KR100625278B1 - 플래시 램프 장치 및 섬광 방사 장치 - Google Patents

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Abstract

충분한 트리거 에너지로 발광 미스가 없고, 오래 사용할 수 있는 플래시 램프 장치 및 섬광 방사 장치를 제공하는 것으로서, 플래시 램프 장치는 한쌍의 전극이 대향 배치되어 이루어지는 발광관을 갖는 플래시 램프와, 상기 플래시 램프의 발광관의 외부에서 전극간에 걸쳐 연장되는 고전압 공급용 근접 도체를 구비하여 이루어지는 플래시 램프 장치에 있어서, 상기 플래시 램프의 발광관과 상기 근접 도체와의 사이에 공기보다 큰 유전율을 갖는 유전체 부재가 배치되는 것을 특징으로 한다. 또한, 섬광 방사 장치는 상기 플래시 램프 장치를 다수 구비하여 이루어지고, 상기 다수 각각의 플래시 램프 장치에 있어서의 발광관, 고전압 공급용 근접 도체 및 유전체 재료가 공통의 기대 상에 개별적으로 유지되는 것을 특징으로 한다.

Description

플래시 램프 장치 및 섬광 방사 장치{FLASH LAMP APPARATUS AND FLASH RADIATION APPARATUS}
도 1은 섬광 방사 장치에 구비된 상태의 본 발명의 플래시 램프 장치의 구성의 일례를 나타내는 설명도,
도 2는 도 1의 플래시 램프 장치에 있어서의 플래시 램프와 트리거용 부재와의 위치 관계를 나타내는 설명용 단면도,
도 3은 도 1의 플래시 램프 장치에 있어서의 트리거용 부재의 구성을 나타내는 설명용 단면도,
도 4는 직렬 콘덴서를 나타내는 등가 회로도,
도 5는 직렬 콘덴서에 관한 플래시 램프 장치의 각 구성 요소의 관계를 모식적으로 나타내는 설명도,
도 6은 섬광 방사 장치에 구비된 상태의 본 발명의 플래시 램프 장치의 구성의 다른예를 나타내는 설명도,
도 7은 도 6의 플래시 램프 장치에 있어서의 플래시 램프와 트리거용 부재와의 위치 관계를 나타내는 설명용 단면도,
도 8은 트리거용 부재에 있어서의 유전체관을 플래시 램프에 있어서의 발광관의 외주면에 접촉시키기 위한 방법을 나타내는 설명도,
도 9는 트리거용 부재에 있어서의 유전체관을 플래시 램프에 있어서의 발광관의 외주면에 접촉시키기 위한 다른 방법을 나타내는 설명도,
도 10은 트리거용 부재의 다른 예의 구성을 나타내는 설명용 단면도,
도 11은 트리거용 부재의 또 다른 예의 구성을 나타내는 설명용 단면도,
도 12는 트리거용 부재의 또 다른 예의 구성을 나타내는 설명용 단면도,
도 13은 본 발명의 섬광 방사 방치의 구성의 일례를 나타내는 설명용 사시도,
도 14는 플래시 램프 장치를 점등하기 위해 필요한 트리거 에너지와, 전극과 고전압 공급용 근접 도체와의 이간 거리의 관계를 나타내는 도면이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
10 : 플래시 램프 11 : 발광관
12, 13 : 전극봉 14 : 양극
15 : 음극 17 : 꼭지쇠
20 : 트리거용 부재 21 : 유전체관
21A : 일단 22A : 제1 돌기부
22B : 제2 돌기부 25 : 금속박
26 : 트리거 전압 인가용 리드봉
27 : 고전압 공급용 근접 도체 27A : 선단
27B : 기단 31 : 기대
32 : 플래시 램프용 지지대 33 : 플래시 램프 유지부
35 : 가압 부재 36 : 트리거용 부재 지지대
37 : 트리거용 부재 유지부 38 : 트리거용 부재 지지대
39 : 트리거용 부재 유지부 40 : 트리거용 부재
41 : 유전체판 47 : 고전압 공급용 근접 도체
51 : 유전체관 51A : 일단
52 : 돌기부 57 : 고전압 공급용 근접 도체
57A : 선단 61 : 유전체관
61A : 일단 61B : 타단
63 : 제1 선상태 부분 63A : 선단
64 : 제2 선상태 부분 64A : 선단
65 : 신축 조정 부재 67 : 고전압 공급용 근접 도체
71 : 용수철 72 : 트리거용 부재 지지대
75 : 트리거용 부재 지지대 76 : 트리거용 부재 유지부
77 : 몰리브덴박 77A : 일단부
78 : 유전체 부재 78A : 일단
81 : 플래시 램프 82 : 트리거용 부재
84 : 기대 85 : 플래시 램프용 지지대
86 : 트리거용 부재 지지대
본 발명은, 예를 들면 반도체 기판이나 액정 기판의 열처리 등에 적합하게 이용되는 플래시 램프 장치 및 섬광 방사 장치에 관한 것이다.
종래, 플래시 램프 장치에서는, 예를 들면 한쌍의 전극이 대향 배치되어 이루어지는 발광관을 갖는 플래시 램프와, 상기 플래시 램프의 발광관의 외부에 트리거 전극으로 칭해지는 고전압 공급용 근접 도체(이하, 단순히 「근접 도체」라고 한다)를 구비한 것이 널리 알려져 있다. 구체적으로는 발광관의 외주면에 근접 도체가 접촉하는 상태에서 나선상으로 감겨 있는 구성을 갖는 것(일본국 특개소 59-189551호 공보 참조), 발광관의 외주면에 따라 관 축방향으로 연장하는 근접 도체가 상기 발광관의 외주면에 접촉한 상태에서 설치되는 구성을 갖는 것(특개 2001-84962호 참조), 발광관에 평행하게 설치되어 있는 반사 거울이 근접 도체로서 겸용되는 구성을 갖는 것(미국 특허 제3733599호 참조) 등을 들 수 있다.
이러한 구성의 플래시 램프 장치는 최근 예를 들면 반도체 기판이나 액정 기판을 급속하게 열처리 하기 위한 열처리 장치의 가열원으로서 이용하는 것이 검토되고 있고, 이러한 플래시 램프 장치를 구비한 섬광 방사 방치를 가열원으로 한 열처리 장치에 의하면, 피처리물인 반도체 기판이나 액정 기판의 표층 부분을 매우 단시간에 소정의 온도로 가열하는 것이 가능해진다.
