JP2009252662A - エキシマランプおよびこれを備えたランプユニット - Google Patents

Abstract

【課題】エキシマランプを被照射物に近接配置を可能にしたリード保持体を備えるエキシマランプ、該エキシマランプを備えたランプユニットを提供する。
【解決手段】長手方向に伸びる上下両面を有し、内部に発光ガスを封入した放電容器５１と、前記上下両面に設けられた外部電極５２、５３と、放電容器５１の端部側に設けたリード保持体５４と、からなるエキシマランプ５において、リード保持体５４は、電気絶縁性を有するリード保持部５４１と金属薄板からなる平坦支持部５４２とから構成され、リード保持部５４１と平坦支持部５４２とで放電容器５１を挟持することにより、リード保持部５４１は、一方の外部電極５２と電気的に接続された一方のリード５５を放電容器５１の一方の面との間で保持し、平坦支持部５４２は、他方の外部電極と電気的に接続すると共に、放電容器５１の他方の平坦面に当接する、ことを特徴とするエキシマランプである。
【選択図】図３

Description

本発明は、エキシマランプおよびこれを備えたランプユニットに係わり、特に、エキシマランプの端部にランプ保持部を備えたエキシマランプおよびこれを備えたランプユニットに関する。

従来、特許文献１に記載されているように、半導体基板や液晶基板の製造工程においては、基板の洗浄を目的として真空紫外線を照射するエキシマランプを備えたランプユニットが用いられている。

図２０は、従来技術に係るエキシマランプ１０３の長手方向に対して直交する切断面から見た紫外線照射装置１００の構成を示す断面図、図２１は、図２０に示したＥ−Ｅ切断面から見た紫外線照射装置１００の断面図である。
これらの図に示すように、紫外線照射装置１００は、概略、箱状に構成された筐体内１０４にエキシマランプ１０３を備えたランプユニット１０１（図上方）と、ランプユニット１０１を載置すると共に被照射物Ｗを搬送する搬送機構１０２（図下方）とから構成されている。

これらの図に示すように、ランプユニット１０１は、ランプユニット１０１の筐体１０４の内部に設置された複数本のエキシマランプ１０３と、エキシマランプ１０３を収納すると共に保持する筐体１０４とからから構成されている。エキシマランプ１０３は、ランプ保持体１１１によって隔壁１１０を介して筐体１０４に支持されている。搬送機構１０２は、ランプユニット１０１の筐体１０４を載置すると共に、内部に並列配置された複数のローラ１０９と各ローラ１０９の両端に設けられると共にローラ１０９を回転駆動させる駆動体１１０とを備えている。搬送機構の搬入口から搬入された被照射物Ｗは、ローラ１０９に載置され、ローラ１０９が回転駆動されることにより、エキシマランプ１０３の直下に搬入される。搬入された被照射物Ｗは、エキシマランプ１０３と近接され、エキシマランプ１０３からの真空紫外線が照射される。真空紫外線により照射された被照射物Ｗは搬出口から搬出される。

図２２は、図２０および図２１に示したエキシマランプ１０３の斜視図、図２３は、図２１に示したエキシマランプ１０３の一方の端部（丸く囲まれた箇所）の拡大断面図、図２４は、図２３に示したＦ−Ｆ切断面から見たエキシマランプ１０３の一方の端部の断面図である。
これらの図に示すように、エキシマランプ１０３は、略直方体の放電容器１０５を備え、その長手方向に対して垂直方向の断面が長方形であり、放電容器１０５の上下両面には放電容器の長手方向に沿って延びるように網状の一方の外部電極１０６および他方の外部電極１０７が設けられている。放電容器１０５の両端には、一方の外部電極１０６および他方の外部電極１０７に各々接続された一方のリード１１４および他方のリード１１５を保持するリード保持体１１２が設けられ、リード保持体１１２から一方のリード１１４および他方のリード１１５が引き出されている。
特開２００５−１９７２９１号公報

通常、図２２に示すようなエキシマランプ１０３に設けられるリード保持体１１２は、以下に示すような３つの機能を備えている。第１の機能は、通常、リード１１４，１１５と外部電極１０６，１０７とは半田のようなろう接によって電気的に接続されているため、両者の接続を確保維持するための、リード１１４，１１５を保持する機能であり、例えば、エキシマランプ１０３の外部電極１０６，１０７に接続されたリード１１４，１１５を放電容器１０５とリード保持体１１２との間に設けて、リード１１４，１１５を放電容器１０５とリード保持体１１２との間で圧接して保持する機能である。第２の機能は、放電容器１０５に固定される機能であり、例えば、リード保持体１１２と放電容器１０５との間の空隙に接着剤１１６を充填して、リード保持体１１２が放電容器１０５の外面に固定される機能である。第３の機能は、放電容器１０５外面における外部電極１０６，１０７間の絶縁破壊を防止する機能であり、例えば、リード１１４，１１５に当接するリード保持体１１２が電気絶縁性を有する部材で構成されることにより、放電容器１０５の外面における外部電極１０６，１０７間の沿面放電を防止する機能である。

図２１ないし図２４に示される従来技術に係るリード保持体１１２は、上記の第１ないし第３の機能を備えているが、エキシマランプ１０３と被照射物Ｗとが対向配置されるランプユニット１０１においては、エキシマランプ１０３から被照射物Ｗに放射される真空紫外線が、できるだけ酸素に吸収されないで効率良く被照射物Ｗに照射されるために、エキシマランプ１０３と被照射物Ｗとはできるだけ近接配置することが必要である。エキシマランプ１０３と被照射物Ｗ間の距離は、例えば、３〜５ｍｍの範囲に近接することが必要とされている。しかし、図２１ないし図２４に示した従来技術に係るリード保持体１１２が、セラミックのような電気絶縁性を有する部材で構成されると、放電容器１０５の平坦面からリード保持体１１２の肉厚部分が突出し、この肉厚部分がエキシマランプ１０３と被照射物Ｗ間の距離Ｌ１０の近接化を困難にしている。すなわち、リード保持体１１２は、第４の機能として、エキシマランプ１０３と被照射物Ｗとの近接配置に障害とならないように構成されていることが必要である。

本発明の目的は、上記の問題点に鑑みて、エキシマランプと被照射物間の距離を０．１〜５ｍｍの範囲に近接配置することを可能にしたリード保持体を備えるエキシマランプおよびそのエキシマランプを備えたランプユニットを提供することにある。

