JPS62153734A - 測定方法および装置 - Google Patents
測定方法および装置Info
- Publication number
- JPS62153734A JPS62153734A JP29270685A JP29270685A JPS62153734A JP S62153734 A JPS62153734 A JP S62153734A JP 29270685 A JP29270685 A JP 29270685A JP 29270685 A JP29270685 A JP 29270685A JP S62153734 A JPS62153734 A JP S62153734A
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- Japan
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- light
- gas
- wavelength
- intensity
- ultraviolet rays
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［技術分野］
本発明は、測定技術、特に、単波長の紫外線の強度の測
定に通用して有効な技術に関する。
定に通用して有効な技術に関する。
［背景技術］
たとえば、半導体装置の製造におけるウェハ処理工程に
おいては、エツチング処理後、ウェハ表面を所定のパタ
ーンに隠蔽している、有機物などからなるフォトレジス
トを酸化し、ガス化して除去するなどの目的で、次のよ
うなフォトレジスト除去処理が行われる場合がある。
おいては、エツチング処理後、ウェハ表面を所定のパタ
ーンに隠蔽している、有機物などからなるフォトレジス
トを酸化し、ガス化して除去するなどの目的で、次のよ
うなフォトレジスト除去処理が行われる場合がある。
すなわち、ウェハを酸素ガス雰囲気中に位置させつつ、
低圧水銀ランプなどの光源から得られる紫外線を照射し
、たとえば波長Ｌ ８５ ｎｍの紫外線によるオゾン（
０３）の生成と、波長２５４ｎｍの紫外線によるオゾン
の解離とを同時に行わせ、この時発生される酸素ラジカ
ルなどによってを機動などからなるフォトレジストの酸
化除去が促進されるようにしたものである。
低圧水銀ランプなどの光源から得られる紫外線を照射し
、たとえば波長Ｌ ８５ ｎｍの紫外線によるオゾン（
０３）の生成と、波長２５４ｎｍの紫外線によるオゾン
の解離とを同時に行わせ、この時発生される酸素ラジカ
ルなどによってを機動などからなるフォトレジストの酸
化除去が促進されるようにしたものである。
この場合、低圧水銀ランプなどの光源から得られる波長
１８５ｎｍおよび波長２５４ｎｍの紫外線の強度を精確
に把握することがフォトレジスト除去処理を適切に制御
するなどの観点から重要となる。
１８５ｎｍおよび波長２５４ｎｍの紫外線の強度を精確
に把握することがフォトレジスト除去処理を適切に制御
するなどの観点から重要となる。
たとえば、波長１８５ｎｍの紫外線の測定においては、
大気中の酸素ガスによる吸収を防止するため、真空中で
行うことが考えられるが、真空排気機構などが必要とな
るため測定装置が大損りで高価となるばかりでなく、測
定作業が煩雑となるなど、種々の不具合があることを本
発明者は見いだした。
大気中の酸素ガスによる吸収を防止するため、真空中で
行うことが考えられるが、真空排気機構などが必要とな
るため測定装置が大損りで高価となるばかりでなく、測
定作業が煩雑となるなど、種々の不具合があることを本
発明者は見いだした。
なお、半導体装置の製造における一ウェハ処理工程で行
われる紫外線照射について説明されている文献としては
、株式会社工業調査会、昭和６０年１１月２０日発行、
［１ｉ子材料Ｊ １９８５年別冊Ｐ８９〜Ｐ９４１があ
る。
われる紫外線照射について説明されている文献としては
、株式会社工業調査会、昭和６０年１１月２０日発行、
［１ｉ子材料Ｊ １９８５年別冊Ｐ８９〜Ｐ９４１があ
る。
［発明の目的］
本発明の目的は、簡便に光の強度を測定することが可能
な測定技術を提供することにある。
な測定技術を提供することにある。
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。
［発明の概要］
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、次の通りである。
を簡単に説明すれば、次の通りである。
すなわち、波長の異なる第１および第２の光を放射する
光源から、光の強度を検知する検出部に到る光路に介在
される筒体と、該筒体の検出部側端部に設けられ、第１
の光のみを選択して検出部に到達させる光選択手段と、
第１および第２の光のいずれも吸収しない第１の気体と
、第２の光を吸収することによって、第１の光を吸収す
る第３の気体を生成する第２の気体とを個別に筒体内部
に流通させる気体供給部とを設け、筒体内を第１および
第２の気体が個別に流通される際に、検出部に得られる
第１の光の強度変化に基づいて第２の光の強度が測定さ
れる構造とすることにより、たとえば、測定作業を真空
中で行うことなどに起因して、装置が複雑かつ高価とな
ったり測定作業が煩雑となることを回避し、光の測定が
簡便に行われるようにしたものである。
光源から、光の強度を検知する検出部に到る光路に介在
される筒体と、該筒体の検出部側端部に設けられ、第１
の光のみを選択して検出部に到達させる光選択手段と、
第１および第２の光のいずれも吸収しない第１の気体と
、第２の光を吸収することによって、第１の光を吸収す
る第３の気体を生成する第２の気体とを個別に筒体内部
に流通させる気体供給部とを設け、筒体内を第１および
第２の気体が個別に流通される際に、検出部に得られる
第１の光の強度変化に基づいて第２の光の強度が測定さ
れる構造とすることにより、たとえば、測定作業を真空
中で行うことなどに起因して、装置が複雑かつ高価とな
ったり測定作業が煩雑となることを回避し、光の測定が
簡便に行われるようにしたものである。
［実施例］
第１図は、本発明の一実施例である測定装置の構成を示
す説明図である。
す説明図である。
たとえば、低圧水銀ランプなどからなり、波長２５４
ｎｍの紫外線Ａ（第１の光）および波長１８５ｎｍの紫
外線Ｂ（第２の光）などを含む光を放出する光′ａｌに
は、測定セル２（筒体）の開放端が密着されている。
ｎｍの紫外線Ａ（第１の光）および波長１８５ｎｍの紫
外線Ｂ（第２の光）などを含む光を放出する光′ａｌに
は、測定セル２（筒体）の開放端が密着されている。
測定セル２の他端部には、前記紫外″＆！Ａのみを透過
させるフィルタ３が設けられ、測定セル２の端部に対向
して位置される受光素子４には、光源１から測定セル２
の内部に放射された光の中で、紫外線Ａのみが到達され
、検知される構造とされている。
させるフィルタ３が設けられ、測定セル２の端部に対向
して位置される受光素子４には、光源１から測定セル２
の内部に放射された光の中で、紫外線Ａのみが到達され
、検知される構造とされている。
また、受光素子４において検知される紫外線Ａの強度は
、増幅部５を介して出力されるように構成されている。
、増幅部５を介して出力されるように構成されている。
前記測定セル２の両端部側面には、気体供給部６が接続
されるガス流入ノズル７および外部に開放された排気ノ
ズル８がそれぞれ設けられている。
されるガス流入ノズル７および外部に開放された排気ノ
ズル８がそれぞれ設けられている。
前記気体供給部６は、たとえば、窒素ガス源６ａおよび
酸素ガスａ６ｂと切換弁６Ｃなどで構成され、該切換弁
６Ｃを適宜制御することにより、紫外線ＡおよびＢのい
ずれも吸収しない窒素ガス９（第１の気体）および、波
長１８５ｎｍの紫外線Ｂを吸収して、波長２５４ｎｍの
紫外線Ａを吸収するオゾン（０３）（第３の気体）を生
成する酸素ガス１０ （第２の気体）が、個別に順次測
定セル２の内部に流入され、光ａｉｌと受光素子４との
間における光路に介在されるように構成されている。
酸素ガスａ６ｂと切換弁６Ｃなどで構成され、該切換弁
６Ｃを適宜制御することにより、紫外線ＡおよびＢのい
ずれも吸収しない窒素ガス９（第１の気体）および、波
長１８５ｎｍの紫外線Ｂを吸収して、波長２５４ｎｍの
紫外線Ａを吸収するオゾン（０３）（第３の気体）を生
成する酸素ガス１０ （第２の気体）が、個別に順次測
定セル２の内部に流入され、光ａｉｌと受光素子４との
間における光路に介在されるように構成されている。
以下、本実施例の作用について説明する。
始めに、光源１が点灯されるとともに、気体供給部６の
切換弁６ｃを操作することにより、測定セル２の内部に
は、窒素ガス９が流通される。
切換弁６ｃを操作することにより、測定セル２の内部に
は、窒素ガス９が流通される。
この時、波長２５４ｎｍの紫外線Ａは窒素ガス９によっ
て吸収されず、また、光源ｌから受光素子４に到る光路
に紫外線Ａのみを透過させるフィルタ３が設けられてい
るため、受光素子４には、光源ｌから放射される紫外Ｉ
Ａの強度Ｉ０が検知される。
て吸収されず、また、光源ｌから受光素子４に到る光路
に紫外線Ａのみを透過させるフィルタ３が設けられてい
るため、受光素子４には、光源ｌから放射される紫外Ｉ
Ａの強度Ｉ０が検知される。
次に、切換弁６Ｃを操作することにより、・測定セル２
に酸素ガスｌＯを流通させると、該酸素ガス１０は波長
１８５ ｎｍの紫外線Ｂを吸収してオゾン（０，）を生
成する。酸素ガス１０の所定の流量におけるオゾンの４
度Ｎは、光源ｌから放射される波長１８５ｎｍの紫外Ｌ
９Ｂの強度Ｉ３．．に比例し、 Ｎ−ｋ ’ １１ａｓ （ｋは定数） ・・・・・
［１１となる。
に酸素ガスｌＯを流通させると、該酸素ガス１０は波長
１８５ ｎｍの紫外線Ｂを吸収してオゾン（０，）を生
成する。酸素ガス１０の所定の流量におけるオゾンの４
度Ｎは、光源ｌから放射される波長１８５ｎｍの紫外Ｌ
９Ｂの強度Ｉ３．．に比例し、 Ｎ−ｋ ’ １１ａｓ （ｋは定数） ・・・・・
［１１となる。
この時、生成されたオゾンによって波長２５４ｎｍの紫
外線Ａは吸収され、その吸収量ΔＩ２，４は、測定セル
の長さをし、オゾンの紫外線Ａに対する吸収係数をαと
すれば、 ΔＩ□６Ｍ−αＮＬ・夏。 ・・・・・（２）と
なる。
外線Ａは吸収され、その吸収量ΔＩ２，４は、測定セル
の長さをし、オゾンの紫外線Ａに対する吸収係数をαと
すれば、 ΔＩ□６Ｍ−αＮＬ・夏。 ・・・・・（２）と
なる。
従って、測定セル２の内部に、酸素ガスｌＯを流通させ
た時に、受光素子４によって検知される波長２５４ｎｍ
の紫外線への強度１．は、ｌｔ−１ｏ−ΔＩ ２５４ 一■。（１−αＮＬ） ・・・・・（３）となり
、式（３）をＮについて解けば、Ｎ−（１／αＬ）（１
ｉ、／［。）・・（４）となり、さらに式（４）と（１
）とから、１、ｓｓ ” （１／ｋｃｔＬ）（１−１，
／ｉｏ ）・・・・・（５） が得られる。
た時に、受光素子４によって検知される波長２５４ｎｍ
の紫外線への強度１．は、ｌｔ−１ｏ−ΔＩ ２５４ 一■。（１−αＮＬ） ・・・・・（３）となり
、式（３）をＮについて解けば、Ｎ−（１／αＬ）（１
ｉ、／［。）・・（４）となり、さらに式（４）と（１
）とから、１、ｓｓ ” （１／ｋｃｔＬ）（１−１，
／ｉｏ ）・・・・・（５） が得られる。
すなわち、測定セル２の内部に窒素ガス９と酸素ガス１
０とを個別に流通させ、各々の場合において受光素子４
においてそれぞれ検知される波長２５４ｎｍの紫外線Ａ
の強度■。と■、とを測定することにより、光ａｔから
紫外ｖＡＡとともに放射される波長１８５ｎｍの紫外線
Ｂの強度■、。
０とを個別に流通させ、各々の場合において受光素子４
においてそれぞれ検知される波長２５４ｎｍの紫外線Ａ
の強度■。と■、とを測定することにより、光ａｔから
紫外ｖＡＡとともに放射される波長１８５ｎｍの紫外線
Ｂの強度■、。
を簡便かつ短時間に知ることができる。
また、式（４）により、光源ｌと受光素子４との間に介
在されるオゾンの濃度Ｎも知ることが可能となる。
在されるオゾンの濃度Ｎも知ることが可能となる。
このように、本実施例によれば、測定作業が大気圧下で
行われ、真空排気機構などを設ける必要がなり、装置の
構造が簡単化されるとともに、測定手順なども簡革であ
り、低圧水銀ランプなどの光源１から放射される波長１
８５ｎｍの紫外線Ｂの強度を簡便かつ短時間に測定でき
る。
行われ、真空排気機構などを設ける必要がなり、装置の
構造が簡単化されるとともに、測定手順なども簡革であ
り、低圧水銀ランプなどの光源１から放射される波長１
８５ｎｍの紫外線Ｂの強度を簡便かつ短時間に測定でき
る。
この結果、測定装置の小型化および低価格化が可能とな
り、光の強度測定における生産性が向上される。
