JP2022182688A - エキシマランプ、エキシマランプの点灯方法およびエキシマランプの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】ランプの点灯始動性を高めながら、様々な使用環境に適応可能なエキシマランプを提供する。【解決手段】エキシマランプ１０は、ランプ軸Ｃに沿って外側管２０の端部２０Ｔ２を超えて伸びた部分（以下、延伸部という）５２を備える。内側管５０と外側管２０との間には、主放電空間Ｓ１が形成されている。一方、延伸部５２には、箔状の内側電極３０と内側管５０との部分的な封着によって、補助放電空間Ｓ２が形成されている。【選択図】図１

Description

本発明は、エキシマランプに関し、特に、放電空間の構成に関する。

エキシマランプでは、二重管構造ランプが知られている（特許文献１参照）。そこでは、箔状の内側電極を被覆する誘電体を放電管内に配置し、放電管の外表面に設けられた外側電極と内側電極との間に電圧を印加する。これによって、誘電体と放電管との間に形成された放電空間から紫外線などのエキシマ光が放射される。

また、高出力のエキシマランプを確実に点灯するため、放電開始電圧よりも低い電圧で放電する始動補助機能を備えたエキシマランプが知られている（特許文献２参照）。そこでは、二重管構造ランプの内側管内に、始動電圧の低いガスを封入した始動補助用の放電空間が、ランプ軸方向に沿って形成されている。始動補助用の放電空間から放射された紫外光が主放電空間のガスに照射することで、主放電空間での放電が生じる。

特開２０１２－３８６５８号公報 特開２０１７－４７０２号公報

始動補助用の放電空間が内側管全体に渡って形成するランプ構成の場合、主放電空間と始動補助用放電空間が同心円状に形成されるため、放電管サイズなどに制限が生じる。その結果、例えば、ジャケット管内へエキシマランプを、僅かな隙間間隔で管内配置することが困難になる恐れがある。

したがって、ランプの点灯始動性を高めながら、様々な使用環境に適応可能なエキシマランプを提供することが求められる。

本発明の一態様であるエキシマランプは、ランプ軸方向に沿って配設された箔状電極を覆う誘電体と、誘電体と溶着して主放電空間を形成する放電容器とを備え、誘電体が、放電容器の端部から延伸した延伸部を有する。そして、延伸部において、箔状電極が、誘電体の内側に補助放電空間が形成されるように、誘電体と部分的に封着している。ここで、「封着」とは、箔状電極が封止（密閉）されるように誘電体と溶着することを示す。

補助放電空間は、ランプ軸方向およびランプ周方向の少なくとも一方向に沿って電界強度が異なるように、内側電極の表面と誘電体の内面との間に形成することが可能である。例えば、箔状電極の断面形状、箔状電極と誘電体との封着された部分と補助放電空間との境界付近での空間領域の変化の仕方などによって電界強度を異なるようにすることができる。

例えば、箔状電極は、その幅方向に関し、中央部よりも縁部の幅が狭い（ナイフエッジ形状など）に形成することが可能である。この場合、箔状電極の縁部が、補助放電空間において、誘電体の内面から離れるように構成することができ、ランプ周方向に沿って電界強度を相違させることができる。あるいは、箔状電極の縁部は、補助放電空間において、誘電体と封着することも可能であり、上記境界付近においてランプ軸方向に沿った電界強度を相違させることも可能である。

箔状電極は単体で構成することも可能であり、複数の箔状電極で構成することも可能である。例えば、箔状電極は、放電容器の内側に配設された第１電極部と、第１箔状電極部と給電線などで電気的に接続し、延伸部の内側に配設された第２電極部で構成することができる。

放電容器の構成としては、例えば、誘電体の先端部の先端位置が、放電容器の先端に設けられた小径部に入り込み、箔状電極のランプ軸に沿った先端位置が、小径部より後端側にあるように構成することができる。

補助放電空間は、箔状電極の幅方向に沿った誘電体と箔状電極との距離間隔が、中央部よりも縁部側の方が短くなるように、形成することが可能である。また、補助放電空間が、箔状電極の長さ方向に沿った誘電体と箔状電極との距離間隔が、中央部よりも端部側の方が短くなるように、形成することができる。

本発明の一態様であるエキシマランプの点灯方法は、内側管の拡径部から外側管の外部へ延伸した延伸部において、内側電極の表面と内側管の内面との間に補助放電空間を形成し、補助放電空間からランプ軸方向に向けて放射された光の一部を、内側管の主放電空間側の先端部および拡径部を通じて、主放電空間に照射する。

本発明の一態様であるエキシマランプの製造方法は、内側管となるガラス管内に、箔状の内側電極を挿入する工程と、内側管内を、減圧状態にして封止する、または、内側管内に希ガスを大気圧以下で封入する工程と、内側管内の管軸方向に沿って少なくとも一部に補助放電空間が形成されるように、内側管を加熱、縮径し、内側管を内側電極と部分的に溶着させる工程と、放電管となるガラス管内に内側管を挿入し、内側管の一部が放電管から延伸するように外側管を内側管と溶着させる工程とを含む。

本発明によれば、ランプの点灯始動性を高めながら、様々な使用環境に適応可能なエキシマランプを提供することができる。

本実施形態であるエキシマランプの側面側から見た概略的断面図である。 本実施形態であるエキシマランプの軸方向側から見た概略的断面図である。 本実施形態のエキシマランプの側面側から見た概略的断面図である。

以下では、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。

図１は、本実施形態であるエキシマランプの側面側から見た概略的断面図である。図１は、本実施形態であるエキシマランプの軸方向側から見た概略的断面図である。図２は、図１のラインＢ－Ｂに沿った断面図に相当する。また、図１の断面図は、図２のランプ中心軸を通るラインに沿った断面図に相当する。

エキシマランプ１０は、石英ガラスなどの誘電材料から成る断面略円筒状の外側管２０と内側管５０とにより形成された放電容器１０Ｔを備える。管径方向（以下、ランプ径方向ともいう）に沿った幅を有する帯状に延びる箔状電極（以下、内側電極という）３０が、管軸（以下、ランプ軸ともいう）Ｃに沿った柱状の誘電体（以下では、内側管という）５０に被覆されている。内側電極３０は、外側管２０と内側管５０との間に形成された環状の放電空間（以下、主放電空間という）Ｓ１に露出していない。内側管５０は、ここでは断面が略円状に形成されている。

エキシマランプ１０は、ランプ軸Ｃに沿って放電容器１０Ｔ（外側管２０）の端部２０Ｔ２を超えて延びた外側管２０に覆われていない部分（以下、延伸部という）５２有し、その端部５０Ｔ２の内部を給電線７０が貫通している。ただし、内側管５０とは異なる別部材を溶着することで延伸部５２を構成してもよい。ランプ製造の過程で形成される小径部２２は、ランプ軸Ｃに沿って、放電容器１０Ｔ（外側管２０）からランプ先端側に向けて突出している。

小径部２２の径は、放電容器１０Ｔの径、すなわちランプ軸方向範囲の一部の区間であって、外側電極４０が配設されたランプ軸方向に沿った範囲（ここでは、軸方向配設範囲という）の径よりもが小さい。ここでは、外側管２０の先端側を加熱変形して縮径し、外側管２０よりも小径のチップ管を溶着させることによって、小径部２２が放電容器１０Ｔに対して一体的に成形されている。なお、ランプ製造に用いるチップ管を小径部とは別の位置に設けてもよい。

本実施形態では、内側管５０の端部５０Ｔ１は、小径部２２に入り込み、内側管５０の端部５０Ｔ１が小径部２２と接触する。そのため、内側管５０は、外側管２０内で安定して同軸状に保持される。また、内側管５０の端部５０Ｔ１の外面は、先細くなる凸状曲面を有し、小径部２２の内面は先細くなる凹状曲面を有する。

これによって、それぞれの加熱成形による寸法誤差に対しても破損させないように、安定して同軸状に保持することができる。このような嵌合状態を形成する一方、内側電極３０の先端部３０Ｔ１のランプ軸Ｃに沿った位置は、小径部２２の内部空間にまで入り込むことなく、小径部２２よりも後端（放電容器中央）側にある。

外側管２０の外表面２０Ｓには、電極（以下、外側電極という）４０が配設されている。外側電極４０は、ここでは、導電性の金属からなる線状の電極部を外側管２０の表面に沿って巻き付けて配設した構成であり、管軸Ｃに沿って螺旋状に所定間隔で離間して巻かれて配置されている。

外側電極４０の軸方向配設範囲Ｌは、外側管２０の先細くなる両端部２０Ｔ１、２０Ｔ２間の内径一定部分である（以下、筒状部という）２０Ｔ０に定められている。内側電極３０の軸方向長さは、ここでは外側電極４０の軸方向配設範囲Ｌに対応している。内側電極３０の端部に接続される給電線７０は、外部に設置された電源部（図示せず）と接続し、電力が給電線７０を介してエキシマランプ１０に供給される。

高周波（例えば、数ｋＨｚ～数十ＭＨｚの範囲）高電圧（例えば、数ｋＶ～十数ｋＶの範囲）が内側電極、外側電極に印加されることにより、エキシマ光が放電空間Ｓ１から放射される。ここでは紫外線（例えば、波長１７２ｎｍ）が放電容器外へ放射される。したがって、エキシマランプ１０は、オゾン発生による除菌、消臭などを行うオゾン発生装置へ適用することが可能であり、また、対象物に紫外線を直接照射する紫外線照射装置にも適用することができる。

延伸部５２には、点灯始動補助用の放電空間（以下、補助放電空間という）Ｓ２が形成されている。図１に示すように、内側管５０の延伸部５２のランプ軸Ｃに沿った一部が、内側電極３０の周方向回り全体に渡って部分的に溶着（封着）しない。その一方、内側電極３０の軸方向両端部３０Ｔ１、３０Ｔ２側では、その全周に渡って内側管５０と封着している。これによって、補助放電空間Ｓ２が形成される。

ここでは、補助放電空間Ｓ２のランプ軸Ｃに沿った範囲（補助放電空間範囲）Ｍが、外側電極４０の軸方向配設範囲Ｌに対応する内側電極３０の軸方向配設範囲外の区間となるように、定められている。すなわち、外側電極４０の軸方向配設範囲Ｌでは、内側電極３０の両端部３０Ｔ１、３０Ｔ２の範囲において、内側電極３０は、内側管５０に周方向周り全体で封着されている。それに対し、内側管５０の延伸部５２の中間部分では、内側電極３０の外周面全体が露出し、それを囲むように補助放電空間Ｓ２が形成されている。また、補助放電空間範囲Ｍでは、他の範囲と比較して内側管５０の外径が大きい。

また、内側電極３０が補助放電空間Ｓ２に露出した内表面の両端部（補助放電空間範囲Ｍの両端部）ＳＴ１、ＳＴ２では、内側電極３０と内側管５０との距離間隔が徐々に短くなり、放電空間領域が内側管５０の両端５０Ｔ１、５０Ｔ２側に向けて空間領域が狭まっている。そして、内側管５０の内表面と内側電極３０の外表面との距離間隔が徐々に小さくなりながら、内側電極３０が内側管５０と封着している。内側管５０の外径も同様に徐々に小さくなり、外表面は滑らかな曲面を形成している。

補助放電空間Ｓ２の空間形状は、ランプ（補助放電空間範囲Ｍ）中央部ほど径方向断面領域が広く、放電容器１０Ｔの両端の小径部２２、延伸部５２側に近づくほど空間領域が狭まっている。したがって、補助放電空間Ｓ２のランプ軸Ｃに沿った中央部分における内側管５０の外周面と内側管５０の内周面とのランプ径方向に沿った距離間隔Ｌ１は、内側管５０が補助放電空間Ｓ２に露出した内表面の両端部ＳＴ１、ＳＴ２における距離間隔Ｌ２よりも長い。

また、箔状の内側電極３０の両縁部３０Ｔ３、３０Ｔ４は、ナイフエッジ形状であり、内側電極３０は幅方向の中心から縁（端部）に向けて先鋭化し、その厚さは幅方向の中心部の厚さに比べて薄くなり、両縁部３０Ｔ３、３０Ｔ４は尖っている。

そのため、補助放電空間Ｓ２は、内側電極３０の幅方向（ランプ径方向）の中央部ほど径方向断面領域が広くなっている（図２参照）。したがって、そのランプ径方向に沿った内側電極３０の内表面と内側管５０の外表面との離間距離の長さは、内側電極３０の両縁部３０Ｔ３、３０Ｔ４付近における幅方向に沿った離間距離の長さＴ２（図１のＬ１に相当する）よりも、中心部（ランプ中心軸）付近における厚さ方向に沿った離間距離の長さＴ１の方が長く、内側電極３０の両縁部３０Ｔ３、３０Ｔ４に向けて狭まっている。

すなわち、補助放電空間Ｓ２（放電空間領域Ｓ２Ａ、Ｓ２Ｂ）は、箔状の内側電極３０の表面に沿った長さ方向（ランプ軸方向）の端部３０Ｔ１、３０Ｔ２および幅方向（ランプ径方向）の縁部３０Ｔ３、３０Ｔ４に向けて、空間領域が狭まっている。

補助放電空間Ｓ２は、大気圧より低い減圧状態になっている、あるいは、点灯始動時の電圧を低くする希ガス（大気圧以下）が補助放電空間Ｓ２に封入されている。内側電極３０と外側電極４０との間に高周波高電圧を印加すると、補助放電空間Ｓ２が減圧状態にあるため、主放電空間Ｓ１よりも低い点灯始動電圧によって、補助放電空間Ｓ２において先に放電が生じる。そして、補助放電空間Ｓ２からランプ軸方向に向けて放射された光（ここでは紫外線）の一部が、内側管５０を通じて主放電空間Ｓ１に照射される。

また、内側電極３０の両端部３０Ｔ１、３０Ｔ２の間の大部分は内側管５０に埋設した状態で接し、内側電極３０の両縁部３０Ｔ３、３０Ｔ４の一部が補助放電空間Ｓ２に露出することで、減圧状態とした補助放電空間Ｓ２において、電界強度が高い空間領域が形成される。これにより、主放電空間Ｓ１よりも低い点灯始動電圧によって、補助放電空間Ｓ２に放電を確実に生じさせることができる。また、ランプ点灯中の必要な電力を抑制し、内側電極３０（特に、縁部）の放電による消耗を抑制することができる。

補助放電空間Ｓ２で生じた放電からランプ軸方向に向けて放射された光の一部は、内側管５０の管壁内（管壁の境界面）での反射を繰り返す、いわゆるファイバー効果によって内側管５０の端部５０Ｔ１側に向けて伝わる。ファイバー効果により伝わった紫外線の一部は、内側管５０の拡径部５１を通じて、外側管２０の端部２０Ｔ２側から主放電空間Ｓ１に照射される。

また、ランプ軸方向に向けて放射された光の一部は、内側管５０の端部５０Ｔ１が部分的に小径部２２に入り込んで接触しているため、内側管５０の端部５０Ｔ１を通じて、外側管２０の端部２０Ｔ１側から主放電空間Ｓ１に照射される。これらファイバー効果により伝わった紫外線が主放電空間Ｓ１に照射されることにより、主放電空間Ｓ１において放電が生じる。このように、内側管５０の延伸部５２の一部に補助放電空間Ｓ２を形成することによって、点灯始動性能が高まる。

ここでは、補助放電空間Ｓ２は、放射光が主放電空間Ｓ１に届く程度の微小な放電空間領域として形成されており、内側管５０の延伸部５２の大部分を占有するようなスペースをもつ放電空間領域として形成されていない。しかしながら、補助放電空間Ｓ２が、放電容器１０Ｔの外部でランプ軸方向に沿って隣り合う位置に形成されているため、ランプ点灯中（主放電が生じている間）、内側電極３０と外側電極４０との間の印加電圧は抑えられる。必要な電力が抑制されることで、ランプ耐久性、ランプ寿命を高めることができる。

また、補助放電空間Ｓ２が内側管５０に対して同軸的に形成されるため、補助放電空間Ｓ２から主放電空間Ｓ１に向けて光が内側管５０の端部５０Ｔ１、５０Ｔ２の両側から照射される。これにより、主放電空間Ｓ１において主放電が安定して生じる。

放電容器の外周面に沿った照度分布（配光分布）は、放電容器の形状や、その内部で発生させた放電の位置によって異なる。さらに、放電状態は、電極（陽極と陰極）の位置関係や、内側管や補助放電空間の形状によって定まる電界強度分布に影響を受ける。しかしながら、上述したエキシマランプ１０は、従来の２重管構造のエキシマランプの外形や放電状態を変更することがないので、紫外線照射装置やオゾン発生装置において、放電維持電圧や照度分布などのランプ特性や、それに適した電源特性に影響を与えることなく、点灯始動性を高めることができる。

