JPH0670229U - 照明装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】本考案は、照明ランプ及び光学部品が配設さ
れ、ランプ交換用扉を開けて照明ランプを交換する照明
装置において、簡易な手順で内蔵された光学部品を破損
することなく照明ランプを交換できるようにする。 【構成】光部品保護手段１１を照明ランプ２のオンオフ
及び又はランプ交換用扉１３の開閉と連動動作させ、少
なくとも照明ランプ２がオフされている間及び又はラン
プ交換用扉１３が開かれている間、光学部品７を保護す
る位置に配したことにより、照明ランプ２を交換する間
光学部品保護手段１１によつて光学部品７を有効に保護
し得る。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は照明装置に関し、例えば半導体製造装置の露光用や紫外線硬化型接着 剤の硬化用等に用いられる装置に使用されているものに適用し得る。

【０００２】

【従来の技術】

従来、半導体製造装置の露光用や紫外線硬化剤の硬化用の照明装置として、動 作時の水銀蒸気圧が30〜 150気圧の圧力で動作する超高圧水銀灯を用いるものが ある。図２に示すように、この照明装置１の超高圧水銀灯２は超高圧水銀灯保持 部材３にねじ込まれて固定され、かつ一方の電極としての機能を有するようにな されている。また超高圧水銀灯２の他方の電極は超高圧水銀灯２自身から導出さ れるリード線４でなり、このリード線４が端子台５にボルト等でねじ止めされて 接続され電力が供給されている。

【０００３】 この超高圧水銀灯１より照射される光は楕円鏡６によつて集光され、ダイクロ イツクミラー７において有効波長のみが反射されて光フアイバ８に導かれ、この 光フアイバ８を通じて、超高圧水銀灯２より照射された光を利用して、半導体製 造装置の露光用照明や紫外線硬化剤の硬化用照明を行うようになされている。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

ところでかかる構成の照明装置１において、超高圧水銀灯２を交換する際には 、図３に示すように、まず端子台５からリード線４を外し、続いて超高圧水銀灯 ２の上部の金属ターミナル部２Ａを持つてねじを回し、超高圧水銀灯２を取り外 すようになされている。ところがこのときリード線４が超高圧水銀灯２よりたれ 下つてダイクロイツクミラー７に接触し、ダイクロイツクミラー７の表面にキズ をつけるおそれがあり、超高圧水銀灯２の取り外しには注意が必要であつた。ま た取り付け時にも同様の注意が必要であつた。

【０００５】 この超高圧水銀灯２の交換時の問題を解決するため、超高圧水銀灯保持部材３ と楕円鏡６とを一体にして横にスライドし得るように構成し、リード線４がダイ クロイツクミラー７に触れないようにする照明装置があるが、その分構成が大き く複雑になる問題に加えて、再点灯時の光軸を確保するために、交換後に超高圧 水銀灯２及び楕円鏡６とダイクロイツクミラー７との位置出しを正確に行う必要 があつた。

【０００６】 またこれに代え、超高圧水銀灯２の交換時にダイクロイツクミラー７自体を取 り外したり、ダイクロイツクミラー７の位置が変えられるようになされた照明装 置があるが、これらもその分構成が大きく複雑になることに加えて、交換後に超 高圧水銀灯２及び楕円鏡６とダイクロイツクミラー７との位置出しを正確に行う 必要があり、解決策としては未だ不十分であつた。

【０００７】 さらに、ランプハウス設計時にダイクロイツクミラー７を、できるだけ楕円鏡 ６よりはなして設置することも考えられるが、このようにするとダイクロイツク ミラー７の一部にエネルギーが集中して当り、膜の耐久性の問題が生じる可能性 がある。これを解決しようとして焦点距離の長い楕円鏡を利用すると、楕円鏡が 大きくなり装置の長さが必要で、大きなランプハウスとなつてしまう問題がある 。

【０００８】 またさらにリード線４を超高圧水銀灯２から外れるようにして、リード線４を 先に取り外すことも考えられるが、これにはリード線４を取り付け、取り外す際 に、超高圧水銀灯２のガラス部２Ｂに力が加わらないように下部金属ターミナル ２Ｃを保持して行わねばならないが、ガラス部２Ｂに力を加えないようにするに は、かなり注意深く行わねばならない。また取り付け時の締め付けトルク不足に よる接触不良で不点灯の事故が発生することもあり、特に数百〔Ｗ〕〜１〔ｋＷ 〕程度の小型ランプにおいては、ランプハウスも小型で、超高圧水銀灯２も小型 なため作業性が悪いという問題があつた。

