JP6314682B2 - エキシマ光照射装置 - Google Patents

Description

本発明はエキシマ光照射装置に関する。特に、半導体素子や液晶基板の製造工程において、真空紫外光を利用した基板の洗浄処理などに好適に用いられるエキシマ光照射装置に関する。

現在、例えば、半導体素子や液晶基板の製造工程において、シリコンウエハやガラス基板の表面に付着した有機化合物等の汚れを除去する洗浄方法として、紫外光を用いたドライ洗浄方法が広く利用されている。特に、エキシマランプから放射される真空紫外線により生成されるオゾン等の活性酸素を利用した方法は、より効率良く短時間で所定の処理を行うことができることから、好適に利用されており、これまでに種々の構成のエキシマ光照射装置が提案されている（例えば特許文献１〜特許文献３参照。）。

図９は、従来のエキシマ光照射装置の一例における構成を概略的に示す正面図である。
このエキシマ光照射装置は、下方が開放された金属製の箱型形状の筺体７０を備えており、筺体７０は、水平に延びる基台７１上に載置されている。筺体７０内には、一方向に延びるエキシマランプ７５が、その両端がランプホルダ７２，７２によって保持された状態で、吊下されて設けられている。図９における符号Ｗは、例えばガラス基板などの被処理物であり、８０は、例えばローラコンベヤよりなる被処理物搬送ユニットである。
エキシマランプ７５は、断面が偏平な矩形管状の発光管を備えており、発光管の上壁外面および下壁外面に、一対のメッシュ状の外部電極７６が互いに対向して設けられている。また、発光管の少なくとも上壁内面には、シリカを主成分とする紫外線反射膜（図示せず）が形成されている。

特開２００９−１８３９４９号公報 特開２００８−０６８１５５号公報 特開２０１０−８０３５１号公報

近年、例えば液晶基板の大型化に伴ってその基材であるガラス基板も大型化しており、エキシマ光照射装置においては、大型の平板状の被処理物に対しても所期の処理を行うために、被処理物の幅寸法や長さ寸法に応じて、より全長が大きい複数のエキシマランプを並べて配置した構成とすることが必要とされるなど、エキシマ光照射装置自体も大型化している。

而して、エキシマ光照射装置においては、例えば、被処理物について、あらかじめ設定された時間内に、その全体を均一に処理するためには、被処理物とエキシマランプとの離間距離を面方向の全域にわたってほぼ等しくなるように設定する必要がある。この理由は、例えば洗浄処理においては、中心波長１７２ｎｍのエキシマ光が使用されるが、このエキシマ光は空気中の酸素によって吸収されるため、エキシマランプから被処理物までの距離が少しでも大きくなると、被処理物に到達するエキシマ光の光量が急激に減衰してしまうからである。例えば、中心波長１７２ｎｍのエキシマ光を使用した洗浄工程の場合においては、エキシマランプ７５の下面と被処理物Ｗの被処理面との間の離間距離ｄを、４ｍｍ±０．５ｍｍの大きさに設定することが必要である。

エキシマランプと被処理物との間の離間距離の大きさの調整は、エキシマランプを含む筺体全体の高さ位置の調整を行うことにより行っていた。具体的には例えば、「シム」と呼ばれる厚さが一定の薄い間隔調整板を筐体と基台との間に介在させて配置し、これにより、基台に対する筐体の高さ位置を変えることにより行っていた。
しかしながら、大型のエキシマ光照射装置の筺体は、例えば、縦横の寸法が３ｍ、またエキシマランプの重量を含む重量も１００ｋｇから２００ｋｇとなるものもあり、筺体全体の高さ位置の調整作業は、労力も時間も多く必要となる。また、このように大型の筐体では、自重によるたわみやねじれも生じやすい。そのため、基台に対する筐体の高さ位置を調整するだけでは、エキシマランプと被処理物との間の離間距離の大きさを、被処理物の被処理面における面方向の全域にわたって精度よく均一に設定することが困難であるのが実情である。

