CN220526865U - 紫外线照射装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种能够抑制阻挡放电灯的管轴方向上的均匀度下降的紫外线照射装置。实施方式的紫外线照射装置包括：框体，呈箱状，其中一个端部开口；阻挡放电灯，设在所述框体的内部，能够照射紫外线；以及气流形成部，在所述框体的内部，使吹扫气体朝向所述阻挡放电灯流动。所述阻挡放电灯具有：发光管，沿一方向延伸，呈环状，在内部封入有气体；内部电极，设在所述发光管的内部；以及外部电极，设在所述发光管的外部。所述气流形成部形成在所述发光管中与所述框体的开口相向一侧的端部附近流动的所述吹扫气体的流动。

Description

紫外线照射装置

技术领域

本实用新型的实施方式涉及一种紫外线照射装置。

背景技术

有一种紫外线照射装置，其包括照射紫外线的阻挡放电灯。包括阻挡放电灯的紫外线照射装置例如被用于附着于对象物表面的有机物的去除(光清洗处理)、表面改性、氧化膜的形成等表面处理。阻挡放电灯例如具有设在发光管内部的内部电极、以及设在发光管外部的外部电极。当对内部电极与外部电极施加交流电压时，产生介电质阻挡放电，从而对应于被封入至发光管内部的气体的种类而照射具有特定波长的紫外线。

此处，在进行利用紫外线的处理时，有时会从对象物放出气体。例如，在对象物的表面包含有机物的情况下，有时通过照射紫外线而使有机物分解，从而放出包含有机物的成分的气体。而且，在对象物的表面涂布有挥发性的材料的情况下，会放出包含挥发性的材料的成分的气体。当放出的气体到达阻挡放电灯时，气体中包含的成分会附着于阻挡放电灯的表面，阻挡放电灯的管轴方向上的均匀度有时会下降。若均匀度下降，则容易产生处理不均，因此实施了处理的对象物的品质有可能下降。

因此，提出了一种在其中一个端部开口的箱状的框体的内部设置阻挡放电灯，利用氮气对箱状的框体的内部进行吹扫的技术。若阻挡放电灯设在以氮气充满的空间中，则即便从对象物放出气体，也能够抑制放出的气体到达阻挡放电灯。

但是，在处理时间长或处理数多的情况下，放出的气体有时会随时间的推移而到达阻挡放电灯。而且，在气体的放出量多的情况下，放出的气体也有时会到达阻挡放电灯。因此，即便单纯地以氮气充满阻挡放电灯的周边，阻挡放电灯的管轴方向上的均匀度也有时会下降。

因此，期望开发一种能够抑制阻挡放电灯的管轴方向上的均匀度下降的紫外线照射装置。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2013-191758号公报

实用新型内容

[实用新型所要解决的问题]

本实用新型所要解决的问题是提供一种能够抑制阻挡放电灯的管轴方向上的均匀度下降的紫外线照射装置。

[解决问题的技术手段]

实施方式的紫外线照射装置包括：框体，呈箱状，其中一个端部开口；阻挡放电灯，设在所述框体的内部，能够照射紫外线；以及气流形成部，在所述框体的内部，使吹扫气体朝向所述阻挡放电灯流动。所述阻挡放电灯具有：发光管，沿一方向延伸，呈环状，在内部封入有气体；内部电极，设在所述发光管的内部；以及外部电极，设在所述发光管的外部。所述气流形成部形成在所述发光管中与所述框体的开口相向一侧的端部附近流动的所述吹扫气体的流动。

[实用新型的效果]

通过本实用新型的实施方式，可提供一种能够抑制阻挡放电灯的管轴方向上的均匀度下降的紫外线照射装置。

附图说明

图1是用于例示本实施方式的紫外线照射装置的示意剖面图。

图2是阻挡放电灯、冷却部、灯座及罩的示意分解图。

图3是用于例示阻挡放电灯的示意图。

图4是图3中的阻挡放电灯的A-A线方向的示意剖面图。

图5是用于例示比较例的紫外线照射装置的示意剖面图。

图6是用于例示气流形成部的示意立体图。

图7是用于例示另一实施方式的气流形成部的示意立体图。

图8是用于例示均匀度的随时间的变化的图表。

[符号的说明]

