KR20090107921A - 엑시머 램프 및 이를 구비한 램프 유닛 - Google Patents

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KR20090107921A
KR20090107921A KR1020090021420A KR20090021420A KR20090107921A KR 20090107921 A KR20090107921 A KR 20090107921A KR 1020090021420 A KR1020090021420 A KR 1020090021420A KR 20090021420 A KR20090021420 A KR 20090021420A KR 20090107921 A KR20090107921 A KR 20090107921A
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Abstract

엑시머 램프를 피조사물에 근접 배치를 가능하게 한 리드 유지체를 구비하는 엑시머 램프, 그 엑시머 램프를 구비한 램프 유닛을 제공한다.
길이 방향으로 신장하는 상하 양면을 가지고, 내부에 발광 가스를 봉입한 방전 용기(51)와, 상기 상하 양면에 설치된 외부 전극(52, 53)과, 방전 용기(51)의 단부측에 설치한 리드 유지체(54)로 이루어지는 엑시머 램프(5)에서, 리드 유지체(54)는, 전기 절연성을 가지는 리드 유지부(541)와 금속 박판으로 이루어지는 평탄 지지부(542)로 구성되고, 리드 유지부(541)와 평탄 지지부(542)로 방전 용기(51)를 끼워둠으로써, 리드 유지부(541)는, 한쪽의 외부 전극(52)과 전기적으로 접속된 한쪽의 리드(55)를 방전 용기(51)의 한쪽의 면과의 사이에서 유지하고, 평탄 지지부(542)는, 다른쪽의 외부 전극과 전기적으로 접속함과 더불어, 방전 용기(51)의 다른쪽의 평탄면에 맞닿는 것을 특징으로 하는 엑시머 램프이다.

Description

엑시머 램프 및 이를 구비한 램프 유닛{EXCIMER LAMP AND LAMP UNIT HAVING THE SAME}
본 발명은, 엑시머 램프 및 이를 구비한 램프 유닛에 관련되고, 특히, 엑시머 램프의 단부에 램프 유지부를 구비한 엑시머 램프 및 이를 구비한 램프 유닛에 관한 것이다.
종래, 특허 문헌 1에 기재되어 있는 바와 같이, 반도체 기판이나 액정 기판의 제조 공정에서는, 기판의 세정을 목적으로 하고 진공 자외선을 조사하는 엑시머 램프를 구비한 램프 유닛이 이용되고 있다.
도 20은, 종래 기술에 관련되는 엑시머 램프(103)의 길이 방향에 대해 직교하는 절단면으로부터 본 자외선 조사 장치(100)의 구성을 나타내는 단면도, 도 21은, 도 20에 나타낸 E-E절단면으로부터 본 자외선 조사 장치(100)의 단면도이다.
이들의 도면에 나타낸 바와 같이, 자외선 조사 장치(100)는, 대략, 상자 형상으로 구성된 하우징 내(104)에 엑시머 램프(103)를 구비한 램프 유닛(101)(도면 위쪽)과 램프 유닛(101)을 재치(載置)함과 더불어 피조사물 W를 반송하는 반송 기구(102)(도면 아래쪽)로 구성되어 있다.
이러한 도면에 나타낸 바와 같이, 램프 유닛(101)은, 램프 유닛(101)의 하우징(104) 내부에 설치된 복수개의 엑시머 램프(103)와, 엑시머 램프(103)를 수납함과 더불어 유지하는 하우징(104)으로 구성되어 있다. 엑시머 램프(103)는, 램프 유지체(111)에 의해 격벽(110)을 통해 하우징(104)에 지지되어 있다. 반송 기구(102)는, 램프 유닛(101)의 하우징(104)을 재치함과 더불어, 내부에 병렬 배치된 복수의 롤러(109)와 각 롤러(109)의 양단에 설치됨과 더불어 롤러(109)를 회전 구동시키는 구동체(110)를 구비한다. 반송 기구의 반입구로부터 반입된 피조사물 W는, 롤러(109)에 재치되고, 롤러(109)가 회전 구동함으로써, 엑시머 램프(103)의 직하에 반입된다. 반입된 피조사물 W는, 엑시머 램프(103)에 근접하고 엑시머 램프(103)로부터의 진공 자외선이 조사된다. 진공 자외선에 의해 조사된 피조사물 W는 반출구로부터 반출된다.
도 22는, 도 20 및 도 21에 나타낸 엑시머 램프(103)의 사시도, 도 23은, 도 21에 나타낸 엑시머 램프(103)의 한쪽의 단부(둥글게 둘러싸인 개소)의 확대 단면도, 도 24는, 도 23에 나타낸 F-F절단면으로부터 본 엑시머 램프(103)의 한쪽의 단부의 단면도이다.
이러한 도면에 나타낸 바와 같이, 엑시머 램프(103)는, 대략 직방체의 방전 용기(105)를 구비하고 그 길이 방향에 대해 수직 방향의 단면이 장방형이고, 방전 용기(105)의 상하 양면에는 방전 용기의 길이 방향을 따라 신장하도록 망 형상의 한쪽의 외부 전극(106) 및 다른쪽의 외부 전극(107)이 설치되어 있다. 방전 용기(105)의 양단에는, 한쪽의 외부 전극(106) 및 다른쪽의 외부 전극(107)에 각각 접속된 한쪽의 리드(114) 및 다른쪽의 리드(115)를 유지하는 리드 유지체(112)가 설치되고, 리드 유지체(112)로부터 한쪽의 리드(114) 및 다른쪽의 리드(115)가 인출된다.
[특허 문헌 1: 일본국 특허 공개 2005-197291호 공보]
통상, 도 22에 나타낸 것 같은 엑시머 램프(103)에 설치되는 리드 유지체(112)는, 이하에 나타낸 3가지의 기능을 구비한다. 제1 기능은, 통상, 리드(114, 115)와 외부 전극(106, 107)은 땜납과 같은 납접(蠟接)에 의해 전기적으로 접속되어 있으므로, 양자의 접속을 확보 유지하기 위한, 리드(114, 115)를 유지하는 기능이고, 예를 들면, 엑시머 램프(103)의 외부 전극(106, 107)에 접속된 리드(114, 115)를 방전 용기(105)와 리드 유지체(112) 사이에 설치하고, 리드(114, 115)를 방전 용기(105)와 리드 유지체(112) 사이에서 압접하고 유지하는 기능이다. 제2 기능은, 방전 용기(105)에 고정되는 기능이고, 예를 들면, 리드 유지체(112)와 방전 용기(105) 사이의 공극에 접착제(116)를 충전하고, 리드 유지체(112)가 방전 용기(105)의 외면에 고정되는 기능이다. 제3 기능은, 방전 용기(105) 외면에서의 외부 전극(106, 107) 사이의 절연 파괴를 방지하는 기능이고, 예를 들면, 리드(114, 115)에 맞닿는 리드 유지체(112)가 전기 절연성을 가지는 부재로 구성됨으로써, 방전 용기(105)의 외면에서의 외부 전극(106, 107) 사이의 연면 방전을 방지하는 기능이다.
도 21 내지 도 24에 나타내어지는 종래 기술에 관련되는 리드 유지체(112)는, 상기의 제1 내지 제3 기능을 구비하지만, 엑시머 램프(103)와 피조사물 W가 대향 배치되는 램프 유닛(101)에 있어서는, 엑시머 램프(103)로부터 피조사물 W에 방사되는 진공 자외선이, 가능한 한 산소에 흡수되지 않고 좋은 효율로 피조사물 W에 조사되기 때문에, 엑시머 램프(103)와 피조사물 W는 가능한 한 근접 배치하는 것이 필요하다. 엑시머 램프(103)와 피조사물 W 사이의 거리는, 예를 들면, 3~5㎜의 범위에 근접하는 것이 필요하게 되어 있다. 그러나 도 21 내지 도 24에 나타낸 종래 기술에 관련되는 리드 유지체(112)가, 세라믹과 같은 전기 절연성을 가지는 부재로 구성되면, 방전 용기(105)의 평탄면으로부터 리드 유지체(112)의 두께 부분이 돌출하고, 이 두께 부분이 엑시머 램프(103)와 피조사물 W 사이의 거리(L10)의 근접화를 곤란하게 한다. 즉, 리드 유지체(112)는, 제4 기능으로서 엑시머 램프(103)와 피조사물 W의 근접 배치에 장해가 되지 않도록 구성되어 있는 것이 필요하다.
본 발명의 목적은, 상기의 문제점에 감안하여, 엑시머 램프와 피조사물 사이의 거리를 0.1~5㎜의 범위로 근접 배치하는 것을 가능하게 한 리드 유지체를 구비하는 엑시머 램프 및 그 엑시머 램프를 구비한 램프 유닛을 제공하는 것에 있다.
본 발명은, 상기의 과제를 해결하기 위해, 다음과 같은 수단을 채용했다.
