊方向之兩端部以相同水平位準被保持固定於框體12的一端壁13及另一端壁14。

構成光源單元20的準分子燈25係例如，放射合適於使液晶面板材之液晶所包含之光學活性物質(單體)聚合的波長之300nm~400nm的紫外光者。

圖4係以垂直於燈的長邊方向之剖面切斷之狀態下，揭示關於本發明的紫外線照射裝置中所使用之準分子燈的一例之構造的概略的剖面圖。

此準分子燈25係於內部具備形成放電空間S，垂直於長邊方向的剖面之剖面形狀為矩形狀的長條之燈泡26，於此燈泡26的內部，作為放電用氣體，例如封入氙氣。在此，燈泡26例如由石英玻璃所成。

於燈泡26之上壁26A及下壁26B個別的外表面，例如一對網狀的電極，亦即，作為高電壓供電電極而作用之一方的電極27A及作為接地電極而作用之另一方的電極27B以延伸於長邊方向之方式相互對向而配置。

於燈泡26的內面，形成有延伸於燈泡26的長邊方向之開口部30A的反射材層30，進而，於反射材層30的內面區域及反射材層30的開口部30A所位於之燈泡26的內面區域，形成有玻璃粉末層31，於玻璃粉末層31的內面上，形成有螢光體層32。於此準分子燈25中，反射材層30的開口部30A形成於燈泡26之下壁26B的內面區域，藉由未形成反射材層的區域，形成光射出部38。

反射材層30係例如藉由氧化矽與氧化鋁的混合物所構成。

又，作為構成玻璃粉末層31的玻璃，例如可例示硼矽酸玻璃(Si-B-O系玻璃)及矽酸鋁玻璃(Si-Al-O系玻璃)、矽酸鋇玻璃，或者以該等任一組成為基準添加鹼土類氧化物或鹼金屬氧化物、金屬氧化物的玻璃等。

又，作為構成螢光層32的螢光體，例如可例示銪賦活硼酸鍶(Sr-B-O：Eu(以下稱為「SBE」)，中心波長368nm)螢光體、鈰賦活鋁酸鎂鑭(La-Mg-Al-O：Ce(以下稱為「LAM」)，中心波長338nm(但是broad))螢光體、釓、鐠賦活磷酸鑭(La-P-O：Gd，Pr(以下稱為「LAP：Pr，Gd」)，中心波長311nm)螢光體等。

外套管24係例如可透射300nm~400nm之波長帶的光線之材料，例如由石英玻璃所成的圓筒狀者，具有與準分子燈25幾近相同之長度。

冷卻部40係例如具備設置於光源部殼體構件11的上部之箱型形狀的冷卻部殼體構件41，於此冷卻部殼體構件41的內部，例如配置有軸流風扇等的冷卻風扇42，於該冷卻風扇42的上流側中，例如配置有水冷散熱器等之放熱用的熱交換器43。

冷卻風扇42係例如具有於各光源元件21中，可供給流通於外套管24的內部之冷卻風的流速為10~30m/sec，50~250m³ /min之送風量的冷卻風之送風能力者。

此冷卻部殼體構件41的內部空間，係經由分別設置於冷卻部殼體構件41的兩側之通風導管45，與光源部10之導風用空間部18及排風用空間部19連通，藉此，由冷卻風扇42供給之冷卻風經由光源部10之導風用空間部18，被導入至電裝體配置空間部16內，並且被導入至光源元件21之外套管24內，經由排風用空間部19被導入至冷卻部40之放熱用的熱交換器43，構成被閉鎖之循環冷卻風流通路徑的冷卻機構。

光導引部50係具有一邊充分確保對於被處理對象物W的紫外線照射量，一邊用以於光源單元20與被處理對象物W之間確保充分大小的離開距離的作為所謂間隔物的功能，具有對應光源部殼體構件11之光照射用開口11C的大小，以內周面藉由反射面形成之例如區分處理空間之矩形框狀之光導引構件51從光源部10的下面往下方延伸之方式安裝而構成。

圖1之符號58係使身為被處理對象物W的例如液晶面板材，位於光導引部50的下側，載置面為水平的平台，59係平台架台。

然後，於構成前述之紫外線照射裝置之光源單元20的光源元件21中，例如，於外套管24的內部之準分子燈25的長邊方向之局部位置，例如中央位置，設置有將準分子燈25對於外套管24加以直接支持的支撐部60。在此，支撐部60係配置於由準分子燈25的兩端分別往長邊方向例如離開700mm以上的中央部區域內即可，支撐部60的數量也不限定於1個。

