JP2011154862A - 放電ランプ装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】対向する一対の電極を有する放電ランプと、該放電ランプの近傍に配置されて紫外線を放射し、前記放電ランプの始動性を改善するUVセルとを有する放電ランプ装置において、前記UVセルに給電手段を設けることなく、装置での高圧配線構造の煩雑さを取り除いて、有効な始動性の改善を達成できる構造を提供することにある。
【解決手段】前記UVセルが、前記放電ランプの一対の電極間の放電方向に沿うように配置されているとともに、該UVセルは、給電手段を備えていないことを特徴とする。
【選択図】 図1
【解決手段】前記UVセルが、前記放電ランプの一対の電極間の放電方向に沿うように配置されているとともに、該UVセルは、給電手段を備えていないことを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
本発明は、対向する一対の電極を有する放電ランプの近傍にUVセルを配置した放電ランプ装置に関するものであり、特に、発光管内に希ガスとフッ素を封入してエキシマ光を放射する放電ランプ装置に係わるものである。
従来から、誘電体材料よりなる発光管の外周面に電極を設けるとともに、その内部に希ガスとフッ素を封入し、該発光管内に発生させた誘電体バリア放電によって前記放電ガスのエキシマ分子を生成して、該エキシマ分子からエキシマ光を放射させる放電ランプが知られている。
このようなランプは、例えば、光化学反応用の紫外線光源として利用されている。
このようなランプは、例えば、光化学反応用の紫外線光源として利用されている。
上記のような放電ランプは、放電ガスを選択することによって所望の波長のエキシマ光を得るものであり、そのために希ガス(アルゴン、クリプトン、キセノン等)とフッ素が封入されており、フッ素は、フッ素単体、或いは、フッ化物(六フッ化硫黄:SF6、四フッ化炭素:CF4、三フッ化窒素:NF3)として封入されている。
以下の表に、希ガスとフッ化物の組み合わせに応じた放射波長を例示する。
以下の表に、希ガスとフッ化物の組み合わせに応じた放射波長を例示する。
これらの紫外光は、露光、表面改質、殺菌等の種々の用途に利用されている。特に、193nm、248nmの紫外線放射が得られるアルゴン−フッ素、クリプトン−フッ素の放電ランプは、レジストの特性試験、周辺露光、マスク検査等の幅広い用途に利用されている。
ところで、放電容器が石英ガラスからなるランプでは、放電ガスとしてフッ素を用いた場合に、石英ガラス中にフッ素が取り込まれてしまい、放電空間内に本来必要とされるフッ素量が減少し、希ガスとフッ素のエキシマ分子の生成量が減少してしまい、エキシマランプから放射される光出力が低下するという問題があった。
上記において、フッ素が石英ガラスに取り込まれていくメカニズムは必ずしも明確ではないが、以下のように考えられている。
放電容器を構成する石英ガラスは、エキシマ分子から放射される多量の紫外線の照射を受け、表面の(=Si−O−Si=)の結合の一部が切断され、=Si・(・は不対電子、=は酸素との結合を表す)などの欠陥が生じ、これとフッ素が反応して、石英ガラス中にフッ素が取り込まれていくものと考えられている。
その結果、放電空間中のフッ素量が減少し、フッ素と希ガスのエキシマ分子の生成量が減少して光出力が減少するものである。
放電容器を構成する石英ガラスは、エキシマ分子から放射される多量の紫外線の照射を受け、表面の(=Si−O−Si=)の結合の一部が切断され、=Si・(・は不対電子、=は酸素との結合を表す)などの欠陥が生じ、これとフッ素が反応して、石英ガラス中にフッ素が取り込まれていくものと考えられている。
その結果、放電空間中のフッ素量が減少し、フッ素と希ガスのエキシマ分子の生成量が減少して光出力が減少するものである。
このような問題を解決するために、特許文献1(特開2009−59606号公報)に示されているように、発光管材料として、石英ガラス以外のフッ素と反応し難い材料、例えば、透光性セラミックスであるサファイアを用いた放電ランプが知られている。
図6に、この透光性セラミックスを用いた従来の放電ランプが示されている。
同図において、(A)は発光管の管軸方向に沿った断面図であり、(B)は発光管の管軸方向に対して垂直方向の断面図、即ち、(A)におけるA−A断面図である。