1：阻挡放电灯

2：冷却部

2a：凹部

2b：流路

2c、6b：开闭阀

3：灯座

4：罩

5：框体

6、306：吹扫气体供给部

6a：气体供给源

6c：流量调整部

6d、6da：气流形成部

6d1：吹出口

11：发光管

11a：密封部

11b：导电部

11c：外引线

12：内部电极

12a：线圈

12b：极线

13：反射膜

14：支架

15：导线

16：外部电极

16a：电极体

16b：安装部

16c：定位构件

100：紫外线照射装置

200：对象物

200a：气体

201：搬送装置

306a：流量调整阀

306b：层

A-A：线

G：吹扫气体

P：间距尺寸

X、Y、Z：箭头

具体实施方式

以下，参照附图来对实施方式进行例示。另外，各附图中，对于相同的结构部件标注相同的符号并适当省略详细说明。而且，各附图中的箭头X、箭头Y、箭头Z表示彼此正交的三方向。例如，将与阻挡放电灯1(发光管11)的管轴方向正交的方向设为X方向，将阻挡放电灯1(发光管11)的管轴方向设为Y方向，将紫外线的照射方向设为Z方向。

图1是用于例示本实施方式的紫外线照射装置100的示意剖面图。另外，在图1中，例示了设置一个阻挡放电灯1的情况，但阻挡放电灯1的数量可根据阻挡放电灯1的用途、或处理的对象物200的大小等适当变更。即，阻挡放电灯1只要设置至少一个即可。

另外，如图1所示，紫外线照射装置100(阻挡放电灯1)设在对象物200的重力方向上侧。此时，对象物200可相对于紫外线照射装置100(阻挡放电灯1)移动。例如，对象物200可使用输送机等搬送装置201沿规定的方向移动。另外，紫外线照射装置100(阻挡放电灯1)也可相对于对象物200移动。例如，可将对象物200载置于载置台等上，并使用单轴机器人等使紫外线照射装置100(阻挡放电灯1)沿规定的方向移动。

即，紫外线照射装置100(阻挡放电灯1)与对象物200之间的相对位置只要能够变化即可。另外，紫外线照射装置100(阻挡放电灯1)与对象物200之间的位置也可为恒定。但是，若使紫外线照射装置100(阻挡放电灯1)与对象物200之间的相对位置变化，则能够减小紫外线照射装置100(阻挡放电灯1)的照射区域，因此能够实现紫外线照射装置100(阻挡放电灯1)的小型化或节能化。

如图1所示，紫外线照射装置100例如具有阻挡放电灯1、冷却部2、灯座3、罩4、框体5、及吹扫气体供给部6。

图2是阻挡放电灯1、冷却部2、灯座3、及罩4的示意分解图。

图3是用于例示阻挡放电灯1的示意图。

图4是图3中的阻挡放电灯1的A-A线方向的示意剖面图。

另外，在图4中，也一并描绘出冷却部2。

如图3及图4所示，阻挡放电灯1例如具有发光管11、内部电极12、反射膜13、支架14、导线15及外部电极16。

发光管11呈管状，且具有全长(管轴方向的长度)比管径长的形态。发光管11沿一方向(Y方向)延伸。发光管11例如可设为圆筒管。在发光管11的管轴方向上的两侧端部分别设有密封部11a。通过设置密封部11a，能够气密地密封发光管11的内部空间。密封部11a例如可使用压封(pinch seal)法或缩封(shrink seal)法而形成。

而且，在密封部11a的内部，可设置导电部11b与外引线11c。导电部11b可相对于一个密封部11a而设置一个。导电部11b的平面形状例如为四边形。导电部11b呈薄膜状。导电部11b例如可由钼箔形成。

