CN115916692A - 检查装置 - Google Patents

检查装置 Download PDF

Info

Publication number
CN115916692A
CN115916692A CN202180051050.0A CN202180051050A CN115916692A CN 115916692 A CN115916692 A CN 115916692A CN 202180051050 A CN202180051050 A CN 202180051050A CN 115916692 A CN115916692 A CN 115916692A
Authority
CN
China
Prior art keywords
tube
inspection apparatus
ultraviolet
inner tube
light
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN202180051050.0A
Other languages
English (en)
Other versions
CN115916692B (zh
Inventor
仁枝嘉昭
增田裕一
矢幡雅人
片冈达哉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shimadzu Corp
Original Assignee
Shimadzu Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shimadzu Corp filed Critical Shimadzu Corp
Publication of CN115916692A publication Critical patent/CN115916692A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN115916692B publication Critical patent/CN115916692B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
    • G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
    • G01N33/0009—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
    • G01N33/0011—Sample conditioning
    • G01N33/0013—Sample conditioning by a chemical reaction
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
    • C02F1/30—Treatment of water, waste water, or sewage by irradiation
    • C02F1/32—Treatment of water, waste water, or sewage by irradiation with ultraviolet light
    • C02F1/325—Irradiation devices or lamp constructions
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B13/00—Oxygen; Ozone; Oxides or hydroxides in general
    • C01B13/10—Preparation of ozone
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
    • G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
    • G01N33/0009—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
    • G01N33/0027—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector
    • G01N33/0031—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector comprising two or more sensors, e.g. a sensor array
    • G01N33/0032—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector comprising two or more sensors, e.g. a sensor array using two or more different physical functioning modes
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
    • G01N33/18—Water
    • G01N33/1826—Organic contamination in water
    • G01N33/1846—Total carbon analysis
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
    • H01J61/02—Details
    • H01J61/54—Igniting arrangements, e.g. promoting ionisation for starting
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J65/00—Lamps without any electrode inside the vessel; Lamps with at least one main electrode outside the vessel
    • H01J65/04—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels
    • H01J65/042—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels by an external electromagnetic field
    • H01J65/046—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels by an external electromagnetic field the field being produced by using capacitive means around the vessel

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Food Science & Technology (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Water Supply & Treatment (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Hydrology & Water Resources (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Physical Water Treatments (AREA)

Abstract

紫外线照射部(20)具有：内管(22)；外管(24)，其配置于内管的周围，并且在其与内管之间形成封入放电气体的放电空间(242)；一对电极(26)，其用于在放电空间内产生放电；以及辅助光源(28)，其从外管的外侧向放电气体照射光，并且辅助激励放电气体。外管与内管相比不易使通过激励放电气体而产生的紫外光透过，并且该外管使从辅助光源照射的波长的光透过。

