JPH1027566A - 基板保持装置 - Google Patents
基板保持装置Info
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- JPH1027566A JPH1027566A JP20133296A JP20133296A JPH1027566A JP H1027566 A JPH1027566 A JP H1027566A JP 20133296 A JP20133296 A JP 20133296A JP 20133296 A JP20133296 A JP 20133296A JP H1027566 A JPH1027566 A JP H1027566A
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- Japan
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- substrate
- power supply
- electrostatic chuck
- holding device
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 静電チャックを用いた基板保持装置を改良す
ることによって、基板を機械的に走査すると否とに拘わ
らず、基板の帯電状態を監視することができるようにす
る。 【解決手段】 静電チャック６の二つの電極１０、１２
に直流電圧＋Ｖ、−Ｖを供給する正電源１４および負電
源１６に流れる電流Ｉ1 およびＩ2 をそれぞれ計測する
電流計測器１８および２０を設けた。かつ、これらで計
測した電流Ｉ1 およびＩ2 の電流差ΔＩ＝Ｉ2 −Ｉ1 を
求める演算回路２２を設けた。この電流差ΔＩは、基板
表面の電位ＶS に比例している。更にこの例では、この
電流差ΔＩが基準値Ｅ1 よりも大きい場合に警報信号Ｓ
を出力する比較回路２６を設けた。
ることによって、基板を機械的に走査すると否とに拘わ
らず、基板の帯電状態を監視することができるようにす
る。 【解決手段】 静電チャック６の二つの電極１０、１２
に直流電圧＋Ｖ、−Ｖを供給する正電源１４および負電
源１６に流れる電流Ｉ1 およびＩ2 をそれぞれ計測する
電流計測器１８および２０を設けた。かつ、これらで計
測した電流Ｉ1 およびＩ2 の電流差ΔＩ＝Ｉ2 −Ｉ1 を
求める演算回路２２を設けた。この電流差ΔＩは、基板
表面の電位ＶS に比例している。更にこの例では、この
電流差ΔＩが基準値Ｅ1 よりも大きい場合に警報信号Ｓ
を出力する比較回路２６を設けた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、基板にイオンビ
ームを照射して当該基板にイオン注入等の処理を施す際
に当該基板を保持するものであって、双極型の静電チャ
ックを用いた基板保持装置に関する。
ームを照射して当該基板にイオン注入等の処理を施す際
に当該基板を保持するものであって、双極型の静電チャ
ックを用いた基板保持装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種の基板保持装置の従来例を図４に
示す。この基板保持装置は、イオンビーム２が照射され
る基板（例えばウェーハ）４を静電気によって吸着する
双極型の静電チャック６と、この静電チャック６の二つ
の電極、即ち正電極１０および負電極１２に互いに逆極
性で大きさのほぼ等しい直流電圧＋Ｖおよび−Ｖをそれ
ぞれ供給する正電源１４および負電源１６とを備えてい
る。
示す。この基板保持装置は、イオンビーム２が照射され
る基板（例えばウェーハ）４を静電気によって吸着する
双極型の静電チャック６と、この静電チャック６の二つ
の電極、即ち正電極１０および負電極１２に互いに逆極
性で大きさのほぼ等しい直流電圧＋Ｖおよび−Ｖをそれ
ぞれ供給する正電源１４および負電源１６とを備えてい
る。
【０００３】静電チャック６は、例えばセラミックのよ
うな絶縁物８内の表面近くに、例えば共に半円形をした
正電極１０および負電極１２が相対向して円形を成すよ
うに埋め込まれている。
うな絶縁物８内の表面近くに、例えば共に半円形をした
正電極１０および負電極１２が相対向して円形を成すよ
うに埋め込まれている。
【０００４】両電源１４、１６から静電チャック６に上
記電圧を供給すると、基板４と電極１０、１２間に正負
