NL8900750A - Inrichting voor het meten van een relatieve verplaatsing. - Google Patents

Inrichting voor het meten van een relatieve verplaatsing. Download PDF

Info

Publication number
NL8900750A
NL8900750A NL8900750A NL8900750A NL8900750A NL 8900750 A NL8900750 A NL 8900750A NL 8900750 A NL8900750 A NL 8900750A NL 8900750 A NL8900750 A NL 8900750A NL 8900750 A NL8900750 A NL 8900750A
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
scale
magnetic field
sensors
measuring head
longitudinal direction
Prior art date
Application number
NL8900750A
Other languages
English (en)
Inventor
Johannes Leonardus G Bogaerts
Eduard Camerik
Original Assignee
Philips Nv
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Philips Nv filed Critical Philips Nv
Priority to NL8900750A priority Critical patent/NL8900750A/nl
Priority to DE9090200677T priority patent/DE69000943T2/de
Priority to EP90200677A priority patent/EP0390261B1/en
Priority to ES199090200677T priority patent/ES2040032T3/es
Priority to KR1019900003985A priority patent/KR0139904B1/ko
Priority to JP02075804A priority patent/JP3075727B2/ja
Priority to US07/501,445 priority patent/US5041785A/en
Publication of NL8900750A publication Critical patent/NL8900750A/nl

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P3/00Measuring linear or angular speed; Measuring differences of linear or angular speeds
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P3/00Measuring linear or angular speed; Measuring differences of linear or angular speeds
    • G01P3/42Devices characterised by the use of electric or magnetic means
    • G01P3/44Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed
    • G01P3/48Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed by measuring frequency of generated current or voltage
    • G01P3/481Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed by measuring frequency of generated current or voltage of pulse signals
    • G01P3/487Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed by measuring frequency of generated current or voltage of pulse signals delivered by rotating magnets
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P3/00Measuring linear or angular speed; Measuring differences of linear or angular speeds
    • G01P3/42Devices characterised by the use of electric or magnetic means
    • G01P3/50Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring linear speed
    • G01P3/54Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring linear speed by measuring frequency of generated current or voltage

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Measuring Magnetic Variables (AREA)

