KR970013177A - 정전기 흡착 기구 - Google Patents

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KR970013177A
KR970013177A KR1019960033287A KR19960033287A KR970013177A KR 970013177 A KR970013177 A KR 970013177A KR 1019960033287 A KR1019960033287 A KR 1019960033287A KR 19960033287 A KR19960033287 A KR 19960033287A KR 970013177 A KR970013177 A KR 970013177A
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다카히로 다무라
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니시히라 슌지
아넬바 가부시기가이샤
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Abstract

고정나사(4)에 의한 고정의 경우, 열적으로 가혹한 조건에서 사용되면, 유전체블록(2)의 열팽창율과 고정나사(4) 및 그 주변 부재의 열팽창율의 상위로부터 고정나사(4)의 주변부분에 열응력 변형이 집중하고, 이 부분에서 유전체블록(2)이 나누어져 버리는 경우가 있다. 이러한 문제를 해결하기 위하여 전극체(1) 앞쪽에 배치되고, 유전 분극하여 피흡착물(3)을 정전기적으로 흡착하는 유전체부분(21)을 포함하는 유전체블록(2)과, 전극체(1)와 유전체블록(2)과의 사이에 개재된 중간층(8)으로 구성되고, 중간층(8)은 전극체(1) 또는 유전체블록(2)의 열변형을 흡수하는 신축성을 가지고 있는 인듐 등의 합금으로 형성되며, 가열 가압됨으로써 전극체(1)와 유전체블록(2)을 접합 고정하고 있다. 유전체블록(2)의 접합면에는 인듐이나 크롬등의 박막(9)이 만들어지며, 중간층(8)에 의한 접합력이나 밀착성을 높이고 있다.

Description

정전기 흡착 기구
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본원 발명의 정전기 흡착기구의 실시 형태를 설명하는 정면 단면 개략도

Claims (10)

  1. 전극체(1), 상기 전극체(1) 앞쪽에 배치되고 상기 전극체(1)를 개재하여 인가되는 직류전압에 의해 유전 분극하여 피흡착 물체를 정전기적으로 흡착하는 유전체 부분(21)을 포함하는 유전체블록(2)과, 상기 전극체(1)와 상기 유전체블록(2)과의 사이에 개재된 중간층(8)으로 구성되고, 상기 중간층(8)은 상기 전극체(1) 또는 상기 유전체블록(2)의 열변형을 흡수하는 신축성을 가지는 금속으로 형성되며 가열 및 가압됨으로써 상기 전극체(1)와 상기 유전체블록(2)을 접하고 잇는 것을 특징으로 하는 정전기 흡착기구
  2. 제1항에 있어서, 상기 중간층(8)이 인듐으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 정전기 흡착기구
  3. 제1항에 있어서, 상기 중간층(8)이 주석으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 정전기 흡착기구
  4. 제1항에 있어서, 상기 중간층(8)이 인듐을 주 성분으로 하는 합금으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 정전기 흡착기구
  5. 제1항에 있어서, 상기 중간층(8)이 주석을 주성분으로 하는 합금으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 정전기 흡착기구
  6. 제1항에 있어서, 상기 중간층(8)과 상기 유전체블록(2)의 사이에는 상기 유전체블록(2)의 표면에 만들어진 박막이 개재되어 있는 것을 특징으로 하는 정전기 흡착기구
  7. 제6항에 있어서, 상기 박막이 인듐으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 정전기 흡착기구
  8. 제6항에 있어서, 상기 박막(9)이 크롬으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 정전기 흡착기구
  9. 제1항에 있어서, 상기 유전체블록(2)의 유전체부분(21)의 아래 쪽에는 직류 전압이 인가되는 보조전극판(22)이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 정전기 흡착기구
  10. 제9항에 있어서, 상기 보조전극판(22)이 2개로 분할되어 있는 것을 특징으로 하는 정전기 흡착기구
KR1019960033287A 1995-08-11 1996-08-10 정전기 흡착기구 KR100224967B1 (ko)

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JP95-227323 1995-08-11
JP22732395A JPH0955420A (ja) 1995-08-11 1995-08-11 静電吸着機構

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KR100224967B1 KR100224967B1 (ko) 1999-10-15

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