の電荷が溜まり、その間に働くクーロン力によって基板
４が吸着保持される。その状態で、基板４にイオンビー
ム２を照射してイオン注入等の処理を施すことができ
る。
記電圧を供給すると、基板４と電極１０、１２間に正負
の電荷が溜まり、その間に働くクーロン力によって基板
４が吸着保持される。その状態で、基板４にイオンビー
ム２を照射してイオン注入等の処理を施すことができ
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記基板４は、イオン
ビーム２の照射に伴って正電荷が入射するので、正に帯
電（チャージアップ）し易い。特にこの帯電は、静電
チャック６の使用、基板４の大口径化、およびイオ
ンビーム２の大電流化、に伴って著しくなる。これは、
静電チャック６を用いるとその絶縁物８上に基板４が
保持されるため、基板表面の電荷が逃げにくくなる、
基板４が大口径化すると、基板４の周辺部から二次電子
が発生したとしてもそれが基板４の中央部に達しにく
く、かつ基板４の中央部の電荷が周囲へ逃げにくくな
る、イオンビーム２が大電流化すると基板４に入射す
る電荷量が増大する、等の理由による。
ビーム２の照射に伴って正電荷が入射するので、正に帯
電（チャージアップ）し易い。特にこの帯電は、静電
チャック６の使用、基板４の大口径化、およびイオ
ンビーム２の大電流化、に伴って著しくなる。これは、
静電チャック６を用いるとその絶縁物８上に基板４が
保持されるため、基板表面の電荷が逃げにくくなる、
基板４が大口径化すると、基板４の周辺部から二次電子
が発生したとしてもそれが基板４の中央部に達しにく
く、かつ基板４の中央部の電荷が周囲へ逃げにくくな
る、イオンビーム２が大電流化すると基板４に入射す
る電荷量が増大する、等の理由による。
【０００６】このような基板４の帯電を放置しておく
と、基板４上で絶縁破壊が生じる等の不具合が発生す
る。
と、基板４上で絶縁破壊が生じる等の不具合が発生す
る。
【０００７】このような基板帯電による不具合発生を防
止するためには、基板４にプラズマシャワーを供給する
等して基板４の帯電を低減する手段を設けるだけでな
く、基板４の帯電状態を監視する手段を設けることが有
効である。
止するためには、基板４にプラズマシャワーを供給する
等して基板４の帯電を低減する手段を設けるだけでな
く、基板４の帯電状態を監視する手段を設けることが有
効である。
【０００８】ここでは後者を取り上げることにすると、
基板４の帯電状態を監視する手段としては、従来、基板
表面の電位を計測する表面電位計が用いられていたが、
基板４およびそれを保持する静電チャック６を機械的に
走査（例えばアームによる往復走査やディスクによる回
転。これらはメカニカルスキャンと呼ばれる。）する場
合は、動いている基板４の表面電位を計測する必要があ
るため、表面電位計による計測は実際上は非常に困難で
ある。
基板４の帯電状態を監視する手段としては、従来、基板
表面の電位を計測する表面電位計が用いられていたが、
基板４およびそれを保持する静電チャック６を機械的に
走査（例えばアームによる往復走査やディスクによる回
転。これらはメカニカルスキャンと呼ばれる。）する場
合は、動いている基板４の表面電位を計測する必要があ
るため、表面電位計による計測は実際上は非常に困難で
ある。
【０００９】そこでこの発明は、上記のような静電チャ
ックを用いた基板保持装置を改良することよって、基板
を機械的に走査すると否とに拘わらず、基板の帯電状態
を監視することができるようにすることを主たる目的と
する。
ックを用いた基板保持装置を改良することよって、基板
を機械的に走査すると否とに拘わらず、基板の帯電状態
を監視することができるようにすることを主たる目的と
する。
【００１０】
【課題を解決するための手段】この発明の基板保持装置
は、前記正電源および負電源に流れる電流をそれぞれ計
測する二つの電流計測器と、この二つの電流計測器でそ
れぞれ計測した電流の大きさの差を求める演算回路とを
備えることを特徴とする。
は、前記正電源および負電源に流れる電流をそれぞれ計
測する二つの電流計測器と、この二つの電流計測器でそ
れぞれ計測した電流の大きさの差を求める演算回路とを
備えることを特徴とする。
【００１１】静電チャック上の基板と静電チャックの二
つの電極との間にそれぞれ存在する抵抗分は、静電チャ
ックが通常は対称性を有しているので、互いにほぼ等し
い。
つの電極との間にそれぞれ存在する抵抗分は、静電チャ
ックが通常は対称性を有しているので、互いにほぼ等し
い。
【００１２】この二つの電極に正電源および負電源から
大きさのほぼ等しい直流電圧を供給するので、基板表面
の電位が０の場合は、両電源に流れる電流は互いにほぼ
等しい。
大きさのほぼ等しい直流電圧を供給するので、基板表面
の電位が０の場合は、両電源に流れる電流は互いにほぼ
等しい。
【００１３】基板が帯電することによって基板表面の電
位が０でなくなると、その分、基板と二つの電極間に印
加される電圧にアンバランスが生じるので、正電源およ
び負電源に流れる電流に差が生じる。この差は、基板表
面の電位に比例する。
位が０でなくなると、その分、基板と二つの電極間に印
加される電圧にアンバランスが生じるので、正電源およ
び負電源に流れる電流に差が生じる。この差は、基板表
面の電位に比例する。
【００１４】従って、正電源および負電源に流れる電流
を電流計測器によってそれぞれ計測し、かつ両電流の大
きさの差を演算回路で求めることによって、基板表面の
電位、即ち基板の帯電状態を監視することができる。
を電流計測器によってそれぞれ計測し、かつ両電流の大
きさの差を演算回路で求めることによって、基板表面の
電位、即ち基板の帯電状態を監視することができる。
【００１５】しかも、元々静電チャック用に設けてある
正電源および負電源に流れる電流を計測するものである
ため、表面電位計の場合と違って、基板を機械的に走査
すると否とに拘わらず、しかも非常に簡単に、基板の帯
電状態を監視することができる。
正電源および負電源に流れる電流を計測するものである
ため、表面電位計の場合と違って、基板を機械的に走査
すると否とに拘わらず、しかも非常に簡単に、基板の帯
電状態を監視することができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】図１は、この発明に係る基板保持
装置の一例を示す図である。図４の従来例と同一または
相当する部分には同一符号を付し、以下においては当該
従来例との相違点を主に説明する。
装置の一例を示す図である。図４の従来例と同一または
相当する部分には同一符号を付し、以下においては当該
従来例との相違点を主に説明する。
【００１７】この実施例においては、前述した正電源１
４および負電源１６に直列に、それらに流れる電流Ｉ1
およびＩ2 をそれぞれ計測する電流計測器１８および２
０をそれぞれ接続している。
４および負電源１６に直列に、それらに流れる電流Ｉ1
およびＩ2 をそれぞれ計測する電流計測器１８および２
０をそれぞれ接続している。
【００１８】更に、この二つの電流計測器１８および２
０でそれぞれ計測した電流Ｉ1 およびＩ2 の大きさの差
ΔＩ（この例ではΔＩ＝Ｉ2 −Ｉ1 ）を求める演算回路
２２と、この演算回路２２で求めた電流差ΔＩが基準値
Ｅ1 よりも大きい場合に警報信号Ｓを出力する比較回路
２６とを設けている。
０でそれぞれ計測した電流Ｉ1 およびＩ2 の大きさの差
ΔＩ（この例ではΔＩ＝Ｉ2 −Ｉ1 ）を求める演算回路
２２と、この演算回路２２で求めた電流差ΔＩが基準値
Ｅ1 よりも大きい場合に警報信号Ｓを出力する比較回路
２６とを設けている。
【００１９】図３は、静電チャックおよびその電源回路
周りの等価回路図である。静電チャック６上の基板４と
静電チャック６の正電極１０および負電極１２との間に
は、抵抗分がそれぞれ存在する。静電チャック６は通常
は対称性を有しているので、即ち両電極１０および１２
の寸法や埋込み位置等が互いにほぼ等しいので、上記二
つの抵抗分の値も互いにほぼ等しい。これをＲとする。
周りの等価回路図である。静電チャック６上の基板４と
静電チャック６の正電極１０および負電極１２との間に
は、抵抗分がそれぞれ存在する。静電チャック６は通常
は対称性を有しているので、即ち両電極１０および１２
の寸法や埋込み位置等が互いにほぼ等しいので、上記二
つの抵抗分の値も互いにほぼ等しい。これをＲとする。
【００２０】基板４の表面に電位ＶS が存在するという
ことは、図３中に示すように、基板４の表面とアース間
に当該電位ＶS を印加する電圧源が存在するのと等価で
ある。この電位ＶS は、前述したように通常はイオンビ
ーム２を基板４に照射することによって発生する。
ことは、図３中に示すように、基板４の表面とアース間
に当該電位ＶS を印加する電圧源が存在するのと等価で
