TW443990B - Process for krypton and xenon extraction - Google Patents

Description

443990 A7 B7 經濟部中央榇準局員X消費合作社印製 五、發明説明 ( f ) 1 1 本 發 明 傣 醑 於 —* 種 氪 和 / 或氬 的萃 取方 法 〇 例如，在 1 1 低 溫 的 空 氣 分 離 單 元 中 t 氪 和氙 可被 濃縮 成 氪 -氙溴縮 1 1 物 * 缺 後 就 可 藉 由 蒸 皤 的 方 式將 氪和 /或 Μ i 氪-氙瀑 '~·. 請 1 先- 1 缩 物 中 萃 取 出 來 〇 閲 讀 1 1 在 空 氣 中 之 氪 和 M, 等 鈍 氣 ,只 有在 空氣 分 離 單元中處 背 面 1 I 之 理 極 為 大 量 的 空 氣 時 1 才 有 可能 以約 1 Ρ ρ η Κ r及 0*09ppn 3. 意 1 孝 i Xe 之 份 量 將 其 萃 取 出 來 Ό 氪 和競 的沸 點分 別 為 1201(和 項 再 1 165K 左 右 9 亦 m 其 沸 點 遠 髙 於氣 、氣 和其 它 種 鈍氣的沸 填 寫 本 1 裝 點 0 因 此 t 在 一 般 常 用 的 雙 塔器 中， 氪 和 氙會與多 1 | 種 烴 類 一 起 累 積 於 液 態 氣 中 。雙 塔式 精豳 % 統 為此領域 1 1 所 習 知 的 糸 統 〇 其 相 關 資 料 可參 考（例如） 工 業 化學百科 1 1 全 書 (1 988年）， Β3冊 BB 単 元 操作 II, 第20 -32 頁至 20-40 1 訂 頁 〇 1 為 了 進 行 Kr /Xe的萃取， 需將- -部分富含K r/ Xe的液 I 1 態 氣 白 雙 塔 式 精 餾 条 統 的 主 要冷凝器 中移 出 ， 並且將其 ί I 通 入 氪 濃 縮 塔 ύ 妖 後 就 可 在 氪濃 縮塔 中獲 得 含 有約1體 1 1 積 % 的 Kr > 約 0 . 5體積％的烴類和0.1 體積 % 的 X e的氪-岛 %% | 濃 縮 物 0 而 氪 -氙濃縮物的主要成份為氣。 1 I Kr 和 Xe 的 最 大 濃 度 由 殘 留在 濃縮 物中 之 烴 類，待別 1 1 是 甲 院 的 點 火 界 限 (i g η it 1 0 η 1 ί Ώ i t S )來決定。 由於它 i 們 的 揮 發 性 低 » 烴 類 在 精 餾 時亦 會被 濃縮 於 液 態氣中。 1 I 當 超 過其默 界 限 時 (如果是甲烷， 其點火界限含量約為 - 1 I 5 體 積 % 之 甲 院 ), 這些烴類在有氣氣存在時會形成一 1 I 種 燔 炸 性 的 混 合 物 0 因 此 » 為了 確保 不致 到 逹 危險性甲 1 1 1 3 1 ί 1 1 本紙伕尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐〉 4439 9 Ο Α7 Β7 五、發明説明（> ) 烷嬝度（卽使是局部濃度故障或条統暫時停機情況下）， 實務上常使其安全傜數維持在至少10以上，亦即甲烷的 最大含量限制在0.5體積％的範圍内。 通常，《自氪濃缩塔的濃縮物將會在超臨界的壓力下 蒸發，加熱至約5001C.逋且流經一種觸媒，藉此烴類 會被分解成水蒸汽和二氣化硪。然後以分子篩將水蒸汽 和二氣化硪自所得的濃縮物中移走。接箸，氣氣將由另 一個蒸皤塔中移出，而萃取出高濃縮的氪-氙濃縮物。 在接下來的氪-氙精豳步驟中，氮將自精餾塔的頂部流 出，而不含氪的氙則將由底部排出。 如前所述，在低溫空氣分離簞元中萃取氪和氬時，其 濃度約可提高10s或1〇8倍。在這樣的情況下，空氣中 撤蛋的雜質也會被濃縮。此類雜質主要為溫室氣體，如 CF 4 、 CFC 1 a 、 CF 2 C 1 2、C 2 F 6 ΪΡ SF 6 。 