JP7115735B2

JP7115735B2 - Ｖｕｖ光のフラッシュランプ照射処理装置

Info

Publication number: JP7115735B2
Application number: JP2018096242A
Authority: JP
Inventors: 幹弘小林; 淳井奥; 裕基杉下; 寛之田中
Original assignee: Yumex Inc
Current assignee: Yumex Inc
Priority date: 2018-05-18
Filing date: 2018-05-18
Publication date: 2022-08-09
Anticipated expiration: 2038-05-18
Also published as: JP2019200959A

Description

本発明は VUV光のフラッシュランプ照射処理装置に関し、特に複数のコンデンサの配置に関する。

特許文献１には、VUV（真空紫外）光をワークに照射するVUV光のフラッシュランプ照射処理装置が開示されている。

特許文献1の装置では、ハウジング内に、バージBOXが設けられている（同公報図５参照)。バージBOXには、オゾンの発生を防止するため、不活性ガスが供給される。これにより、有機樹脂を含むコンデンサおよびトリガー回路などが、オゾンにより劣化することを防止できる。

特開2015-126044号公報

発明者は、上記 VUV光のフラッシュランプ照射処理装置について、より高出力の照射を可能とするため、前記コンデンサを大容量化することを検討した。

しかし、上記大容量化するには、以下の問題を解決しなければならない。

1)前記ショートアークフラッシュランプに用いるコンデンサの上限は、せいぜい７０μFであるので、放電エネルギーは数ジュール程度である。これに対して、５０ジュール程度の放電エネルギーを放出するためには、４００μF程度のコンデンサを用意する必要がある。この場合、従来の７０μF程度のコンデンサを４～６程度並列接続することで解決できるが、これらの複数のコンデンサをランプに近づけて配置しなければならない。

2)前記放電エネルギーが大きくなると、コンデンサの劣化速度が高まり、交換頻度が高くなる。そのために、コンデンサの交換作業を容易にする必要がある。特に複数のコンデンサを用いる場合には、顕著となる。

3)前記放電エネルギーが大きくなると、発せられるVUV光も強力になる。かかるVUV光によりコンデンサ、コイルなどに用いられている有機樹脂が劣化する。

本発明は、上記相反する問題を解決し、コンデンサを並列接続した場合でも、複数のコンデンサをランプに近づけて配置できるVUV光のフラッシュランプ照射処理装置を提供することを目的とする。

さらに、交換容易でかつVUV光による劣化を防ぐことができるVUV光のフラッシュランプ照射処理装置を提供することを目的とする。

１）本発明にかかるVUV光のフラッシュランプ照射処理装置は、陰極と陽極が対向配置され、VUV光を発するショートアークフラッシュランプ、前記ショートアークフラッシュランプに電力供給するコンデンサ部、前記ショートアークフラッシュランプおよび前記コンデンサ部を格納する格納筐体を備えたVUV光のフラッシュランプ照射処理装置であって、前記ショートアークフラッシュランプと前記コンデンサ部とは、隔壁を介してガス侵入を防止できる程度に隔離された空間に格納されており、前記隔壁により、ランプ格納部およびコンデンサ部格納部が形成されており、前記ショートアークフラッシュランプは、前記陰極と前記陽極を結ぶ直線の方向をランプ配置方向として、前記ランプ格納部に保持されており、前記隔壁は前記ランプ配置方向に平行に配置されており、前記コンデンサ部は、複数のコンデンサで構成されており、前記複数のコンデンサは、前記隔壁と平行な平面上に、前記ランプ配置方向およびその直交する方向に行列配置されて前記コンデンサ部格納部に格納されており、さらに、前記複数のコンデンサのプラス側を電気的に接続する陽極側接続導体、前記複数のコンデンサのマイナス側を電気的に接続する陰極側接続導体、前記ショートアークフラッシュランプの照射光を、前記ランプ配置方向と平行な方向に、集光された光として反射する反射ミラー部、、前記陰極のリード棒端部近傍から、前記隔壁をほぼ直交するように通過し前記マイナス側接続導体と接続される陰極側第１配線、前記陽極のリード棒端部近傍から、前記隔壁をほぼ直交するように通過し前記プラス側接続導体と接続される陽極側第１配線、前記ランプ格納部における前記隔壁の対面に設けられたランプ側開閉部、前記コンデンサ部格納部における前記隔壁の対面に設けられたコンデンサ部側開閉部を備えており、前記陽極側接続導体および前記陽極側接続導体は、前記隔壁と平行に配置されている。

