JP2018055965A - 放電ランプおよび放電ランプ装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】 放電容器の内径が20mm以下であるような細径のエキシマランプにおいて、被覆管によって放電容器の外部での絶縁破壊を防止したときでも、最大外径を小さくして、点灯始動性を改善した信頼性の高い細径のエキシマランプを提供する。【解決手段】 本発明のエキシマランプは、放電容器の外周面に被覆管を溶着により一体として形成され、一対の電極の少なくとも一方の電極が放電容器の外周面と被覆管の内周面との間に埋設されている放電ランプにおいて、放電容器の外側面の一部は外側被覆管に覆われずに露出していることを特徴とする放電ランプ。【選択図】図1

Description

本発明は、誘電体バリア放電、あるいは容量結合型高周波放電によって放電発光するエキシマランプ、外部電極型蛍光ランプなどの無電極型放電ランプに関し、特に、点灯始動性を改善した細径のエキシマランプに関する。
放電用ガスが封入された放電容器の対向する両側面に一対の電極を配置し、少なくとも片側の電極が放電容器の管壁内部に埋設した構造を有するエキシマランプがある(特許文献1)。
放電容器の中心軸と同軸状に内側管を有し、放電空間で生じた紫外線を内側管の内側に照射する二重管構造のエキシマランプであり、放電容器の対向する両側面に一対の電極を配置し、一方の電極を外側管の管壁内部に埋設し、他方の電極を外側管外表面に配設した構造を有するエキシマランプがある(特許文献2)。
このようなエキシマランプにおいては、低温状態や暗黒状態や長時間の休止状態後に、点灯始動するときには高い電圧が必要とされるので、点灯用電源が大型化して、エキシマランプ装置を小型にすることが困難であった。そこで、放電容器に封入された放電用ガスに始動補助光源により紫外光を照射した状態で、エキシマランプに電圧を印加することにより、エキシマランプの点灯始動性を改善する方法がある(特許文献3)。
しかしながら、小型のエキシマランプ装置を提供するという目的からは、このような大掛かりな構造を採用することができない。更に、放電容器の外周面が被覆管に覆われている二重管構造を有するエキシマランプは、被覆管の透過率や、被覆管と外側管との境界面(溶着面)における反射(屈折率)による影響を受けて、始動補助光源から放射される紫外線が効率よく放電用ガスに照射することができず、始動補助光源による点灯始動性改善の効果が十分に得ることができないという問題があった。
再表2009/078249号公報 特開2016−146295号公報 特開2012−157412号公報
上記問題点に鑑みて、この発明が解決しようとする課題は、放電容器の外周面が被覆管に覆われている二重管構造を有するエキシマランプの点灯始動性を改善することである。
本発明による放電ランプは、放電用ガスが封入された放電容器と、放電容器の一部を溶着により覆う被覆管と、放電容器の径方向で対向する一対の電極とを有し、少なくとも一方の電極が放電容器の外周面と被覆管の内周面との間に埋設されており、放電容器の一部は、被覆管に覆われずに径方向に対して露出している露出部を有することにより、始動補助手段により点灯始動性を改善することができる。
更に、放電容器の少なくとも片側の端に露出部を設け、この露出部には、放電容器に放電用ガスを封入する導入管を設けたことにより、最大外径が小さい放電ランプを提供することができる。
放電容器は、外径が異なる大径部と小径部とを有し、大径部の少なくとも一部は被覆管により溶着して覆われ、小径部の少なくとも一部に露出部を設けたことにより、放電ランプの最大外径が小さくなり、被覆管の厚さを薄くできる。その結果、紫外線の透過率を高め(減衰を低減し)、効率の良い放電ランプを提供できる。
放電容器は同軸状に配設された内側管と外側管とからなり、内側管と外側管とを溶着した放電空間を設け、外側管の少なくとも一部は被覆管により溶着して覆われ、放電空間で生じた紫外線を内側管の内側にある内部空間に向けて照射する放電ランプに適用することで、点灯始動性改善の効果が得られる。
放電用ガスが封入された放電容器を有する放電ランプと、放電用ガスに紫外線を照射する始動補助光源とを備えた放電ランプ装置において、放電用ガスが封入された放電容器には、放電容器の一部と一体に溶着して電極を埋設する被覆管を有し、放電容器の他の一部は、被覆管に覆われずに始動補助光源に対して露出していることにより、始動補助光源から放出される紫外線が効率よく放電用ガスに照射することができる。