外引线11c呈线状，可至少设在设有导线15的一侧的密封部11a。外引线11c的其中一个端部与导电部11b电连接。外引线11c的端部附近可与导电部11b进行激光熔接或电阻熔接。外引线11c的另一个端部可从密封部11a露出。外引线11c例如包含钼等。

在发光管11的内部空间封入有气体。在阻挡放电灯1中，在内部电极12与外部电极16之间进行阻挡放电，对所封入的气体给予高能量电子而生成准分子激励分子。当准分子激励分子复原时，对应于气体的种类而产生具有特定的峰值波长的光。因此，封入至发光管11的内部空间的气体可根据阻挡放电灯1的用途来适当变更。封入至发光管11的内部空间的气体例如可设为氪、氙、氩、氖等稀有气体或者使多种稀有气体混合而成的混合气体。也可视需要而在气体中进而包含卤素气体等。

发光管11的内部空间的25℃下的气体压力(封入压力)例如可设为80kPa～200kPa左右。发光管11的内部空间的25℃下的气体压力(封入压力)可通过气体的标准状态(标准环境温度和压力(Standard Ambient Temperature and Pressure，SATP)：温度25℃、1bar)来求出。

例如，在对平板显示器用的玻璃板的表面进行光清洗的情况下，优选将所封入的气体设为氙。此时，氙的封入压力例如可设为93kPa左右。若将所封入的气体设为氙，则可产生峰值波长为172nm的紫外线，因此可提高清洗效果。

发光管11例如是由峰值波长为200nm以下的紫外线的透射率高的材料形成。例如，发光管11可由合成石英玻璃形成。

内部电极12被设在发光管11的内部。内部电极12例如具有线圈12a以及极线12b。线圈12a以及极线12b可一体地形成。线圈12a以及极线12b例如是通过对线材进行塑性加工而形成。线材的线径(直径)例如为0.2mm～1.0mm左右。线材的材料例如是钨或在钨中添加了钾等而成的掺杂钨等。

线圈12a呈螺旋状，且设在发光管11的内部空间。线圈12a在发光管11的内部空间的中央区域沿着发光管11的管轴而延伸。线圈12a的间距尺寸P例如可设为10mm～120mm左右。

极线12b分别设在线圈12a的两侧端部。极线12b呈线状，且从线圈12a的端部沿着发光管11的管轴延伸。极线12b的端部在密封部11a的内部与导电部11b电连接。极线12b的端部附近可与导电部11b进行激光熔接或电阻熔接。

反射膜13可设在外部电极16与内部电极12(线圈12a)之间。例如，反射膜13呈膜状，且设在发光管11的内壁。反射膜13将在发光管11的内部空间产生且未朝向照射方向的紫外线反射向照射方向。若设有反射膜13，则可提高紫外线的导出效率。而且，若设有反射膜13，则可减小发光管11的紫外线直接入射的区域，因此可抑制因紫外线造成的发光管11的化学性的结构变化。

反射膜13的厚度例如可设为100μm～300μm左右。反射膜13例如包含SiO₂。而且，反射膜13也能够包含使紫外线散射的粒子。使紫外线散射的粒子例如包含氧化铝等。

另外，反射膜13也可未必需要而予以省去。但若设有反射膜13，则能够提高紫外线的导出效率，且能够抑制因紫外线造成的发光管11的化学性的结构变化。

支架14分别设在发光管11的管轴方向上的两侧端部。支架14覆盖发光管11的端部。支架14例如可由绝缘材料形成。支架14例如可由滑石(steatite)、氧化铝等形成。支架14既可与外部电极16接触，也可与外部电极16隔开。

导线15电连接于从密封部11a露出的外引线11c的端部。导线15经由外引线11c以及导电部11b而与内部电极12电连接。导线15例如与设在紫外线照射装置100外部的点亮电路电连接。另外，导线15既可如图3所示那样仅设在发光管11的其中一个端部侧，也可分别设在发光管11的两侧端部。

如图2至图4所示，外部电极16被设在发光管11的外部。外部电极16例如具有电极体16a以及多个安装部16b。电极体16a以及多个安装部16b可一体地形成。

电极体16a沿着发光管11的外表面而沿发光管11的管轴方向延伸。电极体16a被设在发光管11的外表面与冷却部2的凹部2a的内壁之间。电极体16a与内部电极12(线圈12a)相向。在设有反射膜13的情况下，电极体16a可设在与反射膜13相向的位置。

电极体16a的厚度例如可设为0.1mm以上且1.0mm以下。电极体16a可由金属等导电性材料形成。电极体16a例如由不锈钢、铝等形成。而且，当使阻挡放电灯1点亮时，与紫外线一同产生热。因此，若电极体16a包含金属等导热率高的材料，则也能够将电极体16a用作散热部。

多个安装部16b在与发光管11的管轴方向正交的方向上分别设在电极体16a的两侧端部。多个安装部16b的其中一个端部设在电极体16a的端部。在与发光管11的管轴方向正交的方向上，多个安装部16b朝远离发光管11的方向延伸。

多个安装部16b是沿发光管11的管轴方向排列设置。多个安装部16b被安装于冷却部2的开设有凹部2a的面。多个安装部16b例如使用螺丝等紧固构件而安装于冷却部2。多个安装部16b的厚度及材料可设为与电极体16a相同。

若将多个安装部16b安装于冷却部2，则可抑制电极体16a因使阻挡放电灯1点亮时产生的热发生变形。若可抑制电极体16a的变形，则可抑制内部电极12(线圈12a)与外部电极16(电极体16a)之间的距离发生变化而导致放电状态发生变化的现象。若可抑制放电状态的变化，则可提高均匀度。因此，可抑制处理不均的产生。

而且，可进而设置多个定位构件16c。定位构件16c呈板状，可设在安装部16b与冷却部2的开设有凹部2a的面之间。例如，定位构件16c的数量可设为与安装部16b的数量相同。

定位构件16c例如使用螺丝等紧固构件而与安装部16b一同安装于冷却部2。因此，在定位构件16c，可设置贯穿厚度方向的孔。定位构件16c的厚度例如可设为0.3mm左右。定位构件16c的材料例如可设为不锈钢等金属。

在将定位构件16c安装于冷却部2时，既可在定位构件16c的其中一个端部与电极体16a之间、以及电极体16a与发光管11的外表面之间的至少任一处设置微小的间隙，也可不设置间隙。这样，能够抑制电极体16a以及发光管11因使阻挡放电灯1点亮时所产生的热发生变形的现象。因此，能够抑制内部电极12(线圈12a)与外部电极16(电极体16a)之间的距离发生变化而导致放电状态发生变化，或者在发光管11与冷却部2之间产生间隙而导致冷却状态发生变化的现象。若可抑制放电状态以及冷却状态的变化，则能够进一步提高均匀度。因此，能够进一步抑制处理不均的产生。

如图2以及图4所示，冷却部2夹着外部电极16而与发光管11相向。冷却部2沿阻挡放电灯1的管轴方向延伸。冷却部2的管轴方向的长度例如可设为与外部电极16(电极体16a)的管轴方向的长度相同。冷却部2可设置至少一个。在设置多个冷却部2的情况下，如图2所示，可将多个冷却部2沿阻挡放电灯1的管轴方向排列设置。

如图4所示，可在冷却部2的其中一个面设置凹部2a。凹部2a沿发光管11的管轴方向延伸。在凹部2a的内部，可设置外部电极16的电极体16a与阻挡放电灯1的发光管11。凹部2a的内表面的至少一部分可与电极体16a接触。

冷却部2是由导热率高的材料形成。冷却部2例如可由铝或不锈钢等金属形成。另外，如图4所示，在冷却部2的内部可设置流路2b。例如，经由开闭阀2c向流路2b供给制冷剂。制冷剂例如为水等。在流路2b的内部流动的制冷剂排出至冷却部2的外部。若使制冷剂在流路2b的内部流动，则能够效率良好地对在阻挡放电灯1中产生的热进行散热。

灯座3例如电连接于点亮电路等。导线15以及外部电极16能够拆装地与灯座3电连接。通过将导线15以及外部电极16电连接于灯座3，从而能够将内部电极12以及外部电极16电连接于点亮电路等。

点亮电路例如具有将来自交流电源的电力转换为高电压且高频(例如频率为37kHz的正弦波)的电力的逆变器。例如，点亮电路以2.4kW左右的灯电力来使阻挡放电灯1点亮。

罩4呈箱状，在内部收纳阻挡放电灯1、冷却部2及灯座3。罩4的其中一个端部开口。若设有罩4，则可使后述的吹扫气体G滞留在罩4的内部空间中。若吹扫气体G滞留在罩4的内部空间，则能够实现阻挡放电灯1的保护。

框体5呈箱状，在内部收纳阻挡放电灯1、冷却部2、灯座3及罩4。框体5的其中一个端部开口。供设置框体5的开口部的方向可设为与供设置罩4的开口的方向相同。如图1所示，从阻挡放电灯1照射的紫外线经由罩4的开口及框体5的开口照射至对象物200。

从吹扫气体供给部6供给的吹扫气体G滞留在框体5的内部空间中。若在框体5的内部空间中充满吹扫气体G，则能够抑制从对象物200放出的包含对象物200的成分的气体200a到达阻挡放电灯1(发光管11)。

图5是用于例示比较例的紫外线照射装置300的示意剖面图。

如图5所示，在紫外线照射装置300具有阻挡放电灯1、冷却部2、灯座3、罩4、框体5、及吹扫气体供给部306。

吹扫气体供给部306例如经由流量调整阀306a向框体5的内部空间供给吹扫气体G。供给至框体5的内部空间的吹扫气体G滞留在框体5的内部空间中，并且一部分从框体5的开口排出至外部。

若吹扫气体G滞留在框体5的内部空间中，则如图5所示，在阻挡放电灯1(发光管11)与对象物200之间形成吹扫气体G的层306b。若形成有吹扫气体G的层306b，则能够抑制从对象物200放出的气体200a到达阻挡放电灯1(发光管11)。因此，能够抑制对象物200的成分附着于阻挡放电灯1(发光管11)的表面而导致阻挡放电灯1的管轴方向上的均匀度下降。

但是，在处理时间长或处理数多的情况下，气体200a有时会随时间的推移而到达阻挡放电灯1(发光管11)。另外，在气体200a的放出量多的情况下，气体200a也有时会到达阻挡放电灯1(发光管11)。当气体200a到达阻挡放电灯1(发光管11)时，有时对象物200的成分附着于阻挡放电灯1(发光管11)的表面而导致阻挡放电灯1的管轴方向上的均匀度下降。若均匀度下降，则容易产生处理不均，因此实施了处理的对象物200的品质有可能下降。

因此，在本实施方式的紫外线照射装置100设有吹扫气体供给部6。如图1所示，吹扫气体供给部6例如具有气体供给源6a、开闭阀6b、流量调整部6c、及气流形成部6d。气体供给源6a、开闭阀6b、及流量调整部6c可设在框体5的外部。气流形成部6d可设在框体5的内部空间中。

气体供给源6a将吹扫气体G供给至气流形成部6d。气体供给源6a例如可设为收纳有吹扫气体G的高压储气瓶或工厂配管等。

吹扫气体G只要是不易与对象物200及阻挡放电灯1的部件进行反应的气体，则并无特别限定。吹扫气体G例如可设为氮气、氩或氦等稀有气体。此时，若将吹扫气体G设为比重比空气小的气体(例如氦)，则容易使吹扫气体G滞留在框体5的内部空间中。另外，若将吹扫气体G设为比稀有气体价格便宜的氮气，则能够实现运营成本的降低。