本発明は、上記の課題を解決するために、次のような手段を採用した。
第１の手段は、長手方向に伸びる上下両面を有すると共に、内部に発光ガスを封入した放電容器と、前記上下両面のうちの一方の面に設けた一方の外部電極と、前記上下両面のうちの他方の平坦面に設けた他方の外部電極と、前記放電容器の少なくとも一方の端部側に設けたリード保持体と、からなるエキシマランプにおいて、前記リード保持体は、電気絶縁性を有するリード保持部と金属薄板からなる平坦支持部とから構成され、前記リード保持部と前記平坦支持部とで前記放電容器を挟持することにより、前記リード保持部は、前記一方の外部電極と電気的に接続された一方のリードを前記放電容器の前記一方の面との間で保持し、前記平坦支持部は、前記他方の外部電極と電気的に接続すると共に、前記放電容器の前記他方の平坦面に当接する、ことを特徴とするエキシマランプである。
第２の手段は、長手方向に伸びる上下両面を有し、該上下両面間に形成された湾曲面上に形成された屈曲部または前記上下両面間に形成された屈曲部を有すると共に、内部に発光ガスを封入した放電容器と、前記上下両面のうちの一方の面に設けた一方の外部電極と、前記上下両面のうちの他方の平坦面に設けた他方の外部電極と、前記放電容器の少なくとも一方の端部側に設けたリード保持体と、からなるエキシマランプにおいて、前記リード保持体は、電気絶縁性を有するリード保持部と弾性を有する金属薄板からなる平坦側支持部とから構成され、前記リード保持部と前記平坦側支持部とで前記放電容器を挟持することにより、前記リード保持部は、前記一方の外部電極と電気的に接続された一方のリードを前記放電容器の前記一方の面との間で保持し、前記平坦側支持部は、前記他方の外部電極と電気的に接続された他方のリードを前記放電容器の前記他方の平坦面との間で保持した、ことを特徴とするエキシマランプである。
第３の手段は、長手方向に伸びる上下両面を有すると共に、内部に発光ガスを封入した放電容器と、前記上下両面のうちの一方の面に設けた一方の外部電極と、前記上下両面のうちの他方の平坦面に設けた他方の外部電極と、前記放電容器の少なくとも一方の端部側に設けたリード保持体と、からなるエキシマランプにおいて、前記リード保持体は、電気絶縁性を有するリード保持部と、該リード保持部と前記放電容器との間に充填固化された接着材からなる拡径支持部とから構成され、前記リード保持部と前記放電容器との間に接着材が充填固化されることにより、前記リード保持部は、前記一方の外部電極と電気的に接続された一方のリードを前記放電容器の前記一方の面との間で保持し、前記拡径支持部は、前記他方の外部電極から放電容器の側面に形成された拡径部まで連続して伸びる外部電極部分と電気的に接続された他方のリードを当該拡径支持部内で保持した、ことを特徴とするエキシマランプである。
第４の手段は、長手方向に伸びる上下両面を有すると共に、内部に発光ガスを封入した放電容器と、前記上下両面のうちの一方の面に設けた一方の外部電極と、前上下両面のうちの他方の面に設けた他方の外部電極と、前記放電容器の少なくとも一方の端部側に設けたリード保持体と、からなるエキシマランプにおいて、前記放電容器は、前記両面間の側面に拡径部が形成され、前記リード保持体は、電気絶縁性を有するリード保持部と拡径支持部とから構成され、前記リード保持部と前記拡径支持部とで前記放電容器を挟持することにより、前記リード保持部は、前記一方の外部電極と電気的に接続された一方のリードを前記放電容器の前記一方の面との間で保持し、前記拡径支持部は、前記放電容器の前記拡径部と当接する、ことを特徴とするエキシマランプである。
第５の手段は、第４の手段において、前記他方の外部電極が前記放電容器の拡径部まで連続して伸びる外部電極部分を有し、前記拡径支持部は金属材料で構成され、前記リード保持部と前記拡径支持部とで前記放電容器を挟持することにより、前記放電容器の外部電極部分と前記拡径支持部とが電気的接続が図られることを特徴とするエキシマランプである。
第６の手段は、第１の手段ないし第５の手段のいずれか１つの手段において、前記放電容器は、該放電容器の端壁部から突出するチップ管を有し、前記リード保持体は、リード保持部にチップ管の管軸方向に伸びる連接部と、該連接部からチップ管の長手方向の外方に設けた保護部とを有することを特徴とするエキシマランプである。
第７の手段は、エキシマランプと、該エキシマランプを保持した一面開口の筐体と、からなるランプユニットにおいて、前記エキシマランプが、第１の手段ないし第６の手段のいずれか１つの手段に記載の１つまたは複数のエキシマランプであって、該エキシマランプの平坦面が、前記筐体の開口に位置する被照射物の被照射面と平行に配置されていることを特徴とするランプユニットである。
第８の手段は、エキシマランプと、該エキシマランプの保持した一面開口の筐体と、からなるランプユニットにおいて、前記エキシマランプが、第１の手段ないし第６の手段のいずれか１つの手段に記載の複数のエキシマランプであって、該エキシマランプが、該エキシマランプの長手方向と直交する方向にあって、前記各エキシマランプの平坦面が同一平面上に配置されていることを特徴とするランプユニットである。

請求項１ないし請求項２に記載の発明によれば、第１に、エキシマランプの外部電極に接続されたリードを放電容器とリード保持体との間に設けて、リードを放電容器とリード保持体との間で圧接して保持することが可能となる。また、第２に、リード保持体が放電容器の外面に固定されることが可能となる。また、第３に、リードに当接するリード保持部が電気絶縁性を有する部材で構成されることにより、放電容器の外面における外部電極間の沿面放電を防止することができる。また、第４に、平坦支持部として金属薄板を用いたので平坦支持部の肉厚を薄くすることができ、エキシマランプと被照射物との近接配置が可能となる。
請求項３に記載の発明によれば、第１に、エキシマランプの外部電極に接続されたリードを放電容器とリード保持体との間に設けて、リードを放電容器とリード保持体との間で圧接して保持することが可能となる。また、第２に、リード保持体が放電容器の外面に固定されることが可能となる。また、第３に、リードに当接するリード保持部が電気絶縁性を有する部材で構成されることにより、放電容器の外面における外部電極間の沿面放電を防止することができる。また、第４に、拡径支持部に接着剤を用いたので、放電容器の下部平坦面よりリード保持体が突出する箇所がなくなり、エキシマランプと被照射物との近接配置が可能となる。
請求項４および請求項５に記載の発明によれば、第１に、エキシマランプの外部電極に接続されたリードを放電容器とリード保持体との間に設けて、リードを放電容器とリード保持体との間で圧接して保持することが可能となる。また、第２に、リード保持体が放電容器の外面に固定されることが可能となる。また、第３に、リードに当接するリード保持部が電気絶縁性を有する部材で構成されることにより、放電容器の外面における外部電極間の沿面放電を防止することができる。また、第４に、拡径支持部で放電容器の拡径部を当接させたので、放電容器の下部平坦面よりリード保持体が突出する箇所がなくなり、エキシマランプと被照射物との近接配置が可能となる。
請求項６に記載の発明によれば、リード保持体によってチップ管を保護し、チップ管のの損傷を防止することができる。
請求項７に記載の発明によれば、エキシマランプと被照射物との近接配置が可能なランプユニットを実現することができる。
請求項８に記載の発明によれば、エキシマランプと被照射物との近接配置が可能となると共に、エキシマランプの長手方向の長さ以上の幅を有する被照射物Ｗに対しても真空紫外線を照射することのできるランプユニットを実現することができる。

本発明の第１の実施形態を図１ないし図５を用いて説明する。
図１は、本実施形態の発明に係るエキシマランプ５の長手方向に沿った切断面から見た紫外線照射装置１の構成を示す断面図である。
同図に示すように、この紫外線照射装置１は、概略、箱状に構成された筐体４内に１つまたは複数のエキシマランプ５を備えるランプユニット２（図上方）と、ランプユニット２を載置すると共に被照射物Ｗを搬送する搬送機構３（図下方）とから構成されている。