り、光の強度測定における生産性が向上される。
［効果］
（１）、波長の異なる少なくとも第１および第２の光を
放射する光源から、光の強度を検知する検出部に到る光
路に介在される筒体と、咳筒体の前記検出部側端部に設
けられ、前記第１の光のみを選択して検出部に到達させ
る光選択手段と、前記第１および第２の光のいずれも吸
収しない第１の気体と、前記第２の光を吸収することに
よって、前記第１の光を吸収する第３の気体を生成する
第２の気体とを個別に前記筒体内部に流通させる気体供
給部とからなり、前記筒体内を前記第１および第２の気
体が個別に流通される際に、前記検出部に得られる前記
第１の光の強度変化に基づいて前記第２の光の強度が測
定されるため、たとえば、真空排気機構などを設ける必
要がなく、装置の構造が筒車化されるとともに、測定手
順なども簡単となり、光源から放射される光線の強度を
簡便かつ短時間に測定できる。
放射する光源から、光の強度を検知する検出部に到る光
路に介在される筒体と、咳筒体の前記検出部側端部に設
けられ、前記第１の光のみを選択して検出部に到達させ
る光選択手段と、前記第１および第２の光のいずれも吸
収しない第１の気体と、前記第２の光を吸収することに
よって、前記第１の光を吸収する第３の気体を生成する
第２の気体とを個別に前記筒体内部に流通させる気体供
給部とからなり、前記筒体内を前記第１および第２の気
体が個別に流通される際に、前記検出部に得られる前記
第１の光の強度変化に基づいて前記第２の光の強度が測
定されるため、たとえば、真空排気機構などを設ける必
要がなく、装置の構造が筒車化されるとともに、測定手
順なども簡単となり、光源から放射される光線の強度を
簡便かつ短時間に測定できる。
（２）、前記（１）の結果、筒体内に、窒素ガスおよび
酸素ガスを個別に順次流通させることにより、低圧水銀
ランプなどから放射される波長１８５ｎｍの紫外線の強
度を、同時に放射される波長２５４０ｍの紫外線の強度
変化を測定することによって簡便に計測することができ
る。
酸素ガスを個別に順次流通させることにより、低圧水銀
ランプなどから放射される波長１８５ｎｍの紫外線の強
度を、同時に放射される波長２５４０ｍの紫外線の強度
変化を測定することによって簡便に計測することができ
る。
（３）、前記（１）の結果、光源と検出部との間に介在
されるオゾンｉ１度を測定することができる。
されるオゾンｉ１度を測定することができる。
以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。
たとえば、測定される光としては、紫外線に限らず他の
いかなる光であっても良く、筒体内を流通される気体と
しては、窒素ガス、酸素ガスなどに限らず、他のいかな
る気体であっても良い。
いかなる光であっても良く、筒体内を流通される気体と
しては、窒素ガス、酸素ガスなどに限らず、他のいかな
る気体であっても良い。
［利用分野］
以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野である紫外線の強度測定技
術に適用した場合について説明したが、それに限定され
るものではなく、光の強度を簡便に測定することが必要
とされる技術に広く適用できる。
をその背景となった利用分野である紫外線の強度測定技
術に適用した場合について説明したが、それに限定され
るものではなく、光の強度を簡便に測定することが必要
とされる技術に広く適用できる。
【図面の簡単な説明】
第１図は、本発明の一実施例である測定装置の構成を示
す説明図である。 １・・・光源、２・・・測定セル（筒体）、３・・・フ
ィルタ（光選択手段）、４・・・受光素子（検出部）、
５・・・増幅部、６・・・気体供給部、６ａ・・・窒素
ガス源、６ｂ・・・酸素ガス源、６ｃ・・・切換弁、７
・・・ガス流入ノズル、８・・・排気ノズル、９・・・
窒素ガス（第１の気体）、１０・・・酸素ガス（第２の
気体）、Ａ・・・波長２５４ｎｍの紫外線（第１の光）
、Ｂ・・・波長ｌＢ５ｎｍの紫外線（第２の光）、Ｌ・
・・測定セルの長さ。 第 １ 図
す説明図である。 １・・・光源、２・・・測定セル（筒体）、３・・・フ
ィルタ（光選択手段）、４・・・受光素子（検出部）、