일반적으로, 반도체 기판을 열처리 하기 위해서는 반도체 기판의 표층 부분만을 1000∼1400℃로 승온되도록 가열할 필요가 있으므로, 플래시 램프 장치를 구비한 섬광 방사 장치를 가열원으로 한 열처리 장치에 있어서는 구체적으로 예를 들 면 1msec의 단시간 동안에 20J/㎠ 이상의 에너지를 갖는 빛을 피처리물인 반도체 기판에 대해 조사하는 것이 요구되고, 이를 달성하기 위해서 플래시 램프에 투입되는 피크 에너지는 5×106W에 달한다.
그러나, 플래시 램프 장치에 있어서의 플래시 램프로부터 방사되는 빛이 큰 에너지를 가지므로, 이 빛을 받아 근접 도체를 구성하는 금속 재료(이하, 「고전압 공급용 근접 도체 재료」라고도 한다)가 스퍼터하여 비산함으로써, 예를 들면 고전압 공급용 근접 도체 재료가 발광관의 외주면에 부착되고, 이 고전압 공급용 근접 도체 재료가 고온에 노출되면, 발광관 재료, 예를 들면 유리와의 팽창 계수의 차로부터 발광관에 크랙이 발생한다는 문제가 있다.
또한, 근접 도체가 발광관의 외주면에 직접 접촉되어 있는 구성의 플래시 램프 장치에 있어서는 플래시 램프로부터 방사되는 빛을 받아 근접 도체가 열팽창하는 것에 기인하여, 상기 근접 도체와 발광관의 외주면이 스쳐 상기 발광관에 손상이 생기므로, 점등과 소등을 반복하는 동안에, 그 손상이 원인이 되어 최종적으로는 발광관이 파손되어 버리는 문제가 있다.
이 문제는 특히 근접 도체의 단부가 발광관과 접촉되어 있는 구성에서 현저하다.
또한, 점등과 소등을 반복하는 동안에, 근접 도체가 발광관의 외주면으로부터 이간되어 버리므로, 발광관과 근접 도체 사이에 공기층이 존재하게 되고, 이에 따라 트리거 에너지의 작용이 저하하여, 플래시 램프 자체는 정상이어도 미스 발광을 일으켜 플래시 램프가 점등되지 않는 문제도 있다.
본 발명은 상기와 같은 사정에 의거해 이루어진 것으로, 그 목적은 충분한 트리거 에너지로 발광 미스가 없고, 또한, 오래 사용할 수 있는 플래시 램프 장치 및 섬광 방사 장치를 제공하는 것에 있다.
본 발명의 플래시 램프 장치는 한쌍의 전극이 대향 배치되어 이루어지는 발광관을 갖는 플래시 램프와, 상기 플래시 램프의 발광관 외부에서 전극간에 걸쳐 연장되는 고전압 공급용 근접 도체를 구비하여 이루어지는 플래시 램프 장치에 있어서,
상기 고전압 공급용 근접 도체는, 공기보다 큰 유전율을 갖는 유전체 부재로 이루어지는 밀봉관체의 내부에 위치하고, 밀봉관체의 내주면이 내측으로 돌출하여 이루어지는 돌기부에 의해 슬라이드할 수 있게 유지되어 있는 것을 특징으로 한다.
또, 본 발명의 플래시 램프 장치는 한쌍의 전극이 대향 배치되어 이루어지는 발광관을 갖는 플래시 램프와, 상기 플래시 램프의 발광관의 외부에서 전극간에 걸쳐 연장되는 고전압 공급용 근접 도체를 구비하여 이루어지는 플래시 램프 장치에 있어서,
상기 고전압 공급용 근접 도체는, 공기보다 큰 유전율을 갖는 유전체 부재로 이루어지는 밀봉관체의 내부에 위치하고, 밀봉관체의 일단으로부터 내측으로 돌출하는 제1 선상태 부분과, 상기 밀봉관체의 타단으로부터 내측으로 돌출하는 제2 선상태 부분이 신축 조정 부재에 의해 접속되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 플래시 램프 장치에서는 밀봉관체가 석영 유리로 이루어지는 것이 바람직하다.
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이러한 플래시 램프에 있어서는 밀봉관체의 내부가 진공 분위기로 되어 있는 것이 바람직하고, 또한, 밀봉관체의 내부가 불활성 가스 분위기로 되어 있는 것이 바람직하다.
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또한, 밀봉관체의 내부에 고체 게터가 설치되어 있는 것이 바람직하다.
본 발명의 섬광 방사 장치는 상기의 플래시 램프 장치를 복수 구비하여 이루어지고, 상기 복수의 각 플래시 램프 장치가 공통의 기대상에 개별적으로 유지되어 이루어지는 구성을 갖는 것을 특징으로 한다.
이하, 본 발명의 실시형태에 대해 상세히 설명한다.
(제1 실시형태)
도 1은 섬광 방사 장치에 구비된 상태의 본 발명의 플래시 램프 장치의 구성의 일례를 나타내는 설명도이고, 도 2는 도 1의 플래시 램프 장치에 있어서의 플래시 램프와 트리거용 부재와의 위치 관계를 나타내는 설명용 단면도이고, 도 3은 도 1의 플래시 램프 장치에 있어서의 트리거용 부재를 나타내는 설명용 단면도이다.
이 플래시 램프 장치는 원통 형상으로서 양단이 밀봉되고, 내부에 발광 공간을 구획하는 직관형 석영 유리제의 발광관(11)을 구비한 플래시 램프(10)와, 상기 플래시 램프(10)에 있어서의 발광관(11)에 평행하게 배치된 그 내부 공간에 고전압 공급용 근접 도체(이하, 단순히 「근접 도체」라고도 한다. )(27)를 구비하고, 양단이 밀봉된 원통 형상으로서 직관형의 유전체 부재(이하, 「유전체관」이라고도 한다)(21)로 구성되는 트리거용 부재(이하, 「제1 트리거용 부재」라고도 한다)(20)로 이루어진다.
여기에, 「고전압 공급용 근접 도체」는 플래시 램프를 구성하는 발광관 내에 배치되는 전극(양극 및 음극)과 전기적으로 접속되지 않고, 절연 파괴용 고전압 발생기에 접속되어 이루어지는 것이다.
이 예에 있어서 플래시 램프 장치는 플래시 램프(10)가 발광관(11)의 양단에 장착된 꼭지쇠(17) 각각이 판 용수철로 이루어지는 가압 부재(35)에 의해 플래시 램프 유지부(33)를 갖는 플래시 램프용 지지대(32)에 장착되어 지지되고, 또한, 제1 트리거용 부재(20)는 유전체관(21)의 양단이 트리거용 부재 유지부(37)를 갖는 트리거용 부재 지지대(36)에 장착되어 지지되고, 상기 플래시 램프용 지지대(32)와, 상기 트리거용 부재 지지대(36)는 플래시 램프(10)에 대해 제1 트리거용 부재(20)가 평행한 위치(도 1에 있어서는 바로 아래 위치)에 배치되도록 공통의 기대(31)상에 유지되어 섬광 방사 장치에 구비되어 있다.
또한, 플래시 램프용 지지대(32)와 트리거용 부재 지지대(36)는 공통의 기대(31)에 배치되지 않고, 예를 들면 각각이 별도의 기대에 개별적으로 배치되어 있어도 된다.
플래시 램프(10)에 있어서는 발광관(11) 양단에서 관축 방향 내측으로 돌출하여 연장되는, 예를 들면 텅스텐으로 이루어지는 전극봉(12, 13) 각각의 선단에 형성된, 예를 들면 텅스텐으로 이루어지는 양극(14) 및 예를 들면 바륨 알루미네이트를 함유하는 몰리브덴으로 이루어지는 음극(15)이 상기 발광관(11)에 있어서의 발광 공간 내에서 상호 대향하는 상태로 되어 있다.
이 발광관(11)의 내부에는 예를 들면 크세논 등의 희가스나 수은이 적절한 양으로 봉입되어 있다.
제1 트리거용 부재(20)는 도 3에 나타내는 바와 같이, 예를 들면 내직경 1.8㎜의 유전체관(21)의 일단(21A)에서 그 외단(도 3에 있어서 좌측단)에 트리거 전압 인가용 리드봉(26)이 전기적으로 접속되고, 또한, 내측단(도 3에서 우측단)에 예를 들면 외경 1.0㎜의 선상태의 형상을 갖는 근접 도체(27)가 전기적으로 접속된, 예를 들면 몰리브덴으로 이루어지는 금속박(25)이 매설되어 이루어지는 밀봉부가 형성되어 있으며, 상기 일단(21A)으로부터 관축 방향 내측으로 돌출하여 연장되는 근접 도체(27)가 유전체관(21)의 근접 도체(27)의 기단(27B)측 내주면이 내측으로 돌출하여 이루어지는 제1 돌기부(22A)와, 근접 도체(27)의 선단(27A)측의 내주면이 내측으로 돌출하여 이루어지는 제2 돌기부(22B)에 의해, 선단(27A)이 자유단으로 된 상태에서 슬라이드할 수 있게 유지되어 있는 구성을 가지고 있다.
제1 트리거용 부재(20)에 있어서, 근접 도체(27)는 제 l의 돌기부(22A) 및 제2 돌기부(22B) 이외의 유전체관(21)의 내주면에 접촉하지 않는 상태로 유지되어 있다.
유전체관(21)의 내부는 진공 분위기 및 불활성 가스 분위기중 어느 하나로 되어 있는 것이 바람직하다.
유전체관(21)의 내부가 진공 분위기로 되어 있는 경우에는 금속으로 이루어지는 근접 도체(27)의 산화를 억제할 수 있다.
또한, 유전체관(21)의 내부가 불활성 가스 분위기로 되어 있는 경우에는 금속으로 이루어지는 근접 도체(27)의 산화를 억제할 수 있고, 또한 팟센의 법칙(Paschen's law)에 의거하는 가스압이 얻어지도록 가스를 봉입하면 유전체관(21)내에서의 절연 파괴가 발생하기 쉬워지고, 근접 도체(27)에 의한 트리거 에너지의 인가에 의해 방전이 생기기 쉬워진다.
근접 도체(27)를 구성하는 재료로는 예를 들면 텅스텐, 니켈, 알루미늄, 백금, 인코넬(Inconel)(니켈-크롬-철합금), 몰리브덴 등의 금속을 이용할 수 있다.
또한, 근접 도체(27)는 그 외경은 특별히 한정되지 않지만, 그 전체 길이는 플래시 램프(10)에 있어서의 양극(14)과 음극(15) 사이의 거리 이상의 길이를 갖게 되어, 그 선단(27A)이 양극(14)의 선단(내측단)보다 외측방(도 1에서 우측방)에 위치하고, 또한, 그 기단(27B)이 음극(15)의 선단(내측단)보다 외측방(도 1에서 좌측방)에 위치하도록 배치되어, 발광관(11)의 외부에서 상기 양극(14)과 음극(15) 사이에 걸쳐 연장되는 상태가 된다.
유전체관(21)을 구성하는 재료로는 공기보다 큰 유전율을 갖는 것이 이용되고, 구체적으로는 석영 유리, 세라믹 등을 이용할 수 있다.
유전체관(21)의 관벽 두께(t1)는 발광관(11)과 근접 도체(27)와의 간극만큼 있는 것이 가장 바람직하다.
유전체관(21)의 관벽 두께(t1)를 크게 함으로써, 플래시 램프(10)를 점등시키기 위해 필요한 에너지(트리거 에너지)가 작아지므로, 높은 동작 신뢰성을 얻을 수 있다.
이상과 같은 구성의 플래시 램프 장치에 의하면, 제1 트리거용 부재(20)를 구성하는 근접 도체(27)를 이용하여 트리거 에너지를 인가함으로써, 플래시 램프(10)로부터 빛이 방사되는데, 각각, 상기 플래시 램프(10)의 발광관(11)과 근접 도체(27)가 격리된 상태로 설치되어 있고, 또한, 근접 도체(27)가 밀봉관체인 유전체관(21)에 덮여 있으며, 발광관(11)과 상기 근접 도체(27) 사이에 공기보다 큰 유전율을 갖는 유전체 부재인 유전체관(21)이 배치되어 있으므로, 하기 (1)∼(4)의 작용 효과가 얻어지고, 이에 따라, 충분한 트리거 에너지로 발광 미스가 없고, 또한, 오래 사용할 수 있다.
(1) 근접 도체(27)가 플래시 램프(10)로부터 방사되는 빛을 받아 열팽창한 경우에도 발광관(11)의 외주면에 근접 도체(27)가 접촉하지 않으므로, 이들이 맞닿아 형성되는 손상에 기인하여 발광관(11)이 파손되는 것이 방지된다.
(2) 근접 도체(27)를 구성하는 고전압 공급용 근접 도체 재료가 스퍼터되어 비산된 경우에도 상기 고전압 공급용 근접 도체 재료가 발광관(11)에 부착하지 않으므로, 발광관(11)의 외주면에 고전압 공급용 근접 도체 재료가 부착하는 것에 기인하여 발광관(11)에 크랙이 생기는 것을 방지할 수 있다.
또한, 고전압 공급용 근접 도체 재료가 예를 들면 기대(31), 플래시 램프용 지지대(32), 트리거용 부재 지지대(36), 가압 부재(35) 등의 유전체관(21) 이외의 구성 요소에 부착되는 것을 방지할 수도 있다.
또한, 이 플래시 램프 장치를 구비한 섬광 방사 장치에 있어서는, 예를 들면 (a) 반사 미러가 구비되어 있는 경우에 이 반사 미러면에 고전압 공급용 근접 도체 재료가 부착되어 반사율을 저하시키는 것, (b) 클린 룸의 세정도를 악화시키는 것, (c) 피처리물과 플래시 램프와의 전면 유리판이 구비되어 있는 경우에 이 전면 유리에 고전압 공급용 근접 도체 재료가 부착되어 조도 열화를 일으키는 것, (d) 경우에 따라서는 고전압 공급용 근접 도체 재료가 피처리물에 혼입되는 것 등을 방지할 수 있다.
(3) 근접 도체(27)가 대기중의 산소와 격리된 상태이므로, 금속으로 이루어지는 근접 도체(27)가 산화하는 것을 방지할 수 있어, 근접 도체(27)의 열화를 억제할 수 있다.
(4) 근접 도체(27)와 발광관(11) 사이에 유전체 부재인 유전체관(21)이 존재하고, 전계의 집중이 완화되므로, 고전압 공급용 근접 도체를 발광관에 밀착시킨 경우처럼 아크가 근접 도체(27)에 끌어 당겨지지 않고, 이에 의해, 근접 도체(27) 바로 아래에 위치하는 발광관(11)의 내주면이 변색함으로써 광량 유지율이 저하하는 것을 방지할 수 있다.
또한, 플래시 램프와 제1 트리거용 부재(20)가 개별적으로 설치되어 있으므로, 이들 구성 부재중 어느 하나만을 용이하게 교환할 수 있다.
또한, 일반적으로 발광관(11)과 근접 도체(27)가 격리되어, 이 발광관(11)과 근접 도체(27) 사이에 공기층이 존재하는 상태에 있어서는 절연 파괴가 발생하기 어렵지만, 본 발명의 플래시 램프 장치에 있어서는 상기 발광관(11)과 근접 도체(27) 사이에 공기보다 큰 유전율을 갖는 유전체 부재(유전체관(21)의 관벽)가 개재하고 있으므로, 동일한 전극간 전압을 인가한 경우에는 발광관과 고전압 공급용 근접 도체 사이에 공기층만이 존재하는 경우에 비해 절연 파괴가 생기기 쉬워지고, 그 결과, 높은 동작 신뢰성을 얻을 수 있다.
그리고, 유전체관(21)의 관벽 두께(t1)를 예를 들면 발광관(11)과 근접 도체(27)와의 간극만큼 크게 함으로써, 한층 높은 동작 신뢰성을 얻을 수 있다.
여기에, 유전체관(21)의 관벽 두께(t1)를 크게함으로써 높은 동작 신뢰성을 얻을 수 있는 이유는, 도 4에 나타내는 바와 같이 이 플래시 램프 장치에서는, 플래시 램프(10)를 구성하는 전극(양극(14))과, 제1 트리거용 부재(20)를 구성하는 근접 도체(27) 사이에 배치되어 있는 플래시 램프 장치의 구성 요소 및 공기 각각을 유전체로 생각하면, 이들 유전체가 직렬 접속되어 있으므로, 하기 식(1)으로 표시되는 합성 정전 용량을 갖는 콘덴서(이하, 「직렬 콘덴서」라고 한다)가 형성되어 있기 때문이다.
즉, 유전체관(21)의 관벽 두께(t1)를 크게 함으로써 직렬 콘덴서의 합성 정전 용량을 크게 할 수 있고, 트리거 에너지에 관한 하기 식(2)에 나타내는 바와 같이, 동일한 전극간 전압으로 점등을 행하는 경우에는 콘덴서의 정전 용량이 커짐에 따라 보다 큰 트리거 에너지를 얻을 수 있으므로, 높은 동작 신뢰성을 얻을 수 있다.
[수 1]
식 (1)
Figure 112002043470880-pat00001
〔식에서 C0은 직렬 콘덴서의 합성 정전기 용량을 표시하고, 또한, C1은 트리거용 부재를 구성하는 유전체관의 내부에 존재하는 기체를 유전체로 하는 콘덴서의 정전 용량, C2는 유전체관을 유전체로 하는 콘덴서의 정전 용량, C3은 트리거용 부재와 플래시 램프와의 사이에 존재하는 공기를 유전체로 하는 콘덴서의 정전 용량, C4는 플래시 램프를 구성하는 발광관을 유전체로 하는 콘덴서의 정전 용량, C5는 발광관의 내부에 존재하는 기체를 유전체로 하는 콘덴서의 정전 용량을 각각 표시한다.〕
[수 2]
식 (2)
Figure 112002043470880-pat00002
〔식에서 E는 트리거 에너지, C는 콘덴서의 정전 용량, V는 전극간 전압을 표시한다.〕
구체적으로, 식(1) 및 콘덴서의 정전 용량에 관한 하기 식(3)을 이용하여, 도 5에 나타내는 바와 같이, 플래시 램프(10)를 구성하는 전극(양극(14))과, 트리거용 부재(20)를 구성하는 근접 도체(27)의 이간 거리(do)가 7㎜이고, 발광관(11) 및 유전체관(21)으로서 석영 유리로 이루어지는 것을 이용하며, 상기 발광관(11)의 내부에는 크세논 가스를 봉입하고, 유전체관(21)의 내부를 진공 분위기로 한 플래시 램프 장치의 직렬 콘덴서의 합성 정전 용량(Co)과, 유전체관(21)의 관벽 두께(t1)(이하의 설명에 있어서의 식중에서 「d2」로 표시한다)의 관계식은 다음과 같이 하여 구해지는 하기 식(c)과 같이 된다.
