JP5146061B2 - エキシマランプおよびこれを備えたランプユニット - Google Patents
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Description
これらの図に示すように、紫外線照射装置100は、概略、箱状に構成された筐体内104にエキシマランプ103を備えたランプユニット101(図上方)と、ランプユニット101を載置すると共に被照射物Wを搬送する搬送機構102(図下方)とから構成されている。
これらの図に示すように、エキシマランプ103は、略直方体の放電容器105を備え、その長手方向に対して垂直方向の断面が長方形であり、放電容器105の上下両面には放電容器の長手方向に沿って延びるように網状の一方の外部電極106および他方の外部電極107が設けられている。放電容器105の両端には、一方の外部電極106および他方の外部電極107に各々接続された一方のリード114および他方のリード115を保持するリード保持体112が設けられ、リード保持体112から一方のリード114および他方のリード115が引き出されている。
第1の手段は、長手方向に伸びる上下両面を有すると共に、内部に発光ガスを封入した放電容器と、前記上下両面のうちの一方の面に設けた一方の外部電極と、前記上下両面のうちの他方の平坦面に設けた他方の外部電極と、前記放電容器の少なくとも一方の端部側に設けたリード保持体と、からなるエキシマランプにおいて、前記リード保持体は、電気絶縁性を有するリード保持部と金属薄板からなる平坦支持部とから構成され、前記リード保持部と前記平坦支持部とで前記放電容器を挟持することにより、前記リード保持部は、前記一方の外部電極と電気的に接続された一方のリードを前記放電容器の前記一方の面との間で保持し、前記平坦支持部は、前記他方の外部電極と電気的に接続すると共に、前記放電容器の前記他方の平坦面に当接する、ことを特徴とするエキシマランプである。
第2の手段は、長手方向に伸びる上下両面を有し、該上下両面間に形成された湾曲面上に形成された屈曲部または前記上下両面間に形成された屈曲部を有すると共に、内部に発光ガスを封入した放電容器と、前記上下両面のうちの一方の面に設けた一方の外部電極と、前記上下両面のうちの他方の平坦面に設けた他方の外部電極と、前記放電容器の少なくとも一方の端部側に設けたリード保持体と、からなるエキシマランプにおいて、前記リード保持体は、電気絶縁性を有するリード保持部と弾性を有する金属薄板からなる平坦側支持部とから構成され、前記リード保持部と前記平坦側支持部とで前記放電容器を挟持することにより、前記リード保持部は、前記一方の外部電極と電気的に接続された一方のリードを前記放電容器の前記一方の面との間で保持し、前記平坦側支持部は、前記他方の外部電極と電気的に接続された他方のリードを前記放電容器の前記他方の平坦面との間で保持した、ことを特徴とするエキシマランプである。
第3の手段は、長手方向に伸びる上下両面を有すると共に、内部に発光ガスを封入した放電容器と、前記上下両面のうちの一方の面に設けた一方の外部電極と、前記上下両面のうちの他方の平坦面に設けた他方の外部電極と、前記放電容器の少なくとも一方の端部側に設けたリード保持体と、からなるエキシマランプにおいて、前記リード保持体は、電気絶縁性を有するリード保持部と、該リード保持部と前記放電容器との間に充填固化された接着材からなる拡径支持部とから構成され、前記リード保持部と前記放電容器との間に接着材が充填固化されることにより、前記リード保持部は、前記一方の外部電極と電気的に接続された一方のリードを前記放電容器の前記一方の面との間で保持し、前記拡径支持部は、前記他方の外部電極から放電容器の側面に形成された拡径部まで連続して伸びる外部電極部分と電気的に接続された他方のリードを当該拡径支持部内で保持した、ことを特徴とするエキシマランプである。