ランプユニット２は、筐体４の内部に、紙面と平行な方向に並列に配列された複数本のエキシマランプ５と、エキシマランプ５を収納すると共に保持する筐体４とからから構成されている。エキシマランプ５は、エキシマランプ５の両端にリード保持体５４が設けられており、ランプ保持体５２によって隔壁４１を介して筐体４に支持されている。搬送機構３は、ランプユニット２の筐体４を載置すると共に、内部に紙面と平行な方向に並列配置された複数のローラ３１と各ローラ３１の両端に設けられると共にローラ３１を回転駆動する駆動部３２とを備えている。搬送機構３内に搬入された被照射物Ｗは、ローラ３１に載置され、ローラ３１が回転駆動されることにより、エキシマランプ５の直下に搬入される。搬入された被照射物Ｗは、エキシマランプ５と近接し、エキシマランプ５から真空紫外線が照射される。真空紫外線により照射された被照射物Ｗは搬送機構３外に搬出される。

図２は、図１に示したエキシマランプ５の一方の端部（点線で丸く囲まれた箇所）の拡大断面図である。
同図に示すように、エキシマランプ５の、例えば、石英ガラスからなる放電容器５１の少なくとも一方の端部は、リード保持体５４によって挟持されている。放電容器５１の長手方向の一方の平坦面５１１に形成された一方の外部電極５２は、一方のリード５５と、例えば、ろう接（ろう付け、半田付け）手段によって電気的に接続されている。電気的に接続された一方のリード５５は、電気絶縁性を有するリード保持部５４１と放電容器５１の一方の平坦面５１１との間で保持される。一方、放電容器５１の長手方向の他方の平坦面５１２に形成された他方の外部電極５３は、例えば、厚さが０．１ｍｍ〜５ｍｍ、好ましくは０．１ｍｍ〜１．５ｍｍの金属薄板からなる平坦支持部５４２と接触され、電気的に接続されている。なお、外部電極５２、５３は、例えば、金と低融点ガラスとを混合した導電性ペーストを放電容器５１の外面に塗布して焼成することによって形成される。

図３は、エキシマランプ５の構成を示す斜視図であり、図４（ａ）は図３に示したエキシマランプ５のＡ−Ａ切断面から見た断面図、図４（ｂ）は図３に示したエキシマランプ５のＢ−Ｂ切断面から見た断面図である。
これらの図に示すように、リード保持体５４のリード保持部５４１は、放電容器５１の一方の平坦面５１１と略平行な平板部分５４１１と、平板部分５４１１の両端から略直角方向に伸びる突出部分５４１２とから構成されている。リード保持体５４の平坦支持部５４２は、放電容器５１の他方の平坦面５１２と略平行な平板部分５４２１と、平板部分５４２１の両端から略直角方向に伸びる突出部分５４２２とから構成されている。リード保持部５４１の突出部分５４１２と平坦支持部５４２の突出部分５４２２は、軸部５４３１と頭部５４３２とからなる螺合体（ボルト）５４３によって螺合され、放電容器５１を挟持している。

そのため、一方の外部電極５２と電気的に接続された一方のリード５５は、リード保持部５４１の平板部分５４１１の溝５４１３に埋設されて、平板部分５４１１と放電容器５１の一方の平坦面５１１との間で挟持され、リード保持体５４の外部に引き出される。他方の外部電極５３は、金属薄板からなる平坦支持部５４２の平板部分５４２１と電気的に密着することによって電気的接続が図られると共に、平板部分５４２１は放電容器５１の他方の平坦面５１２に当接される。他方の外部電極５３と電気的接続が図られた平坦支持部５４２は、突出部分５４２２において他方のリード５６と電気的接続が図られ、他方のリード５６はリード保持体５４の外部に引き出される。

本実施形態の発明によれば、リード保持体５４のリード保持部５４１と平坦支持部５４２とが放電容器５１を挟持することにより、リード保持部５４１は放電容器５１に向かって力が働き、リード保持部５４１と放電容器５１とに挟まれた一方のリード５５は固定される。つまり、先に述べた、リード保持体５４の一方のリード５５を保持する第１の機能を果たすことができる。さらに、一方のリード５５を、例えば、フッ素樹脂からなる柔軟性を有する被覆体で被覆されていると、リード保持部５４１と放電容器５１との間に挟まれた一方のリード５５は、リード保持部５４１と放電容器５１と接する外面形状が変形される。これにより、リード保持部５４１と一方のリード５５との接触面積が大きくなり、また放電容器５１と一方のリード５５との接触面積が大きくなるので、一方のリード５５が引っ張られる等の外部からの負荷がかかっても、一方のリード５５により接触面積が大きくなっているのでその接触面で摩擦力が働き、一方のリード５５への負荷をその摩擦力で耐えることができる。

また、本実施形態の発明によれば、平坦支持部５４２と放電容器５１とが面接触した状態で、リード保持部５４１と平坦支持部５４２とが放電容器５１を挟持する。このとき放電容器５１にだけ負荷がかけられても、平坦支持部５４１との面接触により、互いの当接面で摩擦力が働き、リード保持体５４と放電容器５１との一体状態が維持される。つまり、先に述べた、リード保持体５４が放電容器５１に固定される第２の機能を果たすことができる。

また、本実施形態の発明によれば、一方の外部電極５２にはランプ点灯時に高周波高電圧が印加される。このため、一方の外部電極５２に給電する一方のリード５５を保持するリード保持部５４１を電気絶縁性を有する部材で構成することにより、リード保持部５４１を介した外部電極５２，５３間またはリード５５，５６間での絶縁破壊を防止することができる。つまり、先に述べた、放電容器５１外面における外部電極５２，５３間の絶縁破壊を防止する第３の機能を果たすことができる。

さらに、本実施形態の発明によれば、平坦支持部５４２を金属薄板で構成することにより、その肉厚Ｌ２を電気絶縁体で構成される部材の厚さＬ１よりも薄くすることができる。つまり、先に述べた、放電容器５１の他方の平坦面５１１（被照射物Ｗと対向する側の面）への突出を抑制する第４の機能を果たすことができる。さらに、他方の平坦面５１２に形成した他方の外部電極５３と平坦支持部５４２とが電気的接触により接続されるので、放電容器５１の他方の平坦面５１２と平坦支持部５４２との間にあった、従来のリードの直径分の距離を短くすることができ、より一層、平坦支持部５４２と被照射物Ｗとの距離Ｌ３を短くすることができる。なお、平坦支持部５４２を給電部材ないし接地部材とすることにより、他方のリード５６を平坦支持部５４２の突出部分５４２２に接続すればよく、他方のリード５６を簡便に設けることが可能となる。

図５は、第１の実施形態に係るエキシマランプ５（図４（ｂ）に示したエキシマランプ５の断面図と対応する）とは放電容器の形状が異なる変形例を示すエキシマランプ５の断面図である。
同図に示すように、このエキシマランプ５においては、放電容器５１Ａは、底面が平坦面５１Ａ２で形成され、上面が湾曲面５１Ａ１で形成されている。一方のリード５５は、リード保持部５４１の平板部分５４１１に設けた溝５４１３に埋設され、リード保持部５４１の平板部分５４１１と放電容器５１Ａの湾曲面５１Ａ１の頂点との間で挟持される。放電容器５１Ａの平坦面５１Ａ２は平坦支持部５４２と当接される。その他の構成は、図４（ｂ）に示したエキシマランプ５の同符号の構成に対応するので説明を省略する。
この変形例に係るエキシマランプ５においても、図４（ｂ）に示したエキシマランプ５と同様に、先に述べた、リード保持体５４は、第１ないし第４の機能を果たすことができる。