【０００９】 本考案は以上の点を考慮してなされたもので、簡易な手順で内蔵された光学部 品を破損することなく照明ランプを交換し得る照明装置を提案しようとするもの である。

【００１０】

【課題を解決するための手段】

かかる課題を解決するため本考案においては、照明ランプ２及び光学部品７が 配設され、ランプ交換用扉１３を開けて照明ランプ２を交換する照明装置１０に おいて、照明ランプ２のオンオフ及び又はランプ交換用扉１３の開閉と連動動作 し、少なくとも照明ランプ２がオフされている間及び又はランプ交換用扉１３が 開かれている間、光学部品７を保護する位置に配されて光学部品７を保護する光 学部品保護手段１１を設けるようにした。

【００１１】

【作用】

光部品保護手段１１を照明ランプ２のオンオフ及び又はランプ交換用扉１３の 開閉と連動動作させ、少なくとも照明ランプ２がオフされている間及び又はラン プ交換用扉１３が開かれている間、光学部品７を保護する位置に配したことによ り、照明ランプ２を交換する間光学部品保護手段１１によつて光学部品７を有効 に保護することができ、かくして簡易な手順で内蔵された光学部品７を破損する ことなく照明ランプ２を交換し得る。

【００１２】

【実施例】

以下図面について、本考案の一実施例を詳述する。

【００１３】 図２及び図３との対応部分に同一符号を付して示す図１において、１０は全体 として本考案による照明装置を示し、ダイクロイツクミラー７と同一形状でダイ クロイツクミラー７を保護する可動カバー１１が設けられている。この可動カバ ー１１は一体に成形されたアーム１１Ａを通じて連結された、ロータリーソレノ イド１２により回動するようになされている。

【００１４】 実際上ロータリーソレノイド１２が非通電状態の時可動カバー１１はダイクロ イツクミラー７を保護する位置に移動し、通電状態では光束をケラない位置に待 避する。このロータリーソレノイド１２のオンオフは超高圧水銀灯２のオンオフ と連動し、超高圧水銀灯交換用扉１３の開閉に応じて制御される。

【００１５】 一般に超高圧水銀灯２自体が人体に有害な紫外線を出すため、照明装置１０の 超高圧水銀灯交換用扉１３にインターロツク機構を備えて、インターロツクがか かるようになされ、超高圧水銀灯２の点灯中でも水銀灯交換用扉１３を開けると 、超高圧水銀灯２の電源がオフされ消灯するように構成されている。

【００１６】 この照明装置１０では、超高圧水銀灯交換用扉１３の開閉でオンオフするイン ターロツクスイツチ（図示せず）を設け、このインターロツク機構により超高圧 水銀灯交換用扉１３が開けられるとインターロツクスイツチがオフとなり、その 結果ロータリーソレノイド１２と超高圧水銀灯２がオフになるようになされてい る。従つて超高圧水銀灯２の交換時には、必ずダイクロイツクミラー７は可動カ バー１１によつて保護される。逆に水銀灯交換用扉１３を閉めるとインターロツ クスイツチがオンになり、ロータリーソレノイド１２及び超高圧水銀灯２がオン になる。

【００１７】 以上の構成において、超高圧水銀灯２を交換するために超高圧水銀灯交換用扉 １３を開くと、超高圧水銀灯２がオフして消灯されると共に、可動カバー１１が 移動してダイクロイツクミラー７を保護する。これにより超高圧水銀灯２の交換 時にダイクロイツクミラー７の損傷に気を使うことなく作業でき、作業者の注意 を軽減できる。また超高圧水銀灯２を交換する際に、ダイクロイツクミラー７、 超高圧水銀灯保持部材３や楕円鏡６を動かす構造でないので、光軸ずれのおそれ がなく交換後の位置出しを正確に行う必要がないことにより、作業性を格段的に 向上し得る。

【００１８】 以上の構成によれば、移動カバー１１を超高圧水銀灯交換用扉１３の開閉と連 動動作させ、超高圧水銀灯交換用扉１３が開かれている間、ダイクロイツクミラ ー７を保護する位置に配したことにより、超高圧水銀灯２を交換する間移動カバ ー１１によつてダイクロイツクミラー７を有効に保護することができ、かくして 簡易な手順で内蔵されたダイクロイツクミラー７を破損することなく超高圧水銀 灯２を交換し得る照明装置１０を実現できる。