また、始動補助光源と放電ランプとが空間的に連通した状態で対向しており、放電ランプから放射される紫外線が始動補助光源には実質的に照射されず、始動補助光源から放射される紫外線が放電ランプに照射されることにより、放電ランプから放射される紫外線による始動補助光源の劣化を防ぐことができる。
二重管構造を有するエキシマランプにおいて、被覆管による影響を排除することで点灯始動補助手段による効果を高めて、点灯始動性が改善されたエキシマランプを提供することができる。
第1の実施形態であるエキシマランプの概略的外観図である。 第1の実施形態であるエキシマランプの軸方向の概略的断面図である。 第1の実施形態であるエキシマランプの径方向の概略的断面図である。 第2の実施形態であるエキシマランプの軸方向の概略的断面図である。 第2の実施形態であるエキシマランプの径方向の概略的断面図である。 第3の実施形態であるエキシマランプの軸方向の概略的断面図である。 第3の実施形態であるエキシマランプの径方向の概略的断面図である。
以下、図1〜図3を参照して第1の実施形態であるエキシマランプについて説明する。図1は、エキシマランプの概略的外観図である。図2は、エキシマランプの軸方向の概略的断面図であり、図3は、エキシマランプの径方向の概略的断面図である。
図1〜3において、放電ランプであるエキシマランプ1の放電容器10は、石英ガラスなどの誘電材料からなる外側管12の両端を溶融封止することにより、放電空間Sを形成する。放電容器10には、放電容器10の外部と放電空間Sとを空間的に接続する導入管15を設けて、放電容器10(放電空間S)内を真空引きして不純物を除去する。その後、放電容器10の内部に放電用ガスを封入して、導入管15を加熱溶融することで放電容器10内を気密封止する。
放電空間Sには、Xeなどの希ガス、もしくは希ガスとハロゲンガスとの混合ガスが放電用ガスとして封入される。放電用ガスの封入圧は、例えば5kPa〜150kPaに定められる。本実施形態においては、放電用ガスとしてXeガスを封入した。
被覆管20は、放電容器10の外径に導入管15の高さを加えた最大外径のよりも大きい内径の石英ガラスからなる管状部材を同軸状に加熱縮径させることで、放電容器10の一部である外側管12の外周面と一体として溶着している。ここで、放電容器10の他の一部は被覆管20に覆われず、径方向に対して露出した露出部13を形成している。更に、導入管15(の先端)に被覆管20が覆い被さらないので、被覆管20の厚さ分だけエキシマランプ1の最大外径を小さくすることができる。
内側電極31は、モリブデン材からなる箔状の電極である。内側電極31は、被覆管20を加熱縮径させて外側管12と溶着して一体となることで、外側管12の外周面と被覆管20の内周面との間の管壁内部に埋設される。内側電極31の一方の端には内側給電線41が電気的に接続され、被覆管20の外部に取り出されている。他方の端は、完全に管壁内部に埋め込まれて終端している。
外側電極32は、アルミニウム材からなる膜状の電極である。外側電極32は、放電容器10を介して内側電極31と対向するように被覆管20の外周面に配設されている。外側電極32の一方の端には外側給電線42が電気的に接続されている。
内側給電線41と外側給電線42は、交流高電圧電源(図示せず)に電気的に接続されており、エキシマランプ1に電力が供給される。内側電極31が管壁内部に埋め込まれていることで、放電容器10の外部で、内側電極31と外側電極32との間で絶縁破壊することを防ぐ。
始動補助手段としての始動補助光源50はUV−LEDであり、UV−LEDから放射された紫外線が露出部13の外周面に垂直に入射するように、露出部13の中心軸に向けて配設され、波長400nm以下の紫外線を放射する。
内側電極31と外側電極32との間に高周波高電圧が印加されると、誘電体(外側管12と被覆管20)を介して、内側電極31と外側電極32とが対向しているランプ軸方向範囲(有効発光領域)の放電空間Sにて放電が発生する。放電によって生じた紫外線は、外側管12と被覆管20とを透過して、エキシマランプ1の外部に放出される。
放電が発生すると、所定スペクトルのエキシマ光が放射される。例えば、放電用ガスがXeガスでは172nm、Arガスでは126nm、Krガスでは146nm、ArBrガスでは165nm、ArFガスでは193nm、KrClガスでは222nm、XeIガスでは253nm、XeClガスでは308nm、XeBrガスでは283nm、KrBrガスでは207nmの波長を含む紫外線が放射される。
