JP4789734B2 - ウエハ載置台 - Google Patents
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Description
12 第2部分
13 穴
14 導電部材
21 リフターピン
24 接触片
W ウエハ
Claims (6)
- ウエハ上に形成された複数のデバイスの電気的な検査を行うために前記ウエハを保持するウエハ載置台であって、
前記ウエハが載置される導電性の第1部分と、
前記第1面を支持する絶縁性の第2部分と、
前記ウエハを前記第1部分に対して受け渡しするために、前記第1及び第2部分を貫通する複数の穴を通して移動する複数のリフターピンと、
一方が前記第1部分に、他方が前記少なくとも1つのリフターピンに電気的に接続される接触部材であって、前記少なくとも1つのリフターピンの先端が前記第1部分の上面より高い位置にある時に接触する接触部材と、を備え、
前記複数のリフターピンは、降下した状態では前記第1部分と電気的に絶縁されており、
少なくとも1つのリフターピンは、接地グランドに接続され、先端が前記第1部分の上面より高い位置にある時には、前記第1部分と電気的に接続されることを特徴とするウエハ載置台。 - 前記接触部材は、前記少なくとも1つのリフターピンが通過する前記穴に設けられる請求項1に記載のウエハ載置台。
- 前記接触部材は、前記穴に固定された板バネである請求項2に記載のウエハ載置台。
- 前記接触部材は、前記少なくとも1つのリフターピンまたは前記穴に固定された巻きバネである請求項2に記載のウエハ載置台。
- 前記接触部材は、前記穴に固定されたベアリングである請求項2に記載のウエハ載置台。
- 前記接触部材は、バネで付勢されたスプリングピンである請求項1に記載のウエハ載置台。
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