したがって、前記コンデンサ部へのガス侵入を防止できるとともに、ランプの長さ分は配線を短くすることができる。

２）本発明にかかるVUV光のフラッシュランプ照射処理装置は、陰極と陽極が対向配置され、VUV光を発するショートアークフラッシュランプ、前記ショートアークフラッシュランプに電力供給するコンデンサ部、前記ショートアークフラッシュランプおよび前記コンデンサ部を格納する格納筐体、を備えたVUV光のフラッシュランプ照射処理装置であって、前記ショートアークフラッシュランプと前記コンデンサ部とは、隔壁を介してガス侵入を防止できる程度に隔離された空間に格納されており、前記隔壁により、ランプ格納部およびコンデンサ部格納部が形成されており、前記ショートアークフラッシュランプは、前記陰極と前記陽極を結ぶ直線の方向をランプ配置方向として、前記ランプ格納部に保持されており、前記コンデンサ部は、複数のコンデンサで構成されており、前記複数のコンデンサは、前記隔壁と平行な平面上に、前記ランプ配置方向およびその直交する方向に行列配置されて前記コンデンサ部格納部に格納されており、さらに、前記陰極のリード棒端部近傍から、前記隔壁をほぼ直交するように通過し前記複数のコンデンサと電気的に接続される陰極側の配線、前記陽極のリード棒端部近傍から、前記隔壁をほぼ直交するように通過し前記複数のコンデンサと電気的に接続される陽極側の配線、前記複数のコンデンサのプラス側を電気的に接続する陽極側接続導体、前記複数のコンデンサのマイナス側を電気的に接続する陰極側接続導体、を備え、前記陽極側接続導体および前記陰極側接続導体は、前記隔壁と平行に配置されている。
したがって、前記コンデンサ部へのガス侵入を防止できるとともに、ランプの長さ分は配線を短くすることができる。

３）本発明にかかるVUV光のフラッシュランプ照射処理装置においては、前記陽極側接続導体および前記陰極側接続導体は、銅ブスバーである。したがって、インダクタンスの少ないVUV光のフラッシュランプ照射処理装置を提供することができる。

４）本発明にかかるVUV光のフラッシュランプ照射処理装置は、前記陽極側接続導体および前記陰極側接続導体は、各コンデンサごとにそれぞれ独立して構成され、かつ、前記隔壁と平行な平面上に配置された陽極側第２配線および陰極側第２配線である。したがって、コンデンサの交換が容易なVUV光のフラッシュランプ照射処理装置を提供することができる。

５）本発明にかかるVUV光のフラッシュランプ照射処理装置は、A)陰極と陽極が対向配置され、VUV光を発するショートアークフラッシュランプを格納するためのランプ格納部、B)以下のコンデンサ部を格納するコンデンサ部格納部、b1)前記ショートアークフラッシュランプに電力供給するコンデンサ部、C)を備えたVUV光のフラッシュランプ照射処理装置であって、D)前記ショートアークフラッシュランプと前記コンデンサ部とは、隔壁を介してガス侵入を防止できる程度に隔離された空間に格納されており、前記隔壁により、前記ランプ格納部およびコンデンサ部格納部が形成されており、E)前記ランプ格納部に格納されるショートアークフラッシュランプは、前記陰極と前記陽極を結ぶ直線の方向をランプ配置方向として、前記ランプ格納部に保持され、F)前記コンデンサ部は、複数のコンデンサで構成されており、前記複数のうち少なくとも一部が前記ランプ配置方向に配置されるように、前記コンデンサ部格納部に格納されており、G)前記コンデンサ部は、複数のコンデンサで構成されており、前記複数のコンデンサは、前記隔壁と平行な平面上に、前記ランプ配置方向およびその直交する方向に行列配置されて前記コンデンサ部格納部に格納されており、さらに、H)前記陰極のリード棒端部近傍から、前記隔壁をほぼ直交するように通過し前記複数のコンデンサと電気的に接続される陰極側の配線、I)前記陽極のリード棒端部近傍から、前記隔壁をほぼ直交するように通過し前記複数のコンデンサと電気的に接続される陽極側の配線、J）前記複数のコンデンサのプラス側を電気的に接続する陽極側接続導体、K）前記複数のコンデンサのマイナス側を電気的に接続する陰極側接続導体、を備え、L）前記陽極側接続導体および前記陰極側接続導体は、前記隔壁と平行に配置されている。
したがって、前記コンデンサ部へのガス侵入を防止できるとともに、ランプの長さ分は配線を短くすることができる。

