JP4423874B2

JP4423874B2 - ベース付きフラッシュランプ及びランプアニール装置

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Publication number: JP4423874B2
Application number: JP2003093866A
Authority: JP
Inventors: 貴文溝尻; 哲夫布施
Original assignee: Ushio Denki KK
Current assignee: Ushio Denki KK
Priority date: 2003-03-31
Filing date: 2003-03-31
Publication date: 2010-03-03
Anticipated expiration: 2023-03-31
Also published as: JP2004303889A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はフラッシュランプ及び半導体製造や薄膜トランジスタ製造に用いるランプアニール装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
上記技術分野に関してフラッシュランプを用いたアニール装置の開発が進められている。例えば、シリコンウエハ表層に浅い拡散層（ｐｎ接合）を形成（イオン注入した不純物活性化）する工程においてランプアニール装置が使用される。上述のアニール工程では特にイオン注入した不純物のプロファイルのくずれや形成したパターンの揮発などの問題を回避し、かつ、不純物の良好な活性化状態を得ることが必要である。又、液晶表示パネル用の薄膜トランジスタ製造においても、基板上に形成された半導体膜を確実かつ均一に活性化させる必要がある。特にガラス基板による場合は係るアニール処理を達成しつつ基板への過度の加熱を防止して基板の伸縮や「そり」の発生を抑制しなければならない。このような背景技術は、例えば、特開２００２−１９８３２２号公報や特開２００１−３１９８８７号公報などに開示されている。
【０００３】
このように、上記技術分野におけるアニール工程では特に、基板表層或いは基板表面上の薄膜を、下部への熱の浸透を抑制し、均一かつ確実に所定温度に加熱する必要がある。例えば、上記特開２００２−１９８３２２号公報においては、シリコンウエハのアニール処理において、不純物イオンを活性化させる場合はウエハ表面を温度約１１００℃、高低差２％以下で加熱するのが良いとされている。しかもその昇温速度は２×１０^４〜２×１０^６℃／ｓであるのが望ましいとされる。更には、基板上の半導体膜であるアモルファスシリコンを結晶化する場合、１０００℃以上、例えば１４００℃に加熱する。
【０００４】
このようにフラッシュランプを用いたアニール装置では、ランプと基板表面との距離、ランプの配置及び入力など、あらゆる面で厳しい制約があり、特に始動性に関しては、複数ランプの同時点灯が確実に行わなければならない。そこで本出願人は先に特開２００２−２３１４８８号公報においてランプ装置に関する技術を提案した。係るランプ装置によれば、始動性改善のためのトリガー線が付設されたフラッシュランプを、照度むらを少なくすることが可能でしかもランプ同士を近接配置することが可能である。
【０００５】
【特許文献１】
特開２００２−１９８３２２号公報
【特許文献２】
特開２００１−３１９８８７号公報
【特許文献３】
特開２００２−２３１４８８号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明者らは先に、ランプを近接かつ並行に配置するためランプ固定機構について開発を行った。
図５〜図７を参照して、上記ランプ固定機構について説明する。図５はランプアニール装置におけるランプ固定機構を説明する図である。
固定機構６０の主要部は絶縁性部材からなり、ランプが並べられる平面の方向に分割された二つのブロックよりなる。一方の絶縁ブロック６１には、ランプを収容する発光管外径に適合した嵌合溝６３が設けられている。他方の絶縁ブロック６２は略板状であり、これら一方と他方のブロックにランプを挟みこみ、固定する。尚、同図中に示す符号６７は、後段で説明するランプを押圧する板バネである。