經濟部中央標準局—工消費合作社印製 (讀先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 含氣和含氛之烴類或是氟氛硪化物（CFCs)皆具有非常 良好的熱穩定性。舉値例子，在常壓之下，CP4只會在 9〇ου以上的高溫才會進行熱分解。此種分解溫度雖可 藉箸使用觸媒而降低，但是硪氟化物之降解卻會損壞SS 媒。所以在低溫的空氣分離單元中，先前證明並不適合 吸附去除CFCs,因為習知分子篩對CFCs的吸附力不佳， 並且，它運會損鹿此吸收劑。 因此，氪和氙含有相當數童雜質，該等雜質並不能預 先以催化分解或吸附的方式來加以去除。 本發明的目的之一就是提供一種前述類型之方法，其 本紙張尺度通用中國國家標準（CNS > A4規格（2IOX297公嫠） ^43330 A7 B7 經濟部中央榡準局員工消費合作社印製 五'發明説明 ( ΐ ) f 1 能 夠 萃 取 出 非 常 純 之 氪 和 / 或 而 將 其 中 含 氣 -和/或 1 1 含 氣 的 雜 質 (如氟硝化物， CF 1和SF 3 ) 去 除 Q 1 1 習 於 本 領 域 技 U 者 ， 在 進 一 步 的 了 解 本 申 請 書 和 所 提 請 1 先 出 之 串 請 專 利 範 圍 後 t 白 當 合 非 常 清 楚 本 發 明 的 其 它 巨 閱 讀 ! 的 和 優 點 〇 背 i 1 之 依 照 本 發 明 所 提 出 之 方 法 * 可 使 用 一 種 含 葉 矽 酸 鹽 的 >王 意 1 1 固 態 吸 著 m 來 純 化 氪 -氙潺縮物、 氪氣流和/或氙氣流 事 項 再 1 1 9 而 達 到 上 述 的 t 使 用 該 吸 著 劑 之 後 ， 可 i 氪 填 寫 本 1 裝 縮 物 * 氪 氣 流 和 / 或 每 氣 流 中 去 除 含 氟 -和/或含氛之 頁 -S_-- 1 I 雜 質 特 別 是 氟 碩 化 物 CF 4 和 / 或 SF Θ 0 吸 著 m 中 所 1 1 含 葉 矽 酸 鹽 的 量 最 好 是 至 少 約 10 重 置 % 以 上 S 又 以 約 50 t 1 重 量 % 以 上 為 更 佳 〇 而 適 合 的 含 葉 矽 酸 鹽 吸 著 劑 可 獲 g 1 訂 德 國 Is m a n i n g 的 CS -G nbK Ha lb 1 e it e r -U n d 1 So I 8 Γ t e c h η 0 1 〇g i e 公 司 〇 1 I 以 含 葉 矽 酸 鹽 吸 著 劑 來 處 理 的 氣 流 中 » 最 好 是 含 有 約 1 1 99 .9 體 積 % 的 氪 或 99.9 體 積 % 的 氣 或 者 是 氪 / 氙 的 總 1 1 含 量 約 為 gg .9 體 積 % » 例 如 約 8096 的 氪 和 約 20¾ 的 氛 〇 味 | 在 以 含 m 矽 酸 鹽 吸 著 剤 來 處 理 的 氣 流 中 » 其 含 氟 和 / 1 I 或 含 氣 雜 質 的 量 將 由 數 種 因 素 來 決 定 9 例 如 * 在 X 廠 座 1 落 處 的 當 地 空 氣 中 含 氣 和 含 氯 雜 質 之 總 量 0 在 待 處 理 的 1 I Kr / Xe 氣 流 中 9 最 好 是 含 有 低 於 約 ΙΟΟρ Ρ Ώ 的 CF 4 和 少 於 1 1 r ΙΟΟρ P 11 的 SF 6 0 此 外 ， C 2 F 6 的 含 量 也 以 低 於 20 P P η為 - [ 1 宜 〇 1 1 如 同 德 國 專 利 申 諳 書 DE 5 -A -44 04 329中 所 掲 m T 含 m 1 1 1 i 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > A4規格（2IOX 297公釐） 443990 Λ7 _______B7 ___ 五、發明説明（4 ) 矽酸鹽之吸箸劑早就曾匾用於其它專業領域，也躭是由 化烴類（例如冰箱的CFC冷卻剤 > 的處置方法中。