点灯始動性は、エキシマランプに電圧を印加して、放電容器内の放電から所望な放射スペクトルが得られる安定点灯状態に至る確実さ（確率［％］）により把握することができる。エキシマランプは、低温状態や暗黒状態や長時間の休止状態後でも、点灯始動性の確実性（１００％の信頼性）が必要とされるが、本実施形態においては、大型の点灯用電源や点灯始動補助用光源を用いることなく、確実に安定点灯状態に至らせることができる、すなわち、実質的に１００％の点灯始動の確実性をもたせることができる。

延伸部５２における補助放電空間Ｓ２の形成空間領域、また、ランプ軸Ｃに沿った形成区間Ｍは、適宜調整することが可能である。例えば、内側電極３０の両縁部３０Ｔ３、３０Ｔ４のみ内側管５０と露出しないように溶着させることで、箔状の内側電極３０を間にして空間的に隔てられた２つの放電空間領域Ｓ２Ａ、Ｓ２Ｂを補助放電空間Ｓ２として形成することができる。また、定められた補助放電空間範囲Ｍに対して内側電極の表面に誘電体をコーティングする（被覆する）ことで、内側電極３０の両縁部３０Ｔ３、３０Ｔ４を補助放電空間Ｓ２に露出しないように構成してもよい。

このようなエキシマランプ１０は、例えば、以下のような製造方法によって製造可能である。

補助放電空間に形成された放電から放射される光に対する透過性を有する誘電体材料により、箔状電極（内側電極）の被覆材となる断面円筒状のガラス管（内側管）を形成する。内側管を形成後、箔状電極に給電線を抵抗溶接などによって接続し、有底筒状のガラス管に箔状電極を挿入する。

内側電極となる箔状電極を、内側管となるガラス管に挿入した後、ガラス管内を減圧状態（真空）にして、封止する。このとき、ガラス管内に大気圧以下で希ガスを封入してもよい。そして、ガラス管を回転させながら、ガラス管端部側において部分的に補助放電空間が形成されるように、加熱してガラス管が軟化して収縮（縮径）するように変形させ、部分的にガラス管と内側電極を溶着させる。

このとき、ガラス管の内周面と箔状電極の幅方向（管径方向）に沿った縁部のみを密着させることで、箔状電極の縁部が露出せず、ガラス管と箔状電極とが接していない空間を補助放電空間として形成してもよい。

また、内側管となるガラス管の一端に対して鍔状（いわゆるそろばん珠形状）の拡径部を形成するように加熱する。なお、ガラス管を回転させず、内側内周面と箔状電極の縁部に対向するガラス管部分だけを軸方向に沿って加熱して密着させるようにしてもよい。箔状電極の長さ方向（管軸方向）に沿った端部は、周方向全体が封着させることで、箔状電極の端部がガラス管に埋設し、箔状電極は補助放電空間に露出しない。

外側管に関しては、主放電空間に形成された放電から放射される紫外線の波長における透過性を有する石英管の一端を縮径するとともに開口した導入管（チップ管）を設ける一方、内側管の拡径部との封止部を開口させた外側管を形成する。

そして、内側管を外側管に挿入して同軸配置させ、放電管と内側管の拡径部とを加熱溶着し、放電容器を形成する。その後、導入管を通じて真空引きして不純物を除去し、放電容器内に放電ガスを封入して、導入管を加熱溶融により気密封止する。その後、外側電極を外側管の外表面に配設する。

本実施形態では、内側電極３０が放電容器１０Ｔ内および延伸部５２にまで渡って延びている構成であるが、放電容器１０Ｔと延伸部５２とにおいて異なる内側電極を配置してもよい。

図３は、本実施形態の変形例のエキシマランプの側面側から見た概略的断面図である。ここでは、２つの箔状の内側電極３０Ａ、３０Ｂが、内部給電線７１によって接続されている。そして、内側電極３０Ｂは、外側管２０外部に位置する内側管５０の延伸部５２内に設けられている。内側電極３０Ａ、３０Ｂは、互いに向かい合い、径方向断面の位置（延びる方向）は一致する。

本実施形態と同様、内側管５０の延伸部５２に補助放電空間Ｓ２が形成されている。このように２つの内側電極３０Ａ、３０Ｂを設けた場合でも、本実施形態と同様、点灯し同性能を高めることができる。また、内部給電線７１を用いることによって、ランプ点灯中の電力をより抑えることができる。

