JP2021118066A - エキシマランプ、光照射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 設置作業や交換作業が簡便なエキシマランプを提供することを目的とする。【解決手段】 第一方向に延伸し、前記第一方向とは異なる第二方向において対向する第一外壁面と第二外壁面とを有し、内側に発光ガスが封入された発光管と、前記第一外壁面と前記第二外壁面に設けられた一対の電極と、前記第一外壁面の前記第一方向に係る各端部側に配置され、それぞれ異なる前記電極に接続された一対の通電部と、それぞれ異なる前記通電部に接続され、前記第二外壁面とは反対側に向かって前記第二方向に延伸するように配置された一対の給電ピンと、前記第二方向に沿って貫通孔が形成され、内側に前記給電ピンが挿通される給電ピン支持部を有し、前記発光管と前記給電ピンとを固定する一対のベースとを備える。【選択図】 図２Ａ

Description

本発明は、エキシマランプ、及びエキシマランプを備えた光照射装置に関する。

従来、半導体や液晶パネルの製造や、空気清浄用のオゾンの生成に、紫外光が用いられており、紫外光を出射する光源として、例えば、下記特許文献１に記載されているようなエキシマランプが利用されている。

特開２００３−３１７６６５号公報

そこで、本発明者は、エキシマランプの構成を検討していたところ、以下のような課題が存在することを見出した。以下、図を参照しながら説明する。

エキシマランプは、発光管の発光空間内に封入される発光ガスによって出射される紫外光の主たる発光波長が決定される放電ランプである。エキシマランプの発光ガスと出射される主たる発光波長との代表的な組み合わせとしては、Ａｒ（１２６ｎｍ）、Ｋｒ（１４６ｎｍ）、Ｘｅ（１７２ｎｍ）、ＫｒＣｌ（２２２ｎ）、ＸｅＣｌ（３０８ｎｍ）等がある。

図８は、従来のエキシマランプ１００の電極１０２と給電線１０３との接続部周辺の構成を模式的に示す図面である。図８に示すように、従来のエキシマランプ１００は、発光ガスが封入された発光管１０１と、発光管１０１の外表面に一対の電極１０２とを備え、電極１０２に、はんだ付けによって接続された一対の給電線１０３を通して電源装置等から電力が供給されることで発光する。

したがって、給電線１０３を備えるエキシマランプ１００は、設置作業や交換作業において、エキシマランプ１００を所定の位置に固定する作業と共に、さらに、給電線１０３を電源端子等に接続させる作業を要していた。

また、給電線１０３は、エキシマランプ１００を所定の位置に固定する際に、装着位置の周辺に存在する角や出っ張り等が存在していると、その部分に引っ掛ってしまうことがあり、無理矢理装着したり、引っ掛かりを外そうと引っ張ったりすると、電極１０２から外れてしまうことや、発光管１０１から電極１０２ごと剥がれてしまうことがあった。つまり、給電線１０３を備えるエキシマランプ１００は、給電線１０３が設置作業や交換作業の邪魔となり、作業が煩雑になるという問題があった。

本発明は、上記課題に鑑み、設置作業や交換作業が簡便なエキシマランプを提供することを目的とする。

本発明のエキシマランプは、
第一方向に延伸し、前記第一方向とは異なる第二方向において対向する第一外壁面と第二外壁面とを有し、内側に発光ガスが封入された発光管と、
前記第一外壁面と前記第二外壁面に設けられた一対の電極と、
前記第一外壁面の前記第一方向に係る各端部側に配置され、それぞれが異なる前記電極に接続された一対の通電部と、
それぞれが異なる前記通電部に接続され、前記第二外壁面とは反対側に向かって前記第二方向に延伸するように配置された一対の給電ピンと、
前記第二方向に沿って貫通孔が形成され、内側に前記給電ピンが挿通される給電ピン支持部を有し、前記発光管と前記給電ピンとを固定する一対のベースとを備えることを特徴とする。

対向する二つの外壁面に設けられた一対の電極は、片方の外壁面である第一外壁面の第一方向に係る端部側に形成された通電部に対して、金属膜や金属板等で接続される。なお、電極、通電部、及び電極と通電部とを接続する部材は、全てスクリーン印刷によって一体構成された金属膜や、一枚の金属板によって形成されていてもよく、それぞれ異なる部材で形成されていても構わない。

第一外壁面に形成され、異なる電極に接続されている各通電部には、それぞれ第二方向に延伸する給電ピンが接続されている。つまり、電源と接続される給電ピン及び給電ピンを支持するベースの給電ピン支持部は、同一方向に向かって突出するように配置されている。

上記構成とすることで、エキシマランプは、給電ピン、又はベースの給電ピン支持部を、光照射装置のソケット等に差し込むように装着することができるため、設置作業や交換作業において給電線を着脱する必要がなくなる。また、給電線を備えないため、装着位置の周辺に存在する角や出っ張り等に給電線が引っ掛ることがないため、設置作業や交換作業が簡便となる。

また、電極がスクリーン印刷等で形成された金属膜であった場合、はんだ付けによって電極と給電線とを接続すると、はんだが金属膜に含まれる金属（例えば、金（Ａｕ）等）を吸収してしまい、電極が発光管の表面から剥がれてしまう場合や、冷え固まる際のはんだの収縮等の負荷によって、発光管にクラックが発生してしまう場合がある。

しかしながら、上記構成とすることで、電極に対してはんだ付けされないため、電極を構成する金属がはんだに吸収されず、電極が発光管の表面から剥がれてしまうおそれが少なくなる。

さらに、上述したように、エキシマランプは、波長の短い紫外光を出射するランプであり、出射した紫外線が空気中の酸素と反応して周囲にオゾンを発生させる。オゾンは、強い酸化力を有するため、給電線の外部被覆を急速に劣化させてしまう。しかしながら、上記構成のエキシマランプは、給電線を用いないため、オゾンによる給電線の劣化を気にする必要がなくなる。

さらに、第一外壁面に配置された通電部に給電ピンが接続され、第二外壁面とは反対側に向かって第二方向に延伸する、すなわち、給電ピンが第一外壁面側に形成されていることで、必然的に第一外壁面が所定の方向に面するように配置されることになる。したがって、作業者がエキシマランプを設置する際に、照射対象物側にいずれの面を配置して設置するかを気にする必要が無くなり、設置ミスを無くすことができる。

上記エキシマランプにおいて、
前記通電部と前記給電ピンは、導電性部材を介して接続されていても構わない。

さらに、上記エキシマランプにおいて、
前記導電性部材は、弾性を有するものであっても構わない。

上記構成とすることで、エキシマランプが光照射装置のソケット等に差し込まれると、通電部と給電ピンとが、押圧されるように接触する。したがって、給電ピンが第二方向に係る変動が抑制され、通電部と給電ピンとの間の接続状態が維持されることで、エキシマランプの点灯が安定する。

なお、ここでの導電性部材を介して接続されているとは、通電部と導電性部材、導電性部材と給電ピンが、それぞれ接触しているだけの構成をも含む。

上記エキシマランプにおいて
前記一対のベースの前記給電ピン支持部は、前記第二方向から見たときに、それぞれの形状、又は大きさの少なくとも一方が異なっていても構わない。

上記構成とすることで、ベースの給電ピン支持体の形状とソケットの形状の組み合わせが間違っている場合、ベースをソケットに装着できなくなるため、給電ピンの高電圧と低電圧の接続間違いを防止することができる。

さらに、上述のように、給電ピンは第二外壁面とは反対側に向かって前記第二方向に延伸するように形成されるため、照射対象物側に配置する面を間違えてしまうことも防止することができ、確実に照射対象物側に低電圧が印加される電極を配置することができる。

上記エキシマランプにおいて、
少なくとも一方の前記ベースの前記給電ピン支持部は、前記発光管の端部側の外表面において、前記第一方向に直交する平坦面が形成されていても構わない。