６）本発明にかかるVUV光のフラッシュランプ照射処理装置においては、前記コンデンサ部と前記ショートアークフラッシュランプの陽極の間に位置するトリガーコイルは前記コンデンサ部格納部に格納されている。

したがって、前記トリガーコイルを保護できる。

本明細書の用語について、説明する。

「陽極側の配線」とは、第１実施形態では陽極側第１配線４１および銅ブスバー３９aが該当する。「陰極側の配線」とは、第１実施形態では陰極側第１配線４３および銅ブスバー３９bが該当する。

「プラス側接続導体」は、第１実施形態では銅ブスバー３９aが、第２実施形態では陽極側第２配線８１が該当する。マイナス側接続導体は、第１実施形態では銅ブスバー３９bが、第２実施形態では陰極側第２配線８２が該当する。

本発明にかかるフラッシュランプ照射処理装置１の外観斜視図である。ランプ点灯室３の扉４を開けた正面図である。コンデンサ室５の扉６を開けた正面図である。図１における側面壁８を取り除いた状態を示す側面図である。コンデンサとランプを連結する配線と隔壁との関係を説明するための図である。フラッシュランプ１０の点灯用の回路図である。銅ブスバーを採用しない変形実施形態を示す。図７における奥行き方向示す図である。

図１に、本発明にかかるフラッシュランプ照射処理装置１の外観斜視図を示す。フラッシュランプ照射処理装置１は、開閉自在な扉４，６を有する筐体２を備えている。筐体２は後述するように、隔壁で分離されることで、ランプ点灯室３およびコンデンサ室５が構成されている。

扉４と筐体２との間には、ロック機構が設けられており、ロック状態が保持可能である。扉6についても同様である。

図２に、ロック機構を外して、扉４を開けた状態のランプ点灯室３を示す。ランプ点灯室３は、フラッシュ型のショートアークフラッシュランプ１１、反射楕円ミラー１３、ショートアークフラッシュランプ１１および反射楕円ミラー１３を保持する保持具１７、ワークを保持するラボジャッキ１５、および保持具１７を保持する取付板１９を格納する。

この実施形態では、ショートアークフラッシュランプ１１は縦型配置されている（陰極側が下側、陽極側が上側）。すなわち、ショートアークフラッシュランプ１１は、陰極と陽極を結ぶ直線の方向をランプ配置方向αとして、ランプ配置方向αが鉛直方向となるように、ランプ点灯室３に保持されている。取り付け板１９は後述するように、隔壁２１にねじ止めされている。

図３に、扉６を開けた状態のコンデンサ室５を示す。コンデンサ室５は、取付板２９、複数のコンデンサ３１で構成されたコンデンサ部３２、トリガーコイル３３、多回路エネルギーモニタ３５およびダイオード３７を有する。

コンデンサ部３２は、縦に3つ、横に２つで計６つのコンデンサ３１が行列配置されている。各コンデンサ３１は、銅ブスバー３９で並列接続されている。

図４に、隔壁２１によってランプ点灯室３およびコンデンサ室５が分離された状態を説明するために、図１における側面壁８を取り除いた状態を示す。

隔壁２１には、取付板１９、２９がねじ止め（図示せず）されている。また、陽極側第１配線４１、陰極側第１配線４３、トリガーワイヤー配線４５は、隔壁２１を貫通している。

図５を用いて、陽極側第１配線４１、陰極側第１配線４３、およびトリガーワイヤー配線４５と、隔壁２１との関係を説明する。同図は図４のうち、必要な部分のみを取り出した拡大図である。陽極側配第１線４１は、被覆電線５１、ガラス管５２、被覆電線５３で構成されている。ガラス管を採用したのは以下の理由による。ランプ点灯室３内は後述するようにオゾンが発生する。被覆電線５３が劣化すると、取付板１９、２９で漏電が発生するおそれがあるためである。陰極側第１配線４３も、同様に、被覆電線６１、ガラス管６２、被覆線６３で構成されている。

