JP4548212B2 - 閃光放電ランプ - Google Patents
閃光放電ランプ Download PDFInfo
- Publication number
- JP4548212B2 JP4548212B2 JP2005143432A JP2005143432A JP4548212B2 JP 4548212 B2 JP4548212 B2 JP 4548212B2 JP 2005143432 A JP2005143432 A JP 2005143432A JP 2005143432 A JP2005143432 A JP 2005143432A JP 4548212 B2 JP4548212 B2 JP 4548212B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- arc tube
- tube
- discharge lamp
- lamp
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Description
図2にグローブボックスの概略構成を示す。600はグローブボックスであって、外部から作業を行うための作業用グローブ601が設けられている。図1の構造のセラミック製放電ランプはこのグローブボックス600内で取り扱われる。610は脱ガス処理室であって、グローブボックス600に開閉可能に設けられた第1の隔壁602を介して連設されており、この脱ガス処理室610には、真空ポンプ611が接続されている。脱ガス処理室では発光管などに吸着している吸着水などが取り除かれる。615は封着処理室であって、グローブボックス600に開閉可能に設けられた第2の隔壁603を介して連設されており、この封着処理室615には、封着処理室615内の空気を排出する排気手段616と、封着処理室615内に、発光管1内に封入される希ガスを供給するガス供給手段617とが接続されている。封着処理室615で発光管1と電極構造体20の金属キャップ4の封着がされる。
閃光放電ランプ200は透光性セラミックスであるサファイアにより形成された発光管1を有し、発光管1内にはキセノン(Xe)やクリプトン(Kr)などの希ガスが封入され、発光管1の内部で対向配置され発光管1の両端部で気密に封止された一対のタングステン製の電極21,22を備える。そして、電極21、22は、発光管1内部で放電部21Aと、冷却部21Bが同一の部材、そして放電部22Aと、冷却部22Bが同一の部材で一体物として形成されている。同一の部材で一体物として形成されているのでつなぎ目がなく熱伝導性が極めて良好となる。
図4(b)に一方の電極構造体210を示す。電極21と封止部材25がロウ材25aでロウ付けされている。管部材23はロウ材23bでロウ付けされている。23aは密封部である。
この電極構造であると冷却部51Bの表面積が大きくなり、電極51の冷却効果が大きい。
この例においては、封止部材35の段差部38bの段差幅は径方向で1mmである。また薄肉部38aは厚み0.5mmであり、封止部材の他の部分38b部に比べて75%程度薄くなっている。
500Wの入力で比較すると、波長200〜300nmの紫外線放射効率は超高圧水銀ランプで5.7%、カドミウム希ガス放電ランプで5.0%であるのに対し、キセノンをサファイア製発光管内に150kPa封入し、電流密度12000A/cm2で点灯した本願発明の閃光放電ランプは8.0%であった。このように、従来からの超高圧水銀ランプやカドミウム希ガス放電ランプと比べ、紫外線の放射効率は高く、良好な性能の紫外線ランプとなる。
給排気用孔が電極の管軸方向の放電空間内の内端部に開口した構造にしておき、電極71と電極72の間に500Vの直流の電圧を印加し、給排気用孔71cの開いた方の電極を陰極とする。さらに20kVの高電圧をランプ外部より印加すると電極の給排気用孔71cから発光管中心部を通る細い糸状の放電が生じる。フラッシュ発光の主放電が休止している間にも、この放電は継続する。閃光放電ランプではシマ−放電と呼ばれる、いわゆる主放電のための予備的な放電であって、主放電はこのシマ-放電に沿って放電する。シマ−放電は主放電に対して非常な小さな電流で行うため、電極先端で安定しにくいが、本構成によれば、給排気用孔71cの放電空間内端部71tでは電界が集中するためシマ−放電の起点となり、シマ−放電が安定することになる。
2 電極
3 ロウ材
4 金属キャップ
5 ロウ材
10 閃光放電ランプ
20 電極構造体
N メタライズ処理部
11 電極
12 電極
13 管部材
13a 密封部
13b 開口部
14 給電リード
15 封止部材
16 ロウ材
17 ロウ材
21 電極
21A 放電部
21B 冷却部
21C 給排気用孔
22 電極
23 管部材
23a 密封部
23b ロウ材
25 封止部材
31 電極
31A 放電部
31B 冷却部
32 電極
32A 放電部
32B 冷却部
33 管部材
35 封止部材
K1 固着部
K2 固着部
36 応力緩衝部
36a 薄肉部
36b 段差部
37 応力緩衝部
37a 薄肉部
37b 段差部
38 応力緩衝部
38a 薄肉部
38b 段差部
39 応力緩衝部
39a 薄肉部
42 電極
43 電極
51 電極
51A 放電部
51B 冷却部
52 管部材
53 ロウ材
61 電極
62 電極
65 水冷用管
71 電極
71c 給排気用孔
71t 内端部
85 ゲッター室
90 ゲッター材
95 フィルタ
H 放電空間
100 閃光放電ランプ
200 閃光放電ランプ