上記構成とすることで、エキシマランプを光照射装置のソケット等に差し込む際に、平坦面をソケットの内壁面にあてがいながらに滑り込ませるように装着することができる。したがって、エキシマランプの設置作業や交換作業がより簡便となる。

上記エキシマランプにおいて、
前記ベースの前記給電ピン支持部は、前記第一外壁面と平行な平面で切断したときの断面積が、前記第一外壁面から離れるにつれて小さくなるように、テーパ部が形成されていても構わない。

上記構成とすることで、ベースを光照射装置のソケットに装着する際に、ベースの装着位置が、ソケットに対してずれていた場合や、装着方向に対して傾斜した方向から装着しようとした場合であっても、ベースがソケットに対して滑らかに装着される。

上記エキシマランプは、
前記発光管から出射される光の主たる発光波長が１７２ｎｍであっても構わない。

本発明の光照射装置は、
上記エキシマランプと、
前記ベースが嵌合されるソケットとを備え、
前記ソケットの内側には、前記給電ピンと接続される電源ピンが設けられていることを特徴とする。

上記光照射装置は、上述したエキシマランプが嵌合するように装着されるソケットが構成されており、ソケット内部に給電ピンと接続されて電力を供給する電源ピンが構成されている。上記構成によって、上述したエキシマランプは、ベースをソケットに押し込むだけで、給電線の接続作業を要することなく、給電ピンと電源ピンとの電気的な接続が形成される。したがって、ベースをソケットに抜き差しするだけで、エキシマランプを機械的に着脱することができ、エキシマランプを設置する作業や、交換する作業が簡便な光照射装置を構成することができる。

上記光照射装置において、
少なくとも一方の前記ソケットは、前記第一方向に関し、移動可能に構成されていても構わない。

エキシマランプの発光管は、第一方向に関して、成形の精度や温度変化による膨張収縮によって長さにバラつきが生じる。そのため、エキシマランプの一対のベースの第一方向に係る離間距離にもバラつきが生じ得る。また、発光管の長さを一律に製造できた場合であっても、給電ピンの第一方向に係る離間距離がバラついてしまう可能性がある。

上記構成とすることで、第一方向に関して、光照射装置のソケットの離間距離が変化するため、発光管の第一方向に係る長さ、又はベースの第一方向に係る離間距離のバラつきに関係なくエキシマランプを光照射装置に装着することができる。また、照射対象物の大きさに応じて、エキシマランプの第一方向に係る長さを変更することもできる。

上記光照射装置は、
前記ベースの前記給電ピン支持部の外表面は、内側に向かって凹むように凹部が形成されており、
前記ソケットは、前記凹部と係合させて前記ベースを保持する保持機構が設けられていても構わない。

上記構成とすることで、エキシマランプのベースが光照射装置のソケットに対して、給電ピン支持体の凹部に保持機構が係合されるまで押し込まれると、保持機構によって保持され、エキシマランプがソケットから抜け落ちなくなる。したがって、エキシマランプの着脱作業が簡便な光照射装置が構成される。

本発明によれば、設置作業や交換作業が簡便なエキシマランプが実現される。

光照射装置の一実施形態の模式的な図面である。 エキシマランプの一実施形態をＸ方向に見たときの模式的な図面である。 図２Ａのエキシマランプから給電ピンと給電ピン支持体を取り外した状態を示す図面である。 図２ＡのエキシマランプをＹ方向に見たときの断面図である。 図２ＡのエキシマランプをＺ方向に見たときの断面図である。 図２Ｃのエキシマランプの−Ｚ側のベース周辺の拡大図である。 導電性部材の構成を示す図面である。 エキシマランプを装着している最中の、＋Ｚ側のソケットの拡大断面図である。 エキシマランプを装着している最中の、−Ｚ側のソケットの拡大断面図である。 エキシマランプを装着した後の、−Ｚ側のソケットの拡大断面図である。 エキシマランプの別実施形態を方向から見たときの模式的な図面である。 従来のエキシマランプの電極と給電線との接続部周辺の構成を模式的に示す図面である。

