TW453013B - Position sensor - Google Patents

Description

4530 1 3 五、發明說明（1) 本發明是有關於一種用於位置偵知器的裝置，其可以 偵知至少兩相對移動之構件的相對位置。本發明亦以應 用在線性及旋轉性的電感式位置偵知器。 ’ W095/31 696揭露一種電感式位置偵知器，其中，一構 件具有一激磁繞線及設置於偵知器印刷電路板的數個偵知 器繞線，另一構件則帶有一諧振器，其也是設置於印刷電 路板。操作上’交替電流施加於激磁繞線，並在價知器印 刷電路板區域造成交流磁場。當接近偵知器印刷電路板 時’這個磁場會電感耦合於諧振器，使諧振器產生共振。 這個共振則又在偵知器印刷電路板的邊緣產生空間定義 (Spatial patterned)的交替磁場。這個諧振器磁場會在 偵知器繞產生交替信號，其振幅隨兩構件的相對位置而弦 波地變動。類似系統則揭露於EP0 1 821 85，其利用導電遮 幕取代諧振器。不過，使用導電遮幕會有輸出信號較小的 缺點，且偵知器繞線信號與激磁繞線信號亦會有相位相 同、極性相反的問題。相對地，在諧振器的例子裡，偵知 器繞線信號與激磁繞線信號則是90。平移。因此，在諸振 器的例子裡’應用同步偵測以隔離諧振信號及激磁穿透乃 成為可能。 偵知器繞線在兩種系統中均與位置偵知器的動作十分 密切。特別是，偵知器繞線的形狀必須能使諧振器產生必 要的弦波耦合，並使激磁繞線產生最小的耦合。這可藉串 連迴路（其排列以使共同磁場在相鄰迴路所產生的信號彼 此相對）以形成偵知器繞線及形成激磁繞線以作為偵知器

第4頁 453013 五、發明說明（2) 繞線的周圍迴路而達到。 而本發明的目的便是提供一種交替幾何的偵知器及激 磁繞線。 摘知器繞線及激磁繞線最好以兩層印刷電路板形成， 其較多層電路板便宜且易於製造。為達到低成本、小尺 寸、最佳EMC效能，用來產生激磁電流及處理偵知器繞線 信號的電路應與偵知器繞線設置於相同的電路板。在目前 系統中’這些連接是由雙絞線浮置引眷（Twisted pair flying lead)所完成，其既昂貴且不可靠。這些連接可由 傳統PCB軌跡路徑（Track routing)技術以達成。不過，這 種連接軌跡通常會導致：（i)偵知器繞線及諧振器間弦波 耦合關係的干擾；（i i)偵知器繞線敏感於激磁線圈所產生 的磁場。這兩者均會降低整體位置偵知器的精確度。 這個問題可使用多層印刷電路板解決。不過，這種方 法會增加成本並降低位置偵知的精確度，因為多層印刷電 路板（相較於兩層印刷電路板）需要精確的記錄。 根據本發明的一個特徵’本發明提供一種轉換器，用 於一位置編碼器，包括：一第一電路，至少具有^迴路， 其沿著一量測路徑延伸，並串連排列以攀一共用電磁場在 該些迴路中產生的信號彼此相對；以及— 中—€路’至少 具有一迴路，其沿著該量測路徑延伸；其特徵在於：該 二電路的迴路重疊但電性隔離於該第一電路的迴路上二 這種轉換器的優點係’當電路板尺寸給定後，— 路的迴路面積便可以最大化，無論第二電路的圈數多少電

第5頁 五、發明說明（3) 這個特徵亦可以撻供__ μ # 包括：第-複數導體途徑一著置旦用於一位置編碼器， 數導體途徑，沿著該量剩路；：：：里：：徑排列；第二複 複數導體途徑彼此叠置以 ，楚、中，該第一及第二 二迴路，其沿著該量測路= —第一,電路，至少具有 使一共用電磁場在該些迴路 ^該些迴路串連且排列以 (ϋ) —第二電路，至;；：且^二產生的信號彼此相對；以及 伸，·其特徵在於：該第—複數f沿著該量測路徑延 路的部排列成第一及第 途其形成該第-電 地橫向間隔，1第二複數；；；叙’其相對於該量測路徑 部分，排列以連接該第；其形成該第二電路的 二電路之-遊路，位於^數：：途，，其至少形成該第 且電性隔離於該第：複數導體途^群組的導體途經之間 位置Κί，Π徵提供-種轉換器，用於- =隔離m體途徑排⑽ΐ義: ί列用著該量測路徑延伸’該些迴路串連且 剛路徑延伸且重至少具有一迴路，其沿著該量 中，誃第二雷放且但電性隔離於該第一電路的迴路上；其 ~φ^^^^的迴路及該第一電路中一感應的迴路間之 電變動以抵消該第二電路的迴路及該第- …、迴路間的耦合變動效應’其乃是由該第 第6頁 4 5 3 0 1 3 五、發明說明（4)

4之導體途徑排列所造成。 二電路的迴路之道 在這個特徽φ,@ 耦人面精舍烧ι 第二電路具有多層螺旋繞線’其中’ 〇 ί變動於該螺旋繞線的邊緣或開始。 為讓本發明+ u 4 ssP松 上述和其他目的、特徵、和優點能更明

顯易懂，下女ϋ與 X. iL ^ _ α t 人符舉一較佳實施例，並配合所附圖式，作詳 細說明如下： 圖式說明 第1圖係旋轉棍軸的圖示，其上設置有位置編碼器以 編碼旋轉樞軸的位置； 第2a圖係一圈偵知器繞線的圖示，其形成第1圖位置 編碼器的部分； 第2b圖係第2a圖繞線的圖示，其以線性路徑延伸： 第2c圖係一印刷電路板的圖示，其同時設置第2a圖繞 線與二個類似繞線及一個激磁繞線； 第2d圖係第2c圖兩個繞線（以線性延伸）的圖示，其介 紹這兩個繞線串連以形成偵知器繞線的方法； 第2e圖係印刷導電體頂層的圖示，其形成印刷電路板 的部分； 第2f圖係導電體底層的圖示，其與第2e圖導電體頂層 共同形成轉換器（具有一個激磁繞線及兩個兩圈偵知器繞 線）’偵知器繞線的各圈間隔係排列以降低諧波失真； 第2g圏係第2c圖兩個偵知器繞線的圖示’其以線性路 徑延伸： 第2h圖係導電體頂層的圖示，其形成第2c圖印刷電路