ある。この電位ＶS は、前述したように通常はイオンビ
ーム２を基板４に照射することによって発生する。
【００２１】上記正電極１０および負電極１２に正電源
１４および負電源１６から、前述したように互いに逆極
性で大きさのほぼ等しい直流電圧＋Ｖおよび−Ｖをそれ
ぞれ供給するので、両電源１４および１６に流れる電流
Ｉ1 およびＩ2 は、基板表面の電位をＶS とした場合、
次式で表すことができる。
１４および負電源１６から、前述したように互いに逆極
性で大きさのほぼ等しい直流電圧＋Ｖおよび−Ｖをそれ
ぞれ供給するので、両電源１４および１６に流れる電流
Ｉ1 およびＩ2 は、基板表面の電位をＶS とした場合、
次式で表すことができる。
【００２２】
【数１】Ｉ1 ＝（Ｖ−ＶS ）／Ｒ
【００２３】
【数２】Ｉ2 ＝（Ｖ＋ＶS ）／Ｒ
【００２４】この数１および数２より、両電流の差ΔＩ
＝Ｉ2 −Ｉ1 を考えると、これは次式で表すことができ
る。
＝Ｉ2 −Ｉ1 を考えると、これは次式で表すことができ
る。
【００２５】
【数３】ΔＩ＝Ｉ2 −Ｉ1 ＝２ＶS ／Ｒ
【００２６】この数３から分かるように、基板表面の電
位ＶS が０の場合は、ΔＩ＝０になり、基板４が帯電す
ることによって基板表面の電位ＶS が０でなくなると、
ΔＩは当該電位ＶS に比例して大きくなる。
位ＶS が０の場合は、ΔＩ＝０になり、基板４が帯電す
ることによって基板表面の電位ＶS が０でなくなると、
ΔＩは当該電位ＶS に比例して大きくなる。
【００２７】前述した演算回路２２は、このような電流
差ΔＩを求めるものである。従ってこのようにして求め
た電流差ΔＩの大きさによって、基板表面の電位ＶS 、
即ち基板４の帯電状態を監視することができる。
差ΔＩを求めるものである。従ってこのようにして求め
た電流差ΔＩの大きさによって、基板表面の電位ＶS 、
即ち基板４の帯電状態を監視することができる。
【００２８】しかも、元々静電チャック６用に設けてあ
る正電源１４および負電源１６に流れる電流Ｉ1 および
Ｉ2 を計測するものであるため、表面電位計の場合と違
って、基板４およびそれを保持する静電チャック６を機
械的に走査すると否とに拘わらず、しかも非常に簡単
に、基板４の帯電状態を監視することができる。その結
果、基板帯電による前述したような不具合発生を未然に
防止することが可能になる。
る正電源１４および負電源１６に流れる電流Ｉ1 および
Ｉ2 を計測するものであるため、表面電位計の場合と違
って、基板４およびそれを保持する静電チャック６を機
械的に走査すると否とに拘わらず、しかも非常に簡単
に、基板４の帯電状態を監視することができる。その結
果、基板帯電による前述したような不具合発生を未然に
防止することが可能になる。
【００２９】更にこの実施例では、演算回路２２で求め
た電流差ΔＩを基準値Ｅ1 と比較して前者の方が大きい
場合に警報信号Ｓを出力する比較回路２６を設けている
ので、基板４の帯電量が異常に大きくなって基板表面の
電位ＶS が異常に高くなったことを、この警報信号Ｓに
よって簡単に判断することができる。
た電流差ΔＩを基準値Ｅ1 と比較して前者の方が大きい
場合に警報信号Ｓを出力する比較回路２６を設けている
ので、基板４の帯電量が異常に大きくなって基板表面の
電位ＶS が異常に高くなったことを、この警報信号Ｓに
よって簡単に判断することができる。
【００３０】この警報信号Ｓの利用の仕方としては、例
えば、この警報信号Ｓを上位の制御装置に供給して、警
報信号Ｓの出力時に即刻、基板４に対するイオンビーム
照射を中止するインターロックをかけても良いし、ある
いはこの警報信号Ｓに基づいて警報を出してそれを運転
員に知らせる等しても良い。
えば、この警報信号Ｓを上位の制御装置に供給して、警
報信号Ｓの出力時に即刻、基板４に対するイオンビーム
照射を中止するインターロックをかけても良いし、ある
いはこの警報信号Ｓに基づいて警報を出してそれを運転
員に知らせる等しても良い。
【００３１】次に他の実施例を、上記実施例との相違点
を主体に説明する。
を主体に説明する。
【００３２】上記数１および数２を変形すると、それぞ
れ次の数４および数５が得られる。
れ次の数４および数５が得られる。
【００３３】
【数４】ＶS ＝Ｖ−ＲＩ1
【００３４】
【数５】ＶS ＝ＲＩ2 −Ｖ
【００３５】この数４および数５より次式が得られる。
【００３６】
【数６】Ｒ＝２Ｖ／（Ｉ1 ＋Ｉ2 ）
