JP2013161769A - 荷電粒子線装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】上記目的を達成するために本発明では、静電チャック機構(5)を含む空間を真空状態に維持する試料室を備えた荷電粒子線装置において、試料室内に紫外光を照射するための紫外光源(6)と、当該紫外光が照射される被照射部材とを備え、当該被照射部材は、前記静電チャックの吸着面の垂線方向に配置されることを特徴とする荷電粒子線装置を提案する。
【選択図】 図1
Description
2 試料室
3 予備排気室
4 X−Yステージ(試料ステージ)
5 静電チャック
6 紫外線光源
7 遮蔽板
8 紫外線照射領域
Claims (5)
- 荷電粒子源と、当該荷電粒子線が照射される試料を保持する静電チャック機構と、当該静電チャック機構を含む空間を真空状態に維持する試料室を備えた荷電粒子線装置において、
前記試料室内に紫外線を照射するための紫外光源と、当該紫外光が照射される被照射部材とを備え、当該被照射部材は、前記静電チャックの吸着面の垂線方向に配置されることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記静電チャックを搭載した試料ステージと、当該試料ステージ、及び紫外光源を制御する制御装置を備え、
当該制御装置は、前記静電チャックが前記被照射部下に位置付けられたときに、前記紫外光源から紫外線を照射するように制御することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記被照射部材は、前記紫外線が照射される被照射部と、当該被照射部を中心とした軸対称に複数の開口を備えていることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項3において、
前記被照射部は、前記紫外線の照射範囲より大きな被照射面を備えていることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記静電チャックに蓄積した電荷を計測する制御装置を備え、当該制御装置は、前記計測結果が所定値を超えたときに、前記紫外光源を用いた除電を実行することを特徴とする荷電粒子線装置。
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