Description

检查装置
技术领域
本发明涉及用于检查试样水的检查装置。
背景技术
在试样水的检查中有时会使用紫外线。例如，有时为了使试样水中的检查对象氧化而将紫外线直接向试样水照射，或者为了产生用于使试样水中的检查对象氧化的臭氧而向包含氧的气体照射紫外线。
在日本特开2018-55965号公报(专利文献1)中公开了准分子灯作为产生紫外线的装置。专利文献1所公开的准分子灯具备向封入放电容器内的放电用气体照射紫外线的起动辅助光源，放电容器的局部未被包覆管包覆而是相对于起动辅助光源暴露。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2018-55965号公报
发明内容
发明要解决的问题
专利文献1所公开的准分子灯通过具备起动辅助光源来改善准分子灯的点灯起动性。另外，在专利文献1中公开了如下内容：来自准分子灯的紫外线会从未被包覆管包覆而暴露的部分辐射，因此需要将起动辅助光源的紫外线辐射面与准分子灯的紫外线辐射面之间的距离设定为来自准分子灯的紫外线实质上未到达起动辅助光源的距离。这是为了防止来自准分子灯的紫外线向起动辅助光源照射而导致起动辅助光源劣化。
另外，在放电容器配置于包含氧的气氛下的情况下，会因从未被包覆管包覆而暴露的部分辐射的来自准分子灯的紫外线而产生对人体有害的臭氧。因此，在使用专利文献1所公开的准分子灯的情况下，需要在去除了氧的气氛下配置准分子灯，或者需要利用氮等非活性气体对配置有准分子灯的处理室内进行净化。
像以上那样，在想要通过辅助激励放电气体来确保点灯起动性的情况下，需要考虑因准分子灯也就是因来自放电气体的紫外线而产生的问题来设计准分子灯。
本发明的目的之一在于，辅助激励放电气体并且解决因来自放电气体的紫外线而产生的问题。
用于解决问题的方案
本发明的检查装置是用于检查试样水的检查装置，其包括紫外线照射部和检测试样水所包含的对象成分的检测部。紫外线照射部包括：内管；外管，其配置于内管的周围，并且在其与内管之间形成封入放电气体的放电空间；一对电极，其用于在放电空间内产生放电；以及辅助光源，其从外管的外侧向放电气体照射光，并且辅助激励放电气体。辅助光源能够照射波长比通过激励放电气体而产生的紫外光的波长长的光，外管与内管相比不易使紫外光透过，并且该外管使从所述辅助光源照射的波长的光透过。
发明的效果
根据本发明，通过激励放电气体而产生的紫外光不易从放电空间内朝向外管的外侧照射，并且辅助激励放电气体的来自辅助光源的光从外管的外侧朝向放电空间内照射。因此，本发明的检查装置能够辅助激励放电气体并且解决因来自放电气体的紫外线而产生的问题。
附图说明
图1是表示本实施方式的检查装置1的整体结构的示意图。
图2是表示紫外线照射部20的构造的概略剖视图。
图3是图2的紫外线照射部20的沿着Ⅲ-Ⅲ线的概略剖视图。
图4是图2的紫外线照射部20的沿着Ⅳ-Ⅳ线的概略剖视图。
图5是表示在放电空间242内产生的紫外光和来自辅助光源28的光的移动的示意图。
图6是表示变形例的紫外线照射部的构造的概略剖视图。
图7是表示变形例的紫外线照射部的构造的概略剖视图。
图8是表示变形例的检查装置1a的整体结构的示意图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的实施方式详细地进行说明。此外，对图中相同或相当的部分标注相同的附图标记并且不重复其说明。
<检查装置的整体结构>
图1是表示本实施方式的检查装置1的整体结构的示意图。检查装置1是用于测量试样水中的TOC量(TOC的浓度)的装置。检查装置1是通过向试样水照射紫外线而使试样水中的有机物氧化的、所谓的湿式氧化式的检查装置。
参照图1，检查装置1包括送液部10、紫外线照射部20以及检测部30。送液部10将作为测量对象的试样水S向检查装置1的流路F输送。更具体来说，送液部10利用泵P引导试样瓶12内的试样水S，从而将试样水S向流路F输送。此外，在图1所示的例子中，泵P的配置部位在检测部30的下游侧的流路上，但不限定于此，也可以配置于流路F上的任意部位。
紫外线照射部20是产生紫外线的装置，是准分子灯。在本实施方式中，紫外线照射部20对试样水S照射紫外线。紫外线照射部20的详细情况见后述。试样瓶12与紫外线照射部20由构成流路F的管部T1连接。管部T1构成使试样水S向紫外线照射部20流入的流入管的一个例子。
检测部30检测试样水S中的对象成分。在本实施方式中，检测部30的检测对象是接收紫外线并被氧化而生成的分解产物。检测部30通过测量试样水S的电导率从而检测被紫外线氧化而生成的分解产物。当试样水S中的有机物被紫外线氧化时，最终会分解为水与二氧化碳。当作为分解产物的二氧化碳溶解于水时会产生离子，试样水S的电导率会发生变化。本实施方式的检测部30通过对在作为分解产物的二氧化碳的作用下发生变化的电导率进行测量，从而检测试样水S的分解产物。此外，在本实施方式中，检测部30通过测量电导率而检测作为分解产物的二氧化碳，但检测分解产物的方法不限定于该方法。
紫外线照射部20与检测部30由构成流路F的管部T2连接。管部T2构成供被紫外线照射而氧化的试样水S从紫外线照射部20流出的流出管的一个例子。
在检测部30的下游侧借助管部T3连接有泵P。利用泵P将试样水S从试样瓶12内朝向紫外线照射部20、检测部30输送并排出。
[紫外线照射部20的结构]
参照图2～图4对紫外线照射部20详细地进行说明。图2是表示紫外线照射部20的构造的概略剖视图。图3是图2的紫外线照射部20的沿着Ⅲ-Ⅲ线的概略剖视图。图4是图2的紫外线照射部20的沿着Ⅳ-Ⅳ线的概略剖视图。
参照图2，紫外线照射部20包括内管22、外管24、电极26、辅助光源28以及包覆管29。
内管22构成为使被照射紫外线的对象物经过其内部空间222。在本实施方式中，内管22与相当于流入管的管部T1和相当于流出管的管部T2连接，试样水S经过内管22的内部空间222。内管22形成为长条的圆筒状(参照图3、图4)。
外管24配置于内管22的周围。更具体来说，外管24以包围内管22的方式隔开间隔地配置于内管22的外侧。外管24形成为长条的圆筒状。外管24的中心轴线与内管22的中心轴线一致。即，外管24与内管22配置于同轴上(参照图3、图4)。
此外，内管22和外管24形成为圆筒状，但只要形成为筒状即可。例如，内管22和外管24中的一者或两者也可以形成为将直径不同的两个筒连接而成的形状。另外，内管22与外管24配置于同轴上，但中心轴线也可以不一致。例如，图6是表示变形例的紫外线照射部的构造的概略剖视图。如图6所示，也可以将外管24的形状设为将直径不同的两个筒连接而成的形状。
外管24的端面241与内管22的侧面连接。同样地，外管24的端面243与内管22的侧面连接。在本实施方式中，内管22的长度方向上的长度比外管24的长度方向上的长度长。因此，外管24的端面241、243分别与内管22的侧面连接。此外，也可以设为如下结构，使内管22的长度方向上的长度与外管24的长度方向上的长度相同，或比外管24的长度方向上的长度短，将外管24的端面241、243分别与内管22的端部连接。
根据像这样的结构，在紫外线照射部20中，在内管22与外管24之间形成有放电空间242。在放电空间242中封入有放电气体G。作为放电气体，例如除了氩(Ar)、氪(Kr)、氙(Xe)等稀有气体之外，还能够采用氟化氩(ArF)、氟化氪(KrF)、氯化氪(ClKr)、氯化氙(ClXe)等稀有气体与卤素气体的混合气体。在本实施方式中，将放电气体G设为Xe而说明。
电极26由外侧电极262和内侧电极264构成。外侧电极262和内侧电极264隔着配置于外管24的外周的包覆管29而分别配置于外管24的外周。换言之，外侧电极262配置于包覆管29的外周，内侧电极264配置于包覆管29与外管24之间。
根据像这样的结构，在紫外线照射部20中，当向外侧电极262和内侧电极264施加电压时，会在放电空间242内产生放电。通过该放电，放电空间242内的放电气体G被激励而成为激发态。当该激发态恢复至原来的状态(基态)时会产生发光。该光(紫外光)中的、朝向径向内侧的光会向经过内管22的内部空间222内的被照射紫外线的对象物(在本实施方式中为试样水S)照射。即，紫外线照射部20是双重筒型的准分子灯，将从放电空间242照射的紫外线朝向沿着准分子灯的长度方向配置的内管22的内部空间222照射。
在外侧电极262设有开口部266，辅助光源28配置于外管24的外侧，并且以辅助光源28的照射面与包覆管29相对的方式配置于开口部266。辅助光源28从外管24的外侧朝向放电空间242内的放电气体G照射光。
如果放电气体G被激励一次而成为激发态，则之后能够利用从激发态恢复至基态时产生的发光和放电空间242内的放电而再次成为激发态。但是，在放电气体G处于基态时，为了使该放电气体G成为激发态，则需要较高的电压。在本实施方式中，通过向放电空间242内照射辅助光源28的光，能够辅助发光的开始。
在此，对在放电气体G从激发态恢复至基态时产生的光和从辅助光源28照射的光进行说明。在放电气体G从激发态恢复至基态时产生的光的峰值波长根据放电气体G的种类而不同。例如，Ar是126nm、Kr是146nm、Xe是172nm、ArF是193nm、KrF是248nm、ClKr是222nm、ClXe是308nm。也就是说，在放电气体G从激发态恢复至基态时产生的光是紫外光。以下，也将在放电气体G从激发态恢复至基态时产生的光简称为紫外光。
辅助光源28能够照射波长比放电空间242内产生的紫外光的波长长的光。例如，辅助光源28能够照射可见光，并且照射400nm左右的光。
[内管22和外管24的特性]
参照图5对内管22和外管24的特性进行说明。图5是表示在放电空间242内产生的紫外光和来自辅助光源28的光的移动的示意图。
内管22具有使放电空间242内产生的紫外光U透过的性质。具体来说，内管22使200nm以下的光透过。内管22例如由晶格缺陷较少的纯度高的石英玻璃构成。
外管24具有如下性质，使放电空间242内产生的紫外光U不易通过而使从辅助光源28照射的光透过。具体来说，外管24使200nm以下的光不易透过。外管24例如由包含杂质的具有晶格缺陷的石英玻璃构成。
根据像这样的结构，在放电空间242内产生的紫外光U会透过内管22而向内部空间222内的试样水S照射而不向外管24外照射。另一方面，来自辅助光源28的光V会从外管24外向放电空间242内照射。
其结果为，使对放电空间242内的发光进行辅助的光从外管24外照射，能够辅助发光的开始，并且能够解决因来自放电空间242内的放电气体G的波长较短的紫外光U而产生的问题。具体来说，能够防止因来自放电气体G的波长较短的紫外光U而引起的臭氧的产生，另外，能够防止由于来自放电气体G的波长较短的紫外光U向辅助光源28照射而引起的辅助光源28的劣化。
能够防止臭氧的产生的结果为，不需要考虑臭氧的产生而设置的装置(例如用于净化的装置)，另外，不需要考虑臭氧的产生而使紫外线照射部20的周围成为真空状态，能够使装置小型化，此外能够削减装置的制作所需要的成本。
另外，不需要考虑因来自放电气体G的紫外光U导致的辅助光源28的劣化，因此能够将辅助光源28以靠近包覆管29(外管24)的状态设置，能够使装置小型化。
此外，包覆管29也可以由与外管24不同的材质的原材料构成，但从熔接的容易性的观点出发，优选为由与外管24相同的原材料构成。
另外，由于外管24与内管22的熔接是将不同种类的原材料彼此连接，因此是困难的，但通过由不同种类的原材料构成外管24与内管22，能够辅助发光的开始，并且能够解决因来自放电空间242内的放电气体G的波长较短的紫外光U而产生的问题。
[变形例]
图7是表示变形例的紫外线照射部的构造的概略剖视图。变形例的紫外线照射部在不具备包覆管29这一点上以及外侧电极262和内侧电极264的设置位置不同这一点上与上述实施方式的紫外线照射部20(参照图2)不同。
在上述实施方式中，外侧电极262和内侧电极264均设于外管24的外侧，但也可以如图7所示将内侧电极264设于内管22。在该情况下，不需要设置包覆管29。
此外，通过将外侧电极262和内侧电极264设于外侧，从而不存在对从放电空间242向内部空间222内辐射的光进行遮挡的构件(内侧电极264)，能够提高紫外线向试样水S的照射效率。
在上述实施方式中，外侧电极262设为在包覆管29的整周上配置，但也可以设于局部。
在上述实施方式中，内管22由使200nm以下的光透过的原材料构成，外管24由使200nm以下的光不易透过的原材料构成。此外，内管22和外管24的原材料基于所选择的放电气体G的种类和辅助光源28而适当地选择即可。更具体来说，内管22的原材料是使来自放电气体G的紫外光透过的原材料即可。外管24的原材料是使来自放电气体G的紫外光不易透过并且使来自辅助光源28的光的至少一部分透过的原材料即可。
在上述实施方式中，说明了将使用紫外线的湿式氧化和电导率测量组合从而测量试样水的TOC的检查装置。本发明不限定于此，能够应用于使用紫外线照射部来测量试样水所包含的对象成分的各种检查装置。
图8是表示变形例的检查装置1a的整体结构的示意图。检查装置1a是用于使用接触热分解、化学发光法来测量试样水中的氮量的装置。在检查装置1a中，通过使试样水S中的氮化合物热分解，从而使氮化合物转化为一氧化氮。接着，通过向包含氧的气体照射紫外线而产生臭氧，使臭氧与一氧化氮反应，从而使一氧化氮转化为二氧化氮。此时，辐射光从二氧化氮辐射。由于辐射光的强度与氮的浓度成比例，因此在检查装置1a中，通过对在使一氧化氮转化为二氧化氮时产生的光进行检测，能够测量试样水中的氮量。具体来说，检查装置1a具备紫外线照射部20a、热分解部42以及检测部30a。
紫外线照射部20a在不是试样水S而是气体经过内管的内部空间这一点上与上述实施方式的紫外线照射部20不同。经过紫外线照射部20a的内管的内部空间的气体至少包含氧。此外，紫外线照射部20a仅在经过内管的内部空间的试样不是液体而是气体这一点上与紫外线照射部20不同，向经过内管的内部空间的试样照射紫外线这一使用目的与紫外线照射部20是共通的，具有与紫外线照射部20共通的构造。因此，由于与紫外线照射部20是共通的，因此省略紫外线照射部20a的详细的说明。
热分解部42使试样水S中的氮化合物热分解，使氮化合物转化为一氧化氮。虽然未图示，但热分解部42具备催化剂，使与载气一起注入的试样水S氧化。通过使试样水S氧化，使试样水S中的氮化合物转化为一氧化氮。另外，虽然未图示，但热分解部42具备用于对热分解后的载气中的水分进行去除的除湿部。
被热分解部42热分解后的载气和在紫外线照射部20a产生的臭氧向检测部30a导入。当向检测部30a导入载气和臭氧时，载气中的一氧化氮与臭氧反应，成为被激励至准稳定状态的二氧化氮。被激励至准稳定状态的二氧化氮在成为稳定状态的二氧化氮时会发光。
检测部30a进行如下检测，该检测是使用接受了紫外线的照射的气体进行了处理的试样水所包含的成分的检测。更具体来说，在本实施方式中，检测部30a检测来自二氧化氮的辐射光。更具体来说，检测部30a检测590nm～2500nm的光。
像以上那样，检查装置1a能够使用上述实施方式所说明的紫外线照射部来作为用于产生臭氧的装置。另外，检查装置1a具备与检测对象相应的检测部。
[形态]
本领域技术人员可以理解上述的实施方式是以下的形态的具体例。
(第1项)一个形态的用于检查试样水的检查装置具备紫外线照射部和检测试样水所包含的对象成分的检测部。紫外线照射部具有：内管；外管，其配置于内管的周围，并且在其与内管之间形成封入放电气体的放电空间；一对电极，其用于在放电空间内产生放电；以及辅助光源，其从外管的外侧向放电气体照射光，并且辅助激励放电气体。辅助光源能够照射波长比通过激励放电气体而产生的紫外光的波长长的光。外管与内管相比不易使紫外光透过，并且该外管使从辅助光源照射的波长的光透过。
根据第1项所记载的检查装置，通过激励放电气体而产生的紫外光不易从放电空间内朝向外管的外侧照射，并且辅助激励放电气体的来自辅助光源的光从外管的外侧朝向放电空间内照射。因此，第1项所记载的检查装置能够辅助激励放电气体并且解决因来自放电气体的紫外线而产生的问题。
(第2项)在第1项所记载的检查装置中，紫外线照射部对经过内管的内部空间的试样水照射紫外线。检测部检测接受了紫外线的照射的试样水的电导率。
根据第2项所记载的检查装置，能够将湿式氧化与电导率测量组合从而测量试样水的TOC。
(第3项)在第1项所记载的检查装置中，紫外线照射部对经过内管的内部空间的气体照射紫外线。检测部对使用接受了紫外线的照射的气体而进行了处理的试样水所包含的对象成分进行检测。
根据第3项所记载的检查装置，能够进行使用接受了紫外线的照射的气体而对试样水进行处理的检查。
(第4项)在第3项所记载的检查装置中，气体至少包含氧。紫外线照射部对所述气体照射所述紫外光，从而产生用于将一氧化氮氧化为二氧化氮的臭氧。检测部检测来自二氧化氮的辐射光。
根据第4项所记载的检查装置，能够使用接触热分解、化学发光法来测量试样水中的全氮量。
(第5项)在第1项～第4项中任一项所记载的检查装置中，辅助光源靠近外管的周围地配置。
根据第5项所记载的检查装置，能够使紫外线照射部小型化。
(第6项)在第1项～第5项中任一项所记载的检查装置中，一对电极包括配置于外管的外周的外侧电极和配置于比外侧电极靠内管侧的位置的内侧电极。在外侧电极形成有开口部。辅助光源配置于开口部。
根据第6项所记载的检查装置，能够使紫外线照射部小型化。
(第7项)第1项～第5项中任一项所记载的检查装置还具有配置于外管的周围的包覆管。一对电极包括配置于包覆管的外周的外侧电极和配置于包覆管与外管之间的内侧电极。
根据第7项所记载的检查装置，通过将外侧电极和内侧电极设于外侧，不存在对从放电空间向内部空间内辐射的紫外光进行遮挡的构件，能够提高紫外光向试样水的照射效率。
(第8项)在第7项所记载的检查装置中，包覆管与外管由相同材质的构件构成。
根据第8项所记载的检查装置，易于熔接包覆管与外管。
(第9项)在第1项～第8项中任一项所记载的检查装置中，紫外光是200nm以下的波长的光。
根据第9项所记载的检查装置，能够辅助激励放电气体并且解决因来自放电气体的紫外线而产生的问题。
本次公开的各实施方式也预定在技术上不矛盾的范围内适当组合来实施。并且，应该认为本次公开的实施方式在所有方面都是例示而不是限制性的。本发明的范围不是由上述的实施方式的说明表示而是由权利要求书表示，包括与权利要求书等同的意思以及范围内的所有变更。
附图标记说明
1、1a、检查装置；10、送液部；12、试样瓶；20、20a、紫外线照射部；22、内管；24、外管；26、电极；28、辅助光源；29、包覆管；30、30a、检测部；42、热分解部；222、内部空间；241、243、端面；242、放电空间；262、外侧电极；264、内侧电极；266、开口部。

Claims (9)

1.一种检查装置，其是用于检查试样水的检查装置，其中，该检查装置具备：
紫外线照射部；以及
检测部，其检测所述试样水所包含的对象成分，
所述紫外线照射部包括：
内管；
外管，其配置于所述内管的周围，并且在其与所述内管之间形成封入放电气体的放电空间；
一对电极，其用于在所述放电空间内产生放电；以及
辅助光源，其从所述外管的外侧向所述放电气体照射光，并且辅助激励所述放电气体，
所述辅助光源能够照射波长比通过激励所述放电气体而产生的紫外光的波长长的光，
所述外管与所述内管相比不易使所述紫外光透过，并且该外管使从所述辅助光源照射的波长的光透过。
2.根据权利要求1所述的检查装置，其中，
所述紫外线照射部对经过所述内管的内部空间的所述试样水照射所述紫外光，
所述检测部检测接受了所述紫外光的照射的所述试样水的电导率。
3.根据权利要求1所述的检查装置，其中，
所述紫外线照射部对经过所述内管的内部空间的气体照射所述紫外光，
所述检测部对使用接受了所述紫外光的照射的气体而进行了处理的所述试样水所包含的对象成分进行检测。
4.根据权利要求3所述的检查装置，其中，
所述气体至少包含氧，
所述紫外线照射部对所述气体照射所述紫外光，从而产生用于将一氧化氮氧化为二氧化氮的臭氧，
所述检测部检测来自二氧化氮的辐射光。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的检查装置，其中，
所述辅助光源靠近所述外管的周围地配置。
6.根据权利要求1～5中任一项所述的检查装置，其中，
所述一对电极包括配置于所述外管的外周的外侧电极和配置于比该外侧电极靠所述内管侧的位置的内侧电极，
在所述外侧电极形成有开口部，
所述辅助光源配置于所述开口部。
7.根据权利要求1～5中任一项所述的检查装置，其中，
该检查装置还具有配置于所述外管的周围的包覆管，
所述一对电极包括配置于所述包覆管的外周的外侧电极和配置于所述包覆管与所述外管之间的内侧电极。
8.根据权利要求7所述的检查装置，其中，
所述包覆管与所述外管由相同材质的构件构成。
9.根据权利要求1～8中任一项所述的检查装置，其中，
所述紫外光是200nm以下的波长的光。
CN202180051050.0A 2020-08-20 2021-05-06 检查装置 Active CN115916692B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020139351 2020-08-20
JP2020-139351 2020-08-20
PCT/JP2021/017324 WO2022038837A1 (ja) 2020-08-20 2021-05-06 検査装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN115916692A true CN115916692A (zh) 2023-04-04
CN115916692B CN115916692B (zh) 2024-06-11

Family

ID=80322716

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202180051050.0A Active CN115916692B (zh) 2020-08-20 2021-05-06 检查装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US20240011960A1 (zh)
EP (1) EP4201879A1 (zh)
JP (1) JP7414148B2 (zh)
CN (1) CN115916692B (zh)
WO (1) WO2022038837A1 (zh)

Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2000041215A1 (fr) * 1998-12-28 2000-07-13 Japan Storage Battery Co., Ltd. Tube a decharge silencieux et procede d'utilisation
JP2001249140A (ja) * 2000-03-03 2001-09-14 Dkk Toa Corp 液滴下装置、並びにこれを用いた酸化反応装置及び分析装置
JP2003203609A (ja) * 2001-10-29 2003-07-18 Quark Systems Co Ltd エキシマランプ及びエキシマ照射装置
TW200539268A (en) * 2004-05-28 2005-12-01 Nat Inst Of Advanced Ind Scien Ultraviolet ray generator, ultraviolet ray irradiation processing apparatus, and semiconductor manufacturing system
JP2007323995A (ja) * 2006-06-01 2007-12-13 Ushio Inc 紫外光放射装置
CN101840838A (zh) * 2009-03-16 2010-09-22 优志旺电机株式会社 准分子灯
CN101868846A (zh) * 2007-10-19 2010-10-20 塞拉维申有限公司 灯
CN102395827A (zh) * 2009-04-17 2012-03-28 岩崎电气株式会社 光源装置
JP2018055965A (ja) * 2016-09-29 2018-04-05 株式会社オーク製作所 放電ランプおよび放電ランプ装置
WO2018235865A1 (ja) * 2017-06-21 2018-12-27 株式会社島津製作所 水質測定装置及び水質測定方法
JP2020011856A (ja) * 2018-07-17 2020-01-23 ウシオ電機株式会社 オゾン発生装置およびオゾン発生装置を備える処理システム

Patent Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2000041215A1 (fr) * 1998-12-28 2000-07-13 Japan Storage Battery Co., Ltd. Tube a decharge silencieux et procede d'utilisation
JP2001249140A (ja) * 2000-03-03 2001-09-14 Dkk Toa Corp 液滴下装置、並びにこれを用いた酸化反応装置及び分析装置
JP2003203609A (ja) * 2001-10-29 2003-07-18 Quark Systems Co Ltd エキシマランプ及びエキシマ照射装置
TW200539268A (en) * 2004-05-28 2005-12-01 Nat Inst Of Advanced Ind Scien Ultraviolet ray generator, ultraviolet ray irradiation processing apparatus, and semiconductor manufacturing system
JP2007323995A (ja) * 2006-06-01 2007-12-13 Ushio Inc 紫外光放射装置
CN101868846A (zh) * 2007-10-19 2010-10-20 塞拉维申有限公司 灯
CN101840838A (zh) * 2009-03-16 2010-09-22 优志旺电机株式会社 准分子灯
CN102395827A (zh) * 2009-04-17 2012-03-28 岩崎电气株式会社 光源装置
JP2018055965A (ja) * 2016-09-29 2018-04-05 株式会社オーク製作所 放電ランプおよび放電ランプ装置
WO2018235865A1 (ja) * 2017-06-21 2018-12-27 株式会社島津製作所 水質測定装置及び水質測定方法
CN110832313A (zh) * 2017-06-21 2020-02-21 株式会社岛津制作所 水质测定装置和水质测定方法
JP2020011856A (ja) * 2018-07-17 2020-01-23 ウシオ電機株式会社 オゾン発生装置およびオゾン発生装置を備える処理システム

Also Published As

Publication number Publication date
JP7414148B2 (ja) 2024-01-16
WO2022038837A1 (ja) 2022-02-24
JPWO2022038837A1 (zh) 2022-02-24
CN115916692B (zh) 2024-06-11
EP4201879A1 (en) 2023-06-28
US20240011960A1 (en) 2024-01-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN110376152B (zh) 用于测量废气中的氮氧化物的气体分析器和方法
JP6365096B2 (ja) 紫外線照射式オゾン生成装置
JP2012508890A (ja) サンプルまたはサンプル成分の分析システム、およびこのシステムの製造方法および使用方法
US7628926B2 (en) System and method for monitoring water transmission of UV light in disinfection systems
JP2010048582A (ja) 硫黄の分析方法および分析装置
WO2013121577A1 (ja) 全窒素測定装置
JP2012076033A (ja) 排ガスの無触媒脱硝方法および装置
CN115916692B (zh) 检查装置
EP3644050B1 (en) Water quality measurement device and water quality measurement method
US7268355B2 (en) Excimer UV fluorescence detection
US6716637B2 (en) Chemiluminescent gas analyzer
JP4817713B2 (ja) 硫黄化合物の分析方法及び分析装置
JP2010276486A (ja) 硫黄の分析方法および分析装置
US8709261B2 (en) System and method for monitoring water transmission of UV light in disinfection systems
JP3507744B2 (ja) 全有機炭素測定システム用の酸化装置組立体
US6734444B2 (en) Substrate treatment device using a dielectric barrier discharge lamp
JPWO2022038837A5 (zh)
JP5709408B2 (ja) 水素濃度計測装置及び水素濃度計測方法
JP5104813B2 (ja) 紫外線照射装置及びそれを用いた全有機体炭素測定装置
JP4066693B2 (ja) 真空紫外光照射装置
JPH10170494A (ja) 水中の窒素化合物濃度測定方法およびその装置
JP4078223B2 (ja) 全窒素測定方法
JP2001041950A (ja) 水質分析計
JPH0882601A (ja) 化学発光式窒素酸化物測定装置
WO2018151187A1 (ja) 測定装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant