JP2961997B2 - 静電吸着装置 - Google Patents
静電吸着装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はウエハの静電吸着装置に
関し、電子ビーム露光装置や電子ビーム測長機等に用い
るに好適なものである。
関し、電子ビーム露光装置や電子ビーム測長機等に用い
るに好適なものである。
【０００２】
【従来技術】従来この種の装置は、吸着台（実際には吸
着台に設けられた電極板）に電圧を印加し、ウエハを吸
着台に静電的に吸着していた。ウエハの表面にはウエハ
の電荷を放電する表面側電極針が第１の付勢力で当接
し、ウエハの裏面側にもウエハの電荷を放電する裏面側
電極針が第２の付勢力で当接していた。描画処理済のウ
エハを搬送部材により吸着台から移動する場合には、ウ
エハと共に吸着台を下降させ、ウエハを表面側電極針か
ら十分離した後、ウエハを静電吸着する吸着台の印加電
圧を解除し、吸着力が弱る所定の時間経過後、ウエハを
搬送可能な位置まで突き上げ、ウエハを搬送部材により
移動する構成であった。
着台に設けられた電極板）に電圧を印加し、ウエハを吸
着台に静電的に吸着していた。ウエハの表面にはウエハ
の電荷を放電する表面側電極針が第１の付勢力で当接
し、ウエハの裏面側にもウエハの電荷を放電する裏面側
電極針が第２の付勢力で当接していた。描画処理済のウ
エハを搬送部材により吸着台から移動する場合には、ウ
エハと共に吸着台を下降させ、ウエハを表面側電極針か
ら十分離した後、ウエハを静電吸着する吸着台の印加電
圧を解除し、吸着力が弱る所定の時間経過後、ウエハを
搬送可能な位置まで突き上げ、ウエハを搬送部材により
移動する構成であった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記の如き従来の技術
においては、吸着台の印加電圧を解除した後、適当な時
間経過後、ウエハが吸着台から剥離したことは確認せず
にウエハを突き上げていた。そのためウエハと吸着台と
の間の吸着力が残っていると、ウエハを突き上げる際に
ウエハを割ったり、突き上げた反動でウエハが所定の位
置よりずれてしまうという問題点があった。
においては、吸着台の印加電圧を解除した後、適当な時
間経過後、ウエハが吸着台から剥離したことは確認せず
にウエハを突き上げていた。そのためウエハと吸着台と
の間の吸着力が残っていると、ウエハを突き上げる際に
ウエハを割ったり、突き上げた反動でウエハが所定の位
置よりずれてしまうという問題点があった。
【０００４】また、ウエハと吸着台との間の吸着力を極
力残さないようにするために、吸着台の印加電圧解除
後、ウエハを突き上げるまでの時間を長くすると、スル
ープットが悪くなってしまうという問題点もあった。本
発明はこの様な従来の問題点に鑑みてなされたもので、
その目的とするところは、ウエハが吸着台から剥離した
ことを検出できるウエハ剥離検出装置を備えた静電吸着
装置を提供することにある。
力残さないようにするために、吸着台の印加電圧解除
後、ウエハを突き上げるまでの時間を長くすると、スル
ープットが悪くなってしまうという問題点もあった。本
発明はこの様な従来の問題点に鑑みてなされたもので、
その目的とするところは、ウエハが吸着台から剥離した
ことを検出できるウエハ剥離検出装置を備えた静電吸着
装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記問題点の解決のため
に、本発明の静電吸着装置は、ウエハ１の裏面１ｂを静
電吸着する吸着台３と、前記吸着台３に吸着されたウエ
ハ１の表面１ａに第１の付勢力で当接し、前記ウエハ１
の電荷を放電する表面側電極部材７ａ、７ｂ、７ｃと、
前記吸着台３に吸着されたウエハ１の裏面１ｂに第２の
付勢力で当接し、前記ウエハ１の電荷を放電する裏面側
電極部材８ａと、前記表面側電極部材７ａ、７ｂ、７ｃ
と前記ウエハ１を分離する分離手段５、１３ａ、１３
ｂ、１３ｃ、１４ａ、１４ｂ、１４ｃと、前記裏面側電
極部材８ａが所定量移動したことを検出する移動量検出
手段８ｄ、１２ｄ、１１ａ、２２、２３、２４、２５、
２６、２７を有する。さらに前記表面側電極部材７ａ、
７ｂ、７ｃを付勢する第１の付勢力は、前記裏面側電極
部材８ａを付勢する第２の付勢力より強いことが好まし
く、そしてまた前記移動量検出手段８ｄ、１２ｄ、１１
ａ、２２、２３、２４、２５、２６、２７で所定の移動
