KR20140101312A - 자외선 조사 장치 - Google Patents

Abstract

광조사부에 충분한 가동성을 가지고, 파장 200nm 이하의 자외선을 높은 출력으로 조사할 수 있는 자외선 조사 장치를 제공하는 것이다.
쇼트 아크형의 플래시 램프와, 상기 플래시 램프에 에너지를 공급하는 주방전 콘덴서와, 상기 주방전 콘덴서를 충전하는 충전 회로를 가지는 전원부를 가지고, 상기 플래시 램프 및 상기 주방전 콘덴서는, 상기 전원부와 별체의 케이싱에 내장되어 광조사부로서 구성되어 있으며, 상기 충전 회로와 상기 주방전 콘덴서는, 가요성을 가지는 전선에 의해 접속되어 있는 것을 특징으로 한다.

Description

자외선 조사 장치{ULTRAVIOLET IRRADIATION APPARATUS}

본 발명은, 쇼트 아크형의 플래시 램프를 광원으로 한 자외선 조사 장치에 관한 것이다.

섬광 방사되는 자외선을 이용하여, 반도체 검사나 반도체 기판의 표면 처리가 행해지고 있다.

쇼트 아크형 플래시 램프(이하, 간단히 「플래시 램프」라고도 한다.) 로서는, 예를 들면 특허 문헌 1에 개시된 것이 알려져 있다. 구체적으로는, 이 플래시 램프는, 유리 벌브 내에 양극과 음극이 대향해서 배치되어 있으며, 2개의 트리거 전극이 양극과 음극 사이에 위치하도록 배치되어 있다. 이러한 플래시 램프는, 주방전 콘덴서에 공급한 고전압의 에너지를 양극과 음극 사이에 공급함으로써, 자외선을 섬광 방사하는 것이다. 또, 주방전에 앞서, 트리거 전극에 트리거 전압을 인가함으로써, 절연 파괴를 유발하는 것이다.

또, 예를 들면 특허 문헌 2에는, 플래시 램프용의 전원 회로가 개시되어 있다.

최근, 반도체 기판의 표면 처리 공정에 있어서, 섬광 방사되는 자외선을 피처리체의 근방까지 도광시키기 위해, 하우징 내에, 플래시 램프를 가지는 광원부와, 특허 문헌 2의 도 1에 나타내는 전원 회로를 구비하고, 광원부로부터 연장되는 유리 파이버를 가지는 광원 장치가 알려져 있다(예를 들면 특허 문헌 3 참조).

그러나, 이러한 유리 파이버를 가지는 광원 장치에서는, 유리 파이버로서, 자외선의 투과율이 높은 석영 유리를 이용해도, 파장 200nm 이하의 자외선의 투과율이 낮기 때문에, 200nm 이하의 단파장의 자외선을 피처리체의 근방까지 도광시키는 것은 어렵다는 문제가 있다. 또, 유리 파이버는 가요성이 부족하고, 충분한 가동성을 얻을 수 없다는 문제도 있다.

그래서, 상기 문제를 해결하기 위해, 하우징 내로부터 플래시 램프를 꺼내, 플래시 램프와 하우징 내의 전원 회로를 전선 등으로 접속하는 구성을 생각할 수 있다.

그러나, 이러한 구성에 있어서는, 플래시 램프와 전원 회로에 있어서의 주방전 콘덴서의 이격 거리가 길어짐으로써, 플래시 램프와 주방전 콘덴서의 사이의 임피던스가 커진다. 따라서, 전극 간에서 형성되는 아크 기둥으로부터 방사되는 광은, 자외선의 방사 강도가 작은 것이 되고, 자외선보다 장파장측의 가시광선의 방사 강도가 큰 것이 된다.

일본국 특허공개 2000-76921호 공보 일본국 특허공개 2001-37095호 공보 일본국 특허공개 2008-47366호 공보

본 발명은, 이상과 같은 사정에 의거하여 이루어진 것이며, 그 목적은, 광조사부에 충분한 가동성을 가지고, 파장 200nm 이하의 자외선을 높은 출력으로 조사할 수 있는 자외선 조사 장치를 제공하는 것에 있다.

본 발명의 자외선 조사 장치는, 쇼트 아크형의 플래시 램프와,

상기 플래시 램프에 에너지를 공급하는 주방전 콘덴서와,

상기 주방전 콘덴서를 충전하는 충전 회로를 가지는 전원부를 가지고,

상기 플래시 램프 및 상기 주방전 콘덴서는, 상기 전원부와 별체의 케이싱에 내장되어 광조사부로서 구성되어 있으며,

상기 충전 회로와 상기 주방전 콘덴서는, 가요성을 가지는 전선에 의해 접속되어 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 자외선 조사 장치에 있어서는, 상기 광조사부가, 광조사 위치와, 광조사 위치로부터 벗어난 위치 사이에서 이동 가능하게 설치되는 구성으로 할 수 있다.

본 발명의 자외선 조사 장치에 있어서는, 상기 광조사부가 핸드 피스형의 광조사 헤드로서 구성되는 구성으로 할 수 있다.

본 발명의 자외선 조사 장치에 있어서는, 상기 광조사부의 케이싱에 상기 플래시 램프를 점등시키기 위한 트리거 회로가 내장되어 있는 것이 바람직하다.

본 발명의 자외선 조사 장치에 있어서는, 광조사부를 구성하는 플래시 램프 및 주방전 콘덴서가, 전원부와 별체의 케이싱에 내장되어 있으며, 전원부의 충전 회로와 광조사부의 주방전 콘덴서가, 가요성을 가지는 전선에 의해 접속되어 있다. 따라서, 광조사부는 충분한 가동성을 가지고, 또, 플래시 램프와 주방전 콘덴서의 이격 거리가 짧아지므로, 이 사이의 임피던스가 작아지기 때문에, 전극 간에서 형성되는 아크 기둥으로부터 방사되는 광은, 자외선의 방사 효율이 높아지고, 그 결과, 파장 200nm 이하의 자외선을 높은 출력으로 조사할 수 있다.

또, 본 발명의 자외선 조사 장치에 의하면, 광조사부가, 광조사 위치와, 광조사 위치로부터 벗어난 위치 사이에서 이동 가능하게 설치되어 있음으로써, 예를 들면 반도체 검사나 반도체 기판의 세정 처리 등의 표면 처리 등을 행하는 경우에 있어서도, 매우 유용한 것이 된다.