210 電極構造体
220 電極構造体
300 閃光放電ランプ
400 閃光放電ランプ
500 閃光放電ランプ
600 グローブボックス
601 作業用グローブ
602 第1の隔壁
603 第2の隔壁
610 脱ガス処理室
611 真空ポンプ
615 封着処理室
616 排気手段
617 ガス供給手段
Claims (2)
- 透光性セラミックスにより形成された発光管を有し、該発光管内には希ガスが封入され、該発光管の内部で対向配置され該発光管の両端部で気密に封止された一対の電極を備え、該電極が、該発光管内部で放電する部分と、該発光管外部に突出した部分とが一体で形成されてなる閃光放電ランプにおいて、
前記電極の少なくとも一方には外方に伸びる管部材が取り付けられ、該管部材は、該電極に形成され放電空間内に開口する給排気孔と連通してなり、該給排気孔は、該電極の管軸方向の放電空間内の内端部に開口した構造であることを特徴とする閃光放電ランプ。 - 前記電極の管部材は、ゲッター室を構成し、該ゲッター室内には、ゲッター材が置かれたことを特徴とする請求項1に記載の閃光放電ランプ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005143432A JP4548212B2 (ja) | 2005-05-17 | 2005-05-17 | 閃光放電ランプ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005143432A JP4548212B2 (ja) | 2005-05-17 | 2005-05-17 | 閃光放電ランプ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006324012A JP2006324012A (ja) | 2006-11-30 |
JP4548212B2 true JP4548212B2 (ja) | 2010-09-22 |
Family
ID=37543544
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005143432A Expired - Fee Related JP4548212B2 (ja) | 2005-05-17 | 2005-05-17 | 閃光放電ランプ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4548212B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5365213B2 (ja) * | 2008-10-01 | 2013-12-11 | ウシオ電機株式会社 | ショートアーク型放電ランプ |
JP5316079B2 (ja) * | 2009-02-26 | 2013-10-16 | ウシオ電機株式会社 | エキシマ放電ランプ |
JP5387633B2 (ja) * | 2011-08-05 | 2014-01-15 | パナソニック株式会社 | 放電管及び該放電管を備えた発光装置 |
JP2018206614A (ja) * | 2017-06-05 | 2018-12-27 | 岩崎電気株式会社 | キセノンフラッシュランプ |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4884477U (ja) * | 1972-01-12 | 1973-10-13 | ||
JPS4979087U (ja) * | 1972-10-23 | 1974-07-09 | ||
JPS56134466A (en) * | 1980-03-24 | 1981-10-21 | Univ Osaka | Flush lamp |
JPS59101354U (ja) * | 1982-12-27 | 1984-07-09 | 株式会社東芝 | 金属蒸気放電灯 |
JPS62154449A (ja) * | 1985-12-25 | 1987-07-09 | West Electric Co Ltd | 両端封止閃光放電管およびその製造方法 |
JPS6360265U (ja) * | 1986-10-06 | 1988-04-21 | ||
JPH06505360A (ja) * | 1991-01-24 | 1994-06-16 | マックスウェル・テクノロジーズ・インコーポレーテッド | 平均出力が高く寿命が長い堅固なフラッシュランプ |
JPH1167147A (ja) * | 1997-08-26 | 1999-03-09 | Toshiba Lighting & Technol Corp | メタルハライド放電ランプおよび照明装置 |
JP2004152567A (ja) * | 2002-10-30 | 2004-05-27 | Iwasaki Electric Co Ltd | フラッシュランプとその電極ユニット |
-
2005
- 2005-05-17 JP JP2005143432A patent/JP4548212B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4884477U (ja) * | 1972-01-12 | 1973-10-13 | ||
JPS4979087U (ja) * | 1972-10-23 | 1974-07-09 | ||
JPS56134466A (en) * | 1980-03-24 | 1981-10-21 | Univ Osaka | Flush lamp |