Description

N.V. Philips' Gloeilampenfabrieken te Eindhoven.
Inrichting voor het meten van een relatieve verplaatsing.
De uitvinding heeft betrekking op een inrichting voor het bepalen van de grootte en de richting van een relatieve verplaatsing van twee voorwerpen, bevattende enerzijds een op het eerst voorwerp aangebrachte, langgerekte, zich in de richting van de verplaatsing uitstrekkende schaalverdeling bestaande uit een opeenvolging van magnetische noord- en zuidpolen, en anderzijds een op het tweede voorwerp aangebrachte meetkop met ten minste een eerste en een tweede magneetveldopnemer die ten opzichte van de schaalverdeling zo geplaatst zijn, dat zij als gevolg van het door de relatieve verplaatsing veroorzaakte afwisselend passeren van noord- en zuidpolen de invloed ondervinden van een telkens wisselend magneetveld dat in elk van de opnemers een uitgangssignaal veroorzaakt, waarbij de uitgangssignalen van de beide opnemers als functie van de tijd nagenoeg hetzelfde verloop hebben, maar ten opzichte van elkaar in fase verschoven zijn.
Een dergelijke .inrichting is bekend uit GB-A 1,492,980.
Zulke inrichtingen kunnen bijvoorbeeld gebruikt worden om lineaire verplaatsingen te meten, waarbij de schaal zich langs een rechte lijn uitstrekt, of om de omwentelingssnelheid en -richting van een wiel te meten, waarbij de schaal zich langs de omtrek van het wiel uitstrekt. Zoals aan de hand van figuur 3 van GB-A 1,492,980 beschreven is, kunnen de grootte en de richting van de relatieve verplaatsing op eenvoudige wijze bepaald worden uit de in fase verschoven uitgangssignalen van de opnemers. Om te bewerkstelligen, dat de signalen van de beide opnemers in fase verschoven zijn, is de opstelling van de opnemers in de bekende inrichting zo gekozen, dat de tweede opnemer over een nauwkeurig bepaalde, van λ afhankelijk afstand in de lengterichting van de schaalverdeling verschoven is ten opzichte van de eerste, waarbij λ de afstand tussen twee opeenvolgende gelijknamige polen van de schaalverdeling is. Daarvoor is het nodig dat de magneetpolen op onderling precies gelijke afstanden op de schaalverdeling zijn aangebracht en dat de afstand tussen de beide opnemers nauwkeurig ingesteld wordt en precies aangepast is aan λ. Daardoor is de bekende inrichting moeilijk te vervaardigen en duur. Een verder bezwaar van de bekende meetkop is, dat zijn afmeting in de lengterichting van de schaalverdeling betrekkelijk groot is.
De uitvinding heeft tot doel, een inrichting van de in de aanhef genoemde soort aan te geven, waarbij de afstand tussen de opeenvolgende poolparen op de schaalverdeling niet nauwkeurig bekend behoeft te zijn, en zelfs niet nauwkeurig constant behoeft te zijn over de lengte van de schaalverdeling, en waarbij de meetkop uiterst compact kan zijn.
De inrichting volgens de uitvinding heeft daartoe het kenmerk, dat de eerste en de tweede magneetveldopnemer zo opgesteld zijn, dat zij zich steeds tegenover eenzelfde punt op de schaalverdeling bevinden, en dat de eerste opnemer in hoofdzaak gevoelig is voor veranderingen in de evenwijdig met de lengterichting van de schaalverdeling verlopende component van het magneetveld, en de tweede opnemer in hoofdzaak gevoelig is voor veranderingen in de loodrecht op de lengterichting van de schaalverdeling en evenwijdig met de verbindingslijn tussen de schaalverdeling en de meetkop verlopende component van het magneetveld.
Indien de schaalverdeling gebogen is (bijvoorbeeld om de omtrek van een wiel te volgen), wordt onder zijn lengterichting de raaklijn aan de schaalverdeling in het punt recht tegenover de meetkop verstaan. Wanneer opeenvolgende poolparen de meetkop passeren, keert zowel de richting van de evenwijdig met de lengterichting van de schaalverdeling verlopende component van het magneetveld (hierna de evenwijdige component genoemd) als de richting van de andere genoemde component (hierna de loodrechte component genoemd) periodiek om. Dit omkeren gebeurt tegenover punten van de schaalverdeling die voor de evenwijdige en de loodrechte component op een afstand van λ/4 van elkaar verwijderd liggen. Het gevolg is, dat de uitgangssignalen van de beide opnemers het gewenste faseverschil vertonen zonder dat zij op een van de periode van de schaalverdeling afhankelijke afstand geplaatst zijn. Doordat de beide opnemers zich tegenover hetzelfde punt op de schaalverdeling bevinden (hetgeen, zoals uit het bovenstaande volgt, voor het verkrijgen van het faseverschil gewenst is) kan de meetkop zeer compact worden uitgevoerd.
Een eerste uitvoeringsvorm van de inrichting volgens de uitvinding heeft het kenmerk, dat de magneetveldopnemers gevormd worden door langgerekte magnetoresistieve elementen die zich in een met de lengterichting van de schaalverdeling evenwijdig vlak uitstrekken in onderling loodrechte richtingen.
Een variant van de eerste uitvoeringsvorm heeft het kenmerk, dat voor het voormagnetiseren van de eerste en de tweede opnemer een gemeenschappelijke voormagnetiseringsinrichting aanwezig is, die een nagenoeg constant magneetveld opwekt, dat in hoofdzaak loodrecht op de lengterichting van de schaalverdeling en op de verbindingslijn tussen de schaalverdeling en de meetkop verloopt.
