412783 A7 _B7 _ 五、發明說明（f ) 【發明之詳細說明】 【技術範疇】 本發明係有關一種基板支撐裝置、基板搬送裝置 及方法、基板交換方法、以及曝光裝置及其製造方 法，進一步詳述則係有關一種適合用以支撐使用於 液晶顯示元件等之製造及檢查工程中之薄基板的基 板支撐裝置、用以搬送基板支撐裝置與基板的板搬 送裝置及及方法、用以交換基板把持構件上之基板 的基板交換方法、以及具有上述基板搬送裝置之曝 光裝置及其製造方法。 【習知技術】 以往，於製造液晶顯示器（總稱平面板顯示器） 的製程中係使用各種裝置，例如曝光裝置或檢查裝 置等的大型基板處理裝置。在使用此等處理裝置的 曝光製程、檢查製程中，係使用基板交換裝置（基 .板交換系統），以進行自動地將大型基板（玻璃基 板）安裝於處理裝置中及取出的作業。 圖11所示者係爲習知液晶曝光裝置所採用的基 板交換系統的槪略構成。此圖11的交換系統中，基 板P係以下述方式裝載於基板把持構件143上。 (1) 以機械手臂142自下方將基板P托持住，並 將其搬送至基板把持構件143上方。 (2) 在此狀態下，設於基板把持構件143中，用 以承接基板的複數根支撐棒144透過基板把持構件 4 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） (請先閱讀背面之... --- 裝·-- ί事項再填寫本頁) -線_ 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 412783 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 A7 B7 五、發明說明（>) 143上部平面所設之開口自把持構件上面突出而上升 ，由下方將基板P托起（或機械手臂142下降，將基 板P裝載於自把持構件143上面突出且停止之支撐 棒144上）。此時，爲使基板P不致於過度彎曲，因 此支撐棒144係以可支撐基板P之中央部附近及其 周邊之方式配置。 (3) 接著，當支撐棒丨44上升既定量，而基板P 藉支撐棒144自機械手臂142上面向上托升既定量 時，機械手臂142即在不接觸支撐棒144及基板把 持構件143的情況下自基板P的下方退出。圖12中 所示者即是顯示機械手臂142自基板把持構件143 之退出完成後之狀態。 (4) 之後，由下方支撐基板P的支撐棒144下降 ，並下沈到基板把持構件143之上部平面以下，使 基板P以接觸基板把持構件上部平面的狀態而 被裝載於其上。然後，透過設於基板把持構件143 上部平面的多個吸氣孔（省略圖示）將基板P吸附 並固定於基板把持構件143上。此時’爲提升基板P 的平坦性（平面度），故基板P係平衡良好地被吸附於 基板把持構件M3上。之後，基板P與基板把持構 件143以一體的方式移動，同時藉由液晶曝光裝置 進行曝光處理。 當然，欲將基板P自基板把持構件143取出時’ 以上述（1)〜（4)步驟之相反的順序’進行基板P之取 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -------------- I----i—t---I-----^ (請先閱讀背面之；.，事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 412733 A7 ______B7__ 五、發明說明（h) 出。 附帶一提的是，由於一般作爲平面板顯示器製造 用的基板，係例如使用500mm X 600mm，厚度爲 0.7mm左右的薄玻璃基板，此種基板極易破損，例 如，稍有較大之彎曲即破損。有鑑於此，在上述習 知基板交換系統中，爲使該薄基板無損傷地自機械 手臂傳送到基板把持構件上，因此有需要在基板中 央部及周邊部不碰觸手.臂的部份配置複數根支撐棒 ，在自基板的下面以良好的平衡狀態支撐下進行基 板交換。 此外，爲了更爲安定地支撐基板，不得不增加支 撐棒的數目，但如此一來，爲因應增加的支撐棒數 目，需於基板把持構件上增加更多的開孔，卻因而 喪失把持構件之使基板緊貼提升平面度的作用，無 法一味的增加支撐棒的數目。