始動補助光源50からは、波長400nm以下の紫外線が放電容器10の露出部13を介して、放電用ガスに向けて放射されるので、エキシマランプ1の始動に要する印加電圧を低減することができる。始動補助光源50は、エキシマランプ1に電圧を印加する前から照射を開始して、電圧印加開始後1分程度の時間は照射を継続させる。
始動補助光源50から放射された紫外線が露出部13に照射されることにより、被覆管20の透過率や、被覆管20と外側管12との境界面における反射(屈折率)による影響を受けずに、始動補助光源50から放射される紫外線を効率よく放電用ガスに照射することができる。特に、内径が20mm以下となるような曲率が大きい放電容器を用いたときには、始動補助光源から放射される紫外線の一部の入射角が大きくなっても、被覆管と外側管との境界面における反射(屈折率)による影響を受けることがないので、効率よく放電用ガスに照射することができる。その結果、内径が20mm以下となるような細径のエキシマランプに対しても、始動補助光源による点灯始動性改善の効果を十分に得ることができる。
始動補助光源50は、エキシマランプ1から放射される紫外線が実質的に照射されない距離Lに配設されることにより、紫外線により急速に劣化することを防ぐ。
本発明による「紫外線が実質的に照射されない」とは、エキシマランプ1から放射される紫外線に感度を有する照度計を用いて、エキシマランプ1の放電容器の外表面(紫外線放射面)付近の照度を100%としたとき、放電容器の外表面(紫外線放射面)から空気中で一定距離以上離れたときの照度が10%未満となる状態をいう。具体的には、波長172nm付近にピーク感度を有する照度計を用いて、放電容器にXeガスが封入されたエキシマランプ1の放電容器の外表面付近の照度が10〜17[mW/cm]であったとき、エキシマランプ1の放電容器の外表面から空気中で30mm離れると、空気を透過することにより減衰して1[mW/cm]程度と成る。このように、エキシマランプ1から始動補助光源50に照射される紫外線の照度が微小である状態をいう。
このような状態が「紫外線が実質的に照射されない」という状態であり、このような状態となる始動補助光源の紫外線放射面とエキシマランプの露出部(外周面であり、始動補助光源からの紫外線が入射する部分)との間の距離Lを「エキシマランプから放射される紫外線が始動補助光源には実質的に照射されない距離」という。このような距離Lとなる位置に始動補助光源50を配設することにより、エキシマランプ1から放射される紫外線が実質的に照射されないので、エキシマランプ1の標準使用期間中(数百〜数千時間)においては、始動補助光源50が急速に劣化することを防ぐことができる。本実施形態においては、大気中にエキシマランプ1と始動補助光源50を配設したときには、上記距離Lは20mm以上とすると良い。更に好ましくは、30mm以上とすると良い。
本実施形態で用いた細径のエキシマランプ1の放電容器10は、内径が5mm〜20mm、肉厚が0.8mm〜1.5mmであるので、内径が小さく、内径に対する肉厚の割合が大きい。そのため、始動補助光源50からエキシマランプ1へ照射される紫外線が、放電容器の曲率が大きいことや、(内径の小ささに比べて)肉厚が厚いことによる影響を受けやすく、点灯始動性を改善する効果が得られ難い。そこで、始動補助光源50から放射された紫外線がエキシマランプ1の放電容器の露出部13の外周面へ垂直に入射するように、始動補助光源50を配設すると良い。好ましくは、エキシマランプ1の露出部13の中心軸に向けて、始動補助光源50の紫外線放射面が対向するように配設すると良い。
なお、本発明による点灯始動性とは、エキシマランプに電圧を印加して、放電容器内の放電から所望な放射スペクトルが得られる安定点灯状態に至る確実さ(確率[%])により把握することができる。エキシマランプは、低温状態や暗黒状態や長時間の休止状態後であっても、点灯始動性の確実さは100%である信頼性が必要である。本実施形態においては、大型の点灯用電源を用いることなく、確実に(ほぼ100%の確率で)安定点灯状態に至らせることができた。
