CN113548232A - 贴膜设备、显示面板生产设备和贴膜方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种贴膜设备、显示面板生产设备和贴膜方法，其中，贴膜设备包括吸膜组件，所述吸膜组件的吸附面用于吸附膜材；载物组件，所述载物组件的置物面用于放置所述待贴膜基板，所述置物面与所述吸附面相对设置；贴合组件，所述贴合组件位于所述吸膜组件的一端，并用于对所述膜材施加压力；第一驱动组件，所述第一驱动组件用于驱动所述载物组件沿第一方向运动，以使放置在所述载物组件上的所述膜材由所述吸膜组件的一端运动至相对的另一端，并基于所述贴合组件的压力依次贴附于所述待贴膜基板上；其中，所述第一方向为与所述置物面平行的方向。本发明技术方案旨在解决现有技术中基板平台带动柔性PI器件翻转产生的静电以及浮尘的技术问题。

Description

贴膜设备、显示面板生产设备和贴膜方法

技术领域

本发明涉及面板制造设备技术领域，特别涉及一种贴膜设备、显示面板生产设备和贴膜方法。

背景技术

在当前光电显示领域，贴膜设备已经广泛应用于OLED/QLED/LCD器件工艺中，业界通常采用三种贴合方式：Roller贴合方式，Drum贴合方式，Sheet贴合方式。Roller和sheet贴合方式主要应用于中小尺寸显示面板，Drum贴合方式主要应用于大尺寸显示面板。

现有技术中，Roller贴合方式(滚轮贴合方式)贴膜时，基板平台带动柔性PI器件翻转，翻转过程中产生的静电以及浮尘，降低了成品质量和合格率。

发明内容

本发明的主要目的是提供一种贴膜设备、面板生产设备和贴膜方法，旨在解决现有技术中基板平台带动柔性PI器件翻转产生的静电以及浮尘的技术问题。

为实现上述目的，本发明提出一种贴膜设备；所述贴膜设备包括：

吸膜组件，所述吸膜组件的吸附面用于吸附膜材；

载物组件，所述载物组件的置物面用于放置所述待贴膜基板，所述置物面与所述吸附面相对设置；

贴合组件，所述贴合组件位于吸膜组件的一端，用于对所述膜材施加压力；

第一驱动组件，所述第一驱动组件用于驱动所述载物组件沿第一方向运动，以使放置在所述载物组件上的所述膜材由所述吸膜组件的一端运动至相对的另一端，并基于所述贴合组件的压力依次贴附于所述待贴膜基板上；

待贴膜基板其中，所述第一方向为与所述置物面平行的方向。

可选地，所述贴合组件包括：贴合滚轮，所述贴合滚轮沿所述第一方向的垂直方向上延伸，并用于沿所述吸膜组件的一端至相对的另一端方向上，对所述贴合滚轮与所述载物组件之间的膜材施加压力，以使所述膜材依次贴附于所述待贴膜基板上。

可选地，所述贴合组件还包括滚轴，所述贴合滚轮套设于所述滚轴，所述滚轴可转动设置，并用于所述贴合滚轮沿所述吸膜组件的一端绕所述滚轴的轴线滚动至相对的另一端，对所述贴合滚轮与所述载物组件之间的膜材施加压力，以使所述膜材依次贴附于所述待贴膜基板上。

可选地，贴膜设备还包括第二驱动组件，所述第二驱动组件用于驱动所述吸膜组件沿第二方向运动，以使得所述吸膜组件由所述载物组件的一侧运动至相对的另一侧；其中，所述第二方向与所述第一方向垂直，但与所述置物面的方向平行。

可选地，所述第二驱动组件还用于驱动所述贴合组件沿第二方向运动，使得所述贴合组件跟随所述吸膜组件由所述载物组件的一侧运动至相对的另一侧。

可选地，所述吸膜组件包括：吸附板，所述吸附板朝向所述吸附面设置；旋转机构，所述旋转机构与所述吸附板连接，并用于驱动所述吸附板旋转以使所述吸附板与所述载物面形成夹角；其中，所述吸附板与所述载物面形成所述夹角时，所述吸附板远离所述贴合组件的一端为远离所述吸附面的一端。所述夹角的范围为7至13°