図6に、この透光性セラミックスを用いた従来の放電ランプが示されている。
同図において、(A)は発光管の管軸方向に沿った断面図であり、(B)は発光管の管軸方向に対して垂直方向の断面図、即ち、(A)におけるA−A断面図である。
放電ランプ1の発光管2は、短波長紫外光を透過し、かつフッ素との反応が少ない材料として、透光性セラミックスのサファイアからなるものである。
前記発光管2の長手方向における両端は開放されており、その両端には封止用の平坦状の金属キャップ31、32が取り付けられる。該キャップ31、32は、例えば鉄(Fe)にニッケル(Ni)及びコバルト(Co)を配合した合金のいわゆるコバールにより形成される。このコバールは、発光管材料であるサファイアと熱膨張係数が近いことから採用される。
前記発光管2と金属キャップ31、32とは、例えば、銀と銅との合金(Ag−Cu合金)であるロウ材からなる封止材41、42により密閉状に封止される。
前記発光管2の長手方向における両端は開放されており、その両端には封止用の平坦状の金属キャップ31、32が取り付けられる。該キャップ31、32は、例えば鉄(Fe)にニッケル(Ni)及びコバルト(Co)を配合した合金のいわゆるコバールにより形成される。このコバールは、発光管材料であるサファイアと熱膨張係数が近いことから採用される。
前記発光管2と金属キャップ31、32とは、例えば、銀と銅との合金(Ag−Cu合金)であるロウ材からなる封止材41、42により密閉状に封止される。
一方のキャップ31には排気管5が設けられており、該排気管5を介して発光管2の内部の放電空間21が排気・減圧された後に、希ガスとフッ化物が封入される。これらの発光物質が封入された後、排気管5は圧接などで封止部51が形成されることにより、発光管2は密閉構造となる。
発光管2内の放電空間21に封入される発光物質として、前記した、アルゴン(Ar)、クリプトン(Kr)又はキセノン(Xe)からなる希ガスと、六フッ化硫黄(SF6)、四フッ化炭素(CF4)又は三フッ化窒素(NF3)などのフッ化物などが封入されている。
発光管2内の放電空間21に封入される発光物質として、前記した、アルゴン(Ar)、クリプトン(Kr)又はキセノン(Xe)からなる希ガスと、六フッ化硫黄(SF6)、四フッ化炭素(CF4)又は三フッ化窒素(NF3)などのフッ化物などが封入されている。
また、発光管2の外周面には、図6(B)に示すように、一対の外部電極61、62が互いに電気的に離れるように対向配置され、該電極61、62は図6(A)に示すように、発光管2の管軸方向に沿って延びるように設けられている。
この外部電極61、62は、例えば銅をペースト状にしたものを発光管2の外周面に塗布し、乾燥させて形成することができる。
この外部電極61、62は、例えば銅をペースト状にしたものを発光管2の外周面に塗布し、乾燥させて形成することができる。
ランプ点灯時には、一対の外部電極61、62間に高電圧が印加されることにより、発光管2を介して該外部電極61、62間に放電が発生する。
発光管2内に、アルゴン(Ar)と六フッ化硫黄(SF6)が封入されている場合、これらが電離されて、アルゴンイオンやフッ素イオンを形成し、アルゴン−フッ素からなるエキシマ分子が形成され、193nmの波長近傍の光が発光され、発光管2から放射される。
発光管2内に、アルゴン(Ar)と六フッ化硫黄(SF6)が封入されている場合、これらが電離されて、アルゴンイオンやフッ素イオンを形成し、アルゴン−フッ素からなるエキシマ分子が形成され、193nmの波長近傍の光が発光され、発光管2から放射される。
ところで、各種の処理技術に用いられるこのような放電ランプには、処理効率や処理速度の向上のために、光出力の一層の向上が求められてきており、そのためには、発光管内に封入するフッ化物の封入量を増加させることが必要であり、近時その傾向が顕著である。
しかしながら、該フッ化物は絶縁性物質であって、その封入量が増えると放電が起こり難くなり、放電ランプの始動性が低下するという問題が生じてきている。
換言すると、所定の印加電圧では放電ランプが点灯しないという不具合が発生してきている。
しかしながら、該フッ化物は絶縁性物質であって、その封入量が増えると放電が起こり難くなり、放電ランプの始動性が低下するという問題が生じてきている。
換言すると、所定の印加電圧では放電ランプが点灯しないという不具合が発生してきている。