このように、始動補助光源50から放射された紫外線の一部のみが放電用ガスに照射することができるので、距離Lは、50mm以下とすると良い。更に好適には、40mm以下とすると良い。このような距離となる位置に始動補助光源50を配設することにより、始動補助光源50から放射された紫外線を有効活用することができるので、始動補助光源50は最小限の電力で点灯させることができ、始動補助光源50の寿命を延ばし、小さい電源を用いた小型のエキシマランプ装置を提供することができる。
更に、エキシマランプ1から放射される紫外線の波長よりも、長い波長の紫外線を放射する始動補助光源を用いることで、空気中の紫外線透過率の波長による違いを利用して、放電用ガスに効率よく照射しても良い。例えば、エキシマランプ1から放射される紫外線の波長240nm以下としたときには、およそ波長240nm以下の紫外線は空気に吸収されるので、始動補助光源50から放射される紫外線の波長240nm以上とするとよい。更に、露出部13は、エキシマランプ1から放射される紫外線の波長よりも、始動補助光源50から放射される紫外線の波長に対して高い透過性(紫外線の波長に対する透過率)を有すると良い。また、エキシマランプよりも指向性が高い配光特性(照射面積が小さい)の始動補助光源を用いることにより、小電力の始動補助光源であっても、放電空間(露出部内)の放電用ガスに向けて効率よく照射することができるため、大型の電源を用いる必要が無く、小型のエキシマランプ装置を提供することができる。
以上より、始動補助光源50の紫外線放射面とエキシマランプ1の紫外線放射面との間の距離は、エキシマランプ1から放射される紫外線(波長172nm)が実質的に届かない(紫外線が照射されない)距離であって、始動補助光源50から放射される紫外線が届く(紫外線が照射される)距離に配置する。本実施形態においては、始動補助光源50の紫外線放射面とエキシマランプ1の紫外線放射面との距離L[mm]は、20≦L≦50 を満たすと良い。更に、好ましくは、30≦L≦40 を満たすと良い。
このような距離となる範囲に始動補助光源50を配設することにより、始動補助光源50はエキシマランプ1が放射する紫外線に曝されて遮るものが無い状態であっても、始動補助光源の急速な劣化を防ぐことができる。そのため、波長が200nm以下の紫外光が紫外光透過窓から外部へ透過することを阻止するために、高価な紫外光透過窓を設置する必要が無いので、装置の構成が簡素と成り、小型のエキシマランプ装置を提供することができる。更に、始動補助光源と対向する部分の放電容器の形状を変更する必要が無いので、細径のエキシマランプに対しても適用することができる。
本実施形態においては、始動補助手段として始動補助光源(UV−LED)を用いたが、装置外から紫外線を含む光を露出部に照らすことで始動補助してもよい。また、露出部に始動補助電極を近接させて、露出部内で微小な放電を生じさせて始動補助してもよい。
以下、図4と図5を参照して第2の実施形態であるエキシマランプについて説明する。図4は、エキシマランプの軸方向の概略的断面図であり、図5は、エキシマランプの径方向の概略的断面図である。
図4と図5において、放電ランプであるエキシマランプ101の放電容器110は、石英ガラスなどの誘電材料からなる外側管112の両端を溶融封止することにより、放電空間Sを形成する。放電容器110の一部である外側管112には大径部113Aと小径部113Bを設ける。小径部113Bには、放電容器の外部と放電空間Sとを空間的に接続する導入管115を設けて、放電容器110(放電空間S)内を真空引きして不純物を除去する。その後、放電容器110の内部に放電用ガスを封入して、導入管115を加熱溶融することで放電容器110内を気密封止する。
被覆管120は、放電容器110の外径よりも大きい内径の石英ガラスからなる管状部材を、外側管112と同軸状に加熱縮径させることで、大径部113Aの外周面の少なくとも一部に一体として溶着している。小径部113Bの少なくとも一部は被覆管120に覆われず、径方向に対して露出した露出部113を形成している。更に、導入管115を小径部113Bに設けることで、加熱縮径させる前の内径が小さくて厚さが薄い管状部材を被覆管120の材料として用いることができるので、加熱縮径後の被覆管120の径方向厚さを薄くできる。その結果、紫外線の透過率を高める(減衰を低減する)ことができる。
第1電極131と第2電極132は、モリブデン材からなる箔状の電極であり、被覆管120を加熱縮径させて外側管112と一体となることで、外側管112の外周面と被覆管120の内周面との間の管壁内部に埋設される。第1電極131と第2電極132の一方の端には、それぞれ第1給電線141と第2給電線142が電気的に接続され、被覆管120の外部に取り出されている。それぞれ他方の端は、完全に管壁内部に埋め込まれて終端している。