再者，若增加支撐棒 的數目，則爲因應其數目之增加，該支撐棒的上下 動機構將變得複雜且大型化，同時亦使得把持構件 之位置控制性惡化。 由上述理由可知，支撐棒的數目不得不受到限制 ，其結果，現狀即爲基板上產生一定程度的彎曲現 象。此彎曲成爲原因，造成基板之全體無法同時抵 接於把持構件或無法同時自把持構件剝離，而經常 在把持構件上面產生磨損之不良現象。 更進一步的，上述習知的基板交換系統，爲避免 本紙張尺度適用令國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -------------裝-------訂---------線 (請先閱讀背面之：' 舍項再填寫本頁) 412783 B7 五、發明說明（牛） --------------裝—— >請先閱讀背面之；..事項再填寫本頁) 機械手臂與支撐棒的干擾係成爲在移動方向具有梳 齒狀之懸臂結構（如圖1 2所示），且爲使基板不致 破損，有需要支撐該基板中央部附近。亦即，爲確 保該機械手臂得以伸入基板與把持構件間之空間， 支撐棒必須將基板高高地舉起。然而，例如於液晶 曝光裝置中，隨著投影光學系統的大數値孔徑化（ Numerical Aperture)，投影光學系統（參照圖11及圖 12之符號PL)與把持構件間的空隙（所謂工作距離) 有益趨狹小的傾向，所以愈來愈難確保上述機械手 臂能伸入的空間。因此，依據不同之液晶曝光裝置 ，亦有不得不將基板把持構件移動至離開投影光學 系統之處再進行基板的承載，爲此必須要增大把持 構件的移動行程，不但基板承載時間增加同時裝置 的設置面積亦增大。 --線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 但是，隨著玻璃基板越來越大型化，一說未來甚 至將達ImXlrn。此種基板的大型化，明顯地對於具 有種種應改善之缺點的上述習知基板交換系統將更 爲不利。因此，開發一種可因應基板大型化傾向的 新技術，實乃當務之急。 有鑑於此，本發明之第1目的係提供一種可有效 防止基板於交換、搬送時產生彎曲的基板支撐裝置 〇 又，本發明之第2目的係提供一種無須在基板把 持構件中設置繁重的上下動機構、可防止把持構件 7 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 412733 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（<) 面之平面度惡化、且即使在基板把持構件之基板裝 載面側的空間非常狹小時，亦能快速、安全無傷地 進行搬送的基板搬送裝置。 此外，本發明之第3目的係提供一種即使在投影 光學系統爲大數値孔徑的情況下，亦能在投影光學 系統正下方進行基板交換的曝光裝置。 再者，本發明之第4目的係提供一種即使在基板 大型化的情況下，亦能無損傷地進行基板交換的基 板交換方法。 【發明之揭示】 爲達上述目的，本發明之第1特徵係一種基板支 撐裝置，其係與基板以一體的方式被搬送構件所搬 送，前述基板支撐裝置具有用以支撐前述基板的支 撐部，該支撐部形成有封閉型的開口部， 由於前述基板支撐裝置中具有用以支撐基板且形 成有封閉型的開口部之支撐部，因此當其支撐基板 時，即使支撐部受到任何外力作用，也不會因此產 生變形及破損，所以可以防止支撐部受外力影響而 產生基板之支撐力降低的情形，也由於如此，在搬 送的過程中基板也較不易掉下。此外，由於封閉之 開口部周緣或周邊部並非以點接觸基板而是以面接 觸基板β因此，當以搬送構件一體的搬送及交換此 基板支撐裝置及基板時，即使基板係較爲大型化， 亦能有效防止在搬送及交換時之基板彎曲與因此而 8 {請先閱讀背面之？事項再填寫本頁) ί 言 Γ ί 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 412783 經濟部智慧財產局具工消费合作社印製 B7 五、發明說明（L ) 產生之破損。 