453 0 1 3 五、發明說明（5) 板的部分； 第2i圖係導電體底層的圖示，其形成第2c圖印刷電路 板的部分； 第2 j圖係第2a圖繞線及部分激磁繞線的圖示，其介紹 激磁繞線不必耦合偵知器繞線而連接到連接墊的方法； 第3 a圖係諧振器印刷電路板頂層的圖示； 第3b圖係諧振器印刷電路板底層的圖示； 第4圖係激磁及處理電路的圖示，其驅動第2C圖激磁 繞線並處理第2c圖偵知器繞線所接收的信號； 第5圖係各偵知器繞線信號的振幅峰值隨旋轉樞軸角 位置變動的方式的圖示； 第6圖係第2c圖激磁繞線的交替形式的圖示；以及 第7圖係一個激磁及一組偵知器繞線的形式的圖示， 其形成線性編碼器的部分。 實施例 第1圖係圖示樞轴1，其沿著軸旋轉且通過支撐牆5裡 面的軸承3。載有諧振器（未示）的第一印刷電路板9設置以 經由第二印刷電路板15旁邊的軸襯u與框轴1 一起旋棘 圖中箭頭7所示），其（如^剖面）載有數㈣知如 (未示）及一個激磁繞線（未示）。第二印刷電路板15固定於 支撐牆5且具有通過樞軸1的中央孔16。 激磁繞線，偵知器繞線及諧振器的排列是在激磁電流 通過激磁繞線時，驅動諧振器以在偵知器繞線產生信號了 其振幅峰值隨著樞軸旋轉角度而弦波地變動。谓知器繞線

第8頁 " 4530 五、發明說明（6) 其處理產生信號以決定可旋轉樞軸 連接處理電路（未示） 1的旋轉角度。 在這個實施例中，兩個兩圈偵知器繞線沿著電路板i 5 周圍延伸。每個偵知器的每圈具有相同幾何形式且具有三 段繞線，各段沿著周圍延伸12〇° 。第2a圖係圖示偵知器一 繞線21 —圈21-1的形式，第2b圖則圖示這圈21_丨在沿線性 路杈延伸時的形成。如第2&及21)圖所示，偵知器繞圈2iq 具有六個串連導體的六邊形迴路2 ，其相鄰迴 路以相反方向繞線。如此，任何迴路所產生的Emf會與相 鄰迴路在相同磁場時所產生的EMF相反。在這個實施i列 中’每個迴路所包含的面積約略相等，藉以使各圈及各偵 知器繞線相對免疫於背景電磁干擾，因為相鄰迴路所產生 的EMF基本上會互相抵消。 在這個實施例中，偵知器繞線形成於兩層印刷電路板 上’其具有25mm左右的直徑。頂側的導體（面對支標牆5) 如第2a及2b圖的虛線所示’底側的導體（面對諸振電路板 9)則如實線所示。由圖中所示，大部分導體位於印刷電路 板側，其最接近於諧振器印刷電路板9。這可以確保諧振 器及偵匆器繞線間的最大耦合。如第2a及2b圖所示，連接 印刷電路板15頂層及底層導體的介層孔22龟於迴路的内緣 及外緣，而連接這些邊緣的導體則都位於印刷雷路柄」 側。 在這個實施例中，偵知器繞線圈2 1 -1將點A (連接印刷 電路板相反側的導體24及26 )的介層插塞去除、並自點a導

第9頁 453 01 五'發明說明（7) 體端至連接墊23及25跑一對連接執28，藉以連接一起連接 墊23及25。如圖中所示，連接軌28在印刷電路板的相反側 彼此跟隨’藉以確保連接軌28及諸振器（未示）間及連接軌 2 8及激磁繞線（未不）間的最小電磁輛合。 如上述’在這個實施例中，在印刷電路板丨5有兩個兩 圈的偵知器繞線及一個激磁繞線。第2c圖係示印刷電路板 15的所有繞線。如圖中所示，偵知器繞線21的第一圈2U 是以粗線標示，每個憤知器繞線2 1及2 7的兩圈則在周圍以 1 5 °相隔（八分之一段），且偵知器繞線21的第一圈21 -1與 憤知器27的第一圈27-1相隔30° (四分之一段）。如圖中所 示’偵知器繞線21的第二圈21-2以一對連接執與連接塾23 相接，其在印刷電路板15的相反侧彼此跟隨，如連接軌 28。類似地，連接軌34及36則分別連接圈27-1及27-2至連 接墊31及33及31及35。利用這種方式，圈21-1及21-2串連 且圈27-1及27-2亦串連’這些繞線的連接軌則不會影響偵 知器繞線21及27及激磁繞線間及偵知器21及27及諧振器間 的電磁耦合。 第2d圖是在沿線性路徑延伸時，共同形成偵知器繞線 21的兩圈21-1及21-2。如圖中所示，在這個實施例中，兩 圈間的交錯或間隔為1 5 ° 。因具有較大的輸出信號及較小 的空間失真’故只需要一個兩圈的偵知器繞線。較低的空 間失真表示諧振器及偵知器繞線間的空間耦合關係更接近 弦波。這可以確保更精確的偵知器。理論上，線圈交錯角 應該在六分之一段的區域内（在這個實施例為2 0 ° )，因為 IHII11^ 第10頁 4 5 3 0 1 〇 五、發明說明（8) " k可以壓縮諸波錯誤的主要成分。最低諧波失真的確實交 ，角則不見得是六分之一段，而可以由實驗或模型所決 定。在這個實施例中，八分之一間隔的線圈交錯角係選擇 以避免各偵知器繞線的導體間因缺少空間而產生的猛撞。 (另一種方法則是交錯較接近六分之一段的徑線位置，同 時保持介層插塞常數的空間關鍵位置，形成偵知器繞線的 印刷電路板的頂層及底層示於第26及2|圖。） 第2g圖是在沿線性路徑延伸時，形成本實施例偵知器 繞線21及27的四圈21-1、21-2、27-1、27-2。如圖中所 不’兩個偵知器繞線21及27的間隔或交錯角為30。，其對 應於四分之一段。因此，偵知器繞線的輸出信號成9 〇。相 差。 請參考第2c圖’在電路板15頂層及底層形成偵知器繞 線21及27的導體是由介層插塞42的兩内圈及介層插塞44的 兩外圈所提供。第2h圖係印則電路板1 5的導體底層（由頂 層觀之）。如圖中所示，介層插塞42的内圈及介層插塞4 4 的外圈間的導體轨均製作於此層。因此，如第2c圖所示， 激磁繞線29可繞線於頂層介層插塞的内外圈之間，而不會 與偵知器繞線21及27猛撞。這如同第2i圖所示，即形成於 印刷電路板15頂層的導體。 如第2c圖所示，激磁繞線29具有七個同心迴路，其利 用兩開端的螺旋繞線以形成。特別是，激磁繞線2 9由介層 插塞24至點C增加螺旋地逆時鐘延伸，其中，外迴路由導 體38連接至介層插塞26。在介層插塞26，激磁繞線29繼續

第11頁 4 5 3 0 1·—; 五、發明說明（9) 逆時鐘增加螺旋至點D。如熟習此技術者所知，各谓知器 繞線的各迴路會與激磁繞線29耦合。不過，由於各迴路是 以相反方向繞線，任何迴路由激磁繞線29所產生的信號會 與相鄰迴路所產生的信號相反。因此’若激磁繞線29及伯 知器繞線21及27各迴路的磁場耦合相等，則任何迴路所產 生的信號會與相鄰迴路所產生的信號抵消，也因此，激磁 繞線2 9及偵知器繞線2 1及2 7間將沒有淨耦合存在。不過， 由上述可知，在這個實施例中，要確保激磁繞線2 9及各偵 知器繞線各迴路間電磁耦合的相等是不可能的，因為連接 激磁繞線29及連接墊37及39的連接軌40。 如上述，連接軌用以連接偵知器繞線各圈，其基本上 不會與諧振器及激磁繞線耦合。這是因為連接執會在印刷 電路板15的相反側彼此跟隨，且激磁繞線及諧振器所產生 的磁場約略垂直於電路板15表面。由第2h及2i圖所示，在 兩層電路板設計的本實施例中，不猛接偵知器繞線21及2 7 而連接激磁繞線2 9是不可能的。特別是，請參考第2c圖， 連接激磁繞線29至連接墊37及39的連接軌40由印刷電路板 1 5 —侧的連接墊通過至點B，其中，印刷電路板1 5頂層的 連接軌通過至左邊直到點D激磁繞線29的外圈，印刷電路 板15底層的連接軌則通過至右邊且連接介層孔24激磁繞線 29的内圈。連接軌4 0的路徑分道會使激磁繞線29及偵知器 繞線21及27間的耦合不平衡。 不平衡的理由說明如第2j圖’其顯示部分激磁繞線29 及偵知器繞線21的第一圈21-1。如圖中所示’連接軌4 0在

第12頁 453 0 1 五、發明說明（ίο) 點B發散’激磁繞線29及迴路21-lb間，相較於激磁繞線29 及迴路21-lc間的重疊面積’會有額外的重疊面積43。這 個額外的重疊會使激磁繞線29及迴路21 -lb間的磁場耦合 增加’相較於激磁繞線29及迴路21-lc間。類似的不平衡 則產生於激磁繞線2 9及另一個偵知器繞線2 7間。 在這個實施例中，另一個不平衡是故意加入以抵消連 接軌所產生的不平衡。特別是，類似的不平衡是在相反方 向繞線的繞線2 1-1迴路中產生類似面積43的面積而產生。 在這個實施例中’故意的不平衡是在迴路2i_ie中加入額 外的重疊面積45 ’其與迴路2 Ι-lb中連接軌所造成的不平 衡相差180° 。如熟習此技術者所知，故意的不平衡可以 產生於迴路21-la、21-lc或21-le。另外，較小的不平衡 則可加入這些迴路以抵消連接軌所產生的不平衡。 第3a圖係諧振器印刷電路板9的頂層，而第3b圖則是 諸振器印刷電路板9的底層，由頂層觀之。印刷電路板9是 由囷形磁碟所形成，其具有25 mm左右的直徑且具有兩個接 受固定針52、54、56的切除區域9-a、9-b，其設置於軸襯 11、並在使用時相對轴襯11地固定於電路板9。如第3a圖 所示，電路板9的頂層具有三個線圈部53a、55a、57a，其 周圍彼此間隔120 β 。類似地，諧振器印刷電路板9的底 層’如第3b圖所示，則具有三個線圈部53b、55b、57b， 其周圍彼此間隔120 ° ，且線圈53b位於線圈53a下方，線 圈55b位於線圈55a，線圈57b位於線圈57a下方。在這個實 施例中’諧振器電路板9的頂層在使用時面對偵知器電路

IBH 第13頁 4 5 3 0 1 3 五、發明說明（π) 板1 5，其間隔約2mm。 線圈53、55、57分別串連，且線圈的端點連接一對電 容架置61及6 3 ’其串連一對電容及線圈以形成LC諧振器 50。特別是，導體軌自諧振器電路板9頂層的電容架置61 逆時鐘降低螺旋地延伸，藉以定義線圈53a至到達介層插 塞65，其中，軌通過板9的另一側。由介層插塞65，導體 軌以逆時鐘增加螺旋地延伸於板9底層，藉以定義線圈53b 至到達介層插塞6 7 ’其中’軌回到電路板9頂層。導體軌 隨即繼續逆時鐘下降螺旋以定義線圈55a至到達介層插塞 69，其通過電路板9的底層。導體軌由介層插塞69沿著逆 時鐘增加螺旋繞線，藉以定義線圈55b至介層插塞71，其 中，導體回到電路板頂層。由介層插塞71，軌沿著逆時鐘 下降螺旋繞線以定義線圈57a至到達介層插塞73。在介層 插塞73，導體回到電路板底層，並繼續逆時鐘增加螺旋地 定義線圈57b至到達介層插塞75，其中，軌連接另一個電 容架置63。 當電路板9可旋轉地設置於軸襯11，且電路板15固定 於支撐牆5以使諧振器電路板9内側76與偵知器電路板15内 側16同心圓，線圈53、55、57相鄰於激磁繞線29及偵知器 繞線21及27。當激磁電流施加於激磁繞線29時，激磁繞線 所產生的磁場會與線圈53、55、57(最接近電路板9外緣） 的導體軌耦合，藉以產生這些線圈的EMF。由於線圈都是 以相同方向繞線，這些EMF會相加且諧振器電流會流過線 圈53、55、57，藉以產生空間定義的諧振器磁場，其具有

第14頁 4 5 3 0 1 3 五、發明說明（12) 三個位於線圈53、55、57中央的主軸。由於諧振器5〇具有 與债知器繞線的段數相同的線圈53、55、57，且由於每個 線圈對應偵知器繞線的一段，故激磁繞線29在區域43及45 的不對稱（如第2h圖所示）不會影響激磁繞線29及諧振器5〇 間的耦合，其針對諧振器板9的所有角位置均維持常數\ 如熟習此技術者所知，當諧振器5〇旋轉時，諧振器所 產生的空間定義磁場會與偵知器繞線2丨及27反應以產生輸 出k號’其會隨諸振器電路板9的角位置而變動。舉例來 說’當線圈53位於迴路2 Ι-la上方時，線圈55會位於迴路 21-lc上方且線圈57會位於迴路21-le上方。因為線圈53、 55、57是以相同方向繞線，當諧振器諧振時，相同大小及 振幅的EMF會產生於這三個迴路21 _ 、21-lc、21-le ,且 流過線圈的電流會產生磁場。由於偵知器繞線2丨的這些迴 路是以相同方向繞線’其會相加且分別產生一輸出信 號。 當諸振器電路板9相對於偵知器繞線地旋轉，使線圈 53、55、57位於相鄰的偵知器迴路間時，相鄰迴路所產生 的EMF會彼此抵消且不會在偵知器繞線圈以-丨產生輸出信 號。當諧振器板進一步旋轉’使線圈53、55、57位於相鄰 迴路2卜lb、21-Id、2卜Π時，產生的EMF會相加，但極性 則相反於諧振器板9在線圈53、55、57為相反迴路2 Ι-la、 21-lc、21-le的角度時的EMF。 因此’當諧振器相對於偵知器繞線2 1及27地旋轉時， 輪出信號亦會隨著諧振器板9的旋轉而周期性地變動。由

第15頁 453 0 1 3 五'發明說明（13) 於偵知器繞線21及2 7在周圍彼此間隔四分之一段’偵知器 繞線所產生信號的周期性變動會180°相差於另一偵知器 繞線所產生信號的周期性變動。理論上，這個周期性變動 應該是弦波。不過，通常有較高階的諧波變動會造成輸出 信號的失真。如上述，在使用多圈偵知器繞線的實施例 中，排列不同圈的導體間隔以降低譜波失真是可能的。這 個諧波失真的效應亦會隨著諧振器電路板9及偵知器電路 板1 5間渠溝的增加而降低。不過，在這個實施例中，若裝 置直徑25mm，諧振器電路板9及偵知器電路板15間渠溝 2mm，則大部分諧波失真便可以忽略。 第4圖是駆動激磁繞線2 9及處理偵知器繞線21及27信 號的激磁及處理電路101 ^在這個實施例中，激磁及處理 電路101設置於電路板15且分別連接至連接墊37及39的激 磁繞線29及連接至連接墊25及30及33及35的偵知器繞線21 及27。如圖中所示’激磁及處理電路ιοί具有數位波形產 生器103 ’用以接收水晶振盪器1〇5的振盈輸入，並輸出激 磁信號以經由激磁驅動器1〇7施加於激磁繞線29。 在這個實施例中’激磁信號是基本頻率F()1MHz的方波 電壓’其相符於諧振器電路板9上諧振器5〇的諧振頻率。 流過激磁繞線29的激磁電流會在諧振器電路板9的邊緣產 生電磁場，其可以使諧振器50產生共振。當共振時，諧振 器50會產气自^的磁場以在接收繞線21及27產生emf，其 振幅峰值（及^7 )會與諧振器5 〇成丨8 〇。相差且弦波地變 動。第5圖即這些振幅峰值與旋轉角的變動關係。如圖中

第16頁 4 5 3 0 1 3 五、發明說明（14) 所示，弦波變動每1 2 0。重複一次，對應於偵知器繞線21 及27的間隔周期。 如第4圖所示，偵知器繞線21及27所產生的EMF分別輸 入混合器109及111，其混合於激磁繞線29的激磁信號的90 。相移，藉以解調變產生的EMF。90°相移是諧振器50在 共振時所需。混合器1 0 9及111的輸出則分別包括一個DC成 分，對應於個別偵知器繞線所產生的E M F的振幅峰值，及 高頻時變成分。 混合器的輸出隨後，一個接一個地，經由開關11 3而 供應至低通濾波器115 ’其用以移除高頻時變成分。這些 振幅峰值隨後由類比/數位轉換器117自類比數值轉換成數 位數值，其可以利用tan-Ι函數以決定諧振板9的旋轉角。 (如虛線121及123所示，微處理器丨19亦控制開關115的切 換及數位波形產生器103所產生的信號）^如熟習此技術者 所知，微處理器119亦可以決定諧振板的旋轉角至樞軸角 120以上。因此，這個位置編碼器可以用以決定引擎内 節氣閥數值的角位置，其只會旋轉通過9〇。。另外，若微 處理器11 9計算圈數，則諧振板9的旋轉可以連續追蹤。 本纟明的激磁及處理電路簡略說明如1。更詳細的解 釋則可見於’例如，申諳人丨I μ & # & Α ^ τ穿人更早的申請案W095/31696，其 内谷可供參考。另一種處理雷' 紅、^ # μ & 悝蜒理電路，其不需要使用tan-l函 數以決疋鉍轉角，可見於申請人更早 W098/0 092 1，其内容亦可供參考。 T吻杀 由上述實施例可知，太路 本發明較習知技術具有數個優

第17頁 4530 五、發明說明（15) 點，其包括： (1 )由於激磁繞線是繞線在偵知器繞線的迴路上印 刷電路板空間的使用效率可以改善。特別是，對固定大小 的偵知器印刷電路板而言，更多圈激磁繞線可在維持偵知 器繞線迴路的最大尺寸的前提下提供。在激磁繞線繞線於 偵知器迴路外的習知系統中，若激磁繞線的圈數增加，則 该知器印刷電路板的寬度必須增加，或者，偵知器 路的寬度必須減小。在部分應用中，要增加偵知器電路板 並降低偵知器繞線迴路的尺寸以降低輸出信號位準是不可 能的。 (2 )偵知器繞線與處理電路的連接可以（a)不在偵知器 繞線及諧振器之間產生弦波耦合關係的嚴重干擾；不 在偵知器繞線及激磁繞線間產生任何淨耦合；及（c)使價 知器繞線不會受背景電磁干擾影響。 (3) 利用兩層印刷電路板以將激磁繞線繞線在偵知器 繞線内，並在不與任何偵知器繞線產生淨磁耦合的情況 下’以印刷電路板的連接軌以連接激磁繞線及激磁電路。 這可以故意加入不平衡以抵消激磁繞線的連接軌所產生的 不平衡。 (4) 由於各偵知器繞線及激磁繞線的連接墊位於連接 軌圖案的外側，連接可以簡單方式完成。 (5 )由於偵知器繞線的迴路面積在固定尺寸的印刷電 路板中可以最大’故裝置可在偵知器電路板15及諧振器電 路板9間具有較大的間隔’因為信號在這種間隔下的信號

第18頁 4530 1 3 五、發明說明（16) 遞降速率較低。在兩部分個別密封以進行保護是很重要 的’因為較大的間隔可得較厚的保護性被覆，其通常較便 宜且易於應用。 (6 )激磁繞線的外徑最大且内徑最小，故諧振器的耦 合可以最大。這可由本實施例（a)將激磁繞線的外迴路盡 可能接近地繞線於介層插塞44外圈；及（b)使激磁繞線内 迴路的半徑等於諧振器電路板9中心至諧振線圈53、55、 57的中心點以達成。這是因為激磁繞線主要耦合於線圈 53、55、57的連接執，其位於印刷電路板9的外侧。當激 磁繞線的寬度增加至這些線圈的内執，與激磁繞線的整體 搞合會下降’因為在這些内軌的耦合會與在外軌的耦合相 反。 (7)提供多圈的激磁繞線以增加激磁繞線的電感，並 允許：（a)使用共同的偵知器電源電壓（約3V)以省去步降電 壓轉換電路；及（b)使用半橋式或全橋式切換放大器以取 代較沒效率的線性功率放大器，藉以將信號產生器的輸出 信號在施加至激磁繞線前予以放大。 修正及其他實施例 在上述實施例中’使用多圈的激磁繞線且所有繞線是 以相同方向繞線。這具有電感增加的優點’但卻在與諧振 器的耦合開始下降前，具有限制激磁電路圈數的缺點。第 6圖係具有六圈串連繞線的激磁繞線131，其外三圈以某方 向繞線，内二圈則以相反方向繞線。這種激磁線圈的優點 是與諧振器具有較大的磁場耦合，因為外軌會與諧振器電

第19頁 453013 五、發明說明（17) 路板内側的連接軌耦合’内軌會與諧振器電路板内側的連 接軌輕合，其會相加至與外執的耗合。由於諸振器與激磁 繞線1 31間的耦合增加，故信位準較高且精確度及電磁干 擾的表現亦會較好。第6圖亦圖示與偵知器繞線（未示）相 關的介層插塞4 2及44的内圈及外圈。雖然未示於第6圖， ，磁電路及激磁繞線丨3丨端點間的連接軌可以類似第一實 施例的方法製造，故激磁繞線及偵知器繞線間不會有耦 合。 第6圖激磁繞線的另—個好處是降低激磁繞線的電磁 =，其可能會與其他電路干擾。另彳，激 内圈以免疫於電磁干擾，使内圈及外圈= 降低G Hi相反。這個實施例的缺點&，激磁繞線會 降低電感並更難以驅動。 錄ί第了實施例中，激磁繞線具有兩個開端的螺旋繞 。匕可以，如，在單開端螺旋繞線的内迴路 的不平衡，藉以把.¾iL 廣1 對應' 使用二軌所造成的不平衡。不過，最好 線’因為不平衡可能是對稱形式的， 加於激ί垆錄，壓疋以差動方式經由全橋式開關電路以施 知哭繞線；的雪:J兩開端螺旋繞線將會降低激磁繞線及偵 ~繞線間的電容耦合效應。 路以成：：：可加至偵知器繞線的數個迴 的螺旋開端數目# 01工平衡。最好是，連接激磁繞線 使這心衡的數目（包括連接軌不平衡）， 、二小十衡維持彼此對稱。

4530 1 五、發明說明（18) 在上述實施例中，兩個兩圈的周期性偵知器繞線係提 供以具有對應1 2 0 °旋轉角的連接段。如熟習此技術者所 知，上述技術亦用於具有任何數目之偵知器繞線的實施 例’其具有任何數目的連接段以繞線於偵知器電路板周圍 及任何數目的圈數。舉例來說，兩個單圈單段的偵知器繞 線可提供以在電路板周圍以9 0。彼此間隔。由這些偵知器 繞線所產生的信號’諧振器的位置可決定於360°上。不 過，最好使用多圈偵知器繞線，因為上述優點及允許的間 隔。 上述實施例是有關於旋轉位置編碼器。第一實施例的 特徵亦可應用於線性位置編碼器。第7圖即兩個三段， 2 0mm間隔的兩圈偵知器繞線1 35及1 3 7，其中，個別偵知器 繞線的各圈間隔為六分之一間隔（3.3mm)且繞線135第一圈 及繞線137第一圈的間隔為四分之一間隔（5mm)。如第一實 施例，個別偵知器繞線的兩圈是以連接軌1 3 9及1 41及14 3 及145連接，其不會在偵知器線圈及諧振器（未示）間干擾 弦波耗合關係，亦不會與激磁繞線14 7轉合。 如第7圖所示，在這個實施例中，激磁繞線14了具有四 圈導體，其通過偵知器繞線迴路的中心。在這個實施例 中’與激磁繞線147的連接亦可以用連接轨丨49完成，其互 相跟隨於偵知器電路板（未示）兩側，且不會與僅知器繞線 耦合。因此，本實施例不需要故意提供不平衡於激磁繞線 1 4 7及備知器繞線1 3 5及1 3 7之間，藉以抵消連接軌所造成 的不平衡。這是可能的’因為與激磁線圈的連接可位於其

第21頁 五、發明說明（19)

一端。不過’亦有不可能的例子，其則必須連接於偵知器 繞線135及137的中心。在這個例子裡，不平衡會因激磁繞 線1 4 7的連接軌而產生，且額外的不平衡必須以類似第一 實施例的方法加入，藉以達到平衡D 如熟習此技術所知，第7圖的線性實施例亦較旋轉實 施例具有許多優點，包括：固定偵知器板寬度時的偵知器 線圈寬度最大。這在降低位置偵知器的整體寬度時特別重 要’因其可以置入小直徑管中。 上述實施例已參考偵知器繞線及激磁繞線之形成於兩 層印刷電路板以說明如上。類似考慮亦可以應用於利用厚 或薄膜技術形成該些繞線的技術，其中，第一層導電膜形 成於陶磁絕緣基底上，並隨後形成絕緣層（其可以定義只 絕緣於交叉點）及第二導電膜以產生激磁及偵知器繞線 組。 在上述實施例中，分離的混合器係提供以解調變個別 偵知器繞線的信號’而解調變的信號則隨即經由開關送至 共用濾波器及類比/數位轉換器及微處理器。在另一個實 施例中，分離的濾波器及類比/數位轉換器亦可以提供以 接收個別混合器的輸出。另外’所有電路可利用數位AS I c 完成，其可以降低設計的成本及複雜度。 在第一實施例中’諧振器的排列是使偵知器繞線的各 fee具有一線圈。這可在諧振器板的任何旋轉角中，確保諸 振器及激磁繞線間的常數耦合。但這並非必要。特別是， 若諧振器及激磁繞線間的耦合隨位置而變動，則該變動可

第22頁 4 5 3 0 1 五、發明說明（20) 共用於偵知器繞線所產生的兩個信號，且會因微處理器的 比例計算而去除。 在上述實施例中，諧振器可用以產生磁場，其隨著諧 振器相對於偵知器繞線的移動而變動。類似磁場則可由其 他電磁兀件產生，如電磁極片，短路線圈或金屬遮幕。在 短路線圈的實施例中，第3圖的線圈53、55、57可以使 用，其端點串連而非連接電容。在使用短路線圈或金屬遮 幕的實施例中，激磁繞線及偵知器繞線間的磁通耦合是由 短路線圈或金屬遮幕的存在與否所決定，而線圈或遮幕的 位置設計則會在偵知器繞線造成類似弦波變動的輪出信 號。這種位置編碼器的優點是較譜振器設計便宜。不過， 最好還疋使用諧振器設計，因為其提供較大的輸出信號位 準及允許使用脈衝回音模式（其中，突發的激磁信號施加 於激磁繞線’偵知器繞線的信號只在突發結束後處理-這 是可犯的，因為諧振器會在激磁信號移除後繼續響著）， 且因為諧振器信號係90相差於激磁信號，故於與激磁穿 透信號隔離。 在上述實施例中，激磁信號施加於激磁繞線，偵知器 繞線的信號則用以決定諧振器的位置。在另一個實施例 中’激磁信號可依序施加於個別偵知器繞線，藉以驅動諧 振器’而激磁電路以諧振器產生的信號則載有位置資訊。 在第一貫施例中’激磁繞線不會超過諧振器線圈的中 心點’因為這會降低激磁繞線及諧振器間的磁場耦合。不 過，14個效應會隨著偵知器電路板及諧振器電路板間隔的

453013 五、發明說明（21) 增加而減少。這是因為激磁線圈的場的有效半徑會隨間隔 的增加而增加。整體影響則是降低信號位準的動態範圍， 其會在諧振器間隔變動時接收，這通常有利於處理電路， 其需要較大的間隔變動 <=這個修正的另一個好處則是择加 激磁線圈的最大可能t感。 8 雖然本發明已以較佳實施例揭露如上，然其並非用以 限定本發明，任何熟習此技藝者，在不脫離本發明之精神 和範圍内’當可做更動與潤飾，因此本發明 視後附之巾請專利範圍所界定者為p K範圍田

第24頁

Claims (1)

1. 4 5 3 0 1 3 , ，'乂 : __案號 87118905 ϋ ..與欠月；g 曰 _ 六、申請專利範圍 .............一...d 1 · 一種轉換器，用於一位置編碼器，包括： 第一複數之導體軌’沿著一量測路徑排列於一第一 層； ' 第二複數之導體軌’沿著5玄量測路徑排列於一第二 層： 其中，該第一複數及第二複數之導體轨彼此疊置並且 連接，用以定義：（i) 一第一電路（21)，其包含至少二迴 路（2 1 -1 a、21 -1 b)’其沿著該量測路徑延伸，該等迴路串 聯並且其配置方式使得由該等至少二迴路之一共用電磁場 所產生的信號彼此相對；以及（ii) 一第二電路（29)，具有 至少一迴路，其沿著該量測路徑延伸； 其特徵在於： 該第一層中形成部分該第一電路（21)之該等導電軌， 係分成第一及第二群組，其相對於該量測路徑地橫向間 隔； 該第二層中形成部分該第一電路（21)之該等導電執， 係配置用以連接該第一群組之導體軌至該第二群組之導體 軌；以及 形成該第二電路（29)之該至少一迴路的導電軌，係位 於該第一群組及第二群組之導體軌間的該第一層。 2 ·如申請專利範圍第丨項所述之轉換器，其中該第一 層和該第二層之導電軌係分別載於一實質上平坦之絕緣體 (1 5)的個別侧》 3 .如申請專利範圍第1項所述之轉換器’其中該第一 層和該第二層之導電執係形成於—印刷電路板（丨5 )之一側

   3019-2239-PFl,ptc 第25頁 4530 1

   4 如甲請导利範圍第1項所述 六τ "«个得換 〜電路（21)之該等迴路係大體上呈六邊形。 專利範圍第1項所述之轉換器，其中該第— 和忒第一層之導電轨係用以定篦^ (21，27)，其彼此電性隔離且互相個=第一電路 該等第-電路⑴，27)之該等至少二迴路於 徑呈空間隔離。 ’、&者該量測路 項所述之轉換器 迴路，其沿著該 ’其中該第一 量測路徑而依 6 ·如申請專利範圍第1 電路（21)具有偶數個之該等 序排列。 7 .如申凊專利範圍第1項所述之轉換器，其中該第— :第二電路(21，29)係依據使其兩者間實質上無淨 合之方式排列。 8 .如申請專利範圍第1項所述之轉換器，其中在該第 —電路（21)之其一感應之一或多個迴路（21_2e)及該第二 電路(29)之該至少一迴路間的耦合面積（45)，其變動係用 以抵消該第二電路（29)之該至少一迴路及該第一電路（21) 之另一感應之一迴路（21-lb)間的耦合變動效應，其乃是 由導體轨（40)對於該第二電路（29)之該至少一迴路配置所 造成。 9 .如申請專利範圍第8項所述之轉換器，其中該第二 電路（29)具有一螺旋繞線導體軌之複數圈；其中該第二電 路（29)之該至少一迴路以及該第一電路（21)之其一感應之 一或多個迴路（21-2e)之間的耦合面積（45)，其變動係於 該螺旋繞線的邊緣或開始。

   3019-2239-PFl.ptc 第26頁 4530 1

   _ 1 〇 .如申請專利範圍第1項所述之轉換器，其中該第 一電路（29)具有一螺旋繞線導體軌之複數圈。 11 ’如申請專利範圍第1項所述之轉換器，其中該第 二電路（29)具有複數同手串聯的同心圓螺旋繞線。 _ 12 *如申請專利範圍第1項所述之轉換器，其中該第 一電路（131)具有至少一外部迴路及至少一内部迴路；其 中該内部及外部迴路是以相反方向繞線。 1 3 .如申請專利範圍第1項所述之轉換器，其中該量 測路徑為直線。 14 ’如申請專利範圍第1項所述之轉換器，其中，該 量測路徑是圓形。 15 .如申請專利範圍第1項所述之轉換器，其中該第 一層和第二層導電軌係配置使得該第一電路之每一迴路由 複數導體圈形成；其中該等導體圈係在該量測方向上呈空 間隔離’藉以降低空間諧波失真。 1 6 ·如申請專利範圍第1項所述之轉換器，其中—對 電性隔離之連接執係提供於該第一電路；其中當沿著該量 測路徑的垂直方向觀看時，其中一連接執係置於該另一連 接軌之上。 17 ·如申請專利範圍第1項所述之轉換器，其中該第 一電路（21)之每一該等迴路所包圍之面積實質上相同。 18 ·如申請專利範圍第1項所述之轉換器，其中該第 一層和該第二層之導體軌係利用一基板上之圖案化導體膜 所形成；其中至少一絕緣臈置於形成該第一和第二電路之 導體膜間的交又點上。

   3019-2239-PFl.ptc 第27頁 p 4 5 3 r' _ 案號.87118905 年月日 修正 六、申請專利範圍 19，一種使用於位置編碼器之裝置，其包括： 一絕緣體基底（1 5 )，用以定義沿著一量測路徑之第一 表面和第二表面； 第—複數之導體軌，其沿著該量測路徑排列於該第一 表面； 第二複數之導體軌，其沿著該量測路徑排列於該第二 表面； 其中該絕緣體基底（15)具有複數介層孔（44)，用以連 接該第一表面之導體軌至該第二表面之導體軌，該第一表 面和該第二表面之導體軌的配置方式，係當利用該等介層 孔（44)連接時，用以定義：（i) 一第一電路（21)，其包含 至少二迴路（2卜1 a、21 -1 b)，其沿著該量測路徑延伸’該 等迴路串聯並且其配置方式使得由該等至少二迴路之一共 用電磁場所產生的信號彼此相對：以及（u) 一第二電路 (29)，具有至少一迴路，其沿著該量測路徑延伸； 其特徵在於： 該第一及第二複數導體軌及該等介層孔係排列以使該 第二電路（29)之至少一迴路延伸跨越該第一電路（21)之至 少二迴路。 20 .—種使用於位置編碼器之裝置，其包括： —絕緣體基底（15)，用以定義沿著一量測路徑之 表面和第二表面； * 第-複數之導體執，其沿著該量測路徑排❹該第— 表面，

   3019-2239-PFl.ptc 第二複數之導體軌，其沿 ^該量徑排列於該第二

   第28頁 ψ 4 5 3 0 1 -¾ -- 案號87118905_年月日 槔,τ___ 六、申S青專利範圍 表面； 其中該絕緣體基底（15)具有複數介層孔（44)，用以連 接該第一表面之導體軌至該第二表面之導體軌，該第一表 面和β玄第一表面之導體軌的配置方式，係當利用該等介層 孔（44)連接時’用以定義：（丨）一第一電路（21)，其包含 至少一迴路（21 -1 a、21 -1 b)’其沿著該量測路徑延伸，該 等迴路串聯並且其配置方式使得由該等至少二迴路之—共 用電磁場所產生的信號彼此相對；以及（i i ) 一第二電路 (2 9 )，具有至少一迴路，其沿著該量測路徑延伸； 其特徵在於： 該第一表面中形成部分該第一電路（21)之該等導體軌 分成第一及第二群組’其相對於該量測路徑地橫向間隔； 該第二表面中形成部分該第一電路（21)之該等導電軌，係 配置用以連接該第一群組之導體軌至該第二群組之導體 軌；以及 形成該第二電路（29)之該至少一迴路的導電軌，係位 於該第一群組及第二群組之導體軌間的該第一表面。 21 · —種轉換器，用於一位置偵知器，其包括： 二層之導體轨’至少在交叉點以絕緣體彼此隔離，該 些導體執排列以定義：（i) 一第一電路（21)，其包含相反 感測之至少二迴路（2卜la、21_lb)，其沿著一量測路徑延 伸’該等迴路串聯並且其配置方式使得由該等至少二迴路 之一共用電磁場所產生的信號彼此相對；以及（丨丨）一第二 電路（29)，具有至少一迴路，其沿著該量測路徑延伸並且 疊置但電性隔離於該第一電路（21)之該至少二迪跋；

   3019-2239-PFl.ptc 第29頁 專利範圍第21 複數同心螺旋 專利範圍第24 之該至少·—迴 個迴路（21-2e 導體軌，其沿 導體轨，其沿 著該量測路徑排列於該第一 著該量測路徑排列於該第二

   3019-2239-PFl.ptc 第30頁 曰 項所述之轉換器，其中該等 化導體膜所形成；其中至少 絕緣膜置於形成該第一和第二電路之導體膜間的交叉點 繞線的邊緣或 用於位置編碼 底（1 5 )，用以定義沿著一量測路徑之第 453 0 1 案號 87118905 、申請專利範圍 其中該第二電路（29)之該 (2〇之其一感應之一或多個迴 面積（4 5 )’其變動係用以抵消 迴路及該第一電路（21)之另一 耗合變動效應，其乃是由連接 置所造成。 2 2 .如申請專利範圍第2 i 二層之導電軌係分別載於一實 別側。 2 3 .如申請專利範圍第2 j 導體轨係利用一基板上之圖案 上 2 4 ·如申請 二電路（29)具有 25 .如申請 該第二電路（29) 一感應之一或多 變動係於該螺旋 2 6 · —種使 一絕緣體基 表面和第二表面 第一複數之 表面； 第二複數之 修正 至少一迴路以及該第一電路 路（21-2e)之間的電磁耦合 該第二電路（29)之該至少一 感應之一迴路（21 -1 b)間的 軌（40)對該第二電路（29)配 項所述之轉換器，其中該等 質上平坦之絕緣體（1 5 )的個 項所述之轉換器，其中該第 錄德。 w ••疇— 項所述之轉換器，其中其中 路以及該第一電路（21)之其 )之間的耦合面積（45)，其 開始。 器之裝置，其包括： 4 5 3 0 1

   表面； 其中該絕緣體基底（15)具有複數介層孔（44)，用以連 接該第一表面之導體軌至該第二表面之導體轨，該第一表 面和該第二表面之導體執的配置方式，係當利用該等介層 孔（44)連接時，用以定義：（i) 一第一電路（21)，其包含 至少二迴路（2卜la、21_lb)，其沿著該量測路徑延伸，該 等迴路串聯並且其配置方式使得由該等至少二迴路之一共 用電磁場所產生的信號彼此相對；以及（i丨）一第二電路、 (29)，具有至少一迴路，其沿著該量測路徑延伸並且疊置 但電性隔離於該第一電路（21)之該至少二迴路； 其中該第二電路（29)之該至少一迴路以及該第一電路 (21)之其一感應之一或多個迴路（2卜26)之間的電磁耗合 面積（45)，其變動係用以抵消該第二電路（29)之該至少一 迴路及該第一電路（21)之另一感應之一迴路卜lb)間的 耦合變動效應’其乃是由連接轨（4〇)對該第二電路（29)配 置所造成。 27 · —種位置偵知器，其包括： 第一和第二構件（1 5 ’ 9 )，設置以沿著一量測路徑相 對地移動； 該第一構件（15)具有如申請專利範圍第1項所述之轉 換器；以及 該第二構件（9)具有一介面裝置（50)，與該轉換器之 該等電路（21，29)產生交互作用，其用以根據施加於其一 該等電路的一輸入驅動信號，在另一該等電路感應出一輸 出信號，該輸出信號之變化係為該第一和第二構件在該量

   3019-2239-PFl.ptc 第31頁 ^ ^ 3 ο 1 ；：； "^2 案號87118905 年 月____胃-條JL 、'申請專利範圍 ~' ' 剛路徑上相對位置的函數。 28 ,如申請專利範圍第27項所述之偵知器，其中該介 裴置（50)包含一電磁場產生器。 29 ·如申請專利範圍第27項所述之偵知器，其中該交 裝置（50)包含一電磁共振裝置、短路線圈、導電遮^ 電墙極片中之至少一種。 30 .如申請專利範圍第27項所述之偵知器，其中該交 互裝置（50)和該第一電路（21)之該炱少二迴路的配置^ 式’係用以使得該輸出信號呈連續變化’為該第一和第二 構件在該量測路徑上相對位置的函數。 一 31 .如申請專利範圍第3〇項所述之偵知器，其中該輸 出k號係呈週期性變化，為該交立裝置（5 0)和該至少二迴 路之間相對位置的函數。 32 .如申請專利範圍第31項所述之偵知器，其中該週 期性變化係實質上為正弦波形。 33 .如申請專利範圍第27項所述之偵知器，更包含： 一驅動裝置（107)，用以施加該輸入驅動信號至該第 一和該第二電路（21、29)之一者；以及 一處理裝置（109、111、115、！17、119) ’用以處理 由該第一和第二電路之另一者所產生之該信號’指示該第 一和第二構件之相對位置。 34 .如申請專利範圍第33項所述之偵知器，其中該處 理裝置（109、111、115、117、119)包含—解調變器’其 匹配於利用該交互裝置在該第一和第二電路中之另一者所 產生之信號的相位。

   3019-2239-PFI.ptc 第32頁 453013 ---案號87118905 车 a 日 修正 — 六、申請專利範圍 35 .如申請專利範圍第34項所述之偵知器，其中該解 調器之操作係利用激磁信號之9 0度相位移版本進行該信號 的解調^ ' 36 .如申請專利範圍第34項所述之偵知器，其中該轉 換器具有複數該第一電路；其中該等第一電路的迴路沿著 該量測路徑空間隔離；其中該處理裝置操作以進行該等第 一電路所產生的信號的三角比例計算。 37 .如申請專利範圍第33項所述的偵知器，其中，該 另—電路所產生的信號弦波地變動，為沿著該路徑上介面 裝置（50)與該等至少二迴路間之相對位置的函數；其中該 弦波地變動的周期對應於沿著該些串連迴路的兩個的範圍 的量測路徑的相對移動。 38 ·如申請專利範圍第33項所述的偵知器，其中該第 一及第二電路（21、29)設置於一電路板（15);其中該驅動 裝置及/或該處理裝置設置於該電路板。 39 .如申請專利範圍第27項所述的偵知器，其中，該 第一及第二電路（21、29)形成於基本上平坦的表面。 .如申請專利範圍第39項所述的偵知器，其中該介 面裝置（50)具有一線圈；其中該線圈的軸係大致垂直於該 平坦表面。 41 .如申請專利範圍第4〇項所述的偵知器，其中該第 一及第二電路（21、29)設置於相同平面；其中該線圈可於 一平面中相對該第一及第二電路地移動，其大致上平行於 該第一及第二電路設置的平面。 42 · >申請專利範圍第27項所述的偵知器，其令，該

   3019-2239-PFl(ptc 第33頁 4 5 3〇i

   ;其中該第二構件（9)是可相對該 ---------案號 8711890R 六、申請專利範圍 第一構件（15)是固定的 第一構件地移動。 ^ •一種摘知第—及第二構件（1 5，9 )位置的方法， ”叹置以沿著一量測路徑相對移動，包括： 提供如申請專利範圍第2 7項所述之—位置偵知器： 施加一驅動信號至該轉換器之〆電路（21、29);以及 该測另一電路（21、29)所產生的信號，並由其推得該 第一及第二構件（1 5、9 )的相對位置。 44 ·如申請專利範圍第43項所述的方法，其中，該驅 動信號具有一交流信號，其頻率範圍l〇KHz〜10MHz。

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