トリガーワイヤー配線４５は、被覆電線７１、ガラス管７２、被覆電線７４、金属製コネクタ７７、およびガラス繊維被覆線７３で構成されている。

トリガーワイヤー配線４５をガラス繊維被覆線で構成しているのは、以下のような理由による。フラッシュランプを点灯する際には、10～30kVの高電圧をトリガワイヤーに印可する為、他の箇所に放電しないように絶縁被覆する必要がある。そのため、シリコン被覆電線よりオゾン劣化しにくいガラス繊維被覆電線を使用している。

細い線で構成しているのは、フラッシュランプ電極の配線に流れる電流値が数千A以上であるのに対して、トリガ線に流れる電流値は数百mA以下と低いためである。なお、耐オゾン性、耐熱性、耐電圧性を有していれば他の材質の被覆電線であってもよい。

ガラス管５２，６２，７２は取り付け板１９，２９および隔壁２１を貫通している。また、隔壁２１のコンデンサ室５側には、オゾン等の有害なガスの侵入を防止するため、フッ素樹脂加工被覆のOリング５４，６４、７４が設けられている。

本実施形態においては、ランプ点灯室３とコンデンサ室５をそれぞれ構成する２つの筐体の背面２１aと２１bで隔壁２１を形成するようにした。このように、異なる筐体で構成することにより、ランプ点灯室３とコンデンサ室５とは空間的に独立される。したがって、ランプ点灯室３からのＶＵＶ光を隔壁２１で遮断することができる。また、ランプ点灯室３で有害なガスが発生しても、コンデンサ室５には発生したガスの影響がないように、隔壁２１を貫通するガラス管には、Oリングが設けられている。したがって、コンデンサ室５に有害なガスが流れ込まない。

このように、２つの筐体ではなく、１つの筐体内に、隔壁２１を設け、これにより、ランプ点灯室３とコンデンサ室５を分割するようにしてもよい。

また、ランプ室３で生成したオゾンも隔壁２１でコンデンサ室５への流入は阻止され、コンデンサ３１および樹脂被覆の電気ケーブルの劣化を防止できる。

また、本実施形態においては、コンデンサ室５には複数のコンデンサ３１が、ランプ配置方向αおよびこれに直交する方向に配置されている。したがって、ショートアークフラッシュランプ１１の両極と接続する配線を短くすることができる。なお、複数のコンデンサ間は、抵抗の少ない銅ブスバー３９で連結されているので、銅ブスバー３９によるインダクタンスは、ほぼ影響しない。

ショートアークフラッシュランプ１１は、陰極と陽極を結ぶ直線の方向をランプ配置方向αとして、ランプ点灯室３に保持されており、コンデンサ部３２は、複数のコンデンサ３１で構成されており、かかる複数のコンデンサのうち少なくとも一部は、ランプ配置方向αに平行に配置されるように、コンデンサ室５に格納されている。また、陰極側第１配線６１は、ショートアークフラッシュランプ１１の陰極のリード棒端部近傍から、隔壁２９をほぼ直交するように通過し、前記ランプ配置方向αに平行に配置された複数のコンデンサと電気的に接続される、
また、陽極側第１配線４１は、陽極のリード棒端部近傍から、隔壁２９をほぼ直交するように通過し、銅ブスバー３９を介して、前記ランプ配置方向αに平行に配置された複数のコンデンサと電気的に接続される。

このように、複数のコンデンサを並列接続する場合でも、陽極側第１配線４１および陰極側第１配線４３をできる限り短くできるので、インダクタンスを低くできる。

本実施形態においては、ショートアークフラッシュランプ１１の陰陽極とコンデンサ両端子間をつなぐ配線、およびランプ内のインピーダンスに基づくインダクタンスを５μＨ以下とした。このような設定とすると、フラッシュ放電のピーク電流が極めて大きくなり、フラッシュランプやコンデンサにとって、過酷な条件で使用されることになる。かかる条件の点灯をする場合に、本件発明の構成は意義がある。

また、コンデンサ部３２を構成する複数のコンデンサ３１は、隔壁２１とほぼ平行に配置された取付板２９の面上に、ランプ配置方向αまたはそれと直交する方向に配置されている。したがって、扉６を設けることにより、コンデンサ３１の交換が容易となる。