Een tweede uitvoeringsvorm van de inrichting volgens de uitvinding heeft het kenmerk, dat de eerste en de tweede magneetveldopnemers gevormd worden door respectievelijk een eerste en een tweede solenoide spoel, waarvan de assen onderling loodrecht zijn, waarbij de as van de eerste spoel nagenoeg evenwijdig is met de lengterichting van de schaalverdeling en de as van de tweede spoel nagenoeg evenwijdig is met de verbindingslijn tussen de schaalverdelingen en de meetkop.
De uitvinding zal nu nader worden toegelicht aan de hand van de tekening. Hierin is
Figuur 1 een schematische weergave van een inrichting volgens de uitvinding,
Figuren 2A en 2B een zijaanzicht, respectievelijk een bovenaanzicht van onderdelen van een eerste uitvoeringsvoorbeeld van de inrichting volgens de uitvinding,
Figuur 3 een weergave van de meetkop van de uitvoeringsvorm volgens figuren 2A en 2B op vergrote schaal,
Figuren 4A en 4B een zijaanzicht, respectievelijk een bovenaanzicht van de inrichting volgens de uitvinding, en
Figuur 5 een grafische weergave van de uitgangssignalen van de meetkop van de inrichting volgens de uitvinding.
Figuur 1 toont schematisch een inrichting voor het meten van de draaisnelheid een -richting van een wiel 1 van een voertuig, dat bevestigd is op een as 3. Aan de binnenzijde van de velg 5 van het wiel 1 (bijvoorbeeld een autowiel) is een langgerekte, de omtrek van het wiel volgende, schaalverdeling aangebracht, bijvoorbeeld met behulp van een geschikte lijm. De schaalverdeling 7 bestaat uit een strookvormige drager van flexibel materiaal, waarop of waarin een zich in de lengterichting van de drager uitstrekkende, afwisselende reeks van magnetische noordpolen en magnetische zuidpolen is aangebracht. Zulke magnetisch schaalverdelingen zijn op zichzelf bekend.
Tegenover de schaalverdeling 7 is een meetkop 9 geplaatst, die bevestigd is aan de wielophanging van het voertuig (niet getekend), zodat tijdens het draaien van het wiel 1 de magnetische polen van de schaalverdeling 7 achtereenvolgens de meetkop passeren. Zoals verderop zal worden uiteengezet, bevat de meetkop 9 magneetveldopnemers die als gevolg van het afwisselend passeren van de magnetische noord- en zuidpolen de invloed ondervinden van een telkens wisselend magneetveld. De meetkop 9 is door middel van een kabel 11 elektrisch verbonden met een op een geschikte plaats in het voertuig bevestigde verwerkingsinrichting 13 voor het verwerken van de door de meetkop geproduceerde uitgangssignalen. De verwerkingsinrichting 13 kan een op zichzelf bekende schakeling bevatten, bijvoorbeeld een schakeling zoals beschreven in aan de hand van figuur 3 van GB-A 1,492,980.
De figuren 2A en 2B tonen meer in detail een klein gedeelte van de schaalverdeling 7 en een deel van de meetkop 9. De schaalverdeling 7 is in deze figuren weergegeven alsof hij zich volgens een rechte lijn uitstrekt in plaats van volgens een cirkel zoals m figuur 1. Dit is gedaan omdat voor de uitleg van de werking van de uitvinding het onmiddellijk tegenover de meetkop 9 gelegen gedeelte van de schaalverdeling 7 bij benadering als recht beschouwd nog worden (samenvallend met de raaklijn aan de genoemde cirkel ter plaatse van de meetkop 9). Bovendien is de inrichting volgens de uitvinding evenzeer geschik voor het meten van lineaire relatieve verplaatsingen (waarbij de schaalverdeling 7 zich werkelijk volgens een rechte lijn uitstrekt) als van het meten van rotaties. De verplaatsing van de velg 5 met de schaalverdeling 7 ten opzichte van de meetkop 9 is in figuren 2A en 2B aangegeven met een dubbele pijl 15. De magnetische noord- en zuidpolen zijn respectievelijk met N en S aangeduid. In figuur 2A zijn bovendien enkele magnetische krachtlijnen 17 getekend om bij benadering de vorm van het magneetveld in de nabijheid van de meetkop 9 aan te geven. Hierdoor blijkt duidelijk, dat het magneetveld in de onmiddellijke nabijheid van een magnetische pool nagenoeg loodrecht op de lengterichting van de schaalverdeling 7 en evenwijdig met de verbindingslijn 19 tussen de schaalverdeling en de meetkop 9 gericht is. Ter plaatse van een magnetische zuidpool S is het magneetveld naar de schaalverdeling 7 toe gericht en ter plaatse van een noordpool N van de schaalverdeling af. Ongeveer halverwege tussen een noord- en zuidpool is het magneetveld nagenoeg evenwijdig met de lengterichting van de schaalverdeling gericht, waarbij de richting steeds van de dichtsbijzijnde noordpool naar de dichtstbijzijnde zuidpool is. Nabij andere punten op de schaalverdeling 7 is het magneetveld samengesteld uit een volgens de verbindingslijn 19 gerichte component (de loodrechte component) en een evenwijdig met de lengterichting van de schaalverdeling gerichte component (de evenwijdige component). Wanneer de afstand tussen twee gelijknamige magneetpolen van de schaalverdeling 7 wordt aangeduid met λ keert dus de richting van zowel de loodrechte als de evenwijdige component van het magneetveld om na het afleggen van een afstand λ/2 langs de schaalverdeling, waarbij de omkeerpunten van de evenwijdige component over een afstand λ/4 verschoven liggen ten opzichte van de omkeerpunten van de loodrechte component.