제1 수단은, 길이 방향으로 신장하는 상하 양면을 가짐과 더불어, 내부에 발광 가스를 봉입한 방전 용기와, 상기 상하 양면 중 한쪽의 면에 설치한 한쪽의 외부 전극과, 상기 상하 양면 중 다른쪽의 평탄면에 설치한 다른쪽의 외부 전극과, 상기 방전 용기의 적어도 한쪽의 단부측에 설치한 리드 유지체로 이루어지는 엑시머 램프에 있어서, 상기 리드 유지체는, 전기 절연성을 가지는 리드 유지부와 금속 박판으로 이루어지는 평탄 지지부로 구성되고, 상기 리드 유지부와 상기 평탄 지지부 사이에 상기 방전 용기를 끼워둠으로써, 상기 리드 유지부는, 상기 한쪽의 외부 전극과 전기적으로 접속된 한쪽의 리드를 상기 방전 용기의 상기 한쪽의 면과의 사이에서 유지하고, 상기 평탄 지지부는, 상기 다른쪽의 외부 전극과 전기적으로 접속함과 더불어, 상기 방전 용기의 상기 다른쪽의 평탄면에 맞닿는 것을 특징으로 하는 엑시머 램프이다.
제2 수단은, 길이 방향으로 신장하는 상하 양면을 가지고, 그 상하 양면간에 형성된 만곡면 상에 형성된 굴곡부 또는 상기 상하 양면간에 형성된 굴곡부를 가짐과 더불어, 내부에 발광 가스를 봉입한 방전 용기와, 상기 상하 양면 중 한쪽의 면에 설치한 한쪽의 외부 전극과, 상기 상하 양면 중 다른쪽의 평탄면에 설치한 다른쪽의 외부 전극과, 상기 방전 용기의 적어도 한쪽의 단부측에 설치한 리드 유지체로 이루어지는 엑시머 램프에서, 상기 리드 유지체는, 전기 절연성을 가지는 리드 유지부와 탄성을 가지는 금속 박판으로 이루어지는 평탄측 지지부로 구성되고, 상기 리드 유지부와 상기 평탄측 지지부와의 사이에 상기 방전 용기를 끼워둠으로써, 상기 리드 유지부는, 상기 한쪽의 외부 전극과 전기적으로 접속된 한쪽의 리드를 상기 방전 용기의 상기 한쪽의 면과의 사이에서 유지하고, 상기 평탄측 지지부는, 상기 다른쪽의 외부 전극과 전기적으로 접속된 다른쪽의 리드를 상기 방전 용기의 상기 다른쪽의 평탄면과의 사이에서 유지한 것을 특징으로 하는 엑시머 램프이다.
제3 수단은, 길이 방향으로 신장하는 상하 양면을 가짐과 더불어, 내부에 발광 가스를 봉입한 방전 용기와, 상기 상하 양면 중 한쪽의 면에 설치한 한쪽의 외부 전극과, 상기 상하 양면 중 다른쪽의 평탄면에 설치한 다른쪽의 외부 전극과, 상기 방전 용기의 적어도 한쪽의 단부측에 설치한 리드 유지체로 이루어지는 엑시 머 램프에서, 상기 리드 유지체는, 전기 절연성을 가지는 리드 유지부와, 그 리드 유지부와 상기 방전 용기 사이에 충전 고체화된 접착제로 이루어지는 확경(擴徑) 지지부로 구성되고, 상기 리드 유지부와 상기 방전 용기 사이에 접착제가 충전 고체화됨으로써, 상기 리드 유지부는, 상기 한쪽의 외부 전극과 전기적으로 접속된 한쪽의 리드를 상기 방전 용기의 상기 한쪽의 면과의 사이에서 유지하고, 상기 확경 지지부는, 상기 다른쪽의 외부 전극으로부터 방전 용기의 측면에 형성된 확경부까지 연속하여 신장하는 외부 전극 부분과 전기적으로 접속된 다른쪽의 리드를 당해 확경 지지부 내에서 유지한 것을 특징으로 하는 엑시머 램프이다.
제4 수단은, 길이 방향으로 신장하는 상하 양면을 가짐과 더불어, 내부에 발광 가스를 봉입한 방전 용기와, 상기 상하 양면 중 한쪽 면에 설치한 한쪽의 외부 전극과, 상기 상하 양면 중 다른쪽의 면에 설치한 다른쪽의 외부 전극과, 상기 방전 용기의 적어도 한쪽의 단부측에 설치한 리드 유지체로 이루어지는 엑시머 램프에서, 상기 방전 용기는, 상기 양면간의 측면으로 확경부가 형성되고, 상기 리드 유지체는, 전기 절연성을 가지는 리드 유지부와 확경 지지부로 구성되고, 상기 리드 유지부와 상기 확경 지지부 사이에 상기 방전 용기를 끼워둠으로써, 상기 리드 유지부는, 상기 한쪽의 외부 전극과 전기적으로 접속된 한쪽의 리드를 상기 방전 용기의 상기 한쪽의 면과의 사이에서 유지하고, 상기 확경 지지부는, 상기 방전 용기의 상기 확경부와 맞닿는 것을 특징으로 하는 엑시머 램프이다.
제5 수단은, 제4 수단에서, 상기 다른쪽의 외부 전극이 상기 방전 용기의 확경부까지 연속하여 신장하는 외부 전극 부분을 가지고, 상기 확경 지지부는 금속 재료로 구성되고 상기 리드 유지부와 상기 확경 지지부 사이에 상기 방전 용기를 끼워둠으로써, 상기 방전 용기의 외부 전극 부분과 상기 확경 지지부가 전기적 접속이 도모되는 것을 특징으로 하는 엑시머 램프이다.
제6 수단은, 제1 수단 내지 제5 수단의 어느 하나의 수단에서, 상기 방전 용기는, 그 방전 용기의 단벽부로부터 돌출하는 배출관을 가지고, 상기 리드 유지체는, 리드 유지부에 배출관의 관축방향으로 신장하는 연접부와, 그 연접부로부터 배출관의 길이 방향의 바깥쪽에 설치한 보호부를 가지는 것을 특징으로 하는 엑시머 램프이다.
제7 수단은, 엑시머 램프와 그 엑시머 램프를 유지한 일면이 개구된 하우징으로 이루어지는 램프 유닛에서, 상기 엑시머 램프가, 제1 수단 내지 제6 수단의 어느 하나의 수단에 기재된 하나 또는 복수의 엑시머 램프이고, 그 엑시머 램프의 평탄면이, 상기 하우징의 개구에 위치하는 피조사물의 피조사면과 평행하게 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 램프 유닛이다.
제8 수단은, 엑시머 램프와 그 엑시머 램프를 유지한 일면이 개구된 하우징으로 이루어지는 램프 유닛에서, 상기 엑시머 램프가, 제1 수단 내지 제6 수단의 어느 하나의 수단에 기재된 복수의 엑시머 램프이고, 그 엑시머 램프가, 그 엑시머 램프의 길이 방향과 직교하는 방향에 있고, 상기 각 엑시머 램프의 평탄면이 동일 평면 상에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 램프 유닛이다.
청구항 1 내지 청구항 2에 기재된 발명에 의하면, 제1에, 엑시머 램프의 외 부 전극에 접속된 리드를 방전 용기와 리드 유지체 사이에 설치하고, 리드를 방전 용기와 리드 유지체 사이에서 압접하고 유지하는 것이 가능하게 된다. 또, 제2에, 리드 유지체가 방전 용기의 외면에 고정되는 것이 가능하게 된다. 또, 제3에, 리드에 맞닿는 리드 유지부가 전기 절연성을 가지는 부재로 구성되므로, 방전 용기의 외면에서의 외부 전극간의 연면(沿面) 방전을 방지할 수 있다. 또, 제4에, 평탄 지지부로서 금속 박판을 이용했으므로 평탄 지지부의 두께를 얇게 할 수 있고, 엑시머 램프와 피조사물의 근접 배치가 가능하게 된다.
청구항 3에 기재된 발명에 의하면, 제1에, 엑시머 램프의 외부 전극에 접속된 리드를 방전 용기와 리드 유지체 사이에 설치하고, 리드를 방전 용기와 리드 유지체 사이에서 압접하여 유지하는 것이 가능하게 된다. 또, 제2에, 리드 유지체가 방전 용기의 외면에 고정되는 것이 가능하게 된다. 또, 제3에, 리드에 맞닿는 리드 유지부가 전기 절연성을 가지는 부재로 구성됨으로써, 방전 용기의 외면에서의 외부 전극간의 연면 방전을 방지할 수 있다. 또, 제4에, 확경 지지부에 접착제를 이용했으므로, 방전 용기의 하부 평탄면에서 리드 유지체가 돌출하는 개소가 없어지고, 엑시머 램프와 피조사물의 근접 배치가 가능하게 된다.
청구항 4 및 청구항 5에 기재된 발명에 의하면, 제1에, 엑시머 램프의 외부 전극에 접속된 리드를 방전 용기와 리드 유지체 사이에 설치하고, 리드를 방전 용기와 리드 유지체 사이에서 압접하여 유지하는 것이 가능하게 된다. 또, 제2에, 리드 유지체가 방전 용기의 외면에 고정되는 것이 가능하게 된다. 또, 제3에, 리드에 맞닿는 리드 유지부가 전기 절연성을 가지는 부재로 구성됨으로써, 방전 용기의 외 면에서의 외부 전극간의 연면 방전을 방지할 수 있다. 또, 제4에, 확경 지지부에서 방전 용기의 확경부를 맞닿게 했으므로, 방전 용기의 하부 평탄면에서 리드 유지체가 돌출하는 개소가 없어져, 엑시머 램프와 피조사물의 근접 배치가 가능하게 된다.
청구항 6에 기재된 발명에 의하면, 리드 유지체에 의해 배출관을 보호하고, 배출관의 손상을 방지할 수 있다.