可选地，所述贴膜设备还包括：第三驱动组件，所述第三驱动组件包括多个分别与所述吸附板背离所述载物组件的一侧连接的伸缩结构；其中，多个所述伸缩结构中的一个通过所述旋转机构与所述吸附板连接。

可选地，所述第一驱动组件包括第一直线电机，所述第一直线电机用于驱动所述载物组件沿第一方向运动。

第二方面，本发明还提出一种显示面板生产设备，所述生产系统包括如前所述的贴膜设备。

第三方面，本发明还提出一种贴膜方法，利用如权利要求1至8中任一项所述的贴膜设备对带贴膜基板进行贴膜，所述贴膜方法包括：

将吸膜组件的吸附面用于吸附膜材；

将载物组件的置物面用于放置所述待贴膜基板；其中，所述置物面与所述吸附面相对设置；

将所述贴合组件位于所述吸膜组件的一端，以用于对所述膜材施加压力；

第一驱动组件驱动所述载物组件沿第一方向运动，以使放置在所述载物组件上的所述膜材由所述吸膜组件的一端运动至相对的另一端，并基于所述贴合组件的压力依次贴附于所述待贴膜基板上；

其中，所述第一方向为与所述置物面平行的方向。

待贴膜基板待贴膜基板

本发明的技术方案中，所述载物组件的置物面用于放置所述待贴膜基板，所述置物面与吸附面相对设置；比如：载物组件位于吸膜组件的下侧，膜材的粘贴面面向待贴膜基板；通过贴合组件将膜材压贴在待贴膜基板上；贴合组件，所述贴合组件位于吸膜组件的一端，用于对所述膜材施加压力；在第一驱动组件按照第一方向驱动载物组件(待贴膜基板)相对吸膜组件运动，此时，基于贴合组件的压贴力，将膜材贴附依次贴附在待贴膜基板上。相比较于现有技术而言，由于载物组件位于吸膜组件的下侧，载物组件和吸膜组件均无需翻转，进而避免在待贴膜基板以及膜材的表面形成静电和浮尘，有效地提升了合格率和产品质量，并且少了翻转的工序，能够有效提高面板的制造效率。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。

图1为本发明一种的贴膜设备上位式滚轮贴附的第一状态结构示意图；

图2为本发明一种的贴膜设备上位式滚轮贴附的第二状态结构示意图；

图3为下位式滚轮贴附的状态结构示意图；

图4为本发明贴合滚轮的结构示意图；

图5为本发明一种的贴膜设备上位式滚轮贴附的一视角下的布局示意图；

图6为本发明一种优选的贴膜方法的流程示意图。

附图标号说明：

标号	名称	标号	名称
				100	吸膜组件	400a	伸缩结构
200	载物组件	400b	第三直线电机
				300	贴合组件	400c	推拉板
400	第三驱动组件	A	膜材
				500	龙门搬臂	B	待贴膜基板
100a	吸附板	100’	吸膜组件
				100b	旋转机构	200’	载物组件
300a	贴合滚轮	300a’	贴合滚轮
				300b	转轴	600	第一驱动组件
700	第二驱动组件

本发明目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

需要说明，本发明实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”、“固定”等应做广义理解，例如，“固定”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

另外，若本发明实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述，则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，全文中出现的“和/或”的含义，包括三个并列的方案，以“A和/或B”为例，包括A方案、或B方案、或A和B同时满足的方案。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本发明要求的保护范围之内。

柔性PI器件采用传统Roller贴合方式进行膜材贴附时，参照图3所示，首先，膜材置于载膜平台上并吸真空，基板载于贴合平台上吸真空，随后基板随平台翻转180度，使得贴合前基板处于上位，膜材处于下位。贴膜完成过后，载膜平台沿线型导轨运动至上料位置，贴合平台翻转180度并回到原位。

然而，在贴膜过程中，基板随平台翻转180°而将基板面向膜材。翻转过程中，易在基板表面形成静电、浮尘等异物，导致贴附后基板的不良率增加、成品质量下降。本发明提出一种贴膜设备，其无需翻转基板平台，进而避免形成静电和浮尘等异物，有效地提升良率和成品质量。

具体地，如图1所示为贴膜设备的工作示意图；所述贴膜设备包括：

吸膜组件100，所述吸膜组件100的吸附面用于吸附膜材A；

载物组件200，所述载物组件200的置物面用于放置所述待贴膜基板B，所述置物面与所述吸附面相对设置；比如，所述置物面背离地面；并且所述吸膜组件100位于载物组件200的背离所述地面的一侧，

贴合组件300，所述贴合组件300位于吸膜组件100的一端，用于对所述膜材A施加压力；

第一驱动组件600，所述第一驱动组件600用于驱动所述载物组件200沿第一方向运动，以使放置在所述载物组件200上的所述膜材由所述吸膜组件100的一端运动至相对的另一端，并基于所述贴合组件300的压力依次贴附于所述待贴膜基板B上；待贴膜基板其中，所述第一方向为与所述置物面平行的方向。

本发明的技术方案中，所述载物组件200的置物面用于放置所述待贴膜基板B，所述置物面与吸附面相对设置；比如：载物组件200位于吸膜组件100的下侧，膜材的粘贴面面向待贴膜基板B；通过贴合组件300将膜材A压贴在待贴膜基板B上；贴合组件300，所述贴合组件300位于吸膜组件100的一端，用于对所述膜材A施加压力；在第一驱动组件600按照第一方向驱动载物组件200(待贴膜基板B)相对吸膜组件100运动，此时，基于贴合组件300的压贴力，将膜材A贴附依次贴附在待贴膜基板B上。相比较于现有技术而言，由于载物组件200位于吸膜组件100的下侧，载物组件200和吸膜组件100均无需翻转，进而避免在待贴膜基板B以及膜材A的表面形成静电和浮尘，有效地提升了合格率和产品质量，并且少了翻转的工序，能够有效提高面板的制造效率。

具体地，所述第一方向为与所述置物面平行的方向，第一方向为置物面朝向贴合组件的一端至远离贴合组件的另一端的方向；即可以为：沿待贴膜基板B的长度方向(如图1所示)或者沿待贴膜基板B的宽度方向。

作为上述实施例的进一步方案，所述贴合组件300包括：贴合滚轮300a，所述贴合滚轮300a在所述第一方向的垂直方向上延伸，并用于沿所述吸膜组件100的一端至相对的另一端方向上，对所述贴合滚轮300a与所述载物组件200之间的膜材施加压力，以使所述膜材A依次贴附于所述待贴膜基板B上。也即贴合滚轮300a压贴于所述膜材A背离所述待贴膜基板B的一面，以在所述第一驱动组件600按照所述第一方向驱动所述载物组件200运动之时，所述膜材A贴附于所述待贴膜基板B。具体地，贴合滚轮300a为圆柱体，其轴向垂直于第一方向；比如，在贴膜时，贴合滚轮300a位于膜材A的短边边缘方向(初始位置)，即在该设定贴合开始位置下压贴附。同时第一驱动组件600驱动贴合组件300向与贴附行进方向相反的方向后退。待贴合滚轮300a相对运动至设定贴合(所述短边边缘的相对边)结束位置时，整张膜材A已经被准确地贴附到待贴膜基板B上。

相比较于现有技术而言，本发明的贴合滚轮300a无需上下移动，且无需跟随吸附组件移动，减少了对贴合滚轮300a的工艺工序，也不必对贴合滚轮300a的位置以及移动速度进行控制，节约了设备的成本并能够提高效率。

作为上述实施例的可选的实施方式，所述贴合组件300还包括滚轴300b，并用于所述贴合滚轮300a沿所述吸膜组件100的一端绕所述滚轴300b的轴线滚动至相对的另一端，对所述贴合滚轮300a与所述载物组件200之间的膜材A施加压力，以使所述膜材A依次贴附于所述待贴膜基板B上。所述贴合滚轮300b在所述第一驱动组件600按照所述第一方向驱动所述载物组件运动之时转动。具体地，滚轴300b的两端分别由轴承支撑，并且滚轴300b的一端可以由伺服电机驱动，以带动贴合滚轮300b旋转。贴合滚轮300b的转动速度和载物组件200的移动速度应当匹配，一般情况下，载物组件200的移动速度与贴合滚轮300a的转动速度正相关。

