JP4569636B2 - エキシマ放電ランプ - Google Patents
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Description
第1の手段は、サファイア、YAG、または単結晶イットリアの少なくとも1つからなる放電容器の外表面に少なくとも1つの外部電極を設け、前記放電容器内にアルゴン(Ar)とフッ素(F)原子を含むガスを封入したエキシマ放電ランプであって、前記放電容器の内表面から100μmまでの深さ領域に含まれるモリブデン(Mo)、鉄(Fe)、クローム(Cr)の金属不純物総和濃度が600wtppm以下であり、前記放電容器は、管状に構成され、該放電容器内には、アルゴン(Ar)と六フッ化イオウ(SF 6 )とヘリウム(He)またはネオン(Ne)とが封入され、前記放電容器の外表面には2つ外部電極を管軸方向に沿って設け、前記放電容器は、全周に亘り外部電極が設けられていない外表面部分を前記放電容器の両端側に有しており、前記放電容器の両端に設けられた金属製キャップを有しており、前記外部電極間の放電空間を介した最短距離≦前記外部電極間の沿面最短距離、かつ前記外部電極間の放電空間を介した最短距離<前記外部電極と金属キャップ間の距離であることを特徴とするエキシマ放電ランプである。
第2の手段は、サファイア、YAG、または単結晶イットリアの少なくとも1つからなる放電容器の外表面に少なくとも1つの外部電極を設け、前記放電容器内にアルゴン(Ar)とフッ素(F)原子を含むガスを封入したエキシマ放電ランプであって、前記放電容器の内表面から100μmまでの深さ領域に含まれるモリブデン(Mo)、鉄(Fe)、クローム(Cr)の金属不純物総和濃度が600wtppm以下であり、前記放電容器は、略直方体状に構成され、該放電容器内には、アルゴン(Ar)と六フッ化イオウ(SF 6 )とヘリウム(He)またはネオン(Ne)とが封入され、前記放電容器の外表面には2つ外部電極を長尺方向に沿って設け、前記放電容器は、全周に亘り外部電極が設けられていない外表面部分を前記放電容器の端側に有しており、前記放電容器の一端に設けられた金属製キャップを有しており、前記外部電極間の放電空間を介した最短距離≦前記外部電極間の沿面最短距離、かつ前記外部電極間の放電空間を介した最短距離<前記外部電極と金属キャップ間の距離であることを特徴とするエキシマ放電ランプである。
また、管状または略直方体状の放電容器を備え、放電容器の外表面に少なくとも1つの外部電極を管軸方向または長尺方向に沿って設け、放電容器内にアルゴン(Ar)と六フッ化イオウ(SF6)を封入し、放電容器は、全周に亘り電極を設けない外表面部分をその容器端部側に有した構造にした場合に、ヘリウム(He)またはネオン(Ne)が封入されていると、アルゴン(Ar)に比べて高熱伝導率を有するため、放電容器内の放電部から発する熱が速やかに放電部以外の領域に伝播され、放電容器内のガス温度を低く保てるため、ランプの発光効率の低下を防止することができる。
また、ハロゲンと金属キャップの反応によるハロゲン量の低下がなく、かつ沿面放電を起こすことなく安定に放電を維持することができる。
図1(a)は、本実施形態の発明に係るエキシマ放電ランプの管軸を通る切断面から見た断面図、図1(b)は図1(a)に示すエキシマ放電ランプの管軸に垂直な切断面A−Aから見た断面図である。
これらの図に示すように、このエキシマ放電ランプ1の放電容器2は、直管状であり、150〜400nmの紫外線に対して光透光性を有すると共に、フッ素イオンの吸収の少ないサファイア、YAG、単結晶イットリアのいずれかの単結晶からなる材料により構成される。また、放電容器2内には、発光ガスとして、アルゴン(Ar)と化学的安定性の高い六フッ化イオウ(SF6)を封入し、またバッファーガスとしてヘリウム(He)またはネオン(Ne)を全封入ガスに占めるモル濃度が90%以上99.5%以下封入する。エキシマ放電ランプ1の点灯時には、発光ガスがアルゴンイオンおよびフッ素イオンを形成するものである。なお、放電容器としては、サファイアがYAGやイットリアと比べて透光性に優れており、EFG法(Edge-defined Film-fed Growth Method)を使った板材、管材の生産方法も確立されているので工業的に生産しやすく好ましい。
