TW438664B - Device for drying substrates - Google Patents

Description

A7 B7 經滴部中决標挲局只工消費合作社印絜 43 86 64 五、發明説明（1，） 第871〇7迎1_號專利申諸棄發明說明铬左本 本發明係關於一種基板脫乾裝置，其藉紫外光照射將 基板片脫乾’在照射過程中’基板片上置有玻璃板。 此類之脫乾裝置，特別用於製造光碟片（C0mpact Discs Oder CD )、迷你碟片（Mini-Discs )、磁碟 (Magneto-opticalDiscs)、唯讀光碟（CD-ROM ) ' CD-R、 照片及/或影音光碟（Photo-CD und/oder Video Disc )，及/ 或數位影音光碟（DVD )等。 特別是用於製造由二部分基板相互黏合而成之基板片時， 會在脫乾過程中於基板片上放置玻璃板，以防止基板在脫 乾過程發生彆曲或是喪失其平坦的形狀。此處所謂之脫 乾，也包括了黏合劑之硬化。藉此黏合劑，比如說二基板 片可被相互黏合成一基板片。要加以脫乾之基板片通常是 在一圓形轉動平台上規律的轉動，並將基板片送至脫乾裝 置之脫乾範圍。在基板片被送至脫乾範圍之前會有一玻璃 板處理器將玻璃板置於基板片上，且在脫乾過程結束後， 基板片被轉出脫乾裝置，玻璃板又被取走。藉玻璃板處理 器將玻璃板置於基板片上，並不能防止在基板片上產生不 均勻分佈之壓力，因而要加以黏合之基板間、由黏合劑組 成之層，在尚未脫乾或是尚未硬化之狀態下，會因壓力改 變此層之厚度。事實證明，此現象會造成極高的廢品率， 並嚴重影響製造基板片之品質。 因此本發明之任務在於創造一開頭所提及之脫乾裝 置，其藉簡易之技術方法及簡易之裝置操作性來盡可能的 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4ML格（210X297公# ) -4-

4386 6 4 at __ B7 五、發明説明（2·) 減少廢品率及提高基板製造之品質。 --® 按本發明所提出之任務，其藉一可上升及下降之上部 來加以解決’此上部將玻璃板下降置於位在下部之基板片 上。按本發明’放置玻璃板之動作是在脫乾裝置内進行， 因而玻璃板之放置與開始脫乾間之時間差很小。這點對廢 品率及製造基板片之品質來說非常重要，因為事先以花費 昂貴技術設備穩定介於要加以黏合之基板間的黏劑會喪失 其均勻性’並在要加以黏合之基板間形成不同厚度之黏劑 層，因而產生廢品及較差之基板片品質。為要在脫乾過程 前均勻的塗以黏劑層’需要極高的花費。為使達成此優點， 使均勻分佈的黏劑層不致消失，按本發明之裝置，即可在 極短時間内完成置放玻璃板及脫乾過程之啟動。 --- 經漪部中央梂準局只工消f合作社印54 在一按本發明極有利之設計中，上部有一玻璃板固持 器’其在上部下降時’為將玫璃板置放在基板上，固持器 會降至基板之下。以此方式’玻璃板在被置於基板片上時， 不會受到額外、不均勻的壓力，因而，玻璃片施在整個基 板片面積上的壓力極為均勻，因為只有玻璃片本身之重量 造成此置放壓力。以此方式，事先在整個基板片上均勻之 黏劑層厚度，基本上能維持住。 在玻璃板固持器上最好設有固持片，當上部在未下降 之狀態時’玻璃板之邊緣範圍位於此固持片上。此用以將 玻璃板置於基板片上之設備花費可想而知的極為簡單，且 尤其可以此簡單之方法調整固持片之位置，因而影響玻璃 板之固持及下降》 本紙張尺度適用中國國家榡準（CNS)A4規格（ A7 438664 五、發明説明（3·) 固持片最好是設計成反射面，例如將之高亮度拋光， 如此’固持片可以適當方式反射紫外線，尤其是在要加以 脫乾之基板片邊緣範圍，使困難的邊緣脫乾得以改善及加 速進行。因為固持片在將玻璃板置於基板片上後是置於基 板片之下’可使用此固持片在基板片下之範園，使從上落 下之紫外線，可被引導反射至基板片之下邊緣範圍。 