【００１９】 なお上述の実施例においては、超高圧水銀灯交換用扉の開閉に応じて、ロータ リーソレノイドをオンオフして移動カバーを移動させると共に、超高圧水銀灯の オンオフを制御した場合について述べたが、超高圧水銀灯のオンオフは、これに 加えて例えば直列に接続されたスイツチのオンオフと連動して点灯及び消灯し得 るようにしても良い。

【００２０】 また上述の実施例においては、超高圧水銀灯交換用扉の開閉に応じて移動カバ ーを制御したが、これに代え、超高圧水銀灯交換用扉の開閉及び超高圧水銀灯の オンオフに応じて移動カバーを制御したり、超高圧水銀灯のオンオフのみで移動 カバーを制御するようにしても上述の実施例と同様の効果を実現できる。

【００２１】 また上述の実施例においては、可動カバーをダイクロイツクミラーの保護のみ に用いた場合について述べたが、これに代え可動カバーを反射率の低い材料で作 り、超高圧水銀灯のオンオフ以外の制御信号により動作させることで、シヤツタ ーとして使用するようにしても良い。

【００２２】 因に、この場合水銀灯交換用扉の開閉に伴う超高圧水銀灯のオンオフに同期し た信号が、可動カバーをシヤツターとして用いるための制御信号のオンオフに同 期した信号に対して優先権をもち、可動カバーを動かすようになされている。

【００２３】 また上述の実施例においては、可動カバーをロータリーソレノイドで回転駆動 する場合について述べたが、可動カバー自体回転式に代えて、スライドするよう な構成等他の構成でも良く、また駆動もロータリーソレノイドに限らず、モータ 等を組み合わせるようにしても、上述の実施例と同様の効果を実現できる。

【００２４】 さらに上述の実施例においては、本考案を超高圧水銀灯を用いた照明装置に適 用し、移動カバーでダイクロイツクミラーを保護する場合について述べたが、本 考案はこれに限らず、要は照明ランプ及び光学部品が配置された照明装置で、照 明ランプを交換する際光学部品を保護する必要の有るものでならば、種々の照明 装置に広く適用して好適なものである。

【００２５】

【考案の効果】

上述のように本考案によれば、光部品保護手段を照明ランプのオンオフ及び又 はランプ交換用扉の開閉と連動動作させ、少なくとも照明ランプがオフされてい る間及び又はランプ交換用扉が開かれている間、光学部品を保護する位置に配し たことにより、照明ランプを交換する間光学部品保護手段によつて光学部品を有 効に保護することができ、かくして簡易な手順で内蔵された光学部品を破損する ことなく照明ランプを交換し得る照明装置を実現できる。 かくして、照明ランプの交換時に光学部品の損傷に気を使うことなく作業でき るので、作業性を格段的に向上し得る。さらに交換時に照明ランプや光学部品を 動かす機構が不要なため、光軸ずれの発生のおそれもなく構成を簡略化し得る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案による照明装置の一実施例を示す略線図
である。

【図２】従来の照明装置を示す略線図である。

【図３】従来の装置において超高圧水銀灯を交換する際
のリード線とダイクロイツクミラーとの干渉の説明に供
する略線図である。

【符号の説明】

１、１０……照明装置、２……超高圧水銀灯、２Ａ……
上部金属ターミナル、２Ｂ……ガラス部、２Ｃ……下部
金属ターミナル、３……超高圧水銀灯保持部材、４……
リード線、５……端子台、５Ａ……リード線固定用ボル
ト、６……楕円ミラー、７……ダイクロイツクミラー、
８……光フアイバー、１１……可動カバー、１２……ロ
ータリーソレノイド、１３……超高圧水銀灯交換用扉。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】照明ランプ及び光学部品が配設され、ラン
   プ交換用扉を開けて前記照明ランプを交換する照明装置
   において、 前記照明ランプのオンオフ及び又は前記ランプ交換用扉
   の開閉と連動動作し、少なくとも前記ランプがオフされ
   ている間及び又は前記ランプ交換用扉が開かれている
   間、前記光学部品を保護する位置に配されて前記光学部
   品を保護する光学部品保護手段を具えることを特徴とす
   る照明装置。