청구항 7에 기재된 발명에 의하면, 엑시머 램프와 피조사물의 근접 배치가 가능한 램프 유닛을 실현할 수 있다.
청구항 8에 기재된 발명에 의하면, 엑시머 램프와 피조사물의 근접 배치가 가능해짐과 더불어, 엑시머 램프의 길이 방향의 길이 이상의 폭을 가지는 피조사물 W에 대해서도 진공 자외선을 조사할 수 있는 램프 유닛을 실현할 수 있다.
본 발명의 제1 실시 형태를 도 1 내지 도 5를 이용하여 설명한다.
도 1은, 본 실시 형태의 발명에 관련되는 엑시머 램프(5)의 길이 방향을 따른 절단면으로부터 본 자외선 조사 장치(1)의 구성을 나타낸 단면도이다.
동 도에 나타낸 바와 같이, 이 자외선 조사 장치(1)는, 개략, 상자 형상으로 구성된 하우징(4) 내에 하나 또는 복수의 엑시머 램프(5)를 구비하는 램프 유닛(2)(도면 위쪽)과 램프 유닛(2)을 재치함과 더불어 피조사물 W를 반송하는 반송 기구(3)(도면 아래쪽)로 구성되어 있다.
램프 유닛(2)은, 하우징(4) 내부에, 지면과 평행한 방향으로 병렬로 배열된 복수개의 엑시머 램프(5)와, 엑시머 램프(5)를 수납함과 더불어 유지하는 하우징(4)으로 구성되어 있다. 엑시머 램프(5)는, 엑시머 램프(5)의 양단에 리드 유지체(54)가 설치되어 있고, 램프 유지체(52)에 의해 격벽(41)을 통해 하우징(4)에 지지되어 있다. 반송 기구(3)는, 램프 유닛(2)의 하우징(4)을 재치함과 더불어, 내부에 지면과 평행한 방향으로 병렬 배치된 복수의 롤러(31)와 각 롤러(31)의 양단에 설치됨과 더불어 롤러(31)를 회전 구동하는 구동부(32)를 구비한다. 반송 기구(3) 내에 반입된 피조사물 W는, 롤러(31)에 재치되고, 롤러(31)가 회전 구동되므로써, 엑시머 램프(5)의 직하로 반입된다. 반입된 피조사물 W는, 엑시머 램프(5)에 근접하여, 엑시머 램프(5)로부터 진공 자외선이 조사된다. 진공 자외선에 의해 조사된 피조사물 W는 반송 기구(3) 외로 반출된다.
도 2는, 도 1에 나타낸 엑시머 램프(5)의 한쪽 단부(점선으로 둥글게 둘러싸인 개소)의 확대 단면도이다.
동 도에 나타낸 바와 같이, 엑시머 램프(5)의 예를 들면 석영 유리로 이루어지는 방전 용기(51)의 적어도 한쪽의 단부는, 리드 유지체(54)에 의해 끼워두게 된다. 방전 용기(51)의 길이 방향의 한쪽의 평탄면(511)에 형성된 한쪽의 외부 전극(52)은, 한쪽의 리드(55)와 예를 들면, 납접(납땜, 땜납) 수단에 의해 전기적으로 접속되어 있다. 전기적으로 접속된 한쪽의 리드(55)는, 전기 절연성을 가지는 리드 유지부(541)와 방전 용기(51)의 한쪽의 평탄면(511) 사이에 유지된다. 한편, 방전 용기(51)의 길이 방향의 다른쪽의 평탄면(512)에 형성된 다른쪽의 외부 전극(53)은, 예를 들면, 두께가 0.1㎜~5㎜, 바람직하기는 0.1㎜~1.5㎜의 금속 박판으 로 이루어지는 평탄 지지부(542)와 접촉되어 전기적으로 접속되어 있다. 또한, 외부 전극(52, 53)은, 예를 들면, 금과 저융점 유리를 혼합한 도전성 페이스트를 방전 용기(51)의 외면에 도포하여 소성함으로써 형성된다.
도 3은, 엑시머 램프(5)의 구성을 나타내는 사시도이고, 도 4(a)는 도 3에 나타낸 엑시머 램프(5)의 A-A절단면으로부터 본 단면도, 도 4(b)는 도 3에 나타낸 엑시머 램프(5)의 B-B절단면으로부터 본 단면도이다.
이러한 도면에 나타낸 바와 같이, 리드 유지체(54)의 리드 유지부(541)는, 방전 용기(51)의 한쪽의 평탄면(511)과 대략 평행한 평판 부분(5411)과, 평판 부분(5411)의 양단으로부터 대략 직각 방향으로 신장하는 돌출부분(5412)으로 구성되어 있다. 리드 유지체(54)의 평탄 지지부(542)는, 방전 용기(51)의 다른쪽의 평탄면(512)과 대략 평행한 평판 부분(5421)과, 평판 부분(5421)의 양단으로부터 대략 직각 방향으로 신장하는 돌출부분(5422)으로 구성되어 있다. 리드 유지부(541)의 돌출부분(5412)과 평탄 지지부(542)의 돌출부분(5422)은, 축부(5431)와 두부(5432)로 이루어지는 나사 결합체(볼트)(543)에 의해 나사 결합되어 방전 용기(51)를 끼워둔다.
그 때문에, 한쪽의 외부 전극(52)과 전기적으로 접속된 한쪽의 리드(55)는, 리드 유지부(541)의 평판 부분(5411)의 홈(5413)에 매설되고, 평판 부분(5411)과 방전 용기(51)의 한쪽의 평탄면(511) 사이에 끼워두게 되고 리드 유지체(54)의 외부로 인출된다. 다른쪽의 외부 전극(53)은, 금속 박판으로 이루어지는 평탄 지지부(542)의 평판 부분(5421)과 전기적으로 밀착함으로써 전기적인 접속이 도모됨과 더불어, 평판 부분(5421)은 방전 용기(51)의 다른쪽의 평탄면(512)에 맞닿는다. 다른쪽의 외부 전극(53)과 전기적인 접속이 도모된 평탄 지지부(542)는, 돌출 부분(5422)에서 다른쪽의 리드(56)와 전기적인 접속이 도모되고, 다른쪽의 리드(56)는 리드 유지체(54)의 외부로 인출된다.
본 실시 형태의 발명에 의하면, 리드 유지체(54)의 리드 유지부(541)와 평탄 지지부(542)가 방전 용기(51)를 끼워둠으로써, 리드 유지부(541)는 방전 용기(51)를 향해 힘이 작용되고, 리드 유지부(541)와 방전 용기(51) 사이에 끼워진 한쪽의 리드(55)는 고정된다. 즉, 앞서 언급한 바와 같이, 리드 유지체(54)의 한쪽의 리드(55)를 유지하는 제1 기능을 완수할 수 있다. 또한, 한쪽의 리드(55)가 예를 들면, 불소 수지로 이루어지는 유연성을 가지는 피복체로 피복되어 있으면, 리드 유지부(541)와 방전 용기(51) 사이에 끼워진 한쪽의 리드(55)는, 리드 유지부(541)와 방전 용기(51)에 접하는 외면 형상이 변형된다. 이에 의해, 리드 유지부(541)와 한쪽의 리드(55)의 접촉 면적이 커지게 되고, 또 방전 용기(51)와 한쪽의 리드(55)의 접촉 면적이 커지게 되므로, 한쪽의 리드(55)가 당겨지는 등의 외부로부터의 부하가 걸려도, 한쪽의 리드(55)에 의해 접촉 면적이 커지게 되어 있으므로 그 접촉면에서 마찰력이 작용되고, 한쪽의 리드(55)에의 부하를 그 마찰력으로 견딜 수 있다.
또, 본 실시 형태의 발명에 의하면, 평탄 지지부(542)와 방전 용기(51)가 면접촉한 상태에서, 리드 유지부(541)와 평탄 지지부(542)가 방전 용기(51)를 끼워둔다. 이때 방전 용기(51)에만 부하가 걸려도, 평탄 지지부(541)와의 면접촉에 의해, 서로의 맞닿는 면에서 마찰력이 작용되고, 리드 유지체(54)와 방전 용기(51)의 일체 상태가 유지된다. 즉, 앞서 언급한 리드 유지체(54)가 방전 용기(51)에 고정되는 제2 기능을 완수할 수 있다.
또, 본 실시 형태의 발명에 의하면, 한쪽의 외부 전극(52)에는 램프 점등시에 고주파 고전압이 인가된다. 이 때문에, 한쪽의 외부 전극(52)에 급전하는 한쪽의 리드(55)를 유지하는 리드 유지부(541)를 전기 절연성을 가지는 부재로 구성함으로써, 리드 유지부(541)를 통한 외부 전극(52, 53) 사이 또는 리드(55, 56) 사이에서의 절연 파괴를 방지할 수 있다. 즉, 앞서 언급한, 방전 용기(51) 외면에서의 외부 전극(52, 53) 사이의 절연 파괴를 방지하는 제3 기능을 완수할 수 있다.