在另一按本發明極有利之實施形式中，玻璃板封閉了 向上之基板片照射室，玻璃板構成此照射室之一封閉壁 面。此點在下述情況時尤其有利：若此脫乾裝置按另外一 實施形式有一氣體輸入裝置，以導入處理室内排除之空 氣，例如導入氮氣。將處理室内產生之空氣排除，可使其 内之氧氣不會因強力之UV照射而轉化成過氧化物，此過 氧物會大量吸收紫外線，因而阻礙或遲延脫乾過程。按本 發明之可上升或下降之脫乾裝置上部’不僅可將玻璃板放 置在基板片上’另外也可將之放在基板上一希望之距離 處，使在玻璃板及基板片間之空氣也會被導入之氣體排 除，並改善或加速整個基板片面上之脫乾過程。尤其是按 本發明之裝置’可快速且不需要額外的花費的改變基板片 之脫乾方式，也就是在脫乾過程時，或將玻璃板完全放置 在基板片上，或將玻璃板維持在基板片上一希望之距離 處。 在按本發明另一極有利之實施形式中，在玻璃板及基 板間設有一距離維持器。此距離維持器可設在玻璃板固持 器上，因此玻璃板不是被放置在基板片上β由於此有一定 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4规格（210X2W公筇> ("先閱讀背而之注&亨项再填('^本万) 訂 經濟部中央標準局負工消费合作社印製 -6- 438664 五、發明说明（4.) 厚度之距離雜器’其反應了所希望之、介於玻璃板與基 板片間之距離，因而可以藉將此距離維持器放在玻璃板固 持器上，使本發明之裝置，從放置玻璃板之運作方式，改 裝成在玻璃板與基板片間有中間空間之運作方式。 在一按本發明極有利之設計中，設有一轉動裝置，其 將在上升狀態之上部以轉或擺之方式，進或出照射室。此 轉動裝置最好是整合於上部上升及下降之升降裝置内，或 者是與此升降裝置合併，以使用於破璃板處理之驅動裝置 有較為精巧及簡單之設計。 轉動裝置最好有一具多個上部之圓形轉動平台，如 此，可以將在脫乾過程已加熱之竣璃板送進冷卻站，其係 依另一設計所預見。此冷卻站將不在脫乾裝置照射室内之 玻璃板冷卻，使得玻璃板可再回復與基板片類似的溫度， 在下一個脫乾過程時可再被置於基板片上。倘若玻璃板與 基板片的溫度差異過大，可能使基板片的生產品質降低， 增加廢品率。 在一極有利的發明設計中，圓形轉動平台具有4個上 經濟部中决榡牟扃只工消费合作社印聚 部，其中，兩個上部在脫乾裝置的照射室内，而另外兩個 上部則在冷卻站内。在此實施形式中，圓形轉動平台每次 轉動180度，之後兩個在下部上之上部即可同時下降到基 板片上。在脫乾裝置中則是對二基板片同時進行脫乾過 程。 任何適當的流體作皆可作為冷卻劑《在此裝置中，最 好是使用離子化之空氣’將之吹進冷卻站中且吹在要加以 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210Χ 297公ϋ ~—~~一.—" -7- A7 438664 五、發明説明（5 ·) 冷卻的玻璃板周圍。 在另一極有利的發明設計中，脫乾裝置之下部被設計 成可轉動之托盤’用以承載基板片。以此方式，在盤上置 放之基板片’在照射室内可有均勻之照射，同時使黏劑可 均勻、快速的乾燥或是硬化’因而改進了生產品質。 以下藉一偏好之實施例來說明本發明。各圖顯示之内 容如下： 圖一按本發明脫乾裝置圖示說明之上視圖； 圖二圖一沿剖面緣II-II之截面圖，上部在上升狀態; 圖三下降之上部及下部之放大截面圖;及 圖四實施形式之部分上視截面圖，用以說明裝置如 何在照射站8内轉動托盤。 在圖一所示之脫乾裝置實施形式中，具有一圓形轉動 平台1，其具八個置放位置2，用以置放要加以脫乾之基 板片3。玻璃操作器4有四個手臂5 ,在手臂末端各有一 脫乾裝置之上部6。玻璃操作器4之中央由一柱7支持， 其柱可轉動、擺動'也可上升及下降。照射站8位於兩個 置放位置2之範圍内，而不在照射站8範圍内之上部6位 於冷卻站9内。 此要加以乾燥之基板片3，首先在前一製程步驟中將 二基板相互黏合，之後藉一基板片操作器1〇被置於圓形轉 動平台1之置放位置2上。