TWI402884B - An excimer lamp and a lamp unit with its lamp unit - Google Patents

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Description

準分子燈及具備它的燈單元
本發明是關於準分子燈及具備它的燈單元，尤其是，在準分子燈的端部具備燈保持部的準分子燈及具備它的燈單元。
傳統上，如專利文獻1所述地，在半導體基板或液晶基板的製程中，將基板的洗淨作為目的使用具備照射真空紫外線的準分子燈的燈單元。
第20圖是表示從對於習知技術的準分子燈103的長度方向正交的切剖面觀看的紫外線照射裝置100的構成的斷面圖，第21圖是表示從圖示於第20圖的E-E切剖面觀看的紫外線照射裝置100的斷面圖。
如此些圖示所示地，紫外線照射裝置100是由在大約箱狀地構成的筐體104內具備準分子燈103的燈單元101(圖上方)，及載置燈單元101，而且搬運被照射物W的搬運機構102(圖下方)所構成。
如此些圖式所示地，燈單元101是由設置於燈單元101的筐體104內部的複數支準分子燈103，及收納準分子燈103，而且加以保持的筐體104所構成。準分子燈103是藉由燈保持體111經隔間壁110被支撐於筐體104。搬運機構102是具備：載置燈單元101的筐體104，而且並列配置於內部的複數滾子109，及設於各滾子109的兩端，而且旋轉驅動滾子109的驅動體110。從搬運機構的搬入口被搬入的被照射物W，是被載置於滾子109，利用滾子109被旋轉驅動，被搬入至準分子燈103的正下方。被搬入的被照射物W是與準分子燈103近接，被照射來自準分子燈103的真空紫外線。利用真空紫外線所照射的被照射物W是從搬出口被搬出。
第22圖是表示圖示於第20及第21圖的準分子燈103的立體圖，第23圖是表示圖示於第21圖的準分子燈103的一方的端部(圓圈地被包圍的部位)的放大斷面圖，第24圖是表示從圖示於第23圖的F-F切剖面所觀看的準分子燈103的一方的端部的斷面圖。
如此些圖所示地，準分子燈103是具備大約長方體的放電容器105，而對於其長度方向的垂直方向的斷面為長方形，而在放電容器105的上下兩面沿著放電容器的長度方向延伸地設有網狀的一方的外部電極106及另一方的外部電極107。在放電容器105的兩端，設有將分別連接於一方的外部電極106及另一方的外部電極107的一方的引線114及另一方的引線115予以保持的引線保持體112，而引線保持體112拉出一方的引線114及另一方的引線115。
專利文獻1：日本特開2005-197291號公報
一般，設於表示於第22圖的準分子燈103的引線保持體112是具備如以下所示的3種功能。一般，第1種功能是引線114、115與外部電電極106、107藉由焊劑的焊接被電性地連接之故，因而用以確保維持兩者的連接的保持引線114、115的功能，例如將被連接於準分子燈103的外部電極106、107的引線114、115設置於放電容器105與引線保持體112之間，而將引線114、115壓接在放電容器105與引線保持體112之間並予以保持的功能。第2種功能是被固定於放電容器105的功能，例如在引線保持體112與放電容器105之間的空隙填充接著劑116，而把引線保持體112被固定在放電容器105的外面的功能。第3種功能是防止放電容器105外面的外部電極106、107間的絕緣擊穿的功能，例如抵接於引線114、115的引線保持體112藉由以具有電性絕緣性的構件所構成，防止放電容器105外面的外部電極106、107間的沿面放電的功能。
表示於第21圖至第24圖的習知技術的引線保持體112，是具備上述的第1種至第3種的功能，惟在準分子燈103與被照射物W相對配置的燈單元101中，為了從準分子燈103被照射在被照射物W的真空紫外線，儘量不會被氧氣吸收而有效率地被照射在被照射物W，必須儘量近接配置準分子燈103與被照射物W。準分子燈103與被照射物W間的距離，是例如必須近接在3~5mm的範圍。但是，表示於第21圖至第24圖的習知技術的引線保持體112，為具有如陶瓷的電性絕緣性的構件所構成，則從放電容器105的平坦面會突出著引線保持體112的厚度部分，而該厚度部分會把準分子燈103與被照射物W間的距離L10的近接化成為困難。亦即，引線保持體112是必須構成不會對作為第4種功能的準分子燈103與被照射物W的近接配置上成為妨礙。
本發明的目的是鑑於上述間題點，提供具備可將準分子燈與被照射物間的距離近接配置在0.1~5mm的範圍的引線保持體的準分子燈及具備該準分子燈的燈單元。
本發明為了解決上述課題，而採用如下的手段：
第1手段是一種準分子燈是由具有朝長度方向延伸的上下兩面，而且在內部封入發光氣體的放電容器，及設於上述上下兩面中的一方的一面的一方的外部電極，及設於上述上下兩面中的另一方的平坦面的另一方的外部電極，及設於上述放電容器的至少一方的端部側的引線保持體所構成的準分子燈，其特徵為：上述引線保持體是由具有電性絕緣性的引線保持部與金屬薄板所成的平坦支撐部所構成，藉由以上述引線保持部與上述平坦支撐部夾持上述放電容器，上述引線保持部是將與上述一方的外部電極電性地連接的一方的引線保持在與上述放電容器的上述一方的一面之間，上述平坦支撐部是與上述另一方的外部電極電性地連接，而且抵接於上述放電容器的上述另一方的平坦面。
第2手段是一種準分子燈是由具有朝長度方向延伸的上下兩面，且具有形成於在該上下兩面所形成的彎曲面上的屈曲部或形成於上述上下兩面間的屈曲部，而且在內部封入發光氣體的放電容器，及設於上述上下兩面中的一方的一面的一方的外部電極，及設於上述上下兩面中的另一方的平坦面的另一方的外部電極，及設於上述放電容器的至少一方的端部側的引線保持體所構成的準分子燈，其特徵為：上述引線保持體是由具有電性絕緣性的引線保持部與具有彈性的金屬薄板所成的平坦側支撐部所構成，藉由以上述引線保持部與上述平坦側支撐部夾持上述放電容器，上述引線保持部是將與上述一方的外部電極電性地連接的一方的引線保持在與上述放電容器的上述一方的一面之間，上述平坦側支撐部是將與上述另一方的外部電極電性地連接的另一方的引線保持在與上述放電容器的上述另一方的平坦面之間。
第3手段是一種準分子燈是由具有朝長度方向延伸的上下兩面，而且在內部封入發光氣體的放電容器，及設於上述上下兩面中的一方的一面的一方的外部電極，及設於上述上下兩面中的另一方的平坦面的另一方的外部電極，及設於上述放電容器的至少一方的端部側的引線保持體所構成的準分子燈，其特徵為：上述引線保持體是由具有電性絕緣性的引線保持部，及被填充固化於該引線保持部與上述放電容器之間的接著材所成的擴徑支撐部所構成，藉由接著材被填充固化於上述引線保持部與上述放電容器之間，上述引線保持部是將與上述一方的外部電極電性地連接的一方的引線保持在與上述放電容器的上述一方的一面之間，上述擴徑支撐部是將與從上述另一方的外部電極連續至形成於放電容器的側面的擴徑部而延伸的外部電極部分電性地連接於另一方的引線保持在該擴徑支撐部內。
第4手段是一種準分子燈是由具有朝長度方向延伸的上下兩面，而且在內部封入發光氣體的放電容器，及設於上述上下兩面中的一方的一面的外部電極，及設於上述上下兩面中的另一方的平坦面的另一方的外部電極，及設於上述放電容器的至少一方的端部側的引線保持體所構成的準分子燈，其特徵為：上述放電容器是在上述兩面間之側面形成有擴徑部，上述引線保持體是由具有電性絕緣性的引線保持部與擴徑支撐部所構成，藉由以上述引線保持部與上述擴徑支撐部夾持上述放電容器，上述引線保持部是將與上述一方的外部電極電性地連接的一方的引線保持在與上述放電容器的上述一方的一面之間，上述擴徑支撐部是與上述放電容器的上述擴徑部抵接。
第5手段是在第4手段中，上述另一方的外部電極具有連續至上述放電容器的擴徑部而延伸的外部電極部分，上述擴徑支撐部是以金屬材料所構成，藉由以上述引線保持部與上述擴徑支撐部夾持上述放電容器，使上述放電容器的外部電極部分與上述擴徑支撐部得到電性連接。
第6手段是第1手段至第5手段中任一項的手段所述的準分子燈中，上述放電容器是具有從該放電容器的端壁部突出的晶片管，上述引線保持體是具有：在引線保持部朝晶片管的管軸方向延伸的連接部，及設於從該連接部朝晶片管的長度方向的外方的保護部。
第7手段是一種燈單元，是準分子燈，及保持該準分 子燈的一面開口的筐體所成的燈單元，其特徵為：上述準分子燈是第1手段至第6手段中任一手段所述的一或複數準分子燈，該準分子燈的平坦面，是與位於上述筐體的開口的被照射物的被照射面平行地配置。
第8手段是一種燈單元，是準分子燈，及保持該準分子燈的一面開口的筐體所成的燈單元，其特徵為：上述準分子燈是第1手段至第6手段中任一手段所述的複數準分子燈，該複數準分子燈是在與該準分子燈的長度方向正交的方向並列地排列，且上述各準分子燈的平坦面是配置於同一平面上。
第9手段是一種燈單元，是準分子燈，及保持該準分子燈的一面開口的筐體所成的燈單元，其特徵為：上述準分子燈是申請專利範圍第1項至第6項中任一項的申請專利範圍所述的複數準分子燈，該複數準分子燈是在與該準分子燈的長度方向正交的方向，彼此朝長度方向偏位而排列，且上述各準分子燈的平坦面是配置於同一平面上。
依照申請專利範圍第1項至第2項所述的發明，第1為可將被連接於準分子燈的外部電極的引線設於放電容器與引線保持體之間，而將引線壓接在放電容器與引線保持體之間並加以保持，又，第2為可把引線保持體固定在放電容器的外面。又，第3成為藉由抵接於引線的引線保持部以具有電性絕緣性的構件所構成，可防止放電容器的外面的外部電極間的沿面放電。又，第4為作為平坦支撐部使用金屬薄板之故，因而可將平坦支撐部的厚度作成較薄，而把準分子燈與被照射物之近接配置成為可能。
依照申請專利範圍第3項所述的發明，第1為可將被連 接於準分子燈的外部電極的引線設於放電容器與引線保持體之間，而將引線壓接在放電容器與引線保持體之間並加以保持，又，第2為可把引線保持體固定在放電容器的外面。又，第3成為藉由抵接於引線的引線保持部以具有電性絕緣性的構件所構成，可防止放電容器的外面的外部電極間的沿面放電。又，第4為在擴徑支撐部使用接著劑之故，因而不會有引線保持部從放電容器的下部平坦面突出的部位，而把準分子燈與被照射物之近接配置成為可能。
依照申請專利範圍第4項至第5項所述的發明，第1為可將被連接於準分子燈的外部電極的引線設於放電容器與引線保持體之間，而將引線壓接在放電容器與引線保持體之間並加以保持，又，第2為可把引線保持體固定在放電容器的外面。又，第3成為藉由抵接於引線的引線保持部以具有電性絕緣性的構件所構成，可防止放電容器的外面的外部電極間的沿面放電。又，第4為作為以擴徑支撐部抵接放電容器的擴徑部之故，因而不會有引線保持部從放電容器的下部平坦面突出的部位，而把準分子燈與被照射物之近接配置成為可能。
依照申請專利範圍第6項所述的發明，藉由引線保持體來保護晶片管，而可防止晶片管的損傷。
依照申請專利範圍第7項所述的發明，可實現準分子燈與被照射物之近接配置成為可能的燈單元。
依照申請專利範圍第8項至第9項所述的發明，放電容器與被照射物之近接配置成為可能，而且對於具有準分子燈的長度方向的長度方向的長度以上的寬度的被照射物W也可實現可照射真空紫外線的燈單元。
使用第1圖至第5圖來說明本發明的第1實施形態。
第1圖是表示從沿著本實施形態的發明的準分子燈5的長度方向的切剖面所觀看的紫外線照射裝置1的構成的斷面圖。
如同圖所示地，該紫外線照射裝置1是由在大約箱狀地所構成的筐體4由具備1個或複數準分子燈5的燈單元2(圖上方)，及載置燈單元2而且搬運被照射物W的搬運機構3(圖下方)所構成。