量が検出された場合に、前記ウエハ１を搬送可能な位置
まで移動するウエハ移動手段５、６ａ、６ｂ、６ｃを有
することが好ましい。
に、本発明の静電吸着装置は、ウエハ１の裏面１ｂを静
電吸着する吸着台３と、前記吸着台３に吸着されたウエ
ハ１の表面１ａに第１の付勢力で当接し、前記ウエハ１
の電荷を放電する表面側電極部材７ａ、７ｂ、７ｃと、
前記吸着台３に吸着されたウエハ１の裏面１ｂに第２の
付勢力で当接し、前記ウエハ１の電荷を放電する裏面側
電極部材８ａと、前記表面側電極部材７ａ、７ｂ、７ｃ
と前記ウエハ１を分離する分離手段５、１３ａ、１３
ｂ、１３ｃ、１４ａ、１４ｂ、１４ｃと、前記裏面側電
極部材８ａが所定量移動したことを検出する移動量検出
手段８ｄ、１２ｄ、１１ａ、２２、２３、２４、２５、
２６、２７を有する。さらに前記表面側電極部材７ａ、
７ｂ、７ｃを付勢する第１の付勢力は、前記裏面側電極
部材８ａを付勢する第２の付勢力より強いことが好まし
く、そしてまた前記移動量検出手段８ｄ、１２ｄ、１１
ａ、２２、２３、２４、２５、２６、２７で所定の移動
量が検出された場合に、前記ウエハ１を搬送可能な位置
まで移動するウエハ移動手段５、６ａ、６ｂ、６ｃを有
することが好ましい。
【０００６】
【作用】ウエハを静電吸着している吸着台の印加電圧を
解除した後、ウエハに付勢して当接している表面側電極
部材を上昇させウエハと分離する。時間の経過と共にウ
エハと吸着台との間に残る残留静電吸着力が弱くなる
と、ウエハに当接している裏面側電極部材の上方への付
勢力が残留静電吸着力より強くなって、裏面側電極部材
が所定量移動し、ウエハは吸着台から剥離する。移動量
検出手段により裏面側電極部材が所定量移動したことを
検出することでウエハの剥離を容易に確認することがで
きる。また、ウエハの剥離が確認できれば、何の抵抗力
を受けることなくウエハを突き上げることができるの
で、突き上げる際にウエハを割ったり、ウエハが所定の
位置よりずれてしまうこともなくなる。
解除した後、ウエハに付勢して当接している表面側電極
部材を上昇させウエハと分離する。時間の経過と共にウ
エハと吸着台との間に残る残留静電吸着力が弱くなる
と、ウエハに当接している裏面側電極部材の上方への付
勢力が残留静電吸着力より強くなって、裏面側電極部材
が所定量移動し、ウエハは吸着台から剥離する。移動量
検出手段により裏面側電極部材が所定量移動したことを
検出することでウエハの剥離を容易に確認することがで
きる。また、ウエハの剥離が確認できれば、何の抵抗力
を受けることなくウエハを突き上げることができるの
で、突き上げる際にウエハを割ったり、ウエハが所定の
位置よりずれてしまうこともなくなる。
【０００７】
【実施例】以下図面に基づいて本発明の実施例を詳細に
説明する。図１は本発明の静電吸着装置の実施例の平面
図である。ステージ２上にはウエハ１の裏面を静電吸着
する円板状の吸着台３が固設されている。吸着台３に吸
着されたウエハ１の表面の周縁部には、ほぼ等間隔で３
つの表面側電極針７ａ、７ｂ、７ｃが当接している。表
面側電極針７ａ、７ｂ、７ｃを下面に保持する保持部材
１３ａ、１３ｂ、１３ｃは、ステージ２にネジ止めされ
ている第１ハウジング１２ａ、１２ｂ、１２ｃに設けら
れたガイド１５ａ、１５ｂ、１５ｃによって上下動を案
内される。ステージ２内部には、吸着台３の中心からほ
ぼ１２０度間隔で放射状に延びる三本の板状の腕を持つ
上下移動板５が、紙面垂直方向へ移動することを許容す
る空間が形成されている。上下移動板５の腕上にはウエ
ハを突き上げる突き上げ棒６ａ、６ｂ、６ｃが当接し、
突き上げ棒６ａ、６ｂ、６ｃは、上下移動板５の上昇に
より、吸着台３の孔にはめ込まれた第２案内部材１８
ａ、１８ｂ、１８ｃの貫通孔に案内されて紙面垂直方向
へ移動する。
説明する。図１は本発明の静電吸着装置の実施例の平面
図である。ステージ２上にはウエハ１の裏面を静電吸着
する円板状の吸着台３が固設されている。吸着台３に吸
着されたウエハ１の表面の周縁部には、ほぼ等間隔で３
つの表面側電極針７ａ、７ｂ、７ｃが当接している。表
面側電極針７ａ、７ｂ、７ｃを下面に保持する保持部材
１３ａ、１３ｂ、１３ｃは、ステージ２にネジ止めされ
ている第１ハウジング１２ａ、１２ｂ、１２ｃに設けら
れたガイド１５ａ、１５ｂ、１５ｃによって上下動を案
内される。ステージ２内部には、吸着台３の中心からほ
ぼ１２０度間隔で放射状に延びる三本の板状の腕を持つ
上下移動板５が、紙面垂直方向へ移動することを許容す