开闭阀6b可经由配管等连接于气体供给源6a与气流形成部6d之间。开闭阀6b对吹扫气体G的供给与供给的停止进行控制。开闭阀6b例如可设为二通阀。

流量调整部6c可经由配管等连接于开闭阀6b与气流形成部6d之间。流量调整部6c对吹扫气体G的流量进行调整。流量调整部6c例如可设为流量调整阀或压力调整阀。而且，流量调整部6c也可还具有开闭阀6b的功能。

气流形成部6d例如可经由配管等与流量调整部6c连接。

图6是用于例示气流形成部6d的示意立体图。

如图1以及图6所示，在与阻挡放电灯1(发光管11)的管轴方向正交的方向(X方向)上，气流形成部6d可与阻挡放电灯1排列设置。气流形成部6d可以与阻挡放电灯1(发光管11)成为平行的方式设置。在阻挡放电灯1(发光管11)的管轴方向(Y方向)上，气流形成部6d的长度可设为与阻挡放电灯1的长度为相同程度。

如图6所示，在气流形成部6d可设置吹扫气体G的吹出口6d1。吹出口6d1例如可设为沿着阻挡放电灯1(发光管11)的管轴方向(Y方向)延伸的狭缝。另外，也可将沿阻挡放电灯1(发光管11)的管轴方向(Y方向)排列的多个孔设为吹出口6d1。

如图1以及图6所示，供给至气流形成部6d的吹扫气体G从吹出口6d1吹出。从吹出口6d1吹出的吹扫气体G供给至发光管11的对象物200侧的端部附近。即，气流形成部6d在框体5的内部使吹扫气体G朝向阻挡放电灯1(发光管11)流动。此时，如图1所示，气流形成部6d形成在发光管11中与框体5的开口相向一侧(与对象物200相向的一侧)的端部附近流动的吹扫气体G的流动。吹扫气体G沿着框体5的开口从与发光管11延伸的方向正交的方向(X方向)上的、发光管11的其中一侧向另一侧流动。若可形成此种吹扫气体G的流动，则可使从对象物200朝向阻挡放电灯1(发光管11)的气体200a随着吹扫气体G的流动而远离阻挡放电灯1(发光管11)。

从吹出口6d1吹出的吹扫气体G的流速或流量只要是气体200a远离阻挡放电灯1(发光管11)的流速或流量，则并无特别限定。此时，若加快吹扫气体G的流速，或增加吹扫气体G的流量，则气体200a难以到达阻挡放电灯1(发光管11)。另一方面，若加快吹扫气体G的流速，或增加吹扫气体G的流量，则运营成本会变高。因此，吹扫气体G的流速或流量可根据气体200a的放出量、阻挡放电灯1(发光管11)与对象物200之间的距离等适当变更。吹扫气体G的流速或流量可通过进行实验或模拟等适当决定。

若设有气流形成部6d，则能够有效地抑制对象物200的成分附着于阻挡放电灯1(发光管11)的表面。因此，能够抑制阻挡放电灯1的管轴方向上的均匀度下降，进而能够抑制产生处理不均。

图7是用于例示另一实施方式的气流形成部6da的示意立体图。

气流形成部6da例如可设为送风风机。此时，如图7所示，可将多个气流形成部6da沿阻挡放电灯1(发光管11)的管轴方向(Y方向)排列设置。多个气流形成部6da的列可设为与阻挡放电灯1(发光管11)成为平行。另外，气流形成部6da的数量并不限定于所例示的数量，例如，可根据阻挡放电灯1(发光管11)的管轴方向上的长度适当变更。另外，气流形成部6da也可设为横流风机(线流风机(line flow fan)(注册商标))。在将气流形成部6da设为横流风机的情况下，例如可设置一个沿阻挡放电灯1(发光管11)的管轴方向(Y方向)延伸的气流形成部6da。

而且，气流形成部6da将滞留在框体5的内部空间中的吹扫气体G供给至发光管11的对象物200侧的端部附近。因此，所述流量调整部6c与框体5的内部空间连接。流量调整部6c向框体5的内部空间供给吹扫气体G，以至少在气流形成部6da的周边存在吹扫气体G。

在设置气流形成部6da的情况下，也可在发光管11的对象物200侧的端部附近形成吹扫气体G的流动。若形成吹扫气体G的流动，则可使从对象物200朝向阻挡放电灯1(发光管11)的气体200a随着吹扫气体G的流动而远离阻挡放电灯1(发光管11)。即，若设置气流形成部6da，则能够享有与所述气流形成部6d同样的效果。

[表1]

[表2]

表1是用于例示图5所示的比较例的紫外线照射装置300的效果的表。另外，表1是用于例示未设置气流形成部6d(6da)时的效果的表。

表2是用于例示设有气流形成部6d(6da)时的效果的表。另外，表1以及表2中的“0mm”表示阻挡放电灯1(发光管11)的管轴方向(Y方向)上的中心位置。而且，“300mm”、“600mm”、“700mm”、“-300mm”、“-600mm”、“-700mm”表示距中心位置的距离。

图8是用于例示均匀度的随时间的变化的图表。

从表1以及表2可知，若设有气流形成部6d(6da)，则能够减小阻挡放电灯1(发光管11)的管轴方向(Y方向)上的照度的偏差。即，能够实现均匀度的提高。

而且，从图8可知，若设有气流形成部6d(6da)，则能够抑制均匀度随时间的推移而下降。

而且，由于吹扫气体G直接供给至阻挡放电灯1(发光管11)的附近，因此能够有效果地抑制外部气体(空气)与阻挡放电灯1(发光管11)接触。例如，当在内部电极12与电极体16a之间产生阻挡放电时，若在电极体16a与冷却部2之间的间隙或电极体16a与发光管11之间的间隙中存在环境中的空气，则有时会产生硝化氢气体。而且，在电极体16a的表面，环境中的水分有时会结露。若硝化氢气体溶入至结露的水分中，则会生成硝酸。当硝酸接触至发光管11的外表面时，紫外线的透射性将下降。若每当使阻挡放电灯1点亮时反复产生此种化学反应，则紫外线的导出效率有可能会随时间的推移而下降。

若设有气流形成部6d(6da)，则吹扫气体G直接供给至阻挡放电灯1(发光管11)的附近，因此能够有效果地抑制硝化氢气体的生成或水分的结露。因此，能够有效果地抑制紫外线的取出效率随时间的推移而下降。

而且，若设有罩4，则能够使供给至阻挡放电灯1(发光管11)的附近的吹扫气体G滞留，因此，能够进一步抑制硝化氢气体的生成或水分的结露。因此，能够进一步抑制紫外线的取出效率随时间的推移而下降。

以上，例示了本实用新型的若干实施方式，但这些实施方式是作为示例而提示，并不意图限定实用新型的范围。这些新颖的实施方式能够以其他的各种形态来实施，在不脱离实用新型主旨的范围内可进行各种省略、置换、变更等。这些实施方式或其变形例包含在实用新型的范围或主旨内，并且包含在权利要求所记载的实用新型及其均等的范围内。而且，前述的各实施方式能够相互组合而实施。

Claims (3)

1.一种紫外线照射装置，其特征在于，包括：

框体，呈箱状，其中一个端部开口；

阻挡放电灯，设在所述框体的内部，照射紫外线；

气流形成部，在所述框体的内部使吹扫气体朝向所述阻挡放电灯流动，

所述阻挡放电灯具有：

发光管，沿一方向延伸，呈管状，在内部封入有气体；

内部电极，设在所述发光管的内部；以及

外部电极，设在所述发光管的外部，

所述气流形成部形成在所述发光管中与所述框体的开口相向一侧的端部附近流动的所述吹扫气体的流动。

2.根据权利要求1所述的紫外线照射装置，其特征在于，所述吹扫气体滞留在所述框体的内部空间中。

3.根据权利要求1或2所述的紫外线照射装置，其特征在于，所述吹扫气体沿着所述框体的开口从与所述发光管延伸的方向正交的方向上的、所述发光管的其中一侧向另一侧流动。