TW452499B - Process for purging a fluid delivery system of a fluid within the system, connector apparatus, system for purging a dispense fluid within a fluid dispensing system, and manifold construction - Google Patents

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經濟部中央梯準局負工消費合作杜印製 45 2^9 9 A7 ___J_______B7 五、發明説明（1 ) iUl申請案之朱昭 本申μ案係序號第〇8/678,795號申請案其後續申請案之' 一部份，該申請案係於1996年7月12日提出β 發明背景 本發明係關於連接器裝置，用於連接—流體輸送系統之 複數個元件；及包括該連接器裝置之系統。為控制工業製 程中之污染，具有一易於更換之可棄式流體分離模組之流 體分離裝置已有多年之使用歷史。該種裝置在許多產品 (包括藥劑、食品及飲科）之製造過程中係不可或缺之一部 份。然而，半導體製造業對於有效控制污染之需求度實為 各行業之冠。由於電路之細部铯計已進入次微米之範圍， 而進一步縮小電路設計之尺寸亦_為太勢之所趨，因此，對 於半導體製程中之微粒性、離子性、有機性或其他污染物 (控制’實有絕對之必要。此外，由於半導體裝置係在潔 淨室内製造，因此，減少製造環境中之潛在污染亦十分重 要。為此，半導體製程中大多採用可棄式之流體分離装 置，藉以減少製造線及潔淨室之污染。 於使用之當下（P〇U;pointofuse)接受處理之半導體製造 液包括’舉例而言，用於微影製程之化學物（微影化學 物）。微影化學物包括底塗層、黏著促進劑、光致抗蚀 劑、圓緣去除劑、抗反射塗層 '顯影劑、電介質等材料。 該等材料通常係經由一專用泵分送至矽晶圓上’並利用一 稱為旋塗法之製程，大致分送成—均句之薄膜。該等化學 物在使用當下之純度係影響產品良率之關鍵。 • 4 - 本紙乐尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公慶） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

經濟部中央標準局員工消費合作社印製 452499 A7 . B7 五、發明説明（2 ) 一般而言，流體分離裝置可分為兩種。第一種之流體分 離裝置，其包含有一過濾器之分離元件係一可更換之構 件，而容納該元件之壓力槽（亦即外殼）則可重覆使用。該 外殼内亦包含有複數個適當之流體連接，可連接至該流體 處理系統之其他部份。在更換該流體分離元件時，須將該 外殼開啟，取出該分離元件，將替換用之分離元件安裝於 該外殼内，再將該外殼關閉。此種流體分離裝置之缺點甚 多。第一，更換之操作十分費時，在該外殼之可及性受限 制時更是如此。第二，由於該外殼内裝有處理中之流體， 且由於該流體分離元件通常已:為該流體所浸透，因此經常 有流體溢出之情形.。若該流體具有危險性，則該流體之溢 出將對該區域内人員之健康造成-威脅，並有可能對鄰近之 設備及設施造成損害。最後，該外殼之開啟將使該流體處 理系統之内部表面暴露於四周環境之污染中。 第二種之分離裝置，其包含有一過濾器之分離元件係恆 久固定於其外殼，該外殼内亦包含有複數個適當之流體連 接，可連接至該流體處理系統之其他部份，以形成一完整 之模組。就此種分離裝置而言，在更換時須將整個分離模 组自該流體處理系統分離，再將一替換用之模組連接至該 系統。採用此一方式，則更換較為容易，操作員暴露於危 險化學物中之機率亦可降至最低，連接之可靠度可獲大幅 改善，而該流體處理系統受環境污染之程度亦可減少。該 種分離裝置稱為可棄式模組，因為無論所使用之連接器設 計為何，只要該分離元件有更換之必要，均可將整個模组 »· 5 — 本紙張尺度適用中國国家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 丁 '-a 4 5 2 4. 9 9 經濟部中央標準局員工消費合伟社印製 A7 B7 五、發明説明（3 ) 移除並丟棄=可棄式模組之多重連接通常須循序為之，最 少有兩個連接，—般而言則為三或四個。螺紋固定器之操 作不易，有時亦難以接合；此亦在後續動作中費時費工之 原因。'此外’在進行連接時，該模組須固定於定位，這使 連接之動作更不易操作，因為須同時進行兩項動作（亦 即：將該模组固定於定位、及循序安裝每一連接器）^最 後，連接至流體處理系統之恆久性連接若非剛性之連接 (例如係使用撓性之管系）’則流體有可能在連接處分離時 排出在更換可棄式模組時，上述之所有問題使費時費工 之情形加劇，此外’人員仍有:暴露於危險材料中之可能， 而製造環境亦有受污染之可能^ 二基於以上之原因，目前已有若干可棄式分離模組之設 =，其能以一”快速連接”之方式，快速而輕易連接至流 體處理系統。該種快速連接模組設有一組連接器，該组連 接器可藉由一單一而簡單之動作，以密封之方式接合至一 纽可與之搭配之連接器，該組可與之搭配之連接器係附著 於一可重覆使用之基體上。目前已有多種不同機構之設 叶，可達成快速連接之固定效果，但所有該等機構在相互 搭配之公、母連接器間仍須有某一形式之相對運動，通常 係扭動。 使用可棄式分離模組之流體輸送系統須定期將輸送中之 液體混合物加以沖洗及清除，使該系統得以輸送另一液體 物由於分離模组包含有原先所處理之液體混合物之 留存物，因此在沖洗過程中須予以替換。此外，由於分離 -6- 本紙張尺度朝中Kg家鄉（CNS) Μ規格（灿心7公 (請先S讀背面之注意事項再填寫本頁〕

經濟部中央標準局員工消費合作社印製 452499 A7 B7 五、發明説明（4 ) 模組係流體輸送系統不可或缺之一部份，因此在沖洗過程 中仍須設有一分離模組。在沖洗過程中所使用之分離模组 須在沖洗後予以更換’因其包含有在沖洗過程中自該系統 所移除之原液體混合物之留存物。由於分離模组十分昂 貴’通常超過一千美元，故此一作法並不理想。 因此’最妤能提供一裝置，用於沖洗及清除一液體輸送 系統中經處理之液體，而該裝置並不需使用分離模组D此 外’最好能提供一裝置，其能使該系統得以增設—分離模 組，而該系統則不需作其他之改變。 發明.總結 本發明提供一連接器裝置，可_替換—系統中之一分離模 組’該系統係用於分送經過濾後之流體混合物。該連接器 裝置包括流體入口裝置，其型態係與該分離模組之流體入 口裝置及流體出口裝置相同。該連接器裝置並無任何功 能，其作用僅為使流體通過其中。 本發明亦提供一系統，用於清除一流體分送系統中之流 Λ& ‘該系統包括一進給果、—分送系、及本發明之連接器 裝置。 圖示之簡單說明 •圖1為一流體分送裝置之透視圖’該裝置包括一分離模 組。 圖2為圖1所示裝置之歧管及分離模組之透视圖。 圖3a與3b為圖2所示模组之透視圖，顯示該分離模組其 與一模組接受器之連接。 本紙乐尺度適用中國國家標隼（CNS M4規格（2I0X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} "裝. 訂 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 4 5^499 A7 五、發明説明（5 ) 圖4a、4b、4c與4d顯示本發明之連接器裝置。 圖5顯示一系統，用於分送一經過濾之流體，讀系統使 用本發明之連接器裝置。 圖6a、6b與6c顯示一夾持具，用於本發明之連接器裝 置。 元件符號說明 1 微影化學物分送系統 2 可棄式過濾模組 3 歧管組塊 4 泵裝置外殼 5 模组接受器 -- 6 泵控制器 . 21 母流體連接器 21a連接器 22 凸緣 22a凸緣 23 外殼 24 突出物 24a突出物 25 公連接器 26 0形環 32溝槽 · 33 鉸鏈 34 彈簧閂鎖搭扣 -8 - 本紙張尺度適用中國國家標率（CMS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 452^99 A7 . B7 五、發明説明（6 ) 34a 手柄 34b 切口 35 凹口 36 扣柱 40 連接器裝置 50 進給泵 52 入口閥 53 隔離閥 54 遮障閥 55 導管 58 導管 60 分送泵 62 通氣閥 64 導管 66 清除閥 68 入口來源 70 導管 72 出口閥 74 出口導管 76 晶圓 80 夹持具 82 兩臂 84 凸緣 86 連接點 -9- (請先閱讀背面之洼意事項再填商本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 5 24 99 A7 ___B7__ 五、發明説明（7 ) 88彈簧臂 90 臂 92 開口 94 彈簧 96 溝槽 98 連接器 1〇〇連接器 4 0包括一凸緣22a，該凸緣之構造與圖2中之凸緣2 2相 同；及複數個突出物24a 特定具體t例之說明 本發明之連接器裝置可用於清_除一流體分送系統中之流 體，該流體分送系統包括一泵。該流體分送系統可包括一 單一泵或複數個泵，後者例如一二泵系統，其包括一分送 泵及一進給泵。此一系統在分送流體時包括一分離模組， 該分離模组具有一過濾器裝置，可將分送中之流體混合物 其中不應有之流體成分加以分離。本發明之連接器裝置可 替換一具有過濾器裝置之分離模组，其作法為：將該分離 模組與流體入口裝置分離，並將該模組之流體出口裝置與 該系統之複數支導管分離，該等導管係連接於該入口裝置 與該出口裝置。位於本發明連接器裝置之外表面上之入口 及出口，其構造係與其所替換之分離模組之外表面上之入 口及出口相同，如此，本發明之連接器裝置便可與該流體 分送系統之其他部份相容。 -10- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） _、/.私衣 訂 n (請先S讀背面之汶意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印装 452499 A7 |_B7 五、發明説明（8 ) 在此，本發明將特別參照—二泵流體分送系統加以說 明，薇系統包括-進給系、一分送系、及一分離模組，該 分離模組之入口裝置及出口裝置具有—特別之構造。然 而，本發明實可應用於所有具有—分離模組之流體分送系 統，不論位於該分離模組表面上之入口裝置及出口裝置其 外表面之構造為何。舉例而言，本發明之連接器裝置可用 於替換美國專利第5，167,837號、及第5,516,429號中之過濾 模組，遠過濾模组包括一過濾器及—過濾器外殼，該兩專 利以及之方式併入本文。此外，須知本發明之連接器裝 置亦可應用於使用單一泵或二展以上之流體分送系統。 本發明之連接器裝置其—大優點為：在清洗一流體分送 系統時，不必使用一包含有一過濾器裝置之分離模組^此 外’該連接器裝置之容積可縮小至可讓流體通過其中所需 之容積。因此，系統所需清洗液之用量可遠小於該分離模 组之内部容積。 舉例而言’本發明可應用於微電子製造業中微影化學物 於使用當下（POU)之淨化。基本上，微影化學物之分送泵 及POU流體分離裝置係置於一抽屜内，镇抽屜係安裝於旋 塗裝置之下方。有時每一抽屜内之泵數多達八個，這個嚴 重限制POU流體分離裝置之可及性，因為該等POU流體分 離裝置可能係緊密連接於該等分送泵，藉以減少不必要之 外部管線，並避免流體可能遭受之污染。分送泵及分離裝 置若能形成一完整之系統，一如美國專利第5,262,068號中 之發明（該項發明以提及之方式併入本文），則此種分送泵 -11 ^ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X2?7公釐〉 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) "裝· 訂 452499 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 i、發明説明（9 ) 及分離裝置將特別適用。在此一應用中，較佳之分離模組 須能讓使用者使用方便 '且能以快速連接之方式進行連 接。 圖1、圖2及圖3顯示可與本發明之連接器裝置搭配使用 之一流體分送裝置。圖1係一微影化學物分送系統1之透 視圖，該分送系統包括可棄式過濾模組2、歧管組塊3、 系裝置外殼4、.及模組接受器5。系裝置外殼4内裝有一進 給泵及一分送泵（圖5)。圖中亦可見泵控制器6，其能控 制進、出泵之電于及氣力訊號。該分送系統之設計及操作 均類似於美國專利第5,262,068號之發明。附著於泵4之歧 管組塊3可重覆使用，且根據其-設計，該歧管組塊可以相 互搭配之方式容納並固定模組2_，以下將有更為詳細之說 明。 圖2係可棄式模組2之透視圖、及歧管3其下部之局部剖 视圖’顯示模組2之所以能以快速連接之方式連接於歧管 组塊3之設計細節。模組2於其頂端具有三個母流體連接 器21 ’可與外殼23内之分離元件（未圖示）相通，供流體 通過。該分離元件可為美國專利第1262,068號中所說明之 平板膜型分離元件，最好可包括經共同讓與之美國專利第 5,762,789號中所說明之中空纖維膜，該項專利以提及之.方 式併入本文。連接器2 1係彼此分離、相互平行、且相互 獨立，如此，連接器2 1便能與歧管纽塊3上可與之搭配之 公連接器2 5以快速連接之方式進行密封接合。公連接器 2 5係泵4其流體通道之管狀延伸物且係位於泵4之最低部 -12- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公嫠） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) /裝.

，1T 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 452499 A7 , B7 五、發明説明（ι〇) 份。兩相互搭配之連接器2 1與2 5係藉由附著於每一公連 接器25上之〇形環26而形成流體無法進出之密封。附著 於外殼2 3上之凸緣2 2可將整個模组2加以定位，並使該模 组連同模組接受器5得以對準歧管组塊3，進而有助於維 持模組2其與歧管組塊3之密封式接合。在此一具體實例 中，凸緣2 2包括複數個突出物2 4，有助於將模組2精確放 置於模組接受器5内之定位，該標組接受器之設計即為容 納該可棄式模組β模組2上之連接器21及凸緣22，其尺 寸、形狀及位置可使模組2得以連同模組接受器5以一快 速連接之方式連接於歧管組塊3内。連接器21之其中之一 包括一進入外殼2 3之流體入口 _，一第二連接器2 1包括一 來自外殼23之流體出口。一第三連接器21則包括一通氣 孔，用於去除來自外殼2 3之氣體。若通氣並非必要，則 在與該通氣連接器形成流體連通之一導管内可使用一閥或 類似之裝置，藉以阻斷該通氣連接器内流體之流通》 圖3a與圖3b係模組接受器5之透視圖（在此二圖中，模 组接受器5已與泵4分離），該模組接受器係附著於歧管組 塊3 ’圖中可見位於該模組接受器5内之模組2。凸緣2 2可 與接受器本體内之一對溝槽3 2相搭配。該模组接受器係 由複數個鉸鏈3 3附著於歧管組塊3，該等鉸鏈可容許有限 度、且大致為線性之垂直運動，此一運動使可棄式模組2 可以密封之方式接合於歧管组塊上之公連接器25(抑或與 之分離）。該模組接受器另由一彈簧閂鎖搭扣3 4附著於泵 4，該問鎖搭扣之一端形成—手柄34a，其相反之一端則具 -13- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210·〆2?7公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 452499 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（H) 有一半圓形之切口 34b，可與扣柱3 6上之凹口 3 5聯鎖’該 扣柱係附著於歧管组塊上。此—設計可在安裝完成後維持 該模组與該泵之密封式接合。閂鎖搭扣3 4可水平滑動（亦 即可進、出圖3b之平面），藉以自該扣柱上之凹口解扣， 使接受器5知以藉叙鍵33而向下輕轉，以便更換模組。當 相互搭配之連接器彼此分離時，切口 3朴將於受拉狀態下 抵住扣柱3 6。 更換可棄式過濾模組2之方法為：將手柄34a向前拉，亦 即大致垂直於將母連接器21接合於公連接器25所需之運 動方向。此一動作將使閂鎖搭扣3 4自扣柱3 6解扣，並使 模組接受器5其未經鉸鏈固定之一端得以脫離泵4，使整 個模組2得以藉鉸鏈3 3而向下摇_轉，樞轉之距離足以使該 模組上之連接器21脫離其與歧管組塊3上與之搭配之連接 器25之密封式接合。在將模組接受器5降至此一位置後， 模组2便可滑出溝槽3 2 ’並自該分送系統取出。隨後即可 將一替換用之過滤模組插入溝槽3 2内，再將模組接受器5 向上樞轉’以便將連接器2 1與歧管组塊上與之搭配之連 接器25進行密封接合。在替換用之模組2已完成其與之搭 配之連接器25之金封接合後’切口34b將自動鎖扣於凹口 3 5内’如此便可在流體處理之過程中，維持該過濾模组 與歧管組塊之密封式接合。 由如述有關拆除及安裝過遽模組2之說明可知，若欲將 相互搭配之連接器21與25加以接合並密封，需藉由一大 致為線性之第一運動，該第一運動之方向係平行於定義連 -14- 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) :裝- 訂 452499 竣濟部中央標牟局員工消費合作衽印製 A7 B7 五、發明説明（12 ) 接器本體之轴β其次便可藉由一大致為線性之第二運動’ 將相互搭配之元件予以聯鎖，並使模組因而固定，但相互 搭配之連接器間並無相對運動，且該第二運動係垂直於該 第一運動（該第一運動係對應於連接器之接合及密封）。此 外，此一快速連接之設計顯然可讓可棄式過濾模組2其頂 端之所有連接器均得以同時進行連接及密封。但即使模组 接受器5係沿一較大之圓弧擺動，由此一設計所衍生之優 點顯然同樣存在；相互搭配之連接器即使在某種程度上係 循序接合，但只要其接合及固定之動作快速而簡易，足以 視為一種π快速連接"，則由此一設計所衍生之優點顯然 亦同樣存在。 -_ 如圖4a' 4b及4c所示，本發明之連接器裝置包括一 凸緣22a，該凸緣之構造與圖2中之凸緣2 2相同：及複數 個突出物24a，該等突出物之構造與突出物24相同。連接 器2la之構造及間距均與圖2所示之連接器2〗相同，可與 公連接器25進行密封式之接合，一如前文中圖2之相關說 明。 如圖4d所示，連接器裝置4〇之内部容積遠小於可棄式 過濾模组2之内部容積。之所以如此係因該連接器裝置係 一無功能之裝置’其内之容積可縮減至導管42、4；3、44 與45之容積。 包含有可棄式過濾模組2之流體分送系統，其操作方式 將參照圖5而加以說明。第一步：一進給泵5 〇可在入口閥 52開啟時，經由導管51將—流體自一儲存容器（未圖示） 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） (請先聞讀背面之注意事領再填寫本頁) .裝-

,1T 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 45 2499 A7 __：____B7 五、發明説明（η) 抽入泵50之—進給室内。第二步：隔離閥53及遮障閥54 將開啟，而入口閥52則將關閉’泵50將啟動，藉以將流 體經由導管55擠入模组2内。經過濾之流體在泵5〇之作用 下，將經由導管58而自模組2移出◎如此一來，經過濾之 流體便將注入分送泵6 〇中之一分送室。 第二步為.遮障閥5 4將關閉，而通氣閥6 2則將開啟。 進給泵5 0將啟動，藉以將少量之流體及其中之所有微泡 沫經由導管6 4擠出模組2外。 第四步為·遮障閥5 4將關閉，而清除閥6 6則將開啟， 分送泵60將經由導管70，把來自泵6〇之分送室内之少量 流體擠回入口來源6 8。此—步磲可確保用於分送之流體 不具有潛在之微泡沫。 第五步為·清除閱6 6將關閉，而隔離閥5 3則將開啟， 靜待進給泵5 0及系統達到周圍壓力。此時’該系統即可 開始分送流體。 第六步為：出口閥7 2將開啟，而分送器泵6 〇則將啟 動，藉以將其内之流體經由出口導管7 4分送至晶圓7 6 上。在此一分送流體之過程中，進給泵5〇及分送器泵 可彼此獨立操作。 .若準備將分送中之液體混合物加以清除（例如在需要分 送一第二液體混合物時可以連接器裝置4 〇替換模组 2。上述用於分送流體之六步驟將改用清洗液而重新操 作，藉以清除整個系統中之分送用流體。任何其他之系列 步驟若能確保清洗液能流經整個系統、確保能將分送液加 -16 · 本紙伕尺度適用中國國家標準（CNS ) Μ規格（ηοχΜ7公廣） (请先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) .裝· 訂 452499 A7 B7 五、發明説明（14) 以/fil除，則該步驟亦可加以使用。 在系統清洗完畢後，便可將本發明之連接器裝置更换為 一新模組2 ’而上述之分送程序則可重新加以操作，藉以 將系統中之清洗液清除，並進行一第二分送液混合物之分 送。 參考圖6a、6b與6c，圖示顯示一夹持具8〇，該夹持具 之構造可將連择器4〇(圖4a)固定於定位，以便與—流體 輸送系統（未圖示）進行流體連通。夾持具包括兩臂 8 2 ’樞接於凸緣8 4之連接點8 6。如圖6所示，該兩臂8 2 係藉由彈簧臂88固定其相對於凸緣S4之位置，該彈簧臂 具有一臂9 0，該臂9 0係藉由彈簧9 4壓入一開口 9 2中。 將臂88拉起便可將臂90自凸緣84釋放，此一動作將使 臂8 2知以繞連接點8 6而樞轉’如圖6 c所示。此時，連接 器40係位於兩臂S2中每一臂之溝槽96中’而每一臂82均 可臂90鎖入孔92後，容納凸緣22a(圖4a)，使連接器21a 之位置可與連接器98形成密封式之流體連通。隨後，每 一連接器98便可經由連接器1〇〇而與導管（未圖示）形成流 體連通。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家橾隼（CNS ) Α4規格（21〇Χ297公釐）

Claims (1)

1. 452499 A8 B8 CS D8 六、申請專利範圍 1. —種用於清除一流體輸送系統内之一流體的方法，該系 統包括用於泵打該流體之裝置、及一分離模組，其包括 一過濾裝置：該分離模组於其外表面上具有一入口裝置 及出口裝置之構造，用於將流體輸送至該分離模组内， / 及將流體自該分離模組移出；該方法包括： 以一連接器裝置替換該分離裝置，該連接器裝置於其 外表面上所具有之入口裝置及出口裝置，其構造係與該 分離裝置之外表面上之入口裝置及出口裝置之構造相 同， 該連接器裝置包括一流體通道，連接其外表面上之入 口裝置及出口裝置， - 及啟動該用於泵打之裝置，使一第二流體通過該系 統，藉以將該第一流體自該系統中清除。 2. —種用於清除一流體輸送系統内之一流體的方法，該系 統包括一分送器泵，用於自該系統分送流體；一進給 泵，用於將該流體導入該系統，並將該流體輸送至該分 送器泵：及一分離模組，其包括一過濾裝置，該過濾裝 置係位於該分送器泵及該進給泵之間，用於過濾由該進 給泵輸送至該分送器泵之流體，該分離模組於其外表面 經濟部中央標準局員工消費合作社印掣 (诗先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} .上具有一入口裝置及出口裝置之構造，用於將流體输送 至該分離模組内，及將流體自該分離模組移出；該方法 包括：. 以一連接器裝置替換該分離裝置，該連接器裝置於其 外表面上所具有之入口裝置及出口裝置，其構造係與該 -18- 本紙乐尺度適用中國國家榇準（CNS ) A4g ( 210X297公釐） S2499 韶 C8 . Dg 六、申請專利範圍 分離裝置之外表面上之入口裝置及出口裝置之構造相 同， 該連接器裝置包括一流體通道，連接其外表面上之入 口裝置及出口裝置， 及啟動該進給泵及該分送器泵，使一第二流體通過該 系統，.藉以將該第一流體自該系統中清除。 3. —種連接器裝置，可替換一流體分送系統中之一分離模 組，該系統包括一進給泵、該分離模组、及一分送器 泵；該連接器裝置包括： 該分離模組與該連接器裝:置於其外表面上具有構造相 同之入口裝置及出口裝置，- 該連接器裝置之入口裝置及出口裝置係經由該連接器 裝置内之一開放式流體通道而形成流體連通，該流體通 道不具有過濾裝置。 4. 如申請專利範圍第3項之裝置，其中該入口裝置及出口 裝置係由三個連接器所组成。 5. —種用於清除一流體分送系統内之一分送用流體的系 統，該系統包括： 經濟部中央標隼局員Μ消費合作社印製 (請先閎讀背面之注意事項再填寫本頁) 泵裝置，用於自一流體分送系統分'送流體：並將流體 導入該流體分送系統， 一連接器裝置，位於該流體分送系統内， 該泵裝置及該連接器裝置可作流體之連通， 該連接器裝置在該流體分送系統肉可與一具有一過濾 器之分.離模组互換，且 -19- 本紙乐尺度逋用中國國家揉準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 462499 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 該連接器裝置不具有過濾器。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 6. —種用於清除一流體分送系統内之一分送用流體的系 統，該系統包括： 一分送器泵，用於自一流體分送系統分送流體； 一進給泵，用於將流體導入該流體分送系統， 一連接器裝置，位於該進給泵與該分送器泵之間， 該進給泵、分送器泵、及連接器裝置可作流體之連 通， 用於將流體導入該進給泵之裝置， 用於將流體自該分送器泵移出之裝置， 該連接器裝置在該流體分送系統内可與一具有一過濾 器之分離模組互換， _ 該連接器裝置不具有過濾器。 7. 如申請專利範圍第6項之系統，其中該連接器裝置包括 三個連接器，藉以在該進給泵、該分送器泵、及該連接 器裝置間形成流體連通。 8. —種歧管構造，用於使一流體處理模組可與一流體進給 源及一流體出口導管形成流體連通，該歧管構造包括： 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 —歧管外殼，包括用於將一流體處理模組固定於該歧 .管外殼内之裝置， 用於將該流體處理模組鎖於該歧管外殼内一第一位置 之裝置.， 用於使（a)該流體處理模组之一流體入口可與該流體進 給源形,成密封之關係、並使（b)該流體處理模組之一流體 -20- 本紙張尺度通用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X：297公釐） 452499 A8 BS C8 D8 經濟部中央標準局貝工消費合作社印裳 六、申請專利範圍 出口可與該流體出口導管形成密封之流體聯通之裝置， 及 用於將該流體處理模組自該第一位置釋放之裝置。 9·如申請專利範圍第8項之歧管構造，其中該流體處理模 组包括一通氣孔，可在該流體處理模組位於該第一位置 時’與一通氣孔出口導管形成流體密封之關係。 10.如申請專利範圍第8項之歧管構造，其中該流體處理模 组係以可滑動之方式安裝於該歧管外殼内。 11‘如申請專利範圍第9項之歧管構造，其中該流體處理模 组係以可滑動之方式安裝於該歧管外殼内^ 12. 如申請專利範圍第8項之歧管構造，其中用於固定該流 體處理模組之該裝置係以樞接之方式安裝於該歧管外 殼。 13. 如申請專利範圍第9項之歧管構造，其中用於固定該流 體處理模組之該裝置係以樞接之方式安裝於該歧管外 殼。 14. 如申請專利範園第1 〇項之歧管構造，其中用於固定該 流體處理模組之該裝置係以樞接之方式安裝於該歧管外 殼。 15. 如申請專利範圍第！ 1項之歧管構造，其中用於固定該 流體處理模組之該裝置係以樞接之方式安裝於該歧管外 殼。 -21 - 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ，裝. -訂