JP4497146B2 - 放電ランプ保持機構 - Google Patents

Description

この発明は放電ランプ保持機構に関する。特に、物理的に大型かつ大電流化により、ホルダへの取り付け作業が困難になった放電ランプの保持機構に関する。

近年、半導体や液晶の露光、その他の微細加工の分野でフォトリソグラフィ用光源としてショートアーク型水銀ランプを用いた露光技術が利用される。
フォトリソグラフィ用の露光では、フォトレジストが感度を有する波長３６５ｎｍ（ｉ線）の光を効率良く放射する水銀ランプが使われ、また、液晶やプリント基板の露光では、波長３５０ｎｍ〜４５０ｎｍの光を放射する水銀ランプが使われる。水銀ランプは発光物質として水銀が封入されるとともに、始動用ガスとしてアルゴン、クリプトン、キセノンなどの希ガスが封入される。
このような水銀ランプは、例えば、特開平９−２１３１２９号に示されるように凹面反射鏡と組み合わせて光学系を構成する。

露光装置は、露光すべき面積が大きくなる一方で、処理時間（スループット）は短くなる傾向にある。光源である水銀ランプも、入力を増加させることで露光量を増加させる傾向にある。
しかし、ランプ入力の増大は、ランプを物理的に大型化させることとなり、反射ミラーへ組み付ける作業が一段と煩雑化してしまう。
特に、ランプが大型化すると、寸法的にも重量的にも作業者がランプを保持することが困難になる。例えば、前記特開平９−２１３１２９号に示すように吊り下げてランプを保持する構造の場合、ランプを吊り下げた状態で保持しつつ、同時に、ネジ止めなどの固定作業をする必要がある。さらに、ランプが大型化すると反射ミラーも大型化する。上記作業は、ランプの口金を、反射ミラーの内側空間から入れて頂部開口を通して、頂部開口の外部にある保持機構で固定させる。この固定作業では、反射ミラーの内側空間でランプの一端を保持しつつ、同時に、反射ミラーの頂部開口の外側でネジ止めなどの固定作業をする必要があるが、この場合、反射ミラーの内側空間において片手でランプを保持するとともに、もう一方の片手でネジ止め作業をしなければならない。この作業は、ランプが大型化すると、片手で保持することとなり、時として、ランプを落下させたり、反射ミラーを傷つけるという問題を生じる。
さらに、放電ランプと保持機構の固定作業では、確実な給電構成を形成しなければならない。給電リードや給電線の電気的接続が不十分であると電流供給が不十分になるからである。
特開平９−２１３１２９号

この発明が解決しようとする課題は、大型化したランプであっても、容易に取り付けることができるランプホルダを提供することである。

上記課題を解決するために、この発明に係る放電ランプ用保持機構は、一端に口金が装着された放電ランプと、この放電ランプを着脱可能にかつ吊り下げるように保持するランプホルダからなる放電ランプ保持機構であって、前記ランプホルダは、前記口金が挿入される挿入孔の内部にホルダ側仮固定機構が設けられた中心ボディと内壁にホルダ側本固定機構が形成されて前記中心ボディを軸として回転する回転部とにより構成され、前記放電ランプの口金は、先端部分に形成されたランプ側仮固定機構と側面に形成されたランプ側本固定機構とを有し、当該放電ランプの口金をランプホルダに挿入して、口金を回転させることで、ホルダ側仮固定機構とランプ側仮固定機構とを係合させて放電ランプを吊り下げて仮固定し、その後、前記ランプホルダの回転部を回転させることで、ホルダ側本固定機構とランプ側本固定機構とを本固定することを特徴とする。

さらに、前記放電ランプの口金は導電性部材から構成され、前記ランプホルダと本固定することで、口金の端面とランプホルダの端面を接触させて電気的給電機構を形成することを特徴とする。

さらに、前記放電ランプの口金の端面は、当該放電ランプ長手方向とほぼ垂直に配置することを特徴とする。

さらに、前記放電ランプは定格電流が５０Ａ以上であることを特徴とする。

この発明に係る放電ランプ保持機構は、上記構成を有することで、放電ランプの口金をランプホルダ（以下、単に「ホルダ」ともいう）の挿入孔に差し込み、口金を回転させるだけで、この挿入孔内部に設けられたホルダ側仮固定機構と、口金に設けられたランプ側仮固定機構が係合し、手を離しても落下することなく吊り下がった状態にできる。この状態において、反射鏡の頂部外部からホルダとランプの本固定機構を作動させることで両者を強固に固定できる。
つまり、ランプに着脱作業では、従来のように、片手でランプを保持しつつ、他方の片手でランプを固定させるという困難を必要としない。
また、口金を導電性部材からなり、口金の上端面が全域においてホルダと接触して電気的給電構造を構成できる。

図１は、露光装置の保持台５０に取り付けられたランプホルダ３０に放電ランプ１０が装着され、両者が固定された状態の放電ランプ保持機構を示す。
放電ランプ１０（以下、単に「ランプ」ともいう）は、反射ミラー２０の頂部開口を通過して、ランプホルダ３０（以下、単に「ホルダ」ともいう）に取り付けられる。ここで、ランプ１０とホルダ３０を放電ランプ保持機構とし、ランプ１０、反射ミラー２０、ホルダ３０を光源装置と称する。ホルダ３０は、例えばネジ止めにより露光装置の保持台５０に固定される。また、保持台５０には、ホルダ３０の軸中心から外れたところに、補助的な固定点５１が設けられている。ホルダ３０は、固定点５１にも補助的に固定される。なお、反射ミラー２０は、図示略の機構により露光装置などに固定される。

図２は、ランプホルダ３０に放電ランプ１０が固定される前の状態のランプ１０のみを示す図面であり、例えば、石英ガラスからなる発光管部１１を略中央に有し、その両端にロッド状の封止部１２が伸びるように一体的に形成される。発光管部１１は球形、あるいは管軸方向（図面の上下方向）に細長く伸びる紡錘形になっており、その内部は気密空間が形成されて、発光物質である水銀や始動用ガスであるキセノンやアルゴンが封入される。また、発光管部１１の内部には陽極１３と陰極１４が対向配置しており、その先端同士の間隔が放電ギャップとして形成される。放電ギャップは電極間距離でもあり、例えば、５ｍｍ程度となる。封止部１２の先端にはキャップ状の口金４０が装着する。なお、図における下方の封止部の先端にもキャップ状の口金が装着されるが、本発明ではこの口金は必須ではない。
このランプ１０は、何れかの電極を上方に、他方の電極を下方に位置させる垂直配置をしており、この実施例では陰極を下方に、陽極を上方に配置している。

図１に戻り、反射ミラー２０は、例えばガラス基材の反射面に多層膜をコーティングしたもので、全体が凹面形状でランプ１０からの放射光を良好に反射する。反射ミラー２０は楕円集光鏡が用いられることが多く、その場合は、放電ランプ１０のアークと、反射ミラー２０の第一焦点を一致させる必要がある。このアークは、一般に、放電ギャップ間に形成されるので、反射ミラー２０の第一焦点に放電ギャップ間の適当な箇所が来るようにランプを設置する。ミラーの向きは下に開のものを示したが、上（ホルダ側）に開のものもある。

ランプ１０や反射ミラー２０は、近年、大型化している。前述のとおり、この発明の放電ランプ保持機構は、ランプや反射ミラーが大型化した場合に、特に有用となる。
ランプ１０について、数値例を示すと、ランプ電力は定格値３ＫＷ〜４０ＫＷ、ランプ電流は定格値５０Ａ〜２００Ａ、発光管部１１の最大外径（電極の伸びる方向に垂直な方向の径）は５０ｍｍ〜２５０ｍｍである。また、ランプの重量は０．５ｋｇ〜１０ｋｇである。
また、反射ミラー２０について、数値例を示すと、前面開口はφ３００ｍｍ〜１０００ｍｍであり、ランプが伸びる方向の奥行きは２００ｍｍ〜８００ｍｍである。

図３は、図１に示す光源装置を、図１とは異なる方向から眺めた状態を示し、反射ミラー２０の一部を切り欠いて反射ミラー２０の内部構造を表現している。
反射ミラー２０の頂部開口２１は、ランプ１０の封止部１２あるいは口金４０が通過できるだけの大きさを少なくとも必要とする。頂部開口２１があまりに大きいと、ランプ１０の放射光が、頂部開口２１から漏れてしまい光の利用効率が低下する。

図４は本発明に係る放電ランプの口金、特に、ホルダ３０に装着される口金４０の拡大構造を示す。
口金４０は、キャップ状の全体ボディ４１と、この全体ボディ４１の端部に構成される終端部４２と、終端部４２の中心から伸びる突出部４３から構成される。これら全体ボディ４１、終端部４２および突出部４３は物理的に一部材から構成され、例えば真鍮などの導電性部材からなる。

全体ボディ４１は、石英ガラスからなる封止部１２の端部に続く部位である。全体ボディ４１はキャップ状であって、封止部１２を被せるよう差し込んで装着するものであり、封止部１２内部の給電機構と電気的に接続することで全体ボディ４１自体が給電経路の一部となる。

終端部４２は、ホルダと面接触することでランプ外部と電気的接続構造を形成する終端面４２ａを形成する。また、終端部４２は全体ボディ４１より大径に形成したものを示したが、同径、小径のものでもよい。終端面４２ａは放電ランプの軸と垂直な平面に形成されており、ホルダとの接触および電気経路の形成を容易にしている。終端面４２ａには後述する穴部４２ｂが形成される。また、終端部４２の側面には後述するネジ機構４２ｃが形成される。

突出部４３は、ホルダ内に差し込まれる際の先端部分に相当し、先端小径部４３ａと、先端テーパ部４３ｂと、円柱部４３ｃから構成される。円柱部４３ｃには釣り針形状の溝部４４が形成されており、後述するが、この溝部４４がホルダとの噛み合わせ機構を形成する。

図５は本発明に係るホルダ３０の拡大構造を示す。
ホルダ３０は、棒状の中心ボディ３１と、その先端に位置する回転部３２から構成される。中心ボディ３１、回転部３２は物理的に別部材が組み合わされて構成され、例えば、中心ボディ３１は銅、真鍮等の電気抵抗の低いものやそれらの基材にニッケル、銀、金等の電気抵抗が低く耐酸化、耐薬品性のものをコーティングしたもの、回転部３２はステンレス、ニッケルメッキされた真鍮等の耐磨耗、耐酸化、耐薬品性のものなどからなる。

中心ボディ３１は、口金の先端部４３を挿入するための挿入孔３１１、口金が挿入した場合に口金の終端面４２ａと面接触するホルダ側接触部３１２、およびホルダ側接触部３１２の内部に構成された回転防止棒３１３から構成される。挿入孔３１１は中心ボディ３１に穴加工することで形成される部位であり、その内部に挿入孔３１１の内径方向に突出して伸びる突起３１５が形成される。ホルダ側接触部３１２も中心ボディ３１を切削加工することで形成される部位であり中心ボディ３１の一部分である。回転防止棒３１３はホルダ側接触部３１２に空洞を設けて、その中にバネ３１６を介して配置されたものであり、中心ボディ３１とは物理的に別部材である。中心ボディ３１は、放電ランプが装着された場合に放電ランプを吊り下げて支持する部位となり、また、装着時においては仮固定を達成するための機能を有する部位になる。さらに、口金が装着された後は給電経路の一部を形成する部位にもなる。中心ボディ３１は、例えば銅、真鍮などやそれらの基材にニッケル、銀、金などをコーティングしたものなどの導電性部材から形成される。

回転部３２は中心ボディ３１の先端に取り付けられ、口金の脱着作業において、人間が中心ボディ３１を軸として手動で回転させる。回転部３２の内壁には口金が挿入した場合に本固定するためのネジ機構３２１が形成される。回転部３２の外表面には手動による回転作動がやりやすいように、例えばローレット加工が施される。回転部３２は、口金との本固定を達成する部位であり、例えばステンレス、ニッケルメッキされた真鍮などの材料から構成される。また、中心ボディ３１には、回転部３２と口金４０が本固定したときの、回転部３２の位置を示す目印３１４が形成される。目印３１４は、中心ボディ３１に線状の切り欠きを設けたもの、線状に色を塗布したものなど、目視で線がわかるものであればよい。また、図８に示すように、回転部３２にネジ機構３２１に影響を与えない程度の切り欠き部３２２を、回転部３２の下端から上方に向かって設け、回転部３２の内部が見えるようにすることもできる。また、図９に示すように、中心ボディ３１の側面にピン３１７を設け、回転部３２の上端部にＬ字状の溝３２３を設け、ピン３１７が溝３２３に係止して、回転部３２を上方に保持することもできる。また、中心ボディ３１の側面と回転部３２の上端部にネジ山を設け、螺合させて回転部３２を上方に保持することもできる。

中心ボディ３１の外方（図における上方）は図示省略されているが、給電線が中心ボディの一部に接続される。あるいは、中心ボディの一部に給電のための機構が接続されたりする。

図６は、図５に示すホルダ３０に、押圧部３３を設けた図である。
押圧部３３は、サラバネ３３１と目印３３２を有し、中心ボディ３１と回転部３２の間に取り付けられる。回転部３２の上下移動に伴い、押圧力が働くようにサラバネ３３１が設けられる。また、押圧部３３には、回転部３２と口金４０が本固定したときの、回転部３２の位置を示す目印３３２が形成される。目印３３２は、線状の切り欠きを設けたもの、線状に色を塗布したものなど、目視で線がわかるものであればよい。なお、ここではサラバネ３３１を用いたものを示したが、圧着コイルバネを用いることもできる。

図７は、口金４０（放電ランプ）をホルダ３０に装着する時の両機構の原理を模式的に表したものである。（ａ）〜（ｅ）はそれぞれ口金とホルダの動きを表し、（ａ）から（ｅ）に進むに従い、口金がホルダに装着される。逆に、口金をホルダから脱着させるときは、（ｅ）から（ａ）にいたる手順となる。なお、ホルダ３０は断面図を示す。

（ａ）は口金４０がホルダ３０の中に挿入される直前の状態を示す。
（ｂ）は口金４０がホルダ３０の中に挿入された状態を示す。具体的には、口金の突出部４３が中心ボディ３１の挿入孔３１１の中に進入している。このとき突出部４３は比較的容易に中心ボディ３１の挿入孔３１１に導かれる。突出部４３は前記したように先端小径部４３ａが小径であり、かつ先端テーパ部４３ｂがテーパに構成されるからである。また、突出部４３の外径は挿入孔３１１の内径にほぼ等しいので、突出部４３が挿入孔に挿入されることにより、口金４０はホルダ３０に対する横方向（放電ランプの長手方向と垂直方向であって、紙面における横方向を示す）の位置が決まる。なお、突出部４３を挿入孔３１１に挿入する際には、挿入孔４３の内部には突起３１５が存在するため、突出部４３が突起３１５に衝突することでそれ以上の進入が阻止されることがある。この場合は口金４０を回転させることで、突起３１５が口金の溝部４４に位置したところで挿入孔３１１内への更なる挿入を可能にする。突出部４３の挿入は、挿入孔３１１内の突起３１５と溝部４４との関係で停止、このとき口金４０の終端面４２ａはホルダ３０のホルダ側接触部３１２の接触面３１２ａと面接触する。なお、図における突起３１５は挿入孔３１１の省略されている側面から伸びるものであり、本来、断面図の構造としては省略するべきであるが、図では溝部４４との係合を理解するために突起３１５のみを表現している。

（ｃ）は口金４０がホルダ３０に仮固定された状態を示す。（ｂ）の状態から口金４０を回転させることで溝部４４は突起３１５に対する進行方向を変えることとなる。なお、突起３１５と溝部４４の関係は、図１０で詳細に説明する。口金４０を回転させて手を離すことで、口金４０は若干落下するが、溝部４０の終点と突起３１５が係合して図の状態となる。この状態にすると、放電ランプ１０を手放していても、放電ランプ１０は落下することなく、ホルダ３０に吊り下がる。

図８は、回転部３２に切り欠き部３２２を設けたホルダ３０に口金４０が仮固定された状態を示す。
本発明のホルダ３０の構造によると、回転部３２は自重により下方に位置し、口金４０が挿入されると、口金４０の終端面４２ａに接して押し上げられる。このため、回転部３２と口金４０の終端面４２ａとの間に隙間はない。仮固定は、ホルダ３０内部でホルダ３０の突起３１５を口金４０の溝部４４に係止して行うため、作業者は目視による仮固定完了の確認をすることができない。仮固定に失敗してランプ１０から手を離すと、ランプ１０が落下して破裂するため危険である。

そこで、回転部３２に、ネジ機構３２１に影響を与えない程度の切り欠き部３２２を設け、切り欠き部３２２からホルダ３０と口金４０の接触部分を見えるようにすることができる。仮固定が完了すると、ホルダ３０の突起３１５は口金４０の溝部４４に係止して、放電ランプ１０はホルダ３０に吊り下がるため、ホルダ側接触部３１２と終端面４２ａとの間に隙間ができる。作業者は、この隙間を切り欠き部３２２から見て、仮固定完了を目視により確認した後、ランプ１０から手を離すことができる。

図９は、回転部３２を係止する機構を設けたホルダ３０に口金４０が仮固定された状態を示す。
これは仮固定完了を目視により確認するための他の実施例である。ピン３１７が溝３２３に係止して、予め回転部３２を上方に保持して、ホルダ側接触部３１２と終端面４２ａとが見えるようにしている。仮固定完了後は、ピン３１７を溝３２３から外して、回転部３２を回転させることができる。

図７に戻り、（ｄ）は口金４０とホルダ３０を本固定させるための動作を開始する状態を示す。ホルダ３０の回転部３２の内壁の一部と、口金の終端部４２の側部に、それぞれ形成されたネジ機構（３２１、４２ｃ）が互いに係合する。ホルダ３０に設けられた回転防止ピン３１３は、口金４０の終端面４２ａに設けられた穴４２ｂに挿入する。回転部３２の回転により、口金自体を回転させないためである。
（ｅ）は口金４０とホルダ３０の本固定が完了した状態を示す。上記（ｃ）で示す仮固定状態からホルダ３０の回転部３２を回すことで、ネジ構造が働き、ホルダ側接触部３１２の接触面３１２と、口金４０の終端面４２ａが押し合う力は強力となり両者が強く固定される（本固定）。また、ホルダ３０は、図１に示す固定点５１にも補助的に固定されることによって、回転部３２等を回転することによりホルダ３０がつれ回り、ホルダ３０のネジ止めが緩んで保持台５０から外れることが抑制される。なお、本固定の状態にある回転部３２の位置を示す目印３１４が見えるまで回転部３２を回転させることにより、作業者は本固定が完了したことを確認できる。

しかしながら、回転部３２と中心ボディ３１のように金属同士を螺合させて本固定させる場合、ネジが締まりきって初めて負荷がかかるため、作業者はネジが徐々に締まっているという感覚がつかめない。そこで、図６に示すように、回転部３２を締め付けたときに反発力が働くように押圧部３３を設け、サラバネ３３１が潰れることにより反発力を生じるようにさせることもできる。図６（ａ）の状態から回転部３２を回転させると、ネジ機構３２１が口金に螺合して回転部３２が下がり、図６（ｂ）の状態となる。回転部３２を押圧部３３に設けられた目印３３２が見えるまで下げると、サラバネ３３１が押し潰される。その反発力として負荷が生じ、作業者は回転部３２が締まったことを認識することができる。

図１０は、図７と同一の状態であって、別の角度から眺めた状態を示す。具体的には、図７は真横から見た状態であるのに対し、図１０は斜め上方から眺めた状態を示す。図７と同様にホルダ３０は半割りの断面構造を示す。図７（ａ）〜（ｅ）の状態と、図１０（ａ）〜（ｅ）の状態がそれぞれ直接対応する。

図１１は、ホルダに形成された突起３１５と、口金に形成された溝部４４の噛み合わせ機構の模式的に表したものである。
（ａ）は、図７（ａ）および図１０（ａ）の状態における溝部４４と突起３１５の位置関係を示す。口金４０はホルダ３０に挿入していないため、突起３１５と溝部４４の係合していない。矢印は口金４０が動く方向を示し、口金４０の動きに応じて溝部４４も矢印の方向に動く。
（ｂ）は、溝部４４の壁４４ａが突起３１５と衝突し、口金４０をそれ以上に上方には移動できなくなった状態を示す。この状態は図７（ｂ）および図１０（ｂ）に相当しており、口金を回転方向（図における矢印方向）に動かすことになる。
（ｃ）は、溝部４４の壁４４ｂが突起３１５に衝突し、口金４０をそれ以上回転方向に動かすことができなくなった状態を表す。この状態は図７（ｂ）と（ｃ）、および図１０（ｂ）と（ｃ）の中間の状態に相当する。
（ｄ）は、放電ランプを手放すことで落下し、溝部４４の壁４４ｃが突起３１５に衝突した状態を示す。矢印は放電ランプの落下方向を示す。溝部４４の壁４４ｃは突起３１５と衝突することで、放電ランプ１０は落下しなくなる。すなわち、放電ランプ（口金４０）とホルダ３０の仮固定が達成する。この状態は図７（ｄ）に相当する。
（ｅ）は、ホルダ３０の回転部３２を回転させることで、ホルダ３０と口金４０が本固定された状態を示す。前記したように回転部３２の内壁にはネジ機構３２１と有し、口金の終端部４２の外面にはネジ機構４２ｃを有するので、両ネジ機構が噛みあることで両者は強固に固定される。回転部３２の回転にしたがい、口金３０は相対的に上昇する。

以上説明したように、本発明に係る放電ランプ保持機構は、ホルダ内に放電ランプの口金を挿入して回転させるだけで、まず、放電ランプが落下しない程度に仮固定が行われ、次に、当該状態で放電ランプを手放すことでホルダを動かすだけで本固定することができる。
このため、従来のように、片手で放電ランプを保持しつつ、もう一方の片手で装着作業、例えば、ネジ止めを行うという煩雑な作業がなくなり、きわめて安全に装着作業をすることができる。これは放電ランプが大型化した場合に特に有用となる。

ここで、上記実施例においては、「ホルダ側仮固定機構」は中心ボディ３１の挿入孔３１１内に設けられた突起３１５であり、「ホルダ側本固定機構」は回転部３２に設けられたネジ機構３２１が相当する。また、「ランプ側仮固定機構」は突出部４３に設けられた溝部４４であり、「ランプ側本固定機構」は口金の終端部４２の側部に形成されたネジ機構４２ｃが相当する。なお、ネジはメートルネジ、台形ネジ、多条ネジ、右ネジ、左ネジなど状況に応じて適宜選択できる。

また、口金４０導電性部材により構成することで、ホルダ３０に本固定するだけで、電気的結合を同時に行うことができる。しかし、口金４０は導電性部材に限定するものではなく、セラミックなどの絶縁部材で構成してもかまわない。この場合は口金４０の突出部４３の先端面に電気接点を設けて、ホルダ３０の中心ボディ３１の挿入孔３１１の内部で電気的接触ができる構造にする必要がある。

口金４０の終端部４２の終端面４２ａは、放電ランプの長手方向と垂直に形成される。放電ランプを上方に押し当てるだけでホルダと強固な接触関係を形成するためである。

本発明の放電ランプ保持構造は、放電ランプの定格電流が５０Ａ以上のランプ、特に７０Ａ以上、重量で示せば０．５Ｋｇ以上、特に１．０Ｋｇ以上の大型ランプに適している。定格電流が５０Ａ以上（特に７０Ａ以上）、重量が０．５Ｋｇ以上（特に１．０Ｋｇ以上）のサイズにおいて、片手でランプを保持しつつ、もう一方の手でランプとホルダを固定するという作業をすることが難しくなるからである。

放電ランプ１０をホルダ３０から取り外す場合は、上記装着手順を逆に行えばよい。すなわち、まず、ホルダ３０の回転部３２を回すことで、本固定から仮固定の状態にする。
次に、放電ランプ１０を軽く持ち上げて（ホルダ３０の中に押し当てる方向に動かす）、図７（ｅ）の状態から（ｄ）の状態にする。この状態から口金４０（放電ランプ）を回転方向に回して、図１０（ｂ）の状態にして、その後、放電ランプ１０を引き下げてホルダから脱着させる。

図４、図５、図７、図１０、図１１の構造について、一例を示すと、口金４０の外径は４０mm、突出部４３の突出長は２０ｍｍ、外径は１０ｍｍ、ホルダ３０の回転部３２の外径は、４５ｍｍ、溝部４４の幅は２ｍｍ程度である。突起３１５は、例えばステンレスなどからなり、挿入孔３１１の内壁面に差し込んで形成される。突起３１５と溝部４４は、実施例で示したように、１組だけ設けてもよいが、突出部４３の円周方向に複数組設けてもかまわない。

なお、本発明に係る放電ランプ保持機構は、図４、図５、図７、図１０、図１１に示した構造だけに限定するものではなく、具体的な構造は種々の構造が採用できる。具体的には、ランプの口金をホルダに挿入して、ホルダを回転させることでランプを手放しても吊り下げる状態（仮固定）を達成でき、その後、口金とホルダを強固に固定する（本固定）構造であれば適用できる。例えば、溝部４４は実施例に示すように略釣り針状である必要はなく、本発明の作用効果を奏することができれば他の構造も採用できる。

以上説明したように、本発明に係る放電ランプ保持機構は、ホルダ内に放電ランプの口金を挿入して回転させるだけで、まず、放電ランプが落下しない程度に仮固定が行われ、次に、当該状態で放電ランプを手放すことでホルダを動かすだけで本固定することができる。このため、従来のように、片手で放電ランプを保持しつつ、もう一方の片手で装着作業、例えば、ネジ止めを行うという煩雑な作業がなくなり、きわめて安全に装着作業をすることができる。これは放電ランプが大型化した場合に特に有用となる。

本発明に係る放電ランプ保持機構を有する光源装置を示す。 本発明に係る放電ランプを示す。 本発明に係る放電ランプ保持機構を有する光源装置を示す。 本発明に係る放電ランプの口金を示す。 本発明に係る放電ランプホルダを示す。 本発明に係る放電ランプホルダを示す。 本発明に係る放電ランプホルダと口金の駆動原理を示す。 本発明に係る放電ランプホルダと口金を示す。 本発明に係る放電ランプホルダと口金を示す。 本発明に係る放電ランプホルダと口金の駆動原理を示す。 本発明に係る放電ランプホルダと口金の駆動原理を示す。

符号の説明

１０ 放電ランプ
１１ 発光部
１２ 封止部
２０ 反射ミラー
３０ ホルダ
３１ 中心ボディ
３１５ 突起
３２ 回転部
４０ 口金
４１ 全体ボディ
４２ 終端部
４３ 突出部
４４ 溝部

Claims (4)

1. 一端に口金が装着された放電ランプと、この放電ランプを着脱可能にかつ吊り下げるように保持するランプホルダからなる放電ランプ保持機構であって、
   前記ランプホルダは、前記口金が挿入される挿入孔の内部にホルダ側仮固定機構が設けられた中心ボディと内壁にホルダ側本固定機構が形成されて前記中心ボディを軸として回転する回転部とにより構成され、
   前記放電ランプの口金は、先端部分に形成されたランプ側仮固定機構と側面に形成されたランプ側本固定機構とを有し、
   当該放電ランプの口金をランプホルダに挿入して、口金を回転させることで、ホルダ側仮固定機構とランプ側仮固定機構とを係合させて放電ランプを吊り下げて仮固定し、その後、前記ランプホルダの回転部を回転させることで、ホルダ側本固定機構とランプ側本固定機構とを本固定することを特徴とする放電ランプ保持機構。
2. 前記放電ランプの口金は導電性部材から構成され、前記ランプホルダと本固定することで、口金の端面とランプホルダの端面を接触させて電気的給電機構を形成することを特徴とする請求項１の放電ランプ保持機構。
3. 前記放電ランプの口金の端面は、当該放電ランプ長手方向と垂直に形成されたことを特徴とする請求項２の放電ランプ保持機構。
4. 前記放電ランプは定格電流が５０Ａ以上であることを特徴とする請求項１の放電ランプ保持機構。

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