支撐部60係例如圖5及圖6所示，具備兩個機械臂構件62、63藉由螺絲(未圖示)所連結而成，將準分子燈25藉由兩個機械臂構件62、63挾持並保持的支撐部本體61。

一方的機械臂構件62，係具有與被支持之準分子燈 25之燈泡26的上壁26A對向而延伸的基部62A、連續於此基部62A的一端，往下方傾斜延伸的傾斜部62B、連續於此傾斜部62B，朝向下方內方側延伸的前端部62C，且整體為鉤狀(掛鉤狀)者，於傾斜部62B的內面及前端部62C的內面，形成有與準分子燈25的燈泡26之兩個稜角(例如圖4中燈泡26的左側壁，與上壁26A及下壁26B的稜角)之角部26C相接之具有圓弧狀的對接面的燈抵接部64。圖5所示之符號62D，係安裝有連結兩個機械臂構件62、63之螺絲(未圖示)的連結用螺絲安裝用螺絲孔。

另一方的機械臂構件63，係具有與被支持之準分子燈25之燈泡26的上壁26A對向而延伸的基部63A、連續於此基部63A的一端，往下方傾斜延伸的傾斜部63B、連續於此傾斜部63B，朝向下方內方側延伸的前端部63C、連續於基部63A的另一端，與該基部63A垂直地往上方延伸的連結部63D，且整體為鉤狀(掛鉤狀)者，於傾斜部63B的內面及前端部63C的內面，形成有與準分子燈25的燈泡26之兩個稜角(例如圖4中燈泡26的右側壁，與上壁26A及下壁26B的稜角)之角部26C相接之具有圓弧狀的對接面的燈抵接部64。

在此，燈抵接部64形成於與準分子燈25之角部26C相接的位置之理由，係燈泡26的角部26C強度比較高，及使應力作用於寬度狹窄的一對對向壁(例如圖4之燈泡26的左側壁及右側壁)時，會因為應力集中而準分子燈 25產生破損的問題。

於此支撐部60中，於一方的機械臂構件62及另一方的機械臂構件63之各前端部62C、63C的外面，及另一方的機械臂構件63之連結部63D的上面之3處，形成有彈性抵接於外套管24的內面之外套管抵接部65。

外套管抵接部65係形成於支撐部本體61之3處以上的位置為佳，藉此，可作為於垂直於長邊方向的剖面之全方向中，藉由外套管24保持的構造。

例如，針對另一方的機械臂構件63之連結部63D的上面之外套管抵接部65的構造，來具體說明的話，外套管抵接部65係藉由螺固於另一方的機械臂構件63之連結部63D的上面而設置，例如由藉由金屬構成之側面視略台形狀的板彈簧66所成之彈性構件、螺固於此板彈簧66之頂板部66A的外面而固定之緩衝構件68所構成，並將形成於板彈簧66之各基板部66B的螺絲安裝用貫通孔的至少一方設為長孔66C，藉此，板彈簧66成為可對於支撐部本體61往長邊方向滑動之狀態(游動嵌入狀態)。

關於一方的機械臂構件62之前端部62C及另一方的機械臂構件63之前端部63C之外套管抵接部的構造也相同。

作為支撐部本體61及構成緩衝構件68的材料，例如使用具優良耐熱性、耐UV性及電性絕緣性的絕緣性材料，作為此種絕緣性材料，例如可例示PTFE等的氟樹脂材料。

支撐部60係如圖7所示，支撐部本體61的內面之4處燈抵接部64分別與準分子燈25之燈泡26的4處角部26C相接，以收容燈泡26的一部份之方式挾持準分子燈25並加以保持之狀態中，3處之外套管抵接部65分別藉由板彈簧66的彈簧彈性來壓接於外套管24的內面，藉此，例如於垂直於長邊方向的剖面之全方向中藉由外套管24保持。

亦即，準分子燈25係於安裝支撐部60之狀態中，被插入外套管24內而配置，於準分子燈25的插入時，構成支撐部60之外套管抵接部65的板彈簧66隔著緩衝構件68，藉由外套管24的內面一邊往外套管24的軸中心方向壓縮，一邊藉由長孔66C的作用，往長邊方向滑動而彈性變形，藉由板彈簧66的復元力而壓接於外套管24的內面。