る空間が形成されている。上下移動板５の腕上にはウエ
ハを突き上げる突き上げ棒６ａ、６ｂ、６ｃが当接し、
突き上げ棒６ａ、６ｂ、６ｃは、上下移動板５の上昇に
より、吸着台３の孔にはめ込まれた第２案内部材１８
ａ、１８ｂ、１８ｃの貫通孔に案内されて紙面垂直方向
へ移動する。
【０００８】図２は図１のＡ−Ａ′矢視断面図である。
ステージ２上の吸着台３には、ウエハ１の裏面１ｂが吸
着している。ウエハ表面１ａには保持部材１３ａに保持
される表面側電極針７ａが第１の付勢力で当接してい
る。上下移動棒１４ａは、一端が保持部材１３ａに固定
され、他端に第１バネ受け部材１７ａを固定している。
上下移動棒１４ａの上下動を案内する第１案内部材１６
ａのつば部１６ｄと、第１バネ受け部材１７ａと、の間
にバネ１０ａが介挿され、バネ１０ａの弾力により上下
移動棒１４ａ、保持部材１３ａ、表面側電極針７ａが下
方に付勢されている。このバネ１０ａによる下方への付
勢力が上記第１の付勢力を与えている。さらに、上下移
動棒１４ａは若干の間隔を有して上下移動板５の腕上に
配設されており、上下移動板５の上昇によりバネ１０ａ
の付勢力に抗して第１案内部材１６ａ、ガイド１５ａに
案内されて上昇する。また、上下移動棒１４ａは上下移
動板５の下降によりバネ１０ａの付勢力によって下降
し、表面側電極針７ａがウエハ１の表面１ａに少し食い
込んだ状態で停止する（図示の状態）。ウエハ１の裏面
１ｂには表面側電極針７ａに対向して、裏面側電極針８
ａが第１の付勢力より弱い第２の付勢力で当接してい
る。裏面側電極針８ａは、ステージ２にネジ止めされて
いる第１ハウジング１２ａ内の貫通孔１２ｅを案内さ
れ、裏面側電極針８ａに機械的及び電気的に接続された
導電性のつば状のストッパー８ｄと、ステージ２にネジ
止めされている第２ハウジング２１ａのバネ受け部２１
ｄと、の間に介挿されたバネ１１ａにより上方に付勢さ
れている。このバネ１１ａによる上方への付勢力が上記
第２の付勢力を与えている。その結果、表面側電極針７
ａの下方への付勢力が裏面側電極針８ａの上方への付勢
力よりも大きいので、ウエハは静電吸着された状態を乱
されることなく、しかも表面側電極針７ａ、裏面側電極
針８ａはウエハ表裏面に十分食い込んで、ウエハ１に貯
まった電荷を放電する。静電吸着を解除し、上下移動板
５が表面側電極針７ａを上昇させ、その先端がウエハ表
面１ａから離れ、かつ、残留静電吸着力がバネ１１ａの
付勢力より小となると、裏面側電極針８ａがバネ１１ａ
の付勢力によって上昇し、ウエハ１が吸着台３から剥離
したと想定される位置に裏面側電極針８ａが移動し、導
電性のストッパー８ｄは第１ハウジング１２ａのストッ
パー８ｄ係止面に設けた電極１２ｄに接触する。ストッ
パー８ｄと電極１２ｄとで電気接点を形成する。また、
電極１２ｄは不図示の電気配線により装置外部の電気回
路に接続される。また、ストッパー８ｄから導電性のバ
ネ１１ａも不図示の電気配線により装置外部の電気回路
に接続される。これら電気配線、電極１２ｄ、ストッパ
ー８ｄ、バネ１１ａを図３のように接続して、裏面側電
極針８ａが所定量移動したことを検出する回路を構成す
る。図３において、配線２２は電極１２ｄから装置外部
へ形成された配線を示し、配線２３は導電性のストッパ
ー８ｄから装置外部へ形成された配線を示す。配線２３
はスイッチ２７に接続されていて、接点２８ａは接地し
ており、接点２８ｂは直流電源２４と抵抗２５と配線２
２とに直列に接続されている。スイッチ２７は、ウエハ
描画中は接点２８ａ側に閉じており、裏面側電極針８ａ
を通してストッパー８ｄに流れてくるウエハ１の電荷を
放電する構成になっていて、吸着台３の印加電圧解除と
同時に接点２８ｂ側に切り換わる。抵抗２５の端子間に
は電圧計２６が接続されており、端子間の電圧の変化を
監視して、第１ハウジング１２ａの接触面に設けた電極
１２ｄとストッパー８ｄとの接触を検出する。なお、本
実施例では電圧計を用いて電極１２ｄとストッパー８ｄ
との接触を検出しているが、電流計を接続して配線２２
に流れる電流の変化を監視して検出を行なってもよい。
ステージ２上の吸着台３には、ウエハ１の裏面１ｂが吸
着している。ウエハ表面１ａには保持部材１３ａに保持
される表面側電極針７ａが第１の付勢力で当接してい
る。上下移動棒１４ａは、一端が保持部材１３ａに固定
され、他端に第１バネ受け部材１７ａを固定している。
上下移動棒１４ａの上下動を案内する第１案内部材１６