또, 본 발명의 자외선 조사 장치에 의하면, 광조사부가 핸드 피스형의 광조사 헤드로서 구성되어 있음으로써, 손으로 파지할 수 있으므로, 높은 조작성을 얻을 수 있어, 예를 들면 좁은 공간 등에 진입시켜 자외선 조사하는 경우에 있어서도, 매우 유용한 것이 된다.

또한, 본 발명의 자외선 조사 장치에 의하면, 광조사부의 케이싱에 트리거 회로가 내장되어 있음으로써, 플래시 램프와 트리거 회로의 이격 거리가 짧아지므로, 전압 강하가 억제되어, 보다 확실한 트리거 방전이 가능해진다.

도 1은 본 발명의 자외선 조사 장치의 구성의 일례를 나타내는 개략도이다.
도 2는 도 1의 자외선 조사 장치에 있어서의 광조사부의 내부 구조의 일례의 개략을 나타내는 설명용 단면도이다.
도 3은 도 2의 광조사부에 있어서의 플래시 램프의 구성의 일례의 개략을 나타내는 설명용 단면도이다.
도 4는 도 1의 자외선 조사 장치의 회로의 구성의 일례를 나타내는 설명도이다.
도 5는 도 1의 자외선 조사 장치의 사용 상태의 일례를 나타내는 개략도이다.
도 6은 본 발명의 자외선 조사 장치의 구성의 다른 예를 나타내는 개략도이다.
도 7은 도 6의 자외선 조사 장치에 있어서의 광조사부의 내부 구조의 일례의 개략을 나타내는 설명용 단면도이다.
도 8은 도 6의 자외선 조사 장치의 회로의 구성의 일례를 나타내는 설명도이다.

이하, 본 발명에 대해서 상세하게 설명한다.

＜제1 실시 형태＞

도 1은, 본 발명의 자외선 조사 장치의 구성의 일례를 나타내는 개략도이며, 도 2는, 도 1의 자외선 조사 장치에 있어서의 광조사부의 내부 구조의 일례의 개략을 나타내는 설명용 단면도이고, 광조사부를 구성하는 케이싱의 길이 방향을 따라 절단한 단면도이며, 도 3은, 도 2의 광조사부에 있어서의 플래시 램프의 구성의 일례의 개략을 나타내는 설명용 단면도이고, 도 4는, 도 1의 자외선 조사 장치의 회로의 구성의 일례를 나타내는 설명도이다.

이 자외선 조사 장치(60)는, 예를 들면 반도체 기판의 세정 처리 등의 표면 처리 등을 행하는 경우에 이용되는 것이다.

자외선 조사 장치(60)는, 쇼트 아크형의 플래시 램프(41) 및 이 플래시 램프(41)에 에너지를 공급하는 주방전 콘덴서 Cm이 케이싱(72)에 내장되어 이루어지는 광조사부(71)와, 주방전 콘덴서 Cm을 충전하는 충전 회로(1)(도 4 참조)가 케이싱(72)과는 별체의 하우징(62)에 내장되어 이루어지는 전원부(61)를 구비하고, 광조사부(71)와 전원부(61)가, 가요성을 가지는 장척의 복수(도 1의 예에서는 3개)의 전선(31a)에 의해 접속되어 있다.

도 1에 있어서, 부호 63은 전원 스위치를 나타내고, 부호 64는 조작판을 나타낸다.

광조사부(71)는, 도 2에 나타내는 바와 같이, 전체가 직육면체형상인 케이싱(72)을 구비하고 있다. 이 케이싱(72)은, 예를 들면 알루미늄에 의해 형성되어 있다.

케이싱(72)의 저면(도 2에 있어서의 하면)에는, 후술하는 램프 유닛(80)을 배치하기 위한 개구(72K)가 형성되어 있다. 또, 케이싱(72)의 둘레측면에는, 전선(31a)을 삽입 통과시키기 위한 삽입 통과 구멍(도시하지 않음)이 설치되어 있다.

케이싱(72) 내의 일단(도 2에 있어서의 좌측단)측의 공간 영역에는, 플래시 램프(41)를 구비하는 램프 유닛(80)이 배치되어 있으며, 케이싱(72) 내의 타단(도 2에 있어서의 우측단)측의 공간 영역에는, 주방전 콘덴서 Cm이 배치되어 있다.

램프 유닛(80)은, 플래시 램프(41)와, 플래시 램프(41)로부터의 광을 반사하는 반사 미러(82)와, 이 플래시 램프(41) 및 반사 미러(82)를 지지하는, 저면(도 2에 있어서의 하면)에 원형의 개구(81K)를 가지는 지지대(81)에 의해 구성된다.

지지대(81)의 개구(81K)에는, 플래시 램프(41)로부터의 광 및 반사 미러(82)에 의해 반사된 광을 투과하는 투과창(86)이 배치되어 있다.

반사 미러(82)는, 내면에 예를 들면 알루미늄 증착막으로 이루어지는 타원면형상의 반사면을 가지는 반사부(83)와, 이 반사부(83)의 광조사 방향 후단에 연속해서 광축 방향으로 연장되는 통형상 목부(84)를 가진다. 반사 미러(82)의 광조사 방향 전방의 개구(82K)에는, 플래시 램프(41)로부터의 광 및 반사 미러(82)의 반사부(83)에 의해 반사된 광을 투과하는 전면(前面) 유리(85)가 배치되어 있다. 반사 미러(82)는, 전면 유리(85)가 투과창(86)과 대향하도록, 지지대(81) 상에 배치되어 고정되어 있다.

플래시 램프(41)는, 반사 미러(82)의 통형상 목부(84) 내에, 플래시 램프(41)의 일방의 봉지부가 삽입 통과되고, 이 봉지부의 외주면과 통형상 목부(84)의 내주면 사이에 형성되는 간극에 충전된 접착제에 의해 고정되어 있다. 또, 플래시 램프(41)의 타방의 봉지부는 전면 유리(85)에 형성된 관통 구멍(도시하지 않음)에 삽입 통과되어 있다.

케이싱(72) 내의 주방전 콘덴서 Cm은, 케이싱(72)의 저면에 배치된 재치대(載置臺)(73) 상에 예를 들면 접착제 등에 의해 접착되어 고정되어 있다.

도 2에 있어서, 부호 74는, 커넥터(75)나 트리거 회로 기판(76)을 부착하기 위한 부착벽을 나타내고, 부호 77은, 전선(31a)과 전기적으로 접속된 배선을 나타낸다.