以下、本発明のエキシマランプ及び光照射装置について、図面を参照して説明する。なお、以下の各図面は、いずれも模式的に図示されたものであり、図面上の寸法比や個数は、実際の寸法比や個数と必ずしも一致していない。

最初に、エキシマランプ２が装着される光照射装置１の構成について説明する。図１は、光照射装置１の一実施形態の模式的な図面である。図１に示すように、光照射装置１は、エキシマランプ２と、エキシマランプ２が装着されるソケット３と、照射対象物Ｗ１を搬送するための搬送機構４とを備える。

エキシマランプ２は、照射対象物Ｗ１に向かって紫外光を照射するように、一対のベース１４（図２Ｃを参照）が一対のソケット３に差し込まれて設置されている。

半導体や液晶パネルの製造工程には、主に発光波長が１７２ｎｍの紫外光を出射するエキシマランプ２が用いられる。そこで、本実施形態においては、主たる発光波長が１７２ｎｍの紫外光を出射するエキシマランプ２として説明する。

ソケット３は、内側にエキシマランプ２の給電ピン１３に接続されて電力を供給する電源ピン３ａと、さらに、エキシマランプ２のベース１４を保持する保持機構３ｂが備えられている。なお、ソケット３とベース１４の構成の詳細については、エキシマランプ２の装着に関する説明において、図６Ａ及び図６Ｂを参照しながら説明する。

搬送機構４は、照射対象物Ｗ１をエキシマランプ２の近傍で所定の方向に搬送する機構であって、例えば、ローラやコンベア等である。

１７２ｎｍの紫外光は、空気中の酸素に吸収されやすい性質を有するため、光強度が大幅に低下してしまう前に照射対象物Ｗ１に到達するように、エキシマランプ２と照射対象物Ｗ１とができる限り接近するように構成されている。

なお、１７２ｎｍの紫外光に限られず、他の波長帯に光においても、少なからず空気中の酸素に吸収されてしまうため、光強度が低下しないように、エキシマランプ２と照射対象物Ｗ１とは、できる限り接近するように構成されることが好ましい。

次に、エキシマランプ２の構成の詳細について説明する。図２Ａは、エキシマランプ２の一実施形態をＸ方向に見たときの模式的な図面であり、図２Ｂは、図２Ａのエキシマランプ２から給電ピン１３とベース１４を取り外した状態を示す図面であり、図２Ｃは、図２Ａのエキシマランプ２をＹ方向に見たときの断面図である。

図２Ａ〜図２Ｃに示すように、エキシマランプ２は、長尺状の発光管１０と、発光管１０の対向する外壁面に設けられた一対の電極１１と、それぞれが異なる電極１１に接続された一対の通電部１２と、それぞれが異なる通電部１２に接続された一対の給電ピン１３と、一対のベース１４とを備える。

以下説明においては、発光管１０の管軸方向をＺ方向（第一方向）とし、電極１１が対向する方向をＸ方向（第二方向）とし、Ｘ方向及びＺ方向に直交する方向をＹ方向として説明する。また、本明細書では、方向を表現する際に、正負の向きを区別する場合には、「＋Ｚ方向」、「−Ｚ方向」のように、正負の符号を付して記載され、正負の向きを区別せずに方向を表現する場合には、単に「Ｚ方向」と記載される。

発光管１０は、図２Ｃに示すように、内側に発光ガスＧ１が封入される発光空間１０ｂが設けられており、発光空間１０ｂ内で発生した光が外側に向かって放射される。なお、本実施形態の説明において、＋Ｘ側の外壁面を第一外壁面１０ｐ、−Ｘ側の外壁面を第二外壁面１０ｑと区別して説明する。