ａのつば部１６ｄと、第１バネ受け部材１７ａと、の間
にバネ１０ａが介挿され、バネ１０ａの弾力により上下
移動棒１４ａ、保持部材１３ａ、表面側電極針７ａが下
方に付勢されている。このバネ１０ａによる下方への付
勢力が上記第１の付勢力を与えている。さらに、上下移
動棒１４ａは若干の間隔を有して上下移動板５の腕上に
配設されており、上下移動板５の上昇によりバネ１０ａ
の付勢力に抗して第１案内部材１６ａ、ガイド１５ａに
案内されて上昇する。また、上下移動棒１４ａは上下移
動板５の下降によりバネ１０ａの付勢力によって下降
し、表面側電極針７ａがウエハ１の表面１ａに少し食い
込んだ状態で停止する（図示の状態）。ウエハ１の裏面
１ｂには表面側電極針７ａに対向して、裏面側電極針８
ａが第１の付勢力より弱い第２の付勢力で当接してい
る。裏面側電極針８ａは、ステージ２にネジ止めされて
いる第１ハウジング１２ａ内の貫通孔１２ｅを案内さ
れ、裏面側電極針８ａに機械的及び電気的に接続された
導電性のつば状のストッパー８ｄと、ステージ２にネジ
止めされている第２ハウジング２１ａのバネ受け部２１
ｄと、の間に介挿されたバネ１１ａにより上方に付勢さ
れている。このバネ１１ａによる上方への付勢力が上記
第２の付勢力を与えている。その結果、表面側電極針７
ａの下方への付勢力が裏面側電極針８ａの上方への付勢
力よりも大きいので、ウエハは静電吸着された状態を乱
されることなく、しかも表面側電極針７ａ、裏面側電極
針８ａはウエハ表裏面に十分食い込んで、ウエハ１に貯
まった電荷を放電する。静電吸着を解除し、上下移動板
５が表面側電極針７ａを上昇させ、その先端がウエハ表
面１ａから離れ、かつ、残留静電吸着力がバネ１１ａの
付勢力より小となると、裏面側電極針８ａがバネ１１ａ
の付勢力によって上昇し、ウエハ１が吸着台３から剥離
したと想定される位置に裏面側電極針８ａが移動し、導
電性のストッパー８ｄは第１ハウジング１２ａのストッ
パー８ｄ係止面に設けた電極１２ｄに接触する。ストッ
パー８ｄと電極１２ｄとで電気接点を形成する。また、
電極１２ｄは不図示の電気配線により装置外部の電気回
路に接続される。また、ストッパー８ｄから導電性のバ
ネ１１ａも不図示の電気配線により装置外部の電気回路
に接続される。これら電気配線、電極１２ｄ、ストッパ
ー８ｄ、バネ１１ａを図３のように接続して、裏面側電
極針８ａが所定量移動したことを検出する回路を構成す
る。図３において、配線２２は電極１２ｄから装置外部
へ形成された配線を示し、配線２３は導電性のストッパ
ー８ｄから装置外部へ形成された配線を示す。配線２３
はスイッチ２７に接続されていて、接点２８ａは接地し
ており、接点２８ｂは直流電源２４と抵抗２５と配線２
２とに直列に接続されている。スイッチ２７は、ウエハ
描画中は接点２８ａ側に閉じており、裏面側電極針８ａ
を通してストッパー８ｄに流れてくるウエハ１の電荷を
放電する構成になっていて、吸着台３の印加電圧解除と
同時に接点２８ｂ側に切り換わる。抵抗２５の端子間に
は電圧計２６が接続されており、端子間の電圧の変化を
監視して、第１ハウジング１２ａの接触面に設けた電極
１２ｄとストッパー８ｄとの接触を検出する。なお、本
実施例では電圧計を用いて電極１２ｄとストッパー８ｄ
との接触を検出しているが、電流計を接続して配線２２
に流れる電流の変化を監視して検出を行なってもよい。
【０００９】ウエハ１を突き上げる突き上げ棒６ａは、
他端に第２バネ受け部材１９ａを固定され、吸着台３に
設けられた第２案内部材１８ａのつば部１８ｄと第２バ
ネ受け部材１９ａとの間に介挿されたバネ９ａにより下
方に付勢されて、第２バネ受け部材１９ａが上下移動板
５に当接した状態にある。突き上げ棒６ａの先端の位置
は、上下移動板５の上昇により表面側電極針７ａが十分
上昇した後にウエハ１を突き上げるように定められてい
る。
他端に第２バネ受け部材１９ａを固定され、吸着台３に
設けられた第２案内部材１８ａのつば部１８ｄと第２バ
ネ受け部材１９ａとの間に介挿されたバネ９ａにより下
方に付勢されて、第２バネ受け部材１９ａが上下移動板
５に当接した状態にある。突き上げ棒６ａの先端の位置
は、上下移動板５の上昇により表面側電極針７ａが十分
上昇した後にウエハ１を突き上げるように定められてい
る。
【００１０】上記の如く構成された静電吸着装置の動作
について説明する。なお、図１に不図示のウエハ裏面側
の部材のうち三箇所に共通の部材については、図２の符
号のみを付し、他の二箇所の符号は省略する。まず、上
下移動板５を上昇させ、保持部材１３ａ、１３ｂ、１３
ｃと共に表面側電極針７ａ、７ｂ、７ｃを吸着台３から
十分に離し、さらに、突き上げ棒６ａ、６ｂ、６ｃをウ
エハ受け渡し位置まで上昇させておく。このとき裏面側
電極針８ａはバネ１１ａにより上方へ付勢され、ストッ
パー８ｄが電極１２ｄに当接して停止しており、その先
端が吸着台３面上より０．１〜０．２mm程度突き出てい
る。不図示のウエハ搬送アームは突き上げ棒６ａ、６
ｂ、６ｃと表面側電極針７ａ、７ｂ、７ｃとの間の空間
を通して、ウエハ１を吸着台３上まで搬送する。さらに
上下移動板５を上昇させ、突き上げ棒６ａ、６ｂ、６ｃ
を上昇させてウエハ１を突き上げ棒６ａ、６ｂ、６ｃ上
に載置した後、上下移動板５の上昇を止め、不図示のウ
エハ搬送アームを吸着台３上から退避させる。不図示の
ウエハ搬送アームが元の位置に退避した後、上下移動板
５を下降させると、突き上げ棒６ａ、６ｂ、６ｃはバネ
９ａに付勢されて下降し、上下移動棒１４ａ、１４ｂ、
１４ｃ、保持部材１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、表面側電極
針７ａ、７ｂ、７ｃはバネ１０ａに付勢されて下降す
る。ウエハ１は、突き上げ棒６ａ、６ｂ、６ｃと共に下
降し、吸着台３の表面付近で裏面側電極針８ａの先端に
載置される。さらに上下移動板５を下降させ、表面側電
極針７ａ、７ｂ、７ｃをウエハ表面１ａに当接させる。
表面側電極針７ａ、７ｂ、７ｃを下方へ付勢するバネ１
０ａの付勢力は、裏面側電極針８ａを上方へ付勢するバ
ネ１１ａの付勢力より強いので、上下移動板５をさらに
下降させると、ウエハ１は表面側電極針７ａ、７ｂ、７
ｃの付勢力から裏面側電極針８ａの付勢力を引いた付勢
力で吸着台３に弾圧される。上下移動板５はさらに下降
し、第１バネ受け部材１７ａとわずかな隙間を有して停
止する。なお、突き上げ棒６ａ、６ｂ、６ｃはウエハ１
から離れた後も、上下移動板５上に当接しながら下降す
る。
について説明する。なお、図１に不図示のウエハ裏面側
の部材のうち三箇所に共通の部材については、図２の符
号のみを付し、他の二箇所の符号は省略する。まず、上
下移動板５を上昇させ、保持部材１３ａ、１３ｂ、１３
ｃと共に表面側電極針７ａ、７ｂ、７ｃを吸着台３から
十分に離し、さらに、突き上げ棒６ａ、６ｂ、６ｃをウ
エハ受け渡し位置まで上昇させておく。このとき裏面側
電極針８ａはバネ１１ａにより上方へ付勢され、ストッ
パー８ｄが電極１２ｄに当接して停止しており、その先
端が吸着台３面上より０．１〜０．２mm程度突き出てい
る。不図示のウエハ搬送アームは突き上げ棒６ａ、６
ｂ、６ｃと表面側電極針７ａ、７ｂ、７ｃとの間の空間
を通して、ウエハ１を吸着台３上まで搬送する。さらに
上下移動板５を上昇させ、突き上げ棒６ａ、６ｂ、６ｃ
を上昇させてウエハ１を突き上げ棒６ａ、６ｂ、６ｃ上
に載置した後、上下移動板５の上昇を止め、不図示のウ
エハ搬送アームを吸着台３上から退避させる。不図示の
ウエハ搬送アームが元の位置に退避した後、上下移動板
５を下降させると、突き上げ棒６ａ、６ｂ、６ｃはバネ
９ａに付勢されて下降し、上下移動棒１４ａ、１４ｂ、
１４ｃ、保持部材１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、表面側電極
針７ａ、７ｂ、７ｃはバネ１０ａに付勢されて下降す
る。ウエハ１は、突き上げ棒６ａ、６ｂ、６ｃと共に下
降し、吸着台３の表面付近で裏面側電極針８ａの先端に
載置される。さらに上下移動板５を下降させ、表面側電
極針７ａ、７ｂ、７ｃをウエハ表面１ａに当接させる。
表面側電極針７ａ、７ｂ、７ｃを下方へ付勢するバネ１
０ａの付勢力は、裏面側電極針８ａを上方へ付勢するバ
ネ１１ａの付勢力より強いので、上下移動板５をさらに
下降させると、ウエハ１は表面側電極針７ａ、７ｂ、７
ｃの付勢力から裏面側電極針８ａの付勢力を引いた付勢
力で吸着台３に弾圧される。上下移動板５はさらに下降
し、第１バネ受け部材１７ａとわずかな隙間を有して停
止する。なお、突き上げ棒６ａ、６ｂ、６ｃはウエハ１
から離れた後も、上下移動板５上に当接しながら下降す
る。
【００１１】この状態で吸着台３に電圧を印加すると、
ウエハ１と吸着台３との間に静電吸着力が発生し、ウエ
ハ１の裏面１ｂが吸着台３に吸着する。このとき、ウエ
ハ１の表面１ａには表面側電極針７ａ、７ｂ、７ｃがバ
ネ１０ａによる付勢力で食い込んでおり、保持部材１３
ａ、１３ｂ、１３ｃを通してウエハ１に貯まる電荷を放
電する。また、ウエハ１の裏面１ｂにも裏面側電極針８
ａがバネ１１ａによる付勢力で食い込んでおり、ストッ
パー８ｄ、バネ１１ａ、接点２８ａ側に閉じているスイ
ッチ２７（図３）を通して、ウエハ１に貯まる電荷を放
電する。吸着台３の印加電圧を解除すると同時にスイッ
チ２７を接点２８ｂ側に切り換えて、ステージ２内部の
空間２０で上下移動板５を上昇させると、上下移動棒１
４ａ、１４ｂ、１４ｃが、第１案内部材１６ａに案内さ
れて上昇する。上下移動棒１４ａ、１４ｂ、１４ｃと共
に、保持部材１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、表面側電極針７
ａ、７ｂ、７ｃがガイド１５ａ、１５ｂ、１５ｃにより
案内されて上昇する。そして、表面側電極針７ａ、７
ｂ、７ｃの先端がウエハ１の表面１ａから離れた時点で
上下移動板５の上昇を一時止めておく。このとき、上下
移動板５上に配設されている突き上げ棒６ａ、６ｂ、６
ｃの先端はウエハ１に到達しておらず、ウエハ１には裏
面側電極針８ａのバネ１１ａによる付勢力が下方から加
わっている。吸着台３の印加電圧を解除してもウエハ１
と吸着台３との間には残留静電吸着力が残っており、ウ
エハ１が吸着台３から直ちに剥離することは少ない。し
かし、時間の経過と共にウエハ１と吸着台３との間の残
留静電吸着力が弱くなり、残留静電吸着力がバネ１１ａ
による付勢力より小さくなると、裏面側電極針８ａはウ
エハ１を押し上げ、ウエハ１が吸着台３から剥離したと
想定される位置に上昇し、ストッパー８ｄと第１ハウジ
ング１２ａの電極１２ｄとが接触する。ストッパー８ｄ
には直流電源２４によりプラスの電位が与えられてお
り、ストッパー８ｄと電極１２ｄとが接触すると、装置
外部の素子との間に閉回路が成立し、抵抗２５の端子間
の電圧計２６の指示が変化する。この変化を監視し、ス
トッパー８ｄと電極１２ｄとの接触、すなわち裏面側電
極針８ａが所定量移動したことを検出する。
ウエハ１と吸着台３との間に静電吸着力が発生し、ウエ
ハ１の裏面１ｂが吸着台３に吸着する。このとき、ウエ
ハ１の表面１ａには表面側電極針７ａ、７ｂ、７ｃがバ
ネ１０ａによる付勢力で食い込んでおり、保持部材１３
ａ、１３ｂ、１３ｃを通してウエハ１に貯まる電荷を放
電する。また、ウエハ１の裏面１ｂにも裏面側電極針８
ａがバネ１１ａによる付勢力で食い込んでおり、ストッ
パー８ｄ、バネ１１ａ、接点２８ａ側に閉じているスイ
ッチ２７（図３）を通して、ウエハ１に貯まる電荷を放
電する。吸着台３の印加電圧を解除すると同時にスイッ
チ２７を接点２８ｂ側に切り換えて、ステージ２内部の
空間２０で上下移動板５を上昇させると、上下移動棒１
４ａ、１４ｂ、１４ｃが、第１案内部材１６ａに案内さ
れて上昇する。上下移動棒１４ａ、１４ｂ、１４ｃと共
に、保持部材１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、表面側電極針７
ａ、７ｂ、７ｃがガイド１５ａ、１５ｂ、１５ｃにより
案内されて上昇する。そして、表面側電極針７ａ、７
ｂ、７ｃの先端がウエハ１の表面１ａから離れた時点で
上下移動板５の上昇を一時止めておく。このとき、上下
移動板５上に配設されている突き上げ棒６ａ、６ｂ、６
ｃの先端はウエハ１に到達しておらず、ウエハ１には裏
面側電極針８ａのバネ１１ａによる付勢力が下方から加
わっている。吸着台３の印加電圧を解除してもウエハ１
と吸着台３との間には残留静電吸着力が残っており、ウ
エハ１が吸着台３から直ちに剥離することは少ない。し
かし、時間の経過と共にウエハ１と吸着台３との間の残
留静電吸着力が弱くなり、残留静電吸着力がバネ１１ａ
による付勢力より小さくなると、裏面側電極針８ａはウ
エハ１を押し上げ、ウエハ１が吸着台３から剥離したと
想定される位置に上昇し、ストッパー８ｄと第１ハウジ
ング１２ａの電極１２ｄとが接触する。ストッパー８ｄ
には直流電源２４によりプラスの電位が与えられてお
り、ストッパー８ｄと電極１２ｄとが接触すると、装置
外部の素子との間に閉回路が成立し、抵抗２５の端子間
の電圧計２６の指示が変化する。この変化を監視し、ス
トッパー８ｄと電極１２ｄとの接触、すなわち裏面側電
極針８ａが所定量移動したことを検出する。
【００１２】この様にして、３つの裏面側電極針が所定
量移動したことが検出された後に、さらに上下移動板５
を上昇させ、表面側電極針７ａ、７ｂ、７ｃをウエハ表