一方、放電容器2の冷却のためには、放熱部としての金属キャップである蓋部材3、4と外部電極10、11の距離が近いほど有利となる。
したがって、ハロゲンと金属キャップの反応によるハロゲン量の低下がなく、かつ沿面放電を起こすことなく安定に放電を維持するために必要な要件は、放電ギャップ≦沿面最短距離、かつ放電ギャップ<外部電極と金属キャップ間の距離とすることである。
このグラフは、発光に寄与する希ガスとしてアルゴン(Ar)を、フッ素を含むガスとしてSF6を、バッファガスとしてNeを用い、全圧100,200,400Torrにて、アルゴン(Ar)とネオン(Ne)との総和に占めるネオン(Ne)のモル濃度を変化させたときの、エキシマ発光(193nm)効率(相対値)を示すものである。
同図に示すように、照度が十分安定するのは、ネオン(Ne)比率が90%以上の領域であるが、ネオン(Ne)比率が極めて高い(99.5%以上)領域では発光効率の低下が顕著となる。
このグラフは、発光に寄与する希ガスとしてアルゴン(Ar)を、フッ素を含むガスとしてSF6を、バッファガスとしてNeを用い、全圧100,200,400Torrにて、アルゴン(Ar)とヘリウム(He)との総和に占めるヘリウム(He)のモル濃度を変化させたときの、エキシマ発光(193nm)効率(相対値)を示すものである。
同図に示すように、照度が十分安定するのは、ヘリウム(He)比率が90%以上の領域であるが、ヘリウム(He)比率が極めて高い(99.5%以上)領域では発光効率の低下が顕著となる。
(1)放電容器の仕様、材料:単結晶サファイア、形状:円筒形、肉厚:1mm、長さ:200mm、直径:10mm、放電容器内表面から100μmの深さにおける平均金属不純物濃度:200wtppm以下
(2)電極の仕様、材料:銀(ペーストを印刷)、形状:円筒形の放電容器の軸について対称に対向、長さ:140mm、幅:2mm、放電空間を介した電極間離間距離:10mm
(3)蓋部材の仕様、材料:ニッケル、蓋部材と外部電極間の距離:30mm
(4)封止材の仕様、材料:Ag−Cu合金(銀ロウ)
(5)封入ガスの仕様、Ar:1.58×103Pa、SF6:1.6×101Pa、Ne:7.84×104Pa、全圧8.0×104Pa
(6)点灯条件、3kV(0−peak)、70kHzのパルス電圧印加
(7)放電容器内表面から100μmまでの金属不純物濃度が600wtppm 以下である。そのための実現手段としては、サファイア管であれば弗酸で化学エッチングしたり、イオンビームによるドライエッチングあるいは機械切削がある。
(8)不純物濃度の測定は、サファイア管の中に燐酸62%、硫酸38%の混合液を入れ、サファイア管の両端をテフロン(登録商標)テープで封止し、マイクロウエーブオーブンにかけた状態で5時間程度放置する。その後、液を回収し、ICP(誘導結合型プラズマ発光分析)にて検量線法で定量分析する。
なお、以上の説明では、サファイア管について述べたが、YAGや単結晶イットリアでも結晶成長時の金属不純物が偏析するという点ではサファイアと共通した問題があり、YAGや単結晶イットリアを放電容器として使用した場合にも、内表面の金属不純物の除去は必要となる。
図1に示した形状を有する放電容器の内面を化学エッチングして、放電容器内表面から100μmまでの深さ領域に含まれる金属不純物濃度を600 wtppm以下にしたサファイア管からなるArFエキシマ放電ランプと、結晶成長後、図1に示した形状を有する放電容器の内表面を化学エッチングをしていないサファイア管からなるArFエキシマ放電ランプとを各々3本づつ製作し、バルブ負荷を変えて、193nmの発光強度の時間的推移を調べた。
図4は、比較実験1の結果を示す表である。同図に示すように、放電容器の内表面に化学エッチングを施したエキシマランプ1、2、3は、化学エッチングを施されていないエキシマランプ4、5、6と比べて、光出力寿命が大幅に改善されていることが分かる。
図1に示した形状を有する放電容器の内表面を燐酸62%、硫酸38%の混合液を入れマイクロウエーブオーブンにかけて、各々5時間、4時間、3時間、2時間洗浄処理したArFエキシマ放電ランプ7,8、9、10と、図1に示した形状を有する放電容器の内表面を洗浄処理しないArFエキシマ放電ランプ11,12を用意した。用意されたArFエキシマ放電ランプ7〜12について、ArFエキシマ放電ランプから放射される193nmの光束維持特性を調べた。ここで光束維持率とは、点灯初期を100%とした場合400時間経過時(ランプへの要求される点灯時間)における光束維持の割合である。
図5は、比較実験2の結果を示す表である。同図に示すように、ArFエキシマ放電ランプ7のように、400時間経過時、光束が上昇するものもあるが、400時間経過時点で70%以下は寿命(取替え時期)といえるから、放電容器内表面から100μmまでの深さ領域に含まれる金属不純物濃度を600 wtppmが金属不純物濃度の上限といえる。表面金属不純物濃度が高いほど光束の減衰が大きいのは、フッ素が減少するためのであると考えられる。
図6(a)は、本実施形態の発明に係るエキシマ放電ランプの長尺方向に平行な切断面から見た断面図、図6(b)は、図6(a)のエキシマ放電ランプを切断面A−Aから見た断面図である。
これらの図に示すように、このエキシマ放電ランプ21の放電容器22は、略直方体状であり、150〜400nmの紫外線に対して光透光性を有すると共に、フッ素イオンの吸収の少ないサファイア、YAG、単結晶イットリアのいずれかの単結晶からなる材料により構成される。また、放電容器22内には、発光ガスとして、アルゴン(Ar)と化学的安定性の高い六フッ化イオウ(SF6)を封入し、またバッファーガスとしてヘリウム(He)またはネオン(Ne)を全封入ガスに占めるモル濃度が90%以上99.5%以下封入する。エキシマ放電ランプ1の点灯時には、発光ガスがアルゴンイオンおよびフッ素イオンを形成する。
2 放電容器
3,4 蓋部材
5,6 封止材
7 ガス配管
8 内部空間
9 封止部
10、11 外部電極
12,13 リード
14,15 半田
21 エキシマ放電ランプ
22 放電容器
23 蓋部材
24 封止材
25 ガス配管
26 内部空間
27 封止部
28 板状外部電極
29 網状外部電極
30、31 リード
32、33 半田
Claims (2)
- サファイア、YAG、または単結晶イットリアの少なくとも1つからなる放電容器の外表面に少なくとも1つの外部電極を設け、前記放電容器内にアルゴン(Ar)とフッ素(F)原子を含むガスを封入したエキシマ放電ランプであって、
前記放電容器の内表面から100μmまでの深さ領域に含まれるモリブデン(Mo)、鉄(Fe)、クローム(Cr)の金属不純物総和濃度が600wtppm以下であり、
前記放電容器は、管状に構成され、該放電容器内には、アルゴン(Ar)と六フッ化イオウ(SF 6 )とヘリウム(He)またはネオン(Ne)とが封入され、前記放電容器の外表面には2つ外部電極を管軸方向に沿って設け、前記放電容器は、全周に亘り外部電極が設けられていない外表面部分を前記放電容器の両端側に有しており、
前記放電容器の両端に設けられた金属製キャップを有しており、
前記外部電極間の放電空間を介した最短距離≦前記外部電極間の沿面最短距離、かつ前記外部電極間の放電空間を介した最短距離<前記外部電極と金属キャップ間の距離であることを特徴とするエキシマ放電ランプ。 - サファイア、YAG、または単結晶イットリアの少なくとも1つからなる放電容器の外表面に少なくとも1つの外部電極を設け、前記放電容器内にアルゴン(Ar)とフッ素(F)原子を含むガスを封入したエキシマ放電ランプであって、
前記放電容器の内表面から100μmまでの深さ領域に含まれるモリブデン(Mo)、鉄(Fe)、クローム(Cr)の金属不純物総和濃度が600wtppm以下であり、
前記放電容器は、略直方体状に構成され、該放電容器内には、アルゴン(Ar)と六フッ化イオウ(SF 6 )とヘリウム(He)またはネオン(Ne)とが封入され、前記放電容器の外表面には2つ外部電極を長尺方向に沿って設け、前記放電容器は、全周に亘り外部電極が設けられていない外表面部分を前記放電容器の端側に有しており、
前記放電容器の一端に設けられた金属製キャップを有しており、
前記外部電極間の放電空間を介した最短距離≦前記外部電極間の沿面最短距離、かつ前記外部電極間の放電空間を介した最短距離<前記外部電極と金属キャップ間の距離であることを特徴とするエキシマ放電ランプ。
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