JPS59101354U (ja) * | 1982-12-27 | 1984-07-09 | 株式会社東芝 | 金属蒸気放電灯 |
JPS62154449A (ja) * | 1985-12-25 | 1987-07-09 | West Electric Co Ltd | 両端封止閃光放電管およびその製造方法 |
JPS6360265U (ja) * | 1986-10-06 | 1988-04-21 | ||
JPH06505360A (ja) * | 1991-01-24 | 1994-06-16 | マックスウェル・テクノロジーズ・インコーポレーテッド | 平均出力が高く寿命が長い堅固なフラッシュランプ |
JPH1167147A (ja) * | 1997-08-26 | 1999-03-09 | Toshiba Lighting & Technol Corp | メタルハライド放電ランプおよび照明装置 |
JP2004152567A (ja) * | 2002-10-30 | 2004-05-27 | Iwasaki Electric Co Ltd | フラッシュランプとその電極ユニット |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006324012A (ja) | 2006-11-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10109473B1 (en) | Mechanically sealed tube for laser sustained plasma lamp and production method for same | |
CN1783416B (zh) | 放电灯 | |
JP5360033B2 (ja) | ショートアーク型フラッシュランプ | |
JP4569636B2 (ja) | エキシマ放電ランプ | |
WO2013081054A1 (ja) | エキシマランプ | |
JP4548212B2 (ja) | 閃光放電ランプ | |
JP2009500792A (ja) | モリブデン−レニウム端部キャップを有するセラミックランプ、並びに該ランプを備えるシステム及び方法 | |
JP5201845B2 (ja) | 高圧放電ランプ | |
JP2011154862A (ja) | 放電ランプ装置 | |
US20110095684A1 (en) | Excimer lamp | |
JP4998826B2 (ja) | フラッシュランプ及びフラッシュランプの製造方法 | |
JP2003331780A (ja) | ショートアーク放電ランプ用電極構造 | |
JP2009238471A (ja) | エキシマランプ | |
JP6120182B2 (ja) | 両端封止型ショートアークフラッシュランプ | |
JP2010049953A (ja) | 紫外線エンハンサ、高圧放電ランプおよび照明装置 | |
JP2005183164A (ja) | 放電ランプ装置用アークチューブ | |
RU2803045C1 (ru) | Высокоинтенсивная импульсная газоразрядная короткодуговая лампа | |
JP2010073624A (ja) | 高圧放電ランプおよび照明装置 | |
JPS6231938A (ja) | 希ガス封入式放電ランプ | |
JP5800190B2 (ja) | ショートアーク型放電ランプ | |
JP2003229090A (ja) | ショートアーク型水銀ランプ | |
JP6665906B2 (ja) | ショートアーク型放電ランプ | |
JP5316079B2 (ja) | エキシマ放電ランプ | |
JP2006302786A (ja) | 閃光放電ランプ | |
JP2016024848A (ja) | ダブルエンド型ショートアークランプおよびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080304 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20090120 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100203 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100216 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100331 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100615 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100628 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130716 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130716 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140716 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |