CN220456352U - 照射装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种可实现放电灯的适当的冷却的照射装置。实施方式的照射装置包括：放电灯，具有呈管状的发光管，并沿一方向延伸；灯罩，在内部具有供所述放电灯设置的空间，其中一个端部开口，在与所述开口的端部交叉的面具有沿所述放电灯延伸的方向排列设置的多个孔；排气部，与所述灯罩的和所述开口的端部相向的面连接，能够对所述灯罩的内部进行排气；以及闸门，能够将所述多个孔的列中位于所述列的端部侧的孔打开/关闭。

Description

照射装置

技术领域

本实用新型的实施方式涉及一种照射装置。

背景技术

有一种包括高压水银灯或金属卤化物灯等放电灯的照射装置。包括放电灯的照射装置例如用于液晶制造工序中的贴合、或印刷用油墨的硬化等。放电灯具有管状的发光管、以及分别设置于发光管的两侧的端部的电极。在高压水银灯的情况下，稀有气体与水银等被封入至发光管的内部。在金属卤化物灯的情况下，稀有气体、水银、金属及卤素等被封入至发光管的内部。

在此种放电灯中，若发光管的温度变得过高，则有时会由于所封入的水银等而导致发光管的黑化加速，从而无法维持照度。另外，若设置于发光管的两侧的端部的密封部的温度变得过高，则有时在密封部的内部，电极的焊接部位会发生氧化，或者密封部发生变形。

近年来，要求放电灯的小型化或照射装置的处理能力的提高等。若实现放电灯的小型化，则发光管或密封部的温度会变高。另外，当为了实现照射装置的处理能力的提高而增加对放电灯施加的电力时，发光管或密封部的温度会变高。

因此，提出了一种使空气在发光管的周围流动来对发光管进行冷却的技术。

然而，放电灯有时会反复进行点亮与熄灭。在使放电灯熄灭时，设置有电极的密封部比发光管的中央区域冷却得更快。因此，封入至发光管的内部的水银的蒸气、或卤化金属的蒸气容易在设置有密封部的发光管的端部附近冷凝。

因此，当在熄灭后进行点亮时，是在水银的蒸气或卤化金属的蒸气在发光管的端部附近冷凝的状态下进行点亮。但是，由于发光管的端部附近的温度比发光管的中央区域的温度低，因此冷凝的水银或卤化金属的温度难以上升至蒸发温度。因此，每次反复进行点亮与熄灭时，位于发光管的内部的水银的蒸气量或卤化金属的蒸气量均会减少，所产生的紫外线的照度有可能经时性地降低。

因此，期望开发一种可实现放电灯的适当的冷却的照射装置。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2017-157458号公报

实用新型内容

[实用新型所要解决的问题]

本实用新型所要解决的问题是提供一种可实现放电灯的适当的冷却的照射装置。

[解决问题的技术手段]

实施方式的照射装置包括：放电灯，具有呈管状的发光管，并沿一方向延伸；灯罩，在内部具有供所述放电灯设置的空间，其中一个端部开口，在与所述开口的端部交叉的面具有沿所述放电灯延伸的方向排列设置的多个孔；排气部，与所述灯罩的和所述开口的端部相向的面连接，能够对所述灯罩的内部进行排气；以及闸门，能够将所述多个孔的列中位于所述列的端部侧的孔打开/关闭。

[实用新型的效果]

通过本实用新型的实施方式，可提供一种能实现放电灯的适当的冷却的照射装置。

附图说明

图1是用于例示本实施方式的照射装置的示意剖面图。

图2是照射装置的示意立体图。

图3是放电灯的示意剖面图。

图4是用于例示灯罩的内部中的空气的流动的示意剖面图。

图5是用于例示由设置于灯罩的孔带来的冷却效果的图表。

图6是用于例示放电灯的点亮时的遮蔽部的位置的示意图。

图7是用于例示放电灯的熄灭时的遮蔽部的位置的示意图。

图8是用于例示设置有闸门时的经时性的效果的图。

[符号的说明]

1：照射装置

2：框体

3：载置部

4：点亮电路

5：排气部

6：紫外线照射部

51：管道

61：放电灯

61a：发光管

61a1：密封部

61b：电极

61b1：线圈

61b2：内部引线

61c：导电箔

61d：外部引线

61e：灯座

61f：导线

62：灯罩

62a：侧面

62a1、62b1：孔

62b：面

63：支架

63a、65b：移动部

64：滤光片

65：闸门

65a：遮蔽部

100：对象物

G：空气

L1、L2、L3：距离

T1、T2：温度

具体实施方式

以下，参照附图来对实施方式进行例示。此外，各附图中，对于相同的构成部件标注相同的符号并适宜省略详细的说明。

图1是用于例示本实施方式的照射装置1的示意剖面图。

图2是照射装置1的示意立体图。

如图1及图2所示，在照射装置1例如设置有框体2、载置部3、点亮电路4、排气部5及紫外线照射部6。

框体2例如呈箱状。框体2例如可设为具有腔室等粒子不会侵入的程度的气密结构。另外，根据照射装置1的用途，也可设为不具有气密结构的框体2。例如，框体2也可具有使用细长构件的骨架结构。在框体2的内部可设置载置部3及紫外线照射部6。

在载置部3上可载置作为处理对象的对象物100。在载置部3也可设置保持对象物100的卡盘等。另外，载置部3也可使对象物100沿水平方向移动。例如，载置部3可为XY工作台或输送机等。

点亮电路4与设置于紫外线照射部6的放电灯61电连接。点亮电路4例如具有将来自交流电源的电力转换为高电压且高频的电力的逆变器。

排气部5与灯罩62的和开口的端部相向的面62b连接。排气部5例如经由管道51等而与灯罩62的孔62b1连接。排气部5例如可设为多叶片式风扇或鼓风机等。排气部5经由孔62b1对灯罩62的内部进行排气，并且经由孔62a1向灯罩62的内部导入空气。此外，关于空气向灯罩62的内部的导入及空气从灯罩62的内部排出的详情，将在后文叙述。

除此之外，可根据处理的内容在照射装置1适宜追加必要的部件。例如，在照射装置1是通过光取向法对液晶显示元件或视场角补偿膜等取向膜实施取向处理的装置的情况下，照射装置1可在紫外线照射部6(放电灯61)与载置部3之间包括偏振器。偏振器例如可设为线栅型的偏振器。

在紫外线照射部6例如设置有放电灯61、灯罩62、支架63、滤光片64、及闸门65。

此外，在图1及图2中，例示出设置一个紫外线照射部6的情况，但也可设置多个紫外线照射部6。在设置多个紫外线照射部6的情况下，可沿与放电灯61的管轴方向(放电灯61延伸的方向)正交的方向排列设置多个紫外线照射部6。另外，也可在一个紫外线照射部6设置多个放电灯61。在设置多个放电灯61的情况下，可在与放电灯61的管轴方向正交的方向上排列设置多个放电灯61。

设置于紫外线照射部6的放电灯61只要能够照射紫外线则并无特别限定。例如，放电灯61可设为照射紫外线的高压水银灯。另外，例如放电灯61也可设为照射紫外线的金属卤化物灯。即，放电灯61例如可设为高亮度放电灯(高强度气体放电灯(High IntensityDischarge Lamp))。

以下，作为一例，对放电灯61是高压水银灯的情况进行说明。

如图1及图2所示，放电灯61设置于灯罩62的内部。放电灯61在灯罩62的内部沿一方向延伸。

图3是放电灯61的示意剖面图。

如图3所示，放电灯61例如具有发光管61a、电极61b、导电箔61c、外部引线61d、灯座61e及导线61f。

发光管61a呈管状，具有全长(管轴方向上的长度)比管径长的形态。发光管61a沿一方向延伸。发光管61a例如可设为圆筒管。发光管61a由具有耐热性与透紫外线性的材料形成。发光管61a的材料例如可设为石英、或钠钙玻璃或硬质玻璃等玻璃。

在发光管61a的管轴方向上的两侧的端部分别设置有密封部61a1。通过设置密封部61a1，可将发光管61a的内部空间气密地密封。密封部61a1例如可使用压封(pinch seal)法或缩封(shrink seal)法而形成。

在发光管61a的内部空间封入有放电介质。放电介质例如可设为稀有气体与水银。稀有气体例如可设为氙气或氩气、或者混合有多种稀有气体而成的混合气体。发光管61a的内部空间的25℃下的气体的压力(封入压力)例如可设为1333Pa以上。发光管61a的内部空间的25℃下的气体的压力(封入压力)可根据气体的标准状态(标准环境温度和压力(Standard Ambient Temperature and Pressure，SATP)：温度25℃，1bar)而求出。水银的封入量例如为1mg～1000mg左右。

此外，在放电灯61为金属卤化物灯的情况下，在放电介质中可还包含卤素、或用于产生紫外线的金属(例如铁、锡、铟、铋、铊、锰中的至少一种)。

另外，在发光管61a的内壁可设置保护膜。保护膜例如是为了抑制水银到达发光管61a的内壁的情况而设置。保护膜例如是包含氧化铝或二氧化硅的膜。

电极61b分别设置于发光管61a的两侧的端部。电极61b例如具有线圈61b1及内部引线61b2。线圈61b1及内部引线61b2可使用线状构件一体地形成。线状构件例如包含钨、或铼-钨合金等。

线圈61b1设置于发光管61a的内部空间中。例如，线圈61b1是将线状构件卷绕成螺旋状而成。

内部引线61b2的其中一个端部在发光管61a的内部空间中与线圈61b1连接。内部引线61b2的另一个端部在密封部61a1的内部与导电箔61c连接。内部引线61b2与导电箔61c例如可通过激光焊接或电阻焊接等而连接。

导电箔61c设置于密封部61a1的内部。针对一个密封部61a1而设置有一个导电箔61c。导电箔61c的平面形状例如为四边形。导电箔61c例如由钼箔形成。

可针对一个导电箔61c设置至少一个外部引线61d。外部引线61d呈线状。外部引线61d的其中一个端部侧在密封部61a1的内部与导电箔61c连接。例如，外部引线61d的其中一个端部侧可激光焊接或电阻焊接于导电箔61c。外部引线61d的另一个端部侧露出至密封部61a1的外部。点亮电路4电连接于外部引线61d。外部引线61d例如由包含钼的线材形成。

灯座61e分别设置于发光管61a的管轴方向上的两侧的端部。灯座61e例如可由绝缘材料形成。灯座61e例如可由块滑石(steatite)、氧化铝等形成。

导线61f可分别设置于发光管61a的两侧的端部。导线61f与从密封部61a1露出的外部引线61d的端部电连接。导线61f经由外部引线61d及导电箔61c而与电极61b电连接。导线61f例如与设置于照射装置1的外部的点亮电路4电连接。

在放电灯61中，电极61b彼此之间产生放电。通过放电产生的电子在发光管61a的内部空间中与被封入的水银原子发生碰撞。当电子与水银原子发生碰撞时，水银原子接受到电子的能量而产生峰值波长为253.7nm左右的紫外线。所产生的紫外线照射至发光管61a的外部。即，放电灯61是长弧型的高亮度紫外线灯的一例。

灯罩62例如设置于框体2的内部。灯罩62呈箱状，载置部3侧的端部开口。灯罩62在内部具有供放电灯61设置的空间。

灯罩62的内壁也可设为供从放电灯61照射的紫外线反射的反射面。例如，在灯罩62的内壁可设置包含反射率高的金属的膜。也可将灯罩62的内壁打磨成光泽面。在从放电灯61的管轴方向观察的情况下，灯罩62的内壁的轮廓也可包含曲线。曲线例如可设为圆的一部分、椭圆的一部分、抛物线等。即，灯罩62也可具有反射器的功能。

从放电灯61照射的紫外线的一部分直接照射至对象物100。另外，在灯罩62具有反射器的功能的情况下，从放电灯61照射并入射至灯罩62的内壁的紫外线朝向对象物100反射。只要灯罩62具有反射器的功能，则可提高紫外线的利用效率。

灯罩62的外观形状例如可设为长方体。在灯罩62的、与开口的端部(载置部3侧的端部)交叉且与放电灯61的管轴方向正交的方向上的两侧的侧面62a，可设置多个孔62a1。多个孔62a1可沿放电灯61的管轴方向排列设置。在与放电灯61的管轴方向正交的方向上，其中一个侧面62a上设置的多个孔62a1可设置于与另一个侧面62a上设置的多个孔62a1相向的位置。设置于其中一个侧面62a的多个孔62a1的数量可设为与设置于另一个侧面62a的多个孔62a1的数量相同。设置于一个侧面62a的多个孔62a1的数量可根据放电灯61的管轴方向上的长度而适宜变更。多个孔62a1的间距尺寸(中心间距离)例如可设为20mm～100mm左右。

孔62a1的形状并无特别限定。孔62a1的形状例如可设为圆、椭圆、长孔、四边形等多边形。

此处，若减小孔62a1的面积，则可加快经由孔62a1而导入的空气的流速。若空气的流速变快，则直接到达放电灯61的空气的量增加，且容易冲走位于放电灯61的周围的温度高的空气。因此，可提高冷却效率。但是，若使孔62a1的面积过小，则流路阻力变大，有时经由孔62a1而导入的空气的流量变得过少。因此，孔62a1的面积例如可设为80mm²～2000mm²左右。在孔62a1为圆的情况下，孔62a1的直径尺寸例如可设为10mm～50mm左右。

在灯罩62的、与载置部3侧的端部相向的顶面62b，可设置沿放电灯61的管轴方向延伸的狭缝状的孔62b1。孔62b1成为与排气部5连接的排气口。灯罩62的内部的空气被来自放电灯61的热加热。温度变高的空气在灯罩62的内部上升，因此容易聚集在灯罩62的顶面62b侧。因此，若作为排气口的孔62b1设置于顶面62b，则容易排出灯罩62的内部的温度高的空气。若温度高的空气被排出，则可效率良好地对放电灯61进行冷却。

另外，若设为沿放电灯61的管轴方向延伸的孔62b1，则容易形成为具有比作为吸气口的多个孔62a1的总面积大的面积的孔62b1。若可增大孔62b1的面积，则流路阻力变小，因此容易经由孔62b1排出灯罩62的内部的空气。

从与灯罩62的顶面62b垂直的方向观察时，孔62b1可设置于与放电灯61重合的位置。在所述情况下，优选为使孔62b1的中心线与放电灯61的管轴重合。这样，可使在放电灯61的周围流动并从孔62b1排出的空气的流动相对于放电灯61的管轴而对称(参照后述的图4)。因此，可抑制放电灯61产生温度不均的情况。

孔62b1可设置至少一个。在图2所例示的灯罩62设置有沿放电灯61的管轴方向延伸的一个孔62b1。在设置一个孔62b1的情况下，可将放电灯61的管轴方向上的孔62b1的长度例如设为与放电灯61的管轴方向上的长度为同等程度。与放电灯61的管轴方向正交的方向上的孔62b1的长度(宽度尺寸)例如可比发光管61a的管径大。这样，容易经由孔62b1排出灯罩62的内部的空气。

此外，也可设置沿放电灯61的管轴方向排列的多个孔62b1。但是，若设置沿放电灯61的管轴方向延伸的一个孔62b1，则与设置多个孔62b1的情况相比，流路阻力变得更小，因此容易排出灯罩62的内部的空气。

图4是用于例示灯罩62的内部的空气G的流动的示意剖面图。

如图4所示，设置于灯罩62的侧面62a的孔62a1的中心与灯罩62的载置部3侧的端部之间的距离L1(mm)比放电灯61的管轴与灯罩62的载置部3侧的端部之间的距离L2(mm)小。这样，容易使经由孔62a1而导入至灯罩62的内部的空气G到达放电灯61的载置部3侧的端部附近。因此，容易对放电灯61的整体进行冷却。

另外，若将设置于灯罩62的侧面62a的孔62a1的位置与设置于灯罩62的顶面62b的孔62b1的位置如所述那样设置，则如图4所示，可使灯罩62的内部的空气G的流动相对于放电灯61的管轴而对称。因此，可抑制放电灯61产生温度不均的情况。

图5是用于例示由设置于灯罩62的孔62a1及孔62b1带来的冷却效果的图表。

从图5可知，若设置有孔62a1及孔62b1，则可效率良好地对放电灯61的整体进行冷却。

另外，从图5可知，放电灯61的中央区域的温度比端部区域的温度高。因此，也可使设置于与放电灯61的中央区域对应的位置的孔62a1的间距尺寸比设置于与放电灯61的端部区域对应的位置的孔62a1的间距尺寸小。这样，可增加到达放电灯61的中央区域的空气的流量，因此可使放电灯61的中央区域的温度降低。

另外，也可使设置于与放电灯61的中央区域对应的位置的孔62a1的面积比设置于与放电灯61的端部区域对应的位置的孔62a1的面积大。这样一来，也可增加到达放电灯61的中央区域的空气的流量。但是，若使孔62a1的面积过大，则经由孔62a1而导入至灯罩62的内部的空气的流速降低，到达放电灯61的中央区域的空气的流量有可能变少。因此，在改变设置于与放电灯61的中央区域对应的位置的孔62a1的面积的情况下，优选为将孔62a1的面积设为所述范围内。

孔62a1的数量、间距尺寸、面积、配置等可通过进行实验或模拟来适宜决定。

如图1及图2所示，支架63可设置一对。一对支架63可分别设置于放电灯61的两侧的端部。支架63例如可保持放电灯61的灯座61e。

另外，支架63也可设置于一对移动部63a。一对移动部63a在放电灯61的管轴方向及与放电灯61的管轴方向正交的方向中的至少任一个方向上，使一对支架63的位置、进而放电灯61的位置变化。一对移动部63a例如可为包括气缸或螺线管等的构件，也可为包括伺服马达等控制马达且能够对移动位置进行控制的构件。另外，一对移动部63a也可为供作业者等对移动位置进行调整的构件。

若设置有移动部63a，则可使放电灯61的光学的设计中心(照射区域的中心位置)变化。例如，若根据对象物100中的处理的偏差使放电灯61的照射区域的中心位置变化，则可减小处理的偏差。

滤光片64呈板状，设置于灯罩62的载置部3侧的端部。滤光片64将灯罩62的开口堵塞。从放电灯61照射的紫外线经由滤光片64而照射至对象物100。

此处，放电灯61的发光光谱宽，因此从放电灯61照射紫外线或可见光等。因此，在照射装置1可设置滤光片64。滤光片64根据照射装置1的用途或处理的种类使规定的波长区域的紫外线照射至对象物100。例如，在进行对象物100的杀菌处理等的情况下，优选为紫外线C段(ultraviolet C，UVC)(波长为100nm～280nm的紫外线)照射至对象物100。

例如，滤光片64可设为使规定的波长区域的紫外线透过，不使规定的波长区域以外的紫外线或可见光透过的带通滤光片。

另外，有时会从对象物100放出包含对象物100的成分的气体。当从对象物100放出的气体侵入至灯罩62的内部时，有时包含对象物100的成分的附着物会附着于放电灯61(发光管61a)的外表面。当附着物附着于放电灯61(发光管61a)的外表面时，放电灯61的管轴方向上的照度有时会产生偏差。另外，当附着物附着于灯罩62的内壁时，在灯罩62的内壁处反射的紫外线的照度有时会产生偏差。当紫外线的照度产生偏差时，实施了处理的对象物100的品质有可能降低。

另外，根据照射装置1的用途或处理的种类，也有时仅需向对象物100照射紫外线即可。

因此，滤光片64例如也可由使紫外线透过的材料形成。例如，滤光片64可由石英、或玻璃等形成。玻璃例如可设为包含氧化钠的钠钙玻璃或硬质玻璃等。若设置此种滤光片64，则可将从放电灯61照射的宽波段的紫外线照射至对象物100。

另外，无论滤光片64是带通滤光片，抑或滤光片64是使宽波段的紫外线透过的滤光片，均可抑制从对象物100放出的气体侵入至灯罩62的内部的情况。

另外，无论滤光片64是带通滤光片，抑或滤光片64是使宽波段的紫外线透过的滤光片，均可抑制因放电灯61的点亮而产生的热传递至对象物100的情况。因此，可抑制对象物100被加热而放出包含对象物100的成分的气体的情况。

如图5中所说明的那样，若在灯罩62设置有孔62a1及孔62b1，则可抑制放电灯61(发光管61a)的温度变得过高的情况。因此，可抑制由于封入至发光管61a中的水银等而导致发光管61a的黑化加速，从而无法维持照度的情况。另外，可抑制密封部61a1的温度变得过高，在密封部61a1的内部，电极61b的焊接部位发生氧化，或者密封部61a1发生变形的情况。

此处，放电灯61有时反复进行点亮与熄灭。从图5可知，放电灯61的端部区域的温度比中央区域的温度低。因此，在使放电灯61熄灭时，发光管61a的端部区域比发光管61a的中央区域冷却得更快。由于在发光管61a的内部封入有水银的蒸气或卤化金属的蒸气，因此在冷却得快的发光管61a的端部区域，这些蒸气容易冷凝。因此，当在熄灭后进行点亮时，是在水银的蒸气或卤化金属的蒸气在发光管61a的端部附近冷凝的状态下进行点亮。但是，由于发光管61a的端部附近的温度比发光管61a的中央区域低，因此冷凝的水银或卤化金属的温度难以上升至蒸发温度。因此，每当反复进行点亮与熄灭时，位于发光管61a的内部的水银的蒸气量、或卤化金属的蒸气量减少，所产生的紫外线的照度有可能经时性地降低。

此外，由于卤化金属的蒸发温度比水银的蒸发温度高，因此当在发光管61a的内部封入有卤化金属的蒸气时，所产生的紫外线的照度有可能会提前减少。

另外，当冷凝的水银或卤化金属进入密封部61a1与内部引线61b2之间的间隙时，进一步难以使它们蒸发。

因此，在照射装置1设置有闸门65。

如图2所示，闸门65设置于灯罩62的侧面62a。闸门65将设置于灯罩62的侧面62a的多个孔62a1的一部分打开/关闭。例如，闸门65将沿放电灯61的管轴方向排列设置的多个孔62a1的列中位于列的端部侧的孔62a1打开/关闭。

即，在放电灯61熄灭时，闸门65将位于列的端部侧的孔62a1关闭。在放电灯61点亮时，闸门65将位于列的端部侧的孔62a1打开。

闸门65例如具有遮蔽部65a及移动部65b。

遮蔽部65a呈板状，可由金属等具有耐热性的材料形成。

移动部65b例如可设置于灯罩62的侧面62a。移动部65b使遮蔽部65a沿着灯罩62的侧面62a移动。例如，移动部65b使遮蔽部65a沿多个孔62a1排列的方向、及与多个孔62a1排列的方向正交的方向中的至少任一个方向移动。另外，移动部65b也可使遮蔽部65a回旋或旋转。移动部65b例如可为包括气缸或螺线管等的构件，也可为包括伺服马达等控制马达，能够对移动位置进行控制的构件。

图6是用于例示放电灯61的点亮时的遮蔽部65a的位置的示意图。

在放电灯61的点亮时，如图6所示，移动部65b使遮蔽部65a向远离多个孔62a1的方向移动，从而使所有的孔62a1开口。若所有的孔62a1开口，则空气从所有的孔62a1导入至灯罩62的内部。因此，可通过所导入的空气效率良好地对放电灯61的整体进行冷却。

图7是用于例示放电灯61的熄灭时的遮蔽部65a的位置的示意图。

在放电灯61的熄灭时，如图7所示，移动部65b使遮蔽部65a向接近多个孔62a1的方向移动，从而将位于多个孔62a1的列的端部侧的孔62a1关闭。此外，孔62a1也可不一定以成为气密的方式关闭。另外，可将一个孔62a1的整体关闭，也可将一个孔62a1的一部分关闭。即，只要将一个孔62a1的至少一部分关闭即可。

在所述情况下，可通过遮蔽部65a使设置于与发光管61a的端部附近对应的位置的孔62a1关闭。例如，可使位于从发光管61a与密封部61a1的连接位置至发光管61a的中央侧的距离L3(mm)的范围内的孔62a1被遮蔽部65a关闭。例如，距离L3(mm)可设为0mm～100mm左右。

另外，如上所述，放电灯61的位置有时会通过移动部63a而变化。在放电灯61的位置发生了变化的情况下，闸门65可根据变化后的放电灯61的位置来使关闭孔62a1的位置变化。例如，闸门65可改变通过遮蔽部65a关闭的孔62a1的数量或范围。例如，如上所述，若移动部65b包括伺服马达等控制马达，则通过改变遮蔽部65a的移动位置，可改变通过遮蔽部65a关闭的孔62a1的数量或范围。

当设置于与发光管61a的端部附近对应的位置的孔62a1被遮蔽部65a关闭时，空气难以到达发光管61a的端部附近。因此，发光管61a的端部附近的温度难以降低。若发光管61a的端部附近的温度难以降低，则在发光管61a的端部附近，水银的蒸气或卤化金属的蒸气难以冷凝。

另外，当设置于与发光管61a的端部附近对应的位置的孔62a1被关闭时，经由未关闭的孔62a1而导入至灯罩62的内部的空气的流速变快。因此，由于所导入的空气容易到达放电灯61(发光管61a)的中央区域，因此在发光管61a的中央区域侧，水银的蒸气或卤化金属的蒸气容易冷凝。

当使放电灯61点亮时，如图5中所例示的那样，发光管61a的中央区域的温度比发光管61a的端部附近的温度高，因此容易使在发光管61a的中央区域侧冷凝的水银或卤化金属蒸发。

另外，若在发光管61a的中央区域侧使水银的蒸气或卤化金属的蒸气冷凝，则可抑制冷凝的水银或卤化金属进入密封部61a1与内部引线61b2之间的间隙而变得难以蒸发的情况。

因此，即便反复进行点亮与熄灭，也可抑制位于发光管61a的内部的水银的蒸气量或卤化金属的蒸气量减少的情况。若水银的蒸气量或卤化金属的蒸气量稳定，则可抑制所产生的紫外线的照度经时性地降低的情况。

表1是用于例示放电灯61的熄灭时的闸门65的效果的表。

图8是用于例示设置有闸门65时的经时性的效果的图。

[表1]

如上所述，若未设置闸门65，则也从设置于与发光管61a的端部附近对应的位置的孔62a1导入空气。因此，空气也到达发光管61a的端部附近，因此发光管61a的端部附近的温度T2降低。然而，如上所述，发光管61a的中央区域的温度T1高。

因此，如表1所示，发光管61a的中央区域的温度T1与发光管61a的端部附近的温度T2之差变大。

由于发光管61a的端部附近的温度T2低且温度差大，因此水银的蒸气或卤化金属的蒸气容易在发光管61a的端部附近冷凝。并且，由于发光管61a的端部附近的温度T2低，因此冷凝的卤化金属等难以蒸发，或者冷凝的卤化金属等进入密封部61a1与内部引线61b2之间的间隙而进一步难以蒸发。

其结果，如图8所示，每当反复进行点亮与熄灭时，位于发光管61a的内部的水银的蒸气量或卤化金属的蒸气量减少，所产生的紫外线的照度经时性地降低。

相对于此，若设置有闸门65，则可通过遮蔽部65a将设置于与发光管61a的端部附近的位置处的孔62a1关闭，因此，如表1所示，可提高发光管61a的端部附近的温度T2。另外，如上所述，通过设置于与发光管61a的端部附近对应的位置的孔62a1被关闭，可加快从设置于与发光管61a的中央区域对应的位置的孔62a1导入的空气的流速。因此，可降低发光管61a的中央区域的温度T1。另外，可减小发光管61a的中央区域的温度T1与发光管61a的端部附近的温度T2之差。

例如，从表1可知，在放电灯61熄灭时，闸门65将位于列的端部侧的孔62a1关闭，由此可使发光管61a的中央区域的温度T1与发光管61a的端部附近的温度T2之差成为50℃以下。

由于发光管61a的端部附近的温度T2高且温度差小，因此水银的蒸气或卤化金属的蒸气在发光管61a的端部附近难以冷凝。因此，可抑制冷凝的卤化金属等进入密封部61a1与内部引线61b2之间的间隙而变得难以蒸发的情况。另外，由于发光管61a的端部附近的温度T2高，因此冷凝的卤化金属等容易蒸发。

因此，即便反复进行点亮与熄灭，也可抑制位于发光管61a的内部的水银的蒸气量或卤化金属的蒸气量减少的情况。

其结果，水银的蒸气量或卤化金属的蒸气量稳定，因此如图8所示，可抑制所产生的紫外线的照度经时性地降低的情况。

以上，例示了本实用新型的若干实施方式，但这些实施方式是作为示例而提示，并不意图限定实用新型的范围。这些新颖的实施方式能够以其他的各种方式来实施，在不脱离实用新型主旨的范围内可进行各种省略、置换、变更等。这些实施方式或其变形例包含在实用新型的范围或主旨内，并且包含在权利要求所记载的实用新型及其均等的范围内。而且，前述的各实施方式能够相互组合而实施。

Claims (4)

1.一种照射装置，其特征在于，包括：

放电灯，具有呈管状的发光管，并沿一方向延伸；

灯罩，在内部具有供所述放电灯设置的空间，其中一个端部开口，在与所述开口的端部交叉的面具有沿所述放电灯延伸的方向排列设置的多个孔；

排气部，与所述灯罩的和所述开口的端部相向的面连接，能够对所述灯罩的内部进行排气；以及

闸门，能够将所述多个孔的列中位于所述列的端部侧的孔打开/关闭。

2.根据权利要求1所述的照射装置，其特征在于，

所述闸门在所述放电灯熄灭时，将位于所述列的端部侧的所述孔关闭，

在所述放电灯点亮时，将位于所述列的端部侧的所述孔打开。

3.根据权利要求2所述的照射装置，其特征在于，所述放电灯反复进行点亮与熄灭，

在所述放电灯熄灭时，所述闸门将位于所述列的端部侧的所述孔关闭，由此所述发光管的中央区域的温度与所述发光管的端部附近的温度之差成为50℃以下。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的照射装置，其特征在于，还包括移动部，所述移动部在所述放电灯延伸的方向、及与所述放电灯延伸的方向正交的方向中的至少任一个方向上使所述放电灯的位置变化，

在所述放电灯的位置通过所述移动部发生了变化的情况下，

所述闸门根据变化后的所述放电灯的位置使关闭所述孔的位置变化。