面１ａから十分離すと共に突き上げ棒６ａ、６ｂ、６ｃ
を上昇させて、搬送可能な位置までウエハ１を突き上げ
る。なお、ウエハに貯まる電荷を放電するための対向す
る電極針は何箇所に設けてもよいが、ウエハに貯まる電
荷を確実に放電し、ウエハのたわみを防ぐためには、本
実施例のように対向する電極針を三箇所以上設けるのが
好ましい。
量移動したことが検出された後に、さらに上下移動板５
を上昇させ、表面側電極針７ａ、７ｂ、７ｃをウエハ表
面１ａから十分離すと共に突き上げ棒６ａ、６ｂ、６ｃ
を上昇させて、搬送可能な位置までウエハ１を突き上げ
る。なお、ウエハに貯まる電荷を放電するための対向す
る電極針は何箇所に設けてもよいが、ウエハに貯まる電
荷を確実に放電し、ウエハのたわみを防ぐためには、本
実施例のように対向する電極針を三箇所以上設けるのが
好ましい。
【００１３】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、ウエハの
電荷を放電するために、ウエハ裏面に付勢して当接する
裏面側電極部材が、所定量移動したことを検出して、ウ
エハが吸着台から剥離したことを確認できるようにした
もので、ウエハの電荷を放電するための裏面側電極部材
を、ウエハ剥離検出装置の一部として利用するので、構
成が簡単であるばかりでなく（請求項１）、ウエハの剥
離を確認してからウエハを突き上げる構成にすることに
より、突き上げる際に残留静電吸着力が残っていて、ウ
エハを割ったり、ウエハが所定の位置よりずれてしまう
ことがない（請求項３）。さらに、表面側電極部材を付
勢する第１の付勢力を、裏面側電極部材を付勢する第２
の付勢力より強くしているので、ウエハを吸着台に弾圧
することができ、静電吸着を確実に行なうことができる
（請求項２）。さらに、吸着台の印加電圧解除後、所定
の時間をおいてウエハを突き上げる従来技術の場合に
は、ウエハが剥離していても所定の時間が経過するまで
は、ウエハを突き上げることができないが、本装置にお
いては、ウエハの剥離を直接確認でき、直ちにウエハを
突き上げることができるので、スループットの向上が図
れる。
電荷を放電するために、ウエハ裏面に付勢して当接する
裏面側電極部材が、所定量移動したことを検出して、ウ
エハが吸着台から剥離したことを確認できるようにした
もので、ウエハの電荷を放電するための裏面側電極部材
を、ウエハ剥離検出装置の一部として利用するので、構
成が簡単であるばかりでなく（請求項１）、ウエハの剥
離を確認してからウエハを突き上げる構成にすることに
より、突き上げる際に残留静電吸着力が残っていて、ウ
エハを割ったり、ウエハが所定の位置よりずれてしまう
ことがない（請求項３）。さらに、表面側電極部材を付
勢する第１の付勢力を、裏面側電極部材を付勢する第２
の付勢力より強くしているので、ウエハを吸着台に弾圧
することができ、静電吸着を確実に行なうことができる
（請求項２）。さらに、吸着台の印加電圧解除後、所定
の時間をおいてウエハを突き上げる従来技術の場合に
は、ウエハが剥離していても所定の時間が経過するまで
は、ウエハを突き上げることができないが、本装置にお
いては、ウエハの剥離を直接確認でき、直ちにウエハを
突き上げることができるので、スループットの向上が図
れる。
【図１】本発明の実施例の平面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ′矢視断面２倍拡大図である。
【図３】本実施例の裏面側電極針の所定量移動検出回路
である。
である。
１ ウエハ １ａ ウエハ表面 １ｂ ウエハ裏面 ２ ステージ ３ 吸着台 ５ 上下移動板 ６ａ、６ｂ、６ｃ 突き上げ棒 ７ａ、７ｂ、７ｃ 表面側電極針 ８ａ 裏面側電極針 ８ｄ ストッパー ９ａ バネ １０ａ バネ １１ａ バネ １２ａ、１２ｂ、１２ｃ 第１ハウジング １２ｄ 第１ハウジングの接触面 １２ｅ 第１ハウジング内の貫通孔 １３ａ、１３ｂ、１３ｃ 保持部材 １４ａ、１４ｂ、１４ｃ 上下移動棒 １５ａ、１５ｂ、１５ｃ ガイド １６ａ 第１案内部材 １６ｄ 第１案内部材のつば部 １７ａ 第１バネ受け部材 １８ａ、１８ｂ、１８ｃ 第２案内部材 １８ｄ 第２案内部材のつば部 １９ａ 第２バネ受け部材 ２０ ステージ内の空間 ２１ａ 第２ハウジング ２１ｄ 第２ハウジングのバネ受け部 ２２ 電気配線 ２３ 電気配線 ２４ 直流電源 ２５ 抵抗 ２６ 電圧形 ２７ スイッチ ２８ａ、２８ｂ スイッチ２７の電気接点
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−16749（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−67629（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−11750（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01L 21/68
Claims (3)
- 【請求項１】 ウエハの裏面を静電吸着する吸着台と、
前記吸着台に吸着されたウエハの表面に第１の付勢力で
当接し、前記ウエハの電荷を放電する表面側電極部材
と、前記吸着台に吸着されたウエハの裏面に第２の付勢
力で当接し、前記ウエハの電荷を放電する裏面側電極部
材と、前記表面側電極部材と前記ウエハとを分離する分
離手段と、を有する静電吸着装置において、 前記吸着台によるウエハの吸着を解除した後、前記裏面
側電極部材が所定量移動したことを検出する移動量検出
手段を設けたことを特徴とする静電吸着装置。 - 【請求項２】 前記第１の付勢力は前記第２の付勢力よ
り強いことを特徴とする請求項１記載の静電吸着装置。 - 【請求項３】 前記移動量検出手段で前記裏面側電極部
材が所定量移動したことが検出された場合に、前記ウエ
ハを搬送可能な位置まで移動するウエハ移動手段を有す
ることを特徴とする請求項１記載の静電吸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27957091A JP2961997B2 (ja) | 1991-10-25 | 1991-10-25 | 静電吸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27957091A JP2961997B2 (ja) | 1991-10-25 | 1991-10-25 | 静電吸着装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05121529A JPH05121529A (ja) | 1993-05-18 |
| JP2961997B2 true JP2961997B2 (ja) | 1999-10-12 |
Family
ID=17612820
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27957091A Expired - Lifetime JP2961997B2 (ja) | 1991-10-25 | 1991-10-25 | 静電吸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2961997B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3245369B2 (ja) * | 1996-11-20 | 2002-01-15 | 東京エレクトロン株式会社 | 被処理体を静電チャックから離脱する方法及びプラズマ処理装置 |
| JP4951536B2 (ja) * | 2007-03-27 | 2012-06-13 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板載置台及び基板処理装置 |
| JP5469852B2 (ja) * | 2008-11-21 | 2014-04-16 | 株式会社ニコン | 搬送装置、搬送方法、露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法 |
| CN113666090B (zh) * | 2021-08-04 | 2021-12-17 | 苏州鼎纳自动化技术有限公司 | 一种usb线盒上料机构及其操作方法 |
-
1991
- 1991-10-25 JP JP27957091A patent/JP2961997B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05121529A (ja) | 1993-05-18 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
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