発光管１０に封入される発光ガスＧ１は、主たる発光波長が１７２ｎｍの紫外線を出射するように、発光ガスＧ１としてＸｅが封入されている。

図３は、図２Ａのエキシマランプ２をＺ方向に見たときの断面図である。図３に示すように、本実施形態の発光管１０は、ＸＹ平面で切断したときの断面が、矩形状を呈するように形成されており、互いに対向する第一外壁面１０ｐと第二外壁面１０ｑに、一対の電極１１が形成されている。

なお、本実施形態の発光管１０は、ＸＹ平面で切断したときの断面形状が矩形状を呈しているが、対向する一対の外壁面が形成されていれば、六角形や八角形等の他の多角形状であってもよく、対向する外壁面以外の外壁面は、曲面であっても構わない。

電極１１は、図２Ａ及び図２Ｂに示すように、発光管１０の第一外壁面１０ｐに、発光管１０の発光空間１０ｂから放射される光を取り出すため、複数の光取り出し部１１ｈを備えるようにメッシュ状で形成されている。

電極１１に対して、発光に必要な電圧が印加されると、発光空間１０ｂ内で放電が発生し、光取り出し部１１ｈから紫外光Ｌ１が放射される。なお、第二外壁面１０ｑは、図２Ａ及び図２Ｂでは、第一外壁面１０ｐの電極１１によって隠されているが、同じ形状の電極１１が形成されている。

電極１１は、各図面において模式的に厚みを有する板状の部材のように図示されているが、具体的には、金属板、リード線、スクリーン印刷による金属膜等である。電極１１を構成する材料は、例えば、金、銀、ニッケル、銅、アルミニウム等を含む材料を採用し得る。

通電部１２は、図２Ｂに示すように、発光管１０の第一外壁面１０ｐのＺ方向に係る各端部側に配置され、それぞれが異なる電極１１に接続されている。第一外壁面１０ｐに形成されている電極１１に接続される通電部１２は、そのまま第一外壁面１０ｐ上で接続されている。

第二外壁面１０ｑに形成されている電極１１に接続される通電部１２は、発光管１０の管軸を中心とする周方向に沿って第二外壁面１０ｑへと回り込み、電極１１と接続されている。図２Ｂには、第二外壁面１０ｑの通電部１２と対向する位置から電極１１に連絡する経路が破線で示されており、図２Ｃには、発光管１０のＹ方向に対向する外壁面上を、発光管１０の管軸を中心とする周方向に沿って第二外壁面１０ｑへと回り込む配線が破線で示されている。

なお、本実施形態の電極１１と通電部１２は、同じ材料によって一体として形成されているが、それぞれ異なる材料で形成されていても構わない。

給電ピン１３は、図２Ｃに示すように、発光管１０の第一外壁面１０ｐのＺ方向に係る各端部側に配置され、第二外壁面１０ｑとは反対側（＋Ｘ側）に向かって延伸している。一対の給電ピン１３は、それぞれ異なる形状としても構わないが、本実施形態では同一形状とした。

ベース１４は、Ｘ方向に沿って貫通孔が形成され、内側に給電ピン１３を挿通して支持する、給電ピン支持部１４ｈを構成している（図４を参照）。給電ピン支持部１４ｈの外表面には、内側に向かって凹むように形成された凹部１４ａと、ＹＺ平面で切断したときの断面積が、Ｘ方向に向かって第一外壁面１０ｐから離れるにつれて小さくなるようにテーパ部１４ｂが形成されている。なお、図２Ｃに示す＋Ｚ側のベース１４の給電ピン支持部１４ｈのように、テーパ部１４ｂは、断面が平面ではなく曲面となるように形成されていても構わない。

また、＋Ｚ側のベース１４の給電ピン支持部１４ｈは、発光管１０の端部側の外表面において、前記Ｚ方向に直交する平坦面１４ｐが形成されている。

ベース１４の給電ピン支持部１４ｈは、ソケット３との接続間違いを防止するために、図２Ａに示すように、Ｘ方向（第二方向）から見たときに、一方は円形状、他方は矩形状と、異なる形状で形成されている。

なお、ベース１４の給電ピン支持部１４ｈは、それぞれＸ方向から見たときの形状は同一であって、大きさだけを異ならせて形成されていても構わない。ベース１４の給電ピン支持部１４ｈがＸ方向から見たときの形状は同じであっても、大きさが異なることで、装着口が小さいソケット３には、給電ピン支持部１４ｈが大きいベース１４を装着することができないため、接続間違いを防止することができる。

図４は、図２Ｃのエキシマランプ２の−Ｚ側のベース１４周辺の拡大図であり、図５は、導電性部材３０の構成を示す図面である。図４に示すように、給電ピン１３は、導電性部材３０を介して通電部１２と接続されている。導電性部材３０は、図５に示すように、Ｕ字状に折り畳まれた導電板３０ａと、その内側の対向する壁面の間に挟み込まれたバネ３０ｂによって構成されており、Ｘ方向に対して弾性を有するように構成されている。給電ピン１３は、ボルト状に形成された先端部が導電板３０ａに設けられた穴３０ｈに挿通され、ナット３０ｃによって固定されている。

なお、給電ピン１３は、バネ３０ｂを備えず、弾性を有しない導電性部材３０によって通電部１２と連絡されていてもよく、導電性部材３０を備えず、直接通電部１２と接触するように構成されていても構わない。

ここで、光照射装置１のソケット３にエキシマランプ２を装着について説明する。図６Ａは、エキシマランプ２を装着している最中の、＋Ｚ側のソケット３の拡大断面図であり、図６Ｂは、エキシマランプ２を装着している最中の、−Ｚ側のソケット３の拡大断面図であり、図６Ｃは、エキシマランプ２を装着した後の、―Ｚ側のソケット３の拡大断面図である。ソケット３は、図６Ａ〜６Ｃに示すように、内側に給電ピン１３と接続される電源ピン３ａと、給電ピン支持部１４ｈの外表面に形成された凹部１４ａと係合させてベース１４を保持する保持機構３ｂが備えられている。

本実施形態においては、＋Ｚ側のソケット３は、図６Ａに示すように、固定されており、−Ｚ側のソケット３は、エキシマランプ２を装着する際に、ベース１４の位置に合わせて移動できるように、Ｚ方向（エキシマランプ２の管軸方向）に移動可能とするためのローラ３ｃを備えている。なお、＋Ｚ側のソケット３がＺ方向に移動可能であってもよく、両方のソケット３がＺ方向に移動可能、又は固定されていても構わない。

また、保持機構３ｂは、例えば、ボール状の先端で、バネの弾性を利用して対象物を保持するプランジャピン等を採用し得る。

＋Ｚ側のベース１４の給電ピン支持部１４ｈをソケット３に挿入する場合、図６Ａに示すように、ベース１４の給電ピン支持部１４ｈに形成されている平坦面１４ｐがソケット３の内壁面３１に当てがわれる。そのまま、給電ピン支持部１４ｈが、ソケット３の内壁面３１に沿ってＸ方向に押し込まれて、ベース１４がソケット３に装着される。

図６Ｂに示すように、−Ｚ側のベース１４の先端をソケット３に挿入する場合、ベース１４に設けられた給電ピン支持部１４ｈのテーパ部１４ｂがソケット３の一部に接触する。そのまま、給電ピン支持部１４ｈをソケット３に向かって押し込むと、ソケット３が給電ピン支持部１４ｈの外表面に形成されたテーパ部１４ｂに沿って滑りながら、給電ピン１３と電源ピン３ａの位置が合うようにＺ方向に移動する。

そのまま押し込まれて、ソケット３にベース１４が装着されると、給電ピン１３は、電源ピン３ａと嵌合するように接続され、さらに、ソケット３の保持機構３ｂがベース１４の給電ピン支持部１４ｈの外表面に形成された凹部１４ａと係合して、ベース１４を保持する。