第4の手段は、長手方向に伸びる上下両面を有すると共に、内部に発光ガスを封入した放電容器と、前記上下両面のうちの一方の面に設けた一方の外部電極と、前上下両面のうちの他方の平坦面に設けた他方の外部電極と、前記放電容器の少なくとも一方の端部側に設けたリード保持体と、からなるエキシマランプにおいて、前記放電容器は、前記両面間の側面に拡径部が形成され、前記リード保持体は、電気絶縁性を有するリード保持部と拡径支持部とから構成され、前記リード保持部と前記拡径支持部とで前記放電容器を挟持することにより、前記リード保持部は、前記一方の外部電極と電気的に接続された一方のリードを前記放電容器の前記一方の面との間で保持し、前記拡径支持部は、前記放電容器の前記拡径部と当接する、ことを特徴とするエキシマランプである。
第5の手段は、第4の手段において、前記他方の外部電極が前記放電容器の拡径部まで連続して伸びる外部電極部分を有し、前記拡径支持部は金属材料で構成され、前記リード保持部と前記拡径支持部とで前記放電容器を挟持することにより、前記放電容器の外部電極部分と前記拡径支持部とが電気的接続が図られることを特徴とするエキシマランプである。
第6の手段は、第1の手段ないし第5の手段のいずれか1つの手段において、前記放電容器は、該放電容器の端壁部から突出するチップ管を有し、前記リード保持体は、リード保持部にチップ管の管軸方向に伸びる連接部と、該連接部からチップ管の長手方向の外方に設けた保護部とを有することを特徴とするエキシマランプである。
第7の手段は、エキシマランプと、該エキシマランプを保持した一面開口の筐体と、からなるランプユニットにおいて、前記エキシマランプが、第1の手段ないし第6の手段のいずれか1つの手段に記載の1つまたは複数のエキシマランプであって、該エキシマランプの平坦面が、前記筐体の開口に位置する被照射物の被照射面と平行に配置されていることを特徴とするランプユニットである。
第8の手段は、エキシマランプと、該エキシマランプの保持した一面開口の筐体と、からなるランプユニットにおいて、前記エキシマランプが、第1の手段ないし第6の手段のいずれか1つの手段に記載の複数のエキシマランプであって、該複数のエキシマランプが、該エキシマランプの長手方向と直交する方向に並列に配列されており、かつ、前記各エキシマランプの平坦面が同一平面上に配置されていることを特徴とするランプユニット。
第9の手段は、エキシマランプと、該エキシマランプの保持した一面開口の筐体と、からなるランプユニットにおいて、前記エキシマランプが、第1の手段ないし第6の手段のいずれか1つの手段に記載の複数のエキシマランプであって、該複数のエキシマランプが、該エキシマランプの長手方向と直交する方向にあって、互いに長手方向に位置がずれるように配列され、かつ、前記各エキシマランプの平坦面が同一平面上に配置されていることを特徴とするランプユニット。
請求項3に記載の発明によれば、第1に、エキシマランプの外部電極に接続されたリードを放電容器とリード保持体との間に設けて、リードを放電容器とリード保持体との間で圧接して保持することが可能となる。また、第2に、リード保持体が放電容器の外面に固定されることが可能となる。また、第3に、リードに当接するリード保持部が電気絶縁性を有する部材で構成されることにより、放電容器の外面における外部電極間の沿面放電を防止することができる。また、第4に、拡径支持部に接着剤を用いたので、放電容器の下部平坦面よりリード保持体が突出する箇所がなくなり、エキシマランプと被照射物との近接配置が可能となる。
請求項4および請求項5に記載の発明によれば、第1に、エキシマランプの外部電極に接続されたリードを放電容器とリード保持体との間に設けて、リードを放電容器とリード保持体との間で圧接して保持することが可能となる。また、第2に、リード保持体が放電容器の外面に固定されることが可能となる。また、第3に、リードに当接するリード保持部が電気絶縁性を有する部材で構成されることにより、放電容器の外面における外部電極間の沿面放電を防止することができる。また、第4に、拡径支持部で放電容器の拡径部を当接させたので、放電容器の下部平坦面よりリード保持体が突出する箇所がなくなり、エキシマランプと被照射物との近接配置が可能となる。
請求項6に記載の発明によれば、リード保持体によってチップ管を保護し、チップ管の損傷を防止することができる。
請求項7に記載の発明によれば、エキシマランプと被照射物との近接配置が可能なランプユニットを実現することができる。
請求項8および請求項9に記載の発明によれば、エキシマランプと被照射物との近接配置が可能となると共に、エキシマランプの長手方向の長さ以上の幅を有する被照射物Wに対しても真空紫外線を照射することのできるランプユニットを実現することができる。
図1は、本実施形態の発明に係るエキシマランプ5の長手方向に沿った切断面から見た紫外線照射装置1の構成を示す断面図である。
同図に示すように、この紫外線照射装置1は、概略、箱状に構成された筐体4内に1つまたは複数のエキシマランプ5を備えるランプユニット2(図上方)と、ランプユニット2を載置すると共に被照射物Wを搬送する搬送機構3(図下方)とから構成されている。
同図に示すように、エキシマランプ5の、例えば、石英ガラスからなる放電容器51の少なくとも一方の端部は、リード保持体54によって挟持されている。放電容器51の長手方向の一方の平坦面511に形成された一方の外部電極52は、一方のリード55と、例えば、ろう接(ろう付け、半田付け)手段によって電気的に接続されている。電気的に接続された一方のリード55は、電気絶縁性を有するリード保持部541と放電容器51の一方の平坦面511との間で保持される。一方、放電容器51の長手方向の他方の平坦面512に形成された他方の外部電極53は、例えば、厚さが0.1mm〜5mm、好ましくは0.1mm〜1.5mmの金属薄板からなる平坦支持部542と接触され、電気的に接続されている。なお、外部電極52、53は、例えば、金と低融点ガラスとを混合した導電性ペーストを放電容器51の外面に塗布して焼成することによって形成される。
これらの図に示すように、リード保持体54のリード保持部541は、放電容器51の一方の平坦面511と略平行な平板部分5411と、平板部分5411の両端から略直角方向に伸びる突出部分5412とから構成されている。リード保持体54の平坦支持部542は、放電容器51の他方の平坦面512と略平行な平板部分5421と、平板部分5421の両端から略直角方向に伸びる突出部分5422とから構成されている。リード保持部541の突出部分5412と平坦支持部542の突出部分5422は、軸部5431と頭部5432とからなる螺合体(ボルト)543によって螺合され、放電容器51を挟持している。
同図に示すように、このエキシマランプ5においては、放電容器51Aは、底面が平坦面51A2で形成され、上面が湾曲面51A1で形成されている。一方のリード55は、リード保持部541の平板部分5411に設けた溝5413に埋設され、リード保持部541の平板部分5411と放電容器51Aの湾曲面51A1の頂点との間で挟持される。放電容器51Aの平坦面51A2は平坦支持部542と当接される。その他の構成は、図4(b)に示したエキシマランプ5の同符号の構成に対応するので説明を省略する。
この変形例に係るエキシマランプ5においても、図4(b)に示したエキシマランプ5と同様に、先に述べた、リード保持体54は、第1ないし第4の機能を果たすことができる。
図6は、本実施形態の発明に係り、第1の実施形態における図4(b)に示したエキシマランプの断面図と対応する、エキシマランプ5の長手方向に対して直交する切断面から見たリード保持体54の構成を示す断面図、図7は、本実施形態の変形例の発明に係り、第1の実施形態の図5に示したエキシマランプの断面図と対応する、エキシマランプ5の長手方向に対して直交する切断面から見たリード保持体54の構成を示す断面図である。