De meetkop 9 bevat twee magneetveldopnemers, waarvan de eerste in hoofdzaak gevoelig is voor veranderingen in de evenwijdige component van het magneetveld en de tweede voor veranderingen in de loodrechte component. In het uitvoeringsvoorbeeld volgens de figuren 2A en 2B worden deze opnemers gevormd door respectievelijk een eerste magnetoresistief element 21 en een tweede magnetoresistief element 23.
Figuur 3 toont de beide magnetoresistieve elementen op vergrote schaal. Zij zijn gevormd uit een dunne laag ferromagnetisch materiaal met een anisotrope magnetoresistiviteit, bijvoorbeeld nikkel-cobalt, die is aangebracht op een elektrisch isolerend substraat 25, bijvoorbeeld een plaatje glas dat in de bedrijfstoestand evenwijdig is met de lengterichting van de schaalverdeling. Uit de dunne laag magnetoresistief materiaal zijn bijvoorbeeld door etsen de twee magnetoresistieve elementen 21, 23 gevormd. Elke van deze elementen bestaat uit een aantal evenwijdig naast elkaar liggende, lange stroken met korte dwarsverbindingen aan de uiteinden, zodat een meandervormig element ontstaan is. Aan de vrije uiteinden van de eerste en de laatste strook zijn aansluitvlakken 27 gevormd, waarop (niet getekende) aansluitdraden bevestigd zijn. De lengterichtingen van de beide magnetoresistieve elementen 21 en 23 (dat wil zeggen de lengterichtingen van de stroken, waaruit deze elementen zijn opgebouwd) staan loodrecht op elkaar.
Het substraat 25 met daarop de beide magnetoresistieve elementen 21 en 23 is omgeven door een solenoide spoel 29, waarvan de as 31 (zie figuur 2B) loodrecht op de lengterichting van de schaalverdeling 7 en loodrecht op de verbindingslijn 19 tussen de schaalverdeling en de meetkop 9 staat en die verbonden is met een (niet getekende) gelijkstroombron, zodat de spoel een volgens de as van de spoel en dus loodrecht op het substraat gericht, constant magneetveld opwekt voor het voormagnetiseren van de beide magneetveldopnemers. Daardoor zijn deze opnemers optimaal gevoelig voor veranderingen in de magneetveldcomponent die volgens hun lengterichting gericht is en nagenoeg ongevoelig voor veranderingen in een loodrecht op hun lengterichting gerichte magneetveldcomponent. De door de stroombron en de spoel 29 gevormde voormagnetiseringsinrichting kan desgewenst vervangen worden door een uit een permanente magneet bestaande voormagnetiseringsinrichting.
De figuren 4A en 4B tonen de principiële constructie van een tweede uitvoeringsvoorbeeld waarbij elk van de magneetveldopnemers 21' en 23' gevormd wordt door een solenoide spoel. Zoals bekend is, wordt in een spoel een elektrische spanning geïnduceerd wanneer de door de spoel omsloten magnetische flux verandert. Aangezien de door een solenoide spoel omsloten ruimte een betrekkelijk lange, nauwe cilinder is, wordt in een dergelijke spoel een elektrische spanning geïnduceerd, wanneer de met de as van de spoel evenwijdige component van het magneetveld een verandering in grootte of richting ondergaat. Zoals in de figuren 4A en 4B te zien is, zijn de beide solenoide spoelen 21' en 23' zo opgesteld, dat de as 33 van de eerste spoel 21' evenwijdig is met de lengterichting van de schaalverdeling 7, zodat deze spoel gevoelig is voor veranderingen in de evenwijdige component van het magneetveld. De as 35 van de tweede spoel 23' valt samen met de verbindingslijn tussen de schaalverdeling 7 en de (gestippeld aangeduide) meetkop 9', zodat deze spoel gevoelig is voor de veranderingen in de loodrechte component van het magneetveld.
Wanneer nu de schaalverdeling 7 met een constante snelheid van v m/s ten opzichte van de meetkop 9, 9' beweegt in de richting van de pijl 15, verandert ter plaatse van de magneetkop zowel de loodrechte als de evenwijdige component van het magneetveld sinusvormig met een frequentie ν/λ, zodat elk van de beide magneetveldopnemers 21 en 23, respectievelijk 2Γ en 23' een sinusvormig uitgangssignaal produceert. Doordat de omkeerpunten van de ene magneetveldcomponent een afstand
Figure NL8900750AD00081
verschoven zijn ten opzichte van de omkeerpunten van de andere component, hebben de uitgangssignalen van de beide magneetveldopnemers onderling een faseverschil van
Figure NL8900750AD00082
Een voorbeeld van de uitgangssignalen van de opnemers 21 en 23 als functie van de tijd t is in figuur 5 weergegeven. De kromme 37 toont de uitgangsspanning U21 van de eerste opnemer 21 en de kromme 39 de uitgangsspanning U23 van de tweede opnemer 23. Deze uitgangsspanningen worden verkregen, wanneer de schaalverdeling zich in de in figuur 2A getoonde situatie met een constante snelheid naar links beweegt ten opzichte van de meetkop 9. Wanneer de schaalverdeling zich naar rechts beweegt, verschuift het signaal U21 over een halve periode langs de tijdas terwijl het signaal U23 niet verandert. De verwerkingsinrichting 13 kan uit deze signalen de snelheid en richting van de verplaatsing berekenen, ook wanneer de snelheid niet constant is en de spanningen U21 en U23 dus niet zuiver sinusvormig zijn.