しかして、放電ランプの始動性の改善のために、その始動時に、発光管の外部から発光管内に紫外線を照射し、該発光管内の物質の光電効果を利用して、所定の印加電圧でも確実に放電ランプを点灯させることができる技術が知られている。
このような状況は、発光管内に一対の電極を有し、水銀が封入されているショートアーク水銀放電ランプにおいても同様であって、その始動性の改善が要求されており、その解決方法のひとつとして、ランプの発光管近傍に紫外線を放射するUVセルを配置した技術が提案されている。このような技術は先行特許文献2(特開2004−139955号公報)に記載されている。
上記特許文献2においては、UVセルを点灯させるための該UVセルへの電力供給は、ショートアーク水銀放電ランプの電極と電気的に接続された給電線を、UVセルに接続することによって行われるものであり、具体的には、UVセルの発光管の外面に外部電極が形成され、この外部電極にランプへの給電線を接続する構造となっている。
上記特許文献2においては、UVセルを点灯させるための該UVセルへの電力供給は、ショートアーク水銀放電ランプの電極と電気的に接続された給電線を、UVセルに接続することによって行われるものであり、具体的には、UVセルの発光管の外面に外部電極が形成され、この外部電極にランプへの給電線を接続する構造となっている。
そして、前記した図6に示す構造の外部電極放電ランプの始動性改善のために、かかる特許文献2のようなUVセルを使用することが考えられる。
この場合、そのUVセルを点灯させるための電力供給は、外部電極放電ランプの外部電極に電気的に接続された給電線を、前記UVセルに接続する構造となる。
ところで、外部電極放電ランプの外部電極への給電線のうちのどちらか一方は、高電圧側の電気特性となる高電圧線であり、上記UVセルへの接続構造においては、この高電圧線を装置内で取り回すことになり、装置内での絶縁性を確保するために装置構造が複雑化するという問題がある。
かかる問題があるために、外部電極放電ランプにおいて、UVセルを使用する場合に、UVセルへの給電手段を固有に検討しなければならなくなってきた。
この場合、そのUVセルを点灯させるための電力供給は、外部電極放電ランプの外部電極に電気的に接続された給電線を、前記UVセルに接続する構造となる。
ところで、外部電極放電ランプの外部電極への給電線のうちのどちらか一方は、高電圧側の電気特性となる高電圧線であり、上記UVセルへの接続構造においては、この高電圧線を装置内で取り回すことになり、装置内での絶縁性を確保するために装置構造が複雑化するという問題がある。
かかる問題があるために、外部電極放電ランプにおいて、UVセルを使用する場合に、UVセルへの給電手段を固有に検討しなければならなくなってきた。
本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであり、放電ランプの発光管近傍にUVセルを配置して始動性を改善せんとする放電ランプ装置において、UVセルの点灯のための配線構造による装置構造の複雑化を避けて、簡単な構造で放電ランプの始動性の改善を図ることができる構造を提供せんとするものである。
上記課題を解決するために、この発明に係る放電ランプ装置は、紫外線を放射するUVセルが前記放電ランプの電極間の放電方向に沿うように配置されており、該UVセルは給電手段を備えていないことを特徴とする。
また、前記放電ランプは、発光管の外面に一対の外部電極が設けられていることを特徴とする。
また、前記放電ランプは、透光性セラミックスよりなる発光管の内部に希ガスとフッ素が封入されていることを特徴とする。
また、前記UVセルは、その発光管の内部に導電性部材が配置されていることを特徴とする。
また、前記UVセルは、その発光管の外面の両端部に電極として機能する一対の導電性部材が設けられていることを特徴とする。
また、前記放電ランプは、発光管の外面に一対の外部電極が設けられていることを特徴とする。
また、前記放電ランプは、透光性セラミックスよりなる発光管の内部に希ガスとフッ素が封入されていることを特徴とする。
また、前記UVセルは、その発光管の内部に導電性部材が配置されていることを特徴とする。
また、前記UVセルは、その発光管の外面の両端部に電極として機能する一対の導電性部材が設けられていることを特徴とする。
本発明によれば、放電ランプの始動性改善のためのUVセルを電極間の放電方向に沿うように配置することにより、特別な給電手段を備えていなくても、前記ランプの電極と電極の間で発生する電界の中にUVセルが配置され、該UVセルの発光管内でも電界が生じて、これを点灯させることができ、該UVセル内に発生する紫外線を放電ランプに照射して、その始動性に寄与することができるものである。
図1は本発明の放電ランプ装置を示し、(A)は管軸方向の断面図、(B)はそのA−A断面図である。
放電ランプ1は、図6に示した放電ランプと同様な構造であり、その発光管2の近傍に、紫外線を放射する略円筒形状のUVセル8が配置されている。該UVセル8は石英ガラス製の発光管81からなり、その放電空間82内には、放電により紫外線を生成する放電媒体、例えば、Xeガスなどが封入されている。そして、前記発光管81の管軸83が放電ランプ1の一対の外部電極61、62間での放電方向に沿う方向に配置されている。即ち、当該構成の放電ランプ1においては、UVセル8は、その管軸83が発光管2に直交する方向に配置されるものである。
放電ランプ1は、図6に示した放電ランプと同様な構造であり、その発光管2の近傍に、紫外線を放射する略円筒形状のUVセル8が配置されている。該UVセル8は石英ガラス製の発光管81からなり、その放電空間82内には、放電により紫外線を生成する放電媒体、例えば、Xeガスなどが封入されている。そして、前記発光管81の管軸83が放電ランプ1の一対の外部電極61、62間での放電方向に沿う方向に配置されている。即ち、当該構成の放電ランプ1においては、UVセル8は、その管軸83が発光管2に直交する方向に配置されるものである。
なお、放電ランプ1は、サファイアの発光管2(内径φ8mm×外径φ8mm×長さ200mm)からなり、その外周面には一対の外部電極61、62が設けられている。
外部電極61、62は、金をペースト状にしたものを発光管2の外面に塗布して形成することができる。該外部電極61、62の形状は幅2mm×長さ80mmである。
発光管2内には、封入ガスとして、He、F2、Arが封入されており、全圧で23.3kPaである。
外部電極61、62間には、周波数が70kHzであって、印加電圧が8kV(p−p)となるパルス高電圧が印加される。
外部電極61、62は、金をペースト状にしたものを発光管2の外面に塗布して形成することができる。該外部電極61、62の形状は幅2mm×長さ80mmである。
発光管2内には、封入ガスとして、He、F2、Arが封入されており、全圧で23.3kPaである。
外部電極61、62間には、周波数が70kHzであって、印加電圧が8kV(p−p)となるパルス高電圧が印加される。
図2はUVセル8の断面図であり、(A)はUVセル8が石英ガラス製の発光管81(内径φ1.4mm×外径φ3mm×長さ15mm)からのみなるものであって、該発光管81内にはXeが4.0kPa程度封入されている。
(B)は、発光管81の内部に棒状の導電性部材84が配置されている例である。該導電性部材84は、例えば、SUS製の金属線であり、線径φ0.2mm×長さ8mmである。
(C)は、発光管81の両端に外部電極として機能する導電性部材85、86を設けた例である。該導電性部材(外部電極)85、86は、例えば、金の蒸着膜からなり、電極間距離は8mmである。
(B)は、発光管81の内部に棒状の導電性部材84が配置されている例である。該導電性部材84は、例えば、SUS製の金属線であり、線径φ0.2mm×長さ8mmである。
(C)は、発光管81の両端に外部電極として機能する導電性部材85、86を設けた例である。該導電性部材(外部電極)85、86は、例えば、金の蒸着膜からなり、電極間距離は8mmである。
上記実施例に従うUVセルの発光動作を説明すれば以下のとおりである。
図3において、石英ガラス製の発光管81からなるUVセル8が、放電ランプ1の発光管2の近傍に外部電極61、62間の放電方向に沿うように設けられている。放電ランプ1の一方の外部電極61は接地電極であり、他方の電極62は駆動電源6から正負交番パルス高圧が印加されている。
10a〜10eは、放電ランプ1の外部電極61、62の電位により形成される等電位面を模式的に示したものであり、電界(電位の傾き)は放電ランプ1の放電空間21内のみならず、放電空間の外の周囲にも及ぶ。今、略円筒形状のUVセ8を放電ランプ1に近接させ、かつ該UVセル8の管軸83を放電ランプ1の放電方向、即ち電極間軸にほぼ平行に設置した場合を考える。その時のUVセル8の管軸83上の電位分布が下方のグラフに示されている。