本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、エキシマランプと被処理物との間の離間距離の調整を極めて容易に、高い精度で行うことのできるエキシマ光照射装置を提供することを目的とする。

本発明のエキシマ光照射装置は、下方が開口する筺体内において、一方向に延びる発光管を備えたエキシマランプが、その両端がランプ保持機構によって吊下保持された状態で、設けられたエキシマ光照射装置において、
前記ランプ保持機構は、前記一方向に離間した位置において、各々上下方向に移動可能に設けられた一対の可動体と、当該可動体の移動に伴って上下方向に移動される前記エキシマランプの両端の各々を保持する一対のランプホルダとを備えており、
前記可動体の各々は、水平面内において前記一方向と直交する方向に延びる軸部を有し、前記ランプホルダの各々が対応する可動体における当該軸部の周りに揺動可能に設けられていることを特徴とする。

本発明のエキシマ光照射装置においては、前記エキシマランプは、紫外線反射膜が発光管における上方領域の内面に形成されてなるものであって、
前記ランプホルダの各々は、前記可動体の各々における軸部に両端部が枢支された、前記一方向に延びる棒状のホルダ支持部材に設けられており、
当該ホルダ支持部材には、前記エキシマランプの反りによる変形を規制するエキシマランプ変形規制部材が設けられた構成とされていることが好ましい。

さらにまた、本発明のエキシマ光照射装置においては、前記可動体の上下方向以外の方向の移動を規制するガイド機構をさらに備えた構成とされていることが好ましい。

さらにまた、本発明のエキシマ光照射装置においては、前記筺体は、内部空間が水平に延びる隔壁によって上下に区画されており、
前記可動体の各々には、当該隔壁を貫通して上下方向に延びるボールねじのねじ部が螺合連結されており、当該ボールねじのねじ軸の回転によって当該可動体が上下方向に移動される構成とされていることが好ましい。

本発明のエキシマ光照射装置によれば、各々の可動体を移動させることによって対応するランプホルダの各々が上下方向に移動されて、被処理物に対してエキシマランプ自体を単独で上下方向に移動させることができるので、エキシマランプと被処理物との間の離間距離の大きさを、極めて容易に精度よく調整することができる。しかも、ランプホルダの上下動に際して、各々の可動体が互いに異なる移動量で移動されたとしても、可動体の上下動に伴ってランプホルダが可動体の軸部の周りに揺動されるので、発光管に無理な力（せん断力）が加わることがなく、エキシマランプが破損することを回避することができる。また、各々の可動体を同時に移動させる必要がないので、この点においても、エキシマランプと被処理物との間の離間距離の大きさを極めて容易に調整することができる。

また、ランプホルダの各々が、可動体の各々における軸部に両端部が枢支されたホルダ支持部材に設けられ、当該ホルダ支持部材に、エキシマランプ変形規制部材が設けられた構成とされていることにより、さらに、次のような効果を得ることができる。すなわち、発光管の紫外線照射による経時的な劣化に起因した上方に反るような変形がエキシマランプに生じることを、エキシマランプ変形規制部材によって防止することができるので、エキシマランプと被処理物との距離を適正な大きさに維持することができ、所期の処理を確実に行うことができる。

さらにまた、可動体の上下方向以外の方向の移動を規制するガイド機構をさらに備えた構成とされていることにより、可動体の移動に際して、可動体が例えば回転してエキシマランプを屈曲させるような力がエキシマランプに加わることを防止することができるので、エキシマランプの高さ位置の調整時において、エキシマランプが破損することを回避することができると共に、調整作業自体を円滑に行うことができる。

さらにまた、筺体の内部空間を区画する隔壁に設けられたボールねじ機構によって可動体が上下方向に移動される構成とされていることにより、隔壁の上方側からエキシマランプの高さ位置の調整作業を行うことができるので、高い作業性を得ることができる。

