JP7414148B2 - 検査装置 - Google Patents

Description

本開示は、試料水を検査するための検査装置に関する。

試料水の検査に、紫外線を利用することがある。たとえば、試料水中の検査対象を酸化させるために紫外線を直接試料水に照射させたり、試料水中の検査対象を酸化させるためのオゾンを発生させるために酸素を含むガスに紫外線を照射させたりすることがある。

特開２０１８－５５９６５号公報（特許文献１）には、紫外線を発生させる装置としてエキシマランプが開示されている。特許文献１に開示されたエキシマランプは、放電容器内に封入された放電用ガスに紫外線を照射する始動補助光源を備え、放電容器の一部が被覆管に覆われずに始動補助光源に対して露出している。

特開２０１８－５５９６５号公報

特許文献１に開示されたエキシマランプは、始動補助光源を備えることでエキシマランプの点灯始動性が改善される。また、特許文献１には、エキシマランプからの紫外線が被覆管に覆われずに露出している部分から放射されるため、始動補助光源の紫外線放射面とエキシマランプの紫外線放射面との間の距離を、エキシマランプからの紫外線が始動補助光源に実質的に届かない距離に設定する必要があることが開示されている。これは、エキシマランプからの紫外線が始動補助光源に照射されて始動補助光源が劣化してしまうことを防止するためである。

また、放電容器が酸素を含む雰囲気下に配置されている場合、被覆管に覆われずに露出している部分から放射されるエキシマランプからの紫外線により人体に有害なオゾンが発生する。そのため、特許文献１に開示されたエキシマランプを使用する場合、酸素を除去した雰囲気下にエキシマランプを配置したり、あるいは、エキシマランプが配置されている処理室内を窒素等の不活性ガスによりパージしたりする必要がある。

以上のように、放電ガスを励起させることを補助することで点灯始動性を確保しようとした場合、エキシマランプ、すなわち放電ガス由来の紫外線により生じる問題を考慮してエキシマランプを設計する必要がある。

本開示は、放電ガスを励起させることを補助しつつ、放電ガス由来の紫外線により生じる問題を解決することを一の目的とする。

本開示の検査装置は、試料水を検査するための検査装置であって、紫外線照射部と、試料水に含まれる対象成分を検出する検出部とを含む。紫外線照射部は、内管と、内管の周囲に配置され、内管との間で放電ガスを封入する放電空間を形成する外管と、放電空間内に放電を発生するための一対の電極と、外管の外側から放電ガスに光を照射し、放電ガスを励起させることを補助する補助光源とを含む。補助光源は、放電ガスを励起させることにより発生する紫外光の波長よりも長い波長の光を照射することができ、外管は、内管に比べて紫外光を透過させ難く、前記補助光源から照射される波長の光を透過させる。

本開示によれば、放電ガスを励起させることにより発生する紫外光は、放電空間内から外管の外側に向けて照射され難く、かつ、放電ガスを励起させることを補助する補助光源からの光は外管の外側から放電空間内に向けて照射される。そのため、本開示にかかる検査装置は、放電ガスを励起させることを補助しつつ、放電ガス由来の紫外線により生じる問題を解決できる。

本実施の形態にかかる検査装置１の全体構成を示す模式図である。 紫外線照射部２０の構造を示す概略断面図である。 図２の紫外線照射部２０のＩＩＩ－ＩＩＩ線に沿う概略断面図である。 図２の紫外線照射部２０のＩＶ－ＩＶ線に沿う概略断面図である。 放電空間２４２内で生じる紫外光および補助光源２８からの光の動きを示すイメージ図である。 変形例にかかる紫外線照射部の構造を示す概略断面図である。 変形例にかかる紫外線照射部の構造を示す概略断面図である。 変形例にかかる検査装置１ａの全体構成を示す模式図である。

以下、本開示の実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、図中同一または相当部分には同一符号を付してその説明は繰り返さない。

＜検査装置の全体構成＞
図１は、本実施の形態にかかる検査装置１の全体構成を示す模式図である。検査装置１は、試料水中のＴＯＣ量（ＴＯＣの濃度）を測定するための装置である。検査装置１は、試料水に紫外線を照射することで試料水中の有機物を酸化させる、いわゆる湿式酸化式の検査装置である。

図１を参照して、検査装置１は、送液部１０と、紫外線照射部２０と、検出部３０とを備える。送液部１０は、測定対象の試料水Ｓを検査装置１の流路Ｆに送液する。より具体的には、送液部１０は、ポンプＰによりバイアルビン１２内の試料水Ｓを引くことで、試料水Ｓを流路Ｆに送液する。なお、図１に示す例では、ポンプＰの配置場所は、検出部３０の下流側の流路上であるが、これに限定されるものではなく、流路Ｆ上のどこに配置されてもよい。

紫外線照射部２０は、紫外線を発生させる装置であって、エキシマランプである。本実施の形態において、紫外線照射部２０は、試料水Ｓに対して紫外線を照射する。紫外線照射部２０の詳細については、後述する。バイアルビン１２と紫外線照射部２０とは、流路Ｆを構成するチューブＴ１によって接続されている。チューブＴ１は、紫外線照射部２０に試料水Ｓを流入させる流入管の一例を構成している。

検出部３０は、試料水Ｓ中の対象成分を検出する。本実施の形態において、検出部３０の検出対象は、紫外線を受けて酸化されて生成された分解産物である。検出部３０は、試料水Ｓの導電率を計測することで、紫外線により酸化されて生成された分解産物を検出する。試料水Ｓ中の有機物は、紫外線により酸化されると、最終的に水と二酸化炭素に分解される。分解産物である二酸化炭素が水に溶解するとイオンを生じ、試料水Ｓの導電率が変化する。本実施の形態にかかる検出部３０は、分解産物である二酸化炭素により変化する導電率を測定することで、試料水Ｓの分解産物を検出する。なお、本実施の形態において、検出部３０は、導電率を測定することで分解産物である二酸化炭素を検出するが、分解産物を検出する方法は当該方法に限られない。

紫外線照射部２０と検出部３０とは、流路Ｆを構成するチューブＴ２によって接続されている。チューブＴ２は、紫外線が照射されて酸化された試料水Ｓを紫外線照射部２０から流出させる流出管の一例を構成している。

検出部３０の下流側にチューブＴ３を介してポンプＰが接続されている。ポンプＰによって、試料水Ｓは、バイアルビン１２内から紫外線照射部２０、検出部３０に向かって送液され、排出される。

［紫外線照射部２０の構成］
図２～図４を参照して、紫外線照射部２０について詳細に説明する。図２は、紫外線照射部２０の構造を示す概略断面図である。図３は、図２の紫外線照射部２０のＩＩＩ－ＩＩＩ線に沿う概略断面図である。図４は、図２の紫外線照射部２０のＩＶ－ＩＶ線に沿う概略断面図である。

図２を参照して、紫外線照射部２０は、内管２２と、外管２４と、電極２６と、補助光源２８と、被覆管２９とを備える。

内管２２は、紫外線を照射する対象物が内部空間２２２を通過するように構成されている。本実施の形態において、内管２２は、流入管に相当するチューブＴ１と流出管に相当するチューブＴ２とに接続されており、内管２２の内部空間２２２を試料水Ｓが通過する。内管２２は、長尺な円筒状に形成されている（図３，図４参照）。

外管２４は、内管２２の周囲に配置されている。より具体的には、外管２４は、内管２２を囲むようにして、内管２２の外方に間隔を隔てて配置されている。外管２４は長尺な円筒状に形成されている。外管２４の中心軸線は、内管２２の中心軸線と一致する。すなわち、外管２４は、内管２２と同軸上に配置されている（図３，図４参照）。

なお、内管２２および外管２４は、円筒状に形成されているとしたが、筒状に形成されていればよい。たとえば、内管２２および外管２４の一方または両方は、径の異なる２つの筒を接続させた形状をしていてもよい。また、内管２２と外管２４とは同軸上に配置されているとしたが、中心軸は一致していなくともよい。たとえば、図６は、変形例にかかる紫外線照射部の構造を示す概略断面図である。図６に示すように、外管２４の形状を、径の異なる２つの筒を接続させた形状にしてもよい。

外管２４の端面２４１は、内管２２の側面に接続されている。同様に、外管２４の端面２４３は、内管２２の側面に接続されている。本実施の形態においては、内管２２の長手方向の長さは、外管２４の長手方向の長さよりも長い。そのため、外管２４の端面２４１,２４３の各々は、内管２２の側面に接続されている。なお、内管２２の長手方向の長さを外管２４の長手方向の長さと同一、または外管２４の長手方向の長さよりも短くして、外管２４の端面２４１,２４３の各々を内管２２の端部と接続するような構成にしてもよい。

このような構成により、紫外線照射部２０においては、内管２２と外管２４との間で放電空間２４２が形成される。放電空間２４２には、放電ガスＧが封入されている。放電ガスとしては、たとえば、アルゴン（Ａｒ）、クリプトン（Ｋｒ）、キセノン（Ｘｅ）などの希ガスの他、フッ化アルゴン（ＡｒＦ）、フッ化クリプトン（ＫｒＦ）、塩化クリプトン（ＣｌＫｒ）、塩化キセノン（ＣｌＸｅ）などの希ガスとハロゲンガスとの混合ガスを採用することができる。本実施の形態においては、放電ガスＧはＸｅであるものとして説明する。

電極２６は、外側電極２６２と内側電極２６４とから構成されている。外側電極２６２および内側電極２６４は、外管２４の外周に配置された被覆管２９を隔てて、それぞれ外管２４の外周に配置されている。換言すると、外側電極２６２は、被覆管２９の外周に配置されており、内側電極２６４は、被覆管２９と外管２４との間に配置されている。

このような構成により、紫外線照射部２０では、外側電極２６２および内側電極２６４に電圧が印加されると、放電空間２４２内で放電が発生する。この放電により、放電空間２４２内の放電ガスＧが励起されエキシマ状態となる。このエキシマ状態が元の状態（基底状態）に戻るときに発光が生じる。この光（紫外光）のうち、径方向内方側に向かう光は、内管２２の内部空間２２２内を通過する紫外線を照射する対象物（本実施の形態においては、試料水Ｓ）に照射される。すなわち、紫外線照射部２０は、二重筒型のエキシマランプであって、放電空間２４２から照射される紫外線を、エキシマランプの長手方向に沿って配置されている内管２２の内部空間２２２に向けて照射する。

外側電極２６２には開口部２６６が設けられており、補助光源２８は、外管２４の外側であって、補助光源２８の照射面が被覆管２９と対向するように開口部２６６に配置される。補助光源２８は、外管２４の外側から放電空間２４２内の放電ガスＧに向けて光を照射する。

放電ガスＧは、一度励起させてエキシマ状態にすれば、その後、エキシマ状態から基底状態に戻るときに生じる発光と放電空間２４２内の放電とにより再度エキシマ状態となり得る。しかし、放電ガスＧが基底状態にある中で当該放電ガスＧをエキシマ状態にしようとするためには、高い電圧が必要とされる。本実施の形態においては、放電空間２４２内に補助光源２８による光が照射されることで、発光の開始を補助できる。

ここで、放電ガスＧがエキシマ状態から基底状態に戻るときに生じる光と、補助光源２８から照射される光について説明する。放電ガスＧがエキシマ状態から基底状態に戻るときに生じる光のピーク波長は、放電ガスＧの種類によって異なる。たとえば、Ａｒは１２６ｎｍ、Ｋｒは１４６ｎｍ、Ｘｅは１７２ｎｍ、ＡｒＦは１９３ｎｍ、ＫｒＦは２４８ｎｍ、ＣｌＫｒは２２２ｎｍ、ＣｌＸｅは３０８ｎｍである。すなわち、放電ガスＧがエキシマ状態から基底状態に戻るときに生じる光は、紫外光である。以下では、放電ガスＧがエキシマ状態から基底状態に戻るときに生じる光を、単に紫外光ともいう。

補助光源２８は、放電空間２４２内で生じる紫外光よりも長い波長の光を照射可能である。たとえば、補助光源２８は、可視光を照射可能であって、４００ｎｍ程度の光を照射する。

［内管２２および外管２４の特性］
図５を参照して、内管２２および外管２４の特性について説明する。図５は、放電空間２４２内で生じる紫外光および補助光源２８からの光の動きを示すイメージ図である。

内管２２は、放電空間２４２内で発生した紫外光Ｕが透過する性質を有する。具体的には、内管２２は、２００ｎｍ以下の光が透過する。内管２２は、たとえば、格子欠陥の少ない純度の高い石英ガラスからなる。

外管２４は、放電空間２４２内で発生した紫外光Ｕを通しにくい一方で、補助光源２８から照射される光が透過する性質を有する。具体的には、外管２４は、２００ｎｍ以下の光が透過しにくい。外管２４は、たとえば、不純物を含む格子欠陥のある石英ガラスからなる。

このような構成により、放電空間２４２内で生じた紫外光Ｕは、内管２２を透過して内部空間２２２内の試料水Ｓに照射される一方、外管２４の外には照射されない。一方、補助光源２８からの光Ｖは、外管２４の外から放電空間２４２内に照射される。

その結果、外管２４の外から放電空間２４２内での発光を補助する光を照射させて、発光の開始を補助しつつ、放電空間２４２内の放電ガスＧ由来の波長の短い紫外光Ｕにより生じる問題を解決ができる。具体的には、放電ガスＧ由来の波長の短い紫外光Ｕによるオゾンの発生を防止でき、また、放電ガスＧ由来の波長の短い紫外光Ｕが補助光源２８に照射されることによる補助光源２８の劣化を防止できる。

オゾンの発生を防止できる結果、オゾンの発生を考慮して設置される装置（たとえば、パージするための装置）が不要になり、また、オゾンの発生を考慮して紫外線照射部２０の周囲を真空状態にする必要がなくなり、装置を小型化することができたり、また、装置の作成に要するコストを削減したりすることができる。

また、放電ガスＧ由来の紫外光Ｕによる補助光源２８の劣化を考慮する必要がないため、補助光源２８を被覆管２９（外管２４）に近接させた状態で設置でき、装置を小型化することができる。

なお、被覆管２９は、外管２４とは異なる材質の素材で構成されていてもよいものの、溶着の容易性の観点から外管２４と同じ素材で構成されていることが好ましい。

また、外管２４と内管２２との溶着は異種素材同士をつなげるため、難しいものの、外管２４と内管２２とを異種の素材で構成することで、発光の開始を補助しつつ、放電空間２４２内の放電ガスＧ由来の波長の短い紫外光Ｕにより生じる問題を解決できる。

［変形例］
図７は、変形例にかかる紫外線照射部の構造を示す概略断面図である。変形例にかかる紫外線照射部は、被覆管２９を備えていない点、および外側電極２６２および内側電極２６４の設置位置が異なる点で、上記実施の形態にかかる紫外線照射部２０（図２参照）と異なる。

上記実施の形態において、外側電極２６２および内側電極２６４をいずれも外管２４の外側に設けたが、図７に示すように、内側電極２６４を内管２２に設けてもよい。この場合、被覆管２９を設ける必要がない。

なお、外側電極２６２および内側電極２６４を外側に設けることで、放電空間２４２から内部空間２２２内に放射される光を遮るもの（内側電極２６４）がなくなり、試料水Ｓへの紫外線の照射効率を上げることができる。

上記実施の形態において、外側電極２６２は、被覆管２９の全周に亘って配置されているものとしたが、一部に設けられていてもよい。

上記実施の形態において、内管２２は２００ｎｍ以下の光が透過する素材からなり、外管２４は２００ｎｍ以下の光が透過しにくい素材からなるとした。なお、内管２２および外管２４の素材は、選択された放電ガスＧの種類と、補助光源２８とに基づいて好適に選択されればよい。より具体的には、内管２２の素材は、放電ガスＧ由来の紫外光が透過する素材であればよい。外管２４の素材は、放電ガスＧ由来の紫外光が透過しにくく、補助光源２８からの光の少なくとも一部が透過する素材であればよい。

上記実施の形態では、紫外線を用いた湿式酸化と導電率測定とを組み合わせて試料水のＴＯＣを測定する検査装置について説明した。本開示はこれに限定されることなく、紫外線照射部を用いて試料水に含まれる対象成分を測定する種々の検査装置に利用可能である。

図８は、変形例にかかる検査装置１ａの全体構成を示す模式図である。検査装置１ａは、接触熱分解・化学発光法を用いて試料水中の窒素量を測定するための装置である。検査装置１ａでは、試料水Ｓ中の窒素化合物を熱分解させることで、窒素化合物を一酸化窒素に変化させる。次に、酸素を含むガスに紫外線を照射することでオゾンを発生させて、オゾンと一酸化窒素とを反応させて、一酸化窒素を二酸化窒素に変化させる。このときに、二酸化窒素から放射光が放射される。放射光の強度が窒素の濃度に比例するため、検査装置１ａでは、一酸化窒素を二酸化窒素に変化させたときに発生する光を検出することで、試料水中の窒素量を測定できる。具体的には、検査装置１ａは、紫外線照射部２０ａと、熱分解部４２と、検出部３０ａとを備える。

紫外線照射部２０ａは、内管の内部空間を試料水Ｓではなくガスが通過する点で上記実施の形態にかかる紫外線照射部２０と異なる。紫外線照射部２０ａの内管の内部空間を通過するガスは、少なくとも酸素を含む。なお、紫外線照射部２０ａは、内管の内部空間を通過する試料が、液体ではなくガスである点で紫外線照射部２０と異なるに過ぎず、内管の内部空間を通過する試料に紫外線を照射するという使用目的は紫外線照射部２０と共通しており、紫外線照射部２０と共通の構造を有する。そのため、紫外線照射部２０ａの詳細な説明については、紫外線照射部２０と共通するため省略する。

熱分解部４２は、試料水Ｓ中の窒素化合物を熱分解させて、窒素化合物を一酸化窒素に変化させる。図示していないものの、熱分解部４２は、触媒を備え、キャリアガスとともに注入された試料水Ｓを酸化させる。試料水Ｓを酸化させることで、試料水Ｓ中の窒素化合物は、一酸化窒素に変化する。また、図示していないものの、熱分解部４２は、熱分解後のキャリアガス中の水分を除去するための除湿部を備える。

熱分解部４２によって熱分解された後のキャリアガスと、紫外線照射部２０ａで発生したオゾンとは、検出部３０ａに導入される。検出部３０ａにキャリアガスとオゾンとが導入されると、キャリアガス中の一酸化窒素とオゾンとが反応して、準安定状態に励起された二酸化窒素となる。準安定状態に励起された二酸化窒素は、安定状態の二酸化窒素となる際に発光する。

検出部３０ａは、紫外線の照射を受けたガスを用いて処理された試料水に含まれる成分の検出を行う。より具体的には、本実施の形態において、検出部３０ａは、二酸化窒素からの放射光を検出する。より具体的には、検出部３０ａは、５９０ｎｍ～２５００ｎｍの光を検出する。

以上のように、検査装置１ａは、オゾンを発生させるための装置として、上記実施の形態で説明した紫外線照射部を利用可能である。また、検査装置１ａは、検出対象に応じた検出部を備える。

［態様］
上述した実施の形態は、以下の態様の具体例であることが当業者により理解される。

（第１項）一態様に係る試料水を検査するための検査装置は、紫外線照射部と、試料水に含まれる対象成分を検出する検出部とを備える。紫外線照射部は、内管と、内管の周囲に配置され、内管との間で放電ガスを封入する放電空間を形成する外管と、放電空間内に放電を発生するための一対の電極と、外管の外側から放電ガスに光を照射し、放電ガスを励起させることを補助する補助光源とを有する。補助光源は、放電ガスを励起させることにより発生する紫外光の波長よりも長い波長の光を照射することができる。外管は、内管に比べて紫外光を透過させ難く、補助光源から照射される波長の光を透過させる。

第１項に記載の検査装置によれば、放電ガスを励起させることにより発生する紫外光は、放電空間内から外管の外側に向けて照射され難く、かつ、放電ガスを励起させることを補助する補助光源からの光は外管の外側から放電空間内に向けて照射される。そのため、第１項に記載の検査装置は、放電ガスを励起させることを補助しつつ、放電ガス由来の紫外線により生じる問題を解決できる。

（第２項）第１項に記載の検査装置において、紫外線照射部は、内管の内部空間を通過する試料水に対して紫外線を照射する。検出部は、紫外線の照射を受けた試料水の導電率を検出する。

第２項に記載の検査装置によれば、湿式酸化と導電率測定とを組み合わせて試料水のＴＯＣを測定することができる。

（第３項）第１項に記載の検査装置において、紫外線照射部は、内管の内部空間を通過するガスに対して紫外線を照射する。検出部は、紫外線の照射を受けたガスを用いて処理された試料水に含まれる対象成分を検出する。

第３項に記載の検査装置によれば、紫外線の照射を受けたガスを用いて試料水を処理した検査を行うことができる。

（第４項）第３項に記載の検査装置において、ガスは、酸素を少なくとも含む。紫外線照射部は、前記ガスに対して前記紫外光を照射することにより、一酸化窒素を二酸化窒素に酸化させるためのオゾンを発生させる。検出部は、二酸化窒素からの放射光を検出する。

第４項に記載の検査装置によれば、接触熱分解・化学発光法を用いて試料水中の全窒素量を測定することができる。

（第５項）第１項～第４項のうちいずれか１項に記載の検査装置において、補助光源は、外管の周囲に近接して配置される。

第５項に記載の検査装置によれば、紫外線照射部を小型化できる。
（第６項）第１項～第５項のうちいずれか１項に記載の検査装置において、一対の電極は、外管の外周に配置された外側電極と、外側電極よりも内管側に配置された内側電極とを含む。外側電極には、開口部が形成されている。補助光源は、開口部に配置される。

第６項に記載の検査装置によれば、紫外線照射部を小型化できる。
（第７項）第１項～第５項のうちいずれか１項に記載の検査装置は、外管の周囲に配置された被覆管をさらに有する。一対の電極は、被覆管の外周に配置された外側電極と、被覆管と外管との間に配置された内側電極とを含む。

第７項に記載の検査装置によれば、外側電極および内側電極を外側に設けることで、放電空間から内部空間内に放射される紫外光を遮るものがなくなり、試料水への紫外光の照射効率を上げることができる。

（第８項）第７項に記載の検査装置において、被覆管と外管とは同じ材質の部材から成る。

第８項に記載の検査装置によれば、被覆管と外管とを溶着させることが容易になる。
（第９項）第１項～第８項のうちいずれか１項に記載の検査装置において、紫外光は、２００ｎｍ以下の波長の光である。