[수 3]
식 (3)
Figure 112002043470880-pat00003
〔식에서 ε는 유전율, S는 전극에 있어서의 실효 유효 면적, d는 유전체층의 두께를 표시한다.〕
우선, 상기 식(1)에서의 C1∼C5를 상기 식(3)에 의해 치환함으로써, 하기 식(a)이 얻어진다. 이 얻어진 식(a)에 하기 표 1에서 표시하는 각각의 값을 대입함으로써 하기 식(b)이 얻어진다.
[수 4]
Figure 112002043470880-pat00004
〔식에서 ε1은 트리거용 부재를 구성하는 유전체관의 내부에 존재하는 기체의 유전율, ε2는 유전체관의 유전율, ε3은 트리거용 부재와 플래시 램프와의 사이에 존재하는 공기의 유전율, ε4는 플래시 램프를 구성하는 발광관의 유전율, ε5는 발광관의 내부에 존재하는 기체의 유전율을 각각 표시하고, 또한 d1은 유전체관의 내부에 존재하는 기체에 관한 유전체층의 두께, d2는 유전체관에 관한 유전체층의 두께, d3는 트리거용 부재와 플래시 램프와의 사이에 존재하는 공기에 관한 유전체층의 두께, d4는 발광관에 관한 유전체층의 두께, d5는 발광관의 내부에 존재하는 기체에 관한 유전체층의 두께를 표시한다.〕
유전율ε 유전체층의 두께 d(㎜)
유전체관의 내부에 존재하는 기체에 관한 콘덴서 1(ε1) 0.4(d1)
유전체관에 관한 콘덴서 3.8(ε2) ─
트리거용 부재와 플래시 램프와의 사이에 존재하는 공기에 관한 콘덴서 1(ε3) ─
발광관에 관한 콘덴서 3.8(ε4) 1(d4)
발광관의 내부에 존재하는 기체에 관한 콘덴서 1(ε5) 1.25(d5)
[수 5]
Figure 112002043470880-pat00005
얻어진 식(b)의 d3를, 전극(양극(14))과 근접 도체(27)와의 이간 거리(do)가 7㎜이고, 상기 표 1에 있어서 d1, d4 및 d5가 명백한 것으로부터 얻어지는 d3와 d2의 관계식 「d3= 4.35-d2」로 치환함으로써, 하기 식(c)이 얻어진다.
[수 6]
Figure 112002043470880-pat00006
이 식(c)에 의해, 유전체관(21)의 관벽 두께(t1)(d2)를 크게 함으로써, 직렬 콘덴서의 합성 정전 용량(C0)이 커지는 것을 확인할 수 있다.
또한, 제1 트리거용 부재(20)에 있어서는 그 선단(27A)이 자유단으로 된 상 태의 근접 도체(27)가 제1 돌기부(22A) 및 제2 돌기부(22B)에 의해 지지되어 있고, 이들 돌기부(22A, 22B) 이외에 근접 도체(27)가 유전체관(21)의 내주면에 접촉하지 않은 상태이므로, 플래시 램프(10)로부터 방사되는 빛을 받아 근접 도체(27)가 열팽창한 경우에도, 예를 들면 유전체관(21)의 내주면에 근접 도체(27)와 스쳐 손상이 생기는 것이 원인이 되어 파손되는 등의 폐해가 발생하지 않는다.
(제2 실시형태)
도 6은 섬광 방사 장치에 구비된 상태의 본 발명의 플래시 램프 장치의 구성의 다른 예를 나타내는 설명도이고, 도 7은 도 6의 플래시 램프 장치에 있어서의 플래시 램프와 트리거용 부재와의 위치 관계를 나타내는 설명용 단면도이다.
이 플래시 램프 장치는 그 내부 공간에 근접 도체(27)를 구비한 유전체관(21)에 의해 구성되는 제1 트리거용 부재(20)를 대신해, 플래시 램프(10)에 있어서의 발광관(11)에 그 일면이 평행하게 배치된, 판상태의 유전체 부재(이하, 「유전체판」이라고도 한다)(41)와, 상기 유전체판(41)을 차폐판으로 하고, 이 유전체판(41)을 통해 발광관(11)의 관축 방향으로 연장하도록 배치된, 선상태의 형상을 갖는 고전압 공급용 근접 도체(이하, 단순히「근접 도체」라고도 한다)(47)에 의해 구성되는 트리거용 부재(이하, 「제2 트리거용 부재」라고도 한다)(40)를 갖는 것 외에는 제1 실시형태와 동일한 구성을 갖는 것이다.
이 예에 있어서 플래시 램프 장치는 플래시 램프(10)가 발광관(11)의 양단에 장착된 꼭지쇠(17) 각각이 판용수철로 이루어지는 가압 부재(35)에 의해 플래시 램프 유지부(33)를 갖는 플래시 램프용 지지대(32)에 장착되어 지지되고, 또한, 제2 트리거용 부재(40)에 있어서의 유전체판(41) 및 근접 도체(47)가 유전체판(41)의 양단이 트리거용 부재 유지부(39)를 갖는 트리거용 부재 지지대(38)에 장착되어 지지되고, 상기 플래시 램프용 지지대(32)와 상기 트리거용 부재 지지대(38)는 플래시 램프(10)에 대해 제2 트리거용 부재(40)가 평행한 위치(도 6에 있어서는 바로 아래 위치)에 제2 트리거용 부재(40)가 배치되도록 공통의 기대(31)상에 지지됨으로써 섬광 방사 장치에 구비되어 있다.
또한, 플래시 램프용 지지대(32)와 트리거용 부재 지지대(38)는 공통의 기대(31)에 배치되지 않고, 예를 들면 각각이 별도의 기대에 개별적으로 배치되어 있어도 된다.
제2 트리거용 부재(40)에 있어서는 각각 유전체판(41)과 근접 도체(47)가 이간된 상태로 배치되는 것이 바람직하다.
또한, 유전체판(41)은 세로폭이 근접 도체(47)의 길이 이상이고, 그 가로 폭이 근접 도체(47)의 외경 이상으로 되며, 그 두께(t2)는 발광관(11)과 고전압 공급용 근접 도체(21)와의 간극만큼 있는 것이 가장 바람직하다.