図６は、ランプが装着された一方のブロック６１を紙面において下側からみた要部平面図、図７は図６中のうち１本のランプについてランプ管軸を通る面で切断した縦断面図である。
図６に示すようにランプ７０，７０・・は、発光管７１，７１，・・における排気管残部７１ａよりも外方の端部が一方の絶縁ブロック６１の嵌合溝６３に嵌合して、略同一平面上に並べられる。嵌合溝６３，６３・・には、発光管７１，７１，・・に適合する大径の溝と、ランプの給電用の導出部（７５，７７）に適合する小径の溝とからなっている。
図７において、ランプ７０は、発光管７１が石英ガラスからなり、外径φ１０ｍｍ〜φ１５ｍｍ、肉厚１ｍｍ〜２．５ｍｍ、発光管全長５４０ｍｍ〜６００ｍｍであり、内部には、放電ガスとして、例えばキセノンガス、クリプトン、アルゴン、ネオン等の希ガス、セシウム、カリウム、水銀の単体若しくはこれらの混合物が封入され、一方の電極７２が該発光管７１の端壁部７３より気密に導出されている。尚、他方の電極もこれと同様である。
上記ランプ７０における給電用導出部は、電極７２に連設されたリード棒７４の外部導出部が、発光管７１端部から所要距離離間した箇所においてリード線７５に銀ロウ７６等で電気的に接続されて構成されている。ここで、上記装置においては、ランプ７０の間隔が狭小であることに鑑み、発光管７１の端部より導出されたリード棒７４及びリード線７５は絶縁用の熱収縮性の樹脂製チューブ７７により被覆されている。
【０００７】
上記ランプ７０には、始動性改善のためのトリガー管５０が配設されている。係るトリガー管５０は上述したトリガー線をガラス管内に封装したものであり、ランプにそれぞれ取り付けられる。
【０００８】
ランプ固定機構６０においては、トリガー管５０とランプ７０を同時に挟持するため、一方の絶縁ブロック６１における嵌合溝６３に底壁面にトリガー管５０嵌入用の幅狭の溝を設けている。この幅狭の溝には板バネ６６が配設され、一方、当該板バネ６６の略対向位置にも他方の絶縁ブロック６２に板バネ６７が配設されている。
トリガー管５０は板バネ６６と当接してランプ７０の方向に押し出す方向に押圧され、ランプ７０もまた発光管７１がトリガー管５０と当接してトリガー５０の方向に押圧されて、一方と他方の絶縁ブロック６１，６２の間において両者の管壁表面が密接した状態で、ランプを固定することが可能となる。
上述した用途、例えば直径約３００ｍｍ（１２インチ）シリコンウエハや幅３００ｍｍの液晶パネル用ガラス基板に対応する装置では、ランプは２０〜３０本必要となる。そして、これらランプは、被処理面における温度と均一性を確保するために、発光管離間距離２ｍｍ〜３ｍｍ、発光管と被処理面（不図示）との最短距離４０ｍｍ〜５０ｍｍとして並べられてランプ固定機構により固定されるようになる。
【０００９】
ところで、ランプは上述した基板等の加熱条件を達成するために短いパルス幅でかつ高いエネルギーで瞬間的に点灯されるので、該ランプはその際に掛かる負荷により発光管自身が振動するといった現象が生じる。このような振動は、例えばランプを複数本並べた装置において、ランプ内部に流れる荷電粒子（電流）が磁界中に置かれ、その荷電粒子に力（以下、ローレンツ力と称す）が作用するために生じる、と考えられている。係る振動による応力は、当該ランプの固定部に集中して、発光管表面が板バネとの接触部において損傷する。１回の点灯による発光管の損傷はごく微小なものであっても、ランプの点灯毎にこれが繰り返されて損傷が蓄積されると、ある時、点灯の衝撃でランプの発光管が割れてしまうといった事態に至る。そして、１本のランプ割れによる衝撃が装置全体に及んで他のランプの割れを誘発するといった問題を招来する。
【００１０】
また、このランプは、自身の振動を吸収する際回動することがあり、リード棒に接続した可撓性のリード線にねじれが生じて断線したり、リード棒の導出部近傍のガラスが破損したりするという問題がある。
本発明が解決しようとする課題は、複数のフラッシュランプを同一平面上に密接して並べて固定しても、発光管への付加を少なくして固定することができるランプを提供すること、そして、ランプの早期破損といった事態を招来することなくランプ交換の頻度が少なくてメンテナンスを簡便に行えて、ウエハの表面のみを瞬時に加熱することができるアニール装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明は、石英ガラスからなる円筒管の両端に端壁部が形成されて密閉された発光管の内部に一対の電極が対向配置され、該電極に連設されたリード棒が前記端壁部より導出されてなるフラッシュランプと、前記発光管の端部に装着された略円筒形のベースと、を具備してなるベース付きフラッシュランプであって、前記発光管の端部には、電極よりも長手方向の外方において、該発光管の電極間領域における外径よりも小さい外径を有する縮径部が形成されており、前記ベースの外径は、前記発光管の電極間領域における外径以下の大きさであり、前記縮径部の外周面と前記ベースの内周面とが接着剤で固定されていることを特徴とする。
更に、前記ベースがセラミックスよりなることを特徴とする。
更に、前記リード棒にはリード線が接続されており、前記ベース内部において該リード線が該ベースに固定されていることを特徴とする。
更に、前記縮径部に排気管残部が形成されていることを特徴とする。
【００１２】
そして、本発明に係るアニール装置は、上記ベース付きフラッシュランプのいずれかを複数具備し、該複数のフラッシュランプの端部が、一方の絶縁性ブロックと他方の絶縁性ブロックにより挟圧されて同一平面上に並べて配設されたランプアニール装置において、前記一方の絶縁ブロックには嵌合溝が形成され、前記ベースが該嵌合溝に嵌合して他方の絶縁ブロックにより押圧されていることを特徴とする。
更に、前記アニール装置において、前記一方若しくは他方の絶縁ブロックには前記ベースに当接して対向方向に押圧する板バネが装着されていることを特徴とする。
更に、前記ベースと前記嵌合溝にはランプの周方向及び／又はランプ管軸方向の移動を規制するための係合部が形成されていることを特徴とする。
【００１３】
又、上記系合部が形成されたアニール装置用のベース付きフラッシュランプにおいては、前記ベースに該係合部に係合する係合溝が形成されていることを特徴とする。
【００１４】
【発明の実施の形態】
図１は本発明に係るベース付フラッシュランプの全体を示す管軸方向断面図である。
フラッシュランプ１は、発光管１０が石英ガラスからなり、発光管の外径φ１０ｍｍ〜φ１５ｍｍ、肉厚１ｍｍ〜２．５ｍｍ、発光管全長５４０ｍｍ〜６００ｍｍであり、内部にはキセノンガスが２７ｋＰａ〜８０ｋＰａ（２００Ｔｏｒｒ〜６００Ｔｏｒｒ）（２５℃換算）封入されている。係る発光管１０内部において陰極２１と陽極２２（以下簡単に電極ともいう。）が対向配置され、各電極２１，２２に連設されたリード棒２３，２３が前記発光管１０の端壁部１１を介して気密に導出されている。またこの発光管１０には、陽極２２側の縮径部１２における内端近傍に排気管残部１０ａが形成されている。リード棒２３，２３の外端部にはリード線２４，２４が接続されており、ランプの給電用の導出部が形成され、樹脂製チューブ等により被覆されている。このランプ１において、電極間距離即ちアークの長さは例えば３６０ｍｍ〜５６０ｍｍである。
【００１５】
発光管１０の両端には電極後端面２１ａ，２２ａより外方において縮径部１２，１２が所定領域形成されており、当該縮径部１２，１２に絶縁性のセラミックスよりなる略円筒形状のベース４０Ａ，４０Ｂが装着されている。
【００１６】
ベース４０Ａ，４０Ｂは、外径がφ１０ｍｍ〜φ１５ｍｍ、発光管挿入部内径φ９〜φ１３ｍｍ、リード棒通過部内径φ５〜８ｍｍ、全長５０〜７０ｍｍであり、底部に貫通孔４１が形成されてリード線２４が導出されている。尚、一方のベース４０Ｂの側面には対向する箇所に切欠き状の溝４２，４２が形成されている。
【００１７】
ランプ発光管１０における縮径部１２，１２は、例えば、発光管１０の外径がφ１３である場合、外径φ９ｍｍであり、各電極２１，２２の後端より３ｍｍ〜１０ｍｍ後退した位置から該発光管の端部に至るまで形成されている。尚この縮径部１２，１２の全長は、端壁部１１，１１後端を含めて２０ｍｍ〜３０ｍｍである。ベース４０Ａ，４０Ｂは、縮径部１２，１２の先端より５ｍｍ〜１５ｍｍの離間部分を有して装着される。縮径部１２，１２における外周面と、前記ベース４０Ａ，４０Ｂの内周面内との間には、略全周に亘って隙間が形成されており、当該隙間に絶縁性の接着剤３０，３０が充填されている。又、リード線２４，２４はベース４０Ａ，４０Ｂの筒孔内において接着剤３０’，３０’により該ベース４０Ａ，４０Ｂに固定されている。これにより、リード線２４，２４の取り回しに際して、リード棒２３，２３の導出部やリード棒２３，２３とリード線２４，２４との接続部に負荷や張力が掛かることが防止される。
【００１８】
以上のフラッシュランプは例えば２０〜３０本用意され、陰極２１側端部と陽極２２側端部が交互になるよう並列配置される。このように陰極２１側の端部と陽極２２側の端部とを互い違いに配置すると、隣接するランプ同士でランプに流れる電流の向きが交互になるので、ランプ点灯時に発光管１０管壁に掛かるローレンツ力が軽減される。
図２〜４は、本発明に係るアニール装置のランプ固定機構を説明する図である。尚、ランプ固定機構の主要部とされるブロック部分は、細部を除いて概略図５で示したものと同様であるので、前図を参照して説明する。尚、図２は前記一方の絶縁ブロック上にベース付きランプを配置した様子を示す平面図、図３は、本発明に係る固定機構における図２中のＸ−Ｘ’で切断した要部切断図、図４はランプ固定機構要部をランプ管軸を通りランプの並列方向と垂直な平面で切断した断面図である。
【００１９】
固定機構６０の主要部は、ランプの並列方向に分割された絶縁性のブロック６１，６２からなり（図５参照）これらはランプを配設後、不図示のネジ等を用いて結合される。
図２〜５に示すように、一方の絶縁ブロック６１には前記ランプ１，１・・を収容する発光管１０，１０，・・の外径に適合した嵌合溝６３，６３・・が設けられており、図２で詳細に示すように、ランプ１に固定されたベース４０Ａ，４０Ｂ・・が嵌合溝６３，６３・・に嵌合することによりランプ１，１・・が並列配置され、ベース４０Ａ，４０Ｂ・・の底部から導出したリード線２４，２４・・が該ブロック６１，６２の外部に導出される。尚、このように密接配置したときにも、排気管残部１０ａが縮径部に形成されているので当該排気管残部１０ａが隣接するランプに当接することがなく、破損の発生を防止することができる。
【００２０】
一方のブロック６１の嵌合溝６３内面には、ランプ中心方向に凸状に突出する凸部６４が形成され、図２、図３に示すように当該突部６４とベース側面の溝４２が係合することにより、当該ランプ１の周方向の移動及びランプ軸方向の移動が抑止されている。この係合部はランプの管軸方向に２ｍｍ〜５ｍｍ程度遊嵌しているのが望ましく、これによりランプ点灯時の衝撃を効果的に吸収することができる。
【００２１】
以上の係合関係によって、ベース付きランプが回動することなく安定的に固定機構に固定され、更にランプの軸方向の移動が規制されるので、リード棒に接続されたリード線がねじれて断線したり、リード棒の導出部近傍のガラスが破損したりするといった不具合を回避することができる。又、ランプの軸方向の移動が規制されるのでランプにおける発光部が著しくずれるようなこともない。
【００２２】
上記ランプ１には始動性改善用のトリガー管５０が発光管１０の管壁に沿って配設される。係るトリガー管５０は、例えば外径φ３ｍｍ〜φ５ｍｍの細長いガラス管５１に、金属よりなるトリガー線５２を挿入してガラス管５１の一端に形成した封着部５３を介して、トリガー線５２を電気的に導出させたものである。トリガー線５２の導出側はランプの陰極２１側とされており、これにはランプ１とは別に独立した電圧が印加されるようになる。
【００２３】
ブロック６１のランプ嵌合溝６３の底部には、図３に示すように、トリガー管５０に嵌合する細溝６５が設けられている。そして、図４に示すように、一方のブロックと他方のブロックにはそれぞれ、内方に向けて押圧力を有する板バネ６６，６７が、各ブロック６１，６２に係合して装着されている。ランプ１及びトリガー管５０を挟んでブロック６１，６２を固定すると、対向する板バネ６６，６７の協同作用によりランプ１とトリガー管５０とが密接した状態で挟持される。
【００２４】
ここで、本発明に係るベース付きフラッシュランプによれば、ランプ固定機構により挟持する箇所がベースであるため、ランプの発光管に金属部材が直接接触することがなく、当該発光管が損傷するような問題がなくなる。そして、ランプ点灯時に発光管が受ける振動は、発光管におけるベース接着面、即ち、発光管縮径部の外表面の略全周において伝達されるため、直接発光管に衝撃の負荷が集中することが防止され、該発光管が損傷することを効果的に防止することができる。
そして、本発明によればベースを板バネに接触させているが、当該ベースはセラミックスにより構成されているので、発光管を構成するガラスに比較して格段に損傷しにくく、仮にベース表面が損傷したとしても当該ベースの破損の発生率が格段に低く、万一ベースが割れたとしても発光管が割れるような事態には至らない。
【００２５】
又、上記実施形態のように、トリガー管をランプに沿って付設している場合、内在するトリガー線に導電性部材が電気的に接していると、トリガー線への印加電圧がその導電性部材に奪われて十分に始動性補助機能を果たすことができなくなるという不具合を生じるが、本願発明に係るベースつきフラッシュランプによれば、ベースが絶縁性のセラミックスからなるので、トリガー管がベースと接触していてもトリガー線への印加電圧を低下させることが無く、ランプの点灯信頼性を損なうような問題がない。
【００２６】
上述した本発明に係るベースは、外径がランプ発光管の外径以下の大きさであるので、従来のベースを装着していないランプと同程度にランプピッチを小さくして配置することが可能である。
【００２７】
本願発明に係るベース付きフラッシュランプ或いはアニール装置においては、上記構成に限定されるものではなく種々の変更が可能である。例えばベースと固定機構における係合関係は上記形態に限定されるものではなく適宜である。
【００２８】
又、上記トリガーによらずランプに対して他の始動性改善策が取られるような場合は、ベースの材質のみ変更して金属で構成することも可能である。又、トリガー線への給電部とベースとの間において確実に絶縁性を確保できる場合も同様である。金属製のベースを用いても発光管の破損を防止する効果が絶大であることはいうまでもない。
【００２９】
以上説明したように、本発明に係るベース付きフラッシュランプによれば、発光管の端部に縮径部が形成されており、当該縮径部にベースを装着したので、発光管にはランプ点灯時の振動や衝撃が、ベース及び接着剤を介してその周面全域においてが伝達されるため、当該発光管に局所的に負荷が集中するようなことがなく、点灯の衝撃で発光管が破損することが防止される。
【００３０】
又、上記フラッシュランプに装着されるベースは、外径が発光管の外径以下であるので、ランプを密に配置でき、ランプ間の距離を、従来品のベースを装着していないものと同様に小さくすることが可能となる。
従って、本半導体製造や薄膜トランジスタ製造に用いられるランプアニール装置として使用してもランプ使用寿命が短くなるといった問題を効果的に回避することが可能なベース付きフラッシュランプを提供できる。
【００３１】
そして、本発明に係るベース付きフラッシュランプ及び固定機構を用いたアニール装置によれば、複数本のランプを同一平面上に密に配置させることが可能であり、基板表層或いは基板表面上の薄膜を下部への熱の浸透を抑制し、均一かつ確実に所定温度に加熱することが可能である。そして、加熱源であるランプの使用寿命が従来に比較して格段に長いので、ランプ破損に伴う交換作業を少なくできて、メンテナンスが簡便で、高信頼性を有するアニール装置を提供することができるようになる。
このベース付きフラッシュランプにトリガー管を付設する場合においても、ベース外径が発光管外径を超えていないので、トリガー管発光管との隙間を形成させることなく配設可能であり、ランプの点灯特性においても高信頼性を維持することができる。更に、フラッシュランプに装着されるベースをセラミックスで構成することによりトリガー線への印加電圧が低下するような問題が生じず、特別な絶縁対策が不要であって簡便に使用できる。
【００３２】
【実施例】
前述した図１にランプと同仕様のベース付きフラッシュランプを製作した。即ち電極間距離（アークの長さ）５００ｍｍであり、発光管は縮径部を除いて外径がφ１３ｍｍ、内径がφ１０ｍｍであった。このような仕様のランプを３０本用意して、発光管の離間距離２．２ｍｍとして、図２〜４で示したランプ固定機構を有するランプアニール装置に搭載し、ランプへの投入エネルギー５５００Ｊで点灯した。
【００３３】
その結果、３０万回点灯しても、ランプ発光管が割れることなく点灯した。更に点灯を続けると、５０万回目の点灯でベースが破損したものがあったが係るベース付きフラッシュランプは発光管が破損することなく、又１本のランプのベースの破損に起因してその他のランプが破損するような問題は生じなかった。
【００３４】
【発明の効果】
以上説明したように、本願発明に係るベース付きフラッシュランプによれば、ランプが点灯の衝撃で振動しても、ベースの内面と発光管の縮径部外周面とが接着剤で固定されているので、発光管が受ける衝撃は当該発光管の全周方向に分散されたものとなり、発光管への負荷を格段に低減することができる。又、発光管が金属部材と直接接触していないので、発光管外表面が損傷するようなことがなくなる。更にこのベースは、外径が発光管の外径を超えていないので、複数のフラッシュランプを同一平面上に例えば３ｍｍ以下の距離で密接させて配設することができる。
【００３５】
そして、発光管にランプと固定機構との関係で破損が生じにくいため、半導体製造や薄膜トランジスタ製造工程で使用されるアニール装置用途として好適なベース付きフラッシュランプを提供できる。よって、本願発明によれば、ランプ発光管の早期破損を抑制できるので、ランプに掛かるメンテナンス等が簡便なランプアニール装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るベース付きフラッシュランプの管軸方向断面図である。
【図２】前記一方の絶縁ブロック上にベース付きランプを配置した様子を示す平面図である。
【図３】図２のＸ−Ｘ’で切断した固定機構要部の切断面図である。
【図４】ランプ管軸を通りランプの並列方向と垂直な平面で切断した断面図である。
【図５】先に本出願人が開発したランプ固定機構におけるブロック部材の斜視図である。
【図６】従来技術に係るランプと、その固定機構を説明する要部平面図である。
【図７】従来技術に係るランプと、その固定機構を説明するランプ管軸を通る断面図である。
【符号の説明】
１フラッシュランプ
１０発光管
１０ａ排気管残部
１１端壁部
１２縮径部
２１陰極（電極）
２２陽極（電極）
２１ａ，２２ａ後端面
２３リード棒
２４リード線
３０、３０’ 接着剤
４０Ａ，４０Ｂベース
４１貫通孔
４２溝
４３嵌合溝
５０トリガー管
５１管
５２トリガー線
５３封着部
５４導出部
６０ランプ固定機構
６１一方の絶縁ブロック
６２他方の絶縁ブロック
６３嵌合溝
６４凸部
６５細溝
６６、６７板バネ

Claims

石英ガラスからなる円筒管の両端に端壁部が形成されて密閉された発光管の内部に一対の電極が対向配置され、該電極に連設されたリード棒が前記端壁部より導出されてなるフラッシュランプと、前記発光管の端部に装着された略円筒形のベースと、を具備してなるベース付きフラッシュランプであって、
前記発光管の端部には、電極よりも長手方向の外方において、該発光管の電極間領域における外径よりも小さい外径を有する縮径部が形成されており、
前記ベースの外径は、前記発光管の電極間領域における外径以下の大きさであり、
前記縮径部の外周面と前記ベースの内周面とが接着剤で固定されていることを特徴とするベース付きフラッシュランプ。
前記ベースがセラミックスよりなることを特徴とする請求項１記載のベース付きフラッシュランプ。
前記リード棒にはリード線が接続されており、前記ベース内部において該リード線が該ベースに固定されていることを特徴とする請求項１又は２記載のベース付きフラッシュランプ。
前記縮径部に排気管残部が形成されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のベース付きフラッシュランプ。
請求項１乃至請求項４のいずれかのベース付きフラッシュランプを複数具備し、該複数のフラッシュランプの端部が、一方の絶縁性ブロックと他方の絶縁性ブロックにより挟圧されて同一平面上に並べて配設されたランプアニール装置において、
前記一方の絶縁ブロックには嵌合溝が形成され、前記ベースが該嵌合溝に嵌合して他方の絶縁ブロックにより押圧されていることを特徴とするランプアニール装置。
前記アニール装置において、前記一方若しくは他方の絶縁ブロックには前記ベースに当接して対向方向に押圧する板バネが装着されていることを特徴とする請求項５記載のランプアニール装置。
前記ベースと前記嵌合溝にはランプの周方向及び／又はランプ管軸方向の移動を規制するための係合部が形成されていることを特徴とする請求項５又は６記載のランプアニール装置
請求項７記載のランプアニール装置用のベース付きフラッシュランプであって、前記係合部において前記ベースに係合溝が形成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載のベース付きフラッシュランプ。