WO2012077593A1 - フラッシュランプ及びフラッシュランプ発光装置 - Google Patents

フラッシュランプ及びフラッシュランプ発光装置 Download PDF

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岳彦 横森
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ウシオ電機株式会社
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    • H01L21/67098—Apparatus for thermal treatment
    • H01L21/67115—Apparatus for thermal treatment mainly by radiation

Definitions

  • the present invention relates to a flash lamp and a flash lamp light emitting device, and more particularly to a flash lamp and a flash lamp light emitting device used for polycrystallizing an amorphous silicon film on a glass substrate.
  • Patent Document 1 Japanese Patent Laid-Open No. 2003-209054
  • TFT polycrystalline silicon thin film transistor
  • Patent Document 2 discloses a specific configuration of a flash lamp and a power feeding device for causing the flash lamp to emit light.
  • the glass substrate is warped if the polycrystalline silicon layer is thick.
  • the thickness of this polycrystalline silicon layer is determined by the pulse width of the flash lamp. For example, if the pulse width is long, the temperature rises to a deep part of the amorphous silicon, resulting in the formation of a thick polycrystalline silicon layer. Will be. Since the glass substrate is warped when the polycrystalline silicon layer is thick, it is preferable that the pulse width of the flash lamp be short.
  • the pulse width is increased.
  • the light emission length between the electrodes is inevitably increased as the flash lamp is lengthened.
  • time constant restrictions and a large charging voltage are required. Therefore, if this was to be realized, it would become a very large device and was not realistic.
  • FIG. 16 a general structure of a flash lamp is shown in FIG. 16, and the flash lamp 100 has electrodes 102 and 103 at both ends of an arc tube 101, A trigger electrode 104 is disposed along the arc tube 101, and the trigger electrode 104 is connected to the trigger circuit 105.
  • An object of the present invention is to provide a flash lamp and a flash lamp light emitting device having a structure capable of reducing a charging voltage while suppressing an increase in pulse width even when the flash lamp is lengthened.
  • the flash lamp according to the present invention has a third electrode disposed at an intermediate portion of the arc tube in which the first electrode and the second electrode are disposed at both ends and adjacent to each other. It is characterized by flash discharge individually and simultaneously between all electrodes.
  • at least the third electrode is arranged in a branch pipe formed by branching from the arc tube.
  • the third electrode may be disposed at a position where a tip of the third electrode is retracted from the inside of the arc tube.
  • a plurality of the third electrodes are disposed along the longitudinal direction of the arc tube.
  • the arc tube and the branch tube are made of a quartz glass material, and are formed by welding the branch tube and the arc tube.
  • the arc tube is made of a translucent ceramic material and is formed by joining the branch tube and the arc tube.
  • the third electrode has a discharge end portion facing an adjacent electrode.
  • a plurality of the third electrodes are provided.
  • the third electrode includes two electrode heads provided at both ends of a common electrode shaft, and an external lead protruding outside the arc tube is connected to the electrode shaft.
  • the third electrode includes one electrode head, discharge ends at both ends of the electrode head, and external leads protruding outside the arc tube are connected to the electrode head. It is characterized by being.
  • the first electrode and the second electrode are arranged at both ends, and a flash lamp comprising a long arc tube having a trigger electrode arranged on the outside, and a flash lamp comprising a power feeding device for emitting the flash lamp.
  • a third electrode is disposed in an intermediate portion of the arc tube, and the power feeding device performs flash discharge individually and simultaneously between adjacent electrodes by operating the trigger electrode. It is characterized by.
  • a plurality of the third electrodes are provided, and the emission intensity between the first electrode and the third electrode adjacent thereto, and the emission intensity between the second electrode and the third electrode adjacent thereto, It is characterized by being larger than the light emission intensity between.
  • a reflective mirror is provided on the back surface of the flash lamp, and the third electrode is held by the casing via the reflective mirror. Further, the third electrode has a discharge end portion facing an adjacent electrode, and the third electrode is held by the casing.
  • the third electrode is disposed in the middle portion of the arc tube in which the first electrode and the second electrode are disposed at both ends, and flash discharge is performed individually and simultaneously between all adjacent electrodes.
  • the third electrode is arranged at a position retracted in the branch pipe branched from the arc tube, the area of the arc below the third electrode can be increased, and the illuminance uniformity in the irradiated object can be improved.
  • the distance between adjacent electrodes can be further shortened, the impedance between the electrodes can be lowered, and the pulse width can be prevented from extending even at a low charging voltage. it can. Furthermore, by making the light emission intensity between the electrodes located at both ends of the lamp larger than the light emission intensity between the third electrodes in the intermediate part, the illuminance uniformity on the irradiated object becomes good.
  • the electrode holder that holds the third electrode is provided with a through hole that communicates with the inner space of the arc tube, in the arc tube, between the electrodes of the first electrode and the third electrode, between the electrodes of the first electrode and the third electrode.
  • the gas pressure between the individual electrodes between the two electrodes and the third electrode can be made uniform, between the first electrode and the third electrode, and between the second electrode and the third electrode.
  • the pulse width of each flash discharge between the electrodes can be made uniform.
  • flash lamps generate vibration due to discharge during flash discharge. If the vibrations are large, the flash lamp is unstablely fixed and falls toward the irradiated object.
  • the third electrode may be a housing in the flash lamp light emitting device according to the present invention. By being fixed to, the vibration can be suppressed and these problems can be solved.
  • FIG. 1 is a schematic view of a light emitting device including a flash lamp of the present invention. Explanatory drawing of the flash lamp light-emitting device of this invention.
  • 2 shows a second embodiment of the present invention.
  • 3 shows a third embodiment of the present invention.
  • 4 shows a fourth embodiment of the present invention.
  • 5 shows a fifth embodiment of the present invention.
  • 6 shows a sixth embodiment of the present invention.
  • 7 shows a seventh embodiment of the present invention.
  • Ninth embodiment of the present invention. 10th Example of this invention.
  • An example in which the flash lamps of the present invention are arranged in a staggered manner. Conventional flash lamp and light emitting device. Example of staggered arrangement of conventional flash lamps
  • FIG. 1A and 1B are schematic views of a light emitting device in which a plurality of flash lamps according to the present invention are arranged.
  • FIG. 1A is a side sectional view and FIG. 1B is a sectional view taken along line XX.
  • the flash lamp 1 has a first electrode 3 and a second electrode 4 disposed at both ends of a long arc tube 2, and a branch tube 5 that branches from the arc tube 2 is provided at an intermediate portion of the arc tube 2.
  • the branch tube 5 communicates with the inside of the arc tube 2, and the third electrode 6 is disposed so as to face the arc tube 2, and the tip thereof faces the arc tube 2. As shown in FIG.
  • a plurality of such flash lamps 1 are arranged in parallel to constitute a flash lamp light emitting device 10.
  • a reflecting mirror 7 is disposed above the flash lamp 1, and flash light is irradiated toward an irradiation object (workpiece) W placed on the lower stage 8.
  • FIG. 2 is an explanatory diagram showing the power feeding device 11 including the flash lamp 1, the trigger circuit 12, and the lamp lighting circuit 13.
  • the flash lamp 1 has the same structure as that of FIG. Further, the power feeding device 11 is basically the same as that of Patent Document 2 described above, and a detailed description thereof is omitted here, but the first electrode 3 is interposed between the first electrode 3 and the third electrode 5.
  • the capacitor 14 is provided, and the second capacitor 15 is provided between the second electrode 4 and the third electrode 5. In the embodiment of FIG. 2, the distance between the first electrode 3 and the third electrode 6 and the distance between the second electrode 4 and the third electrode 6 are the same distance.
  • the capacitors 14 and the second capacitor 15 have the same capacity.
  • a trigger electrode 16 is disposed along the arc tube 2 of the flash lamp 1 and connected to the trigger circuit 12.
  • An inductance 18 is connected to the third electrode 6.
  • the third electrode 6 by arranging the third electrode 6 between the first electrode 3 and the second electrode 4, when a trigger voltage is applied to the trigger electrode 16 when the lamp is lit, the first electrode 3 and the third electrode 6 and between the second electrode 4 and the third electrode 6 can be caused to cause flash discharge individually and simultaneously.
  • the third electrode 6 is disposed between the first electrode 3 and the second electrode 4, thereby reducing the impedance between the electrodes and increasing the pulse width of 0. 1 ms can be realized.
  • the distance between the electrodes is 250 mm
  • the required energy is 600 J (total 1200 J)
  • the length of the arc tube 2 in FIG. 2 is the same as that of the conventional example in FIG. 16, the charging voltage can be further reduced in the present invention when the same pulse width is to be realized.
  • the first electrode 3 and the second electrode 4 and the third electrode are disposed between them in the same arc tube.
  • the arc A is formed over the entire length of the arc tube 2, and even if the lamp is lengthened, there is no shadow on the irradiated object, and the irradiated surface of the irradiated object can be irradiated uniformly.
  • the ratio between the capacitance of the first capacitor 14 and the capacitance of the second capacitor 15 is set to the distance between the electrodes of the first electrode 3 and the third electrode 6 and between the electrodes of the second electrode 4 and the third electrode 6.
  • the pulse widths of the flash discharge between the first electrode 3 and the third electrode 6 and the flash discharge between the second electrode 4 and the third electrode 6 are the same. And the same irradiation energy. Thereby, the polycrystalline silicon layer in the irradiated object can be formed uniformly.
  • FIG. 3 shows a second embodiment.
  • the tip of the third electrode 6 in the branch tube 5 is arranged so as to be set back from the arc tube 2.
  • the arc discharge A is generated. This is to avoid this because it becomes smaller below the three electrodes 6 and the illuminance uniformity may be impaired in the irradiated object (workpiece) W.
  • the third electrode 6 is disposed at a position retracted from the arc tube 2, so that the area of the arc A below the third electrode 6 is increased, and the illuminance uniformity in the workpiece W is further increased. Can be increased.
  • FIG. 4 is an explanatory diagram of the third embodiment.
  • the third electrode 6 is arranged in the branch pipe 5, whereas in this embodiment, All electrodes including the first electrode 3 and the second electrode 4 are arranged in the branch pipes. That is, branch tubes 5a and 5b are provided at both ends of the arc tube 2, and a branch tube 5c is also provided in the vicinity of the middle portion thereof.
  • the first electrode 3 is provided in the branch tube 5a, and the second electrode 4 is provided.
  • the third electrode 6 is arranged in the branch pipe 5b and the third pipe 6 in the branch pipe 5c.
  • FIG. 5 shows a third embodiment of the present invention.
  • a plurality of third electrodes 6 are provided. That is, a plurality of branch tubes 5c, 5d, and 5e are provided in the middle portion of the arc tube 2 in the longitudinal direction, and the third electrodes 6c, 6d, and 6e are disposed therein.
  • the first electrode 2 and the third electrode 3 are also disposed in the branch pipes 5a and 5b at both ends of the arc tube 2, respectively.
  • the illuminance below the lamp ends is lower than the illuminance below the center of the lamp.
  • the uniformity of the illuminance distribution on the irradiated object may be deteriorated. This is because, in the central part of the irradiated object, in addition to the flash discharge between the third electrodes 6c, 6d and 6e at the central part of the lamp, the first electrode 3 and the third electrode at both ends of the lamp are irradiated.
  • the flash discharges between the second electrode 4 and the third electrode 6e are also irradiated, while the first electrode 3 and the first electrode 3 on the one end side of the irradiated object below the first electrode 3, for example.
  • the flash discharge between the three electrodes 6c and the flash discharge between the third electrodes 6c and 6d are irradiated, there is no light irradiated from the left side of the first electrode 3 in the drawing.
  • the emission intensity at both ends of the lamp may be made larger than that at the center.
  • FIG. 6 in this embodiment, a plurality of, more specifically three, third electrodes are provided, and the distance between each electrode including the first electrode and the second electrode is constant, and both end portions
  • the capacitance of the capacitor between the electrodes located in the middle is made larger than the capacitance of the capacitor between the third electrodes in the middle part.
  • the inductances 18, 18, and 18 are connected to the first electrode 3, the second electrode 4, and the third electrode 6d that are placed between the electrodes 3 and 4, respectively.
  • the electrodes 3, 4, 5d connected to the inductance 18 are connected to the positive electrode, and the third electrodes 6c, 6e between them are connected to the negative electrode.
  • the capacitance of the capacitor 17a connected in series with the first electrode 3 and the third electrode 6c located at the end of the lamp is changed to the capacitance of the capacitor 17c connected in series with the intermediate third electrode 6c and the third electrode 6d.
  • the capacitance of the capacitor 17b connected in series with the second electrode 4 and the third electrode 6e, which are larger than the capacitance and similarly located at the end, is connected to the third electrode 6d and the third electrode 6e in the middle portion.
  • the light emission intensity at both ends of the lamp can be made larger than the light emission intensity at the center of the lamp, and the uniformity of the illuminance distribution on the irradiated surface of the irradiated object Can be good.
  • the capacitances of the capacitors 17a and 17b at both ends and the capacitances of the intermediate capacitor 17c and the capacitor 17d are the same.
  • the distance between the electrodes is the same, 125 mm, and the required energy is 330 J between the first electrode 3 and the third electrode 6 c, 330 J between the second electrode 4 and the third electrode 6 e, The distance between the three electrodes 6c, 6d, and 6e is 300 J, and the total is 1260 J.
  • the capacitance L of the inductance 18 becomes 10 ⁇ H
  • the capacitance of the capacitor 17a connected in series to the three electrodes 6c is 300 ⁇ F
  • the capacitance of the capacitor 17b connected in series to the second electrode 4 and the third electrode 6e is 300 ⁇ F
  • a charging voltage between the electrodes is required to be 1.5 KV.
  • FIG. 7 shows another method in which the capacitor capacity between the electrodes is the same, and the distance between the electrodes at both ends of the lamp is reduced. That is, the distance L1 between the first electrode 3 and the third electrode 6c adjacent thereto, and the distance L1 between the second electrode 4 and the third electrode 6e adjacent thereto are defined as the distance between the third electrodes 6c, 6d, 6e. Less than the distance L2 (L1 ⁇ L2).
  • the capacitors 17a, 17b, 17c, and 17d between the electrodes have the same capacitance. With such a configuration, the shorter the distance between the electrodes, the higher the emission intensity. Therefore, the emission intensity between the electrodes at both ends of the lamp can be made larger than between the electrodes at the center, The uniformity of the illuminance distribution can be improved.
  • the number of the third electrodes is not limited to three and may be more than that.
  • a flash lamp uses quartz glass (SiO 2 ), sapphire (single crystal alumina: Al 2 O 3 ), or the like as a material of the arc tube.
  • quartz glass SiO 2
  • sapphire single crystal alumina: Al 2 O 3
  • the arc tube 2 and the branch tube 5 may be sealed by heating and melting the end tube.
  • the material of the arc tube 3 is sapphire (fifth embodiment)
  • the branch tubes 5 and 5 are joined to the arc tube 2 made of sapphire by a sealing glass 20 as shown in FIG.
  • the third electrodes 6 and 6 are disposed in the branch pipes 5 and 5, respectively.
  • what is necessary is just to join the sealing member 21 by which the sealing part of the edge part of the arc_tube
  • FIG. 9 is a schematic view of a flash lamp light emitting device in which a flash lamp having another electrode structure of the present invention is arranged.
  • a first electrode 33 and a second electrode 34 are disposed at both ends of a long arc tube 2, and a third electrode 35 is provided at an intermediate portion inside the arc tube 2.
  • the arc tube 2 can be made of a glass member such as quartz glass (SiO 2 ) or a translucent ceramic such as sapphire (single crystal alumina: Al 2 O 3 ).
  • flash discharge is performed individually and simultaneously between the first electrode 33 and the third electrode 35 and between the second electrode 34 and the third electrode 35.
  • FIG. 10 shows details of the third electrode 35 portion.
  • the third electrode 35 includes a common electrode shaft 36 and electrode heads 37 and 38 provided at both ends thereof. Each of these electrode head portions 37 and 38 has a discharge end portion 40 facing the first electrode 33 and a discharge end portion 41 facing the second electrode 34.
  • an electrode holder 42 in contact therewith is hermetically provided by a sealing material 43, and the electrode shaft 36 is supported through the electrode holder 42.
  • a through hole 44 is formed in the electrode holder 42, and the light emitting spaces at both ends thereof are communicated.
  • the electrode holder 42 is made of a ceramic material such as alumina or a metal material such as aluminum.
  • the sealing material 43 is a glass member such as frit glass when the electrode holder 42 is a ceramic material.
  • a brazing material can be used. When this brazing material is used, the bonding strength of the arc tube 2 is increased in order to increase the bonding strength between the brazing material and the arc tube. It is preferable to metallize the portion to which the brazing material is applied in advance.
  • An external lead 45 is connected to the electrode shaft 36, and the external lead 45 extends through the electrode holder 42 to the outside of the arc tube 2.
  • the reflecting mirror 50 disposed above the flash lamp 2 is supported by the casing 52 by reflecting mirror supports 51 and 51.
  • a fixing member 53 composed of a bolt 53a and a nut 53b is attached to the opening 52 of the reflecting mirror 50.
  • the external lead 45 extends through the fixing member 53, and a nut 54 is screwed into a screw portion at the tip, and a crimp terminal 56 at the tip of the power supply line 55 is sandwiched by the nut 54, and the external lead Power is supplied to 45 via a crimping terminal 56 from a power supply device (not shown in FIG. 9).
  • a first capacitor is provided in the wiring connecting the first electrode 33 and the third electrode 35 and between the third electrode 35 and the second electrode 34.
  • a and a second capacitor B are provided.
  • the first to third electrodes are not shown in FIG. 9, but are connected to the power supply device as in FIG. 2, for example, the first electrode 33 and the second electrode 34 are on the high voltage side, and the third electrode 35 is It is connected to capacitors A and B on the low voltage side, and is provided across the first to third electrodes 33, 34 and 35 in a state where predetermined energy is stored in these capacitors A and B.
  • the trigger electrodes provided in the same manner as in FIG.
  • the second electrode 34 and the third electrode 35 can be used simultaneously between the electrodes of the first electrode 33 and the third electrode 35 and between the individual electrodes of the second electrode 34 and the third electrode 35.
  • a flash discharge occurs, and the object (work) W can be irradiated with light from the flash lamp.
  • the flash lamp vibrates due to discharge during flash discharge.
  • the third electrode 35 is attached to the casing 52 via the reflecting mirror 50. The vibration can be suppressed by being fixed.
  • the pulse width between the electrodes varies depending on the gas pressure of the luminous gas.
  • the through holes 44 are formed in the electrode holder 42, the discharge spaces on both sides of the electrode holder 42 are communicated by the through holes 44, and the gas pressure can be made uniform.
  • the gas pressure in the discharge space between the first electrode 33 and the third electrode 35 and between the third electrode 35 and the second electrode 34 can be made uniform.
  • the pulse width can be made uniform.
  • a capacitor for supplying power to each electrode is required.
  • the pulse width increases.
  • a capacitor A for flash discharge between the first electrode 33 and the third electrode 35, A capacitor B for flash discharge between the second electrode 34 and the third electrode 35 is provided, and each capacitor is connected to the first electrode 33 and the second electrode 34 on the higher voltage side than the third electrode 35 on the lower voltage side.
  • each capacitor is connected to the first electrode 33 and the second electrode 34 on the higher voltage side than the third electrode 35 on the lower voltage side.
  • the electrode holder 42 is provided on the inner surface of the arc tube 2, but in the case shown in FIG. That is, the electrode holder 42 is formed with a flange 42 a located outside the arc tube 2, and the flange 42 a is hermetically sealed to the outer surface of the arc tube 2 by the sealing material 43.
  • the electrode holder 42 in FIGS. 10 and 11 is composed of a member having electrical conductivity such as a metal member, so that the electrode shaft 36 and the external lead 45 are not directly connected to each other but are electrically connected. It can also have a function to do.
  • the third electrode 35 is supported by the electrode holder 42.
  • the third electrode 35 is directly supported by the external lead 45 without providing the electrode holder 42.
  • the external lead 45 penetrates the arc tube 2 and is connected to and supports the electrode shaft 36 of the third electrode 35.
  • the external lead 45 is hermetically sealed to the arc tube 2 by the sealing material 43. In this way, it is not necessary to prepare a separate electrode holder, and the arc tube 2 need only have one through-hole through which the external lead 45 passes.
  • the third electrode 35 can be configured by only one electrode head. As shown in FIG. 13, the third electrode 35 is composed of one electrode head portion, and both ends thereof constitute discharge end portions 40 and 41, which are disposed opposite to the first electrode 33 and the second electrode 34, respectively. The According to this, since the electrode shaft is omitted, the length of the electrode can be shortened accordingly. Other configurations are the same as those in FIG.
  • the single third electrode 35 is exemplified.
  • a plurality of third electrodes 35 and 35 are provided. You can also.
  • the flash discharge is performed between the adjacent electrodes, that is, between the first electrode 33 and the third electrode 35 adjacent thereto, between the second electrode 34 and the third electrode 35 adjacent thereto, In addition, a discharge is generated between the adjacent third electrodes 35.
  • a plurality of flash lamps 1 and 1 can be arranged in a staggered manner as shown in FIG.
  • the third electrodes 35 are arranged so as not to be lined up at the same position. Thereby, it is possible to prevent the decrease in illuminance below the third electrode 35 from overlapping.
  • a material using translucent ceramics such as sapphire (single crystal alumina: Al 2 O 3 ) is shown as the material of the arc tube 2, but in this case, the sealing portions at both ends are used. Since the burner processing is difficult, the sealing structure may be formed by the base 58 through the sealing agent 57 such as frit glass at the end of the arc tube 2.
  • the third electrode is disposed in the middle portion of the arc tube having the electrodes at both ends, and individually between all adjacent electrodes. At the same time, even if the entire length of the lamp is lengthened by performing flash discharge, the distance between the electrodes can be reduced, the pulse width can be reduced, and the charging voltage can be reduced. Thereby, the enlargement of the whole apparatus can be avoided.

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Abstract

【課題】両端に第１電極と第２電極が配置された長尺状の発光管よりなるフラッシュランプおよびフラッシュランプ発光装置において、フラッシュランプを長尺化しても、パルス幅の伸びを抑制しつつ、充電電圧を小さくすることができる構造のフラッシュランプ及びフラッシュランプ発光装置を提供することである。 【解決手段】前記フラッシュランプの発光管の中間部には、第３電極が配設されるとともに、これらの隣り合う全ての電極間で個別に且つ同時に閃光放電することを特徴とする。

Description

フラッシュランプ及びフラッシュランプ発光装置
　この発明はフラッシュランプ及びフラッシュランプ発光装置に関するものであり、特に、ガラス基板上の非晶質シリコン膜を多結晶化するために用いられるフラッシュランプ及びフラッシュランプ発光装置に係わるものである。
　従来、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイなどの用途において、薄膜トランジスタ製造時にガラス基板上の非晶質シリコン膜を多結晶化するために、フラッシュランプが用いられている。
　例えば、特開２００３－２０９０５４号公報（特許文献１）には、液晶ディスプレイ用として、スイッチング素子に多結晶シリコン薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）が用いられており、これを作製する際に例えば非晶質シリコンに光を照射して多結晶化することが記載されており、その光源としてフラッシュランプを利用することが開示されている。
　また、特開２００９－１６４０８０号公報（特許文献２）には、フラッシュランプの具体的な構成と、このフラッシュランプを発光させるための給電装置が開示されている。
　ところで、ガラス基板上の非晶質シリコンを多結晶化するとき、その多結晶シリコンの層が厚いとガラス基板が反ってしまうという問題が生じることがある。
　この多結晶シリコンの層の厚さは、フラッシュランプのパルス幅によって決まり、例えばパルス幅が長いと非晶質シリコンの深いところまで温度上昇してしまい、その結果、厚い多結晶シリコンの層が形成されてしまう。この多結晶シリコンの層が厚くなるとガラス基板が反ってしまうので、フラッシュランプのパルス幅は短いほうが好ましい。
　一方で、ガラス基板は年々大型化しており、これに併せてフラッシュランプの長尺化が望まれているが、フラッシュランプを長尺にしてしまうと、パルス幅が伸びてしまい、その結果前述したように、ガラス基板に反りが生じてしまうという不具合が生じている。
　このように、フラッシュランプを長尺化するとパルス幅が伸びてしまう理由としては、フラッシュランプの長尺化に伴って必然的に、電極間の発光長も長くなってしまい、その結果、ランプインピーダンスが増え、パルス幅が伸びてしまうことにある。
　このようなパルス幅の伸びを抑制しつつ、必要エネルギーを維持しながら発光するためには、充電電圧を上げ、コンデンサ容量を下げる方向が考えられるが、時定数の制約と大きな充電電圧とが必要となり、これを実現しようとすると非常に大掛かりな装置となってしまい現実的ではなかった。
　しかして、特許文献２でも開示されているように、フラッシュランプの一般的な構造が図１６に示されており、フラッシュランプ１００は、発光管１０１の両端に電極１０２、１０３を有し、該発光管１０１に沿ってトリガ電極１０４が配設され、該トリガ電極１０４はトリガ回路１０５に接続されている。
　上記の構成において、その一具体例をあげると、両電極１０２、１０３の電極間距離が５００ｍｍであり、必要なエネルギーが１２００Ｊであって、そのパルス幅を０．１ｍｓ以下にしようとすると、インダクタンス容量はＬ＝１０μＨとなり、コンデンサ容量が７０μＦである場合、その充電電圧は、５．９ｋＶと極めて大きな電圧が必要になる。
　また、このような事情を鑑みて、フラッシュランプを長尺化することなしに、ガラス基板の大型化に対応することを考えると、図１７に示されるように、短尺のフラッシュランプを千鳥状に配置することが考えられる。