本発明の第２の実施形態を図６および図７を用いて説明する。
図６は、本実施形態の発明に係り、第１の実施形態における図４（ｂ）に示したエキシマランプの断面図と対応する、エキシマランプ５の長手方向に対して直交する切断面から見たリード保持体５４の構成を示す断面図、図７は、本実施形態の変形例の発明に係り、第１の実施形態の図５に示したエキシマランプの断面図と対応する、エキシマランプ５の長手方向に対して直交する切断面から見たリード保持体５４の構成を示す断面図である。
図６に示すエキシマランプ５においては、放電容器５１の他方の平坦面５１２から伸びる屈曲部（拡径部）５１３が、弾性を有する金属薄板で形成された平坦側支持部５４２Ａと一部接触するように設けられる。また、図７に示すエキシマランプ５においては、放電容器５１Ａの長手方向に対して直交する切断面が湾曲面５１Ａ１と平坦面５１Ａ２とから構成されており、放電容器５１Ａの湾曲面５１Ａ１と平坦面５１Ａ２との境目に形成される屈曲部（縮径部）５１Ａ３が、弾性を有する金属薄板で形成された平坦側支持部５４２Ａと点接触するように設けられる。なお、図６および図７のその他の構成は図４（ｂ）に示したエキシマランプ５の同符号の構成に対応するので、説明を省略する。

本実施形態の発明によれば、図６においては、放電容器５１の屈曲部（拡径部）５１３がリード保持体５４の平坦側支持部５４２Ａと点接触し、図７においては、放電容器５１Ａの屈曲部（縮径部）５１Ａ３がリード保持体５４の平坦側支持部５４２Ａと点接触する。そのため、放電容器５１（５１Ａ）は、リード保持体５４により挟持されるので、放電容器５１（５１Ａ）に対して異なる３方向から押圧がかかることによりリード保持体５４は放電容器５１（５１Ａ）に固定される。つまり、先に述べた、リード保持体５４が放電容器５１（５１Ａ）に固定される第２の機能を果たすことができる。

また、本実施形態の発明によれば、リード保持体５４の平坦側支持部５４２Ａは金属薄板で構成されているので、その肉厚を電気絶縁体からなる部材で構成した場合に比べて薄くすることができる。つまり、放電容器５１（５１Ａ）の平坦面５１２（５１Ａ２）（被照射物Ｗと対向する側の面）への突出を抑制する第４の機能を果たすことができる。また、平坦側支持部５４２Ａを給電部材または接地部材とするとすることにより、平坦側支持部５４２Ａと放電容器５１（５１Ａ）の屈曲部５１３（５１Ａ３）に位置する他方の外部電極５３とが接触することで電気的に接続され、他方のリード５６を平坦側支持部５４２Ａに設ければよいので、他方のリード５６の引き出しが容易となる。

なお、本実施形態の発明においても、第１の実施形態の発明と同様に、先に述べた、リード保持体５４の第１のリード５５を保持する第１の機能、および放電容器５１（５１Ａ）外面における外部電極５２，５３間の絶縁破壊を防止する第３の機能も果たすことができる。

本発明の第３の実施形態を図８ないし図１２を用いて説明する。
図８は、本実施形態の発明に係るエキシマランプの長手方向に沿った切断面から見た紫外線照射装置１の構成を示す断面図である。
同図に示すように、この紫外線照射装置１は、概略、箱状に構成された筐体４内に１つまたは複数のエキシマランプ５を備えるランプユニット２（図上方）と、ランプユニット２を載置すると共に被照射物Ｗを搬送する搬送機構３（図下方）とから構成されている。なお、その他の構成は、リード保持体５４Ａの構成を除いて、図１に示した同符号の構成に対応するので説明を省略する。

図９は、図１に示したエキシマランプ５一方の端部（点線で丸く囲まれた箇所）の拡大断面図である。
同図に示すように、エキシマランプ５の放電容器５１の少なくとも一方の端部は、リード保持体５４によって挟持されている。放電容器５１の長手方向の一方の平坦面５１１に形成された一方の外部電極５２は一方のリード５５と、例えば、ろう接（ろう付け、半田付け）手段によって電気的に接続される。電気的に接続された一方のリード５５は、電気絶縁性を有するリード保持部５４Ａ１と放電容器５１の一方の平坦面５１１との間で保持されている。一方、放電容器５１の長手方向の他方の平坦面５１２に形成された他方の外部電極５３は、後述するように、他方のリード５６と、例えば、ろう接（ろう付け、半田付け）手段によって電気的に接続され、リード保持体５４Ａから外部に引き出されている。

図１０は、エキシマランプ５の構成を示す斜視図であり、図１１は図１０に示したエキシマランプ５のＣ−Ｃ切断面から見た断面図、図１２は図１０に示したエキシマランプ５の一方の端部におけるリード保持体５４を取り除いた状態の放電容器５１を示す一部斜視図である。
これらの図に示すように、リード保持体５４Ａは、放電容器５１の一方の平坦面５１１と略平行な平板部分５４Ａ１１と平板部分５４Ａ１１の両端から略直角方向に伸びる突出部分５４Ａ１２とからなる電気絶縁性を有するリード保持部５４Ａ１と、放電容器５１の平坦面５１１，５１２から周方向に向かって拡径する拡径部５１４とリード保持部５４Ａ１の平板部分５４Ａ１１と突出部分５４Ａ１２とで囲まれた無機接着材が充填された領域からなる拡径支持部５４Ａ２とから構成されている。

一方のリード５５は、一方の外部電極５２と半田等によって電気的に接続され、リード保持部５４Ａ１の平板部分５４Ａ１１の溝５４Ａ１３に埋設されて、平板部分５４Ａ１１と放電容器５１の一方の平坦面５１１との間で挟持され、リード保持体５４Ａの外部に引き出される。一方、他方の外部電極５３は、他方の外部電極５３の一部から伸びる外部電極部分５３１が放電容器５１の拡径部５１４まで伸びて形成されており、他方のリード５６が、外部電極部分５３１と半田等によって電気的に接続され、無機接着剤で形成される拡径支持部５４Ａ２内を通ってリード保持体５４Ａの外部に引き出されている。

本実施形態の発明によれば、リード保持体５４Ａのリード保持部５４Ａ１と拡径支持部５４Ａ２とが放電容器５１を挟持することにより、リード保持部５４Ａ１と拡径支持部５４Ａ２とがは放電容器５１に向かって挟持する力が働き、リード保持部５４Ａ１と放電容器５１とに挟まれた一方のリード５５は固定される。つまり、リード保持体５４Ａの一方のリード５５を保持する第１の機能を果たすことができる。さらに、一方のリード５５が柔軟性を有する被覆体で被覆されていると、リード保持部５４５と放電容器５１との間に挟まれた一方のリード５５は、リード保持部５４Ａ１と放電容器５１と接する外面形状が変形される。これにより、リード保持部５４５と一方のリード５５との接触面積が大きくなり、また放電容器５１と一方のリード５５との接触面積が大きくなるので、一方のリード５５が引っ張られる等の外部からの負荷がかかっても、一方のリード５５により接触面積が大きくなっているのでその接触面で摩擦力が働き、一方のリード５５への負荷をその摩擦力で耐えることができる。