第９項に記載の検査装置によれば、放電ガスを励起させることを補助しつつ、放電ガス由来の紫外線により生じる問題を解決できる。

今回開示された各実施の形態は、技術的に矛盾しない範囲で適宜組合わせて実施することも予定されている。そして、今回開示された実施の形態は、全ての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施の形態の説明ではなくて請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。

１，１ａ 検査装置、１０ 送液部、１２ バイアルビン、２０，２０ａ 紫外線照射部、２２ 内管、２４ 外管、２６ 電極、２８ 補助光源、２９ 被覆管、３０，３０ａ 検出部、４２ 熱分解部、２２２ 内部空間、２４１，２４３ 端面、２４２ 放電空間、２６２ 外側電極、２６４ 内側電極、２６６ 開口部。

Claims (12)

1. 試料水を検査するための検査装置であって、
   紫外線照射部と、
   前記試料水に含まれる対象成分を検出する検出部とを備え、
   前記紫外線照射部は、
   内管と、
   前記内管の周囲に配置され、前記内管との間で放電ガスを封入する放電空間を形成する外管と、
   前記放電空間内に放電を発生するための一対の電極と、
   前記外管の外側から前記放電ガスに光を照射し、前記放電ガスを励起させることを補助する補助光源とを有し、
   前記補助光源は、前記放電ガスを励起させることにより発生する紫外光の波長よりも長い波長の光を照射することができ、
   前記外管は、前記内管に比べて前記紫外光を透過させ難い材質であって、かつ、前記補助光源から照射される波長の光を透過させる材質で構成されている、検査装置。
2. 前記紫外線照射部は、前記内管の内部空間を通過する前記試料水に対して前記紫外光を照射し、
   前記検出部は、前記紫外光の照射を受けた前記試料水の導電率を検出する、請求項１に記載の検査装置。
3. 前記紫外線照射部は、前記内管の内部空間を通過するガスに対して前記紫外光を照射し、
   前記検出部は、前記紫外光の照射を受けたガスを用いて処理された前記試料水に含まれる対象成分を検出する、請求項１に記載の検査装置。
4. 前記ガスは、酸素を少なくとも含み、
   前記紫外線照射部は、前記ガスに対して前記紫外光を照射することにより、一酸化窒素を二酸化窒素に酸化させるためのオゾンを発生させ、
   前記検出部は、二酸化窒素からの放射光を検出する、請求項３に記載の検査装置。
5. 前記補助光源は、前記外管の周囲に近接して配置される、請求項１～請求項４のうちいずれか１項に記載の検査装置。
6. 前記一対の電極は、前記外管の外周に配置された外側電極と、当該外側電極よりも前記内管側に配置された内側電極とを含み、
   前記外側電極には、開口部が形成されており、
   前記補助光源は、前記開口部に配置される、請求項１～請求項５のうちいずれか１項に記載の検査装置。
7. 前記紫外線照射部は、前記外管の周囲に配置された被覆管をさらに有し、
   前記一対の電極は、前記被覆管の外周に配置された外側電極と、前記被覆管と前記外管との間に配置された内側電極とを含む、請求項１～請求項５のうちいずれか１項に記載の検査装置。
8. 前記被覆管と前記外管とは同じ材質の部材から成る、請求項７に記載の検査装置。
9. 前記紫外光は、２００ｎｍ以下の波長の光である、請求項１～請求項８のうちいずれか１項に記載の検査装置。
10. 前記外管は、不純物を含む格子欠陥のある石英ガラスからなる、請求項１～９のうちいずれか１項に記載の検査装置。
11. 前記放電空間と前記補助光源との間には、前記外管がある、請求項１～１０のうちいずれか１項に記載の検査装置。
12. 前記紫外線照射部は、前記外管の周囲に配置された被覆管をさらに有し、
    前記外管と前記補助光源との間には、前記被覆管がある、請求項１～６のうちいずれか１項に記載の検査装置。

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