第1給電線141と第2給電線142は、交流高電圧電源(図示せず)に電気的に接続されており、エキシマランプ101に電力が供給される。第1電極131と第2電極132が被覆管120により管壁内部に埋め込まれていることで、放電容器110の外部であって、第1電極131と第2電極132との間で絶縁破壊することを防ぐ。
始動補助手段としての始動補助光源50はUV−LEDであり、UV−LEDから放射された紫外線が露出部113(小径部113B)の外周面に垂直に入射するように、露出部113の中心軸に向けて配設され、波長400nm以下の紫外線を放射する。
始動補助光源50から放射された紫外線が露出部113に照射されることにより、被覆管120の透過率や、被覆管120と外側管112との境界面における反射(屈折率)による影響を受けずに、始動補助光源50から放射される紫外線が効率よく放電用ガスに照射することができる。実施形態1と同様に、特に内径が20mm以下となるような放電容器を用いた細径のエキシマランプにおいて、始動補助光源による点灯始動性改善の効果を十分に得ることができる。
始動補助光源50は、実施形態1と同様に、エキシマランプ101から放射される紫外線が実質的に照射されない距離に配設されることにより、紫外線により急速に劣化することを防ぐ。
第1電極131と第2電極132との間に高周波高電圧が印加されると、誘電体(外側管112と被覆管120)を介して、第1電極131と第2電極132とが対向しているランプ軸方向範囲(有効発光領域)の放電空間Sにて放電が発生する。放電によって生じた紫外線は、外側管112と被覆管120を透過して、エキシマランプの外部に放出される。
以下、図6と図7を参照して第3の実施形態であるエキシマランプについて説明する。図6は、エキシマランプの軸方向の概略的断面図であり、図7は、エキシマランプの径方向の概略的断面図である。
図6と図7において、放電ランプであるエキシマランプ201の放電容器210は、石英ガラスなどの誘電材料からなる外側管212の両端を縮径して、石英ガラスなどの誘電材料からなる内側管211に対して封止部214において溶融封止することにより、放電空間Sを形成する。内側管211の内側(中空部分)には、被照射体である内側流体(図示せず)が配設される。放電容器210の一部である外側管212には、大径部213Aと小径部213Bを設ける。小径部213Bには、放電容器の外部と放電空間Sとを空間的に接続する導入管215を設けて、放電容器210(放電空間S)内を真空引きして不純物を除去する。その後、放電容器210の内部に放電用ガスを封入して、導入管215を加熱溶融することで放電容器210内を気密封止する。
被覆管220は、放電容器210の外径よりも大きい内径の石英ガラスからなる管状部材を、外側管212と同軸状に加熱縮径させることで、大径部213Aの外周面の少なくとも一部に一体として溶着している。小径部213Bの少なくとも一部は被覆管220に覆われず、径方向に対して露出した露出部213を形成している。
内側電極231は、モリブデン材からなる箔状の電極である。内側電極231は、被覆管220を加熱縮径させて外側管212と一体となることで、外側管212の外周面と被覆管220の内周面との間(管壁内部)に埋設される。内側電極231の一方の端には内側給電線241が電気的に接続され、被覆管220の外部に取り出されている。他方の端は、完全に被覆管220の管壁内部に埋め込まれて終端している。
外側電極232は、アルミニウム材からなる膜状の電極である。放電容器の小径部213Bにおいては、外側電極232を設けない。放電容器の大径部213Aにおいては、外側電極232が被覆管220の全周にわたって設けられているが、内側給電線241が取り出されている部分からは隔離して外側電極232を設けることで、外側電極232と内側給電線241(内側電極231)との絶縁破壊を防ぐ。外側電極232の一方の端には外側給電線242が電気的に接続されている。
内側給電線241と外側給電線242は、交流高電圧電源(図示せず)に電気的に接続されており、エキシマランプ201に電力が供給される。内側電極231が被覆管220により管壁内部に埋め込まれていることで、放電容器210の外部であって、内側電極231と外側電極232との間で絶縁破壊することを防ぐ。
始動補助手段としての始動補助光源50はUV−LEDであり、UV−LEDから放射された紫外線が露出部213の外周面に垂直に入射するように、露出部213の中心軸に向けて配設され、波長400nm以下の紫外線を放射する。
始動補助光源50から放射された紫外線が露出部213に照射されることにより、被覆管220の透過率や、被覆管220と外側管212との境界面における反射(屈折率)による影響を受けずに、始動補助光源50から放射される紫外線が効率よく放電用ガスに照射することができる。実施形態1,2と同様に、特に内径が20mm以下となるような放電容器を用いた細径のエキシマランプにおいて、始動補助光源による点灯始動性改善の効果を十分に得ることができる。
内側電極231と外側電極232との間に高周波高電圧が印加されると、誘電体(外側管212と被覆管220)を介して、内側電極231と外側電極232とが対向しているランプ軸方向範囲(有効発光領域)の放電空間Sにて放電が発生する。放電によって生じた紫外線は、内側管211の内側(中空部分)に配設した、内側流体(第1の被照射体)に照射される。
ここで、エキシマランプ201の外側電極232の周方向の一部にスリット状の開口部を設けたり、網目状の開口部を有する外側電極を用いたりすることで、放電によって生じた紫外線は、外側管212と外側電極232の開口部と被覆管220を透過して、エキシマランプの径方向外側に配設した外側流体(第2の被照射体)に照射してもよい。
1、101、201 エキシマランプ
10、110、210 放電容器
211 内側管
12、112、212 外側管
13、113、213 露出部
113A、213A 大径部
113B、213B 小径部
214 封止部
15、115、215 導入管
20、120、220 被覆管
31、131、231 電極(内側電極、第1電極)
32、132、232 電極(外側電極、第2電極)
41、141、241 給電線(内側給電線、第1給電線)
42、142、242 給電線(外側給電線、第2給電線)
50 始動補助光源

Claims (6)

  1. 放電用ガスが封入された放電容器と、
    前記放電容器の一部を溶着により覆う被覆管と、
    前記放電容器の径方向で対向する一対の電極とを有し、
    少なくとも一方の電極が前記放電容器の外周面と前記被覆管の内周面との間に埋設されている放電ランプにおいて、
    前記放電容器の一部は、
    前記被覆管に覆われずに径方向に対して露出している露出部を有することを特徴とする放電ランプ。
  2. 請求項1に記載の放電ランプにおいて、
    前記放電容器の少なくとも片側の端に前記露出部を設け、
    前記露出部には、
    前記放電容器に放電用ガスを封入する導入管を設けたことを特徴とする放電ランプ。
  3. 請求項1または2に記載の放電ランプにおいて、
    前記放電容器は、外径が異なる大径部と小径部とを有し、
    前記大径部の少なくとも一部は前記被覆管により溶着して覆われ、
    前記小径部の少なくとも一部に前記露出部を設けたことを特徴とする放電ランプ。
  4. 請求項1または2に記載の放電ランプにおいて、
    前記放電容器は同軸状に配設された内側管と外側管とからなり、
    前記内側管と前記外側管とを溶着した放電空間を設け、
    前記外側管の少なくとも一部は前記被覆管により溶着して覆われ、
    前記放電空間で生じた紫外線を前記内側管の内側にある内部空間に向けて照射することを特徴とする放電ランプ。
  5. 放電用ガスが封入された放電容器を有する放電ランプと、
    前記放電用ガスに紫外線を照射する始動補助光源とを備えた放電ランプ装置において、
    前記放電用ガスが封入された放電容器には、
    前記放電容器の一部と一体に溶着して電極を埋設する被覆管を有し、
    前記放電容器の他の一部は、
    前記被覆管に覆われずに前記始動補助光源に対して露出していることを特徴とする放電ランプ装置。
  6. 前記始動補助光源と前記放電ランプとが空間的に連通した状態で対向しており、
    前記放電ランプから放射される紫外線が前記始動補助光源には実質的に照射されず、
    前記始動補助光源から放射される紫外線が前記放電ランプに照射されることを特徴とする請求項5に記載の放電ランプ装置。
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