５・・・増幅部、６・・・気体供給部、６ａ・・・窒素
ガス源、６ｂ・・・酸素ガス源、６ｃ・・・切換弁、７
・・・ガス流入ノズル、８・・・排気ノズル、９・・・
窒素ガス（第１の気体）、１０・・・酸素ガス（第２の
気体）、Ａ・・・波長２５４ｎｍの紫外線（第１の光）
、Ｂ・・・波長ｌＢ５ｎｍの紫外線（第２の光）、Ｌ・
・・測定セルの長さ。 第 １ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、波長の異なる少なくとも第１および第２の光を放射
する光源から、前記第１の光の強度を検知する検出部に
到る光路に、前記第１および第２の光のいずれも吸収し
ない第１の気体と、前記第２の光を吸収することによっ
て、前記第１の光を吸収する第３の気体を生成する第２
の気体とを順次介在させ、各々の場合において前記検出
部に得られる前記第１の光の強度変化に基づいて前記第
２の光の強度を測定することを特徴とする測定方法。 ２、前記第１および第２の光が、それぞれ波長２５４ｎ
ｍおよび波長１８５ｎｍの紫外線であり、前記第１、第
２および第３の気体が、それぞれ窒素ガス、酸素ガスお
よびオゾンであることを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載の測定方法。 ３、波長の異なる少なくとも第１および第２の光を放射
する光源から、光の強度を検知する検出部に到る光路に
介在される筒体と、該筒体の前記検出部側端部に設けら
れ、前記第１の光のみを選択して検出部に到達させる光
選択手段と、前記第１および第２の光のいずれも吸収し
ない第１の気体と、前記第２の光を吸収することによっ
て、前記第１の光を吸収する第３の気体を生成する第２
の気体とを個別に前記筒体内部に流通させる気体供給部
とからなり、前記筒体内を前記第１および第２の気体が
個別に流通される際に、前記検出部に得られる前記第１
の光の強度変化に基づいて前記第２の光の強度が測定さ
れることを特徴とする測定装置。 ４、前記第１および第２の光が、それぞれ波長２５４ｎ
ｍおよび波長１８５ｎｍの紫外線であり、前記第１、第
２および第３の気体が、それぞれ窒素ガス、酸素ガスお
よびオゾンであることを特徴とする特許請求の範囲第３
項記載の測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29270685A JPS62153734A (ja) | 1985-12-27 | 1985-12-27 | 測定方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29270685A JPS62153734A (ja) | 1985-12-27 | 1985-12-27 | 測定方法および装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62153734A true JPS62153734A (ja) | 1987-07-08 |
Family
ID=17785249
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29270685A Pending JPS62153734A (ja) | 1985-12-27 | 1985-12-27 | 測定方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62153734A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100866589B1 (ko) * | 2006-02-27 | 2008-11-03 | 가부시키가이샤 덴소 | 광학 가스 검출장치 |
-
1985
- 1985-12-27 JP JP29270685A patent/JPS62153734A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100866589B1 (ko) * | 2006-02-27 | 2008-11-03 | 가부시키가이샤 덴소 | 광학 가스 검출장치 |
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