　しかしながら、ガラス基板をフラッシュランプで照射する際には、ガラス基板をスキャニングしながら照射するわけではなく、一括照射しているため、ガラス基板上方にランプが存在しない領域Ｒがあると、この領域が影になってしまい、この影の領域では多結晶シリコンが形成できないといった不具合が生じる。
特開２００３－２０９０５４号公報 特開２００９－１６４０８０号公報
　この発明が解決しようとする課題は、上記従来技術の問題点に鑑みて、両端に第１電極と第２電極が配置された長尺状の発光管よりなるフラッシュランプ及びフラッシュランプ発光装置において、フラッシュランプを長尺化しても、パルス幅の伸びを抑制しつつ、充電電圧を小さくすることができる構造のフラッシュランプ及びフラッシュランプ発光装置を提供することである。
　上記課題を解決するために、この発明に係るフラッシュランプは、両端に第１電極と第２電極が配置された発光管の中間部に、第３電極が配設されるとともに、これらの隣り合う全ての電極間で個別に且つ同時に閃光放電することを特徴とする。
　また、少なくとも前記第３電極は、前記発光管から分岐して形成される枝管の内部に配置されていることを特徴とする。
　また、前記第３電極は、その先端が前記発光管内から後退した位置に配置されることを特徴とする
　また、前記第３電極は、前記発光管の長手方向に沿って複数個配置されていることを特徴とする
　また、前記発光管及び前記枝管は石英ガラス材料より構成されるとともに、前記枝管と前記発光管とを溶着して形成したことを特徴とする。
　また、前記発光管は透光性セラミックス材料より構成されるとともに、前記枝管と前記発光管とを接合して形成したことを特徴とする。
　また、前記第３電極は、隣り合う電極に対向する放電端部を有することを特徴とする。
　また、前記第３電極が複数設けられていることを特徴とする。
　また、前記第３電極は、共通する電極軸の両端に設けられた２つの電極頭部を備え、前記電極軸には、前記発光管の外部に突出する外部リードが接続されていることを特徴とする。
　また、前記第３電極は１つの電極頭部を備えるとともに、該電極頭部の両端に放電端部を有し、当該電極頭部には前記発光管の外部に突出する外部リードが接続されていることを特徴とする。
　更には、両端に第１電極と第２電極が配置されるとともに、外部にトリガ電極を配置させた長尺状の発光管よりなるフラッシュランプと、このフラッシュランプを発光させる給電装置よりなるフラッシュランプ発光装置において、前記発光管の中間部には、第３電極が配設されるとともに、前記給電装置は、前記トリガ電極を作動させることにより、隣り合う電極間で個別に且つ同時に閃光放電することを特徴とする。
　また、前記第３電極が複数備えられ、前記第１電極とこれに隣接する第３電極間の発光強度、および、第２電極とこれに隣接する第３電極間の発光強度を、第３電極間の発光強度よりも大きくしたことを特徴とする。
　また、前記フラッシュランプの背面には、反射鏡が設けられ、前記第３電極は、当該反射鏡を介して前記筐体に保持されていることを特徴とする。
　また、前記第３電極は隣り合う電極に対向する放電端部を有し、前記第３電極が前記筐体に保持されていることを特徴とする。
　この発明のフラッシュランプによれば、両端に第１電極と第２電極が配置された発光管の中間部に第３電極を配設し、全ての隣り合う電極間で個別に且つ同時に閃光放電することにより、ランプの全長を長尺化しても、電極間距離を小さくしてパルス幅を小さくでき、充電電圧を小さくすることができるという効果を奏するものである。
　また、前記第３電極を発光管から分岐した枝管内で後退した位置に配置することにより、該第３電極の下方におけるアークの領域を大きくでき、被照射物における照度均一性を高めることができる。
　更には、前記第３電極を複数個設けることにより、隣接する電極間の距離は更に短くなり、電極間のインピーダンスを下げることができて、低い充電電圧であってもパルス幅が伸びることを抑制できる。
　更には、前記ランプの両端部に位置する電極間の発光強度を、中間部の第３電極間の発光強度よりも大きくすることで、被照射物での照度均一性が良好になる。
　また、前記第３電極を保持する電極保持体に発光管内部空間を連通する貫通孔が穿設されていることにより、発光管内において、第１電極と第３電極との電極間、及び、第２電極と第３電極との電極間の、それぞれ個別の電極間におけるガス圧を均一にすることができ、第１電極と第３電極との電極間、及び、第２電極と第３電極との電極間のそれぞれの閃光放電のパルス幅を均一にすることができる。
　更には、一般的に、フラッシュランプは、閃光放電時に放電による振動が生じることが知られており、その振動が大きい場合、フラッシュランプの固定が不安定になり、被照射物に向かって落下・破損することや、フラッシュランプと被照射物の位置関係が変わってしまって、所望の処理ができなくなってしまうことがあるが、本発明に係るフラッシュランプ発光装置においては、第３電極が筐体に固定されていることで、その振動を抑制することができて、これらの不具合を解消することができる。
本発明のフラッシュランプを備えた発光装置の概略図。 本発明のフラッシュランプ発光装置の説明図。 本発明の第２の実施例。 本発明の第３の実施例。 本発明の第４の実施例。 本発明の第５の実施例。 本発明の第６の実施例。 本発明の第７の実施例。 本発明の他の電極構造のフラッシュランプを備えた発光装置の　　　　　概略図。 本発明のフラッシュランプの第３電極部分の拡大図。 本発明の第９の実施例。 本発明の第１０実施例。 本発明の第１１の実施例。 本発明の第３電極を複数設けた例。 本発明のフラッシュランプを千鳥配置した例。 従来のフラッシュランプおよび発光装置。 従来のフラッシュランプを千鳥配置した例。
　図１は、本発明のフラッシュランプを複数本配置した発光装置の概略図であり、（Ａ）は側断面図、（Ｂ）はそのＸ－Ｘ断面図である。
　フラッシュランプ１は長尺の発光管２の両端部に第１電極３と第２電極４とが配置されており、発光管２の中間部には、これから分岐する枝管５が設けられている。該枝管５は発光管２内と連通していて、その内部には第３電極６が発光管２に向くように配置されており、その先端は発光管２内に臨んでいる。
　このようなフラッシュランプ１が、図１（Ｂ）で示されるように、複数本並列配置されて、フラッシュランプ発光装置１０が構成されている。
　フラッシュランプ１の上方には、反射鏡７が配置されており、下方のステージ８上に載置された被照射物（ワーク）Ｗに向けて閃光が照射される。
　図２は、フラッシュランプ１と、トリガ回路１２とランプ点灯回路１３とからなる給電装置１１を示した説明図である。
　フラッシュランプ１は図１のものと同様な構造である。また、給電装置１１に関しては、前記特許文献２のものと基本的には同様なものであり、ここでは詳細な説明は省略するが、第１電極３と第３電極５との間に第１のコンデンサ１４が設けられ、また、第２電極４と第３電極５との間に第２のコンデンサ１５が設けられている。
　図２の実施例においては、第１電極３と第３電極６との電極間距離と、第２電極４と第３電極６との電極間距離とが同一距離であることから、前記第１のコンデンサ１４と第２のコンデンサ１５の容量も同一容量のものが採用される。
　また、フラッシュランプ１の発光管２に沿ってトリガ電極１６が配置され、前記トリガ回路１２に接続されている。なお、第３電極６にはインダクタンス１８が接続されている。