図3において、石英ガラス製の発光管81からなるUVセル8が、放電ランプ1の発光管2の近傍に外部電極61、62間の放電方向に沿うように設けられている。放電ランプ1の一方の外部電極61は接地電極であり、他方の電極62は駆動電源6から正負交番パルス高圧が印加されている。
10a〜10eは、放電ランプ1の外部電極61、62の電位により形成される等電位面を模式的に示したものであり、電界(電位の傾き)は放電ランプ1の放電空間21内のみならず、放電空間の外の周囲にも及ぶ。今、略円筒形状のUVセ8を放電ランプ1に近接させ、かつ該UVセル8の管軸83を放電ランプ1の放電方向、即ち電極間軸にほぼ平行に設置した場合を考える。その時のUVセル8の管軸83上の電位分布が下方のグラフに示されている。
図で分かるように、放電ランプ1による電界は、UVセル8の放電空間82内にも及び、その内部にも電界が形成されている。いま、放電ランプ1の高圧側電極62の電位がV0(>0)である瞬間を考える。放電ランプ1の高圧側電極62に近い側のUVセル8の放電空間82の端部82bの電位をV1、放電ランプ1の接地電極61に近い側のUVセル8の放電空間82の端部82aの電位をV2とすると、V0>V1>V2>0の関係にある。
UVセル放電空間82には発光ガスであるキセノンが、比較的小さな電界でも放電が開始する圧力、例えば、4.0kPa程度で封入されており、UVセル8内に誘起された電界により放電が生じ、これにより紫外線が発光される。
一方で、放電ランプ高圧側電極62に負電位V0(<0)が印加された瞬間には、V0<V1<V2<0の関係となり、やはり同じくUVセル8内に誘起された電界により放電、発光する。
UVセル放電空間82には発光ガスであるキセノンが、比較的小さな電界でも放電が開始する圧力、例えば、4.0kPa程度で封入されており、UVセル8内に誘起された電界により放電が生じ、これにより紫外線が発光される。
一方で、放電ランプ高圧側電極62に負電位V0(<0)が印加された瞬間には、V0<V1<V2<0の関係となり、やはり同じくUVセル8内に誘起された電界により放電、発光する。
図4に示す、UVセル8の発光空間82内に導電性部材84を配置した例についての発光動作は以下のとおりである。
図3と同様に、10a〜10gは、放電ランプ1の外部電極61、62へのパルス高電圧印加に伴う等電位面を模式的に示している。ここでは簡単のために、導電性部材84はUVセル8の発光管81の管軸上にあるものとして考える。
このとき、導電性部材84内は同電位となり、導電性部材84の両端84a、84bの近傍の等電位面10b〜10c、10e〜10fは導電性部材84がない場合に比較して、該導電性部材84から遠ざかるように変形を受ける。
その結果得られるUVセル8の管軸上の電位分布が下方のグラフに実線で示されている。比較のために導電性部材がない場合(図3)の電位分布を破線で示す。
前記導電性部材84のために、その端部近傍で等電位面が変形を受けた結果、導電性部材端84a、84bと放電空間端82a、82bの区間11a、11bで、グラフの傾き、即ち、電界の傾きが大きくなる。このため、導電性部材がない場合に比較して、放電空間82内の発光ガスの放電、発光が容易になる。
図3と同様に、10a〜10gは、放電ランプ1の外部電極61、62へのパルス高電圧印加に伴う等電位面を模式的に示している。ここでは簡単のために、導電性部材84はUVセル8の発光管81の管軸上にあるものとして考える。
このとき、導電性部材84内は同電位となり、導電性部材84の両端84a、84bの近傍の等電位面10b〜10c、10e〜10fは導電性部材84がない場合に比較して、該導電性部材84から遠ざかるように変形を受ける。
その結果得られるUVセル8の管軸上の電位分布が下方のグラフに実線で示されている。比較のために導電性部材がない場合(図3)の電位分布を破線で示す。
前記導電性部材84のために、その端部近傍で等電位面が変形を受けた結果、導電性部材端84a、84bと放電空間端82a、82bの区間11a、11bで、グラフの傾き、即ち、電界の傾きが大きくなる。このため、導電性部材がない場合に比較して、放電空間82内の発光ガスの放電、発光が容易になる。
図5に示す、UVセル8の発光管81の両端に導電性部材(外部電極)85、86を設けた例についての発光動作は以下のとおりである。