本实施例一个可选的实施过程为：贴合滚轮300b从膜材A短边边缘方向即设定贴合开始位置下压贴附，并旋转。同时载物组件向与贴附行进方向相反的方向后退，其后退速度与贴合滚轮的旋转速度可以调试匹配。待贴合滚轮相对运动至设定贴合结束位置时，整张膜材A已经被准确地贴附到基板上。本发明中，膜材A与待贴膜基板B之间为滚动摩擦而非滑动摩擦，能够降低对待贴膜基板B与膜材A贴合界面的磨损。

进一步地，本发明中，贴合滚轮的直径为预设值，比如可以为30mm、35mm和40mm。贴合滚轮采用大理石材质，其表面进行精密机械打磨和抛光。

作为上述实施例的可选的实施方式，可选地，贴膜设备还包括第二驱动组件700，所述第二驱动组件700用于驱动所述吸膜组件100沿第二方向运动，以使得所述吸膜组件100由所述载物组件200的一侧运动至相对的另一侧；其中，所述第二方向与所述第一方向垂直，但与所述置物面的方向平行。也即所述第二驱动组件700连接所述吸膜组件200，以驱动所述贴合组件按照第二方向相对所述载物组件运动。吸膜组件200可以吊装在第二驱动组件700的龙门搬臂的面向载物组件的一侧。第二驱动组件700在其第二直线电机驱动龙门搬臂之时，吸膜组件200跟随运动，以用于驱动吸膜组件200至非贴合工作位取膜材A；一般情况下，第二方向(如图1或5所示，垂直直面朝里或者朝外，但平行于置物面)垂直于第一方向，也即吸膜组件200的取模方向和载物组件的取基板方向是相互垂直的，有利于贴膜设备的空间布局，便于工作人员的上料和取废料，并且能够有效地对物料进行盘点。

作为上述实施例的可选的实施方式，可选地，所述第二驱动组件700还用于驱动所述贴合组件300沿第二方向运动，使得所述贴合组件300跟随所述吸膜组件由所述载物组件200的一侧运动至相对的另一侧。也即：所述第二驱动组件700还与所述贴合组件300连接，使得所述贴合组件跟随所述吸膜组件相对所述载物组件运动。第二驱动组件700包括龙门搬臂500，贴合组件300固定在龙门搬臂上。由此，在第二驱动组件700驱动时，贴合组件300跟随吸膜组件100同步运动，而相对所述载物组件运动。现有技术中，贴附滚轮升起，从膜材短边边缘方向即设定贴合开始位置上压贴附，同时载膜平台向贴附行进方向后退，其后退速度需与胶辊旋转速度相匹配。待贴合滚轮运动设定贴合结束位时置，整张膜材已经被准确地贴附到基板上。然后，载膜平台拉平，贴合胶辊下降；而本发明中，当膜材组件200位于贴膜工位上时，由于贴合组件300的与吸膜组件200的相对位置固定，因而在贴膜过程中，无需对贴合组件300进行位置的固定，即贴合组件300的位置可以作为固定参数，无需调节。而仅需要根据待贴膜基板的定位信息(由CCD视觉传感系统采集)。根据该定位信息确定待贴膜基板B的最终位置，将待贴膜基板B移动至初始位置即可，减少了在操作中的位置误差，提高产品质量以及产品的一致性。

作为上述实施例的可选的实施方式，所述吸膜组件100包括旋转机构100a和吸附板200b，所述吸附板朝向所述吸附面设置；所述旋转机构200a与所述吸附板200b连接，用于驱动所述吸附板旋转以使所述吸附板200b所述载物面100形成夹角。其中，所述第三方向使得所述吸附板与所述载物面形式形成所述夹角时，所述吸附板的远离所述贴合组件的一端为远离所述吸附面的一端。优选地，旋转机构200a为伺服旋转机构，所述夹角的预设参考值为7°～13°，膜材A的一端左侧会露出吸板10～15mm；在对待贴膜基板的位置定好之后，伺服旋转机构驱动吸附板200b按照第三方向旋转。第三方向为：膜材A远离贴合滚轮的一端翘起，而背离载物组件运动，使得吸附板200b倾斜，利于在贴膜过程中，进行排气。