拡径部５１は、内側管５０の他の部分よりも外径（肉厚）が大きく、加熱によって縮径させることが難しい。そのため、拡径部５１に内部給電線７１を配設することで、拡径部５１における内部給電線７１に対する加熱縮径と、外側管２０の端部２０Ｔ２に対する溶着が両立でき、製造が容易となる。

また、内側電極３０Ａ、３０Ｂの電界集中する部分、特に、ナイフエッジ形状による両縁部３０Ｔ３、３０Ｔ４）が、拡径部５１から離れる。このように内側電極３０Ａ、３０Ｂが拡径部５１から距離を置くことで、外側管の端部２０Ｔ２付近における異常放電（沿面放電）を確実に防止することができる。

外側電極に関しては、互いに向かい合うように放電管内壁に埋設させる、あるいは一方を埋設させて他方を放電管外表面に配置するように構成してもよい。また、補助放電空間から放射される光については、紫外線に限定されず、可視光でもよい。

１０ エキシマランプ
２０ 外側管
３０ 内側電極（箔状電極）
４０ 外側電極
５０ 内側管（誘電体）
７０ 給電線
７１ 内部給電線

Claims (11)

1. ランプ軸方向に沿って配設された箔状電極を覆う誘電体と、
   前記誘電体と溶着して主放電空間を形成する放電容器とを備え、
   前記誘電体が、前記放電容器の端部から延伸した延伸部を有し、
   前記延伸部において、前記箔状電極が、前記誘電体の内側に補助放電空間が形成されるように、前記誘電体と部分的に封着していることを特徴とするエキシマランプ。
2. 前記補助放電空間が、ランプ軸方向およびランプ周方向の少なくとも一方向に沿って電界強度が異なるように、前記箔状電極の表面と前記誘電体の内面との間に形成されていることを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ。
3. 前記箔状電極の縁部が、前記補助放電空間において、前記誘電体の内面から離れていることを特徴とする請求項１または２に記載のエキシマランプ。
4. 前記箔状電極の縁部が、前記補助放電空間において、前記誘電体と封着していることを特徴とする請求項１または２に記載のエキシマランプ。
5. 前記箔状電極が、前記放電容器の内側に配設された第１電極部と、前記第１電極部と電気的に接続し、前記延伸部の内側に配設された第２電極部とを有することを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載のエキシマランプ。
6. 前記誘電体の先端部の先端位置が、前記放電容器の先端に設けられた小径部に入り込み、
   前記箔状電極のランプ軸に沿った先端位置が、前記小径部より後端側にあることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載のエキシマランプ。
7. 前記補助放電空間が、前記箔状電極の幅方向に沿った前記誘電体と前記箔状電極との距離間隔が、中央部よりも縁部側の方が短くなるように、形成されていることを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載のエキシマランプ。
8. 前記補助放電空間が、前記箔状電極の長さ方向に沿った前記誘電体と前記箔状電極との距離間隔が、中央部よりも端部側の方が短くなるように、形成されていることを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載されたエキシマランプ。
9. ランプ軸方向に沿って配設された箔状電極を覆う内側管と、前記内側管の拡径部と溶着して前記内側管との間に主放電空間を形成した外側管とを備えたエキシマランプにおいて、
   前記拡径部から前記外側管の外部へ延伸した延伸部において、前記内側電極の表面と前記内側管の内面との間に補助放電空間を形成し、
   前記補助放電空間からランプ軸方向に向けて放射された光の一部を、前記内側管の主放電空間側の先端部および前記拡径部を通じて、前記主放電空間に照射することを特徴とするエキシマランプの点灯方法。
10. 内側管となるガラス管内に、箔状の内側電極を挿入する工程と、
    前記内側管内を、減圧状態にして封止する、または、前記内側管内に希ガスを大気圧以下で封入する工程と、
    前記内側管内の管軸方向に沿って少なくとも一部に補助放電空間が形成されるように、前記内側管を加熱、縮径して、内側電極と部分的に溶着させる工程と、
    放電管となるガラス管内に前記内側管を挿入し、前記内側管の一部が前記放電管から延伸し、前記補助放電空間が前記放電管の外部に位置するように前記外側管を前記内側管と溶着させる工程と
    を含むことを特徴とするエキシマランプの製造方法。
11. 前記放電容器を前記内側管の拡径部と一体的に加熱溶着することで、前記主放電空間を形成することを特徴とする請求項１０に記載のエキシマランプの製造方法。

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