燈單元2是由在筐體4內部，並列地排列與紙面平行的方向的複數支準分子燈5，及收納準分子燈5而且加以保持的筐體4所構成。準分子燈5是引線保持體5設於準分子燈5的兩端，藉由燈保持體52經由隔間壁41被支撐於筐體4。搬運機構3是具備：載置燈單元2的筐體4，而且在內部朝與紙面平行的方向並列配置的複數滾子31，及設於各滾子31的兩端，而且旋轉驅動滾子31的驅動部32。被搬入至搬運機構3內的被照射物W是被載置於滾子31，而利用旋轉驅動滾子31，被搬入至準分子燈5的正下方。被搬入的被照射物W是與準分子燈5延接，而從準分子燈5被照射著真空紫外線。利用真空紫外線所照射的被照射物W是被搬出至搬運機構3外。
第2圖是表示圖示於第1圖的準分子燈5的一方的端部(以虛線圓圈地圍繞的部位)的擴大斷面圖。
如同圖所示地，準分子燈5的例如石英玻璃所成的放電容器51的至少一方的端部，是藉由引線保持體54所夾持。形成於放電容器51的長度方向的一方的平坦面511的一方的外部電極52，是與一方的引線55，例如藉由焊接手段被電性地連接。被電性連接的一方的引線55是被保持在具有電性絕緣性的引線保持部541與放電容器51的一方的平坦面511之間。一方面，被形成放電容器51的長度方向的另一方的平坦面512的另一方向外部電極53，是例如與0.1mm~5mm，較佳為0.1mm~1.5mm的金屬薄膜所成的平坦支撐部542接觸，被電性地連接。又，外部電極52、53是例如將混合金與低融點玻璃的導電性糊塗佈於放電容器51的外面而藉由燒成所形成。
第3圖是表示準分子燈5的構成的立體圖，第4(a)圖是表示從圖示於第3圖的準分子燈5的A-A切剖面的斷面圖，第4(b)圖是表示從圖示於第3圖的準分子燈5的B-B切剖面的斷面圖。
如此些圖示所示地，引線保持體54的引線保持部541，是由：與放電容器51的一方的平坦面511大約平行的平板部分5411，及從平板部分5411的兩端朝大約直角方向所延伸的突出部分5412所構成。引線保持體54的平坦支撐部542是由：與放電容器51的另一方的平坦面512大約平行的平板部分5421，及從平板部分5421的兩端朝大約直角方向所延伸的突出部分5422所構成。引線保持部541的突出部分5412與平坦支撐部542的突出部分5422，是藉由軸部5431與頭部5432所成的螺合體(螺栓)543被螺合，而夾持放電容器51。
所以，與一方的外部電極52電性地連接的一方的引線55，是被埋設於引線保持部541的平板部5411之溝5413，而被夾持在平板部分5411與放電容器51的一方的平坦面511之間，而被拉出至引線保持體54的外部。另一方的外部電極53是藉由與金屬薄膜所成的平坦支撐部542的平板部分5421電性地密接可得到電性連接，而且平板部分5421是被抵接於放電容器51的另一方的平坦面512。可得到與另一方的外部電極53電性連接的平坦支撐部542，是在突出部分5422中，可得到與另一方的引線56電性連接，而另一方的引線56是被拉出至引線保持體54的外部。
依照本實施形態的發明，藉由引線保持體54的引線保持部541與平坦支撐部542夾持放電容器51，而引線保持部541是朝放電容器51作用著力量，被夾在引線保持部541與放電容器51的一方的引線55是被固定。亦即，可發揮先前所述的保持引線保持體54的一方的引線55的第1功能。又，例如以具有氟樹脂所成的柔軟性的被覆體被覆一方的引線55，則被夾在引線保持部541與放電容器51之間的一方的引線55，是引線保持部541與放電容器51所接觸的外面形狀會變形。由此，引線保持部541與一方的引線55的接觸面積變大，又放電容器51與一方的引線55的接觸面積變大之故。因而即使施加著來自一方的引線55被引拉等的外部的負荷，利用一方的引線55也把接觸面積變大之故，因而以該接觸面作用著摩擦力，而以該摩擦力可忍受對於一方的引線55的負荷。
又，依照本實施形態的發明，在平坦支撐部542與放電容器51面接觸的狀態下，引線保持部541與平坦支撐部542夾持放電容器51。此時，即使僅在放電容器51施加負荷，也利用與平坦支撐部542之面接觸，摩擦力作用在雙方的抵接面，而維持著引線保持體54與放電容器51的一體狀態。亦即，可發揮先前所述的引線保持體54被固定於放電容器51的第2功能。
又，依照本實施形態的發明，在一方的外部電極52當點亮燈時施加有高頻高電壓。所以，利用以具有電性絕緣性的構件構成保持饋電於一方的外部電極52的一方的引線55的引線保持部541，可防止經由引線保持部541的外部電極52、53間或引線55、56間的絕緣擊穿。亦即，可發揮先前所述的防止放電容器51外面的外部電極52、53間的絕緣擊穿的第3功能。
又，依照本實施形態的發明，利用金屬薄板構成平坦支撐部542，可將該厚度L2作成比以電性絕緣體所構成的構件的厚度L1還要薄。亦即，可發揮先前所述的抑制對於放電容器51的另一方的平坦面511(與被照射物W相對的一邊的面)的突出的第4功能。又，形成於另一方的平坦面512的另一方的外部電極53與平坦支撐部542藉由電性連接被連接之故，因而可縮短放電容器51的另一方的平坦面512與平坦支撐部542之間的習知的引線的直徑分量距離，而可更縮短平坦支撐部542與被照射物W的距離L3。又，藉由將平坦支撐部542作成饋電構件或接地構件，而將另一方的引線56連接於平坦支撐部542的突出部分5422，則簡便地設置另一方的引線56成為可能。
第5圖是表示與第1實施形態的準分子燈5(與表示於第4(b)圖的準分子燈5的斷面圖相對應)放電容器的形狀不相同的準分子燈5的斷面圖。
如同圖所示地，在該準分子燈5中，放電容器51A是底面形成平坦面51A2，而上面形成彎曲面51A1。一方的引線55是被埋設在設於引線保持部541的平板部分5411的溝5413，而被夾持在引線保持部541的平板部分5411與放電容器51A的彎曲面51A1的頂點之間。放電容器51A的平坦面51A2是與平坦支撐部542抵接。其他構成是對應於表示於第4(b)圖的準分子燈5的相同符號的構成之故，因而省略說明。
在該變形例的準分子燈5，也與表示於第4(b)圖的準分子燈5同樣地，引線保持體54是可發揮先前所述的第1至第4的功能。
使用第6圖及第7圖來說明本發明的第2實施形態。
第6圖是表示有關於本實施形態的發明，與對應於表示於第1實施形態的第4(b)圖的準分子燈的斷面圖的從對於準分子燈5的長度方向正交的切剖面所觀看的引線保持體54的構成的斷面圖，第7圖是表示本實施形態的變形例的發明，與對應於表示於第1實施形態的第5圖的準分子燈的斷面圖的從對於準分子燈5的長度方向正交的切剖面觀看的引線保持體54的構成的斷面圖。
在表示於第6圖的準分子燈5，從放電容器51的另一方的平坦面512所延伸的屈曲部(擴徑部)513，設置成與以具有彈性的金屬薄板所形成的平坦側支撐部542A一部分接觸。又，在表示於第7圖的準分子燈5，對於放電容器51A的長度方向正交的切剖面為彎曲面51A1與平坦面51A2所構成，而形成於放電容器51A的彎曲面51A1與平坦面51A2的交界線的屈曲部(縮徑部)51A3，設置成與具有彈性的金屬薄板所形成的平坦側支撐部542A點接觸。又，第6圖及第7圖的其他構成是對應於表示於第4(b)圖的準分子燈5的相同符號的構成之故，因而省略說明。
依照本實施形態的發明，在第6圖，放電容器51的屈曲部(擴徑部)513與引線保持體54的平坦側支撐部542A點接觸，而在第7圖，放電容器51A的屈曲部(縮徑部)51A3與引線保持體54的平坦側支撐部542A點接觸，所以，放電容器51(51A)是利用引線保持體54被夾持之故，因而利用有推壓從不同的3方向施加於放電容器51(51A)，引線保持體54是被固定於引線保持體51(51A)。亦即，可發揮先前所述的引線保持體54被固定於放電容器51(51A)的第2功能。
又，依照本實施形態的發明，引線保持體54的平坦側支撐部542A是由金屬薄板所構成之故，因而與以電性絕緣體所成的構件來構成該厚度的情形相比較可作成還要薄。亦即，可發揮抑制對於放電容器51(51A)的平坦面512(51A2)(與被照射物W相對的一邊的一面)的突出的第4功能。又，藉由將平坦側支撐部542A作為饋電構件或是接地構件，把位於平坦側支撐部542A與放電容器51(51A)的屈曲部513(51A3)的另一方的外部電極53進行接觸而電性地被連接，可將另一方的引線56設於平坦側支撐部542A之故，因而成為容易抽出另一方的引線56。
又，在本實施形態的發明，也與第1實施形態的發明同樣地，也可發揮先前所述的保持引線保持體54的第1引線55的第1功能，及防止放電容器51(51A)外面的外部電極52、53間的絕緣擊穿的第3功能。
使用第8圖至第12圖來說明本發明的第3實施形態。
第8圖是表示從沿著本實施形態的發明的準分子燈的長度方向的切剖面觀看的紫外線照射裝置1的構成的斷面圖。
如同圖所示地，該紫外線照射裝置1是由在大約箱狀地所構成的筐體4由具備1個或複數準分子燈5的燈單元2(圖上方)，及載置燈單元2而且搬運被照射物W的搬運機構3(圖下方)所構成。又，其他的構成是除了引線保持體54A的構成以外，對應於表示於第1圖的相同符號的構成之故，因而省略其說明。
第9圖是表示圖示於第1圖的準分子燈5的一方的端部(以虛線圓圈地圍繞的部位)的擴大斷面圖。
如同圖所示地，準分子燈5的放電容器51的至少一方的端部，是藉由引線保持體54所夾持。形成於放電容器51的長度方向的一方的平坦面511的一方的外部電極52，是與一方的引線55，例如藉由焊接手段被電性地連接。被電性連接的一方的引線55是被保持在具有電性絕緣性的引線保持部54A1與放電容器51的一方的平坦面511之間。一方面，被形成放電容器51的長度方向的另一方的平坦面512的另一方向外部電極53，是如下述地，與另一方的引線56，例如藉由焊接電性地被連接，而從引線保持體54A被抽出至外部。
第10圖是表示準分子燈5的構成的立體圖，第11圖是表示從圖示於第10圖的準分子燈5的C-C切剖面所觀看的斷面圖，第12圖是表示除掉圖示於第10圖的準分子燈5的一方的端部的引線保持體54的狀態的放電容器51的局部立體圖。
如此些圖示所示地，引線保持體54A，是由：與放電容器51的一方的平坦面511大約平行的平板部分54A11，及從平板部分54A11的兩端朝大約直角方向所延伸的突出部分54A12所構成的具有電性絕緣性的引線保持部54A1，及從放電容器51的平坦面511、512朝同方向擴徑的擴徑部514與引線保持部54A1的平板部分54A11及突出部分54A12所圍繞的無機接著材所填充的領域所成的擴徑支撐部54A2所構成。
一方的引線55是與一方的外部電極52藉由焊劑等電性地被連接，且被埋設於引線保持部54A1的平板部54A11之溝54A13，而被夾持在平板部分54A11與放電容器51的一方的平坦面511之間，而被拉出至引線保持體54A的外部。另一方的外部電極53是從另一方的外部電極53的一部分延伸的外部電極部分531延伸至放電容器51的擴徑部514所形成。另一方的引線56是藉由焊劑等電性地被連接在外部電極部分531，且通過以無機接著劑所形成的擴徑支撐部54A2內被拉出至引線保持體54A的外部。
依照本實施形態的發明，藉由引線保持體54的引線保持部54A1與擴徑支撐部54A2夾持放電容器51，而引線保持部54A1與擴徑支撐部54A2是朝放電容器51作用著夾持的力量，被夾在引線保持部54A1與放電容器51的一方的引線55是被固定。亦即，可發揮保持引線保持體54A的一方的引線55的第1功能。又，以具有柔軟性的被覆體被覆一方的引線55，則被夾在引線保持部54A1與放電容器51之間的一方的引線55，是引線保持部54A1與放電容器51所接觸的外面形狀會變形。由此，引線保持部54A1與一方的引線55的接觸面積變大，又放電容器51與一方的引線55的接觸面積變大之故。因而即使施加著來自一方的引線55被引拉等的外部的負荷，利用一方的引線55也把接觸面積變大之故，因而以該接觸面作用著摩擦力，而以該摩擦力可忍受對於一方的引線55的負荷。
又，依照本實施形態的發明，在擴徑支撐部54A2是無機接著劑被填充固化的狀態下，引線保持部54A1與擴徑支撐部54A2夾持放電容器51。此時，即使僅在放電容器51施加負荷，也藉由擴徑支撐部54A2的無機接著劑，接著於放電容器51的擴徑部514，而維持著引線保持體54A與放電容器51的一體狀態。亦即，可發揮引線保持體54A被固定於放電容器51的第2功能。
又，依照本實施形態的發明，在一方的外部電極52當點亮燈時施加有高頻高電壓。所以，利用以具有電性絕緣性的構件構成保持饋電於一方的外部電極52的一方的引線55的引線保持部54A1，可防止經由引線保持部54A1的外部電極52、53間或引線55、56間的絕緣擊穿。亦即，可發揮防止放電容器51外面的外部電極52、53間的絕緣擊穿的第3功能。
又，依照本實施形態的發明，引線保持體54A是不存在由放電容器51的另一方的平坦面512朝下部突出的部分。所以，放電容器51與被照射物W是與引線保持體54A無關地可近接。亦即，可發揮抑制對於放電容器51的另一方的平坦面512(與被照射物W相對的一邊的面)的突出的第4功能。又，由另一方的外部電極53所延伸的外部電極部分531被形成於放電容器51的擴徑部514，而另一方的引線56與外部電極部分531，例如利用焊劑電性地被連接之故，因而也可避免位於放電容器51的另一方的平坦面512下部的習知的另一方的引線56的直徑分量的距離，而可縮短另一方的平坦面512與被照射物W的距離。
使用第13圖至第16圖來說明本發明的第4實施形態。
第13圖是表示有關於本實施形態的發明，與表示於第3實施形態的第11圖的準分子燈的斷面圖相對應的從正交於準分子燈5的長度方向的切剖面所觀看的引線保持體54B的構成的圖式。
第13(a)圖是表示準分子燈5的短邊方向的長度為L6，而準分子燈5的厚度為L5時的引線保持體54B的構成的斷面圖，第13(b)圖是表示準分子燈5的厚度比第13(a)圖的準分子燈的厚度L5還要厚的厚度L7時的引線保持體54B的構成的斷面圖，第13(c)圖是表示準分子燈的短邊方向的長度比第13(a)圖的準分子燈的短邊方向的長度L6還要長的長度L8時引線保持體54B的構成的斷面圖。
如第13(a)圖所示地，引線保持體54B是由引線保持部54B1與擴徑支撐部54B2所構成，而引線保持部54B1是由與放電容器51的一方的平坦面511大約平行的平板部分54B11，及從該平板部分54B11的兩端朝大約直角方向延伸的突出部分54B12所構成。擴徑支撐部54B2是由：與放電容器51的另一方的平坦面512位於同一面的底部54B21，及與放電容器51的擴徑部514接觸而支撐放電容器51的傾斜面54B22，及與引線保持部54B1的突出部分54B12的底部54B13接觸的水平面54B23所構成。將擴徑支撐部54B2的水平面54B23與引線保持部54B1的底部54B13予以接觸，藉由螺合體(螺栓)543螺合兩者，由此夾持放電容器51。
第13(b)圖是表示圖示於第13(a)圖的放電容器51與短邊方向的長度L6是相同，惟比放電容器51的厚度L5還要厚的L7時的引線保持體54B的狀態的圖式。此時，擴徑支撐部54B2與引線保持部54B1螺合之際，調節依螺合體(螺栓)543的螺合量。結果，擴徑支撐部54B2的水平面54B23與引線保持部54B1的底部54B13是隔著間隔被螺合，而可夾持放電容器51。
第13(c)圖是表示圖示於第13(a)圖的放電容器51的厚度L5是相同，惟比放電容器51的短邊方向的長度L6還要長的L8時的引線保持體54B的狀態的圖式。此時，在擴徑支撐部54B2與引線保持部54B1的螺合之際，調節依螺合體(螺栓)543的螺合量。結果，擴徑支撐部54B2的水平面54B23與引線保持部54B1的底部54B13是隔著間隔，擴徑支撐部54B2的底部54B21從放電容器51的另一方的平坦面512朝下方溢出的狀態下被螺合，而夾持放電容器51。
在此些圖中，與一方的外部電極52電性地連接的一方的引線55，是被埋設於引線保持部54B1的平板部54B11之溝54B14，而被夾持在平板部分54B11與放電容器51的一方的平坦面511之間，而被拉出至引線保持體54B的外部。如第12圖所示地，另一方的外部電極53是將另一方的外部電極53所延伸的外部電極部分531形成於放電容器51的擴徑部514，以金屬材料來構成擴徑支撐部54B2，由此抵接外部電極部分531與擴徑支撐部54B2而得到電性連接，而從擴徑支撐部54B2利用如焊劑電性地連接另一方的引線56，另一方的引線56是被拉出至引線保持體54B的外部。藉由如此地構成，也可避免位於放電容器51的另一方的平坦面512下部的習知的另一方的引線56的直徑分量的距離，而可縮短另一方的平坦面512與被照射物W的距離。
依照本實施形態的發明，藉由引線保持體54的引線保持部54B1與擴徑支撐部54B2夾持放電容器51，擴徑支撐部54B2是朝放電容器51作用著力量，被夾在引線保持部54B1與放電容器51的一方的引線55是被固定，而可發揮先前所述的保持引線保持體54B的一方的引線55的第1功能。
又，依照本實施形態的發明，在擴徑支撐部54B2的傾斜面54B22與放電容器51的擴徑部514接觸的狀態下，引線保持部54B1與擴徑支撐部54B2夾持放電容器51。此時，即使僅在放電容器51施加負荷，也藉由與擴徑支撐部54B2之接觸，在雙方的抵接面作用著摩擦力，而維持著引線保持體54B與放電容器51的一體狀態，可發揮先前所述的引線保持體54B被固定於放電容器51的第2功能。
又，依照本實施形態的發明，利用以具有電性絕緣性的構件構成保持饋電於一方的外部電極52的一方的引線55的引線保持部54B1，可防止經由引線保持部54B1的外部電極52、53間或引線55、56間的絕緣擊穿，可發揮先前所述的防止放電容器51外面的外部電極52、53間的絕緣擊穿的第3功能。
又，依照本實施形態的發明，除了第13(c)圖的情形以外，引線保持體54B是未存在著由放電容器51的另一方的平坦面512朝下部突出的部分。所以，放電容器51與被照射物W是與引線保持體54B無關地可近接。亦即，可發揮抑制對於放電容器51的另一方的平坦面512(與被照射物W相對的一邊的面)的突出的第4功能。
第14圖是表示關於本實施形態的發明，表示圖示於第13圖的引線保持體54B的變形例1的引線保持體54B的構成的斷面圖。第14(a)圖是表示準分子燈5的短邊方向的長度為L6，而準分子燈5的厚度為L5時的引線保持體54B的構成的斷面圖，第14(b)圖是表示準分子燈的短邊方向的長度比第14(a)圖的準分子燈的短邊方向的長度L6還要長的長度L8時引線保持體54B的構成的斷面圖。
如此些圖所示地，在擴徑支撐部54B2中在螺合體543被螺合的周邊部，螺合體(螺栓)543對於螺合方向直角方向可移動，惟設置在螺合方向無法移動的空隙54B24。藉由如此地構成，在第13(c)圖中，準分子燈的短邊方向的長度比第13(a)圖的準分子燈短邊方向的長度L6還要長的L8時，由放電容器51的另一方的平坦面512朝下方溢出擴徑支撐部54B2的底部54B21的狀態下被螺合，惟如第14(b)圖所示地，藉由將螺合體(螺栓)543在擴徑支撐部54B2的空隙54B24朝放電容器51的短邊方向移動加以螺合，可將放電容器51的另一方的平坦面512與擴徑支撐部54B2的底部54B21維持在同一面的狀態。
依照本實施形態的變形例1的發明，與本實施形態的第13圖的發明同樣地，也可發揮第1至第4的功能。
第15圖是表示關於本實施形態的發明，表示圖示於第13圖的引線保持體54B的變形例2的引線保持體54C的構成的斷面圖。
第15(a)圖是表示準分子燈5的短邊方向的長度為L6，而準分子燈5的厚度為L5時的引線保持體54C的構成的斷面圖，第15(b)圖是表示準分子燈5的厚度比第15(a)圖的準分子燈的厚度L5還要厚的厚度L7時的引線保持體54C的構成的斷面圖，第15(c)圖是表示準分子燈5的短邊方向的長度比第15(a)圖的準分子燈5的短邊方向的長度L6還要長的長度L8時引線保持體54C的構成的斷面圖。
如第15(a)圖所示地，引線保持體54C是由擴徑支撐部兼引線保持體54C1與擴徑支撐部54C2所構成，擴徑支撐部兼引線保持體54C1是由：與放電容器51的一方的平坦面511大約平行的平板部分54C11，及從該平板部分54C11的一端朝大約直角方向延伸的突出部分54C12，及在該突出部分54C12的一部分與放電容器51的擴徑部514接觸而支撐放電容器51的傾斜面54C13所構成。擴徑支撐部54C2是由：相對於擴徑支撐部兼引線保持部54C1的平板部分54C11的一端的側面54C14的垂直部分54C21，及在該垂直部分54C21的一部分與放電容器51的擴徑部514接觸而支撐放電容器51的傾斜面54C22所構成。在擴徑支撐部54C2的垂直部分54C21與擴徑支撐部兼引線保持部54C1的平板部分54C11的側面54C14接觸的方向，將兩者藉由螺合體(螺栓)543加以螺合，由此夾持放電容器51。
第15(b)圖是表示圖示於第15(a)圖的放電容器51與短邊方向的長度L6是相同，惟比放電容器51的厚度L5還要厚的L7時的引線保持體54C的狀態的圖式。此時擴徑支撐部兼引線保持部54C1的側面54C14與擴徑支撐部54C2的垂直部分54C21間的螺合之際，調節依螺合體(螺栓)543的螺合量。結果，擴徑支撐部兼引線保持部54C1的側面54C14與擴徑支撐部54C2的垂直部分54C21是隔著間隔被螺合，而可夾持放電容器51。
第15(c)圖是表示圖示於第15(a)圖的放電容器51的厚度L5是相同，惟比放電容器51的短邊方向的長度L6還要長的L8時的引線保持體54C的狀態的圖式。此時，在擴徑支撐部兼引線保持部54C1的側面54C14與擴徑支撐部54C2的垂直部分54C21間的螺合之際，調節依螺合體(螺栓)543的螺合量。結果，擴徑支撐部兼引線保持部54C1的側面54C14與擴徑支撐部54C2的垂直部分54C21是隔著間隔被螺合，而可夾持放電容器51。
如此些圖所示地，在第15(b)圖中，藉由螺合體(螺栓)543螺合擴徑支撐部兼引線保持部54C1與擴徑支撐部54C2，由此，放電容器51的另一方的平坦面512與擴徑支撐部54C2的底部54C23以朝上方縮入的狀態被螺合。又，如第15(c)圖所示地，藉由螺合體(螺栓)543螺合擴徑支撐部兼引線保持部54C1與擴徑支撐部54C2，由此，以同一面狀態可螺放電容器51的另一方的平坦面512與擴徑支撐部54C2的底部54C23。
依照本實施形態的變形例2的發明，與本實施形態的第13圖的發明同樣地，也可發揮第1至第4的功能。
第16圖是表示關於本實施形態的發明，表示圖示於第13圖的引線保持體54B的變形例3的引線保持體54B的構成的斷面圖。
如第16圖所示地，放電容器51B是由：對於放電容器51B的長度方向正交的切剖面具有擴徑部51B2的彎曲面51B1與平坦面51B3所構成。引線保持體54B是由引線保持部54B1與擴徑支撐部54B2所構成，引線保持部54B1是由：與放電容器51B的平坦面51B3大約平行的平板部分54B11，及從該平板部分54B11的兩端朝大約直角方向延伸的突出部分54B12所構成。擴徑支撐部54B2是由：與放電容器51B的平坦面51B3位於同一面的底部54B21，及與放電容器51B的擴徑部51B2接觸且支撐放電容器51B的傾斜面54B22，及相對於與引線保持部54B1的突出部分54B12的底部54B13接觸的方向的水平面54B23所構成。將兩者藉由螺合體(螺栓)543螺合於接觸擴徑支撐部54B2的水平面54B23與引線保持部54B1的底部54B13的方向，由此，夾持放電容器51。
依照本實施形態的變形例3的發明，與本實施形態的第13圖的發明同樣地，也可發揮第1至第4的功能。
使用第17圖來說明本發明的第5實施形態。
第17圖是表示從通過沿著本實施形態的發明的準分子燈5的長度方向的晶片管51C1的切剖面所觀看的準分子燈5的局部斷面圖，第17(b)圖是表示從圖示於第17(a)圖的準分子燈5的X方向所觀看的準分子燈5的側面圖，第17(c)圖是表示除掉設於圖示於第17(a)、(b)圖的放電容器51C的兩端的引線保持體54D的狀態的放電容器51C的構成的立體圖。
如此些圖所示地，該準分子燈5是在放電容器51C的兩端形成有晶片管51C1。該晶片管51C1的前端由放電容器51C的兩端突出之故，因而會與其他物體相撞而有破損之虞。所以，在引線保持體54D設置連續於引線保持部54D1的連接部54D2，及從連接部54D2可覆蓋晶片管51C1的前端的方式所形成的保護部54D3。又，其他的構成是對應於表示於第3實施形態的第11圖的引線保持體54A的構成之故，因而省略說明。又，作為被適用於使用晶片管51C1的準分子燈5的引線保持體54D，也可適用表示於其他實施形態的引線保持體54、54B、54C。
使用第18圖及第19圖來說明本發明的第6實施形態。
第18圖是表示從沿著本實施形態的發明的準分子燈5的長度方向的切剖面所觀看的紫外線照射裝置1的構成的斷面圖，第19圖是表示從圖示於第18圖的紫外線照射裝置1的D-D切剖面所觀看的紫外線照射裝置1的斷面圖。
如同圖所示地，該紫外線照射裝置1是由在大約箱狀地所構成的筐體4由具備準分子燈5的燈單元2(圖上方)，及載置燈單元2而且搬運被照射物W的搬運機構3(圖下方)所構成。本實施形態的發明是與記載於表示於第1實施形態的第1圖的紫外線照射裝置1的複數準分子燈5同樣地，配置於同一平面上，惟與表示於第1實施形態的第1圖的紫外線照射裝置1，複數準分子燈5排列成與準分子燈5的長度方向正交的方向而互相地朝長度方向偏位的所謂鋸齒狀地排列之點不相同。又，其他的構成是對應於表示於第1圖的相同符號的構成之故，因而省略說明。
依照本實施形態的發明，對於具有準分子燈的長度方向的長度以上的寬度的被照射物W，也可照射真空紫外線。
1．．．紫外線照射裝置
2．．．燈單元
3．．．搬運機構
31．．．滾子
32．．．驅動部
4．．．筐體
41．．．隔間壁
5．．．準分子燈
51．．．放電容器
511．．．一方的平坦面
512．．．另一方的平坦面
513．．．屈曲部(擴徑部)
514．．．擴徑部
51A．．．放電容器
51A1．．．彎曲面
51A2．．．平坦面
51A3．．．屈曲部(縮徑部)
51B．．．放電容器
51B1．．．彎曲面
51B2．．．擴徑部
51B3．．．平坦面
51C．．．放電容器
51C1．．．晶片管
52．．．一方的外部電極
53．．．另一方的外部電極
531．．．外部電極部分
54．．．引線保持體
541．．．引線保持部
5411．．．平板部分
5412．．．突出部分
5413．．．溝
542A．．．平坦側支撐部
543．．．螺合體(螺栓)
54A．．．引線保持體
54A1．．．引線保持部
54A11．．．平板部分
54A12．．．突出部分
54A13．．．溝
54A2．．．擴徑支撐部
54B．．．引線保持體
54B1．．．引線保持部
54B11．．．平板部分
54B12．．．突出部分
54B13．．．底部
54B14．．．溝
54B2．．．擴徑支撐部
54B21．．．底部
54B22．．．傾斜面
54B23．．．水平面
54B24．．．空隙
54C．．．引線保持體
54C1．．．擴徑支撐部兼引線保持部
54C2．．．擴徑支撐部
54C11．．．平板部分
54C12．．．突出部分
54C13．．．傾斜面
54C14．．．側面
54C21．．．垂直部分
54C22．．．傾斜面
54C23．．．底部
54D．．．引線保持體
54D1．．．引線保持部
54D2．．．連接部
54D3．．．保護部
55．．．第1引線
56．．．另一方引線
W．．．被照射物
第1圖是表示沿著第1實施形態的發明的準分子燈5的長度方向的切剖面所觀看的紫外線照射裝置1的構成的斷面圖。
第2圖是表示圖示於第1圖的準分子燈5的一方的端部(以虛線圓圈所圍繞的部位)的擴大圖。
第3圖是表示準分子燈5的構成的立體圖。
第4(a)圖及第4(b)圖是表示從圖示於第3圖的準分子燈5的A-A切剖面所觀看的斷面圖及從圖示於第3圖的準分子燈5的B-B切剖面所觀看的斷面圖。
第5圖是表示與第1實施形態的準分子燈5，放電容器的形狀不相同的變形例的準分子燈5的斷面圖。
第6圖是表示關於第2實施形態的發明，從對於與圖示於第4(b)圖的準分子燈5的斷面圖相對應的準分子燈5的長度方向正交的剖面所觀看的引線保持體的構成的斷面圖。
第7圖是表示關於第2實施形態變形例的發明，從對於與圖示於第5圖的準分子燈5的斷面圖相對應的準分子燈5的長度方向正交的剖面所觀看的引線保持體54的構成的斷面圖。
第8圖是表示沿著第3實施形態的發明的準分子燈5的長度方向的切剖面所觀看的紫外線照射裝置1的構成的斷面圖。
第9圖是表示圖示於第1圖的準分子燈5的一方的端部(以虛線圓圈所圍繞的部位)的擴大圖。
第10圖是表示準分子燈5的構成的立體圖。
第11圖是表示從圖示於第10圖的準分子燈5的C-C切剖面所觀看的斷面圖。
第12圖是表示除掉表示於第10圖的準分子燈5的一方的端部的引線保持部54的狀態的放電容器51的局部立體圖。
第13(a)圖至第13(c)圖是表示關於第4實施形態的發明，從與圖示於第11圖的準分子燈5的斷面圖相對應的準分子燈5的長度方向正交的剖面所觀看的引線保持體54B的構成的斷面圖。
第14(a)圖及第14(b)圖是表示關於第4實施形態的發明，圖示於第13圖的引線保持體54B的變形例1的引線保持體54B的構成的斷面圖。
第15(a)圖至第15(c)圖是表示關於第4發明，圖示於第13圖的引線保持體54的變形例2的引線保持體的構成的斷面圖。
第16圖是表示關於第4實施形態的發明，圖示於第13圖的引線保持體54的變形例3的引線保持體54B的構成的斷面圖。