　本発明では、第１電極３と第２電極４との間に第３電極６を配置することで、ランプ点灯時にトリガ電極１６にトリガ電圧が印加されると、第１電極３と第３電極６との間と、第２電極４と第３電極６との間との両方で個別に且つ同時に閃光放電を起こさせることができる。
　このように、本発明では、第１電極３と第２電極４との間に第３電極６を配置することで、電極間におけるインピーダンスを低下させ、充電電圧を高めなくてもパルス幅０．１ｍｓを実現することができる。
　具体的な数値例を挙げて説明すると、例えば、図２に示すフラッシュランプ１においては、それぞれの電極間距離が２５０ｍｍであり、必要なエネルギーがそれぞれ６００Ｊ（計１２００Ｊ）であり、そのパルス幅を０．１ｍｓ以下にしようとすると、インダクタンス容量Ｌ＝１０μＨとなり、コンデンサ容量が１００μＦである場合、充電電圧は３．５ｋＶ必要になる。図２の発光管２の長さを図１６の従来例のものと同一とした場合、同じパルス幅を実現しようとした場合に、本発明では充電電圧をより小さくすることができる。
　また、本発明においては、図１７のように千鳥配置をする必要が無く、同一の発光管内に第１電極３と第２電極４、およびこれらの間に第３電極を配置しているので、アークＡが発光管２の全長に亘って形成され、ランプが長尺化しても被照射物に影ができることがなく、被照射物の被照射面を均一に照射することができる。
　さらには、第１のコンデンサ１４の容量と第２のコンデンサ１５の容量との比率を、第１電極３と第３電極６の電極間距離と、第２電極４と第３電極６の電極間距離との比率と同じにすることで、第１電極３と第３電極６との間での閃光放電と、第２電極４と第３電極６との間での閃光放電のパルス幅を同じにできると共に、同じ照射エネルギーにすることができる。これにより、被照射物における多結晶シリコンの層を均一に形成することができる。
　図３に第２の実施例が示されており、この実施例では、枝管５内の第３電極６の先端が発光管２から後退した位置になるように配置されたものである。
　このような配置にするのは、上述の図１あるいは図２のように、第３電極６を発光管２に近づけて、その先端が該発光管内に臨むように配置すると、アーク放電Ａが第３電極６の下方で小さくなってしまい、被照射物（ワーク）Ｗにおいて照度均一性が損なわれる惧れがあるので、これを回避するためである。
　図３に示すように、第３電極６が発光管２から後退した位置に配置されることで、該第３電極６の下方におけるアークＡの領域を大きくし、ワークＷにおける照度均一性を更に高めることができる。
　図４は、第３の実施例の説明図であり、図１～図３のものでは、第３電極６のみが枝管５内に配置されているのに対して、この実施例では、第１電極３および第２電極４を含めて全ての電極がそれぞれ枝管内に配置されている。
　即ち、発光管２の両端に枝管５ａ、５ｂがそれぞれ設けられるとともに、その中間部近傍にも枝管５ｃが設けられていて、第１電極３は枝管５ａ内に、第２電極４は枝管５ｂ内に、そして第３電極６が枝管５ｃ内に、それぞれ配置されているものである。
　こうすることによって、ランプの有効発光長が大きくとれることになり、換言すれば、有効発光長に対してランプ全長を小さくできる。
　図５に本発明の第３の実施例が示されていて、この実施例では第３電極６が複数設けられているものである。
　即ち、発光管２の長手方向の中間部に複数の枝管５ｃ、５ｄ、５ｅが設けられ、その内部にそれぞれ第３電極６ｃ、６ｄ、６ｅが配置されているものである。なお、この例では、第１電極２および第３電極３も、それぞれ発光管２の両端の枝管５ａ、５ｂ内に配置されているものが示されている。
　このように第３電極６を複数設けることにより、隣接する電極間の距離が短くなるので、隣接する電極間のインピーダンスを下げることができ、低い充電電圧であってもパルス幅が伸びることがない。
　なお、このように複数の第３電極を設ける場合であっても、隣接する電極間にそれぞれコンデンサ１７、１７が設けられており、隣接する電極間の距離を全て同じにすれば、前記コンデンサ１７の容量も全て同じものを採用できる。
　ところで、図５のように、第３電極６が複数設けられたランプによって照射すると、被照射物面での照度において、ランプ中央部下方での照度に比べてランプ両端下方での照度が低くなって、被照射物上での照度分布の均一性が悪くなってしまうことがある。
　これは、被照射物の中央部では、ランプ中央部での各第３電極６ｃ、６ｄ、６ｅ間での閃光放電が照射されるのに加えて、ランプ両端の第１電極３と第３電極間６ｃ、及び、第２電極４と第３電極間６ｅでの各閃光放電も照射されるのに対し、例えば第１電極３下方の被照射物の一端側においては、第１電極３と第３電極６ｃ間での閃光放電と、第３電極６ｃ、６ｄ間の閃光放電が照射されるものの、第１電極３の紙面左側からは照射される光が無いために生じる。
　この不具合を解消するためには、ランプの両端部での発光強度を中央部よりも大きくしてあげればよい。
　そのための具体的手段について例示すると以下の通りである。
　図６において、この実施例では、第３電極が複数、より具体的には３つ、備えられ、第１電極および第２電極を含めて、各電極間の距離は一定であって、両端部に位置する電極間のコンデンサ容量を中間部の第３電極間のコンデンサ容量よりも大きくしたものである。
　上記実施例において、ランプの両端に位置する第１電極３と、第２電極４、およびこれら電極３、４とは間にひとつ置いた第３電極６ｄに、それぞれインダクタンス１８、１８、１８が接続されている。そして、該インダクタンス１８の接続された電極３、４、５ｄは正極に、これらの間の第３電極６ｃ、６ｅは負極に接続される。
　そして、ランプの端部に位置する第１電極３と第３電極６ｃとに直列接続されたコンデンサ１７ａの容量を、中間の第３電極６ｃと第３電極６ｄとに直列接続されたコンデンサ１７ｃの容量よりも大きくし、且つ、同様に端部に位置する第２電極４と第３電極６ｅとに直列接続されたコンデンサ１７ｂの容量を、中間部の第３電極６ｄと第３電極６ｅとに直列接続されたコンデンサ１７ｄの容量よりも大きくすることで、ランプ両端の発光強度をランプ中央部の発光強度に比べて大きくすることができ、被照射物の照射面においてその照度分布の均一性を良好にすることができる。
　なお、上記実施例では、両端のコンデンサ１７ａとコンデンサ１７ｂの容量、および、中間のコンデンサ１７ｃとコンデンサ１７ｄの容量は、それぞれ同一にしてある。
　上記実施例の具体例を挙げて説明する。
　それぞれの電極間距離は同一であって１２５ｍｍであり、必要なエネルギーが第１電極３と第３電極６ｃとの間が３３０Ｊ、第２電極４と第３電極６ｅとの間が３３０Ｊ、各第３電極６ｃ、６ｄ、６ｅ間がそれぞれ３００Ｊであって、その合計が１２６０Ｊであり、そのパルス幅を０．１ｍｓ以下にしようとすると、インダクタンス１８の容量Ｌ＝１０μＨとなり、第１電極３と第３電極６ｃとに直列接続されたコンデンサ１７ａの容量を３００μＦ、第２電極４と第３電極６eとに直列接続されたコンデンサ１７ｂの容量を３００μＦ、各第３電極６ｃ、６ｄ、６ｅ間に直列接続されたコンデンサ１７ｃ、１７ｄの容量を２７０μＦとした場合、各電極間での充電電圧は１．５ＫＶ必要になる。
　また他の方法として図７においては、各電極間のコンデンサ容量を同じにして、ランプ両端の電極間距離を小さくしたものが示されている。
　即ち、第１電極３とこれに隣接する第３電極６ｃ間の距離Ｌ１、および、第２電極４とこれに隣接する第３電極６ｅ間の距離Ｌ１を、第３電極６ｃ、６ｄ、６ｅ間の距離Ｌ２よりも小さくする（Ｌ１＜Ｌ２）。
　そして、各電極間のコンデンサ１７ａ、１７ｂ、１７ｃ、１７ｄの容量を同一なものとする。
　このような構成とすることによって、電極間距離が短いほうが発光強度は大きくなるので、ランプ両端の電極間の発光強度を中央部の電極間よりも大きくすることができ、被照射物面での照度分布の均一性を良好にすることができる。
　なお、ランプ両端の発光強度を大きくする手段として、上記２つの実施例を組み合わせた構成とすることもできる。即ち、ランプ両端部での電極間距離を小さくするとともに、その間のコンデンサ容量を中央部のコンデンサ容量よりも大きくすることにより達成できる。
　また、第３電極は３つに限られず、それ以上であってもよい。
　ところで、フラッシュランプにおいては、その発光管の材質として、石英ガラス（ＳｉＯ２）やサファイア（単結晶アルミナ：Ａｌ２Ｏ３）などを用いることが知られている。
　発光管２および枝管５を石英ガラスで作製する場合は、枝管５を発光管２に溶着することにより形成できる。そして、端部の封止も発光管２や枝管５を加熱溶融して封着すればよい。
　また、発光管３の材料をサファイアとする場合（第５の実施例）には、図８に示すように、枝管５、５はサファイア製の発光管２に対して封着ガラス２０によって接合すればよく、これら枝管５、５内にそれぞれ第３電極６、６が配置されている。また、発光管２の端部の封止部は、電極３、４が封止された封止部材２１を、同様に封着ガラス２０によって接合すればよい。
　図９は、本発明の他の電極構造を有するフラッシュランプを配置したフラッシュランプ発光装置の概略図である。
　フラッシュランプ１は長尺の発光管２の両端部に第１電極３３と第２電極３４とが配置されており、発光管２の内部の中間部には、第３電極３５が設けられている。この発光管２は、石英ガラス（ＳｉＯ２）などのガラス部材や、サファイア（単結晶アルミナ：Ａｌ２Ｏ３）など透光性セラミックスを用いることができる。
　そして、このフラッシュランプ１においても、前記第１電極３３と第３電極３５間と、および、前記第２電極３４と第３電極３５の間で、それぞれ個別かつ同時に閃光放電するものである。
　図１０に前記第３電極３５部分の詳細が示されていて、該第３電極３５は、共通する電極軸３６と、その両端に設けられた電極頭部３７、３８とからなる。これらの電極頭部３７、３８は、それぞれ第１電極３３と対向する放電端部４０と、第２電極３４と対向する放電端部４１とを有する。
　前記発光管２内には、これに当接する電極保持体４２が封止材４３によって気密的に設けられており、前記電極軸３６はこの電極保持体４２を貫通して支持されている。この電極保持体４２には貫通孔４４が穿設されていて、その両端の発光空間を連通している。
　また、当該電極保持体４２は、例えばアルミナなどのセラミックス材料や、アルミニウムなどの金属材料が用いられ、前記封止材４３は、電極保持体４２がセラミックス材料の場合、例えばフリットガラスなどのガラス部材を用いることができ、電極保持体４２が金属材料の場合、ロウ材を用いることができ、このロウ材を採用する場合は、ロウ材と発光管との接合強度を高めるため、発光管２のロウ材が塗布される部分をあらかじめメタライズしておくことが好ましい。
　前記電極軸３６には外部リード４５が接続され、該外部リード４５は電極保持体４２を貫通して、発光管２の外部に延出している。
　図９も参照して、このフラッシュランプ発光装置では、フラッシュランプ２の上方に配設された反射鏡５０が、反射鏡支持体５１、５１によって筐体５２に支持されている。この反射鏡５０の開口部５２にはボルト５３aとナット５３ｂとからなる固定部材５３が取り付けられている。
　前記外部リード４５は、この固定部材５３を貫通して伸び、先端のネジ部にナット５４が螺合し、該ナット５４により給電線５５の先端の圧着端子５６が挟持されていて、前記外部リード４５には該圧着端子５６を介して、図９には図示しない給電装置から給電される。
　図９を参照して、筐体５２の外部には、前記第１電極３３と第３電極３５間、および、第３電極３５と第２電極３４間を結ぶ配線中には、それぞれ第１コンデンサＡと第２コンデンサＢが配設されている。
　上記構成において、第１～３電極は、図９には不図示だが、図２と同様に、給電装置に接続され、例えば第１電極３３及び第２電極３４が高圧側、第３電極３５が低圧側としてコンデンサＡ、Ｂに接続され、これらコンデンサＡ、Ｂに所定のエネルギーが蓄えられた状態で、第１～３電極３３、３４、３５にまたがって設けられる、図９には不図示だが、図２と同様に設けられた、トリガ電極によって、第１電極３３と第３電極３５の電極間、及び、第２電極３４と第３電極３５の電極間のそれぞれ個別の電極間に、同時に閃光放電が生じ、被照射物（ワーク）Ｗに対してフラッシュランプからの光を照射することができる。
　ここにおいて、一般的に、フラッシュランプは、閃光放電時に放電による振動が生じることが知られているが、本発明に係るランプにおいては、第３電極３５が反射鏡５０を介して筐体５２に固定されていることで、その振動を抑制することができる。
　ところで、前記発光管２内には、キセノンガスなどの発光ガスが封入されているが、この種フラッシュランプにおいては、電極間におけるパルス幅は、発光ガスのガス圧によって変動する。
　本発明においては、電極保持体４２に貫通孔４４が穿設されているので、該電極保持体４２の両側の放電空間はこの貫通孔４４によって連通され、そのガス圧を均一化することができる。図９の例でいえば、第１電極３３と第３電極３５間、および、第３電極３５と第２電極３４間の放電空間のガス圧を均一化でき、従って、各電極間の閃光放電のパルス幅を均一にすることができるものである。
　また、本発明に係るフラッシュランプ装置においては、各電極への給電のためのコンデンサが必要になるが、コンデンサと高圧側の電極との距離が離れてしまうと、パルス幅が伸びてしまうという問題がある。
　このため、図９においては、第１電極３３及び第２電極３４を高圧側の電極としたとき、該第１電極３３と第３電極３５との間での閃光放電のためのコンデンサＡと、第２電極３４と第３電極３５との間での閃光放電のためのコンデンサＢとを設け、各コンデンサは低圧側の第３電極３５よりも高圧側の第１電極３３及び第２電極３４に近接させて配置される。
　このように、各電極間に対応するコンデンサを個別に設け、その電極間における高圧側にコンデンサを近接させることにより、各電極間での閃光放電のパルス幅が伸びることを抑制できる。
　上記実施例においては、電極保持体４２は、発光管２の内面に設けられているが、図１１に示すものでは、発光管２の外面において当接されるようにしてもよい。即ち、電極保持体４２には、発光管２の外部に位置してフランジ４２ａが形成され、該フランジ４２ａが発光管２の外面に封止材４３によって密閉封止されている。その他の構成については図１０の構成と同様である。
　なお、前記図１０、図１１における電極保持体４２は、金属部材など電気伝導性を有する部材で構成することで、電極軸３６と外部リード４５と直接接続することなく、両者を電気的に接続する機能を持たせることもできる。
　上記の実施例では、いずれも電極保持体４２によって第３電極３５を支持する構成としたが、図１２では、該電極保持体４２を設けることなく、外部リード４５によって直接第３電極３５を支持することもできる。即ち、外部リード４５が発光管２を貫通して、第３電極３５の電極軸３６に接続され、これを支持するものである。この場合、前記外部リード４５は、発光管２に封止材４３によって密閉封止される。
　こうすることにより、電極保持体を別途用意する必要がなく、発光管２には、外部リード４５が貫通する１つの貫通孔を設けるだけでよい。
　更には、第３電極３５を１つの電極頭部のみで構成することもできる。
　図１３に示されるように、第３電極３５は１つの電極頭部から構成され、その両端が放電端部４０、４１を構成し、それぞれ、第１電極３３と第２電極３４に対向配置される。これによれば、電極軸を省いたので、その分だけ電極の短尺化が図られる。
　なお、その他の構成は図１２の構成と同様である。
　上記実施例では、第３電極３５が１つのものを例示したが、図１４に示すように、更に、発光管２が長尺化する場合には、複数の第３電極３５、３５を設けることもできる。その場合は、当然ながら、閃光放電は各隣接する電極間でなされ、即ち、第１電極３３とこれに隣接する第３電極３５間、第２電極３４とこれに隣接する第３電極３５間、及び、隣接する各第３電極間３５において放電が生成されるものである。
　また、大型のワークに対してフラッシュランプを配置する場合、図１５に示すように、複数のフラッシュランプ１、１を千鳥状に配置して対応することができる。このとき、各隣接するランプ１では、第３電極３５が同じ位置に横並びしないようにずらせて配設することが好適である。これにより、第３電極３５下方での照度低下が重ならないようにできる。
　なお、この実施例では、発光管２の材料としてサファイア（単結晶アルミナ：Ａｌ２Ｏ３）などの透光性セラミックスを用いたものを示したが、この場合には、両端の封止部のバーナー加工が困難であることから、発光管２の端部にフリットガラスなどの封着剤５７を介したベース５８によって封止構造を形成すればよい。
　以上説明したように、本発明に係るフラッシュランプおよびフラッシュランプ発光装置によれば、両端に電極を備えた発光管の中間部に第３電極を配設し、全ての隣り合う電極間で個別に且つ同時に閃光放電することにより、ランプの全長を長尺化しても、電極間距離を小さくしてパルス幅を小さくでき、充電電圧を小さくすることができるという効果を奏するものである。
　これにより、装置全体の大型化を回避できるものである。
　１　　　　　　　フラッシュランプ
　２　　　　　　　発光管
　３　　　　　　　第１電極
　４　　　　　　　第２電極
　５　　　　　　　枝管
　５ａ～５ｅ　　　枝管
　６　　　　　　　第３電極
　６ｃ～６ｄ　　　第３電極
　７　　　　　　　反射鏡
　１０　　　　　　フラッシュランプ発光装置
　１１　　　　　　給電装置
　１２　　　　　　トリガ回路
　１３　　　　　　点灯回路
　１４、１５　　　コンデンサ
　１６　　　　　　トリガ電極
　１７　　　　　　コンデンサ
　１７ａ～１７ｄ　コンデンサ
　１８　　　　　　インダクタンス
　２０　　　　　　封着ガラス
　２１　　　　　　封止部材
　３３　　　　　　第１電極
　３４　　　　　　第２電極
　３５　　　　　　第３電極
　３６　　　　　　電極軸
　３７、３８　　　電極頭部
　４０、４１　　　放電端部
　４２　　　　　　電極保持体
　４３　　　　　　封止材
　４４　　　　　　貫通孔
　４５　　　　　　外部リード
　５０　　　　　　反射鏡
　５１　　　　　　反射鏡支持体
　５２　　　　　　筐体
　５３　　　　　　固定部材
　５５　　　　　　給電線
　５６　　　　　　圧着端子
　５７　　　　　　封着剤
　５８　　　　　　ベース
　Ａ　　　　　　　アーク
　Ｗ　　　　　　　被照射物（ワーク）
 
 
 

Claims (17)

  1. 　両端に第１電極と第２電極が配置された長尺状の発光管よりなるフラッシュランプにおいて、
    　前記発光管の中間部には、第３電極が配設されるとともに、これらの隣り合う全ての電極間で個別に且つ同時に閃光放電することを特徴とするフラッシュランプ。
  2. 　少なくとも前記第３電極は、前記発光管から分岐して形成される枝管の内部に配置されていることを特徴とする請求項１のフラッシュランプ。
  3. 　前記第３電極は、その先端が前記発光管内から後退した位置に配置されることを特徴とする請求項２のフラッシュランプ。
  4. 　前記第３電極は、前記発光管の長手方向に沿って複数個配置されていることを特徴とする請求項１のフラッシュランプ。
  5. 　前記発光管及び前記枝管は石英ガラス材料より構成されるとともに、前記枝管と前記発光管とを溶着して形成したことを特徴とする請求項１のフラッシュランプ。
  6. 　前記発光管は透光性セラミックス材料より構成されるとともに、前記枝管と前記発光管とを接合して形成したことを特徴とする請求項１のフラッシュランプ。
  7. 　前記第３電極は、隣り合う電極に対向する放電端部を有することを特徴とする請求項１に記載のフラッシュランプ発光装置。
  8. 　前記第３電極が複数設けられていることを特徴とする請求項７に記載のフラッシュランプ。
  9. 　前記第３電極は、共通する電極軸の両端に設けられた２つの電極頭部を備え、前記電極軸には、前記発光管の外部に突出する外部リードが接続されていることを特徴とする請求項７または８に記載のフラッシュランプ。
  10. 　前記第３電極は１つの電極頭部を備えるとともに、該電極頭部の両端に放電端部を有し、当該電極頭部には前記発光管の外部に突出する外部リードが接続されていることを特徴とする請求項７または８に記載のフラッシュランプ。
  11. 　前記第３電極は、前記発光管に取り付けられた電極保持体によって保持されていることを特徴とする請求項７または８に記載のフラッシュランプ。
  12. 　前記電極保持体には発光管内部空間を連通する貫通孔が穿設されていることを特徴とする請求項１１に記載のフラッシュランプ。
  13. 　前記第３電極は、該第３電極に接続された外部リードによって支持されていることを特徴とする請求項９または１０に記載のフラッシュランプ。
  14. 　両端に第１電極と第２電極が配置されるとともに、外部にトリガ電極を配置させた長尺状の発光管よりなるフラッシュランプと、該フラッシュランプを内部に有する筐体と、このフラッシュランプを発光させる給電装置よりなるフラッシュランプ発光装置において、
    　前記発光管の中間部には、第３電極が配設されるとともに、
    　前記給電装置は、前記トリガ電極を作動させることにより、隣り合う電極間で個別に且つ同時に閃光放電することを特徴とするフラッシュランプ発光装置。
  15. 　前記第３電極が複数備えられ、前記第１電極とこれに隣接する第３電極間の発光強度、および、第２電極とこれに隣接する第３電極間の発光強度を、第３電極間の発光強度よりも大きくしたことを特徴とする請求項１４に記載のフラッシュランプ発光装置。
  16. 　前記第３電極は隣り合う電極に対向する放電端部を有し、前記第３電極が前記筐体に保持されていることを特徴とする請求項１４に記載のフラッシュランプ発光装置。
  17. 　前記フラッシュランプの背面には、反射鏡が設けられ、前記第３電極は、当該反射鏡を介して前記筐体に保持されていることを特徴とする請求項１６に記載のフラッシュランプ発光装置。
     
     
     
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