本発明のエキシマ光照射装置の一例における構成の概略を、一部を断面で示す正面図である。 図１に示すエキシマ光照射装置におけるランプ保持機構の構成の概略を示す部分拡大図である。 図１に示すエキシマ光照射装置におけるランプ保持機構の構成の概略を示す、ランプ中心軸に垂直な部分断面図である。 図１に示すエキシマ光照射装置におけるエキシマランプの保持構造を説明するための分解斜視図である。 ランプ吊下保持部における高さ調整機構によって、エキシマランプが隔壁に接近するよう上方向に移動された状態を示す、（ａ）ランプ中心軸方向に沿った部分断面図、（ｂ）ランプ中心軸に垂直な部分断面図である。 エキシマランプの高さ調整に際して、一方のボールねじ機構のみが動作された状態を示す、ランプ中心軸方向に沿った部分断面図である。 本発明のエキシマ光照射装置の他の例におけるランプ保持機構の構成の概略を、一部を断面で示す正面図である。 図７に示すエキシマ光照射装置において、ランプ吊下保持部における高さ調整機構によって、エキシマランプが隔壁に接近するよう上方向に移動された状態を示す、ランプ中心軸方向に沿った部分断面図である。 従来のエキシマ光照射装置の一例における構成を概略的に示す正面図である。

図１は、本発明のエキシマ光照射装置の一例における構成の概略を、一部を断面で示す正面図である。
このエキシマ光照射装置は、例えば液晶基板用のガラス基板などの平板状の被処理物Ｗを搬送する被処理物搬送ユニット１０と、被処理物Ｗに対してエキシマ光を照射するエキシマランプ３０を具備したランプユニット２０とにより構成されている。以下、便宜上、エキシマランプ３０のランプ中心軸が延びる方向（図１において左右方向）を「長さ方向」、水平面内においてランプ中心軸の延びる方向と直交する方向（図１において紙面に垂直な方向）を「幅方向」というものとする。

被処理物搬送ユニット１０は、例えば、複数の円柱状の搬送ローラ１２を備えており、各々の搬送ローラ１２におけるローラ用シャフト１１は、各々同一水平面内において互いに平行に長さ方向に延びる状態で、両端が搬送ローラ支持部材１３によって回転可能に軸支されている。この被処理物搬送ユニット１０においては、各々のローラ用シャフト１１が駆動手段（不図示）によって回転駆動されることにより搬送ローラ１２が回転され、これにより、被処理物Ｗが幅方向に搬送される。

ランプユニット２０は、下方が開放された全体が箱型形状の筐体２１を備えており、被処理物搬送ユニット１０の上方位置に配置された基台１５の上面に、筺体２１の開口端面が対接されて載置されている。ここに、基台１５は、その筺体載置面が水平に延びる姿勢で配置されており、被処理物搬送ユニット１０によって搬送される被処理物Ｗの被処理面の高さ位置と、基台１５の例えば上面の高さ位置との距離は、面方向において実質的に一定の大きさとされている。
筺体２１は、その内部空間が水平に延びる平板状の隔壁２２によって上下に区画されており、上部空間は例えばエキシマランプ３０に給電するための電源装置（不図示）などが配置される電装体配置空間部Ｓ１とされていると共に下部空間部はエキシマランプ３０が配置されるランプ配置空間部Ｓ２とされている。
筐体２１および隔壁２２を構成する材料としては、例えばアルミニウムや、ステンレス鋼などの耐紫外線性及び耐オゾン性を有する金属材料などが挙げられる。

エキシマランプ３０は、例えば、ランプ中心軸に垂直な断面形状が扁平な矩形形状を有する一方向に長尺な発光管３１を備えており、発光管３１における上壁および下壁の各々の外表面には、一対の格子状または網状の外部電極３２が互いに対向して配置されている。そして、発光管３１の内部には、例えばキセノンガスや、アルゴンと塩素とを混合したガスが封入されている。
また、発光管３１における上方領域の内面、少なくとも上壁の内面には、シリカ粒子を主体とした紫外線反射膜（図示せず）が形成されている。
発光管３１を構成する材料としては、真空紫外光を良好に透過するシリカガラス、例えば合成石英ガラスなどを例示することができる。

エキシマランプ３０は、筺体２１におけるランプ配置空間部Ｓ２において、ランプ中心軸が長さ方向に水平に延びる姿勢で、その両端がランプ保持機構によって吊下保持されて設けられている。
ここに、エキシマランプ３０の下面と被処理物Ｗの被処理面との間の上下方向の離間距離ｄは、例えば２〜５ｍｍである。

ランプ保持機構は、エキシマンプ３０の両端の各々を保持する一対のランプ吊下保持部４１を備えており、各々のランプ吊下保持部４１は、筺体２１の隔壁２２における長さ方向に互いに離間した位置に設けられている。
各々のランプ吊下保持部４１は、図２および図３に示すように、上下方向に移動可能に設けられたブロック状の可動体４５を備えた、エキシマランプ３０の被処理物Ｗに対する高さ位置を調整する高さ調整機構と、可動体４５の移動に伴って上下方向に移動されるランプホルダ５５とを備えている。

高さ調整機構は、例えばボールねじ機構によって構成されており、筺体２１の隔壁２２に形成された貫通孔２３内に挿通状態で配置されたボールねじ４２のねじ部４２ａが、可動体４５の上面に形成された、ねじ溝を有する凹所よりなる螺合装着部４６に螺合連結されている。
ボールねじ４２の頭部４２ｂは、隔壁２２における貫通孔２３の上端側開口部に形成された凹所２３ａ内に収容されて配置されており、従って、頭部４２ｂの下面が凹所２３ａの底面に係止された状態とされていることから、ボールねじ４２のねじ部４２ａの回転によって当該可動体４５が上下方向に移動される。また、凹所２３ａ内におけるボールねじ４２の頭部４２ａの側周面と凹所２３ａの内周面との間には、エキシマランプ３０の高さ位置調整後において、ボールねじ４２の回転を禁止するリング状の回転防止部材４３が配置されている。
そして、筺体２１における隔壁２２の上面には、凹所２３ａの開口部を覆う平板状の蓋部材２５が例えば、ねじ止めされて固定されている。このような構成とされていることにより、エキシマランプ３０から放射される例えば中心波長１７２ｎｍのエキシマ光が雰囲気中の酸素と反応することにより発生するオゾンが、ボールねじ４２と隔壁２２の貫通孔２３との隙間を介して、電装体配置空間部Ｓ１内に進入することを防止することができる。ここに、蓋部材２５を構成する材料としては、例えばアルミニウム、ステンレス鋼などの金属材料を例示することができる。

可動体４５の上面には、螺合装着部（凹所）４６を挟んで軸方向に離間した位置に、各々上方に向かって突出して延びる一対の柱状のガイドピン４７が設けられている。各々のガイドピン４７の上端部は、隔壁２２の下面における各々のガイドピン４７に対向する位置に形成された隔壁２２の厚み方向に延びるガイドピン挿入用孔２４内に挿入されている。これにより、可動体４５の移動に際して、可動体４５の上下方向以外の方向の移動を規制するガイド機構が構成されている。

可動体４５は、その下面に、各々エキシマランプ３０と平行に下方に延びる互いに対向する２つの側板５１，５１と、各々の側板５１、５１の上端部において２つの側板５１、５１を連結する水平方向に延びる連結板５２とよりなる断面形状がコの字型の支持アーム部５０を有している。
支持アーム部５０における２つの側板５１，５１間における連結板５２と離間した位置には、側板５１に垂直な方向に延びる枢支軸５３が設けられている。
可動体４５を構成する材料としては、例えばアルミニウムなどを例示することができ、支持アーム部５０を構成する材料としては、例えばステンレス鋼などを例示することができる。

ランプホルダ５５は、図４にも示すように、互いに対向する２つの側板５６，５６と、各々の側板５６、５６の上端部において２つの側板５６、５６を連結する連結板５７とよりなる断面形状が略コの字型のものである。各々の側板５６、５６には、内方側端縁から軸方向外方に向かって水平に延びるスリット５８よりなる被係合部が互いに対向する位置に形成されている。
そして、外方に突出して延びる柱状突起３６を両側面の各々に有するベース部材３５がエキシマランプ３０の両端部の各々に装着された状態において、エキシマランプ３０の両端部がそれぞれランプホルダ５５の側板５６，５６間に挿入されることによりベース部材３５の柱状突起３６の各々がランプホルダ５５の対応するスリット５８にスライド係合され、これにより、エキシマランプ３０がランプホルダ５５によって保持される。

而して、この例におけるランプ保持機構においては、２つのランプ吊下保持部４１におけるランプホルダ５５の各々は、エキシマランプ３０に沿って軸方向に延びる四角柱状のホルダ支持部材６０の下面に固定されて設けられている。このホルダ支持部材６０は、その両端部が可動体４５（具体的には支持アーム部５０）の各々における枢支軸５３に枢支されて、枢支軸５３の周りに揺動可能に設けられており、従って、各々のランプホルダ５５が対応する可動体４５の枢支軸５３の周りに揺動可能に設けられている。ここに、ホルダ支持部材６０を構成する材料としては、例えばステンレス鋼、アルミニウムなどを例示することができる。

ホルダ支持部材６０には、例えば、エキシマランプ３０を上方側から押圧してエキシマランプ３０の反りによる変形を規制するエキシマランプ変形規制部材６５が設けられている。
エキシマランプ変形規制部材６５は、例えばセラミックスなどの絶縁性材料よりなるローラ部材により構成されており、ホルダ支持部材６０の下面における例えば２つのランプホルダ５５間の中央位置において、ローラ部材の周面がエキシマランプ３０の発光管３１の上壁に対して押圧状態で当接するよう設けられている。

上述したように、被処理物Ｗの処理を行うに際しては、エキシマランプ３０の下面と被処理物Ｗの被処理面との間の離間距離を適正な大きさに設定することが必要である。
而して、上記のエキシマ光照射装置においては、各々のランプ吊下保持部４１におけるボールねじ４２の頭部４２ｂを、可動体４５の螺合装着部４６に対して締める方向に回転させると、図５（ａ）、（ｂ）に示すように、ガイドピン４７の各々が対応するガイドピン挿入用孔２４によって案内されながら、可動体４５が隔壁２２に接近するよう上方向に移動される。そして、可動体４５の移動に伴って、可動体４５の支持アーム部５０に保持されたホルダ支持部材６０が上方向に移動される。
一方、各々のランプ吊下保持部４１におけるボールねじ４２の頭部４２ｂを、可動体４５の螺合装着部４６に対して緩める方向に回転させると、ガイドピン４７の各々が対応するガイドピン挿入用孔２４によって案内されながら、可動体４５が隔壁２２より離間するよう下方向に移動される。そして、可動体４５の移動に伴って、可動体４５の支持アーム部５０に保持されたホルダ支持部材６０が下方向に移動される。
以上のようにして、ホルダ支持部材６０に固定されたランプホルダ５５によって吊下保持されたエキシマランプ３０の、基台１５に対する高さ位置が調整される。

上記構成のエキシマ光照射装置によれば、各々のランプ吊下保持部４１における可動体４５をそれぞれ移動させることによって対応するランプホルダ５５の各々が上下方向に移動されて、基台１５に対してエキシマランプ３０自体を単独で上下方向に移動させることができるので、エキシマランプ３０と被処理物Ｗとの間の離間距離ｄの大きさを、極めて容易に精度よく調整することができる。
しかも、例えば図６に示すように、一方のランプ吊下保持部４１ａにおけるボールねじ４２の頭部４２ｂが回転された場合や、各々のランプ吊下保持部４１におけるボールねじ４２の頭部４２ｂを互いに逆方向に回転させてしまった場合など、各々の可動体４５が互いに異なる移動量で移動されたとしても、可動体４５の上下動に伴ってランプホルダ５５が可動体４５の枢支軸５３の周りに揺動されるので、エキシマランプ３０とホルダ支持部材６０は常に平行状態が維持される。従って、エキシマランプ３０の発光管３１に無理な力（せん断力）が加わることがなく、エキシマランプ３０が破損することを回避することができる。
また、エキシマランプ３０の高さ位置の調整に際して、各々の可動体４５を、例えば同方向に同一の大きさの移動量で同時に、移動させる必要がないので、この点においても、エキシマランプ３０の高さ位置の調整を極めて容易に行うことができる。

さらにまた、ランプホルダ５５の各々が、両端部が可動体４５の各々における枢支軸５３に枢支されたホルダ支持部材６０に設けられ、ホルダ支持部材６０に、エキシマランプ変形規制部材６５が設けられた構成とされていることにより、さらに、次のような効果を得ることができる。すなわち、発光管３１の紫外線照射による経時的な劣化に起因した上方に反るような変形がエキシマランプ３０に生じることを、エキシマランプ変形規制部材６５によって防止することができるので、エキシマランプ３０と被処理物６０との離間距離を面方向の全域にわたって適正な大きさに維持することができ、所期の処理を確実に行うことができる。

さらにまた、可動体４５の上下動に際して、可動体４５に設けられた一対のガイドピン４７が隔壁２２に形成された各々のガイドピン挿入用孔２４によって案内されて可動体４５の上下方向以外の方向の移動が規制される構成とされていることにより、可動体４５の移動に際して可動体４５が例えば回転してエキシマランプ３０を屈曲させるような力がエキシマランプ３０に加わることを防止することができる。従って、エキシマランプ３０の高さ位置の調整時において、エキシマランプ３０が破損することを回避することができると共に、調整作業自体を円滑に行うことができる。

さらにまた、筺体２１の内部空間を区画する隔壁２２に設けられたボールねじ機構によって可動体４５が上下方向に移動される構成とされていることにより、隔壁２２の上方側からエキシマランプ３０の高さ位置の調整作業を行うことができるので、高い作業性を得ることができる。

そして、上記のエキシマ光照射装置は、例えば、軸方向（図１における左右方向）における寸法が３０００ｍｍ以上であり、幅方向（図１において紙面に垂直な方向）における寸法が７００ｍｍ以上である大型の被処理物Ｗが処理可能なものとして、極めて有用なものとなる。

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、種々の変更を加えることができる。
例えば、ランプ吊下保持部を構成するランプホルダが、直接的に、可動体の枢支軸に枢支されて枢支軸の周りに揺動可能に設けられた構成とされていてもよい。

図７は、本発明のエキシマ光照射装置の他の例におけるランプ保持機構の構成の概略を、一部を断面で示す正面図である。
このエキシマ光照射装置においては、ランプホルダがホルダ支持部材に固定されて設けられた構成とされることに代えて、ランプホルダ５５ａが可動体４５ａにおける枢支軸５３に枢支されて当該枢支軸５３の周りに揺動可能に設けられた構成とされていることの他は、上記実施形態のエキシマ光照射装置と同一の構成を有するランプ吊下保持部４１を備えている。
この例におけるランプ吊下保持部４１の構成について具体的に説明すると、ブロック状の可動体４５ａの正面および背面の各々に、当該正面および背面に対して垂直に外方に突出して延びる枢支軸５３が設けられており、ランプホルダ５５ａが、各々の側板５６に形成された貫通孔に各々の枢支軸５３が挿入された状態で、設けられている。

本発明においては、エキシマランプ変形規制部材は、ランプ保持機構に設けられている必要はなく、従って、このエキシマ光照射装置においては、例えば、エキシマランプ変形規制部材が着脱可能に構成されたエキシマランプ変形規制部材装着部を筺体２１における隔壁２２に形成しておき、エキシマランプ３０の高さ位置の調整後に、エキシマランプ変形規制部材を装着すればよい。

このエキシマ光照射装置においても、エキシマランプ３０の高さ位置の調整に際して、例えば図８に示すように、一方のランプ吊下保持部４１ａにおけるボールねじ４２の頭部４２ｂが回転された場合や、各々のランプ吊下保持部４１におけるボールねじ４２の頭部４２ｂを互いに逆方向に回転させてしまった場合など、各々の可動体４５ａが互いに異なる移動量で移動されたとしても、可動体４５ａの上下動に伴ってランプホルダ５５ａが可動体４５ａの枢支軸５３の周りに揺動されるので、エキシマランプ３０全体が隔壁２２に対して傾く（斜めになる）だけで、エキシマランプ３０の発光管３１に無理な力（せん断力）が加わることがない。
このように、上記のエキシマ光照射装置においても、上記実施形態に係るエキシマ光照射装置と同様の効果を得ることができる。

さらにまた、本発明においては、ガイド機構は、上記実施形態に係るものに限定されるものではない。また、上記実施形態に係るエキシマ光照射装置において、筺体における隔壁の下面に下方に突出して延びるガイドピンが設けられ、可動体にその上面に開口するガイドピン挿入用孔が形成された構成とされていてもよい。

さらにまた、ランプホルダによるエキシマランプの保持構造についても、上記実施形態に係るものに限定されるものではなく、エキシマランプの数も特に制限されるものではない。例えば、複数のエキシマランプが、ランプ中心軸が同一水平面内に位置された状態で、互いに平行に離間して並ぶよう配置された構成とされていてもよい。

１０ 被処理物搬送ユニット
１１ ローラ用シャフト
１２ 搬送ローラ
１３ 搬送ローラ支持部材
１５ 基台
２０ ランプユニット
２１ 筐体
２２ 隔壁
２３ 貫通孔
２３ａ 凹所
２４ ガイドピン挿入用孔
２５ 蓋部材
Ｓ１ 電装体配置空間部
Ｓ２ ランプ配置空間部
３０ エキシマランプ
３１ 発光管
３２ 外部電極
３５ ベース部材
３６ 柱状突起
４１，４１ａ ランプ吊下保持部
４２ ボールねじ
４２ａ ねじ部
４２ｂ 頭部
４３ 回転防止部材
４５，４５ａ 可動体
４６ 螺合装着部
４７ ガイドピン
５０ 支持アーム部
５１ 側板
５２ 連結板
５３ 枢支軸
５５，５５ａ ランプホルダ
５６ 側板
５７ 連結板
５８ スリット
６０ ホルダ支持部材
６５ エキシマランプ変形規制部材
７０ 筺体
７１ 基台
７２ ランプホルダ
７５ エキシマランプ
７６ 外部電極
８０ 被処理物搬送ユニット
Ｗ 被処理物

Claims (4)

1. 下方が開口する筺体内において、一方向に延びる発光管を備えたエキシマランプが、その両端がランプ保持機構によって吊下保持された状態で、設けられたエキシマ光照射装置において、
   前記ランプ保持機構は、前記一方向に離間した位置において、各々上下方向に移動可能に設けられた一対の可動体と、当該可動体の移動に伴って上下方向に移動される前記エキシマランプの両端の各々を保持する一対のランプホルダとを備えており、
   前記可動体の各々は、水平面内において前記一方向と直交する方向に延びる軸部を有し、前記ランプホルダの各々が対応する可動体における当該軸部の周りに揺動可能に設けられていることを特徴とするエキシマ光照射装置。
2. 前記エキシマランプは、紫外線反射膜が発光管における上方領域の内面に形成されてなるものであって、
   前記ランプホルダの各々は、前記可動体の各々における軸部に両端部が枢支された、前記一方向に延びる棒状のホルダ支持部材に設けられており、
   当該ホルダ支持部材には、前記エキシマランプの反りによる変形を規制するエキシマランプ変形規制部材が設けられていることを特徴とする請求項１に記載のエキシマ光照射装置。
3. 前記可動体の上下方向以外の方向の移動を規制するガイド機構をさらに備えていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のエキシマ光照射装置。
4. 前記筺体は、内部空間が水平に延びる隔壁によって上下に区画されており、
   前記可動体の各々には、当該隔壁を貫通して上下方向に延びるボールねじのねじ部が螺合連結されており、当該ボールねじのねじ軸の回転によって当該可動体が上下方向に移動されることを特徴とする請求項１に記載のエキシマ光照射装置。

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