このようにして、エキシマランプ２は、光照射装置１に装着され、保持機構３ｂによって保持される。なお、ソケット３からベース１４を引き抜けば、凹部１４ａと保持機構３ｂとの係合が外れ、光照射装置１からエキシマランプ２を外すことができる。

以上の構成することで、エキシマランプ２は、給電線を備えず、給電ピン１３、又はベース１４の給電ピン支持部１４ｈを差し込むだけで装着することができるため、給電線を装着する作業が必要なくなる。また、給電線が装着位置の周辺に存在する角や出っ張り等に引っ掛ることがなくなり、設置作業や交換作業が簡便となる。

また、給電ピン１３が第一外壁面１０ｐ側に形成されていることで、必然的に第一外壁面１０ｐが所定の方向に面するように配置されることになる。さらに、ベース１４は、給電ピン支持部１４ｈをＸ方向から見たときの形状が異なるため、ソケット３とは正しい組合せでなれば装着することができず、作業者は、光照射装置１にエキシマランプ２を装着する向きを間違えることが無くなる。

さらに、光照射装置１は、ソケット３がエキシマランプ２のベース１４の離間距離に合わせて移動可能であるため、エキシマランプ２のＺ方向に係る大きさにバラつきが生じた場合であっても装着することができる。そして、照射対象物Ｗ１の大きさに応じて、エキシマランプ２のＺ方向に係る長さを変更することができる。

図１に示すように、光照射装置１に装着されたエキシマランプ２は、照射対象物Ｗ１に向かって光を照射するように構成される。本実施形態においては、給電ピン支持部１４ｈが形成されていない第二外壁面１０ｑ側が光照射面側となる。

そのため、エキシマランプ２の発光管１０の第一外壁面１０ｐ側の内壁面、さらに、第一外壁面１０ｐ及び第二外壁面１０ｑとは異なる面の内壁面には、発光管１０内で発生して第一外壁面１０ｐ側に向かって進行する紫外光Ｌ１を、第二外壁面１０ｑ側に向かって反射させるように反射膜が形成されていても構わない。

本実施形態のエキシマランプ２に関し、電極１１は、いずれも同じ形状で形成されているが、それぞれ異なる形状であってもよく、第一外壁面１０ｐ側の電極１１は、上述した理由により、光を出射しなくてもよいため、光取り出し部１１ｈを有しないベタ状の電極１１であっても構わない。

本実施形態の通電部１２と給電ピン１３は、導電性部材３０のバネ３０ｂではなく、導電板３０ａを介して通電するように構成されている。そのため、バネ３０ｂは導電性を有していない。なお、導電板３０ａを備えず、通電部１２と給電ピン１３とが導電性と弾性を有するバネ等で接続されていても構わない。

さらに、本実施形態のエキシマランプ２に関し、いずれのベース１４の給電ピン支持部１４ｈにも凹部１４ａ及びとテーパ部１４ｂが形成されているが、いずれか一方のみに凹部１４ａ及びテーパ部１４ｂが形成されていてもよく、いずれにも凹部１４ａ及びテーパ部１４ｂが形成されていなくても構わない。

さらに、エキシマランプ２に関し、ベース１４の給電ピン支持部１４ｈは、Ｙ方向から見たときに同一形状であっても構わない。光照射装置１及びエキシマランプ２の装置構成からして、いずれの電極１１に高電圧を印加しても構わない構成であれば、いずれの電極１１に高電圧側を接続しても問題は発生しない。

また、本実施形態の光照射装置１に関し、図１において、エキシマランプ２は一つだけ装着されているように示されているが、光照射装置１には、複数のエキシマランプ２は、装着されていても構わない。搬送機構４の搬送方向に向かって、エキシマランプ２が複数配列して設置されていれば、照射対象物Ｗ１を搬送しながら光照射処理することが可能となる。