【００３７】この数６を数４に代入すると次式が得られ
る。
る。
【００３８】
【数７】ＶS ＝２Ｖ｛１／２−Ｉ1 ／（Ｉ1 ＋Ｉ2 ）｝
【００３９】即ち、前述した電流Ｉ1 、Ｉ2 および電圧
Ｖに基づいて、この数７から、基板表面の電位ＶS その
ものを求めることが可能である。
Ｖに基づいて、この数７から、基板表面の電位ＶS その
ものを求めることが可能である。
【００４０】図２はそのようにする実施例を示すもので
あり、その演算回路２４は、電流計測器１８、２０でそ
れぞれ計測した電流Ｉ1 、Ｉ2 および正電源１４から出
力される直流電圧Ｖを取り込み、それらに基づいて、上
記数７の演算を行う。但し、負電源１６から出力される
直流電圧−Ｖを取り込んでその絶対値を求めても良い。
同図中の比較回路２８は、この演算回路２４で求めた電
位ＶS と基準値Ｅ2 とを比較して前者の方が大きい場合
に警報信号Ｓを出力する。
あり、その演算回路２４は、電流計測器１８、２０でそ
れぞれ計測した電流Ｉ1 、Ｉ2 および正電源１４から出
力される直流電圧Ｖを取り込み、それらに基づいて、上
記数７の演算を行う。但し、負電源１６から出力される
直流電圧−Ｖを取り込んでその絶対値を求めても良い。
同図中の比較回路２８は、この演算回路２４で求めた電
位ＶS と基準値Ｅ2 とを比較して前者の方が大きい場合
に警報信号Ｓを出力する。
【００４１】従って、この図２の実施例によっても、図
１に示した実施例の場合と同様の効果が得られる。しか
もこの図２の実施例の場合は、基板表面の電位ＶS その
ものを求めて監視することができるという利点がある。
１に示した実施例の場合と同様の効果が得られる。しか
もこの図２の実施例の場合は、基板表面の電位ＶS その
ものを求めて監視することができるという利点がある。
【００４２】
【発明の効果】この発明は、上記のとおり構成されてい
るので、次のような効果を奏する。
るので、次のような効果を奏する。
【００４３】請求項１記載の発明によれば、正電源およ
び負電源にそれぞれ流れる電流の大きさの差を演算回路
で求めることができ、この電流差は基板表面の電位に比
例しているので、この電流差によって、基板表面の電
位、即ち基板の帯電状態を監視することができる。その
結果、基板帯電による不具合発生を未然に防止すること
ができる。
び負電源にそれぞれ流れる電流の大きさの差を演算回路
で求めることができ、この電流差は基板表面の電位に比
例しているので、この電流差によって、基板表面の電
位、即ち基板の帯電状態を監視することができる。その
結果、基板帯電による不具合発生を未然に防止すること
ができる。
【００４４】しかも、元々静電チャック用に設けてある
正電源および負電源に流れる電流を計測するものである
ため、表面電位計の場合と違って、基板を機械的に走査
すると否とに拘わらず、しかも非常に簡単に、基板の帯
電状態を監視することができる。
正電源および負電源に流れる電流を計測するものである
ため、表面電位計の場合と違って、基板を機械的に走査
すると否とに拘わらず、しかも非常に簡単に、基板の帯
電状態を監視することができる。
【００４５】請求項２記載の発明によれば、前記演算回
路で求めた電流差が基準値よりも大きい場合に警報信号
を出力する比較回路を更に備えているので、基板の帯電
量が異常に大きくなって基板表面の電位が異常に高くな
ったことを、この警報信号によって簡単に判断すること
ができる。
路で求めた電流差が基準値よりも大きい場合に警報信号
を出力する比較回路を更に備えているので、基板の帯電
量が異常に大きくなって基板表面の電位が異常に高くな
ったことを、この警報信号によって簡単に判断すること
ができる。
【００４６】請求項３記載の発明によれば、演算回路に
おいて基板表面の電位そのものを求めることができるの
で、基板表面の電位そのものに基づいて基板の帯電状態
を監視することができる。
おいて基板表面の電位そのものを求めることができるの
で、基板表面の電位そのものに基づいて基板の帯電状態
を監視することができる。
【００４７】しかも、元々静電チャック用に設けてある
正電源および負電源に流れる電流ならびに当該正電源ま
たは負電源から出力する直流電圧を計測するものである
ため、表面電位計の場合と違って、基板を機械的に走査
すると否とに拘わらず、しかも非常に簡単に、基板の帯
電状態を監視することができる。
正電源および負電源に流れる電流ならびに当該正電源ま
たは負電源から出力する直流電圧を計測するものである
ため、表面電位計の場合と違って、基板を機械的に走査
すると否とに拘わらず、しかも非常に簡単に、基板の帯
電状態を監視することができる。
【００４８】請求項４記載の発明によれば、前記演算回
路で求めた基板表面の電位が基準値よりも大きい場合に
警報信号を出力する比較回路を更に備えているので、基
板の帯電量が異常に大きくなって基板表面の電位が異常
に高くなったことを、この警報信号によって簡単に判断
することができる。
路で求めた基板表面の電位が基準値よりも大きい場合に
警報信号を出力する比較回路を更に備えているので、基
板の帯電量が異常に大きくなって基板表面の電位が異常
に高くなったことを、この警報信号によって簡単に判断
することができる。
【図１】この発明に係る基板保持装置の一例を示す図で
ある。
ある。
【図２】この発明に係る基板保持装置の他の例を示す図
である。
である。
【図３】静電チャックおよびその電源回路周りの等価回
路図である。
路図である。
【図４】従来の基板保持装置の一例を示す断面図であ
る。
る。
２ イオンビーム ４ 基板 ６ 静電チャック ８ 絶縁物 １０ 正電極 １２ 負電極 １４ 正電源 １６ 負電源 １８、２０ 電流計測器 ２２、２４ 演算回路 ２６、２８ 比較回路
Claims (4)
- 【請求項１】 イオンビームが照射される基板を静電気
によって吸着する双極型の静電チャックと、この静電チ
ャックの二つの電極に互いに逆極性で大きさのほぼ等し
い直流電圧をそれぞれ供給する正電源および負電源とを
備える基板保持装置において、前記正電源および負電源
に流れる電流をそれぞれ計測する二つの電流計測器と、
この二つの電流計測器でそれぞれ計測した電流の大きさ
の差を求める演算回路とを備えることを特徴とする基板
保持装置。 - 【請求項２】 前記演算回路で求めた電流差が基準値よ
りも大きい場合に警報信号を出力する比較回路を更に備
える請求項１記載の基板保持装置。 - 【請求項３】 イオンビームが照射される基板を静電気
によって吸着する双極型の静電チャックと、この静電チ
ャックの二つの電極に互いに逆極性で大きさのほぼ等し
い直流電圧をそれぞれ供給する正電源および負電源とを
備える基板保持装置において、前記正電源および負電源
に流れる電流をそれぞれ計測する二つの電流計測器と、
この二つの電流計測器でそれぞれ計測した電流および前
記正電源または負電源から出力する直流電圧の大きさに
基づいて、基板表面の電位を求める演算回路とを備える
ことを特徴とする基板保持装置。 - 【請求項４】 前期演算回路で求めた基板表面の電位が
基準値よりも大きい場合に警報信号を出力する比較回路
を更に備える請求項３記載の基板保持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20133296A JPH1027566A (ja) | 1996-07-10 | 1996-07-10 | 基板保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20133296A JPH1027566A (ja) | 1996-07-10 | 1996-07-10 | 基板保持装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1027566A true JPH1027566A (ja) | 1998-01-27 |
Family
ID=16439267
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP20133296A Pending JPH1027566A (ja) | 1996-07-10 | 1996-07-10 | 基板保持装置 |
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|---|---|
| JP (1) | JPH1027566A (ja) |
Cited By (10)
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-
1996
- 1996-07-10 JP JP20133296A patent/JPH1027566A/ja active Pending
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