JPWO2022038837A5 - - Google Patents

Description

（第４項）第３項に記載の検査装置において、ガスは、酸素を少なくとも含む。紫外線照射部は、前記ガスに対して前記紫外光を照射することにより、一酸化窒素を二酸化窒素に酸化させるためのオゾンを発生させる。検出部は、二酸化窒素からの放射光を検出する。

第８項に記載の検査装置によれば、被覆管と外管とを溶着させることが容易になる。
（第９項）第１項～第８項のうちいずれか１項に記載の検査装置において、紫外光は、２００ｎｍ以下の波長の光である。

Claims (12)

1. 試料水を検査するための検査装置であって、
   紫外線照射部と、
   前記試料水に含まれる対象成分を検出する検出部とを備え、
   前記紫外線照射部は、
   内管と、
   前記内管の周囲に配置され、前記内管との間で放電ガスを封入する放電空間を形成する外管と、
   前記放電空間内に放電を発生するための一対の電極と、
   前記外管の外側から前記放電ガスに光を照射し、前記放電ガスを励起させることを補助する補助光源とを有し、
   前記補助光源は、前記放電ガスを励起させることにより発生する紫外光の波長よりも長い波長の光を照射することができ、
   前記外管は、前記内管に比べて前記紫外光を透過させ難い材質であって、かつ、前記補助光源から照射される波長の光を透過させる材質で構成されている、検査装置。
2. 前記紫外線照射部は、前記内管の内部空間を通過する前記試料水に対して前記紫外光を照射し、
   前記検出部は、前記紫外光の照射を受けた前記試料水の導電率を検出する、請求項１に記載の検査装置。
3. 前記紫外線照射部は、前記内管の内部空間を通過するガスに対して前記紫外光を照射し、
   前記検出部は、前記紫外光の照射を受けたガスを用いて処理された前記試料水に含まれる対象成分を検出する、請求項１に記載の検査装置。
4. 前記ガスは、酸素を少なくとも含み、
   前記紫外線照射部は、前記ガスに対して前記紫外光を照射することにより、一酸化窒素を二酸化窒素に酸化させるためのオゾンを発生させ、
   前記検出部は、二酸化窒素からの放射光を検出する、請求項３に記載の検査装置。
5. 前記補助光源は、前記外管の周囲に近接して配置される、請求項１～請求項４のうちいずれか１項に記載の検査装置。
6. 前記一対の電極は、前記外管の外周に配置された外側電極と、当該外側電極よりも前記内管側に配置された内側電極とを含み、
   前記外側電極には、開口部が形成されており、
   前記補助光源は、前記開口部に配置される、請求項１～請求項５のうちいずれか１項に記載の検査装置。
7. 前記紫外線照射部は、前記外管の周囲に配置された被覆管をさらに有し、
   前記一対の電極は、前記被覆管の外周に配置された外側電極と、前記被覆管と前記外管との間に配置された内側電極とを含む、請求項１～請求項５のうちいずれか１項に記載の検査装置。
8. 前記被覆管と前記外管とは同じ材質の部材から成る、請求項７に記載の検査装置。
9. 前記紫外光は、２００ｎｍ以下の波長の光である、請求項１～請求項８のうちいずれか１項に記載の検査装置。
10. 前記外管は、不純物を含む格子欠陥のある石英ガラスからなる、請求項１～９のうちいずれか１項に記載の検査装置。
11. 前記放電空間と前記補助光源との間には、前記外管がある、請求項１～１０のうちいずれか１項に記載の検査装置。
12. 前記紫外線照射部は、前記外管の周囲に配置された被覆管をさらに有し、
    前記外管と前記補助光源との間には、前記被覆管がある、請求項１～６のうちいずれか１項に記載の検査装置。