また、本実施形態の発明によれば、拡径支持部５４Ａ２は、無機接着剤が充填固化された状態で、リード保持部５４Ａ１と拡径支持部５４Ａ２とが放電容器５１を挟持する。このとき放電容器５１にだけ負荷をかけても、拡径支持部５４Ａ２における無機接着剤が放電容器５１の拡径部５１４に接着していることによって、リード保持体５４Ａと放電容器５１との一体状態が維持される。つまり、リード保持体５４Ａが放電容器５１に固定される第２の機能を果たすことができる。

また、本実施形態の発明によれば、一方の外部電極５２にはランプ点灯時に高周波高電圧が印加される。このため、一方の外部電極５２に給電する一方のリード５５を保持するリード保持部５４Ａ１が電気絶縁性を有する部材で構成されているので、リード保持部５４Ａ１を介した外部電極５２，５３間またはリード５５，５６間での絶縁破壊を防止することができる。つまり、放電容器５１外面における外部電極５２，５３間の絶縁破壊を防止する第３の機能を果たすことができる。

さらに、本実施形態の発明によれば、リード保持体５４Ａは、放電容器５１の他方の平坦面５１２より下部に突出する部分が存在しない。そのため、放電容器５１と被照射物Ｗとはリード保持体５４Ａに係わりなく近接させることができる。つまり、放電容器５１の他方の平坦面５１２（被照射物Ｗと対向する側の面）への突出を抑制する第４の機能を果たすことができる。また、他方の外部電極５３から伸びる外部電極部分５３１が放電容器５１の拡径部５１４に形成され、他方のリード５６と外部電極部分５３１とが、例えば、半田により電気的に接続されるので、放電容器５１の他方の平坦面５１２の下部にあった、従来の他方のリード５６の直径分の距離も無くすことができ、他方の平坦部５１２と被照射物Ｗとの距離を短くすることができる。

本発明の第４の実施形態を図１３ないし図１６を用いて説明する。
図１３は、本実施形態の発明に係り、第３の実施形態における図１１に示したエキシマランプの断面図と対応する、エキシマランプ５の長手方向に直交する切断面から見たリード保持体５４Ｂの構成を示す断面図である。
図１３（ａ）はエキシマランプ５の短手方向の長さがＬ６、エキシマランプ５の厚さがＬ５のときのリード保持体５４Ｂの構成を示す断面図、図１３（ｂ）は、エキシマランプ５の厚さが図１３（ａ）のエキシマランプの厚さＬ５より厚いＬ７のときのリード保持体５４Ｂの構成を示す断面図、図１３（ｃ）は、エキシマランプの短手方向の長さが図１３（ａ）のエキシマランプの短手方向の長さＬ６より長いＬ８のときのリード保持体５４Ｂの構成を示す断面図である。

図１３（ａ）に示すように、リード保持体５４Ｂは、リード保持部５４Ｂ１と拡径支持部５４Ｂ２とから構成され、リード保持部５４Ｂ１は、放電容器５１の一方の平坦面５１１と略平行な平板部分５４Ｂ１１と、この平板部分５４Ｂ１１の両端から略直角方向に伸びる突出部分５４Ｂ１２とから構成されている。拡径支持部５４Ｂ２は、放電容器５１の他方の平坦面５１２と同一面にある底部５４Ｂ２１と、放電容器５１の拡径部５１４と接触し放電容器５１を支持する傾斜面５４Ｂ２２と、リード保持部５４Ｂ１の突出部分５４Ｂ１２の底部５４Ｂ１３と接触する水平面５４Ｂ２３とから構成されている。拡径支持部５４Ｂ２の水平面５４Ｂ２３とリード保持部５４Ｂ１の底部５４Ｂ１３とを接触させ、両者を螺合体（ボルト）５４３によって螺合することによって、放電容器５１を挟持する。
図１３（ｂ）は、図１３（ａ）に示した放電容器５１と短手方向の長さＬ６は同じであるが、放電容器５１の厚さＬ５より厚いＬ７の場合のリード保持体５４Ｂの状態を示す図である。この場合は、拡径支持部５４Ｂ２とリード保持部５４Ｂ１との螺合に際し、螺合体（ボルト）５４３による螺合量を調節する。結果として、拡径支持部５４Ｂ２の水平面５４Ｂ２３とリード保持部５４Ｂ１の底部５４Ｂ１３とは間隔を空けて螺合され、放電容器５１を挟持することができる。
図１３（ｃ）は、図１３（ａ）に示した放電容器５１の厚さＬ５は同じであるが、放電容器５１の短手方向の長さＬ６より長いＬ８の場合のリード保持体５４Ｂの状態を示す図である。この場合は、拡径支持部５４Ｂ２とリード保持部５４Ｂ１との螺合に際し、螺合体（ボルト）５４３による螺合量を調節する。結果として、拡径支持部５４Ｂ２の水平面５４Ｂ２３とリード保持部５４Ｂ１の底部５４Ｂ１３とは間隔を空けて、放電容器５１の他方の平坦面５１２より拡径支持部５４Ｂ２の底部５４Ｂ２１が下方にはみ出した状態で螺合され、放電容器５１を挟持する。

これらの図において、一方の外部電極５２と電気的に接続された一方のリード５５は、リード保持部５４Ｂ１の平板部分５４Ｂ１１の溝５４Ｂ１４に埋設されて、平板部分５４Ｂ１１と放電容器５１の一方の平坦面５１１との間で挟持され、リード保持体５４Ｂの外部に引き出される。他方の外部電極５３は、例えば、図１２に示したように、他方の外部電極５３から伸びる外部電極部分５３１を放電容器５１の拡径部５１４に形成し、拡径支持部５４Ｂ２を金属材料で構成することにより、外部電極部分５３１と拡径支持部５４Ｂ２とを当接させて電気的接続を図り、拡径支持部５４Ｂ２から他方のリード５６を、例えば、半田により電気的に接続することにより、他方のリード５６はリード保持体５４Ｂの外部に引き出される。このように構成することにより、放電容器５１の他方の平坦面５１２の下部にあった、従来の他方のリード５６の直径分の距離も無くすことができ、他方の平坦部５１２と被照射物Ｗとの距離を短くすることができる。

本実施形態の発明によれば、リード保持体５４のリード保持部５４Ｂ１と拡径支持部５４Ｂ２とが放電容器５１を挟持することにより、拡径支持部５４Ｂ２は放電容器５１に向かって力が働き、リード保持部５４Ｂ１と放電容器５１とに挟まれた一方のリード５５は固定され、先に述べた、リード保持体５４Ｂの一方のリード５５を保持する第１の機能を果たすことができる。

また、本実施形態の発明によれば、拡径支持部５４Ｂ２の傾斜面５４Ｂ２２と放電容器５１の拡径部５１４とが接触した状態で、リード保持部５４Ｂ１と拡径支持部５４Ｂ２とが放電容器５１を挟持する。このとき放電容器５１にだけ負荷がかけられても、拡径支持部５４Ｂ２との接触により、互いの当接面で摩擦力が働き、リード保持体５４Ｂと放電容器５１との一体状態が維持され、先に述べた、リード保持体５４Ｂが放電容器５１に固定される第２の機能を果たすことができる。

また、本実施形態の発明によれば、一方の外部電極５２に給電する一方のリード５５を保持するリード保持部５４Ｂ１を電気絶縁性を有する部材で構成することにより、リード保持部５４Ｂ１を介した外部電極５２，５３間またはリード５５，５６間での絶縁破壊を防止することができ、先に述べた、放電容器５１外面における外部電極５２，５３間の絶縁破壊を防止する第３の機能を果たすことができる。

さらに、本実施形態の発明によれば、図１３（ｃ）の場合を除き、リード保持体５４Ｂは、放電容器５１の他方の平坦面５１２より下部に突出する部分が存在しない。そのため、放電容器５１と被照射物Ｗとはリード保持体５４Ｂに係わりなく近接させることができる。つまり、放電容器５１の他方の平坦面５１２（被照射物Ｗと対向する側の面）への突出を抑制する第４の機能を果たすことができる。

図１４は、本実施形態の発明に係わり、図１３に示したリード保持体５４Ｂの変形例１を示すリード保持体５４Ｂの構成を示す断面図である。図１４（ａ）はエキシマランプ５の短手方向の長さがＬ６、エキシマランプ５の厚さがＬ５のときのリード保持体５４Ｂの構成を示す断面図、図１４（ｂ）は、エキシマランプの短手方向の長さが図１４（ａ）のエキシマランプの短手方向の長さＬ６より長いＬ８のときのリード保持体５４Ｂの構成を示す断面図である。

これらの図に示すように、拡径支持部５４Ｂ２において螺合体５４３が螺合される周辺に、螺合体（ボルト）５４３が、螺合方向に対して直角な方向には移動可能であるが、螺合方向には移動できない空隙５４Ｂ２４を設ける。このように構成することにより、図１３（ｃ）において、エキシマランプの短手方向の長さが図１３（ａ）のエキシマランプの短手方向の長さＬ６より長いＬ８のとき、放電容器５１の他方の平坦面５１２より拡径支持部５４Ｂ２の底部５４Ｂ２１が下方にはみ出した状態で螺合されたが、図１４（ｂ）に示すように、螺合体（ボルト）５４３を拡径支持部５４Ｂ２の空隙５４Ｂ２４において放電容器５１の短手方向に移動させて螺合することにより、放電容器５１の他方の平坦面５１２と拡径支持部５４Ｂ２の底部５４Ｂ２１とを同一面の状態に維持することができる。

本実施形態の変形例１の発明によれば、本実施形態の図１３に係わる発明と同様に、第１なし第４の機能を果たすことができる。

図１５は、本実施形態の発明に係わり、図１３に示したリード保持体５４Ｂの変形例２を示すリード保持体５４Ｃの構成を示す断面図である。
図１５（ａ）はエキシマランプ５の短手方向の長さがＬ６、エキシマランプ５の厚さがＬ５のときのリード保持体５４Ｃの構成を示す断面図、図１５（ｂ）は、エキシマランプ５の厚さが図１５（ａ）のエキシマランプ５の厚さＬ５より厚いＬ７のときのリード保持体５４Ｃの構成を示す断面図、図１５（ｃ）は、エキシマランプ５の短手方向の長さが図１５（ａ）のエキシマランプ５の短手方向の長さＬ６より長いＬ８のときのリード保持体５４Ｃの構成を示す断面図である。

図１５（ａ）に示すように、リード保持体５４Ｃは、拡径支持部兼リード保持部５４Ｃ１と拡径支持部５４Ｃ２とから構成され、拡径支持部兼リード保持部５４Ｃ１は、放電容器５１の一方の平坦面５１１と略平行な平板部分５４Ｃ１１と、この平板部分５４Ｃ１１の一端から略直角方向に伸びる突出部分５４Ｃ１２と、この突出部分５４Ｃ１２の一部において放電容器５１の拡径部５１４と接触し放電容器５１を支持する傾斜面５４Ｃ１３とから構成されている。拡径支持部５４Ｃ２は、拡径支持部兼リード保持部５４Ｃ１の平板部分５４Ｃ１１の一端の側面５４Ｃ１４に対向する垂直部分５４Ｃ２１と、この垂直部分５４Ｃ２１の一部において放電容器５１の拡径部５１４と接触し放電容器５１を支持する傾斜面５４Ｃ２２とから構成されている。拡径支持部５４Ｃ２の垂直部分５４Ｃ２１と拡径支持部兼リード保持部５４Ｃ１の平板部分５４Ｃ１１の側面５４Ｃ１４とが接触する方向に、両者を螺合体（ボルト）５４３によって螺合することによって、放電容器５１を挟持する。
図１５（ｂ）は、図１５（ａ）に示した放電容器５１と短手方向の長さＬ６は同じであるが、放電容器５１の厚さＬ５より厚いＬ７の場合のリード保持体５４Ｃの状態を示す図である。この場合は、拡径支持部兼リード保持部５４Ｃ１の側面５４Ｃ１４と拡径支持部５４Ｃ２の垂直部分５４Ｃ２１間の螺合に際し、螺合体（ボルト）５４３による螺合量を調節する。結果として、拡径支持部兼リード保持部５４Ｃ１の側面５４Ｃ１４と拡径支持部５４Ｃ２の垂直部分５４Ｃ２１とは間隔を空けて螺合され、放電容器５１を挟持することができる。
図１５（ｃ）は、図１５（ａ）に示した放電容器５１の厚さＬ５は同じであるが、放電容器５１の短手方向の長さＬ６より長いＬ８の場合のリード保持体５４Ｃの状態を示す図である。この場合も、拡径支持部兼リード保持部５４Ｃ１の側面５４Ｃ１４と拡径支持部５４Ｃ２の垂直部分５４Ｃ２１間の螺合に際し、螺合体（ボルト）５４３による螺合量を調節する。結果として、拡径支持部兼リード保持部５４Ｃ１の側面５４Ｃ１４と拡径支持部５４Ｃ２の垂直部分５４Ｃ２１とは間隔を空けて螺合され、放電容器５１を挟持することができる。

これらの図に示すように、図１５（ｂ）においては、螺合体（ボルト）５４３によって拡径支持部兼リード保持部５４Ｃ１と拡径支持部５４Ｃ２とを螺合することにより、放電容器５１の他方の平坦面５１２と拡径支持部５４Ｃ２の底部５４Ｃ２３が上方に引っ込んだ状態で螺合される。また、図１５（ｃ）に示すように、螺合体（ボルト）５４３によって拡径支持部兼リード保持部５４Ｃ１と拡径支持部５４Ｃ２とを螺合することにより、放電容器５１の他方の平坦面５１２と拡径支持部５４Ｃ２の底部５４Ｃ２３とが同一面の状態で螺合することができる。

本実施形態の変形例２の発明においても、本実施形態の図１３に係わる発明と同様に、第１ないし第４の機能を果たすことができる。

図１６は、本実施形態の発明に係わり、図１３に示したリード保持体５４Ｂの変形例３に係るリード保持体５４Ｂの構成を示す断面図である。
図１６に示すように、放電容器５１Ｂは、放電容器５１Ｂの長手方向に対して直交する切断面が拡径部５１Ｂ２を有する湾曲面５１Ｂ１と平坦面５１Ｂ３とから構成されている。リード保持体５４Ｂは、リード保持部５４Ｂ１と拡径支持部５４Ｂ２とから構成され、リード保持部５４Ｂ１は、放電容器５１Ｂの平坦面５１Ｂ３と略平行な平板部分５４Ｂ１１と、この平板部分５４Ｂ１１の両端から略直角方向に伸びる突出部分５４Ｂ１２とから構成されている。拡径支持部５４Ｂ２は、放電容器５１Ｂの平坦面５１Ｂ３と同一面にある底部５４Ｂ２１と、放電容器５１Ｂの拡径部５１Ｂ２と接触し放電容器５１Ｂを支持する傾斜面５４Ｂ２２と、リード保持部５４Ｂ１の突出部分５４Ｂ１２の底部５４Ｂ１３と接触する方向に対向する水平面５４Ｂ２３とから構成されている。拡径支持部５４Ｂ２の水平面５４Ｂ２３とリード保持部５４Ｂ１の底部５４Ｂ１３とを接触する方向に、両者を螺合体（ボルト）５４３によって螺合することによって、放電容器５１を挟持する。

本実施形態の変形例３の発明においても、本実施形態の図１３に係わる発明と同様に、第１ないし第４の機能を果たすことができる。

本発明の第５の実施形態を図１７を用いて説明する。
図１７は、本実施形態の発明に係るエキシマランプ５の長手方向に沿うチップ管５１Ｃ１を通る切断面から見たエキシマランプ５の一部断面図、図１７（ｂ）は、図１７（ａ）に示したエキシマランプ５のＸ方向から見たエキシマランプ５の側面図、図１７（ｃ）は、図１７（ａ）、（ｂ）に示した放電容器５１Ｃの両端に設けられるリード保持体５４Ｄを除いた状態における放電容器５１Ｃの構成を示す斜視図である。
これらの図に示すように、このエキシマランプ５は、放電容器５１Ｃの両端にチップ管５１Ｃ１が形成されている。このチップ管５１Ｃ１の先端が放電容器５１Ｃの両端から突出しているので、他の物体と衝突して破損のおそれがある。そのため、リード保持体５４Ｄに、リード保持部５４Ｄ１に連続する連接部５４Ｄ２、および連接部５４Ｄ２からチップ管５１Ｃ１の先端を覆うように形成された保護部５４Ｄ３とを設ける。なお、その他の構成は、第３の実施形態の図１１に示したリード保持体５４Ａの構成に対応するので、説明を省略する。また、チップ管５１Ｃ１を用いたエキシマランプ５に適用されるリード保持体５４Ｄとしては、他の実施形態に示したリード保持体５４、５４Ｂ、５４Ｃも適用可能である。

本発明の第６の実施形態を図１８および図１９を用いて説明する。
図１８は、本実施形態の発明に係るエキシマランプ５の長手方向に沿った切断面から見た紫外線照射装置１の構成を示す断面図、図１９は、図１８に示した紫外線照射装置１のＤ−Ｄ切断面から見た紫外線照射装置１の断面図である。
同図に示すように、この紫外線照射装置１は、概略、箱状に構成された筐体４内にエキシマランプ５を備えるランプユニット２（図上方）と、ランプユニット２を載置すると共に被照射物Ｗを搬送する搬送機構３（図下方）とから構成されている。本実施形態の発明は、第１の実施形態の図１に示した紫外線照射装置１に記載の複数のエキシマランプ５と同様に、同一平面上に配置されているが、第１の実施形態の図１に示した紫外線照射装置１とは、複数のエキシマランプ５が、エキシマランプ５の長手方向と直交する方向にあって、互いに長手方向に位置がずれるように配列されている、いわゆる、千鳥足状に配列されている点で相違している。なお、その他の構成は図１に示した同符号の構成に対応するので、説明を省略する。
本実施形態の発明によれば、エキシマランプの長手方向の長さ以上の幅を有する被照射物Ｗに対しても真空紫外線を照射することができる。

第１の実施形態の発明に係るエキシマランプ５の長手方向に沿った切断面から見た紫外線照射装置１の構成を示す断面図である。 図１に示したエキシマランプ５一方の端部（点線で丸く囲まれた箇所）の拡大図である。 エキシマランプ５の構成を示す斜視図である。 図３に示したエキシマランプ５のＡ−Ａ切断面から見た断面図および図３に示したエキシマランプ５のＢ−Ｂ切断面から見た断面図である。 第１の実施形態に係るエキシマランプ５とは放電容器の形状が異なる変形例を示すエキシマランプ５の断面図である。 第２の実施形態の発明に係り、第１の実施形態における図４（ｂ）に示したエキシマランプ５の断面図と対応する、エキシマランプ５の長手方向に対して直交する切断面から見たリード保持体の構成を示す断面図である。 第２の実施形態の変形例の発明に係り、第１の実施形態の図５に示したエキシマランプ５の断面図と対応する、エキシマランプ５の長手方向に対して直交する切断面から見たリード保持体５４の構成を示す断面図である。 第３の実施形態の発明に係るエキシマランプ５の長手方向に沿った切断面から見た紫外線照射装置１の構成を示す断面図である。 図１に示したエキシマランプ５一方の端部（点線で丸く囲まれた箇所）の拡大図である。 エキシマランプ５の構成を示す斜視図である。 図１０に示したエキシマランプ５のＣ−Ｃ切断面から見た断面図である。 図１０に示したエキシマランプ５の一方の端部におけるリード保持体５４を取り除いた状態の放電容器５１を示す一部斜視図である。 第４の実施形態の発明に係り、第３の実施形態における図１１に示したエキシマランプの断面図と対応する、エキシマランプ５の長手方向に直交する切断面から見たリード保持体５４Ｂの構成を示す断面図である。 第４の実施形態の発明に係わり、図１３に示したリード保持体５４Ｂの変形例１を示すリード保持体５４Ｂの構成を示す断面図である。 第４の発明に係わり、図１３に示したリード保持体５４の変形例２を示すリード保持体の構成を示す断面図である。 第４の実施形態の発明に係わり、図１３に示したリード保持体５４の変形例３に係るリード保持体５４Ｂの構成を示す断面図である。 第５の実施形態の発明に係るエキシマランプ５の長手方向に沿うチップ管４１Ｃ１を通る切断面から見たエキシマランプ５の一部断面図である 第６の実施形態の発明に係るエキシマランプ５の長手方向に沿った切断面から見た紫外線照射装置１の構成を示す断面図である。 図１８に示した紫外線照射装置１のＤ−Ｄ切断面から見た紫外線照射装置１の断面図である。 従来技術に係るエキシマランプ１０３の長手方向に対して直交する切断面から見た紫外線照射装置１００の構成を示す断面図である。 図２０に示したＥ−Ｅ切断面から見た紫外線照射装置１００の断面図である。 図２０および図２１に示したエキシマランプ１０３の斜視図である。 図２１に示したエキシマランプ１０３の一方の端部（丸く囲まれた箇所）の拡大断面図である。 図２３に示したＦ−Ｆ切断面から見たエキシマランプ１０３の一方の端部の断面図である。

符号の説明

１ 紫外線照射装置
２ ランプユニット
３ 搬送機構
３１ ローラ
３２ 駆動部
４ 筐体
４１ 隔壁
５ エキシマランプ
５１ 放電容器
５１１ 一方の平坦面
５１２ 他方の平坦面
５１３ 屈曲部（拡径部）
５１４ 拡径部
５１Ａ 放電容器
５１Ａ１ 湾曲面
５１Ａ２ 平坦面
５１Ａ３ 屈曲部（縮径部）
５１Ｂ 放電容器
５１Ｂ１ 湾曲面
５１Ｂ２ 拡径部
５１Ｂ３ 平坦面
５１Ｃ 放電容器
５１Ｃ１ チップ管
５２ 一方の外部電極
５３ 他方の外部電極
５３１ 外部電極部分
５４ リード保持体
５４１ リード保持部
５４１１ 平板部分
５４１２ 突出部分
５４１３ 溝
５４２Ａ 平坦側支持部
５４３ 螺合体（ボルト）
５４Ａ リード保持体
５４Ａ１ リード保持部
５４Ａ１１ 平板部分
５４Ａ１２ 突出部分
５４Ａ１３ 溝
５４Ａ２ 拡径支持部
５４Ｂ リード保持体
５４Ｂ１ リード保持部
５４Ｂ１１ 平板部分
５４Ｂ１２ 突出部分
５４Ｂ１３ 底部
５４Ｂ１４ 溝
５４Ｂ２ 拡径支持部
５４Ｂ２１ 底部
５４Ｂ２２ 傾斜面
５４Ｂ２３ 水平面
５４Ｂ２４ 空隙
５４Ｃ リード保持体
５４Ｃ１ 拡径支持部兼リード保持部
５４Ｃ２ 拡径支持部
５４Ｃ１１ 平板部分
５４Ｃ１２ 突出部分
５４Ｃ１３ 傾斜面
５４Ｃ１４ 側面
５４Ｃ２１ 垂直部分
５４Ｃ２２ 傾斜面
５４Ｃ２３ 底部
５４Ｄ リード保持体
５４Ｄ１ リード保持部
５４Ｄ２ 連接部
５４Ｄ３ 保護部
５５ 第１のリード
５６ 他方のリード
Ｗ 被照射物

Claims (8)

1. 長手方向に伸びる上下両面を有すると共に、内部に発光ガスを封入した放電容器と、前記上下両面のうちの一方の面に設けた一方の外部電極と、前記上下両面のうちの他方の平坦面に設けた他方の外部電極と、前記放電容器の少なくとも一方の端部側に設けたリード保持体と、からなるエキシマランプにおいて、
   前記リード保持体は、電気絶縁性を有するリード保持部と金属薄板からなる平坦支持部とから構成され、前記リード保持部と前記平坦支持部とで前記放電容器を挟持することにより、前記リード保持部は、前記一方の外部電極と電気的に接続された一方のリードを前記放電容器の前記一方の面との間で保持し、前記平坦支持部は、前記他方の外部電極と電気的に接続すると共に、前記放電容器の前記他方の平坦面に当接する、ことを特徴とするエキシマランプ。
2. 長手方向に伸びる上下両面を有し、該上下両面間に形成された湾曲面上に形成された屈曲部または前記上下両面間に形成された屈曲部を有すると共に、内部に発光ガスを封入した放電容器と、前記上下両面のうちの一方の面に設けた一方の外部電極と、前記上下両面のうちの他方の平坦面に設けた他方の外部電極と、前記放電容器の少なくとも一方の端部側に設けたリード保持体と、からなるエキシマランプにおいて、
   前記リード保持体は、電気絶縁性を有するリード保持部と弾性を有する金属薄板からなる平坦側支持部とから構成され、前記リード保持部と前記平坦側支持部とで前記放電容器を挟持することにより、前記リード保持部は、前記一方の外部電極と電気的に接続された一方のリードを前記放電容器の前記一方の面との間で保持し、前記平坦側支持部は、前記他方の外部電極と電気的に接続された他方のリードを前記放電容器の前記他方の平坦面との間で保持した、ことを特徴とするエキシマランプ。
3. 長手方向に伸びる上下両面を有すると共に、内部に発光ガスを封入した放電容器と、前記上下両面のうちの一方の面に設けた一方の外部電極と、前記上下両面のうちの他方の平坦面に設けた他方の外部電極と、前記放電容器の少なくとも一方の端部側に設けたリード保持体と、からなるエキシマランプにおいて、
   前記リード保持体は、電気絶縁性を有するリード保持部と、該リード保持部と前記放電容器との間に充填固化された接着材からなる拡径支持部とから構成され、前記リード保持部と前記放電容器との間に接着材が充填固化されることにより、前記リード保持部は、前記一方の外部電極と電気的に接続された一方のリードを前記放電容器の前記一方の面との間で保持し、前記拡径支持部は、前記他方の外部電極から放電容器の側面に形成された拡径部まで連続して伸びる外部電極部分と電気的に接続された他方のリードを当該拡径支持部内で保持した、ことを特徴とするエキシマランプ。
4. 長手方向に伸びる上下両面を有すると共に、内部に発光ガスを封入した放電容器と、前記上下両面のうちの一方の面に設けた一方の外部電極と、前上下両面のうちの他方の面に設けた他方の外部電極と、前記放電容器の少なくとも一方の端部側に設けたリード保持体と、からなるエキシマランプにおいて、
   前記放電容器は、前記両面間の側面に拡径部が形成され、前記リード保持体は、電気絶縁性を有するリード保持部と拡径支持部とから構成され、前記リード保持部と前記拡径支持部とで前記放電容器を挟持することにより、前記リード保持部は、前記一方の外部電極と電気的に接続された一方のリードを前記放電容器の前記一方の面との間で保持し、前記拡径支持部は、前記放電容器の前記拡径部と当接する、ことを特徴とするエキシマランプ。
5. 前記他方の外部電極が前記放電容器の拡径部まで連続して伸びる外部電極部分を有し、前記拡径支持部は金属材料で構成され、前記リード保持部と前記拡径支持部とで前記放電容器を挟持することにより、前記放電容器の外部電極部分と前記拡径支持部とが電気的接続が図られることを特徴とする請求項４に記載のエキシマランプ。
6. 前記放電容器は、該放電容器の端壁部から突出するチップ管を有し、前記リード保持体は、リード保持部にチップ管の管軸方向に伸びる連接部と、該連接部からチップ管の長手方向の外方に設けた保護部とを有することを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか１つの請求項に記載のエキシマランプ。
7. エキシマランプと、該エキシマランプを保持した一面開口の筐体と、からなるランプユニットにおいて、
   前記エキシマランプが、請求項１ないし請求項６のいずれか１つの請求項に記載の１つまたは複数のエキシマランプであって、該エキシマランプの平坦面が、前記筐体の開口に位置する被照射物の被照射面と平行に配置されていることを特徴とするランプユニット。
8. エキシマランプと、該エキシマランプの保持した一面開口の筐体と、からなるランプユニットにおいて、
   前記エキシマランプが、請求項１ないし請求項６のいずれか１つの請求項に記載の複数のエキシマランプであって、該エキシマランプが、該エキシマランプの長手方向と直交する方向にあって、前記各エキシマランプの平坦面が同一平面上に配置されていることを特徴とするランプユニット。

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