此情況下，封閉之開口部只要有一個即可具上述 功效，當然設置複數個亦可。當設置複數個開口部 時，亦可使支撐部中至少一部份係以具有複數個開 口部之板狀多孔質構件形成。 本發明之基板支撐裝置中，就支撐部之構成而言 可考慮種種之方式，例如可由複數的條狀構件組合 而成。此時，支撐部可以是格子狀，亦可以是蜂巢 此外，本發明之基板支撐裝置，更可具有一位置 偏離防止部，該位置偏離防止部係用以防止上述支 撐部所支撐之基板的位置偏離。就此一形態而言， 該位置偏離防止部可以是彤成於上述支撐部與該基 板支撐裝置外周部之交界處的梯部，或是突設於上 述支撐部與該基板支撐裝置外周部交界處的擋塊。 或者，該位置偏離防止部係設於該支撐部上，因 應該基板支撐裝置本身重量作用的有無而挾持基板 兩側面、或解除之基板保持機構所構成。對此一形 態而言，能在不須外界動力下使用基板保持機構進 行基板的挾持或解除挾持。 承上所述，該基板保持機構係至少包含有一環結 機構、以及用以迫使構成環結機構的一個環結部份 朝向基板側面的彈性構件而構成。此時，可至少在 基板支撐裝置的支撐部之一側或兩側各設置一環結 9 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ----------I--裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之：‘事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 A7 _____B7______ 五、發明說明（7 ) 機構，且藉由彈性構件來迫使構成該環結機構的一 個環結部份朝向基板之一側面或另一側面，以使該 環結機構得以自兩側挾持該基板，或是只在基板支 撐裝置的支撐部之一側設置環結機構，而在其另一 側設置檔塊等定位構件，藉由該環結機構及定位構 件自兩側挾持該基板。不論何種情況，當基板支撐 裝置本身重量作用於環結機構時，均可抵抗迫勢構 件的迫使力，進而解除.該環結機構對基板側面的壓 住狀態。 作爲上述環結機構，可採用各種環結機構，例如 能使用一種可進行司考特羅素近似平行移動的機構 。如採用此種機構，均可對基板側面提供一垂直的 壓力。 於本發明之基板支撐裝置中，在以一體的方式搬 送該基板支撐裝置與基板等時，當然能使基板支撐 裝置之支撐部周邊保持於搬送構件上，然而亦可在 該支撐部上至少設置兩個一體成形的突緣部，以使 支撐前述基板的支撐部可保持於上述搬送構件上。 亦即，可利用突緣部、或是利用突緣部與支撐部來 支撐基扳。據此，由於可藉由突緣部來支撐基板’ 因此可使基板支撐裝置輕量化，且亦能使基板彎曲 度變小。 於本發明之基板支撐裝置中，與基板相接觸側的 部份支撐部上可進一步配設有與該基板直接接觸的 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -------------裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之.，、事項再填寫本頁) 412783 A7 B7 經濟部智慧財產局貝工消費合作社印製 五、發明說明（彳） 襯墊構件，以防止前述基板與其他部份接觸。在此 情形下，由於可藉襯墊構件防止基板與其他部份接 觸，因此例如當基板爲玻璃、基板支撐裝置爲金屬 製時，能防止刮傷基板。 本發明第2特徵係一種第1基板搬送裝置，以用 來搬送基板，該裝置包含有：用以支撐基板的基板 支撐裝置；用以保持並搬送已支撐有前述基板之前 述基板支撐裝置的搬送.構件；以及設於前述基板支 撐裝置與前述搬送構件之間，用以將兩者之相對位 置關係設定爲既定關係的定位機構。 承上所述，由於基板支撐裝置與前述搬送構件之 間，具備有可將兩者之相對位置關設定爲既定關係 的定位機構，因此，搬送機構無須再增設用以吸著 固定基板支撐裝置之吸附機構，例如真空吸盤以及 其驅動裝置，即可將基板支撐裝置與搬送構件間之 相對位置關係設定爲既定關係。 此情形中，並不特別限基板支撐裝置之構成，作 爲基板支撐裝置例如亦可使用本發明之基板支撐裝 置。 本發明第1基板搬送裝置中，定位機構係至少包 含有2組定位單元，其中每一定位單元係由一凸部 及一凹部所構成，凸部係設於基板支撐裝置及搬送 構件中的任一方上，凹部則相對於凸部而設於另一 方上。在此種形態下，即可以簡單的構成實現基板 (請先閱讀背面之r 事項再填寫本頁) t J-0
T 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 χ 297公釐） A7 412783 ____B7_ 五、發明說明（^) 支撐裝置與搬送構件間的定位。此時，若構成上述 各定位單元之凸部的表面爲球面狀，則用以與凸部 嵌合的各凹部中，至少有一個爲圓錐槽，或者用以 與凸部嵌合的各凹部中，至少有兩個方向不同的v 槽者較佳。就前者而言，由於定位單元包含有一圓 錐槽的凹部，因此可以防止基板支撐裝置與搬送構 件在2維方向產生相對移動，亦可藉由所有的定位 單元來防止兩者的相對，轉動。再者，就後者而言， 由於定位單元至少包含具有兩個方向不同之V槽的 凹部，因此可以阻止基板支撐裝置相對於搬送構件 在2維方向產生相對移動及相對轉動。 上述表面爲球面狀的凸部，例如可以球體構成。 本發明第1基板搬送裝置中，搬送構件只要可用 以保持並搬送支撐基板之基板支撐裝置者即可，例 如可以是機械手臂。 本發明之第3特徵係一種第2基板搬送裝置，以 用來搬送基板，該裝置包含有：用以支撐基板的基 板支撐裝置；用以保持並搬送已支撐有前述基板之 前述基板支撐裝置的搬送構件；用以承載前述基板 支撐裝置的基板把持構件；以及設於前述基板支撐 裝置與前述基板把持構件間，用以將兩者之相對位 置關係設定爲既定關係的定位機構。 承上所述，由於前述基板支撐裝置與前述基板把 持構件間，設有可將兩者之相對位置關設定爲既定 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） *裝--------訂---------線 (請先閱1#背面之.、事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 A7 412783 _____B7_ 五、發明說明（π ) 關係的定位機構，因此若基板把持構件已有吸附基 板的機構即足夠，即使沒有用以吸附固定基板支撐 裝置的機構，例如真空吸盤，亦能在基板支撐裝置 裝載於基板把持構件上的狀態下，移動基板把持構 件。 此情形中，並不特別限基板支撐裝置之構成，作 爲基板支撐裝置例如亦可使用本發明之基板支撐裝 置。 本發明之.第2基板搬送裝置中，在前述基板把持 構件最好形成有槽部，以用來將前述基板支撐裝置 與基板之接觸部全體嵌合成沈入前述基板把持構件 之基板裝載面下方之狀態。此種情形下，在將支撐 有基板的基板支撐裝置裝載於基板把持構件上時， 由於基板支撐裝置嵌合於基板把持構件之槽部而基 板支撐裝置與基板之接觸部分全體下沉至基板把持 構件之基板裝面下方，因此能毫無障礙地將基板吸 附固定在基板把持構件上。 本發明之第2基板搬送裝置中，定位機構至少包 含有2組定位單元，其中每一定位單元係由一凸部 及一凹部所構成，凸部係設於基板支撐裝置及基板 把持構件中的任一方上，凹部則相對於凸部設於另 一方上。在此一形態下，即可以簡單的構成實現基 板支撐裝置與基板把持構件間的定位。此時，若構 成上述各定位單元之凸部的表面爲球面狀，則用以 ___13_ 紙張尺度適用中固國家標準（CNS)A4規格（21G X 297公爱) -------------裝--------訂.-------線 (請先閱讀背面之；.，事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 412783 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（\丨） 與凸部嵌合的各凹部中，至少有一個爲圓錐槽，或 者用以與凸部嵌合的各凹部中，至少有兩個方向不 同的V槽者較佳。