本実施形態におけるショートアークフラッシュランプ１１の点灯メカニズムは、従来のトリガーワイヤ式のショートアークフラッシュランプと特に変わらないが、簡単に説明する。

図６に示すように、本実施形態においては、ランプ点灯回路９１とトリガー回路９３の２つの回路を有する。ランプ点灯回路９１は、直流高圧電源から所定の電圧が印加され、これによりコンデンサ９８にエネルギーが充電される。トリガー回路９３は、トリガーコイル９５によって、ランプ外側に封体に沿って張られたトリガーワイヤ９７に、高電圧を印加する。これにより、ショートアークフラッシュランプ１１内部の封入ガスが絶縁破壊され、ショートアークフラッシュランプ１１内部の電極間をトリガー線９７に沿ったスパークストリーマが発生する。ショートアークフラッシュランプ１１内部で絶縁破壊が発生すると、コンデンサ９８に充電されたエネルギーがショートアークフラッシュランプ１１に供給される。

コンデンサ９８に充電されたエネルギーが供給されると主放電が開始され、時間経過とともに電子とイオンが増加する。これによりプラズマ流が大きく成長し、放電電流も急速に大きくなる。この時、ある条件のもとで電極も徐々に加熱され陰極先端からの熱電子の放出および光電効果による陰極先端からの電子の放出が始まり、ある時点でトリガー線９７に沿った発光管内壁近傍の湾曲した主放電は、電極先端間の真直ぐな主放電に移行する。

なお、コンデンサ端子とフラッシュランプの陰陽極をつなぐ配線およびランプの合計のインダクタンス（Ｌ）は、電流波形の実測定より、パルス半値幅Ｔ＝2.1（Ｌ・Ｃ）^1/2の式から求めればよい。

図７に第２実施形態を示す。第１実施形態では、銅ブスバーで複数のコンデンサの端子を連結したが、この実施形態では、コンデンサ室５内において隔壁２１とほぼ平行な平面上に配置される陽極側第２配線８１および陰極側第２配線８２で連結している。これにより、銅ブスバーが不要となるとともに、コンデンサの交換が容易となる。コンデンサを交換するのに、交換対象コンデンサの端子だけ外せば、他のコンデンサの陽極側第２配線および陰極側第２配線を外さなくても、当該交換対象コンデンサを外すことができるからである。

図８に図７の矢印β方向からの側面拡大図を示す。このように、支柱８３の先端に、陽極側第１配線４１および陽極側第２配線８１が、支柱８４の先端に陰極側第１配線４３および陰極側第２配線８２が、それぞれ接続されている。

本実施形態においては、陽極側第２配線８１および陰極側第２配線８２についても、ほぼ直線で接続されているので、各コンデンサにおいて、コンデンサ室内の配線およびランプ陽陰極への配線を、全体として短くできるので、全体としてのインダクタンスを低くすることができる。

このように、ランプ点灯室からの陽極側第１配線および陰極側第１配線用の穴を、縦方向３＊横方向２の行列配置させたコンデンサの間に位置させることで、配線を長くすることなく、コンデンサ室５内で各コンデンサに接続することができる。

本実施形態においては、６のコンデンサを並列接続したが、これに限定されず増やしても減らしてもよい。

この場合、ショートアークフラッシュランプ１１のランプ配置方向αに陽極側第１配線と陰極側第１配線が離れて配置されるので、当該配線用の穴を行列配置させたコンデンサで取り囲むように配置すればよい。典型例としては、２＊２の４つのコンデンサ、２＊４の８つのコンデンサを並列配置することが可能である。

本実施形態においては、ショートアークフラッシュランプ１１のランプ配置方向αが鉛直方向であった場合について説明したが、前記ランプ配置方向αが水平方向であるフラッシュランプ照射処理装置についても、同様に適用することができる。

本実施形態にて採用したショートアークフラッシュランプの詳細について説明する。外径１１ｍｍ、内径８ｍｍの有水合成石英ガラス管を酸水素バーナーで肉厚１．５ｍｍの短軸１０ｍｍ、長軸２０ｍｍ楕円体に膨らまし、封体を形成した。

陰極と陽極の形状は、それぞれφ６ｍｍ長さ６ｍｍの円柱形であり、各先端は１３０度の角度で円錐形に切削加工をした。陽極物質は、２％酸化ランタンドープタングステンであり、陰極は、Ｂａ₃ＷＯ₆粉末とタングステン粉末を混合し、プレス成型した後、２０００℃で３時間焼結したプレス焼結電極を採用した。