그리고, 유전체판(41)의 재료로는 제1 실시형태의 유전체관(21)과 동일한 것을 들 수 있다. 또한, 제2 트리거용 부재(40)를 구성하는 유전체판(41) 이외의 구성요소로는 제1 실시형태에서 든 것을 적합하게 이용할 수 있다.
이러한 구성의 플래시 램프 장치에 의하면, 제2 트리거용 부재(40)를 구성하는 근접 도체(47)를 이용하여 트리거 에너지를 인가함으로써, 플래시 램프(10)로부터 빛이 방사되는데, 각각 상기 플래시 램프(10)의 발광관(11)과 근접 도체(47)가 격리된 상태로 설치되어 있고, 또한, 상기 근접 도체(47)가 차폐판으로 되는 유전체판(41)을 통해 설치됨으로써 상기 발광관(11)과 상기 근접 도체(47) 사이에 공기보다 큰 유전율을 갖는 유전체 부재가 배치되므로, 하기 (1)∼(3)의 작용효과가 얻어지고, 이에 따라 충분한 트리거 에너지로 발광 미스가 없고, 또한, 오래 사용할 수 있다.
(1) 근접 도체(47)가 플래시 램프(10)로부터 방사되는 빛을 받아 열팽창한 경우에도 발광관(11)의 외주면에 근접 도체(47)가 접촉되지 않으므로, 이들이 스쳐 생기는 손상에 기인하여 발광관(11)이 파손되는 것이 방지된다.
(2) 근접 도체(47)를 구성하는 고전압 공급용 근접 도체 재료가 스퍼터하여 비산된 경우에도 상기 고전압 공급용 근접 도체 재료가 발광관(11)에 부착되지 않으므로, 발광관(11)의 외주면에 고전압 공급용 근접 도체 재료가 부착되는 것에 기인하여 발광관(11)에 크랙이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
(3) 근접 도체(47)와 발광관(11) 사이에 유전체 부재인 유전체판(41)이 존재하고, 전계의 집중이 완화되므로, 고전압 공급용 근접 도체가 발광관에 밀착해 있는 경우처럼 아크가 근접 도체(47)에 끌어 당겨지지 않고, 이에 따라, 근접 도체(47) 바로 아래에 위치하는 발광관(11)의 내주면이 변색함으로써 광량 유지율이 저하하는 것을 방지할 수 있다.
또한, 발광관(11)과, 근접 도체(47) 사이에 공기보다 큰 유전율을 갖는 유전체 부재(유전체판(41))가 개재하고 있으므로, 동일한 전극간 전압을 인가한 경우에는 발광관과 고전압 공급용 근접 도체와의 사이에 공기층만이 존재하는 경우에 비 해 절연 파괴가 발생하기 쉬워지고, 그 결과, 높은 동작 신뢰성을 얻을 수 있다.
그리고, 유전체판(41)의 두께(t2)를 예를 들면 발광관(11)과 고전압 공급용 근접 도체(41)와의 간극만큼 크게 함으로써, 한층 더 높은 동작 신뢰성을 얻을 수 있다.
또한, 플래시 램프와, 제2 트리거용 부재(40)를 구성하는 근접 도체(47) 및 유전체판(41)이 개별적으로 형성되어 있으므로, 이들 구성 부재중 하나만을 용이하게 교환할 수 있다.
본 발명의 플래시 램프 장치에서는 다양한 변경을 할 수 있다. 예를 들면, 트리거용 부재를 구성하는 유전체 부재는 플래시 램프에 있어서의 발광관의 외주면에 접촉한 상태로 설치되어 있어도 된다.
이 경우에는 동일한 전극간 전압으로 점등을 하는 경우에 유전체 재료와 발광관과의 간극이 작아짐에 따라 보다 큰 트리거 에너지를 얻을 수 있으므로, 높은 동작 신뢰성을 얻을 수 있다.
구체적으로, 트리거용 부재를 구성하는 유전체 부재를 플래시 램프에 있어서의 발광관의 외주면에 접촉시키는 방법으로는 예를 들면 (1) 도 8에 나타내는 바와 같이, 트리거용 부재 지지대(72)를 예를 들면 용수철(71) 등의 탄성체 재료를 통해 기대(31)에 유지시키고, 탄성체 재료의 탄성을 이용하여 탄력 접착시키는 방법, (2) 도 9에 나타내는 바와 같이, 플래시 램프(10)가 하측방(도 9에 있어서 하측방)에 빛을 방사하는 구성의 플래시 램프 장치에 있어서는 트리거용 부재 지지대(75)에 있어서의 트리거용 부재 유지부(76)를 트리거용 부재(20)가 트리거용 부재 지지 대(75)의 높이 방향으로 이동 가능해지도록 유지하는 구성의 것으로 하고, 트리거용 부재(20)의 자체 무게를 이용하여 접촉시키는 방법 등을 들 수 있다.
제1 실시형태에 있어서는 제1 트리거용 부재가 예를 들면 하기 (a)∼(c)의 구성을 갖는 것이어도 된다.
(a) 도 10에 나타내는 바와 같이, 밀봉관체인 유전체관(51)의 양단에 소위 단이음 밀봉구조에 의한 밀봉부가 형성되어 있고, 이 유전체관(51)의 일단(51A)으로부터 관축방향 내측으로 돌출하여 연장하는 선상태의 형상을 갖는 고전압 공급용 근접 도체(이하, 단순히 「근접 도체」라고도 한다)(57)가 유전체관(51)에 있어서의 근접 도체(57)의 선단(57A)측의 내주면이 내측으로 돌출하여 이루어지는 돌기부(52)에 의해, 선단(57A)이 자유단으로 된 상태에서 슬라이드 가능하게 유지되어 이루어지는 구성.
(b) 도 11에 나타내는 바와 같이, 밀봉관체인 유전체관(61)의 양단에 소위 단이음 밀봉 구조에 의한 밀봉부가 형성되어 있고, 이 유전체관(61)의 일단(61A)에서 관축 방향 내측으로 돌출되는 예를 들면 텅스텐선으로 이루어지는 제1 선상태 부분(63)과, 상기 유전체관(61)의 타단(61B)에서 관축 방향 내측으로 돌출되는, 예를 들면 텅스텐선으로 이루어지는 제2 선상태 부분(64)과, 그 일단이 제1 선상태 부분(63)의 선단(63A)에, 예를 들면 스폿 용접에 의해 접속되고, 타단이 제2 선상태 부분(64)의 선단(64A)에, 예를 들면 스폿 용접에 의해서 접속되며, 상기 선단(63A)과 선단(63A)과의 이간 거리보다 큰 길이를 가지고, 만곡된 상태로 설치되어 있는, 예를 들면 몰리브덴박으로 이루어지는 신축 조정 부재(65)로 이루어지 는 고전압 공급용 근접 도체(이하, 단순히 「근접 도체」라고도 한다)(67)를 구비하는 구성.
이 경우에는 근접 도체(67)의 양단이 유전체관(61)에 봉착되어 있는데, 신축 조정 부재(65)의 작용에 의해, 예를 들면 제1 선상태 부분(63) 및 제2 선상태 부분(64)이 플래시 램프(10)로부터 방사되는 빛을 받아 열팽창해도 상기 발광관(11)에 크랙이 발생하는 등의 폐해를 동반하지 않는다.
또한, 예를 들면 플래시 램프 장치 주변의 분위기가 질소 분위기인 경우에 트리거용 부재가 고전압 공급용 근접 도체가 양단이 밀봉되어 있지 않은 통형상의 유전체 재료로 덮여 있는 구성이어도 된다. 이 통형상의 유전체 재료는 그 전체 길이가 적어도 아크 길이인 음극과 양극과의 사이의 거리만큼의 길이를 갖는 것이면 되고, 이에 따라, 고전압 공급용 근접 도체 재료의 비산을 방지할 수 있다.
또한, 주변의 플래시 램프의 영향이 클 때는 그 길이를 적절히 선택할 수 있는 것은 말할 필요도 없다.
또한, 유전체관을 구비한 트리거용 부재는 상기 유전체관의 내부에 예를 들면 바륨, 질코늄과 알루미늄의 합금 등으로 이루어지는 고체 게터가 봉입되어 이루어지는 것이어도 된다.
이 경우에는 고체 게터가 유전체관의 내부에 구비되어 있는 고전압 공급용 근접 도체가 플래시 램프(10)로부터 방사되는 빛을 받아 유전체관에 존재하는 산소와 반응하지 않도록 미리 산소를 흡수하므로, 상기 고전압 공급용 근접 도체의 산화를 확실하게 방지할 수 있다.
트리거용 부재는, 도 12에 나타내는 바와 같이, 고전압 공급용 근접 도체로서 몰리브덴박(77)을 이용하고, 이 몰리브덴박(77)이, 예를 들면 석영 유리로 이루어지는 유전체 부재(78)에 봉입되어 이루어지는 구성을 갖는 것이어도 된다.
도면의 예에서, 몰리브덴박(77)의 일단부(도 12에 있어서 좌단부)(77A)는 트리거 전압 인가용 부분으로서 유전체 부재(78)의 일단(도 12에서 좌단)(78A)으로부터 돌출된 상태로 되어 있다.
이 경우에는 몰리브덴박(77)이 고온이 되어도, 이 몰리브덴박(77) 자체의 열팽창이 금속의 소성 변형의 범위내에 들어가므로, 유전체 부재(78)에 크랙이 발생하지 않고, 트리거용 부재 자체가 파괴되지 않는다.
이상과 같은 플래시 램프 장치를 구비한 섬광 방사 장치는 예를 들면 반도체 기판이나 액정 기판 등을 열처리 하기 위한 열처리 장치의 가열원으로서 이용할 수 있는데, 이러한 열처리 장치에 의하면, 고전압 공급용 근접 도체가 플래시 램프로부터 방사되는 빛을 받아 스퍼터한 고전압 공급용 근접 도체 재료가 유전체 부재의 외측방으로 비산하는 것을 방지할 수 있으므로, 피처리물에 고전압 공급용 근접 도체 재료가 부착되는 것을 방지할 수 있는 동시에, 작업 환경이 악화되는 것을 억제할 수 있다.
또한, 섬광 방사 장치는 도 13에 나타내는 바와 같이, 다수의 플래시 램프 장치에 의해 구성되어도 된다.
도 13의 예에서는 평행하게 나란히 배열된 다수(도 13에 있어서는 5개)의 막대 형상의 플래시 램프(81)가 공통의 플래시 램프용 지지대(85)에 지지되고, 또한, 플래시 램프(81)와 동일한 수의 트리거용 부재(82)가 각각 대응하는 플래시 램프(81)에 평행한 위치(도 13에 있어서는 바로 아래 위치)에 배치된 상태에서 공통의 트리거용 부재 지지대(86)에 지지되어 있고, 이들의 플래시 램프용 지지대(85), 트리거용 부재 지지대(86)는 공통의 기대(84)에 개별적으로 지지되어 있다.
또한, 도 13에 있어서는 다수의 플래시 램프(81) 중 1개만이 표시되어 있다.
이하, 본 발명의 작용 효과를 확인하기 위해 행한 실험에 대해 설명한다.
<실시예 1>
도 1에 나타내는 구성의 형식에 따라, 각각 하기의 플래시 램프 및 트리거용 부재로 이루어지고, 유전체관으로서 하기 표 2에 나타내는 외경 및 내경을 갖는 것을 구비한 플래시 램프 장치(a)∼(c)를 작성하고, 또한, 트리거용 부재에 대신해, 상기 트리거용 부재에 이용되는 고전압 공급용 근접 도체를 플래시 램프를 구성하는 발광관의 외부에 상기 발광관과 격리한 상태로 배치하여 이루어지는 구성을 갖는 것 외에는 플래시 램프 장치(a)와 동일한 구성을 갖는 플래시 램프 장치(d)를 작성했다.
(플래시 램프)
발광관 : 석영 유리(전체 길이 360㎜, 내경 8.5㎜, 외경 10.5㎜)
음극 : 바륨·알루미네이트를 함유하는 몰리브덴
양극 : 텅스텐
전극간 거리 : 280㎜
봉입 가스 : 크세논 가스(봉입압 450Torr)
(트리거용 부재)
유전체관: 석영 유리(전체 길이 320㎜)
고전압 공급용 근접 도체 : 텅스텐선(외경 1㎜, 전체 길이 290㎜)
밀봉부에 관한 금속박 : 몰리브덴박
유전체관 내부 : 진공 분위기
외경(㎜) 내경(㎜) 관벽 두께 t1 (㎜)
램프(a) 4.5 1.8 1.35
램프(b) 3.4 1.8 0.8
램프(c) 2.7 1.8 0.45
얻어진 플래시 램프 장치 (a)∼(d)에 대해, 전극(양극 및 음극)과 고전압 공급용 근접 도체와의 이간거리를 변화시키면서 절연 파괴가 생기는 최소의 트리거 에너지를 측정했다. 결과를 도 14에 나타낸다.
도 14에 있어서, 플래시 램프 장치(a)의 결과를 곡선(a), 플래시 램프 장치(b)의 결과를 곡선(b), 플래시 램프 장치(c)의 결과를 곡선(c), 플래시 램프 장치(d)의 결과를 곡선(d)로 표시한다.
이상의 결과로부터, 전극과 고전압 공급용 근접 도체 사이에 유전체관이 개재함으로써 플래시 램프 장치를 점등하기 위해 필요한 트리거 에너지가 작은 것, 또한, 트리거용 부재를 구성하는 유전체관의 관벽 두께가 커짐에 따라 플래시 램프 장치를 점등하기 위해 필요한 트리거 에너지가 작은 것, 또한, 전극과 고전압 공급 용 근접 도체와의 이간 거리가 일정한 경우에는 유전체관의 관벽 두께가 커짐에 따라 플래시 램프 장치를 점등하기 위해 필요한 트리거 에너지가 작아지는 것이 확인되었다.
따라서, 관벽 두께가 큰 유전체관을 구비한 플래시 램프 장치에 있어서는 작은 트리거 에너지로 상기 플래시 램프 장치를 점등시킬 수 있으므로, 한층 더 높은 동작 신뢰성이 얻어지는 것이 이해된다.
[실시예]
이하, 본 발명의 구체적인 실시예에 대해 설명하는데, 본 발명이 이에 의해 제한되는 것은 아니다.
<실시예 1>
도 1에 나타내는 구성의 형식에 따라, 하기의 플래시 램프 및 트리거용 부재를 구비하여 이루어지고, 전극(양극 및 음극)과 고전압 공급용 근접 도체와의 이간 거리가 7.75㎜인 플래시 램프 장치를 작성했다.
<플래시 램프>
발광관 : 석영 유리(전체 길이 360㎜, 내경 8.5㎜, 외경 10.5㎜)
음극 : 바륨·알루미네이트를 함유하는 몰리브덴
양극 : 텅스텐
전극간 거리 : 280㎜
봉입 가스: 크세논 가스(봉입압 450Torr)
<트리거용 부재>
유전체관 : 석영 유리(전체 길이 320㎜, 내경 1.8㎜, 외경 4.5㎜)
고전압 공급용 근접 도체 : 텅스텐선(외경 1㎜, 전체 길이 290㎜)
밀봉부에 관한 금속박 : 몰리브덴박
유전체관 내부 : 진공 분위기
얻어진 플래시 램프 장치를 하기의 조건에 의해 5만회 점등한 후, 상기 플래시 램프 장치에 있어서의 발광관의 외주면을 눈으로 관찰한 바, 고전압 공급용 근접 도체 재료의 부착 및 손상이 없는 것이 확인되었다.
플래시 램프의 입력 에너지 : 3750J(콘덴서 용량 : 1200μF, 충전 전압 2500V)
트리거 에너지 : 27mJ(콘덴서 용량 : 0.44μF, 충전 전압 330V)
트리거 출력 개방 전압 15kV
본 발명의 플래시 장치에 의하면, 각각 플래시 램프에의 발광관과, 고전압 공급용 근접 도체를 분리한 상태로 설치되고, 또한 상기 발광관도 상기 고전압 공급용 근접 도체와의 사이에 공기보다 큰 유전율을 갖는 유전체 부재가 배치되어 있으므로, 플래시 램프로부터 방사되는 빛을 받아 고전압 공급용 근접 도체를 구성하는 고전압 공급용 근접 도체 재료가 스퍼터하는 현상 및 고전압 공급용 근접 도체가 열팽창하는 현상에 기인하여 폐해가 발생하는 것을 방지할 수 있으므로, 충분한 트리거 에너지로 발광 미스가 없고, 또한, 오래 사용할 수 있다.
본 발명의 섬광 방사 장치에 의하면, 상기의 플래시 램프 장치를 다수 구비 하여 이루어지는 것이므로, 충분한 트리거 에너지로 발광 미스가 없고, 또한, 오래 사용할 수 있다.

Claims (8)

  1. 한쌍의 전극이 대향 배치되어 이루어지는 발광관을 갖는 플래시 램프와, 상기 플래시 램프의 발광관의 외부에서 전극간에 걸쳐 연장되는 고전압 공급용 근접 도체를 구비하여 이루어지는 플래시 램프 장치에 있어서,
    상기 고전압 공급용 근접 도체는, 공기보다 큰 유전율을 갖는 유전체 부재로 이루어지는 밀봉관체의 내부에 위치하고, 밀봉관체의 내주면이 내측으로 돌출하여 이루어지는 돌기부에 의해 슬라이드할 수 있게 유지되어 있는 것을 특징으로 하는 플래시 램프 장치.
  2. 한쌍의 전극이 대향 배치되어 이루어지는 발광관을 갖는 플래시 램프와, 상기 플래시 램프의 발광관의 외부에서 전극간에 걸쳐 연장되는 고전압 공급용 근접 도체를 구비하여 이루어지는 플래시 램프 장치에 있어서,
    상기 고전압 공급용 근접 도체는, 공기보다 큰 유전율을 갖는 유전체 부재로 이루어지는 밀봉관체의 내부에 위치하고, 밀봉관체의 일단으로부터 내측으로 돌출하는 제1 선상태 부분과, 상기 밀봉관체의 타단으로부터 내측으로 돌출하는 제2 선상태 부분이 신축 조정 부재에 의해 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 플래시 램프 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 밀봉관체가 석영 유리로 이루어지는 것임을 특징으로 하는 플래시 램프 장치.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 밀봉관체의 내부가 진공 분위기로 되어 있는 것을 특징으로 하는 플래시 램프 장치.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서, 밀봉관체의 내부가 불활성 가스 분위기로 되어 있는 것을 특징으로 하는 플래시 램프 장치.
  6. 삭제
  7. 제1항 또는 제2항에 있어서, 밀봉관체의 내부에 고체 게터가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 플래시 램프 장치.
  8. 제1항 또는 제2항에 기재된 플래시 램프 장치를 복수 구비하여 이루어지고,
    상기 복수의 각 플래시 램프 장치가 공통의 기대상에 개별적으로 유지되어 이루어지는 구성을 갖는 것을 특징으로 하는 섬광 방사 장치.
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