플래시 램프(41)는, 쇼트 아크형의 것이며, 예를 들면, 발광 가스가 봉입되어 이루어지는 것이며, 양단이 봉지되어, 내부에 방전 공간을 가지는 발광관과, 당해 발광관 내부의 방전 공간 내에 있어서 대향 배치된 한 쌍의 전극을 구비하고, 이 한 쌍의 전극의 사이에 트리거 전극이 설치되어 이루어지는 것이다.

구체적으로는, 도 3에 나타내는 바와 같이, 플래시 램프(41)는, 발광 공간을 형성하는 예를 들면 타원구형의 발광부(13) 및 당해 발광부(13)의 양단에 연속해서 관축방향 바깥쪽으로 연장되는 봉지부(14A, 14B)를 가지는 제1 석영 유리관(15)과, 직관형상의 제2 석영 유리관(18)이, 제2 석영 유리관(18)의 타단측 개구부(도 3에 있어서 우단측 개구부)가 제1 석영 유리관(15)에 있어서의 일방의 봉지부(14A)의 일단측 개구부(도 3에 있어서 좌단측 개구부)에 삽입되며, 이것에 의해 형성되는 이중관 부분(16)이 서로 용착되어 이루어지는 발광관(17)을 구비하고 있다.

또, 발광관(17)의 내부에는, 한 쌍의 주전극인 음극(27) 및 양극(28)이, 서로 대향해서 배치되어 있으며, 각각 선단에 음극(27) 및 양극(28)이 연접된 제1 전극봉(29) 및 제2 전극봉(30)이, 발광관(17) 내를 그 관축 C을 따라 바깥쪽으로 연장되어 발광관(17)의 양단으로부터 외부로 도출되도록, 발광관(17)의 양단에 있어서, 단이음 유리(19)에 의해 봉착(로드 시일)되어 있다. 여기에, 음극(27)과 양극(28)의 전극간 거리 d는, 예를 들면 1~10mm이다.

음극(27) 및 양극(28)은, 예를 들면 산화 발륨(BaO), 산화칼슘(CaO), 알루미나(Al₂O₃) 등의 역전자 방사성 물질이 함침된 텅스텐 소결물체에 의해 구성되어 있다.

제1 전극봉(29) 및 제2 전극봉(30)은, 예를 들면 텅스텐에 의해 구성되어 있다.

이 실시의 형태에 관련된 플래시 램프(41)에 있어서는, 발광관(17)의 내부에, 예를 들면 2개의 트리거 전극(32a, 32b), 및, 방전을 안정되게 발생시키기 위한 스파커 전극(40)으로 이루어지는 시동용 보조 전극이 배치되어 있다.

각각의 트리거 전극(32a, 32b)은, 예를 들면 가는 선상으로 형성되어 있으며, 선단부가 음극(27)의 선단과 양극(28)의 선단을 잇는 중심선 상에 있어서 서로 이격하여 위치되도록, 배치되어 있다. 그리고, 각각 선단에 트리거 전극(32a, 32b)이 접속된 로드형상의 내부 리드(이하, 「내부 리드봉」이라고 한다.)(33a, 33b)이, 발광관(17) 내에 있어서 음극(27)에 관련된 제1 전극봉(29)과 서로 평행하게 관축방향 바깥쪽으로 연장되어, 발광관(17)의 이중관 부분(16)에 있어서의 둘레 방향과 상이한 위치, 예를 들면 발광관(17)의 관축 C를 사이에 두고 서로 대향하는 위치에 기밀하게 매설된 금속박(35a, 35b)을 통하여, 외부 리드(38a, 38b)에 전기적으로 접속되어 있으며, 이것에 의해, 박 시일 구조가 형성되어 있다.

이 실시의 형태에 관련된 플래시 램프(41)에 있어서의 트리거 전극(32a, 32b)은, 선단을 향함에 따라 양극(28)에 접근하도록 발광관(17)의 관축 C에 대해 비스듬하게 배치되어 있다. 일방의 트리거 전극(32a)의 선단과 음극(27)의 선단의 이격 거리 및 타방의 트리거 전극(32b)의 선단과 양극(28)의 선단의 이격 거리는, 예를 들면, 음극(27)과 양극(28)의 전극간 거리 d가 3.0mm인 경우에는, 0.5~1.5mm이다.

각각의 트리거 전극(32a, 32b)은, 예를 들면 니켈, 텅스텐 혹은 그들을 포함하는 합금에 의해 구성되어 있으며, 내부 리드봉(33a, 33b)은, 예를 들면 텅스텐에 의해 구성되어 있다.

스파커 전극(40)은, 예를 들면 알루미나(Al₂O₃)로 이루어지는 원기둥형상의 머리부(40a) 및 이 머리부(40a)에 연속하는 축부(40b)를 가지고, 머리부(40a)에 접속된 예를 들면 니켈로 이루어지는 금속박(55)의 일단부가 음극(27)에 관련된 제1 전극봉(29)의 외주면에 접속되어 있음과 함께, 축부(40b)에 예를 들면 텅스텐으로 이루어지는 내부 리드 선(도시하지 않음)이 접속되어 있다. 그리고, 내부 리드 선은, 발광관(17)의 이중관 부분(16)에 있어서, 트리거 전극(32a, 32b)에 관련된 금속박(35a, 35b)과 전기적으로 절연된 상태로, 기밀하게 매설된 금속박(도시하지 않음)을 통하여, 외부 리드선에 전기적으로 접속되어 있으며, 이것에 의해, 박 시일 구조가 형성되어 있다.

한 쌍의 전극(27, 28)에 연결된 제1 전극봉(29), 제2 전극봉(30)은, 배선(77)을 통하여 전선(31a)과 전기적으로 접속되어 있으며, 트리거 전극(32a, 32b)에 접속된 외부 리드(38a, 38b)는, 배선(77)을 통하여 전선(31a)과 전기적으로 접속되어 있다.

발광관(17)의 방전 공간 내에는, 불활성 가스가 봉입되어 있다. 불활성 가스로서는, 크세논 가스, 크립톤 가스, 아르곤 가스, 또는 이들의 혼합 가스 등을 이용할 수 있다. 불활성 가스로서는, 자외선의 발광 효율의 관점에서 크세논 가스를 이용하는 것이 바람직하다.