支撐部60係於與準分子燈25之反射材層30的開口部30A對向之區域，形成有使隔著該開口部30A(光射出部38)而放射之來自準分子燈25的放射光通過的空間部之狀態，具體來說，以於垂直於準分子燈25的長邊方向之剖面中，形成於一方的機械臂構件62的前端部62C之燈抵接部64的對接面之前端緣，及形成於另一方的機械臂構件63的前端部63C之燈抵接部64的對接面之前端緣，位於反射材層30的開口部30A所對應之區域外之方式離開，而形成光線通路之狀態下，設置於準分子燈25。

又，支撐部60係在以支撐部本體61的內面，具體來說，兩個機械臂構件62、63的基部62A、63A的內面不接觸一方的電極(高電壓供電電極)27A之方式形成空隙K之狀態下，設置於準分子燈25。藉由成為此種構造，可確實迴避例如利用網板印刷等形成之一方的電極27A因為在支撐部60的安裝時意外作用的應力而剝離之狀況。

如揭示前述之紫外線照射裝置的一構造例的話，準分子燈25的全長為2800mm，橫縱的尺寸為43mm×15mm，燈輸出為2kW，外套管24的全長為2500mm，內徑為76mm，厚度為2.5mm，支撐部60之長邊方向的尺寸(圖6之上下方向的尺寸)為80mm，寬度方向的最大尺寸(圖6之左右方向的尺寸)為75mm。

構成光源單元20的光源元件21的數量係例如32個，鄰接之光源元件21的離開距離p係例如87mm。

針對前述之紫外線照射裝置的動作進行說明。

於此紫外線照射裝置中，平板狀的被處理對象物W(例如液晶面板材)藉由搬送機器人(未圖示)搬入，並載置於平台58上之狀態中，對準分子燈25之一方的電極27A，高頻電壓由電源部藉由設置於電裝體配置空間部16之變壓器35升壓且被供給時，經由構成燈泡26的介電質材料，在放電空間S內產生介電質屏障放電，藉由介電質屏障放電而形成準分子，並藉由從準分子放射之光(氙氣之狀況為172nm的真空紫外光)，激發構成螢光體層32的螢光體，例如300nm～400nm的紫外線經由光射出部38而射出，亦即，透射燈泡26的下壁26B，並且透射另一方的電極27B之開口而射出。

另一方面，藉由驅動冷卻風扇42所供給之冷卻風經由光源部10之導風用空間部18，其一部份被導入至電裝體配置空間部16內，並且其他全部被導入至各光源元件21之外套管24內，藉此，冷卻準分子燈25及外套管24以及變壓器35等的電裝體，之後，經由排風用空間部19被導入至熱交換器43而被冷卻，不會排出至裝置外部，再次，藉由冷卻風扇42供給所定量的冷卻風。

然後，依據前述構造的紫外線照射裝置，基本上，複數光源元件21在各準分子燈25的軸中心位於相同水平面內，並且相互平行延伸之狀態下，並聯配置而構成光源單元20，藉此，例如除了可將300～400nm之波長帶的紫外線，對於被處理對象物W以均勻的照度分布來進行照射之外，於各光源元件21中，外套管24在準分子燈25插通其內部之狀態下設置，藉此，因為藉由外套管24所致之冷卻風導風功能(整風作用)，可直接冷卻準分子燈25的燈泡26，故複數準分子燈25每個燈被均勻冷卻，可將準分子燈25本身所致之對於被處理對象物W的放射熱之不均抑制為較小，並且可抑制熱線對於被處理對象物W照射，而且，因為外套管24其本身也藉由冷卻風冷卻，故可抑制對於被處理對象物W的放射熱，所以，可減少被處理對象物W的溫度上升，並且可取得被處理對象物W的面內之優良溫度均勻性。

而且，作為將準分子燈25對於兩端部被框體12保持之外套管24加以支持的支撐部60，在長邊方向之中央位置中與準分子燈25的4處角部26C相接，挾持準分子燈25並加以保持之狀態下，隔著包含板彈簧66的外套管抵接部65，壓接於外套管24的內面，被外套管24保持的構造，藉此，即使作為以冷卻風於外套管24內產生亂流之風量(流速)流通於外套管24之內部的構造之狀況中，因能以減少因為冷卻風而準分子燈25往上下方向搖晃的程度之方式進行抑制，故可進行被處理對象物W的光照射面之照度的面內均勻性高之光照射處理，並且迴避準分子燈25因震動而破損之狀況。

進而又，依據前述構造的紫外線照射裝置，可獲得以下效果。亦即，藉由具備由內周面是藉由反射面所形成之空間所成的光導引部50，可一邊充分確保對於被處理對象物W的紫外線照射量，一邊擴大光源單元20與被處理對象物W之間的離開距離，故可更確實抑制光源單元20的放射熱所致之影響，可降低被處理對象物W的溫度上升，並且可取得被處理對象物W的面內之優良溫度均勻性。

進而又，作為使用準分子燈25，於此準分子燈25的放電空間S中產生之所定波長帶的紫外線(真空紫外線)藉由設置於燈泡26內表面的螢光體層32之作用，作為300nm～400nm的紫外線放射之構造，藉此，不會對被處理對象物W放射多餘的光成分，故可確實降低被處理對象物W的溫度上升。

進而又，作為具備放熱用的熱交換器43之構造，藉此，可形成被閉鎖(密閉系的)之循環冷卻風流通路徑，即使例如在無塵室內使用紫外線照射裝置之狀況中，因為不需要由裝置的外部來獲得冷卻風，及不用將冷卻風排出至裝置外部，故不需要連接導管等，可簡潔地構成冷卻機構。

又，因為是空冷式，也不會產生如果是水冷式的話則有發生之虞的漏水等的問題。

如上所述，關於本發明的紫外線照射裝置，係因為可進行被處理對象物的光照射面之照度的面內均勻性及溫度的面內均勻性高之光照射裝置，例如，適合作為液晶面板的製造工程之液晶面板材的反應處理(預傾角發現處理)中所用的紫外線照射裝置。

以上，已針對本發明的實施形態進行說明，但是，本發明不限定於前述之實施形態者，可施加各種變更。

例如，於本發明的光照射裝置中，形成於支撐部之外套管抵接部的數量及位置，係不限定於前述實施例者，又，關於構成外套管抵接部的彈性構件，也不限定於前述實施例者。

進而又，構成光源單元之光源元件的個數及排列方法，並不限定於前述實施例，可因應目的來適切設計變更。

10．．．光源部

11．．．光源部殼體構件

11A．．．一端壁

11B．．．另一端壁

11C．．．光照射用開口

12．．．框體

12A．．．間隔壁

13．．．一端壁

13A．．．導風用通風口

14．．．另一端壁

14A．．．排風用通風口

15．．．光源單元配置空間部

16．．．電裝體配置空間部

18．．．導風用空間部

19．．．排風用空間部

20．．．光源單元

21．．．光源元件

22．．．燈保持部

24．．．外套管

24A．．．一端開口

24B．．．另一端開口

25．．．準分子燈

26．．．燈泡

26A．．．上壁

26B．．．下壁

26C．．．角部

27A．．．一方的電極

27B．．．另一方的電極

30．．．反射材層

30A．．．開口部

31．．．玻璃粉末層

32．．．螢光體層

35．．．變壓器

38．．．光射出部

S．．．放電空間

40．．．冷卻部

41．．．冷卻部殼體構件

42．．．冷卻風扇

43．．．熱交換器

45．．．通風導管

50．．．光導引部

51．．．光導引構件

58．．．平台

59．．．平台架台

60．．．支撐部

61．．．支撐部本體

62．．．一方的機械臂構件

63．．．另一方的機械臂構件

62A，63A．．．基部

62B，63B．．．傾斜部

62C，63C．．．前端部

62D．．．連結用螺絲安裝用螺絲孔

63D．．．連結部

64．．．燈抵接部

65．．．外套管抵接部

66．．．板彈簧(彈性構件)

66A．．．頂板部

66B．．．基板部

66C．．．長孔

68．．．緩衝構件

K．．．空隙

W．．．被處理對象物

70．．．液晶面板

71．．．第1玻璃板

72．．．主動元件

73．．．液晶驅動用電極

74．．．配向膜

75．．．第2玻璃板

76．．．彩色濾光片

77．．．透明電極

78．．．配向膜

79．．．間隔物構件

80．．．液晶層

[圖1]揭示關於本發明之紫外線照射裝置的一構造例之內部構造的概略的說明圖。

[圖2]放大揭示圖1所示之紫外線照射裝置的一部份的剖面圖。

[圖3]概略揭示圖1所示之紫外線照射裝置的光源單元之光源元件的配置例的說明圖。

[圖4]以垂直於燈的長邊方向之剖面切斷之狀態下，揭示關於本發明的紫外線照射裝置中所使用之準分子燈的一例之構造的概略的剖面圖。

[圖5]揭示支撐部的一例之構造的概略的立體圖。

[圖6]從支持之準分子燈的光放射方向相反側觀看圖5所示之支撐部時的俯視圖。

[圖7]揭示對於準分子燈之外套管的支持構造的剖面圖。

[圖8]揭示液晶面板之構造概略的說明用剖面圖。