Claims (4)

1. Inrichting voor het bepalen van de grootte en de richting van een relatieve verplaatsing van twee voorwerpen, bevattende enerzijds een op het eerst voorwerp aangebrachte, langgerekte, zich in de richting van de verplaatsing uitstrekkende schaalverdeling (7) bestaande uit een opeenvolging van magnetische noord- en zuidpolen, en anderzijds een op het tweede voorwerp aangebrachte meetkop (9) met ten minste een eerste en een tweede magneetveldopnemer (21, 23) die ten opzichte van de schaalverdeling zo geplaatst zijn, dat zij als gevolg van het door de relatieve verplaatsing veroorzaakte afwisselend passeren van noord- en zuidpolen de invloed ondervinden van een telkens wisselend magneetveld dat in elk van de opnemers een uitgangssignaal veroorzaakt, waarbij de uitgangssignalen van de beide opnemers als functie van de tijd nagenoeg hetzelfde verloop hebben, maar ten opzichte van elkaar in fase verschoven zijn, met het kenmerk, dat de eerste en de tweede magneetveldopnemer (21, 23) zo opgesteld zijn, dat zij zich steeds tegenover eenzelfde punt op de schaalverdeling (7) bevinden, en dat de eerste opnemer (21) in hoofdzaak gevoelig is voor veranderingen in de. evenwijdig met de lengterichting van de schaalverdeling verlopende component van het magneetveld, en de tweede opnemer (23) in hoofdzaak gevoelig is voor veranderingen in de loodrecht op de lengterichting van de schaalverdeling en evenwijdig met de verbindingslijn (19) tussen de schaalverdeling (7) en de meetkop (9) verlopende component van het magneetveld.
2 Inrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de magneetveldopnemers (21, 23) gevormd worden door langgerekte magnetoresistieve elementen die zich in een met de lengterichting van de schaalverdeling (7) evenwijdig vlak uitstrekken in onderling loodrechte richtingen.
3 Inrichting volgens conclusie 2, met het kenmerk, dat voor het voormagnetiseren van de eerste en de tweede opnemer (21, 23) een gemeenschappelijke voormagnetiseringsinrichting (29) aanwezig is, die een nagenoeg constant magneetveld opwekt, dat in hoofdzaak loodrecht op de lengterichting van de schaalverdeling (7) en op de verbindingslijn (19) tussen de schaalverdeling en de meetkop (9) verloopt.
4 Inrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de eerste en de tweede magneetveldopnemers (2Γ, 23') gevormd worden door respectievelijk een eerste en een tweede solenoide spoel, waarvan de assen (33, 35) onderling loodrecht zijn, waarbij de as (33) van de ee,rste spoel (21') nagenoeg evenwijdig is met de lengterichting van de schaalverdeling (7) en de as (35) van de tweede spoel (23') nagenoeg evenwijdig is met de verbindingslijn (19) tussen de schaalverdelingen (7) en de meetkop (9).
NL8900750A 1989-03-28 1989-03-28 Inrichting voor het meten van een relatieve verplaatsing. NL8900750A (nl)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL8900750A NL8900750A (nl) 1989-03-28 1989-03-28 Inrichting voor het meten van een relatieve verplaatsing.
DE9090200677T DE69000943T2 (de) 1989-03-28 1990-03-22 Einrichtung zur messung einer relativen verlagerung.
EP90200677A EP0390261B1 (en) 1989-03-28 1990-03-22 Device for measuring a relative displacement
ES199090200677T ES2040032T3 (es) 1989-03-28 1990-03-22 Dispositivo para medir un desplazamiento relativo.
KR1019900003985A KR0139904B1 (ko) 1989-03-28 1990-03-24 상대 변위 측정 장치
JP02075804A JP3075727B2 (ja) 1989-03-28 1990-03-27 相対変位測定装置
US07/501,445 US5041785A (en) 1989-03-28 1990-03-28 Device for measuring a relative displacement of two objects, including a magnetic scale and two mutually perpendicular magnetic sensors which produce two independent phase displaced signals

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL8900750 1989-03-28
NL8900750A NL8900750A (nl) 1989-03-28 1989-03-28 Inrichting voor het meten van een relatieve verplaatsing.

Publications (1)

Publication Number Publication Date
NL8900750A true NL8900750A (nl) 1990-10-16

Family

ID=19854363

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL8900750A NL8900750A (nl) 1989-03-28 1989-03-28 Inrichting voor het meten van een relatieve verplaatsing.

Country Status (7)

Country Link
US (1) US5041785A (nl)
EP (1) EP0390261B1 (nl)
JP (1) JP3075727B2 (nl)
KR (1) KR0139904B1 (nl)
DE (1) DE69000943T2 (nl)
ES (1) ES2040032T3 (nl)
NL (1) NL8900750A (nl)

Families Citing this family (54)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
USRE36986E (en) * 1987-10-02 2000-12-12 Massachusetts Institute Of Technology Apparatus and methods for measuring permeability and conductivity in materials using multiple wavenumber magnetic interrogations
US5453689A (en) 1991-12-06 1995-09-26 Massachusetts Institute Of Technology Magnetometer having periodic winding structure and material property estimator
US5570015A (en) * 1992-02-05 1996-10-29 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Linear positional displacement detector for detecting linear displacement of a permanent magnet as a change in direction of magnetic sensor unit
FR2691534B1 (fr) * 1992-05-19 1994-08-26 Moving Magnet Tech Capteur de position à aimant permanent et sonde de hall.
US5391987A (en) * 1992-06-26 1995-02-21 Hitachi, Ltd. Synchronous position correction system for a linear synchronous motor train
US5525901A (en) * 1993-02-02 1996-06-11 Beaudreau Electric, Inc. Sensor systems for monitoring and measuring angular position in two or three axes
US5670879A (en) * 1993-12-13 1997-09-23 Westinghouse Electric Corporation Nondestructive inspection device and method for monitoring defects inside a turbine engine
DE69532396T2 (de) * 1994-02-28 2004-12-09 Koninklijke Philips Electronics N.V. Magnetfeldmessgerät
US5602681A (en) * 1994-04-11 1997-02-11 Sony Corporation Lens barrel for a video camera, and linear feeding system thereof
DE69502283T3 (de) * 1994-05-14 2004-11-18 Synaptics (Uk) Ltd., Harston Positionskodierer
US20030062889A1 (en) * 1996-12-12 2003-04-03 Synaptics (Uk) Limited Position detector
US6249234B1 (en) 1994-05-14 2001-06-19 Absolute Sensors Limited Position detector
US5497082A (en) * 1995-01-25 1996-03-05 Honeywell Inc. Quadrature detector with a hall effect element and a magnetoresistive element
DE19504229A1 (de) * 1995-02-09 1996-08-14 Festo Kg Positions-Sensoreinrichtung
US5917321A (en) * 1995-05-19 1999-06-29 International Business Machines Corporation Process and device for determining the magnetic characteristics of thin magnetic layers
US5793206A (en) 1995-08-25 1998-08-11 Jentek Sensors, Inc. Meandering winding test circuit
DE19600616A1 (de) * 1996-01-10 1997-07-17 Bosch Gmbh Robert Vorrichtung zur Detektierung von Auslenkungen eines magnetischen Körpers
US6788221B1 (en) 1996-06-28 2004-09-07 Synaptics (Uk) Limited Signal processing apparatus and method
JP2001508178A (ja) * 1997-01-06 2001-06-19 ジェンテク・センサーズ・インコーポレーテッド 地表下の対象物のマグネトメータおよびディエレクトロメータによる探知
US6486673B1 (en) 1997-01-06 2002-11-26 Jentek Sensors, Inc. Segmented field dielectrometer
US6781387B2 (en) 1997-01-06 2004-08-24 Jentek Sensors, Inc. Inspection method using penetrant and dielectrometer
CA2282650A1 (en) 1997-03-13 1998-09-17 Jentek Sensors, Inc. Magnetometer detection of fatigue damage in aircraft
