JP2015157230A - 処理装置および方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】PFCガスなどを処理できる装置を提供する。
【解決手段】処理対象のガスを通過させる触媒層と、触媒層にバイアス電圧を印加する電圧供給ユニットとを有する処理装置を提供する。この処理装置は、処理対象のガスに紫外線を照射する照射ユニットを有してもよい。照射ユニットは真空紫外線の供給源を備えていることが望ましい。また、触媒層は多孔構造、典型的にはハニカム構造の白金触媒であり、内部に粒状の消石灰が充填された層を含むことが望ましい。
【選択図】図3
【解決手段】処理対象のガスを通過させる触媒層と、触媒層にバイアス電圧を印加する電圧供給ユニットとを有する処理装置を提供する。この処理装置は、処理対象のガスに紫外線を照射する照射ユニットを有してもよい。照射ユニットは真空紫外線の供給源を備えていることが望ましい。また、触媒層は多孔構造、典型的にはハニカム構造の白金触媒であり、内部に粒状の消石灰が充填された層を含むことが望ましい。
【選択図】図3
Description
本発明は、触媒によりガスを処理する装置および方法に関するものである。
特許文献1には、小型の装置で有機ハロゲン化合物を効率よく完全に分解する方法と装置を提供するために、PFC等の有機ハロゲン化合物をプロパンガス等の可燃物質と酸素または酸素含有気体とを混合し、得られる混合物をバーナーで火炎ラジカル反応させ、反応中の混合物を熱プラズマ装置でプラズマ処理しつつ活性アルミナ又は2酸化チタン等の触媒層に接触させ有機ハロゲン化合物を分解したことを特徴とする有機ハロゲン化合物の分解方法が記載されている。
処理対象のガスを、触媒層を通して変換する際に、小型で、ランニングコストの低い処理装置および方法を提供する。
本発明の一態様は、処理対象のガスを通過させる触媒層と、触媒層にバイアス電圧を印加する電圧供給ユニットとを有する処理装置である。処理対象のガスが接触して反応する触媒層にバイアス電圧(バイアス電界)を加えることにより触媒を活性化でき、処理効率を向上できる。バイアス電圧は交流でも直流でもよいが、典型的には直流バイアス電圧であり、触媒表面に電荷または正孔を付与することにより低消費電力で触媒を活性化できる。このため、白金などの触媒で光触媒のような効果を期待できる。
本発明の他の態様の1つは、処理対象のガスを通過させる触媒層と、処理対象のガスに紫外線を照射する照射ユニットとを有する処理装置である。紫外線照射により処理対象のガス中の分子結合を攻撃して切断するとともに、空気中の酸素から反応性の高い酸素ラジカルを生成することにより触媒層における処理を促進できる。紫外線は近紫外線であってもよく、極端紫外線であってもよいが、波長が短くエネルギーの高く、さらに遮蔽が比較的容易な真空紫外線(波長が200nm以下程度)であることが望ましい。したがって、
照射ユニットは、真空紫外線を発生する紫外線源を含むことが望ましい。真空紫外線を発生する紫外線源の1つは、エキシマ光照射ユニットである。
照射ユニットは、真空紫外線を発生する紫外線源を含むことが望ましい。真空紫外線を発生する紫外線源の1つは、エキシマ光照射ユニットである。
処理対象のガス中でRFプラズマを生成する高周波電源を設け、RFプラズマを紫外線源としてもよい。処理対象のガス中にRFプラズマ(大気圧プラズマ)を生成することにより、処理対象のガスの分子結合を弱めたり、酸素ラジカルの生成を促進させることも可能である。
処理装置(化学変換装置)は、触媒層が内部に設置されたチャンバを有し、照射ユニットはチャンバ内の触媒層の上流側に紫外線を供給し、さらに、チャンバの触媒層の下流側において紫外線を触媒層に向けて反射する反射ユニットを有することが望ましい。紫外線の損失を軽減でき、紫外線を有効利用できる。また、この処理装置においては、処理対象のガスに対する紫外線の照射と触媒反応とが同時または並行して行われる。このため、処理対象のガス中において、紫外線により切断された分子結合が再結合したり、生成された酸素ラジカルが不活性化される前に触媒と接触する確率が高くなり、触媒による処理効率を向上できる。
さらに、触媒層にバイアス電圧を印加することにより、触媒による処理効率を向上できる。
また、触媒層は多孔構造で内部に粒状の消石灰が充填された層を含むことが望ましい。触媒層は典型的にはハニカム構造であり、消石灰により処理対象のガスを処理した際に発生するフッ素を吸収させて、フッ素により触媒の不活性化を抑制できる。したがって、処理装置の処理効率の低下を抑制できる。