［別実施形態］
以下、別実施形態につき説明する。

〈１〉 図７は、光照射装置１の別実施形態を模式的に示す断面図である。図７に示すように、光照射装置１のソケット３は、照射対象物Ｗ１と同じ側に形成されていても構わない。例えば、搬送機構４を支持する支持台４ａの一部に、エキシマランプ２を装着するためのソケット３が形成されていてもよい。

〈２〉 ベース１４の給電ピン支持部１４ｈの外表面に形成された凹部１４ａは、任意の方向に延伸する溝のように形成されていてもよく、凹部１４ａは、図６Ａに示すよな、断面が円弧状でなくても構わない。

〈３〉 上述したエキシマランプ２が備える構成は、あくまで一例であり、本発明は、図示された各構成に限定されない。

１ ： 光照射装置
２ ： エキシマランプ
３ ： ソケット
３ａ ： 電源ピン
３ｂ ： 保持機構
３ｃ ： ローラ
４ ： 搬送機構
４ａ ： 支持台
１０ ： 発光管
１０ｂ ： 発光空間
１０ｐ ： 第一外壁面
１０ｑ ： 第二外壁面
１１ ； 電極
１１ｈ ： 光取り出し部
１２ ： 通電部
１３ ： 給電ピン
１４ ： ベース
１４ａ ： 凹部
１４ｂ ： テーパ部
１４ｈ ： 給電ピン支持部 １４ｐ ： 平坦面
３０ ： 導電性部材
３０ａ ： 導電板
３０ｂ ： バネ
３１ ： 内壁面
１００ ： エキシマランプ
１０１ ： 発光管
１０２ ： 電極
１０３ ： 給電線
Ｇ１ ： 発光ガス
Ｌ１ ： 紫外光
Ｗ１ ： 照射対象物

Claims (10)

1. 第一方向に延伸し、前記第一方向とは異なる第二方向において対向する第一外壁面と第二外壁面とを有し、内側に発光ガスが封入された発光管と、
   前記第一外壁面と前記第二外壁面に設けられた一対の電極と、
   前記第一外壁面の前記第一方向に係る各端部側に配置され、それぞれが異なる前記電極に接続された一対の通電部と、
   それぞれが異なる前記通電部に接続され、前記第二外壁面とは反対側に向かって前記第二方向に延伸するように配置された一対の給電ピンと、
   前記第二方向に沿って貫通孔が形成され、内側に前記給電ピンが挿通される給電ピン支持部を有し、前記発光管と前記給電ピンとを固定する一対のベースとを備えることを特徴とするエキシマランプ。
2. 前記通電部と前記給電ピンは、導電性部材を介して接続されていることを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ。
3. 前記導電性部材は、弾性を有することを特徴とする請求項２に記載のエキシマランプ。
4. 前記一対のベースの前記給電ピン支持部は、前記第二方向から見たときに、それぞれの形状、又は大きさの少なくとも一方が異なることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のエキシマランプ。
5. 少なくとも一方の前記ベースの前記給電ピン支持部は、前記発光管の端部側の外表面において、前記第一方向に直交する平坦面が形成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載のエキシマランプ。
6. 前記ベースの前記給電ピン支持部は、前記第一外壁面と平行な平面で切断したときの断面積が、前記第一外壁面から離れるにつれて小さくなるように、テーパ部が形成されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載のエキシマランプ。
7. 前記発光管から出射される光の主たる発光波長が１７２ｎｍであることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載のエキシマランプ。
8. 請求項１〜７のいずれか一項に記載のエキシマランプと、
   前記ベースが嵌合されるソケットとを備え、
   前記ソケットの内側には、前記給電ピンと接続される電源ピンが設けられていることを特徴とする光照射装置。
9. 少なくとも一方の前記ソケットは、前記第一方向に関し、移動可能に構成されていることを特徴とする請求項８に記載の光照射装置。
10. 前記ベースの前記給電ピン支持部の外表面は、内側に向かって凹むように凹部が形成されており、
    前記ソケットは、前記凹部と係合させて前記ベースを保持する保持機構が設けられていることを特徴とする請求項８又は９に記載の光照射装置。
    

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