両電極にφ２ｍｍのタングステン芯線をニッケル介して接合し、芯線とサイド管端部とを、ＧＥ製Ｎｏ．１ガラスで段継接合した。電極間距離１０ｍｍ、封入ガスは、Ｘｅであり、封入圧は、６０，０００Ｐａとした。なお、消費電力は２００～５００W程度の電力のものを採用したが、これに限定されない。

また、本実施形態においては、トリガーワイヤ式のフラッシュ型のショートアークフラッシュランプを用いた場合について説明したが、トリガープローブ方式にも適用できる。

１・・・・フラッシュランプ照射処理装置
２・・・・筐体
３・・・・ランプ点灯室
４・・・・扉
５・・・・コンデンサ室
６・・・・扉
８・・・・側壁
１１・・・ショートアークフラッシュランプ
１３・・・反射楕円ミラー
１５・・・ラボジャッキ
１７・・・保持具
１９・・・取付板
２９・・・取付板
３１・・・コンデンサ
３３・・・トリガーコイル
３５・・・多回路エネルギーモニタ
３７・・・ダイオード
３９a・・・銅ブスバー
３９b・・・銅ブスバー
４１・・・・陽極側第１配線
４３・・・・陰極側第１配線
４５・・・・トリガーワイヤー配線
５１・・・・被覆電線
５２・・・・ガラス管
５３・・・・裸電線
５４・・・・Oリング
６１・・・・被覆電線
６２・・・・ガラス管
６３・・・・裸電線
６４・・・・Oリング
７１・・・・被覆電線
７２・・・・ガラス管
７３・・・・ガラス繊維被覆線
７４・・・・Oリング
８１・・・・陽極側第２配線
８２・・・・陰極側第２配線
８３・・・・支柱
８４・・・・支柱
９１・・・・ランプ点灯回路
９３・・・・トリガー回路
９５・・・・トリガーコイル
９７・・・・トリガーワイヤ
９８・・・・コンデンサ