불활성 가스의 봉입압은, 예를 들면, 0.1MPa~2MPa로 한다. 불활성 가스의 봉입압이 과소한 경우에는, 고출력의 광을 출사하는 것이 곤란해진다. 한편, 불활성 가스의 봉입압이 과대한 경우에는, 플래시 램프(41)이 점등하기 어려워지기 때문에 바람직하지 않다.

발광관(17)의 방전 공간에 있어서는, 파장 200nm 이하, 구체적으로는 150~200nm의 자외선이 방사된다.

이러한 플래시 램프(41)는, 1펄스당 5J 이상, 바람직하게는 5~300J의 에너지에 의해 점등된다. 1펄스당 에너지가 과소한 경우에는, 고출력의 광을 출사하는 것이 곤란해진다. 또, 1펄스당 에너지가 과대한 경우에는, 음극(27)의 이미터 물질이 증발함으로써, 당해 전극의 수명이 현저하게 짧아지기 때문에, 실용적이지 않다.

상기의 플래시 램프(41)의 일 구성예를 나타내면, 발광관(17)을 구성하는 제1 석영 유리관(15)에 있어서의 봉지부(14A, 14B)의 외경이 10mm, 두께가 1.5mm, 제2 석영 유리관(18)의 두께가 1.0mm, 제1 전극봉(29) 및 제2 전극봉(30)의 외경이 φ2.0mm, 길이가 50mm, 금속박(35a, 35b)의 두께가 25μm, 폭이 5mm, 길이가 15mm, 음극(27)과 양극(28)의 전극간 거리 d가 3mm, 트리거 전극(32a, 32b)의 외경이 0.2~0.5mm, 내부 리드봉(33a, 33b)의 외경이 φ1.0mm이다. 또, 플래시 램프(41)의 점등 조건은, 램프 입력(최대)이 300W, 점등 주파수가 60Hz, 펄스폭 15μs, 1회의 발광 에너지가 50J이다.

주방전 콘덴서 Cm은, 예를 들면 필름 콘덴서로 한다.

주방전 콘덴서 Cm은, 배선(77)을 통하여 전선(31a)에 전기적으로 접속되어 있다.

전원부(61)는, 전체가 상자형인 예를 들면 알루미늄으로 이루어지는 하우징(62)을 구비하고 있다. 이 하우징(62)에는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 주방전 콘덴서 Cm을 충전하는 충전 회로(1)가 내장되어 있다. 이 충전 회로(1)는, 플래시 램프(41)의 발광 타이밍을 제어하는 출력 회로(2), 이 출력 회로(2)를 제어하는 제어 회로(3), 및, 주방전 콘덴서 Cm에 전력을 공급하는 고전압 DC 회로(4)로 구성된다.

광조사부(71)의 케이싱(72)에는, 플래시 램프(41)를 점등시키기 위한 트리거 회로(5)가 내장되어 있다.

충전 회로(1)에 있어서는, 출력 회로(2) 및 제어 회로(3)가, 고전압 DC 회로(4)에 전기적으로 접속되어 있음과 함께, 전선(31a)을 통하여 전원부(61)와는 별체의 케이싱(72)에 내장된 주방전 콘덴서 Cm에 전기적으로 접속되어 있다.

트리거 회로(5)는, 전선(31a)을 통하여 충전 회로(1)에 전기적으로 접속되어 있음과 함께, 플래시 램프(41)의 트리거 전극(32a, 32b)에 전기적으로 접속되어 있다.

주방전 콘덴서 Cm은, 일단이 접지되고, 타단이 전선(31a)을 통하여 고전압 DC 회로(4)에 전기적으로 접속되어 있음과 함께, 양단 모두 플래시 램프(41)의 전극(27, 28)에 전기적으로 접속되어 있다.

전선(31a)은, 가요성을 가지는 절연물로 피복된 구성으로 되어 있다.

전선(31a)으로서는, 가요성을 가지는 것이면 특별히 한정되지 않으며, 예를 들면 구리선 등을 들 수 있다.

전선(31a)은, 광조사부(71)에 충분한 가동성을 부여하는 관점에서, 길이가 각각 예를 들면 1~5m, 전선(31a)의 외경이 예를 들면 10~30mm이 된다.

전원부(61)에 있어서의 플래시 램프(41)로의 입력 에너지는, 예를 들면 5~100J(주방전 콘덴서 Cm의 정전 용량이 예를 들면 10~100μF, 충전 전압이 예를 들면 200~2000V)이 되며, 트리거 에너지는, 예를 들면 10~100mJ(콘덴서 용량이 예를 들면 0.1~0.3μF), 트리거 출력 개방 전압이 예를 들면 3~20kV가 된다.

자외선 조사 장치(60)의 구체적인 치수의 일례를 들면, 광조사부(71)에 있어서의 케이싱(72)은, 세로 290mm, 가로 550mm, 높이 320mm이다.

전원부(61)에 있어서의 하우징(62)은, 세로 300mm, 가로 450mm, 높이 250mm이다.

전선(31a)은, 길이 1.5m, 외경 20mm이다.

이상과 같은 자외선 조사 장치(60)에 있어서는, 고전압 DC 회로(4)에 의해 주방전 콘덴서 Cm에 전력을 공급하여 충전하고, 충전이 완료된 상태로 제어 회로(3)로부터 출력 회로(2)에 발광 신호를 출력한다. 이 발광 신호가 입력되면, 출력 회로(2)에서는, 트리거 회로(5)로 트리거 신호를 출력하고, 트리거 회로(5)에 의해 플래시 램프(41)를 점등시키기 위한 고전압 펄스(수kV~수십kV)를, 트리거 전극(32a, 32b)에 인가하여, 절연 파괴를 발생시킴으로써, 주방전 콘덴서 Cm에 축적된 에너지가 플래시 램프(41)에 투입되어, 파장 200nm 이하의 자외선이 발광된다. 발광된 자외선은 광조사창(86)을 통하여 케이싱(72)의 개구(72K)로부터 외부로 조사된다.

도 5는, 도 1의 자외선 조사 장치의 사용 상태의 일례를 나타내는 개략도이다.

이 자외선 조사 장치(60)의 광조사부(71)는, 예를 들면 반도체 기판의 세정 처리 등의 표면 처리가 행해지는 처리실을 형성하는 하우징(90) 상에 올려 놓아져 있다. 구체적으로는, 광조사부(71)의 케이싱(72)이, 하우징(90)의 상부에 배치된, 하우징(90)의 길이 방향에 평행하게 연장되는 2개의 가이드 레일(92) 상에 지지되어 있으며, 도시하지 않는 구동 기구에 의해, 가이드 레일(92)을 따라 왕복 이동 가능하게 되어 있다. 그리고, 광조사부(71)를 가이드 레일을 따라 왕복 이동시킴으로써, 광조사부(71)를 광조사 위치〔I〕와, 광조사 위치로부터 벗어난 위치〔II〕 사이에서 이동시킬 수 있다.

이 예에 있어서는, 광조사 위치〔I〕는, 광조사부(71)에 있어서의 투과창(86)의 바로 아래에, 반도체 기판 등의 피처리체 W를 올려 놓는 재치대(91)가 위치하는 장소이다. 광조사 위치〔I〕와, 광조사 위치로부터 벗어난 위치〔II〕의 이격 거리는, 예를 들면 30cm이 된다.

이상과 같은 자외선 조사 장치(60)에 의하면, 주방전 콘덴서 Cm이, 플래시 램프(41)와 동일한 케이싱(72)에 내장되는 구성에 의해, 주방전 콘덴서와 플래시 램프를 별체로서 구성하는 경우에 비해, 주방전 콘덴서와 플래시 램프의 이격 거리가 짧아지므로, 플래시 램프(41)와 주방전 콘덴서 Cm의 사이의 임피던스가 작아지기 때문에, 파장 200nm 이하의 자외선의 방사 효율이 높아지고, 또, 단시간에 주방전 콘덴서 Cm에 충전된 에너지를 플래시 램프(41)에 공급할 수 있어, 그 결과, 파장 200nm 이하의 자외선을 높은 출력으로 조사하는 것이 가능해진다.

또, 광조사부(71)의 주방전 콘덴서 Cm과 전원부(61)의 충전 회로(1)가 가요성을 가지는 전선(31a)에 의해 접속되어 있음으로써, 광조사부(71)에 충분한 가동성을 얻을 수 있다.

특히, 광조사부(71)가, 광조사 위치와, 광조사 위치로부터 벗어난 위치 사이에서 이동 가능하게 설치되어 있음으로써, 예를 들면 반도체 검사나 반도체 기판의 세정 처리 등의 표면 처리 등을 행하는 경우에 있어서도, 매우 유용한 것이 된다.

또한, 트리거 회로(5)를 광조사부(71)의 케이싱(72)에 내장시킴으로써, 트리거 회로(5)와 플래시 램프(41)의 이격 거리가 짧아지므로, 전압 강하가 억제되고, 보다 확실한 트리거 방전이 가능해진다.

＜제2 실시 형태＞

도 6은, 본 발명의 자외선 조사 장치의 구성의 다른 예를 나타내는 개략도이며, 도 7은, 도 6의 자외선 조사 장치에 있어서의 광조사부의 내부 구조의 일례의 개략을 나타내는 설명용 단면도이고, 광조사부를 구성하는 케이싱의 길이 방향을 따라 절단한 단면도이며, 도 8은, 도 6의 자외선 조사 장치의 회로의 구성의 일례를 나타내는 설명도이다.

이 자외선 조사 장치(10)는, 손으로 파지할 수 있는 핸드 피스형의 것이며, 예를 들면 좁은 공간 등에 진입시켜 자외선 조사하는 경우에 이용되는 것이다.

이 자외선 조사 장치(10)는, 쇼트 아크형의 플래시 램프(41A) 및 이 플래시 램프(41A)에 에너지를 공급하는 주방전 콘덴서 Cm이 케이싱(22)에 내장되어 이루어지는 광조사부(21)와, 주방전 콘덴서 Cm을 충전하는 충전 회로(1)(도 8 참조)가 케이싱(22)과는 별체의 하우징(12)에 내장되어 이루어지는 전원부(11)를 구비하고, 광조사부(21)와 전원부(11)가, 가요성을 가지는 장척의 복수의 전선(31a)으로 이루어지는 케이블(31)에 의해 접속되어 있다.

광조사부(21)는, 도 7에 나타내는 바와 같이, 전체가 바닥이 있는 원통형상의 케이싱(22)을 구비하고 있으며, 손으로 파지할 수 있는 핸드 피스형의 광조사 헤드로서 구성되어 있다. 이 케이싱(22)은, 예를 들면 알루미늄 합금 등에 의해 형성되어 있다.

케이싱(22)의 길이 방향의 일단(도 7에 있어서의 좌측단)에는, 원형의 개구(22K)가 형성되어 있다. 개구(22K) 위치에는, 후술하는 플래시 램프(41A)의 광조사창(43)이 배치되어 있다. 또, 케이싱(22)의 일단(개구(22K)의 주연부)에는, 케이싱(22)의 반경 방향으로 돌출된 안쪽 플랜지부(22b)가 형성되어 있다.

또, 케이싱(22)의 둘레측면의 중앙 위치에는, 케이블(31)을 삽입 통과시키기 위한 삽입 통과 구멍(26)이 설치되어 있다.

케이싱(22) 내의 일단(도 7에 있어서의 좌측단)측의 공간 영역에는, 플래시 램프(41A)가 배치되어 있으며, 케이싱(22) 내의 타단(도 7에 있어서의 우측단)측의 공간 영역에는, 주방전 콘덴서 Cm이 배치되어 있다. 이 플래시 램프(41A)와 주방전 콘덴서 Cm 사이에는, 2장의 위치 결정용의 기판(25a, 25b)이, 서로 케이싱(22)의 길이 방향으로 이격한 위치에 설치되어 있으며, 이들 기판(25a, 25b)은 커넥터(24)에 의해 전기적으로 접속되어 있다.

케이싱(22) 내의 주방전 콘덴서 Cm은, 케이싱(22)의 저부(22a)에 예를 들면 접착제 등에 의해 접착되어 고정되어 있다. 또, 케이싱(22) 내의 플래시 램프(41A)는, 케이싱(22)의 안쪽 플랜지부(22b)와 기판(25a)에 의해 지지 고정되어 있다. 기판(25a, 25b)은 각각 도시하지 않는 고정 부재에 의해 지지 고정되어 있다.

플래시 램프(41A)는, 쇼트 아크형의 것이며, 예를 들면, 발광 가스가 봉입되어 이루어지는 것이며, 양단이 봉지되어, 내부에 방전 공간을 가지는 발광관과, 당해 발광관 내부의 방전 공간 내에 있어서 대향 배치된 한 쌍의 전극을 구비하고, 이 한 쌍의 전극의 사이에 트리거 전극이 설치되어 이루어지는 것이다.