図6に示すエキシマランプ5においては、放電容器51の他方の平坦面512から伸びる屈曲部(拡径部)513が、弾性を有する金属薄板で形成された平坦側支持部542Aと一部接触するように設けられる。また、図7に示すエキシマランプ5においては、放電容器51Aの長手方向に対して直交する切断面が湾曲面51A1と平坦面51A2とから構成されており、放電容器51Aの湾曲面51A1と平坦面51A2との境目に形成される屈曲部(縮径部)51A3が、弾性を有する金属薄板で形成された平坦側支持部542Aと点接触するように設けられる。なお、図6および図7のその他の構成は図4(b)に示したエキシマランプ5の同符号の構成に対応するので、説明を省略する。
図8は、本実施形態の発明に係るエキシマランプの長手方向に沿った切断面から見た紫外線照射装置1の構成を示す断面図である。
同図に示すように、この紫外線照射装置1は、概略、箱状に構成された筐体4内に1つまたは複数のエキシマランプ5を備えるランプユニット2(図上方)と、ランプユニット2を載置すると共に被照射物Wを搬送する搬送機構3(図下方)とから構成されている。なお、その他の構成は、リード保持体54Aの構成を除いて、図1に示した同符号の構成に対応するので説明を省略する。
同図に示すように、エキシマランプ5の放電容器51の少なくとも一方の端部は、リード保持体54によって挟持されている。放電容器51の長手方向の一方の平坦面511に形成された一方の外部電極52は一方のリード55と、例えば、ろう接(ろう付け、半田付け)手段によって電気的に接続される。電気的に接続された一方のリード55は、電気絶縁性を有するリード保持部54A1と放電容器51の一方の平坦面511との間で保持されている。一方、放電容器51の長手方向の他方の平坦面512に形成された他方の外部電極53は、後述するように、他方のリード56と、例えば、ろう接(ろう付け、半田付け)手段によって電気的に接続され、リード保持体54Aから外部に引き出されている。
これらの図に示すように、リード保持体54Aは、放電容器51の一方の平坦面511と略平行な平板部分54A11と平板部分54A11の両端から略直角方向に伸びる突出部分54A12とからなる電気絶縁性を有するリード保持部54A1と、放電容器51の平坦面511,512から周方向に向かって拡径する拡径部514とリード保持部54A1の平板部分54A11と突出部分54A12とで囲まれた無機接着材が充填された領域からなる拡径支持部54A2とから構成されている。
図13は、本実施形態の発明に係り、第3の実施形態における図11に示したエキシマランプの断面図と対応する、エキシマランプ5の長手方向に直交する切断面から見たリード保持体54Bの構成を示す断面図である。
図13(a)はエキシマランプ5の短手方向の長さがL6、エキシマランプ5の厚さがL5のときのリード保持体54Bの構成を示す断面図、図13(b)は、エキシマランプ5の厚さが図13(a)のエキシマランプの厚さL5より厚いL7のときのリード保持体54Bの構成を示す断面図、図13(c)は、エキシマランプの短手方向の長さが図13(a)のエキシマランプの短手方向の長さL6より長いL8のときのリード保持体54Bの構成を示す断面図である。
図13(b)は、図13(a)に示した放電容器51と短手方向の長さL6は同じであるが、放電容器51の厚さL5より厚いL7の場合のリード保持体54Bの状態を示す図である。この場合は、拡径支持部54B2とリード保持部54B1との螺合に際し、螺合体(ボルト)543による螺合量を調節する。結果として、拡径支持部54B2の水平面54B23とリード保持部54B1の底部54B13とは間隔を空けて螺合され、放電容器51を挟持することができる。
図13(c)は、図13(a)に示した放電容器51の厚さL5は同じであるが、放電容器51の短手方向の長さL6より長いL8の場合のリード保持体54Bの状態を示す図である。この場合は、拡径支持部54B2とリード保持部54B1との螺合に際し、螺合体(ボルト)543による螺合量を調節する。結果として、拡径支持部54B2の水平面54B23とリード保持部54B1の底部54B13とは間隔を空けて、放電容器51の他方の平坦面512より拡径支持部54B2の底部54B21が下方にはみ出した状態で螺合され、放電容器51を挟持する。
図15(a)はエキシマランプ5の短手方向の長さがL6、エキシマランプ5の厚さがL5のときのリード保持体54Cの構成を示す断面図、図15(b)は、エキシマランプ5の厚さが図15(a)のエキシマランプ5の厚さL5より厚いL7のときのリード保持体54Cの構成を示す断面図、図15(c)は、エキシマランプ5の短手方向の長さが図15(a)のエキシマランプ5の短手方向の長さL6より長いL8のときのリード保持体54Cの構成を示す断面図である。
図15(b)は、図15(a)に示した放電容器51と短手方向の長さL6は同じであるが、放電容器51の厚さL5より厚いL7の場合のリード保持体54Cの状態を示す図である。この場合は、拡径支持部兼リード保持部54C1の側面54C14と拡径支持部54C2の垂直部分54C21間の螺合に際し、螺合体(ボルト)543による螺合量を調節する。結果として、拡径支持部兼リード保持部54C1の側面54C14と拡径支持部54C2の垂直部分54C21とは間隔を空けて螺合され、放電容器51を挟持することができる。
図15(c)は、図15(a)に示した放電容器51の厚さL5は同じであるが、放電容器51の短手方向の長さL6より長いL8の場合のリード保持体54Cの状態を示す図である。この場合も、拡径支持部兼リード保持部54C1の側面54C14と拡径支持部54C2の垂直部分54C21間の螺合に際し、螺合体(ボルト)543による螺合量を調節する。結果として、拡径支持部兼リード保持部54C1の側面54C14と拡径支持部54C2の垂直部分54C21とは間隔を空けて螺合され、放電容器51を挟持することができる。
図16に示すように、放電容器51Bは、放電容器51Bの長手方向に対して直交する切断面が拡径部51B2を有する湾曲面51B1と平坦面51B3とから構成されている。リード保持体54Bは、リード保持部54B1と拡径支持部54B2とから構成され、リード保持部54B1は、放電容器51Bの平坦面51B3と略平行な平板部分54B11と、この平板部分54B11の両端から略直角方向に伸びる突出部分54B12とから構成されている。拡径支持部54B2は、放電容器51Bの平坦面51B3と同一面にある底部54B21と、放電容器51Bの拡径部51B2と接触し放電容器51Bを支持する傾斜面54B22と、リード保持部54B1の突出部分54B12の底部54B13と接触する方向に対向する水平面54B23とから構成されている。拡径支持部54B2の水平面54B23とリード保持部54B1の底部54B13とを接触する方向に、両者を螺合体(ボルト)543によって螺合することによって、放電容器51を挟持する。
図17は、本実施形態の発明に係るエキシマランプ5の長手方向に沿うチップ管51C1を通る切断面から見たエキシマランプ5の一部断面図、図17(b)は、図17(a)に示したエキシマランプ5のX方向から見たエキシマランプ5の側面図、図17(c)は、図17(a)、(b)に示した放電容器51Cの両端に設けられるリード保持体54Dを除いた状態における放電容器51Cの構成を示す斜視図である。
これらの図に示すように、このエキシマランプ5は、放電容器51Cの両端にチップ管51C1が形成されている。このチップ管51C1の先端が放電容器51Cの両端から突出しているので、他の物体と衝突して破損のおそれがある。そのため、リード保持体54Dに、リード保持部54D1に連続する連接部54D2、および連接部54D2からチップ管51C1の先端を覆うように形成された保護部54D3とを設ける。なお、その他の構成は、第3の実施形態の図11に示したリード保持体54Aの構成に対応するので、説明を省略する。また、チップ管51C1を用いたエキシマランプ5に適用されるリード保持体54Dとしては、他の実施形態に示したリード保持体54、54B、54Cも適用可能である。
図18は、本実施形態の発明に係るエキシマランプ5の長手方向に沿った切断面から見た紫外線照射装置1の構成を示す断面図、図19は、図18に示した紫外線照射装置1のD−D切断面から見た紫外線照射装置1の断面図である。