図において、導体である外部電極85、86内は同電位となり、放電空間82内の外部電極85、86の近傍の等電位面10c〜10d、10f〜10gは、外部電極がない場合に比較して、外部電極85、86から遠ざかるように変形を受ける。
その結果得られるUVセル8の管軸上の電位分布が下方のグラフに実線で示されている。比較のために外部電極がない場合(図3)の電位分布を破線で示す。
前記外部電極85、86の近傍で等電位面が変形を受けた結果、放電空間82内の外部電極間11において、グラフの傾き、即ち、電界の傾きが大きくなる。このため、外部電極がない場合に比較して、放電空間82内の発光ガスの放電、発光がより容易になる。
図において、導体である外部電極85、86内は同電位となり、放電空間82内の外部電極85、86の近傍の等電位面10c〜10d、10f〜10gは、外部電極がない場合に比較して、外部電極85、86から遠ざかるように変形を受ける。
その結果得られるUVセル8の管軸上の電位分布が下方のグラフに実線で示されている。比較のために外部電極がない場合(図3)の電位分布を破線で示す。
前記外部電極85、86の近傍で等電位面が変形を受けた結果、放電空間82内の外部電極間11において、グラフの傾き、即ち、電界の傾きが大きくなる。このため、外部電極がない場合に比較して、放電空間82内の発光ガスの放電、発光がより容易になる。
以上のように、本発明の放電ランプ装置では、該放電ランプの近傍に、その電極間の放電方向に沿うようにUVセルを配置し、該UVセルには給電手段を設けない構成としたことにより、ランプ周辺の装置内にUVセル発光のための煩雑な配線・給電手段を設けることなく放電ランプの始動性を改善することができる。
また、UVセル内に導電性部材を配置することにより、一層の始動性の改善効果が得られる。
更には、UVセルの発光管端部に導電性部材を設けたことにより、一層の始動性の改善効果が得られる。
特に、放電空間内に希ガスとフッ化物を封入して短波長紫外線を得る外部電極型放電ランプにおいても、装置内で高圧配線を取り回すという煩わしさもなく、良好な始動性が得られるので、光出力の向上のためにフッ化物を多量に封入した放電ランプ装置を実現できるものである。
また、UVセル内に導電性部材を配置することにより、一層の始動性の改善効果が得られる。
更には、UVセルの発光管端部に導電性部材を設けたことにより、一層の始動性の改善効果が得られる。
特に、放電空間内に希ガスとフッ化物を封入して短波長紫外線を得る外部電極型放電ランプにおいても、装置内で高圧配線を取り回すという煩わしさもなく、良好な始動性が得られるので、光出力の向上のためにフッ化物を多量に封入した放電ランプ装置を実現できるものである。
1 放電ランプ
2 発光管
21 放電空間
6 駆動電源
61、62 外部電極
8 UVセル
81 (UVセルの)発光管
82 放電空間
83 管軸
84 (棒状の)導電性部材
85、86 導電性部材(外部電極)
10 等電位面
2 発光管
21 放電空間
6 駆動電源
61、62 外部電極
8 UVセル
81 (UVセルの)発光管
82 放電空間
83 管軸
84 (棒状の)導電性部材
85、86 導電性部材(外部電極)
10 等電位面
Claims (5)
- 対向する一対の電極を有する放電ランプと、該放電ランプの近傍に配置されて紫外線を放射し、前記放電ランプの始動性を改善するUVセルとを有する放電ランプ装置において、
前記UVセルは、前記放電ランプの電極間の放電方向に沿うように配置されており、
前記UVセルは、給電手段を備えていないことを特徴とする放電ランプ装置。 - 前記放電ランプは、発光管の外面に一対の外部電極が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の放電ランプ装置。
- 前記放電ランプは、透光性セラミックスよりなる発光管の内部に希ガスとフッ素が封入されていることを特徴とする請求項2に記載の放電ランプ装置。
- 前記UVセルは、その発光管の内部に導電性部材が配置されていることを特徴とする請求項1ないし請求項3に記載の放電ランプ装置。
- 前記UVセルは、その発光管の外面の両端部に一対の導電性部材が設けられていることを特徴とする請求項1ないし請求項3に記載の放電ランプ装置。
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2010
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