구체적으로는, 도 7에 나타내는 바와 같이, 플래시 램프(41A)는, 예를 들면 코발 금속으로 이루어지는 원통형상의 발광관(42)을 구비하고 있다. 발광관(42)의 관축방향의 일단(도 7에 있어서의 좌측단)에는, 발광관(42)의 반경 방향으로 돌출된 안쪽 플랜지부(42a)가 형성되어 있다.

플래시 램프(41A)는, 발광관(42)의 관축방향의 일단(도 7에 있어서의 좌측단)측의 개구가, 자외선 투과성을 가지는, 예를 들면 사파이어로 이루어지는 광조사창(43)에 의해 기밀하게 봉지됨과 함께, 타단(도 7에 있어서의 우측단)측의 개구가, 예를 들면 코발 유리로 이루어지는 스템 부재(44)에 의해 기밀하게 봉지되며, 이것에 의해, 방전 공간이 형성된 봉지 구조로 되어 있다. 구체적으로 설명하면, 광조사창(43)은, 발광관(42)의 내경에 적합한 반경을 가지는 원판형상을 가지고, 발광관(42)의 안쪽 플랜지부(42a)에 고정된 상태로 발광관(42)의 내면에 기밀하게 유지되어 있다. 또, 스템 부재(44)는, 발광관(42)의 내경에 적합한 반경을 가지는 원주 형상을 가지고, 발광관(42)의 내면에 기밀하게 융착되어 있다.

스템 부재(44)에는, 각각 예를 들면 코발 금속으로 이루어지는, 후술하는 전극(45, 46), 트리거 전극(47a, 47b) 및 스파커 전극(48)에 급전하기 위한 복수의 리드 핀(49, 50, 51, 52, 53)이, 당해 스템 부재(44)를 그 두께 방향으로 관통하여 발광관(42)의 관축방향을 따라 연장되도록 설치되어 있다.

방전 공간 내에는, 예를 들면, 텅스텐, 각종 산화물 도프 텅스텐, 이미터 함침 텅스텐 등의 고융점 금속으로 이루어지는 한 쌍의 전극(45, 46)이 발광관(42)의 관축방향과 수직인 방향(도 7에 있어서의 상하 방향)을 따라 서로 이격하여 대향하도록 배치되어 있다. 또, 예를 들면 텅스텐으로 이루어지는 침형상의 트리거 전극(47a, 47b)이, 그들의 선단이 한 쌍의 전극(45, 46)의 사이에 위치하도록 발광관(42)의 관축에 대해 비스듬한 상태로 배치되어 있다. 한 쌍의 전극(45, 46) 및 트리거 전극(47a, 47b)의 각각은, 리드 핀(49, 50, 51, 52)에 각각 전기적으로 접속되어 유지되어 있다. 그리고, 한 쌍의 전극(45, 46)을 유지하는 리드 핀(49, 50)은, 각각, 커넥터(24)에 의해 접속된 기판(25a, 25b)을 통하여 주방전 콘덴서 Cm에 전기적으로 접속되어 있다. 또, 트리거 전극(47a, 47b)을 유지하는 리드 핀(51, 52)은, 각각, 커넥터(24)에 의해 접속된 기판(25a, 25b)을 통하여 전선(31a)에 전기적으로 접속되어 있다.

또, 발광관(42) 내에는, 알루미나질의 절연애관(48a)과, 이 절연애관(48a) 내에 삽입되어 당해 절연애관(48a)의 일단으로부터 돌출하는 가는 텅스텐선(48b)으로 이루어지는 스파커 전극(48)이 설치되어 있다. 이 스파커 전극(48)에 있어서의 텅스텐선(48b)의 선단부는, 리드 핀(53)의 선단부에 접합되어 전기적으로 접속되며, 절연애관(48a)은, 일방의 전극(46)을 유지하는 리드 핀(50)의 중앙 부분에 유지되어 있다.

도 7 중, 부호 54는, 예를 들면 알루미늄 증착막으로 이루어지는 반사면을 가지는 반사 미러이다.

발광관(42)의 방전 공간 내에는, 불활성 가스가 봉입되어 있다. 불활성 가스로서는, 크세논 가스, 크립톤 가스, 아르곤 가스, 또는 이들의 혼합 가스 등을 이용할 수 있다. 불활성 가스로서는, 자외선의 발광 효율의 관점에서 크세논 가스를 이용하는 것이 바람직하다.

불활성 가스의 봉입압은, 예를 들면, 0.3MPa~0.8MPa로 되어 있다. 불활성 가스의 봉입압이 과소한 경우에는, 고출력의 광을 출사하는 것이 곤란해진다. 한편, 불활성 가스의 봉입압이 과대한 경우에는, 플래시 램프(41A)가 점등하기 어려워지기 때문에 바람직하지 않다.

발광관(42)의 방전 공간에 있어서는, 파장 200nm 이하, 구체적으로는 150~200nm의 자외선이 방사된다.

이러한 플래시 램프(41A)는, 1펄스당 5J 이상, 바람직하게는 5~300J의 에너지에 의해 점등된다. 1펄스당 에너지가 5J 미만인 경우에는, 고출력의 광을 출사하는 것이 곤란해진다. 또, 1펄스당 에너지가 300J를 넘는 경우에는, 한 쌍의 전극(45, 46) 중 음극이 되는 전극의 이미터 물질이 증발함으로써, 당해 전극의 수명이 현저하게 짧아지기 때문에, 실용적이지 않다.

플래시 램프(41A)의 구체적인 치수의 일례를 들면, 발광관(42)의 전체 길이가 40mm, 외경이 30mm, 내경이 29mm이며, 전극(45, 46)간 거리가 3mm, 광조사창(43)의 외경이 25mm, 두께가 2mm, 스템 부재(44)의 외경이 29mm, 두께가 5mm이다.

주방전 콘덴서 Cm은, 예를 들면 필름 콘덴서로 한다.

주방전 콘덴서 Cm은, 전선(31a)에 전기적으로 접속되어 있다.

전원부(11)는, 전체가 상자형인 예를 들면 알루미늄으로 이루어지는 하우징(12)을 구비하고 있다. 이 하우징(12)에는, 도 8에 나타내는 바와 같이, 주방전 콘덴서 Cm을 충전하는 충전 회로(1)가 내장되어 있다. 이 충전 회로(1)는, 플래시 램프(41A)의 발광 타이밍을 제어하는 출력 회로(2), 이 출력 회로(2)를 제어하는 제어 회로(3), 및, 주방전 콘덴서 Cm에 전력을 공급하는 고전압 DC 회로(4)로 구성된다.