触媒層は、典型的には白金を含む。触媒層は、ニッケル(Ni)、モリブデン(Mo)、コバルト(Co)、白金(Pt)、鉄(Fe)等の金属、ニッケル、鉄及びコバルトのうちの少なくとも2種からなる合金、または有機金属などから構成されている、またはこれらの金属、合金または有機金属を含むものであってもよい。
本発明のさらに異なる態様の1つは、処理対象のガスを、触媒層を通過させて処理することを含む方法(処理方法)である。処理すること(処理工程)は、触媒層にバイアス電圧を印加することを含む。
本発明のさらに異なる態様の1つは、処理工程が、処理対象のガスに紫外線を照射しながら、触媒層を通過させることを含む方法である。処理工程は、同時または並行して、触媒層にバイアス電圧を印加することを含むものであってもよい。
処理対象のガスの1つはフッ化炭素を含むものであり、典型的にはPFC(パーフルオロカーボン)ガスである。上記の処理装置および処理方法により、PFCガスを二酸化炭素とフッ素に分解することにより除害することが可能となる。この場合、処理することは、消石灰(Ca(OH))が充填された触媒層に処理対象のガスを通過させることを含むことが望ましい。生成されたフッ素により白金などの触媒が被毒されるのを抑制できる。また、生成されたフッ素を蛍石(CaF2)として回収でき、資源化できる。
図1に、本発明の一例として、半導体製造やFPD(フラットパネルディスプレイ)製造工程のエッチングや洗浄に使う四フッ化炭素(CF4)などのPFC(パーフルオロカーボン)ガスを除害する処理方法を示している。この処理においては、紫外線によりガス分子の反応性を高め、DCバイアス電位により高度に活性化された触媒に接触させることでガスを酸化させて無害化する。
PFCは炭化水素CxHyの水素が全てフッ素で置換されているもの(CxFy)を指す。PFCの地球温暖化係数(GWP)はCO2の6500倍から9200倍で、温暖化への影響はCO2より極めて大きい。さらに、大気寿命も1万年と長く環境への悪影響が強い。以下に示す例においては、PFCを処理し、CO2として排出することにより、PFCを除害することを目指す。
従来、PFCはスクラバーまたは大気圧プラズマで除去するのが主流である。しかしながら、水処理の問題や、大気圧プラズマの発生に必要とする電力が大きいことが課題となっている。たとえば、PFCの無害化の除害装置として一般的に用いられているのは燃焼方式であるがPFCの燃焼には1500℃程度の高温が必要である。このため、大量の燃料を消費しランニングコストが高く、処理装置の筐体が大きくなるという問題がある。大気圧プラズマ方式は燃焼方式と比較すると小型だが、コストは高い。また副生成物の堆積を回避するためパージガスを使うので、処理に多量の電力を消費するという問題が指摘されている。
また、従来装置のPFCガスの除去率は40%に留まるが、以下に例示する装置および方法による除去率は70%程度が期待される。さらに、これらの装置および方法を多段化、たとえば、2段化することにより、除去率が99%程度というような高い処理効率が期待される。
図1に示すように、この処理方法(除害方法)10では、ステップ11において、PFCガス1と、酸素(空気、または酸素と窒素との混合ガス)2とを混合した混合ガス3を生成する。ステップ12において、混合ガス3に真空紫外線源(真空紫外光源)21から供給される紫外線22を照射して、混合ガス3をラジカル化する。ステップ13において、ラジカル化された混合ガス4をバイアス印加された白金触媒31を通して酸化反応させ、PFCガス1を、二酸化炭素5と、フッ素ガス6とに分解(酸化、化学変化)する。フッ素ガス6は、さらにステップ14において消石灰41と反応させて、ほたる石7として固定し、安全に捕集する。それとともにほたる石7は、融剤、光学素材などとしての用途があり、また、フッ素の貯蔵源となる。したがって、ステップ14を設けることにより、フッ素の回収および資源化が可能となる。
図2(a)に示すように、ステップ12においては、PFCガス1(混合ガス3)のCF結合が真空紫外光22の照射により切断される。また、図2(b)に示すように、ステップ13においては、直流バイアス電圧によりプラスに帯電された触媒31の表面の正孔とラジカル化されたPFCガス1の電子との間で電荷の授受が行われ、PFCガス1の酸化還元が促進される。すなわち、ラジカル化された混合ガス4の炭素ラジカルは白金触媒31との接触により二酸化炭素に酸化される。
また、ステップ14において、混合ガス4のフッ素ラジカルは消石灰で捕集され、フッ化カルシウム(蛍石、フローライト、CaF2)が生成される。フッ化カルシウムが生成される際の水分は生石灰で捕集され、消石灰の生成が行われる。
図3に、PFCガスの処理装置(除害装置)の一例を示している。この処理装置50は、上記のラジカル化するステップ12と、触媒により酸化還元するステップ13と、フッ素ガス6をほたる石に固定化するステップ14とを1つのチャンバ51の内部で、同時に、または並行して行わせることができる。チャンバ51において、PFCガス1と酸素(空気)2とを混合するステップ11を同時に、または並行して行わせることも可能である。
処理装置50は、白金触媒31を収納し、混合ガス3が白金触媒31を通過して効率よく接触する経路を形成するチャンバ(ハウジング)51と、チャンバ51にPFCガス1と酸素2とが混合された混合ガス3を供給するガス供給ユニット52と、チャンバ51から生成された二酸化炭素5を排出するドライポンプ53とを含む。チャンバ51は、触媒(触媒層)31が収納された触媒反応領域55と、触媒反応領域55の上部(上流)に設けられた紫外線反応領域56とを含む。チャンバ51の紫外線反応領域56の外壁の一部、たとえば、チャンバ51の上面(上壁)は紫外線(真空紫外線)に対して透明(透過性)な壁(紫外線導入窓)57となっている。たとえば、紫外線導入窓57は、短波長の光の透過性が高いフッ化カルシウム製である。
処理装置50は、さらに、紫外線導入窓57に面した位置に配置された紫外線照射ユニット20を含む。本例の紫外線照射ユニット20は、紫外線源21としてエキシマランプを含む。エキシマランプ21は、波長が180nm以下程度の真空紫外線(VUV)22を効率よく出力する紫外線源であり、紫外線導入窓57を介してチャンバ51の紫外線反応領域56に真空紫外線22を効率よく供給できる。
一方、チャンバ51は、紫外線導入窓57と対峙する位置、たとえば、チャンバ51の底面に紫外線を反射するミラー58が設けられている。このチャンバ51においては、触媒反応領域55が紫外線導入窓57とミラー58とに挟まれており、紫外線導入窓57から供給された真空紫外線(紫外光)22がミラー58により反射され、紫外線反応領域56および触媒反応領域55を往復し、チャンバ51内における真空紫外線22の減衰が抑制される。したがって、紫外線反応領域56のみならず、触媒反応領域55においても混合ガス3と真空紫外線22とが反応し、混合ガス3のラジカル化が促進される。
処理装置50は、さらに、触媒層31に電位を印加する電圧供給ユニット35を含む。電圧供給ユニット35は直流電圧を触媒層31に印加し、触媒層31の表面がチャンバ51などに対してプラス(高電位)にバイアスされるように直流電圧(直流電界)を触媒層31に供給する。
本例の触媒層31は白金を担持した多孔性のセラミック製の触媒体であり、具体的にはハニカム構造を備えている。さらに、触媒層31のハニカム構造の孔33に、顆粒状の消石灰41が充填されている。
このため、処理装置50においては、チャンバ51に導入された混合ガス3は、まず、紫外線反応領域56においてラジカル化される。ラジカル化された混合ガス4は触媒反応領域55において触媒層31の孔33を通過して、触媒層31を接触して酸化還元し、分解される。それにより生成されたフッ素ガス6はハニカム構造の孔33に充填された消石灰41と反応し、ほたる石7として固定される。このため、混合ガス3を触媒層31を通過させることにより、混合ガス3中のPFC1が分解されることにより生成されたフッ素ガス6は触媒層31の内部に固定され、二酸化炭素5が主に排出される。
さらに、紫外線反応領域56および触媒反応領域55は1つのチャンバ51の内部に連続的に形成され、触媒反応領域55の出口側にはミラー58が設けられて真空紫外光22が触媒反応領域55に反射されるようになっている。したがって、この処理装置50においては、触媒反応領域55において、紫外線22によるラジカル化と、触媒31による酸化還元反応とが同時に、並列して進行する。このため、ラジカル化された混合ガス4が再結合したり、ラジカル化された酸素が安定化する前に、触媒31の作用により酸化され、PFC1を効率よく分解することができる。
また、触媒層31は電圧供給ユニット35により直流電圧が印加されプラスにバイアスされている。このため、ラジカル化された混合ガス4が接触する触媒層31の表面に電荷を強制的に付与することが可能となり、ラジカル化された混合ガス4との間で電荷の授受が行われやすい。したがって、触媒層31においてPFC1の分解がさらに促進される。触媒層31を直流バイアス電界により活性化することにより、光触媒の効果を疑似的に付与できたということも可能である。
図4に、PFCガスの処理装置(除害装置)50の異なる例を示している。この処理装置50では、紫外線源としてチャンバ51の紫外線反応領域56にRFプラズマ(大気圧プラズマ)26を生成している。そのため、処理装置50は、高周波電圧を紫外線反応領域56に導入された混合ガス3に印加する大気圧プラズマ発生装置(高周波発生装置)25を含む。紫外線反応領域56に大気圧プラズマ26を生成するとともに、エキシマランプ21などの紫外線源からの真空紫外線22を紫外線反応領域56に照射してもよい。この処理装置50のその他の構成は図3に示した処理装置と共通するので説明を省略する。
この処理装置50では、紫外線反応領域50に大気圧プラズマ26を生成するので、プラズマの電離作用によりさらに混合ガス3のラジカル化が促進される。したがって、さらに効率よくPFCガス1の分解を行うことができる。
図5(a)に混合ガス3をラジカル化する効果を検証するテスト装置の一例を示している。このテスト装置60では、混合ガス3を石英管61に導入し、エキシマランプ21により真空紫外線22を照射し、排出される二酸化炭素5を水65に溶解させて混合ガス3がラジカル化される割合を検証する。図5(b)に示すように、二酸化炭素5は水に溶けると炭酸となり弱酸性を示す。さらに、二酸化炭素5の水に対する溶解度は非常に大きく、水質のpHは水中の炭酸により大きな影響を受ける。したがって、水質を監視することにより二酸化炭素の濃度を簡単に推測できる。
図6に、PFCガスの除害装置の実験装置の一例を示す。この実験装置80は、図4に示した処理装置50の下流にバブリング装置70を設け、処理装置50から排出されるガスを水75の中にバブリングし、水75のpHを測定することによりリアルタイムで処理装置50から排出される二酸化炭素5の濃度を測定するものである。二酸化炭素5の濃度を測定することにより、各処理条件によるPFCガス(CF4)1の分解量を測定できる。処理装置50の分解能力は、処理装置50に供給される混合ガス3の圧力、混合ガス中のPFC1および酸素の流量比、RF電力(プラズマの場合)、チャンバ51における滞留時間(CF4流量)などの影響を受ける。
ここで、二酸化炭素濃度とpHとの関係は、図7(a)に示した式により規定できる。
常温常圧で、二酸化炭素(CO2)は水に0.0323 mol/L(水1mLあたり0.88mL)の溶解度をもつ。いま、CO2がCmol/Lだけ溶けているとすると、水中における平衡状態は図7(b)の式で表され、図7(c)の式に変形できる。
常温常圧で、二酸化炭素(CO2)は水に0.0323 mol/L(水1mLあたり0.88mL)の溶解度をもつ。いま、CO2がCmol/Lだけ溶けているとすると、水中における平衡状態は図7(b)の式で表され、図7(c)の式に変形できる。
したがって、水中における二酸化炭素濃度とpHとの関係は、図8(a)の式により示される。ここで、K2が十分小さく、このためCO3 2−の生成が起こりにくいことから、図8(b)の関係が成り立つと考えることができる。したがって、図8(c)の式が成り立つ。図8(a)および(c)から、[CO2(aq)]を消去すると、図8(d)に示す二次方程式になる。この式を[H+(aq)]について解くと、図8(e)に示す式から水中のpHを求めることができる。したがって、バブリング装置70の水75のpHを測定することにより、処理装置50から排出される二酸化炭素の濃度を簡易な方法でリアルタイムに測定できる。
すなわち、バブリング装置70を採用することにより、赤外吸収分光法などの機器分析によりPFCガス(CF4)の処理量を評価する代わりに、処理装置50の反応容器(チャンバ)51の出口から排出されるガスを水槽中の水に吹き込み、ガス中のCO2を溶解させ、pH変化により処理量を評価できる。また、ガスクロマトグラフィのようなバッチジョブではなく、連続して、リアルタイムに処理装置50における除害装置の効率をモニタリングできる。
以上のように、本発明においては得られる効果は以下のものがある。
1.PFCをある波長域の紫外光に当てることにより結合を切断することができる。
2.白金触媒はハニカム構造にして接触面積を大きく出来る。
3.触媒には直流電界を印加して、豊富に電荷を与え、高活性化することができる。
4.紫外光はミラーにより、損失光を低減できる。
5.PFCを温暖化係数が低く安全なCO2として排出できる。
6.高温環境を必要とせず、200℃以下の低温稼働でPFCを分解できる。
7.この処理装置および方法は乾式であり、水を使わず、排水処理や漏水対策不要である。
8.分解生成されたフッ素を消石灰で捕集し追加処理が不要になる。
9.燃焼方式の除害装置と比べ小型化できる。
10.大気圧プラズマ方式に比較して低消費電力でPFCを分解できる。
11.300〜400リットル/分の高い処理能力を備えた処理装置を提供できる。
12.70%以上の分解率を備えた処理装置を提供できる。
13.リアルタイムで分解効率を測定出来る機構を提供できる。
1.PFCをある波長域の紫外光に当てることにより結合を切断することができる。
2.白金触媒はハニカム構造にして接触面積を大きく出来る。
3.触媒には直流電界を印加して、豊富に電荷を与え、高活性化することができる。
4.紫外光はミラーにより、損失光を低減できる。
5.PFCを温暖化係数が低く安全なCO2として排出できる。
6.高温環境を必要とせず、200℃以下の低温稼働でPFCを分解できる。
7.この処理装置および方法は乾式であり、水を使わず、排水処理や漏水対策不要である。
8.分解生成されたフッ素を消石灰で捕集し追加処理が不要になる。
9.燃焼方式の除害装置と比べ小型化できる。
10.大気圧プラズマ方式に比較して低消費電力でPFCを分解できる。
11.300〜400リットル/分の高い処理能力を備えた処理装置を提供できる。
12.70%以上の分解率を備えた処理装置を提供できる。
13.リアルタイムで分解効率を測定出来る機構を提供できる。
また、PFCガスの除害装置を小型化できるので、現在の半導体やFPD製造ラインに対するレイアウト変更無しに導入できるという効果が得られる。さらに、PFCガスの除害処理を低エネルギー化できるので、環境負荷を低減でき、温暖化ガスを除害するに当たっては使用する化石燃料は極限まで低減できる。また、低消費電力化することにより、温室効果ガスの排出削減のためにより省電力な製品を提供できる。さらに、この処理装置50の単体の分解率は70%程度であったとしても多段に組み合わせることにより、最終的なPFCガスの分解率を99%程度まで向上できる。
この処理装置は、PFCガスに限らず、半導体プロセスにより生じる他の温暖化ガスの処理や、SiH4などの他のガスの処理のためにも使用できる。さらに、SiH4の処理装置と連結してPFCガスを含めたガス処理システムを構築することも可能である。
Claims (13)
- 処理対象のガスを通過させる触媒層と、
前記触媒層にバイアス電圧を印加する電圧供給ユニットとを有する処理装置。 - 請求項1において、前記電圧供給ユニットは、前記触媒層に直流バイアス電圧を印加するユニットを含む、処理装置。
- 処理対象のガスを通過させる触媒層と、
前記処理対象のガスに紫外線を照射する照射ユニットとを有する処理装置。 - 請求項3において、前記照射ユニットは、真空紫外線を発生する紫外線源を含む、処理装置。
- 請求項4において、前記紫外線源は、エキシマ光照射ユニットまたは前記処理対象のガス中でRFプラズマを生成する高周波電源を含む、処理装置。
- 請求項3ないし4のいずれかにおいて、前記触媒層が内部に設置されたチャンバを有し、前記照射ユニットは前記チャンバ内の触媒層の上流側に紫外線を供給し、さらに、
前記チャンバの前記触媒層の下流側において紫外線を前記触媒層に向けて反射する反射ユニットを有する、処理装置。 - 請求項3ないし6のいずれかにおいて、
前記触媒層にバイアス電圧を印加する電圧供給ユニットをさらに有する処理装置。 - 請求項1ないし7のいずれかにおいて、
前記触媒層は多孔構造で内部に粒状の消石灰が充填された層を含む、処理装置。 - 請求項1ないし8のいずれかにおいて、前記触媒層は白金を含む、処理装置。
- 処理対象のガスを、触媒層を通過させて処理することを含む方法であって、
前記処理することは、前記触媒層にバイアス電圧を印加することを含む、方法。 - 処理対象のガスを、触媒層を通過させる処理することを含む方法であって、
前記処理することは、前記処理対象のガスに紫外線を照射しながら、前記触媒層を通過させることを含む、方法。 - 請求項11において、前記処理することは、前記触媒層にバイアス電圧を印加することを含む、方法。
- 請求項10ないし12のいずれかにおいて、前記処理対象のガスはフッ化炭素を含み、
前記処理することは、消石灰が充填された前記触媒層に前記処理対象のガスを通過させることを含む、方法。
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