為避免重覆舰乾過程前後之 製程’請參考未發表之DE_〇s<_〗97 i 8 π丨，中請日期是丨997 年4月30 g。申請人擁有智慧財產權。 本紙張尺纽财國國家標CNS ) ---------J------II------U ί郢先閃讀背而之：^-念亨^再^衿本頁〕 經濟部中央標卒局貝工消f合作社印聚 4 3 8 6 6 4 A7 B7 ;、發明説明（6·〉 ------------ ("先閱讀背而之注意带項再填巧本兵) 圓形轉動平台1以順時針方向每次轉動45度，使每次 有二基板片1G進人照射站W。之後，玻璃操作器4轉動 180度’使玻璃片11放置在照射站8内之基板片川上。因 此轉動運動錢人冷卻站9之科二做献u，被例如 離子化空氣冷卻。 已脫乾I基板片10，在退出照射站8後，被另一操作 器12從脫乾裝置中取出。 從囷二中可以看出，照射站8有上…燈。及下^^ 燈22 ’在二者中間安排有上部6及下部23。在上⑽燈 2!下之封套24，及下UV燈22上之封套25可使在下部23 上之基板片10受到可控制之uy照射。 下部23是靜止的，上部6則經一臂26與轉動及升降 裝置27相連接’在@二中有示意出&藉此裝置，上部6可 上升及下降，並可與囷面垂直，從照射室28中轉出或是擺 出。 囷二顯示圖二裝置之放大截面囷，此時，上部6及下 部23處於如下之狀態，即：上部6已下降至下部a上。 經.济部中炎榡苹局只工消费合作社印^ 上部6有一直角之框架31。在上部6下端，至少在側 邊框架31上，各設有一玻璃板固持器32、33，其在所示 之實施例中，是以彎曲之板金件設計成置放緣34、35 , 用以支承玻璃板11。玻璃板固持器32、33藉螺絲36、 37固定在上部6之底瑞。 當玻璃板11在上部6已上升時（參見圖二），其邊緣 範圍位在玻璃板一固持器32、33之置放緣34或35上； 本紙張尺度適用中國困家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公趣） -9- 4 3 86 6 4 a? 五、發明説明（7·) 在上部6下降時，玻璃板從置放緣34、35分離出，因支 承緣下降的夠多，使得玻璃板11在上部6下降時，被圖三 中以斷線所示之基板片10支承。因而，球璃板U是以輕 柔方式被置於基板片3上，並以其自重，均勻的壓在基板 片上，因此，在玻璃板11被置於基板片3上後所立刻開始 之脫乾過程’可使基板片3保持平坦。 從圖三可以看出，在上部6之框架31上有一氣體導入 裝置40，惰性氣體可經此吹入照射室。在圖三所示之實施 例中，玻璃板11位在基板片3上。若想在玻璃板及基板片 間有中間空間’為要將其中之空氣及包含在其中之、對脫 乾裝置有極負面影響之氧氣，藉惰性氣體將之排擦出去， 則上部6可下降的少一些，也就是說，如此之下降，使玻 璃板11及基板片3間維持有所希望的中間空間。在此情況 下，玻璃板11被置在玻璃板固持器32或33之置放緣34 或35上，並且在脫乾過程均維持此位置。 經漪部中央標準局月工消費合作社印裂 (誚先閱讀背而之·.>x&事項再填5本R ) 線^'. 、在卿之1Γ卿式巾，τ部23有-具置放玻璃板42 之托盤41，基板片3位在此置放破璃板上。托盤41可藉 滚予43、44、45轉動’並_被其導?卜麵示之實施 例中’三滾子43、44、45間之角度是12〇度，不過，在 囷一中只顯示了二滚子43、44。 在圖四中顯示-具托盤41之囷形轉動平台i之部分 圖’在各托盤邊緣’有呈120度分散設置之滾子43、44、 45進行引導及支撐。當圓形轉動平台！以順時鐘方向 托盤41及在其上之基板片3進入照射站8時，托盤41 本紙張尺錢財困“辟（CNS ) A4it4M 21GX297公錄） -10- A7 B7 五、 438664 發明説明（8·) 邊緣與驅動滾子46相接觸，此滾子是設在支持臂47之末 端來被驅動。在脫乾過程中，托盤41及基板片3有時也與 在基板片3上之玻璃板11 一起被轉動，造成基板片或是黏 劑均勻、快速之脫乾及硬化》為了使圖清晰，在圖四之視 角中，未將玻璃處理器4示出。 以上藉一較偏好之實施例說明本發明。專業人士可做 出其他設計及變化，而不偏離本發明構想。例如為了輸送 要加脫乾之基板片至照射站8下，可不用圓形轉動平么1，' 而使用線性輸送裝置。 ^ 訂 經濟部中央標準局工消费合作社印^ h紙张尺度適用中困國家梂準（CNS ) Λ4規格< 210Χ297公# ) -11 -