또, 전원부(11)의 하우징(12)에는, 충전 회로(1) 외에, 플래시 램프(41A)를 점등시키기 위한 트리거 회로(5)가 내장되어 있다.

충전 회로(1)에 있어서는, 출력 회로(2) 및 제어 회로(3)가, 고전압 DC 회로(4)에 전기적으로 접속되어 있음과 함께, 전선(31a)을 통하여 전원부(11)와는 별체의 케이싱(22)에 내장된 주방전 콘덴서 Cm에 전기적으로 접속되어 있다.

트리거 회로(5)는, 충전 회로(1)에 전기적으로 접속되어 있음과 함께, 전선(31a)을 통하여 전원부(11)와는 별체의 케이싱(22)에 내장된 플래시 램프(41A)의 트리거 전극(47a, 47b)에 전기적으로 접속되어 있다.

주방전 콘덴서 Cm은, 일단이 접지되고, 타단이 전선(31a)을 통하여 고전압 DC 회로(4)에 전기적으로 접속되어 있음과 함께, 양단 모두 플래시 램프(41A)의 전극(45, 46)에 전기적으로 접속되어 있다.

전원부(11)와 광조사부(21)를 접속하는 케이블(31)은, 복수(도시한 예에서는 4개)의 전선(31a)에 의해 구성되어 있으며, 구체적으로는, 주방전 콘덴서 Cm과 충전 회로(1)를 접속하는 복수(도시한 예에서는 3개)의 전선(31a), 및, 플래시 램프(41A)에 있어서의 트리거 전극(47a, 47b)과 트리거 회로(5)를 접속하는 전선(31a)에 의해 구성되어 있다.

케이블(31)은, 복수의 전선(31a)이 묶여져 가요성을 가지는 절연물로 피복된 구성으로 되어 있다. 또한, 본 실시 형태에 있어서는, 복수의 전선(31a)은 한개로 묶여져 구성되어 있지만, 각 전선(31a)이 독립적으로 절연물로 피복된 구성으로 되어 있어도 된다.

전선(31a)으로서는, 가요성을 가지는 것이면 특별히 한정되지 않으며, 예를 들면 구리선 등을 들 수 있다.

전선(31a) 및 케이블(31)은, 광조사부(21)에 충분한 가동성을 부여하는 관점에서, 길이가 각각 예를 들면 0.5~2m, 전선(31a)의 외경이 예를 들면 2~6mm, 케이블(31)의 외경이 10~20mm이 된다.

전원부(11)에 있어서의 플래시 램프(41A)로의 입력 에너지는, 예를 들면 5~100J(주방전 콘덴서 Cm의 정전 용량이 예를 들면 10~100μF, 충전 전압이 예를 들면 200~2000V)이 되며, 트리거 에너지는, 예를 들면 10~100mJ(콘덴서 용량이 예를 들면 0.1~0.3μF), 트리거 출력 개방 전압이 예를 들면 3~20kV가 된다.

자외선 조사 장치(10)의 구체적인 치수의 일례를 들면, 광조사부(21)에 있어서의 케이싱(22)의 전체 길이가 100mm, 외경이 40mm, 내경이 36mm, 개구(22K)의 직경이 28mm이다.

전원부(11)에 있어서의 하우징(12)의 길이가 20cm, 폭이 10cm, 높이가 10cm이며, 중량이 2~3kg이다.

전선(31a)의 길이가 1m, 외경이 3mm, 케이블(31)의 길이가 1m, 외경이 15mm이다.

이상과 같은 자외선 조사 장치(10)에 있어서는, 고전압 DC 회로(4)에 의해 주방전 콘덴서 Cm에 전력을 공급하여 충전하고, 충전이 완료된 상태로 제어 회로(3)로부터 출력 회로(2)에 발광 신호를 출력한다. 이 발광 신호가 입력되면, 출력 회로(2)에서는, 트리거 회로(5)로 트리거 신호를 출력하고, 트리거 회로(5)에 의해 플래시 램프(41A)를 점등시키기 위한 고전압 펄스(수kV~수십kV)를, 트리거 전극(47a, 47b)에 인가하여, 절연 파괴를 발생시킴으로써, 주방전 콘덴서 Cm에 축적된 에너지가 플래시 램프(41A)에 투입되어, 파장 200nm 이하의 자외선이 발광된다. 발광된 자외선은 광조사창(43)을 통하여 케이싱(22)의 개구(22K)로부터 외부로 조사된다.

이상과 같은 자외선 조사 장치(10)에 의하면, 주방전 콘덴서 Cm이, 플래시 램프(41A)와 동일한 케이싱(22)에 내장되는 구성에 의해, 주방전 콘덴서와 플래시 램프를 별체로서 구성하는 경우에 비해, 주방전 콘덴서와 플래시 램프의 이격 거리가 짧아지므로, 플래시 램프(41A)와 주방전 콘덴서 Cm의 사이의 임피던스가 작아지기 때문에, 파장 200nm 이하의 자외선의 방사 효율이 높아지고, 또, 단시간에 주방전 콘덴서 Cm에 충전된 에너지를 플래시 램프(41A)에 공급할 수 있어, 그 결과, 파장 200nm 이하의 자외선을 높은 출력으로 조사하는 것이 가능해진다.

또, 광조사부(21)의 주방전 콘덴서 Cm과 전원부(11)의 충전 회로(1)가 가요성을 가지는 전선(31a)에 의해 접속되어 있음으로써, 광조사부(21)에 충분한 가동성을 얻을 수 있다.

특히, 광조사부(21)가 핸드 피스형의 광조사 헤드로서 구성되어 있음으로써, 손으로 파지할 수 있으므로, 높은 조작성을 얻을 수 있으며, 예를 들면 좁은 공간 등에 진입시켜 자외선 조사하는 경우에 있어서도, 매우 유용한 것이 된다.

본 발명의 자외선 조사 장치는, 예를 들면 반도체 검사나 반도체 기판의 세정 처리 등의 표면 처리 등에 있어서, 적합하게 이용할 수 있으며, 또, 광조사부가 핸드 피스형의 광조사 헤드로서 구성되어 있는 경우에는, 높은 조작성을 가지므로, 예를 들면, 수렴 이온 빔(FIB)과 주사형 전자현미경(SEM)을 구비한 FIB-SEM 장치 등에 바람직하게 적용할 수 있다.