또한, 본 실시 형태의 발명에 의하면, 평탄 지지부(542)를 금속 박판으로 구성함으로써, 그 두께(L2)를 전기 절연체로 구성되는 부재의 두께(L1)보다 얇게 할 수 있다. 즉, 앞서 언급한 방전 용기(51)의 다른쪽의 평탄면(511)(피조사물 W와 대향하는 측의 면)으로의 돌출을 억제하는 제4 기능을 완수할 수 있다. 또한, 다른쪽의 평탄면(512)에 형성한 다른쪽의 외부 전극(53)과 평탄 지지부(542)가 전기적 접촉에 의해 접속되므로, 방전 용기(51)의 다른쪽의 평탄면(512)과 평탄 지지부(542) 사이에 있던, 종래의 리드의 직경 분의 거리를 짧게 할 수 있고, 더욱더, 평탄 지지부(542)와 피조사물 W의 거리(L3)를 짧게 할 수 있다. 또한, 평탄 지지부(542)를 급전부재 내지 접지 부재로 함으로써, 다른쪽의 리드(56)를 평탄 지지부(542)의 돌출 부분(5422)에 접속하면 되고, 다른쪽의 리드(56)를 간편하게 설치하는 것이 가능하게 된다.
도 5는, 제1 실시 형태에 관련되는 엑시머 램프(5)(도 4(b)에 나타낸 엑시머 램프(5)의 단면도에 대응한다)와는 방전 용기의 형상이 다른 변형예를 나타내는 엑시머 램프(5)의 단면도이다.
동 도에 나타내는 바와 같이, 이 엑시머 램프(5)에서는, 방전 용기(51A)는, 저면이 평탄면(51A2)으로 형성되고, 상면이 만곡면(51A1)으로 형성되어 있다. 한쪽의 리드(55)는, 리드 유지부(541)의 평판 부분(5411)에 설치한 홈(5413)에 매설되고, 리드 유지부(541)의 평판 부분(5411)과 방전 용기(51A)의 만곡면(51A1)의 정점 사이에 끼워두게 된다. 방전 용기(51A)의 평탄면(51A2)은 평탄 지지부(542)와 맞닿게 된다. 그 외의 구성은, 도 4(b)에 나타낸 엑시머 램프(5)의 동일 부호의 구성에 대응하므로 설명을 생략한다.
이 변형예에 관련되는 엑시머 램프(5)에서도, 도 4(b)에 나타낸 엑시머 램프(5)와 같이, 앞서 언급한, 리드 유지체(54)는, 제1 내지 제4 기능을 완수할 수 있다.
본 발명의 제2 실시 형태를 도 6 및 도 7을 이용하여 설명한다.
도 6은, 본 실시 형태의 발명에 관련되고, 제1 실시 형태에서의 도 4(b)에 나타낸 엑시머 램프의 단면도와 대응하는, 엑시머 램프(5)의 길이 방향에 대해 직교하는 절단면으로부터 본 리드 유지체(54)의 구성을 나타내는 단면도, 도 7은, 본 실시 형태의 변형예의 발명에 관련되고, 제1 실시 형태의 도 5에 나타낸 엑시머 램프의 단면도와 대응하는, 엑시머 램프(5)의 길이 방향에 대해 직교하는 절단면으로부터 본 리드 유지체(54)의 구성을 나타낸 단면도이다.
도 6에 나타낸 엑시머 램프(5)에서는, 방전 용기(51)의 다른쪽의 평탄면(512)으로부터 신장하는 굴곡부(확경부(513))가, 탄성을 가지는 금속 박판으로 형성된 평탄측 지지부(542A)와 일부 접촉하도록 설치된다. 또, 도 7에 나타낸 엑시머 램프(5)에서는, 방전 용기(51A)의 길이 방향에 대해 직교하는 절단면이 만곡면(51A1)과 평탄면(51A2)으로 구성되어 있고, 방전 용기(51A)의 만곡면(51A1)과 평탄면(51A2)의 경계선에서 형성되는 굴곡부(축경부(51A3))가, 탄성을 가지는 금속 박판으로 형성된 평탄측 지지부(542A)와 점접촉하도록 설치된다. 또한, 도 6 및 도 7의 그 외의 구성은 도 4(b)에 나타낸 엑시머 램프(5)의 동일 부호의 구성에 대응하므로 설명을 생략한다.
본 실시 형태의 발명에 의하면, 도 6에서는, 방전 용기(51)의 굴곡부(확경부(513))가 리드 유지체(54)의 평탄측 지지부(542A)와 점접촉하고, 도 7에 대해서는, 방전 용기(51A)의 굴곡부(축경부(51A3))가 리드 유지체(54)의 평탄측 지지부(542A)와 점접촉한다. 그 때문에, 방전 용기(51, 51A)는, 리드 유지체(54)에 의해 끼워두게 되므로, 방전 용기(51, 51A)에 대해 다른 3방향으로부터 가압이 걸림으로써 리드 유지체(54)는 방전 용기(51, 51A)에 고정된다. 즉, 앞서 언급한, 리드 유지체(54)가 방전 용기(51, 51A)에 고정되는 제2 기능을 완수할 수 있다.
또, 본 실시 형태의 발명에 의하면, 리드 유지체(54)의 평탄측 지지부(542A)는 금속 박판으로 구성되어 있으므로, 그 두께를 전기 절연체로 이루어지는 부재로 구성했을 경우에 비해 얇게 할 수 있다. 즉, 방전 용기(51, 51A)의 평탄면(512, 51A2)(피조사물 W와 대향하는 측의 면)으로의 돌출을 억제하는 제4 기능을 완수할 수 있다. 또, 평탄측 지지부(542A)를 급전 부재 또는 접지 부재로 함으로써, 평탄측 지지부(542A)와 방전 용기(51, 51A)의 굴곡부(513, 51A3)에 위치하는 다른쪽의 외부 전극(53)이 접촉함으로써 전기적으로 접속되어 다른쪽의 리드(56)를 평탄측 지지부(542A)에 설치하면 되기 때문에, 다른쪽의 리드(56)의 인출이 용이하게 된다.
또한, 본 실시 형태의 발명에서도, 제1 실시 형태의 발명과 같이, 앞서 언급한, 리드 유지체(54)의 제1 리드(55)를 유지하는 제1 기능, 및 방전 용기(51, 51A) 외면에서의 외부 전극(52, 53)간의 절연 파괴를 방지하는 제3 기능도 완수할 수 있다.
본 발명의 제3 실시 형태를 도 8 내지 도 12를 이용하여 설명한다.
도 8은, 본 실시 형태의 발명에 관련되는 엑시머 램프의 길이 방향을 따른 절단면으로부터 본 자외선 조사 장치(1)의 구성을 나타낸 단면도이다.
동 도에 나타내는 바와 같이, 이 자외선 조사 장치(1)는, 개략, 상자 형상으로 구성된 하우징(4) 내에 1개 또는 복수의 엑시머 램프(5)를 구비하는 램프 유닛(2)(도면 위쪽)과 램프 유닛(2)을 재치함과 더불어 피조사물 W를 반송하는 반송 기구(3)(도면 하부)로 구성되어 있다. 또한, 그 외의 구성은, 리드 유지체(54A)의 구성을 제외하고, 도 1에 나타낸 동일 부호의 구성에 대응하므로 설명을 생략한다.
도 9는, 도 1에 나타낸 엑시머 램프(5) 한쪽의 단부(점선으로 둥글게 둘러싸인 개소)의 확대 단면도이다.
동 도에 나타낸 바와 같이, 엑시머 램프(5)의 방전 용기(51)의 적어도 한쪽 의 단부는, 리드 유지체(54)에 의해 끼워두게 되어 있다. 방전 용기(51)의 길이 방향의 한쪽의 평탄면(511)에 형성된 한쪽의 외부 전극(52)은 한쪽의 리드(55)와 예를 들면, 납접(납땜, 땜납) 수단에 의해 전기적으로 접속된다. 전기적으로 접속된 한쪽의 리드(55)는, 전기 절연성을 가지는 리드 유지부(54A1)와 방전 용기(51)의 한쪽의 평탄면(511) 사이에 유지되어 있다. 한편, 방전 용기(51)의 길이 방향의 다른쪽의 평탄면(512)에 형성된 다른쪽의 외부 전극(53)은, 후술하는 바와 같이, 다른쪽의 리드(56)와 예를 들면, 납접(납땜, 땜납) 수단에 의해 전기적으로 접속되고 리드 유지체(54A)로부터 외부로 인출된다.
도 10은, 엑시머 램프(5)의 구성을 나타낸 사시도이고, 도 11은 도 10에 나타낸 엑시머 램프(5)의 C-C절단면으로부터 본 단면도, 도 12는 도 10에 나타낸 엑시머 램프(5)의 한쪽의 단부에서의 리드 유지체(54)를 제외한 상태의 방전 용기(51)를 나타낸 일부 사시도이다.
이들의 도면에 나타낸 바와 같이, 리드 유지체(54A)는, 방전 용기(51)의 한쪽의 평탄면(511)과 대략 평행한 평판 부분(54A11)과 평판 부분(54A11)의 양단으로부터 대략 직각 방향으로 신장하는 돌출부분(54A12)으로 이루어지는 전기 절연성을 가지는 리드 유지부(54A1)와, 방전 용기(51)의 평탄면(511, 512)으로부터 둘레 방향을 향해 확경하는 확경부(514)와 리드 유지부(54A1)의 평판 부분(54A11)과 돌출 부분(54A12)으로 둘러싸인 무기 접착제가 충전된 영역으로 이루어지는 확경 지지부(54A2)로 구성되어 있다.
한쪽의 리드(55)는, 한쪽의 외부 전극(52)과 납땜 등에 의해 전기적으로 접 속되고, 리드 유지부(54A1)의 평판 부분(54A11)의 홈(54A13)에 매설되고, 평판 부분(54A11)과 방전 용기(51)의 한쪽의 평탄면(511) 사이에 끼워두게 되고, 리드 유지체(54A)의 외부로 인출된다. 한편, 다른쪽의 외부 전극(53)은, 다른쪽의 외부 전극(53)의 일부로부터 신장하는 외부 전극 부분(531)이 방전 용기(51)의 확경부(514)까지 늘어나고 형성되어 있고, 다른쪽의 리드(56)가, 외부 전극 부분(531)과 땜납 등에 의해 전기적으로 접속되어 무기 접착제로 형성되는 확경 지지부(54A2) 내를 지나 리드 유지체(54A)의 외부로 인출된다.
본 실시 형태의 발명에 의하면, 리드 유지체(54A)의 리드 유지부(54A1)와 확경 지지부(54A2)가 방전 용기(51)를 끼워둠으로써, 리드 유지부(54A1)와 확경 지지부(54A2)는 방전 용기(51)를 향해 끼워두는 힘이 작용하고, 리드 유지부(54A1)와 방전 용기(51)에 끼워진 한쪽의 리드(55)는 고정된다. 즉, 리드 유지체(54A)의 한쪽의 리드(55)를 유지하는 제1 기능을 완수할 수 있다. 또한, 한쪽의 리드(55)가 유연성을 가지는 피복체로 피복되어 있으면, 리드 유지부(545)와 방전 용기(51) 사이에 끼워진 한쪽의 리드(55)는, 리드 유지부(54A1)와 방전 용기(51)와 접하는 외면 형상이 변형된다. 이에 의해, 리드 유지부(545)와 한쪽의 리드(55)의 접촉 면적이 커지고, 또 방전 용기(51)와 한쪽의 리드(55)의 접촉 면적이 커지므로, 한쪽의 리드(55)가 당겨지는 등의 외부로부터의 부하가 걸려도, 한쪽의 리드(55)에 의해 접촉 면적이 커지게 되어 있으므로 그 접촉면에서 마찰력이 작용되고, 한쪽의 리드(55)에의 부하를 그 마찰력으로 견딜 수 있다.
또, 본 실시 형태의 발명에 의하면, 확경 지지부(54A2)는, 무기 접착제가 충 전 고체화된 상태로, 리드 유지부(54A1)와 확경 지지부(54A2)가 방전 용기(51)를 끼워둔다. 이때 방전 용기(51)에만 부하가 걸려도, 확경 지지부(54A2)에서의 무기 접착제가 방전 용기(51)의 확경부(514)에 접착함으로써, 리드 유지체(54A)와 방전 용기(51)의 일체 상태가 유지된다. 즉, 리드 유지체(54A)가 방전 용기(51)에 고정되는 제2 기능을 완수할 수 있다.
또, 본 실시 형태의 발명에 의하면, 한쪽의 외부 전극(52)에는 램프 점등시에 고주파 고전압이 인가된다. 이 때문에, 한쪽의 외부 전극(52)에 급전하는 한쪽의 리드(55)를 유지하는 리드 유지부(54A1)가 전기 절연성을 가지는 부재로 구성되어 있으므로, 리드 유지부(54Al)를 통해 외부 전극(52, 53)간 또는 리드(55, 56) 사이에서의 절연 파괴를 방지할 수 있다. 즉, 방전 용기(51) 외면에서의 외부 전극(52, 53) 사이의 절연 파괴를 방지하는 제3 기능을 완수할 수 있다.
또한, 본 실시 형태의 발명에 의하면, 리드 유지체(54A)는, 방전 용기(51)의 다른쪽의 평탄면(512)보다 하부에 돌출하는 부분이 존재하지 않는다. 그 때문에, 방전 용기(51)와 피조사물 W는 리드 유지체(54A)에 상관없이 근접시킬 수 있다. 즉, 방전 용기(51)의 다른쪽의 평탄면(512)(피조사물 W와 대향하는 측의 면)에의 돌출을 억제하는 제4 기능을 완수할 수 있다. 또, 다른쪽의 외부 전극(53)으로부터 신장하는 외부 전극 부분(531)이 방전 용기(51)의 확경부(514)에 형성되고, 다른쪽의 리드(56)와 외부 전극 부분(531)이, 예를 들면, 땜납에 의해 전기적으로 접속되므로, 방전 용기(51)의 다른쪽의 평탄면(512)의 하부에 있던, 종래의 다른쪽의 리드(56)의 직경분의 거리도 없앨 수 있고, 다른쪽의 평탄부(512)와 피조사물 W의 거 리를 짧게 할 수 있다.
본 발명의 제4 실시 형태를 도 13 내지 도 16을 이용하여 설명한다.
도 13은, 본 실시 형태의 발명에 관련되고, 제3 실시 형태에서의 도 11에 나타낸 엑시머 램프의 단면도와 대응하는, 엑시머 램프(5)의 길이 방향으로 직교하는 절단면으로부터 본 리드 유지체(54B)의 구성을 나타내는 단면도이다.
도 13(a)은 엑시머 램프(5)의 폭 방향의 길이가 L6, 엑시머 램프(5)의 두께가 L5일 때의 리드 유지체(54B)의 구성을 나타내는 단면도, 도 13(b)은, 엑시머 램프(5)의 두께가 도 13(a)의 엑시머 램프의 두께 L5보다 두꺼운 L7일 때의 리드 유지체(54B)의 구성을 나타내는 단면도, 도 13(c)은, 엑시머 램프의 폭 방향의 길이가 도 13(a)의 엑시머 램프의 폭 방향의 길이 L6보다 긴 L8일 때의 리드 유지체(54B)의 구성을 나타내는 단면도이다.
도 13(a)에 나타낸 바와 같이, 리드 유지체(54B)는, 리드 유지부(54B1)와 확경 지지부(54B2)로 구성되고 리드 유지부(54B1)는, 방전 용기(51)의 한쪽의 평탄면(511)과 대략 평행한 평판 부분(54B11)과, 이 평판 부분(54B11)의 양단으로부터 대략 직각 방향으로 신장하는 돌출 부분(54B12)으로 구성되어 있다. 확경 지지부(54B2)는, 방전 용기(51)의 다른쪽의 평탄면(512)과 동일면에 있는 저부(54B21)와, 방전 용기(51)의 확경부(514)와 접촉하여 방전 용기(51)를 지지하는 경사면(54B22)과, 리드 유지부(54B1)의 돌출부분(54B12)의 저부(54B13)와 접촉하는 수평면(54B23)으로 구성되어 있다. 확경 지지부(54B2)의 수평면(54B23)과 리드 유지부(54B1)의 저부(54B13)를 접촉시켜, 양자를 나사 결합체(볼트(543))에 의해 나사 결합함으로써, 방전 용기(51)를 끼워둔다.
도 13(b)은, 도 13(a)에 나타낸 방전 용기(51)와 폭 방향의 길이(L6)는 같지만, 방전 용기(51)의 두께 L5보다 두꺼운 L7일 경우의 리드 유지체(54B) 상태를 나타낸 도면이다. 이 경우는, 확경 지지부(54B2)와 리드 유지부(54B1)의 나사 결합시에, 나사 결합체(볼트(543))에 의한 나사 결합량을 조절한다. 결과적으로, 확경 지지부(54B2)의 수평면(54B23)과 리드 유지부(54B1)의 저부(54B13)는 간격을 두고 나사 결합되어 방전 용기(51)을 끼워둘 수 있다.
도 13(c)은, 도 13(a)에 나타낸 방전 용기(51)의 두께(L5)는 같지만, 방전 용기(51)의 폭 방향의 길이 L6보다 긴 L8일 경우의 리드 유지체(54B)의 상태를 나타낸 도면이다. 이 경우는, 확경 지지부(54B2)와 리드 유지부(54B1)의 나사 결합시에, 나사 결합체(볼트(543))에 의한 나사 결합량을 조절한다. 결과적으로, 확경 지지부(54B2)의 수평면(54B23)과 리드 유지부(54B1)의 저부(54B13)는 간격을 두고, 방전 용기(51)의 다른쪽의 평탄면(512)보다 확경 지지부(54B2)의 저부(54B21)가 아래쪽으로 비어진 상태로 나사 결합되어 방전 용기(51)를 끼워둔다.
이러한 도면에서, 한쪽의 외부 전극(52)과 전기적으로 접속된 한쪽의 리드(55)는, 리드 유지부(54B1)의 평판 부분(54B11)의 홈(54B14)에 매설되고, 평판 부분(54B11)과 방전 용기(51)의 한쪽의 평탄면(511) 사이에 끼워두게 되고, 리드 유지체(54B)의 외부에 인출된다. 다른쪽의 외부 전극(53)은, 예를 들면, 도 12에 나타낸 바와 같이, 다른쪽의 외부 전극(53)으로부터 신장하는 외부 전극 부분(531)을 방전 용기(51)의 확경부(514)에 형성하고, 확경 지지부(54B2)를 금속 재료로 구 성함으로써, 외부 전극 부분(531)과 확경 지지부(54B2)를 맞닿게 하고 전기적인 접속을 도모하고, 확경 지지부(54B2)로부터 다른쪽의 리드(56)를, 예를 들면, 땜납에 의해 전기적으로 접속함으로써, 다른쪽의 리드(56)는 리드 유지체(54B)의 외부에 인출된다. 이와 같이 구성함으로써, 방전 용기(51)의 다른쪽의 평탄면(512)의 하부에 있던, 종래의 다른쪽의 리드(56)의 직경분의 거리도 없앨 수 있고, 다른쪽의 평탄부(512)와 피조사물 W의 거리를 짧게 할 수 있다.