DE19712829B4 (de) * 1997-03-26 2005-02-17 Sick Ag Vorrichtung zur Erkennung der Position eines beweglichen Gegenstandes
JP3726418B2 (ja) * 1997-04-18 2005-12-14 株式会社デンソー 回転検出装置
EP0985132B1 (en) 1997-05-28 2005-11-09 Synaptics (UK) Limited Method of and wire bonding apparatus for manufacturing a transducer
GB9720954D0 (en) 1997-10-02 1997-12-03 Scient Generics Ltd Commutators for motors
GB9721891D0 (en) 1997-10-15 1997-12-17 Scient Generics Ltd Symmetrically connected spiral transducer
ATE256865T1 (de) * 1997-10-29 2004-01-15 Jentek Sensors Inc Absolutmessung von eigenschaften mit luftkalibrierung
AU1405199A (en) 1997-11-14 1999-06-07 Jentek Sensors, Inc. Multiple frequency quantitative coating characterization
GB9811151D0 (en) 1998-05-22 1998-07-22 Scient Generics Ltd Rotary encoder
CA2352363A1 (en) * 1998-11-27 2000-06-08 Synaptics (Uk) Limited Position sensor
US6218828B1 (en) * 1998-12-21 2001-04-17 Caterpillar Inc. Sensing system for determining an articulation angle between two elements
US7019672B2 (en) * 1998-12-24 2006-03-28 Synaptics (Uk) Limited Position sensor
US6326782B1 (en) * 1999-03-15 2001-12-04 Delphi Technologies, Inc. Two dimensional magnetoresistive position sensor
EP1412912B1 (en) * 2001-05-21 2008-06-18 Synaptics (UK) Limited Position sensor
GB2403017A (en) * 2002-03-05 2004-12-22 Synaptics Position sensor
DE10210184A1 (de) * 2002-03-07 2003-09-18 Philips Intellectual Property Anordnung zum Bestimmen der Position eines Bewegungsgeberelements
US7907130B2 (en) * 2002-06-05 2011-03-15 Synaptics (Uk) Limited Signal transfer method and apparatus
GB0317370D0 (en) * 2003-07-24 2003-08-27 Synaptics Uk Ltd Magnetic calibration array
DE10334735A1 (de) * 2003-07-26 2005-03-03 Hübner Elektromaschinen AG Tragring für einen magnetischen Drehgeber
GB0319945D0 (en) * 2003-08-26 2003-09-24 Synaptics Uk Ltd Inductive sensing system
EP1701176B1 (en) * 2004-02-27 2014-06-11 Murata Manufacturing Co., Ltd. Prolonged magnetic sensor
US7173412B2 (en) * 2004-11-30 2007-02-06 Honeywell International Inc. Quadrature sensor systems and methods
DE102006061927A1 (de) 2006-12-21 2008-06-26 Siemens Ag Verfahren und Einrichtung zum Messen des Pollagewinkels eines Magnetschwebefahrzeugs einer Magnetschwebebahn
FR2911955B1 (fr) * 2007-01-25 2009-05-15 Electricfil Automotive Soc Par Capteur magnetique de position a variation trigonometrique.
US8570028B2 (en) 2007-05-10 2013-10-29 Cambridge Integrated Circuits Limited Transducer for a position sensor
DE102008026604A1 (de) * 2008-06-03 2009-12-10 Continental Teves Ag & Co. Ohg Hybrid-Sensoranordnung
US20120133357A1 (en) * 2009-06-26 2012-05-31 Continental Teves Ag & Co. Ohg Hybrid sensor arrangement
US9062989B2 (en) * 2010-12-15 2015-06-23 Nxp B.V. Magnetic field sensor for sensing rotation a reference component about the axis of rotation that is independent of alignment between the axis of rotation and the sensors
GB2488389C (en) 2010-12-24 2018-08-22 Cambridge Integrated Circuits Ltd Position sensing transducer
GB2503006B (en) 2012-06-13 2017-08-09 Cambridge Integrated Circuits Ltd Position sensing transducer
DE102013225806A1 (de) * 2013-12-12 2015-06-18 Continental Teves Ag & Co. Ohg Direktes Vermessen eines Stützfeldes in einem Drehzahlsensor
US11448659B2 (en) 2015-09-29 2022-09-20 Honeywell International Inc. AMR speed and direction sensor for use with magnetic targets
CN112344840B (zh) * 2020-10-28 2022-02-08 中北大学南通智能光机电研究院 一种基于隧道磁阻效应的高灵敏微位移检测装置

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5725766B2 (nl) * 1973-12-12 1982-06-01
JPS576962Y2 (nl) * 1974-07-26 1982-02-09
US4506220A (en) * 1980-11-10 1985-03-19 Canon Kabushiki Kaisha Temperature compensated magnetoresistive effect thin film magnetic sensor
JPS6145922A (ja) * 1984-08-10 1986-03-06 Hitachi Ltd 位置検出センサ
US4922187A (en) * 1987-02-13 1990-05-01 Appalachian Technologies Corporation Pulse initiator circuit

Also Published As

Publication number Publication date
KR0139904B1 (ko) 1998-07-15
DE69000943T2 (de) 1993-08-05
EP0390261B1 (en) 1993-02-24
EP0390261A2 (en) 1990-10-03
JP3075727B2 (ja) 2000-08-14
JPH02291969A (ja) 1990-12-03
EP0390261A3 (en) 1990-10-31
DE69000943D1 (de) 1993-04-01
KR900014889A (ko) 1990-10-25
ES2040032T3 (es) 1993-10-01
US5041785A (en) 1991-08-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL8900750A (nl) Inrichting voor het meten van een relatieve verplaatsing.
JP6926209B2 (ja) 距離センサ
US6300758B1 (en) Magnetoresistive sensor with reduced output signal jitter
JP3028377B2 (ja) 磁気抵抗近接センサ
US6201389B1 (en) Device for determining the angular position of a rotating shaft
US3993946A (en) Apparatus for measuring the direction and relative position between a body and a pick-up using a magnetoresistive pick up
JPH11513797A (ja) 位置検出エンコーダー
US20080164869A1 (en) Inductive Angular-Position Sensor
JP2003510611A (ja) 加速度発信機及び位置発信機を有する発信機システム
JP3397026B2 (ja) 磁気式回転検出装置
JP6928782B2 (ja) 磁気式位置検出装置
EP1817552B1 (en) Co-located sensing elements for quadrature sensor
JPH09152473A (ja) 磁気探知装置
JP2002544509A (ja) フラックスゲート・センサを使用する位置エンコーダ
WO2003046595A1 (en) Arrangement for determining the position of a motion sensor element
EP3151017B1 (en) Amr speed and direction sensor for use with magnetic targets
JP3352366B2 (ja) パルス信号発生装置
NL8803124A (nl) Inrichting voor het detecteren van de beweging van een onderdeel.
JP3487452B2 (ja) 磁気検出装置
US20060164076A1 (en) Magnetoresistive sensor
US4922198A (en) Displacement sensor including a piezoelectric element and a magnetic member
JP2001174286A (ja) 磁気エンコーダ
JP2003194901A (ja) 磁界センサ
JPH0458881B2 (nl)
JP2556851B2 (ja) 磁気抵抗素子

Legal Events

Date Code Title Description
A1B A search report has been drawn up
BV The patent application has lapsed