이상, 본 발명의 실시 형태에 대해서 설명했지만, 본 발명은 상기의 실시 형태에 한정되는 것이 아니며, 다양한 변경을 더할 수 있다.

이하, 본 발명의 효과를 확인하기 위해 행한 실험예를 나타낸다.

＜실험예 1＞

도 6~도 8에 나타내는 구성에 따라, 하기 사양의 자외선 조사 장치(A)를 제작했다.

［광조사부(21)］

·케이싱(22)； 재질： 알루미늄 합금, 치수： 전체 길이=100mm, 외경=40mm, 두께=2mm, 개구(22K)의 직경=28mm

·주방전 콘덴서(Cm)； 필름 콘덴서

·플래시 램프(41A)；

발광관(42)； 재질： 코발 금속, 치수： 전체 길이=40mm, 외경=30mm, 두께=0.5mm

스템 부재(44)； 재질： 코발 유리, 치수： 외경=29mm, 두께=5mm

광조사창(43)； 재질： 사파이어, 치수： 외경=25mm, 두께=2mm

리드 핀(49, 50)； 재질： 코발 금속, 치수： 외경=2mm, 길이=15mm

트리거 전극용 리드 핀(51, 52)； 재질： 코발 금속, 치수： 외경=1mm, 길이=15mm

스파커 전극용 리드 핀(53)； 재질： 코발 금속, 치수： 외경=1mm, 길이=10mm

일방의 전극(양극)； 재질： 텅스텐, 타방의 전극(음극)； 재질： BaO계 산화물 함침 텅스텐, 치수： 외경=4mm, 길이=4mm, 전극간 거리=3mm

트리거 전극(47)； 재질： 텅스텐, 치수： 외경=0.5mm

스파커 전극(48)； 외경이 1mm이며 내경이 0.5mm의 98%알루미나로 이루어지는 절연애관(48a)과 외경이 0.3mm의 텅스텐선(48b)으로 이루어지는 것

불활성 가스； 가스 종류： 크세논 가스, 봉입압=490335Pa

［전원부(11)］

·하우징(12)； 재질： 알루미늄, 치수： 전체 길이=20cm, 폭=10cm, 높이=10츠

·하우징(12)에 충전 회로(1) 및 트리거 회로(5)가 내장되어 있다

·입력 에너지： 40J(주방전 콘덴서 용량： 80μF, 충전 전압： 1000V)

［케이블(31)］

·케이블(31)； 치수： 길이=1m, 외경=15mm

·전선(31a)； 재질： 구리선, 치수： 길이=1m, 외경=3mm

상기 자외선 조사 장치(A)에 의해 자외선을 조사하고, 광조사창(43)에 대향하는 위치에 배치한 자외선 측정기에 의해, 플래시 램프(41A)로부터 조사되는 파장 150~200nm의 영역의 자외선의 강도를 측정했다.

＜실험예 2＞

실험예 1의 자외선 조사 장치에 있어서, 주방전 콘덴서(Cm)를 전원부(11)의 하우징(12)에 내장한 것 외에는 동일하게 하여 자외선 조사 장치(B)를 제작하고, 실험예 1과 동일한 자외선 측정을 행했다.

실험예 1의 자외선 조사 장치(A)로부터 조사되는 자외선 강도는, 실험예 2의 자외선 조사 장치(B)로부터 조사되는 자외선 강도에 대한 상대치로 1천배였다.

이상의 결과로부터, 본 발명의 자외선 조사 장치에 의하면, 파장 200nm 이하의 자외선을 높은 출력으로 조사하는 것이 가능하다는 것이 확인되었다.

1 충전 회로 2 출력 회로
3 제어 회로 4 고전압 DC 회로
5 트리거 회로 10 자외선 조사 장치
11 전원부 12 하우징
13 발광부 14A, 14B 봉지부
15 제1 석영 유리관 16 이중관 부분
17 발광관 18 제2 석영 유리관
19 단이음 유리 21 광조사부
22 케이싱 22K 개구
22a 저부 22b 안쪽 플랜지부
24 커넥터 25a, 25b 기판
26 삽입 통과 구멍 27 음극
28 양극 29 제1 전극봉
30 제2 전극봉 31 케이블
31a 전선 32a, 32b 트리거 전극
33a, 33b 내부 리드봉 35a, 35b 금속박
38a, 38b 외부 리드 40 스파커 전극
40a 머리부 40b 축부
41, 41A 플래시 램프 42 발광관
42a 안쪽 플랜지부 43 광조사창
44 스템 부재 45, 46 전극
47a, 47b 트리거 전극 48 스파커 전극
48a 절연애관 48b 텅스텐선
49, 50, 51, 52, 53 리드 핀 54 반사 미러
55 금속박 60 자외선 조사 장치
61 전원부 62 하우징
63 전원 스위치 64 조작판
71 광조사부 72 케이싱
72K 개구 73 재치대
74 부착벽 75 커넥터
76 트리거 회로 기판 77 배선
80 램프 유닛 81 지지대
81K 개구 82 반사 미러
82K 개구 83 반사부
84 통형상 목부 85 전면 유리
86 투과창 90 하우징
91 재치대 92 가이드 레일
Cm 주방전 콘덴서 W 피처리체

Claims (4)

1. 쇼트 아크형의 플래시 램프와,
   상기 플래시 램프에 에너지를 공급하는 주방전 콘덴서와,
   상기 주방전 콘덴서를 충전하는 충전 회로를 가지는 전원부를 가지고,
   상기 플래시 램프 및 상기 주방전 콘덴서는, 상기 전원부와 별체의 케이싱에 내장되어 광조사부로서 구성되어 있으며,
   상기 충전 회로와 상기 주방전 콘덴서는, 가요성을 가지는 전선에 의해 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 자외선 조사 장치.
2. 청구항 1에 있어서,
   상기 광조사부가, 광조사 위치와, 광조사 위치로부터 벗어난 위치 사이에서 이동 가능하게 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 자외선 조사 장치.
3. 청구항 1에 있어서,
   상기 광조사부가 핸드 피스형의 광조사 헤드로서 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 자외선 조사 장치.
4. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 광조사부의 케이싱에 상기 플래시 램프를 점등시키기 위한 트리거 회로가 내장되어 있는 것을 특징으로 하는 자외선 조사 장치.

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