同図に示すように、この紫外線照射装置1は、概略、箱状に構成された筐体4内にエキシマランプ5を備えるランプユニット2(図上方)と、ランプユニット2を載置すると共に被照射物Wを搬送する搬送機構3(図下方)とから構成されている。本実施形態の発明は、第1の実施形態の図1に示した紫外線照射装置1に記載の複数のエキシマランプ5と同様に、同一平面上に配置されているが、第1の実施形態の図1に示した紫外線照射装置1とは、複数のエキシマランプ5が、エキシマランプ5の長手方向と直交する方向にあって、互いに長手方向に位置がずれるように配列されている、いわゆる、千鳥足状に配列されている点で相違している。なお、その他の構成は図1に示した同符号の構成に対応するので、説明を省略する。
本実施形態の発明によれば、エキシマランプの長手方向の長さ以上の幅を有する被照射物Wに対しても真空紫外線を照射することができる。
2 ランプユニット
3 搬送機構
31 ローラ
32 駆動部
4 筐体
41 隔壁
5 エキシマランプ
51 放電容器
511 一方の平坦面
512 他方の平坦面
513 屈曲部(拡径部)
514 拡径部
51A 放電容器
51A1 湾曲面
51A2 平坦面
51A3 屈曲部(縮径部)
51B 放電容器
51B1 湾曲面
51B2 拡径部
51B3 平坦面
51C 放電容器
51C1 チップ管
52 一方の外部電極
53 他方の外部電極
531 外部電極部分
54 リード保持体
541 リード保持部
5411 平板部分
5412 突出部分
5413 溝
542A 平坦側支持部
543 螺合体(ボルト)
54A リード保持体
54A1 リード保持部
54A11 平板部分
54A12 突出部分
54A13 溝
54A2 拡径支持部
54B リード保持体
54B1 リード保持部
54B11 平板部分
54B12 突出部分
54B13 底部
54B14 溝
54B2 拡径支持部
54B21 底部
54B22 傾斜面
54B23 水平面
54B24 空隙
54C リード保持体
54C1 拡径支持部兼リード保持部
54C2 拡径支持部
54C11 平板部分
54C12 突出部分
54C13 傾斜面
54C14 側面
54C21 垂直部分
54C22 傾斜面
54C23 底部
54D リード保持体
54D1 リード保持部
54D2 連接部
54D3 保護部
55 第1のリード
56 他方のリード
W 被照射物
Claims (9)
- 長手方向に伸びる上下両面を有すると共に、内部に発光ガスを封入した放電容器と、前記上下両面のうちの一方の面に設けた一方の外部電極と、前記上下両面のうちの他方の平坦面に設けた他方の外部電極と、前記放電容器の少なくとも一方の端部側に設けたリード保持体と、からなるエキシマランプにおいて、
前記リード保持体は、電気絶縁性を有するリード保持部と金属薄板からなる平坦支持部とから構成され、前記リード保持部と前記平坦支持部とで前記放電容器を挟持することにより、前記リード保持部は、前記一方の外部電極と電気的に接続された一方のリードを前記放電容器の前記一方の面との間で保持し、前記平坦支持部は、前記他方の外部電極と電気的に接続すると共に、前記放電容器の前記他方の平坦面に当接する、ことを特徴とするエキシマランプ。 - 長手方向に伸びる上下両面を有し、該上下両面間に形成された湾曲面上に形成された屈曲部または前記上下両面間に形成された屈曲部を有すると共に、内部に発光ガスを封入した放電容器と、前記上下両面のうちの一方の面に設けた一方の外部電極と、前記上下両面のうちの他方の平坦面に設けた他方の外部電極と、前記放電容器の少なくとも一方の端部側に設けたリード保持体と、からなるエキシマランプにおいて、