第17(a)圖至第17(c)圖是表示從通過沿著第5實施形態的發明的準分子燈5的長度方向的晶片管41C1的切剖面所觀看的準分子燈5的局部斷面圖。
第18圖是表示從沿著第6實施形態的發明準分子燈5的長度方向的切剖面所觀看的紫外線照射裝置1的構成的斷面圖。
第19圖是表示從圖示於第18圖的紫外線照射裝置1的D-D切剖面所觀看的紫外線照射裝置1的斷面圖。
第20圖是表示從對於習知技術的準分子燈103的長度方向正交的切剖面所觀看的紫外線照射裝置100的構成的斷面圖。
第21圖是表示圖示於第20圖的E-E切剖面所觀看的紫外線照射裝置100的斷面圖。
第22圖是表示圖示第20圖及第21圖的準分子燈103的立體圖。
第23圖是表示圖示於第21圖的準分子燈103的一方的端部(以圓圈所圍繞的部位)的擴大斷面圖。
第24圖是表示從圖示於第23圖的F-F切剖面所觀看的準分子燈103的一方的端部的斷面圖。
54．．．引線保持體
5．．．準分子燈
52．．．一方的外部電極
55．．．第一引線
57．．．端壁部
56．．．另一方引線
542．．．平坦支撐部
541．．．引線保持部
51．．．放電容器

Claims (9)

  1. 一種準分子燈，是由具有朝長度方向延伸的上下兩面，而且在內部封入發光氣體的放電容器，及設於上述上下兩面中其中一面的一方的外部電極，及設於上述上下兩面中的另一方的平坦面的另一方的外部電極，及設於上述放電容器的至少一方的端部側的引線保持體所構成的準分子燈，其特徵為：上述引線保持體是由具有電性絕緣性的引線保持部與金屬薄板所成的平坦支撐部所構成，藉由以上述引線保持部與上述平坦支撐部夾持上述放電容器，上述引線保持部是將與上述一方的外部電極電性地連接的一方的引線保持在與上述放電容器的上述一方的一面之間，上述平坦支撐部是與上述另一方的外部電極電性地連接，而且抵接於上述放電容器的上述另一方的平坦面。
  2. 一種準分子燈，是由具有朝長度方向延伸的上下兩面，且具有形成於在該上下兩面所形成的彎曲面上的屈曲部或形成於上述上下兩面間的屈曲部，而且在內部封入發光氣體的放電容器，及設於上述上下兩面中其中一面的一方的外部電極，及設於上述上下兩面中的另一方的平坦面的另一方的外部電極，及設於上述放電容器的至少一方的端部側的引線保持體所構成的準分子燈，其特徵為：上述引線保持體是由具有電性絕緣性的引線保持部與 具有彈性的金屬薄板所成的平坦側支撐部所構成，藉由以上述引線保持部與上述平坦側支撐部夾持上述放電容器，上述引線保持部是將與上述一方的外部電極電性地連接的一方的引線保持在與上述放電容器的上述一方的一面之間，上述平坦側支撐部是將與上述另一方的外部電極電性地連接的另一方的引線保持在與上述放電容器的上述另一方的平坦面之間。
  3. 一種準分子燈，是由具有朝長度方向延伸的上下兩面，而且在內部封入發光氣體的放電容器，及設於上述上下兩面中其中一面的一方的外部電極，及設於上述上下兩面中的另一方的平坦面的另一方的外部電極，及設於上述放電容器的至少一方的端部側的引線保持體所構成的準分子燈，其特徵為：上述引線保持體是由具有電性絕緣性的引線保持部，及被填充固化於該引線保持部與上述放電容器之間的接著材所成的擴徑支撐部所構成，藉由接著材被填充固化於上述引線保持部與上述放電容器之間，上述引線保持部是將與上述一方的外部電極電性地連接的一方的引線保持在與上述放電容器的上述一方的一面之間，上述擴徑支撐部是將與從上述另一方的外部電極連續延伸至放電容器側面形成的擴徑部而構成的外部電極部分電性地連接於另一方的引線保持在該擴徑支撐部內。
  4. 一種準分子燈，是由具有朝長度方向延伸的上下兩面，而且在內部封入發光氣體的放電容器，及設於上述上 下兩面中其中一方的一面的外部電極，及設於上述上下兩面中的另一方的平坦面的另一方的外部電極，及設於上述放電容器的至少一方的端部側的引線保持體所構成的準分子燈，其特徵為：上述放電容器是在上述兩面間之側面形成有擴徑部，上述引線保持體是由具有電性絕緣性的引線保持部與擴徑支撐部所構成，藉由以上述引線保持部與上述擴徑支撐部夾持上述放電容器，上述引線保持部是將與上述一方的外部電極電性地連接的一方的引線保持在與上述放電容器的上述一方的一面之間，上述擴徑支撐部是與上述放電容器的上述擴徑部抵接。
  5. 如申請專利範圍第4項所述的準分子燈，其中上述另一方的外部電極具有連續至上述放電容器的擴徑部而延伸的外部電極部分，上述擴徑支撐部是以金屬材料所構成，藉由以上述引線保持部與上述擴徑支撐部夾持上述放電容器，使上述放電容器的外部電極部分與上述擴徑支撐部得到電性連接。
  6. 如申請專利範圍第1項至第5項中任一項所述的準分子燈，其中，上述放電容器是具有從該放電容器的端壁部突出的晶片管，上述引線保持體是具有：在引線保持部朝晶片管的管軸方向延伸的連接部，及設於從該連接部朝晶片管的長度方向的外方的保護部。
  7. 一種燈單元，是準分子燈，及保持該準分子燈的一 面開口的筐體所成的燈單元，其特徵為：上述準分子燈是申請專利範圍第1項至第6項中任一項的申請專利範圍所述的一或複數準分子燈，該準分子燈的平坦面，是與位於上述筐體的開口的被照射物的被照射面平行地配置。
  8. 一種燈單元，是準分子燈，及保持該準分子燈的一面開口的筐體所成的燈單元，其特徵為：上述準分子燈是申請專利範圍第1項至第6項中任一項的申請專利範圍所述的複數準分子燈，該複數準分子燈是在與該準分子燈的長度方向正交的方向並列地排列，且上述各準分子燈的平坦面是配置於同一平面上。
  9. 一種燈單元，是準分子燈，及保持該準分子燈的一面開口的筐體所成的燈單元，其特徵為：上述準分子燈是申請專利範圍第1項至第6項中任一項的申請專利範圍所述的複數準分子燈，該複數準分子燈是在與該準分子燈的長度方向正交的方向，彼此朝長度方向偏位而排列，且上述各準分子燈的平坦面是配置於同一平面上。
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