作为上述实施例的可选的实施方式，所述贴膜设备还包括：第三驱动组件400，所述第三驱动组件包括多个分别与所述吸附板100a背离所述载物组件的一侧连接的伸缩结构400a；其中，多个所述伸缩结构中的一个通过所述旋转机构100b与所述吸附板100a连接。伸缩结构400a优选为伸缩杆；伸缩结构的伸缩方向为垂直于载物组件200，即其可以推动吸附板100a靠近载物组件200或者远离载物组件200；具体地，在贴合工位上，伸缩结构400a带动吸附板100a靠近载物组件200，调节吸附板100a与载物组件200之间的间距，使得该间距满足膜材A的贴附要求；而且伸缩结构400中的一个通过旋转机构100b连接吸附板100a，当旋转机构100b带动吸附板100a钻转时，该伸缩结构也会在远离载物组件的方向上伸缩，而形成倾斜，如图1所示。而在非贴合工位上，伸缩结构400a带动吸附板100a靠近膜材盒，使得吸附板100a吸附膜材A。

具体的，参照图1所示，第三驱动组件400包括第三直线电机400b和推拉板400c，第三直线电机400b安装在龙门搬臂500上，并且其驱动轴贯穿搬臂连接在推拉板400c上。其中，一部分伸缩结构(多个第一伸缩杆)的两端分别连接在推拉板的背离载物组件的一端以及龙门板臂500上；而另一部分伸缩结构(多个第二伸缩杆)的两端分别连接在推拉板400c的面向载物组件200的一侧以及吸附板100a的背离载物组件的一侧；而其中一个伸缩结构(多个第一伸缩杆的其中一个)通过推拉板400c、旋转机构100b连接于吸附板100a。本发明中，驱动轴的轴线与推拉板400c的中线重合，多个第一伸缩杆应当均布布置，使得在第三直线电机400b驱动时吸附板能够保持水平；旋转机构的设置位置应当与其中一个伸缩结构的位置相互对应(如图1所示)。

作为上述实施例的可选的实施方式，所述第一驱动组件600包括第一直线电机，所述第一直线电机用于驱动所述载物组件沿所述第一方向运动。具体地，直线电机驱动载物组件在预设轨迹上沿第一方向运动。预设轨迹有轨道限定，即载物组件可以包括可移动的基板平台和与基板平台相配合的工作台；工作台上设置有线性轨道，用于基板平台按照预设轨迹运动。相比于汽缸驱动结合滚珠丝杠的驱动方式，直线电机更能够对载物组件的运动速度的精度控制更好，有利于控制载物组件与贴膜组件之间的相对运动关系以及控制载物组件的移动速度与贴合滚轮的滚动速度的匹配关系，利于贴膜质量。

本发明中，第一驱动组件600将贴完膜材A的基板移动至下游工序的基板移栽机的工位，由接取基板移栽机转移至下一制程，进行后序工作，有利于智能化生产。

本发明还提出一种显示面板生产设备，所述生产系统包括贴膜设备。该贴膜设备的具体结构参照上述实施例，由于面板生产设备采用了上述所有实施例的全部技术方案，因此至少具有上述实施例的技术方案所带来的所有有益效果，在此不再一一赘述。

基于上述贴膜设备，图6所示，本发明还提出一种贴膜方法，采用上述贴膜设备对待贴膜基材对待贴膜基板进行贴膜；所述贴膜方法包括：

待贴膜基板待贴膜基板具体地，

S01：将吸膜组件的吸附面用于吸附膜材；

S02：将载物组件的置物面用于放置所述待贴膜基板；其中，所述置物面与所述吸附面相对设置；

S03：将所述贴合组件位于所述吸膜组件的一端，以用于对所述膜材施加压力；

S04：第一驱动组件600驱动所述载物组件沿第一方向运动，以使放置在所述载物组件上的所述膜材由所述吸膜组件的一端运动至相对的另一端，并基于所述贴合组件的压力依次贴附于所述待贴膜基板上；

其中，所述第一方向为与所述置物面平行的方向。

其中，贴膜方法的顺序可以为：S01、S02、S03、S04；贴膜方法的顺序还可以为：S02、S01、S03、S04；或者贴膜方法的顺序可以为：(S01、S02同步进行)、S03、S04。

以上所述仅为本发明的可选实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是在本发明的发明构思下，利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本发明的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种贴膜设备，其特征在于，所述贴膜设备包括：

吸膜组件，所述吸膜组件的吸附面用于吸附膜材；

载物组件，所述载物组件的置物面用于放置所述待贴膜基板，所述置物面与所述吸附面相对设置；

贴合组件，所述贴合组件位于所述吸膜组件的一端，并用于对所述膜材施加压力；

第一驱动组件，所述第一驱动组件用于驱动所述载物组件沿第一方向运动，以使放置在所述载物组件上的所述膜材由所述吸膜组件的一端运动至相对的另一端，并基于所述贴合组件的压力依次贴附于所述待贴膜基板上；

其中，所述第一方向为与所述置物面平行的方向。

2.如权利要求1所述的贴膜设备，其特征在于，所述贴合组件包括：

贴合滚轮，所述贴合滚轮沿所述第一方向的垂直方向上延伸，并用于沿所述吸膜组件的一端至相对的另一端方向上，对所述贴合滚轮与所述载物组件之间的膜材施加压力，待贴膜基板以使所述膜材依次贴附于所述待贴膜基板上。

3.如权利要求2所述的贴膜设备，其特征在于，所述贴合组件还包括：

滚轴，所述贴合滚轮套设于所述滚轴上，所述滚轴可转动设置，并用于所述贴合滚轮沿所述吸膜组件的一端绕所述滚轴的轴线滚动至相对的另一端，对所述贴合滚轮与所述载物组件之间的膜材施加压力，以使所述膜材依次贴附于所述待贴膜基板上。

4.如权利要求1所述的贴膜设备，其特征在于，所述贴膜设备还包括：

第二驱动组件，所述第二驱动组件用于驱动所述吸膜组件沿第二方向运动，以使得所述吸膜组件由所述载物组件的一侧运动至相对的另一侧；

其中，所述第二方向与所述第一方向垂直，但与所述置物面的方向平行。

5.如权利要求4所述的贴膜设备，其特征在于，所述第二驱动组件还用于驱动所述贴合组件沿第二方向运动，使得所述贴合组件跟随所述吸膜组件由所述载物组件的一侧运动至相对的另一侧。

6.如权利要求1所述的贴膜设备，其特征在于，所述吸膜组件包括：

吸附板，所述吸附板朝向所述吸附面设置；

旋转机构，所述旋转机构与所述吸附板连接，并用于驱动所述吸附板旋转以使所述吸附板与所述载物面形成夹角；

其中，所述吸附板与所述载物面形成所述夹角时，所述吸附板远离所述贴合组件的一端为远离所述吸附面的一端；

其中，所述夹角的范围为7至13°。

7.如权利要求6所述的贴膜设备，其特征在于，所述贴膜设备还包括：

第三驱动组件，所述第三驱动组件包括多个分别与所述吸附板背离所述载物组件的一侧连接的伸缩结构；

其中，多个所述伸缩结构中的一个通过所述旋转机构与所述吸附板连接。

8.如权利要求1至7中任一项所述的贴膜设备，其特征在于，所述第一驱动组件包括：

第一直线电机，所述第一直线电机用于驱动所述载物组件沿所述第一方向运动。

9.一种显示面板生产设备，其特征在于，包括权利要求1至8中任一项所述贴膜设备。

10.一种贴膜方法，其特征在于，利用如权利要求1-8中的任一项所述的贴膜设备对待贴膜基板进行贴膜，所述贴膜方法包括：

将吸膜组件的吸附面用于吸附膜材；

将载物组件的置物面用于放置所述待贴膜基板；其中，所述置物面与所述吸附面相对设置；

将所述贴合组件位于所述吸膜组件的一端，以用于对所述膜材施加压力；

第一驱动组件驱动所述载物组件沿第一方向运动，以使放置在所述载物组件上的所述膜材由所述吸膜组件的一端运动至相对的另一端，并基于所述贴合组件的压力依次贴附于所述待贴膜基板上；

其中，所述第一方向为与所述置物面平行的方向。

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