前記リード保持体は、電気絶縁性を有するリード保持部と弾性を有する金属薄板からなる平坦側支持部とから構成され、前記リード保持部と前記平坦側支持部とで前記放電容器を挟持することにより、前記リード保持部は、前記一方の外部電極と電気的に接続された一方のリードを前記放電容器の前記一方の面との間で保持し、前記平坦側支持部は、前記他方の外部電極と電気的に接続された他方のリードを前記放電容器の前記他方の平坦面との間で保持した、ことを特徴とするエキシマランプ。 - 長手方向に伸びる上下両面を有すると共に、内部に発光ガスを封入した放電容器と、前記上下両面のうちの一方の面に設けた一方の外部電極と、前記上下両面のうちの他方の平坦面に設けた他方の外部電極と、前記放電容器の少なくとも一方の端部側に設けたリード保持体と、からなるエキシマランプにおいて、
前記リード保持体は、電気絶縁性を有するリード保持部と、該リード保持部と前記放電容器との間に充填固化された接着材からなる拡径支持部とから構成され、前記リード保持部と前記放電容器との間に接着材が充填固化されることにより、前記リード保持部は、前記一方の外部電極と電気的に接続された一方のリードを前記放電容器の前記一方の面との間で保持し、前記拡径支持部は、前記他方の外部電極から放電容器の側面に形成された拡径部まで連続して伸びる外部電極部分と電気的に接続された他方のリードを当該拡径支持部内で保持した、ことを特徴とするエキシマランプ。 - 長手方向に伸びる上下両面を有すると共に、内部に発光ガスを封入した放電容器と、前記上下両面のうちの一方の面に設けた一方の外部電極と、前上下両面のうちの他方の平坦面に設けた他方の外部電極と、前記放電容器の少なくとも一方の端部側に設けたリード保持体と、からなるエキシマランプにおいて、
前記放電容器は、前記両面間の側面に拡径部が形成され、前記リード保持体は、電気絶縁性を有するリード保持部と拡径支持部とから構成され、前記リード保持部と前記拡径支持部とで前記放電容器を挟持することにより、前記リード保持部は、前記一方の外部電極と電気的に接続された一方のリードを前記放電容器の前記一方の面との間で保持し、前記拡径支持部は、前記放電容器の前記拡径部と当接する、ことを特徴とするエキシマランプ。 - 前記他方の外部電極が前記放電容器の拡径部まで連続して伸びる外部電極部分を有し、前記拡径支持部は金属材料で構成され、前記リード保持部と前記拡径支持部とで前記放電容器を挟持することにより、前記放電容器の外部電極部分と前記拡径支持部とが電気的接続が図られることを特徴とする請求項4に記載のエキシマランプ。
- 前記放電容器は、該放電容器の端壁部から突出するチップ管を有し、前記リード保持体は、リード保持部にチップ管の管軸方向に伸びる連接部と、該連接部からチップ管の長手方向の外方に設けた保護部とを有することを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれか1つの請求項に記載のエキシマランプ。
- エキシマランプと、該エキシマランプを保持した一面開口の筐体と、からなるランプユニットにおいて、
前記エキシマランプが、請求項1ないし請求項6のいずれか1つの請求項に記載の1つまたは複数のエキシマランプであって、該エキシマランプの平坦面が、前記筐体の開口に位置する被照射物の被照射面と平行に配置されていることを特徴とするランプユニット。 - エキシマランプと、該エキシマランプの保持した一面開口の筐体と、からなるランプユニットにおいて、
前記エキシマランプが、請求項1ないし請求項6のいずれか1つの請求項に記載の複数のエキシマランプであって、該複数のエキシマランプが、該エキシマランプの長手方向と直交する方向に並列に配列されており、かつ、前記各エキシマランプの平坦面が同一平面上に配置されていることを特徴とするランプユニット。 - エキシマランプと、該エキシマランプの保持した一面開口の筐体と、からなるランプユニットにおいて、
前記エキシマランプが、請求項1ないし請求項6のいずれか1つの請求項に記載の複数のエキシマランプであって、該複数のエキシマランプが、該エキシマランプの長手方向と直交する方向にあって、互いに長手方向に位置がずれるように配列され、かつ、前記各エキシマランプの平坦面が同一平面上に配置されていることを特徴とするランプユニット。
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