Claims (1)

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   六、申請專利範圍 經濟部智慧財產局員Η消費合作社印製 |_g7.1〇788j—號鲁别案申請專利範圍修正本 一種基板脫乾裝置，其藉紫外線照射而將基板片 脫乾’在照射過程’在基板片（3)上置有一玻璃板（11)， 其特徵為，有一可上升及下降之上部（6)，在其下降 後玻璃板（11)被置於位在下部（23)上之基板片（3) 上。 2·根據申請專利範圍第1項所述之裝置，其特徵為，上部 (6)有一玻璃板固持器（32、33)，其在上部（6)下 降，以將玻璃板（11)置於基板片上時，會降到基板片 之下。 3·根據申請專利範圍第2項所述之裝置，其特徵為，玻璃 板固持器（32、33)有固持片（34、35)當上部（6) 在未降下之狀態，玻璃板（11)之邊緣範圍位在此固持 片上。_ 4-根據申請專利範圍第2項所述之裝置，其特徵為，玻璃 板固持器（32、33)至少有一部分是設計成紫外線之反 射面。 5·根據申請專利範圍第1項所述之裝置，其特徵為，玻璃 板（11)從上封閉基板片（3)之照射室。 6·根據申請專利範圍第1項所述之裝置，其特徵為，有一 氣體導入裝置（40)，以導入氣體，並將在照射室内之 空氣排擠出。 7,根據申請專利範圍第6項所述之裝置，其特徵為，此氣 &^尺度適用中ϋ _家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） n ( I I n u f J n n n I ft I (諝先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 12 438664 C8 D8 六、申請專利範圍 體是氮氣。 Μ艮據申請專利範園第^項所述之裝置，其特徵為，在玻 璃板（11)及基板片（3)間有距離維持器。 9.根據申請專利範圍第8項所述之裝置，其特徵為，距離 維持态·與玻璃板（11 )是設計成一體。 10.根據申請專利範圍第丨項所述之裝置，其特徵為有— 轉動裝置（27)，其將在上升狀態之上部（6)轉進及 轉出照射室》 11·根據申請專利範圍第1〇項所述之裝置，其特徵為，轉 動裝置（27)與一升降裝置組合，用以上升及下降上部 (6)。 口 12. 根據申請專利範圍第1〇項所述之裝置，其特徵為轉 動裝置（27)有一具多個上部（6)之圓形轉動平台。 13. 根據申請專利範圍第丨項所述之裝置，其特徵為，有一 冷卻站（9)，用以冷卻不在照射室内之破璃板（11)。 14. 根據申請專利範圍第13項所述之裝置，其特徵為，圓 形轉動平台（1)具四個上部（6)，其中兩個上部在照 射站（8)内’另外兩個則在冷卻站（9)内。 15. 根據申請專利範圍第13項所述之裝置，其特徵為，冷 卻劑是離子化空氣。 16_根據申請專利範圍第1項所述之裝置，其特徵為，下部 (23)有一基板片（3)用之托盤（41)。 Π.根據申請專利範圍第16項所述之裝置，其特徵為，托 盤（41)可轉動。 本紙張尺度適用中國國家標準<CNS)A4規格（210 x 297公$ ) -13- -1_!1 丨 — —— — — — 夂裝 J — Γ -----丨訂----- <請先明讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製