Claims

陰極と陽極が対向配置され、VUV光を発するショートアークフラッシュランプ、
前記ショートアークフラッシュランプに電力供給するコンデンサ部、
前記ショートアークフラッシュランプおよび前記コンデンサ部を格納する格納筐体、
を備えたVUV光のフラッシュランプ照射処理装置であって、
前記ショートアークフラッシュランプと前記コンデンサ部とは、隔壁を介してガス侵入を防止できる程度に隔離された空間に格納されており、前記隔壁により、ランプ格納部およびコンデンサ部格納部が形成されており、
前記ショートアークフラッシュランプは、前記陰極と前記陽極を結ぶ直線の方向をランプ配置方向として、前記ランプ格納部に保持されており、
前記隔壁は前記ランプ配置方向に平行に配置されており、
前記コンデンサ部は、複数のコンデンサで構成されており、前記複数のコンデンサは、前記隔壁と平行な平面上に、前記ランプ配置方向およびその直交する方向に行列配置されて前記コンデンサ部格納部に格納されており、さらに、
前記複数のコンデンサのプラス側を電気的に接続する陽極側接続導体、
前記複数のコンデンサのマイナス側を電気的に接続する陰極側接続導体、
前記ショートアークフラッシュランプの照射光を、前記ランプ配置方向と平行な方向に、集光された光として反射する反射ミラー部、
前記陰極のリード棒端部近傍から、前記隔壁をほぼ直交するように通過し前記マイナス側接続導体と接続される陰極側第１配線、
前記陽極のリード棒端部近傍から、前記隔壁をほぼ直交するように通過し前記プラス側接続導体と接続される陽極側第１配線、
前記ランプ格納部における前記隔壁の対面に設けられたランプ側開閉部、
前記コンデンサ部格納部における前記隔壁の対面に設けられたコンデンサ部側開閉部、
を備えており、
前記陽極側接続導体および前記陽極側接続導体は、前記隔壁と平行に配置されていること、
を特徴とするVUV光のフラッシュランプ照射処理装置。
陰極と陽極が対向配置され、VUV光を発するショートアークフラッシュランプ、
前記ショートアークフラッシュランプに電力供給するコンデンサ部、
前記ショートアークフラッシュランプおよび前記コンデンサ部を格納する格納筐体、
を備えたVUV光のフラッシュランプ照射処理装置であって、
前記ショートアークフラッシュランプと前記コンデンサ部とは、隔壁を介してガス侵入を防止できる程度に隔離された空間に格納されており、前記隔壁により、ランプ格納部およびコンデンサ部格納部が形成されており、
前記ショートアークフラッシュランプは、前記陰極と前記陽極を結ぶ直線の方向をランプ配置方向として、前記ランプ格納部に保持されており、
前記コンデンサ部は、複数のコンデンサで構成されており、前記複数のコンデンサは、前記隔壁と平行な平面上に、前記ランプ配置方向およびその直交する方向に行列配置されて前記コンデンサ部格納部に格納されており、
さらに、
前記陰極のリード棒端部近傍から、前記隔壁をほぼ直交するように通過し前記複数のコンデンサと電気的に接続される陰極側の配線、
前記陽極のリード棒端部近傍から、前記隔壁をほぼ直交するように通過し前記複数のコンデンサと電気的に接続される陽極側の配線、
前記複数のコンデンサのプラス側を電気的に接続する陽極側接続導体、
前記複数のコンデンサのマイナス側を電気的に接続する陰極側接続導体、
を備え
前記陽極側接続導体および前記陰極側接続導体は、前記隔壁と平行に配置されていること、
を特徴とするVUV光のフラッシュランプ照射処理装置。
請求項１または請求項２のVUV光のフラッシュランプ照射処理装置において、
前記陽極側接続導体および前記陰極側接続導体は、銅ブスバーであること、
を特徴とするVUV光のフラッシュランプ照射処理装置。
請求項１または請求項２のVUV光のフラッシュランプ照射処理装置において、
前記陽極側接続導体および前記陰極側接続導体は、各コンデンサごとにそれぞれ独立して構成され、かつ、前記隔壁と平行な平面上に配置された陽極側第２配線および陰極側第２配線であること、
を特徴とするVUV光のフラッシュランプ照射処理装置。
A)陰極と陽極が対向配置され、VUV光を発するショートアークフラッシュランプを格納するためのランプ格納部、
B)以下のコンデンサ部を格納するコンデンサ部格納部、
b1)前記ショートアークフラッシュランプに電力供給するコンデンサ部、
C)を備えたVUV光のフラッシュランプ照射処理装置であって、
D)前記ショートアークフラッシュランプと前記コンデンサ部とは、隔壁を介してガス侵入を防止できる程度に隔離された空間に格納されており、前記隔壁により、前記ランプ格納部およびコンデンサ部格納部が形成されており、
E)前記ランプ格納部に格納されるショートアークフラッシュランプは、前記陰極と前記陽極を結ぶ直線の方向をランプ配置方向として、前記ランプ格納部に保持され、
F)前記コンデンサ部は、複数のコンデンサで構成されており、前記複数のうち少なくとも一部が前記ランプ配置方向に配置されるように、前記コンデンサ部格納部に格納されており、
G)前記コンデンサ部は、複数のコンデンサで構成されており、前記複数のコンデンサは、前記隔壁と平行な平面上に、前記ランプ配置方向およびその直交する方向に行列配置されて前記コンデンサ部格納部に格納されており、
さらに、
H)前記陰極のリード棒端部近傍から、前記隔壁をほぼ直交するように通過し前記複数のコンデンサと電気的に接続される陰極側の配線、
I)前記陽極のリード棒端部近傍から、前記隔壁をほぼ直交するように通過し前記複数のコンデンサと電気的に接続される陽極側の配線、
J）前記複数のコンデンサのプラス側を電気的に接続する陽極側接続導体、
K）前記複数のコンデンサのマイナス側を電気的に接続する陰極側接続導体、
を備え
L）前記陽極側接続導体および前記陰極側接続導体は、前記隔壁と平行に配置されていること、
M)を備えたことを特徴とするVUV光のフラッシュランプ照射処理装置。
請求項１～請求項５のいずれかのVUV光のフラッシュランプ照射処理装置において、
前記コンデンサ部と前記ショートアークフラッシュランプの陽極の間に位置するトリガーコイルは前記コンデンサ部格納部に格納されていること、
を特徴とするVUV光のフラッシュランプ照射処理装置。