본 실시 형태의 발명에 의하면, 리드 유지체(54)의 리드 유지부(54B1)와 확경 지지부(54B2)가 방전 용기(51)를 끼워둠으로써, 확경 지지부(54B2)는 방전 용기(51)를 향해 힘이 작용하고, 리드 유지부(54B1)와 방전 용기(51)에 끼워진 한쪽의 리드(55)는 고정되고, 앞서 언급한, 리드 유지체(54B)의 한쪽의 리드(55)를 유지하는 제1 기능을 완수할 수 있다.
또, 본 실시 형태의 발명에 의하면, 확경 지지부(54B2)의 경사면(54B22)과 방전 용기(51)의 확경부(514)가 접촉한 상태에서, 리드 유지부(54B1)와 확경 지지부(54B2)가 방전 용기(51)를 끼워둔다. 이때 방전 용기(51)에만 부하가 걸려도, 확경 지지부(54B2)의 접촉에 의해, 서로의 맞닿는 면에서 마찰력이 작용되고, 리드 유지체(54B)와 방전 용기(51)의 일체 상태가 유지되고 앞서 언급한, 리드 유지체(54B)가 방전 용기(51)에 고정되는 제2 기능을 완수할 수 있다.
또, 본 실시 형태의 발명에 의하면, 한쪽의 외부 전극(52)에 급전할 한쪽의 리드(55)를 유지하는 리드 유지부(54B1)를 전기 절연성을 가지는 부재로 구성함으로써, 리드 유지부(54B1)를 통해 외부 전극(52, 53) 사이 또는 리드(55, 56) 사이 에서의 절연 파괴를 방지할 수 있고, 앞서 언급한, 방전 용기(51) 외면에서의 외부 전극(52, 53) 사이의 절연 파괴를 방지하는 제3 기능을 완수할 수 있다.
또한, 본 실시 형태의 발명에 의하면, 도 13(c)의 경우를 제외하고, 리드 유지체(54B)는, 방전 용기(51)의 다른쪽의 평탄면(512)보다 하부에 돌출하는 부분이 존재하지 않는다. 그 때문에, 방전 용기(51)와 피조사물 W는 리드 유지체(54B)에 상관없이 근접시킬 수 있다. 즉, 방전 용기(51)의 다른쪽의 평탄면(512)(피조사물 W와 대향하는 측의 면)에의 돌출을 억제하는 제4 기능을 완수할 수 있다.
도 14는, 본 실시 형태의 발명에 관련되고, 도 13에 나타낸 리드 유지체(54B)의 변형예 1을 나타내는 리드 유지체(54B)의 구성을 나타내는 단면도이다. 도 14(a)는 엑시머 램프(5)의 폭 방향의 길이가 L6, 엑시머 램프(5)의 두께가 L5일 때의 리드 유지체(54B)의 구성을 나타내는 단면도, 도 14(b)는, 엑시머 램프의 폭 방향의 길이가 도 14(a)의 엑시머 램프의 폭 방향의 길이 L6보다 긴 L8일 때의 리드 유지체(54B)의 구성을 나타낸 단면도이다.
이러한 도면에 나타내는 바와 같이, 확경 지지부(54B2)에서 나사 결합체(543)가 나사 결합되는 주변에, 나사 결합체(볼트(543))가, 나사 결합 방향에 대해 직각 방향으로는 이동 가능하지만, 나사 결합 방향으로는 이동할 수 없는 공극(54B24)을 설치한다. 이와 같이 구성함으로써, 도 13(c)에서, 엑시머 램프의 폭 방향의 길이가 도 13(a)의 엑시머 램프의 폭 방향의 길이 L6보다 긴 L8일 때, 방전 용기(51)의 다른쪽의 평탄면(512)보다 확경 지지부(54B2)의 저부(54B21)가 아래쪽으로 비어진 상태에서 나사 결합되었지만, 도 14(b)에 나타내는 바와 같이, 나사 결합체(볼트(543))를 확경 지지부(54B2)의 공극(54B24)에서 방전 용기(51)의 폭 방향으로 이동시켜 나사 결합함으로써, 방전 용기(51)의 다른쪽의 평탄면(512)과 확경 지지부(54B2)의 저부(54B21)를 동일면의 상태로 유지할 수 있다.
본 실시 형태의 변형예 1의 발명에 의하면, 본 실시 형태의 도 13에 관련되는 발명과 같이, 제1 내지 제4 기능을 완수할 수 있다.
도 15는, 본 실시 형태의 발명에 관련되고, 도 13에 나타낸 리드 유지체(54B)의 변형예 2를 나타내는 리드 유지체(54C)의 구성을 나타내는 단면도이다.
도 15(a)는 엑시머 램프(5)의 폭 방향의 길이가 L6, 엑시머 램프(5)의 두께가 L5일 때의 리드 유지체(54C)의 구성을 나타내는 단면도, 도 15(b)는, 엑시머 램프(5)의 두께가 도 15(a)의 엑시머 램프(5)의 두께 L5보다 두꺼운 L7일 때의 리드 유지체(54C)의 구성을 나타낸 단면도, 도 15(c)는, 엑시머 램프(5)의 폭 방향의 길이가 도 15(a)의 엑시머 램프(5)의 폭 방향의 길이 L6보다 긴 L8일 때의 리드 유지체(54C)의 구성을 나타낸 단면도이다.
도 15(a)에 나타낸 바와 같이, 리드 유지체(54C)는, 확경 지지부 겸 리드 유지부(54C1)와 확경 지지부(54C2)로 구성되고, 확경 지지부 겸 리드 유지부(54C1)는, 방전 용기(51)의 한쪽의 평탄면(511)과 대략 평행한 평판 부분(54C11)과, 이 평판 부분(54C11)의 일단으로부터 대략 직각 방향으로 신장하는 돌출부분(54C12)과, 이 돌출부분(54C12)의 일부에서 방전 용기(51)의 확경부(514)와 접촉하고 방전 용기(51)를 지지하는 경사면(54C13)으로 구성되어 있다. 확경 지지부(54C2)는, 확경 지지부 겸 리드 유지부(54C1)의 평판 부분(54C11)의 일단의 측면(54C14)에 대향 하는 수직 부분(54C21)과, 이 수직 부분(54C21)의 일부에서 방전 용기(51)의 확경부(514)와 접촉하고 방전 용기(51)를 지지하는 경사면(54C22)으로 구성되어 있다. 확경 지지부(54C2)의 수직 부분(54C21)과 확경 지지부 겸 리드 유지부(54C1)의 평판 부분(54C11)의 측면(54C14)이 접촉하는 방향으로, 양자를 나사 결합체(볼트(543))에 의해 나사 결합함으로써, 방전 용기(51)를 끼워두게 한다.
도 15(b)는, 도 15(a)에 나타낸 방전 용기(51)와 폭 방향의 길이(L6)는 같지만, 방전 용기(51)의 두께 L5보다 두꺼운 L7일 경우의 리드 유지체(54C) 상태를 나타내는 도면이다. 이 경우는, 확경 지지부 겸 리드 유지부(54C1)의 측면(54C14)과 확경 지지부(54C2)의 수직 부분(54C21) 사이의 나사 결합시에, 나사 결합체(볼트(543))에 의한 나사 결합량을 조절한다. 결과적으로, 확경 지지부 겸 리드 유지부(54C1)의 측면(54C14)과 확경 지지부(54C2)의 수직 부분(54C21)은 간격을 두고 나사 결합되어 방전 용기(51)를 끼워두게 할 수 있다.
도 15(c)는, 도 15(a)에 나타낸 방전 용기(51)의 두께(L5)는 같지만, 방전 용기(51)의 폭 방향의 길이 L6보다 긴 L8일 경우의 리드 유지체(54C)의 상태를 나타내는 도면이다. 이 경우도, 확경 지지부 겸 리드 유지부(54C1)의 측면(54C14)과 확경 지지부(54C2)의 수직 부분(54C21)간의 나사 결합시에, 나사 결합체(볼트(543))에 의한 나사 결합량을 조절한다. 결과적으로, 확경 지지부 겸 리드 유지부(54C1)의 측면(54C14)과 확경 지지부(54C2)의 수직 부분(54C21)은 간격을 두고 나사 결합되어 방전 용기(51)를 끼워둘 수 있다.
이러한 도면에 나타낸 바와 같이, 도 15(b)에서는, 나사 결합체(볼트(543)) 에 의해 확경 지지부 겸 리드 유지부(54C1)와 확경 지지부(54C2)를 나사 결합함으로써, 방전 용기(51)의 다른쪽의 평탄면(512)과 확경 지지부(54C2)의 저부(54C23)가 위쪽으로 들어간 상태로 나사 결합된다. 또, 도 15(c)에 나타내는 바와 같이, 나사 결합체(볼트(543))에 의해 확경 지지부 겸 리드 유지부(54C1)와 확경 지지부(54C2)를 나사 결합함으로써, 방전 용기(51)의 다른쪽의 평탄면(512)과 확경 지지부(54C2)의 저부(54C23)가 동일면 상태로 나사 결합할 수 있다.
본 실시 형태의 변형예 2의 발명에서도, 본 실시 형태의 도 13에 관련되는 발명과 마찬가지로, 제1 내지 제4 기능을 완수할 수 있다.
도 16은, 본 실시 형태의 발명에 관련되고, 도 13에 나타낸 리드 유지체(54B)의 변형예 3에 관련되는 리드 유지체(54B)의 구성을 나타낸 단면도이다.
도 16에 나타낸 바와 같이, 방전 용기(51B)는, 방전 용기(51B)의 길이 방향에 대해 직교하는 절단면이 확경부(51B2)를 가지는 만곡면(51B1)과 평탄면(51B3)으로 구성되어 있다. 리드 유지체(54B)는, 리드 유지부(54B1)와 확경 지지부(54B2)로 구성되고, 리드 유지부(54B1)는, 방전 용기(51B)의 평탄면(51B3)과 대략 평행한 평판 부분(54B11)과, 이 평판 부분(54B11)의 양단으로부터 대략 직각 방향으로 신장하는 돌출부분(54B12)으로 구성되어 있다. 확경 지지부(54B2)는, 방전 용기(51B)의 평탄면(51B3)과 동일면에 있는 저부(54B21)와, 방전 용기(51B)의 확경부(51B2)와 접촉하여 방전 용기(51B)를 지지하는 경사면(54B22)과, 리드 유지부(54B1)의 돌출부분(54B12)의 저부(54B13)와 접촉하는 방향으로 대향하는 수평면(54B23)으로 구성되어 있다. 확경 지지부(54B2)의 수평면(54B23)과 리드 유지부(54B1)의 저 부(54B13)를 접촉하는 방향으로, 양자를 나사 결합체(볼트(543))에 의해 나사 결합함으로써, 방전 용기(51)를 끼워둔다.
본 실시 형태의 변형예 3의 발명에서도, 본 실시 형태의 도 13에 관련되는 발명과 같이 제1 내지 제4 기능을 완수할 수 있다.
본 발명의 제5 실시 형태를 도 17을 이용하여 설명한다.
도 17은, 본 실시 형태의 발명에 관련되는 엑시머 램프(5)의 길이 방향을 따른 배출관(51C1)을 지나는 절단면으로부터 본 엑시머 램프(5)의 일부 단면도, 도 17(b)은, 도 17(a)에 나타낸 엑시머 램프(5)의 X방향으로부터 본 엑시머 램프(5)의 측면도, 도 17(c)은, 도 17(a), (b)에 나타낸 방전 용기(51C)의 양단에 설치되는 리드 유지체(54D)를 제외한 상태에서의 방전 용기(51C)의 구성을 나타내는 사시도이다.
이러한 도면에 나타낸 바와 같이, 이 엑시머 램프(5)는, 방전 용기(51C)의 양단에 배출관(51C1)이 형성되어 있다. 이 배출관(51C1)의 선단이 방전 용기(51C)의 양단으로부터 돌출되어 있으므로, 다른 물체와 충돌하고 파손의 우려가 있다. 그 때문에, 리드 유지체(54D)에, 리드 유지부(54D1)에 연속하는 연접부(54D2), 및 연접부(54D2)로부터 배출관(51C1)의 선단을 덮도록 형성된 보호부(54D3)를 설치한다. 또한, 그 외의 구성은, 제3 실시 형태의 도 11에 나타낸 리드 유지체(54A)의 구성에 대응하므로, 설명을 생략한다. 또, 배출관(51C1)을 이용한 엑시머 램프(5)에 적용되는 리드 유지체(54D)로서는, 다른 실시 형태로 나타낸 리드 유지체(54, 54B, 54C)도 적용 가능하다.
본 발명의 제6 실시 형태를 도 18 및 도 19를 이용하여 설명한다.
도 18은, 본 실시 형태의 발명에 관련되는 엑시머 램프(5)의 길이 방향을 따른 절단면으로부터 본 자외선 조사 장치(1)의 구성을 나타내는 단면도, 도 19는, 도 18에 나타낸 자외선 조사 장치(1)의 D-D절단면으로부터 본 자외선 조사 장치(1)의 단면도이다.
동 도에 나타낸 바와 같이, 이 자외선 조사 장치(1)는, 대략, 상자 형상으로 구성된 하우징(4) 내에 엑시머 램프(5)를 구비하는 램프 유닛(2)(도면 위쪽)과, 램프 유닛(2)을 재치함과 더불어 피조사물 W를 반송하는 반송 기구(3)(도면 하부)로 구성되어 있다. 본 실시 형태의 발명은, 제1 실시 형태의 도 1에 나타낸 자외선 조사 장치(1)에 기재된 복수의 엑시머 램프(5)와 마찬가지로, 동일 평면 상에 배치되어 있지만, 제1 실시 형태의 도 1에 나타낸 자외선 조사 장치(1)와는, 복수의 엑시머 램프(5)가, 엑시머 램프(5)의 길이 방향과 직교하는 방향에서, 서로 길이 방향으로 위치가 어긋나도록 배열되어 있는, 이른바, 갈지자 형상으로 배열되어 있는 점에서 상이하고 있다. 또한, 그 외의 구성은 도 1에 나타낸 동부호의 구성에 대응하므로, 설명을 생략한다.
본 실시 형태의 발명에 의하면, 엑시머 램프의 길이 방향의 길이 이상의 폭을 가지는 피조사물 W에 대해서도 진공 자외선을 조사할 수 있다.
도 1은 제1 실시 형태의 발명에 관련되는 엑시머 램프(5)의 길이 방향을 따른 절단면으로부터 본 자외선 조사 장치(1)의 구성을 나타낸 단면도이다.
도 2는 도 1에 나타낸 엑시머 램프(5) 한쪽의 단부(점선으로 둥글게 둘러싸인 개소)의 확대도이다.
도 3은 엑시머 램프(5)의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 4는 도 3에 나타낸 엑시머 램프(5)의 A-A절단면으로부터 본 단면도 및 도 3에 나타낸 엑시머 램프(5)의 B-B절단면으로부터 본 단면도이다.
도 5는 제1 실시 형태에 관련되는 엑시머 램프(5)와는 방전 용기의 형상이 다른 변형예를 나타낸 엑시머 램프(5)의 단면도이다.
도 6은 제2 실시 형태의 발명에 관련되고, 제1 실시 형태에서의 도 4(b)에 나타낸 엑시머 램프(5)의 단면도와 대응하는, 엑시머 램프(5)의 길이 방향에 대해 직교하는 절단면으로부터 본 리드 유지체의 구성을 나타내는 단면도이다.
도 7은 제2 실시 형태의 변형예의 발명에 관련되고, 제1 실시 형태의 도 5에 나타낸 엑시머 램프(5)의 단면도와 대응하는, 엑시머 램프(5)의 길이 방향에 대해 직교하는 절단면으로부터 본 리드 유지체(54)의 구성을 나타내는 단면도이다.
도 8은 제3 실시 형태의 발명에 관련되는 엑시머 램프(5)의 길이 방향을 따른 절단면으로부터 본 자외선 조사 장치(1)의 구성을 나타내는 단면도이다.
도 9는 도 1에 나타낸 엑시머 램프(5) 한쪽의 단부(점선으로 둥글게 둘러싸인 개소)의 확대도이다.
도 10은 엑시머 램프(5)의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 11은 도 10에 나타낸 엑시머 램프(5)의 C-C절단면으로부터 본 단면도이다.
도 12는 도 10에 나타낸 엑시머 램프(5)의 한쪽의 단부에서의 리드 유지체(54)를 제외한 상태의 방전 용기(51)를 나타낸 일부 사시도이다.
도 13은 제4 실시 형태의 발명에 관련되고, 제3 실시 형태에서의 도 11에 나타낸 엑시머 램프의 단면도와 대응하는, 엑시머 램프(5)의 길이 방향으로 직교하는 절단면으로부터 본 리드 유지체(54B)의 구성을 나타낸 단면도이다.
도 14는 제4 실시 형태의 발명에 관계되고, 도 13에 나타낸 리드 유지체(54B)의 변형예 1을 나타낸 리드 유지체(54B)의 구성을 나타낸 단면도이다.
도 15는 제4 발명에 관련되고, 도 13에 나타낸 리드 유지체(54)의 변형예 2를 나타낸 리드 유지체의 구성을 나타낸 단면도이다.
도 16은 제4 실시 형태의 발명에 관련되고, 도 13에 나타낸 리드 유지체(54)의 변형예 3에 관련되는 리드 유지체(54B)의 구성을 나타내는 단면도이다.
도 17은 제5 실시 형태의 발명에 관련되는 엑시머 램프(5)의 길이 방향을 따른 배출관(41C1)를 지나는 절단면으로부터 본 엑시머 램프(5)의 일부 단면도이다
도 18은 제6 실시 형태의 발명에 관련되는 엑시머 램프(5)의 길이 방향을 따른 절단면으로부터 본 자외선 조사 장치(1)의 구성을 나타내는 단면도이다.
도 19는 도 18에 나타낸 자외선 조사 장치(1)의 D-D절단면으로부터 본 자외선 조사 장치(1)의 단면도이다.
도 20은 종래 기술에 관련되는 엑시머 램프(103)의 길이 방향에 대해 직교하는 절단면으로부터 본 자외선 조사 장치(100)의 구성을 나타내는 단면도이다.
도 21은 도 20에 나타낸 E-E절단면으로부터 본 자외선 조사 장치(100)의 단면도이다.
도 22는 도 20 및 도 21에 나타낸 엑시머 램프(103)의 사시도이다.
도 23은 도 21에 나타낸 엑시머 램프(103)의 한쪽의 단부(둥글게 둘러싸인 개소)의 확대 단면도이다.
도 24는 도 23에 나타낸 F-F절단면으로부터 본 엑시머 램프(103)의 한쪽의 단부의 단면도이다.
[도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명]
1 자외선 조사 장치 2 램프 유닛
3 반송 기구 31 롤러
32 구동부 4 하우징
41 격벽 5 엑시머 램프
51 방전 용기 511 한쪽의 평탄면
512 다른쪽의 평탄면 513 굴곡부(확경부)
514 확경부 51A 방전 용기
51A1 만곡면 51A2 평탄면
51A3 굴곡부(축경부) 51B 방전 용기
51Bl 만곡면 51B2 확경부
51B3 평탄면 51C 방전 용기
51Cl 배출관 52 한쪽의 외부 전극
53 다른쪽의 외부 전극 531 외부 전극 부분
54 리드 유지체 541 리드 유지부
5411 평판 부분 5412 돌출 부분
5413 홈 542A 평탄측 지지부
543 나사 결합체(볼트) 54A 리드 유지체
54A1 리드 유지부 54A11 평판 부분
54A12 돌출 부분 54A13 홈
54A2 확경 지지부 54B 리드 유지체
54B1 리드 유지부 54B11 평판 부분
54B12 돌출 부분 54B13 저부
54B14 홈 54B2 확경 지지부
54B21 저부 54B22 경사면
54B23 수평면 54B24 공극
54C 리드 유지체 54C1 확경 지지부 겸 리드 유지부
54C2 확경 지지부 54C11 평판 부분
54C12 돌출 부분 54C13 경사면
54C14 측면 54C21 수직 부분
54C22 경사면 54C23 저부
54D 리드 유지체 54D1 리드 유지부
54D2 연접부 54D3 보호부
55 제1 리드 56 다른쪽의 리드
W 피조사물

Claims (8)

  1. 길이 방향으로 신장하는 상하 양면을 가짐과 더불어, 내부에 발광 가스를 봉입한 방전 용기와, 상기 상하 양면 중 한쪽의 면에 설치한 한쪽의 외부 전극과, 상기 상하 양면 중 다른쪽의 평탄면에 설치한 다른쪽의 외부 전극과, 상기 방전 용기의 적어도 한쪽의 단부측에 설치한 리드 유지체로 이루어지는 엑시머 램프에 있어서,
    상기 리드 유지체는, 전기 절연성을 가지는 리드 유지부와 금속 박판으로 이루어지는 평탄 지지부로 구성되고, 상기 리드 유지부와 상기 평탄 지지부 사이에 상기 방전 용기를 끼워둠으로써, 상기 리드 유지부는, 상기 한쪽의 외부 전극과 전기적으로 접속된 한쪽의 리드를 상기 방전 용기의 상기 한쪽의 면과의 사이에서 유지하고, 상기 평탄 지지부는, 상기 다른쪽의 외부 전극과 전기적으로 접속함과 더불어, 상기 방전 용기의 상기 다른쪽의 평탄면에 맞닿는 것을 특징으로 하는 엑시머 램프.
  2. 길이 방향으로 신장하는 상하 양면을 가지고, 그 상하 양면간에 형성된 만곡면 상에 형성된 굴곡부 또는 상기 상하 양면간에 형성된 굴곡부를 가짐과 더불어, 내부에 발광 가스를 봉입한 방전 용기와, 상기 상하 양면 중 한쪽의 면에 설치한 한쪽의 외부 전극과, 상기 상하 양면 중 다른쪽의 평탄면에 설치한 다른쪽의 외부 전극과, 상기 방전 용기의 적어도 한쪽의 단부측에 설치한 리드 유지체로 이루어지 는 엑시머 램프에 있어서,
    상기 리드 유지체는, 전기 절연성을 가지는 리드 유지부와 탄성을 가지는 금속 박판으로 이루어지는 평탄측 지지부로 구성되고, 상기 리드 유지부와 상기 평탄측 지지부 사이에 상기 방전 용기를 끼워둠으로써, 상기 리드 유지부는, 상기 한쪽의 외부 전극과 전기적으로 접속된 한쪽의 리드를 상기 방전 용기의 상기 한쪽의 면과의 사이에서 유지하고, 상기 평탄측 지지부는, 상기 다른쪽의 외부 전극과 전기적으로 접속된 다른쪽의 리드를 상기 방전 용기의 상기 다른쪽의 평탄면과의 사이에서 유지한 것을 특징으로 하는 엑시머 램프.
  3. 길이 방향으로 신장하는 상하 양면을 가짐과 더불어, 내부에 발광 가스를 봉입한 방전 용기와, 상기 상하 양면 중 한쪽의 면에 설치한 한쪽의 외부 전극과, 상기 상하 양면 중 다른쪽의 평탄면에 설치한 다른쪽의 외부 전극과, 상기 방전 용기의 적어도 한쪽의 단부측에 설치한 리드 유지체로 이루어지는 엑시머 램프에 있어서,
    상기 리드 유지체는, 전기 절연성을 가지는 리드 유지부와, 그 리드 유지부와 상기 방전 용기 사이에 충전 고체화된 접착재로 이루어지는 확경(擴徑) 지지부로 구성되고, 상기 리드 유지부와 상기 방전 용기 사이에 접착재가 충전 고체화됨으로써, 상기 리드 유지부는, 상기 한쪽의 외부 전극과 전기적으로 접속된 한쪽의 리드를 상기 방전 용기의 상기 한쪽의 면과의 사이에서 유지하고, 상기 확경 지지부는, 상기 다른쪽의 외부 전극으로부터 방전 용기의 측면에 형성된 확경부까지 연 속하여 신장하는 외부 전극 부분과 전기적으로 접속된 다른쪽의 리드를 당해 확경 지지부 내에서 유지한 것을 특징으로 하는 엑시머 램프.
  4. 길이 방향으로 신장하는 상하 양면을 가짐과 더불어, 내부에 발광 가스를 봉입한 방전 용기와, 상기 상하 양면 중 한쪽의 면에 설치한 한쪽의 외부 전극과, 상기 상하 양면 중 다른쪽의 면에 설치한 다른쪽의 외부 전극과, 상기 방전 용기의 적어도 한쪽의 단부측에 설치한 리드 유지체로 이루어지는 엑시머 램프에 있어서,
    상기 방전 용기는, 상기 양면간의 측면에 확경부가 형성되고, 상기 리드 유지체는, 전기 절연성을 가지는 리드 유지부와 확경 지지부로 구성되고, 상기 리드 유지부와 상기 확경 지지부 사이에 상기 방전 용기를 끼워둠으로써, 상기 리드 유지부는, 상기 한쪽의 외부 전극과 전기적으로 접속된 한쪽의 리드를 상기 방전 용기의 상기 한쪽의 면과의 사이에서 유지하고, 상기 확경 지지부는 상기 방전 용기의 상기 확경부와 맞닿는 것을 특징으로 하는 엑시머 램프.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 다른쪽의 외부 전극이 상기 방전 용기의 확경부까지 연속하여 신장하는 외부 전극 부분을 가지고, 상기 확경 지지부는 금속 재료로 구성되고, 상기 리드 유지부와 상기 확경 지지부 사이에 상기 방전 용기를 끼워둠으로써, 상기 방전 용기의 외부 전극 부분과 상기 확경 지지부가 전기적 접속이 도모되는 것을 특징으로 하는 엑시머 램프.
  6. 청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 방전 용기는, 그 방전 용기의 단벽부로부터 돌출하는 배출관을 가지고, 상기 리드 유지체는, 리드 유지부에 배출관의 관축방향으로 신장하는 연접부와, 그 연접부로부터 배출관의 길이 방향의 바깥쪽에 설치한 보호부를 가지는 것을 특징으로 하는 엑시머 램프.
  7. 엑시머 램프와, 그 엑시머 램프를 유지한 일면(一面)이 개구된 하우징으로 이루어지는 램프 유닛에 있어서,
    상기 엑시머 램프가, 청구항 1 내지 청구항 6 중 어느 한 항에 기재된 하나 또는 복수의 엑시머 램프로서, 그 엑시머 램프의 평탄면이, 상기 하우징의 개구에 위치하는 피조사물의 피조사면과 평행하게 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 램프 유닛.
  8. 엑시머 램프와 그 엑시머 램프를 유지한 일면이 개구된 하우징으로 이루어지는 램프 유닛에 있어서,
    상기 엑시머 램프가, 청구항 1 내지 청구항 6 중 어느 한 항에 기재된 복수의 엑시머 램프로서, 그 엑시머 램프가, 그 엑시머 램프의 길이 방향과 직교하는 방향에 있고, 상기 각 엑시머 램프의 평탄면이 동일 평면 상에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 램프 유닛.
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