現在， 我們很驚訝的發現：使用這種皈箸_可以非常輕易地將 具有萃取鈍氣之低溫空氣分雄單元中所萃取出的氪-¾ 濃縮物、氪和/或氙加以純化。 在以含II矽酸鹽的吸著劑進行鈍化處理之前*最好先 將Kr/ Xe氣流中所含的烀類去除，例如進行烴類的催化 分解，並且接箸以分子篩去除水蒸汽和二氣化硝。在任 何情況下，經過催化分解作用和去除水蒸汽及二氣化磺 之後·殘留在欲以含藥矽酸鹽之吸着劑來處理的氣流中 之烴含量最好不要超過約2〇PPb。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本萸) 依照本發明，氪-氙濃縮物、蒸皤後萃取出的氪産物 流和/或蒸臃後萃取的氙産物流傜直接流經一種含藥矽 酸鹽的吸箸劑。在這種吸着劑中，氪、氙或其混合物中 的含氣或含氣雜質皆因化學趿附作用而結合在—起。特 別是，即使在高溫和髙氣氣含量下也無法以傳統择媒來 加以破壊的氟硪化物（例如CF4、CC12 F2或CC13 F)以 及SFe ,也會被分解或是永逮的結合在一起。在吸箸劑 中，於化學反應期間所生成的含氟分解産物也會永遠且 且不可逆地被吸箸。因此，自吸箸劑所流出的鈍氣或鈍 氣混合物皆不含氟和氣之化合物，而這些化合物原先是 不能或者是很難被去除的。 到目前為止，一般的的氪氣最終産物流中仍含有高逹 IOOpp·的CF4雜質.而氙氣最終産物流中也會含有高逹 本紙浪尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公f ) “39 90 A7 B7 五、發明説明（： ΙΟΟρρι«的SFe雜質。但若使用本發明之方法，谷可以萃 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 ，超 下中 ^ -箸 成。化後 t 如磺低 來交一 時不 況流 隨 生水氣之 Μ 例化地 劑可另 化含 情物 卩伴 解和二化 jc氧佳 附劑 - 純中 同除。ic 時 分氣到純 Μ 物二較 吸附時 宜 中 行流 不去驟 Μ 有同 會氣受過 産、量 篩吸汽 進體 種在步 Θ 含能 ，的會經 U 終水趙 子些 Μ 來氣 兩，離ΡΡ中好 時量將中 U 最除質 分這水 式合。的是分50流最 應微氣劑/¾的去雜 以。和 方混 〇〇 氣但的約的 6 反出氙箸0/純箸之 是劑硪 的氙SF含。氣過理卩 學排或吸 Μ 常接含 好附化 觸/ 不除氣超處 C 化會/在 Η 非且所 最吸氣 接氪ΡΡ或去過不被之so行也和 得並中 除篩二 劑或氣的行以果在?r進中氪此 f 製觸流 去子附 。箸氙m.含質進量如存 W 中質的因Ρ/以接氣 的分吸 物吸、 中雜經氣。耳罾劑介出。Μ ,劑物 碩値在 産之氪 W流氛已含佳莫 Η箸劑流染氣著産 化二一 終鹽物 Η 物含是的更毎 Η 吸箸所污^ 氣吸， 氧用之 最酸産 4 理或好中為於 Η 在吸劑的 Η 或鹽後 二使中 的砂之F4處 / 最流ΡΠ對5¾物而箸氣 ψ \ 酸之 或會其 純葉生 e 被和.氣1P内0.化。吸氣氪和矽氣B0/ 常當 常與産pn在氟時理約流約磺磺由和自磺葉氣PP和通 , 非由地1P以含質處過物少氟化，水次化與或10份。用 出藉佳約可行雜被超在至當氣此、再氣在 \ 約水行使 取較出 進的 不則有 二因磺，二 ，和於 進替 (請先閣讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（2丨OX297公釐） Α7 Β7 五、發明説明（b ) 傾可進行再生。活性，邸欲用於圾附之分子篩的操作S 度基於水之存在最好是fcfc水的凝固點高一些。在這樣的 情況下，空氣中的水蒸汽含置最少，因此也可将需被吸 附之水蒸汽的含量降到最低。藉著將吸附之水蒸汽和二 氣化硪數最滅至最少的方式，可使得分子篩的使用壽命 ,亦即分子篩可用於吸附而無需再生之時間，加以延長。 依照本發明之方法，經過純化之後，在氪、氙或氪-氙驀縮物中所含的氣氣最好是以與Ni-Cu接觸的方式來 自氣釀或氣醱混合物去除。在與含藥矽酸鹽之圾著劑接 觴之後，可於任何時間藉由將該鈍化氣體舆Hi-Cu接觸 ，以去除氣氣。例如，其可在水蒸汽和/或二氣化硪去 除去除之前或之後來進行。然而•其中仍以去除水蒸汽 和/或二氣化磺之後再去除氣氣為佳。 當藉由含藥矽酸鹽之吸箸劑來進行氣-氬濃縮物和/ 或氪和/或氙的純化時，其在大約1巴-10巴的壓力下 操作，特別以約2巴-3巴之間為桂，可達到特別良好 的純化效果。 經濟部中央橾準局貝工消费合作社印家 {請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

至於溫度方面，經由證實得知：以含葉矽酸鹽之吸箸 劑來進行氪-氙滠缩物和/或氪和/或每的純化時，其 溫度以介於約300t：-600t：之間•待別是約450TC-5501C 之間為佳。 依照本發明使用含葉矽酸鹽純化之方法，此純化操作 以在氪-氙禳縮物被分離成氣氣和氣氣之前進行為佳。 這樣一來，箪在一宿純化步驟中卽可同時去除氪和氙中 本紙依尺度適用中國國家標準（（：阳>/^規格（210><297公釐） 9 ο A7 丨 8ai· B7 . ， 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 五、發明説明 ( 9 ) — -^.+.- 1 翕 1 1 的 含 氣 -和含氣- 雜 質 〇 因 此 9 並 不 m 要 將 本 發 明 之 純 化 1 1 方 法 中 使 用 的 所 有 裝 置 皆 設 計 成 雙 功 能 性 的 裝 置 0 1 1 然 而 f 依 照 本 發 明 之 方 法 9 各 別 純 化 産 物 氪 和 氣 » 而 請. 1 先 J 非 純 化 此 兩 種 鈍 氣 的 濃 縮 混 合 物 亦 有 優 點 〇 在 湊 縮 混 合 閱 讀 1 1 物 的 純 化 過 程 中 1 其 它 的 物 質 (例如C F 4和S F 3 ) 皆 被 束 背 面 1 I 之 1 m 在 吸 箸 劑 中 〇 如 果 吸 著 劑 已 為 某 一 種 該 等 物 質 所 飽 和 注 意 ! 事 1 (例如C F - t ) » 則 需 將 此 吸 箸 劑 兀 金 換 掉 即 使 是 其 仍 能 項 再 1 吸 箸 其 它 雜 質 (例如SP f ) 〇 然 而 m 各 傾 産 物 在 氪 -氣分離 填 寫 1 φ. 之 後 被 純 化 時 9 基 本 上 氪 中 只 移 除 CF 4 t 而 贏 中 只 移 除 頁 1 I SF 6 〇 在 這 樣 的 情 況 下 3 可 待 別 m 定 各 種 不 同 的 吸 箸 劑 1 1 * 以 *=!=» 兀 金 利 開 該 趿 收 劑 的 吸 箸 容 量 0 1 ί 圖 式 簡 HB 単 説 明 1 訂 經 由: 第 I圖之說明 » 將 可 對 本 發 明 的 其 它 待 性 和 優 點 有 1 更 深 入 的 了 解 * 其 所 棲 示 的 是 萃 取 氪 和 氣 之 空 氣 分 離 單 1 1 元 的 部 分 製 程 圖 〇 1 I 在 前 面 所 述 的 内 容 和 以 下 的 實 施 例 中 1 所 有 的 溫 度 皆 I 1 為 摘 氏 溫 標 * 並 且 > 除 非 特 別 提 及 f 所 有 的 份 數 和 百 分 線 1 比 皆 為 以 重 量 為 基 準 0 1 I 以 上 及 以 下 所 引 用 之 所 有 應 用 、 專 利 和 出 販 物 » 以 及 i ί 1 997 年 3 月 4 B 所 提 出 串 諳 的 德 國 專 利 申 諳 書 第 19708780.9 1 號 中 的 整 體 掲 露 内 容 t 在 此 皆 一 併 列 為 參 考 内 容 ΰ 1 I 發 明 詳 述 1 1 白 氪 濃 縮 塔 (圖中並未顯示） 中 萃 取 出 的 氪 -氙濃縮物 I I 將 被 加 熱 至 約 500 t . 並且流經--9 - -個貴重金靨燃燒觸媒 I 1 1 1 1 1 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公痠} ^43990 Α7 Β7 五、發明説明（8 ) (圖中並未顯示），其可使得濃縮物中的甲烷完全被分解 。在此分解反鼴中所生成的産物-水和二氣化磺，將在 分子篩趿附劑（未顯示）中被吸附。 然後在熱交換器1中使氪-氬濃縮物加以冷卻，並且送 料至第一氪塔2中。由於氣氣的沸點比氪和氙為低，因 此它可在塔2的頂部3排出。在氪氣塔2之底部獲得高 度濃縮且大致無氣的氪-氙混合物，不過卻帶有撤置的 雜質如CF4或SFe,該等雜質並無法被上游的臃媒和吸 附劑所去除且也被磨縮。 然後再將由塔2移出的氪-氬濃缩物進料至吸箸剤5 中，其中該吸箸劑含有至少10%且更佳為超過50%的葉 矽酸鹽。濃縮物中所含之雜質將因化學吸附作用而不可 逆地與吸箸劑5結合。此反應傈反應在大約2-3巴的壓 力下，待別是在約2.5巴的壓力下。而溫度的範圍則是 在約45010-550¾之間，又以髙逹500t：為佳。在吸著劑 5中，濃縮物中的所有殘留雜質皆會被去除。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 然而，在吸著劑5中所發生化學反應的過程中，會生 成分解産物-二氧化磺。水蒸汽和氣氣也會出現在自吸 著_5所排出的氣流中。為了去除二氧化磺和水蒸汽， 自吸著劑5所排出之氪-氬濃缩物流經分子篩吸附器6。 如圖中所示，這些吸附器6最好是能有兩値分子篩吸附 塔交替運作，亦即，當一値在進行吸附操作時，S —個 可進行再生。 .分子篩吸附器6最好能以氣氣進行再生。經過再生之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4現格（2!0Χ297公釐） 44399〇 A7 B7 五、發明説明（9 ) 後二：低 6 空 器清 附來 吸丨 篩 子 分 物 容 内 之 示 顯 未 中 板瓶 燒燒 球球 氣氣 種此 1 在 至。 移空 被宾 會成 丨抽 被 且 並 至 收失 回損 被的 將成 體造 氣所 的中 集程 收過 中 序 程 離 分 氣 空 的 氙 和 氪 是 其 尤 將最 可至 此降 因失 .損 至 送 物 缩 讒 的 塔 附 吸 飾 子 分 自 來 將 再 後 然 觸 接 的 中 物 縮 濃 氙 物 港 濃 化 純 的 出 氪流 除所 去中 來 7 用器 作觸 化接 氣由 由將 藉再 將著 中接 其 。 ，氣 中氣 7 量 器撤 非非 出出 取取 可可 ο 9 1 端部 頂底 的的 8 8 塔塔 腺 腺 精精 由由 〇 且 中並 8 I 塔流 餾物 精産 値氣 一 氪 另的 入純 送常 物的 應似 反類 的到 定得 特可 或 ， 般時 一 例 之實 及述 提前 所行 例進 施覆 實重 述來 前件 。於條 氣明作 氙發操 的本或 純以 \ 常 和 解 了 地 易 容 很 容 内 述 敘 的 面 前 由 可 將 者 替 C 技 果本 结於 好習 良 況種 情各 的做 ΒΡΠ- 範發 和本 神將 精而 其 ， 反件 違條 不和 在途 且 用 並的 ,,同 色不 持種 本各 基應 之適 明為 發 本 -0 下改 化 變 和 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) .裝· 線 經濟部t央標準局貝工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS } A4規格（210X297公釐） 443990 89.

五、發明説明（）

實例1 將含有75 ppm之SF6污染物之氦以300升/小時（丨/h)直 接通過含葉矽酸鹽之吸著劑’歷300小時。該吸著劑之体積 爲2.5升•此純化係在410 °C之溫度下進行。經此純化所得 到之結果爲：該離開吸著劑的氦流中之汚染物係低於1 ppm * 實例2 在54(TC之溫度下，將含有60ppm之SF6、15ρρηι之C2F6 和20 ppm 之CF4g染物之N2通過葉矽酸鹽吸著劑。此 實驗進行歷350小時*該吸著劑之体積爲2.5升。所得到氣 体束流中之每一種污染物均低於1 PPm。 實例3 在540。0之溫度下，將含有PPm之SF6汚染物之氪’ 通過如上所述之吸著劑歷350小時。該所得到束流中所含之 污染物係低於1 ppm。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -1 la. 本紙張尺度適用t國國家標準（CNS〉A4規格（210X297公釐）

4439 9C A7 B7 五、發明説明（i。） 參考符號説明 1 ......熱交換器 2 ......第一氪塔 3 ......塔2之頂部 4 ......塔2之底部 5 ......吸箸劑 6 ......分子篩吸附器 7 ......N i -Cu接觴器 8 ......精皤塔 9 ......塔8之頂部 10 .....塔8之底部 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 -12- 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210X297公嫠）

Claims (1)

1. 8 8 8 8 ABCD 44399。 請导利範圍 1. —種在低溫空氣分離單I中萃取氪、氙或兩者之方法 .其中氪和氙像濃縮於一¾-氙濃縮物中，並且其葆 藉由蒸皤的方法自氪-氙濃縮物中萃取出氪氣流、氙 氣流或兩者，其改良之處在於：氪-M濃缩物、氪流和 氙流中至少有一種係以與含有葉矽酸鹽之固態吸箸劑 接觭來純化，藉此使得含氟雜質、含氣雜質或兩者自 氪-氙濃缩物、氪流、氙流或其組合物中去除。 2. 如申諳專利範圔第1項之方法，其中在該固態吸箸劑 中進行純化之後，水、二氧化硪、氣氣或其混合物像 自氪-每濃縮物、氪流、截流或其組合物中去除。 3. 如申諳專利範圍第2項之方法，其中水份、二氧化碩 或兩者的去除傺以分子筛吸附劑來進行。 4. 如申請專利範圍第1項之方法，其中氪-氙濃縮物、 氪流和氙流中至少一者的純化傜在1巴至10巴之間的 壓力下進行。 5. 如申請專利範圍第4項之方法，其中氪-氙漢縮物、 氪流和氙流中至少一者俗在2巴至3巴之間的壓力下 進行純化。 6. 如申請專利範圍第2項之方法，其中在氪-氙濃縮物 、氪流和氙流中至少一者的純化傜在1巴至10巴之間 的壓力下進行。 7. 如申諸專利範圍第6項之方法，其中在氪-氙濃縮物 、氪流和氙流中至少一者的純化操作係在2巴至3巴 之間的壓力下進行。 本紙張尺度適用中國國家標率（CNS > Α4規格（2!0Χ 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝. >11 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 A8 f B8 C8 D8 tv、申請專利範圍 8. 如申諳專利範圍第3項之方法，其中在氪-氙篇编物 、氪流和氙流中至少一者的純化操作俗在1巴至10巴 之間的壓力下進行。 9. 如申諳專利範圍第8項之方法，其中在氪-氙潺縮物 、氪流和氙流中至少一者的純化傈在2巴至3巴之間 的鼷力下進行。 10. 如申請專利範圍第1項之方法，其中在氪-氙濃縮饬 、氪流和氙流中至少一者的純化傜在300t：至600 t：之 間的溫度下進行。 11. 如申請專利範蘭第10項之方法，其中在氪-氙濃縮物 、氪流和氙流中至少一者的純化係在45 01C至5501C之 間的溫度下進行。 I 訂 線 (請先閱讀背面之注意事項再铲氣本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 -14- 本紙乐尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210 X 297公釐）