就前者而言，由於定位單元係具 有圓錐槽的凹部，因此可以防止基板支撐裝置與搬 送構件在2維方向產生相對移動，亦可藉所有的定 位單元防止兩者的相對轉動。再者，就後者而言， 由於定位單元係至少具有兩個方向不同之V槽的凹 部，因此可以阻止基板.支撐裝置相對於基板把持構 件在2維方向產生相對移動及相對轉動。 上述表面爲球面狀的凸部，例如可以球體構成。 本發明之第4特徵係一種第3基板搬送裝置，該 裝置具備有：基板把持構件，其上形成有用以與本 發明所述之基板支撐裝置中支撐部相嵌合的槽部； 第1搬送機構，係用以將支撐前述基板的前述基板 支撐裝置搬送到前述基板把持構件上方者；以及第2 搬送機構，係用以使前述基板支撐裝置與基板把持 構件於垂直該基板把持構件之面的方向相對移動， 而使前述支撐部與前述槽部相互嵌合。 藉由上述構成，以第1搬送機構將基板支撐裝置 與基板以一體的方式搬送到基板把持構件上方，同 時以第2搬送機構使基板支撐裝置與基板把持構件 向垂直於該基板把持構件之平面方向移動，使支撐 部與槽部相互嵌合。因藉此嵌合後基板即與基板把 持構件上面直接接觸，故可透過基板支撐裝置之開 ____14_ (請先閱磧背面之- 事項再填寫本頁) i 言 r 本紙張尺度適用中國困家標準（CNS)A4規格<210x297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 412783 A7 ___ B7 __ 五、發明說明（) 口部而將基板吸附保持於基板把持構件上。此時， 基板把持構件上無需設置重且複雜的上下動機構， 因此也不致使基板把持構件面之平面度惡化，而且 即使在基板把持構件之基板裝載面側的空間甚小時 ，亦能迅速且安全無傷地將基板搬送到基板把持構 件上。 本發明第3基板搬送裝置中，可更進一步具備用 以解除前述支撐部與前述槽部之嵌合，且使支撐前 述基板的前述基板支撐裝置自前述基板把持構件上 退出之第3搬送機構。此時，如上述般當自基板把 持構件上取出裝載之基板支撐裝置時，即可藉第3 搬送機構解除支撐部與槽部之嵌合，而使保持基板 的基板支撐裝置自基板把持構件上退出。亦即，該 基板把持構件上即無須設置重且複雜的上下動機構 ，也不致使基板把持構件面之平面度惡化，而且即 使在基板把持構件上方之空間甚小時，亦能迅速且 安全無傷地將基板搬送到基板把持構件上’加上相 較於習知之基板交換系統，因能大幅減少基板交換 時的步驟，故可以縮短基板交換時間進而提高產能 〇 此情形中，第1〜第3搬送機構當然可分別具有 用以搬送支撐構件的搬送手臂’但亦可只具有一用 以搬送基板支撐裝置之共用的搬送手臂。藉此能減 少構件數量，降低成本。 ___15 冬紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ---------------------訂·------1— (請先1131*背面之.'>.事項再填寫本頁) A7 412783 __B7__ 五、發明說明（h ) 本發明之第5特徵係一種基板交換分法，以交換 基板把持構件上之基板，其特徵在於：用以支撐前 述基板的基板支撐裝置係與前述基板把持構件上之 基板以一體的方式交換。藉此方法，由於基板支撐 裝置係與基板以一體的方式被交換，故只要使基板 支撐裝置具有充分的剛性，即可防止基板於搬送途 中產生彎曲。因此即使基板大型化時，亦不致受到 損傷。 本發明之第6特徵係一種第1曝光裝置，該裝置 以能量束來對基板進行曝光，將既定的圖案複製到 基板上，其具備有：用以支撐基板的基板支撐裝置 ;用以保持並搬送支撐前述基板之前述基板支撐裝 置的搬送構件；用以承載前述基板支撐裝置的基板 把持構件；設於前述基板支撐裝置與前述基板把持 構件之間，將兩者之相對位置關係設定爲既定關係 的定位機構；以及與前述基板把持構件以一體的方 式移向既定方向的基板台。 藉由上述構成，即可以搬送構件來保持並搬送支 撐基板的基板支撐裝置，當裝載於基板把持構件時 ，同時藉定位機構來設定基板支撐裝置與基板把持 構件間相對位置關係。而在曝光等時，基板台係與 基板把持構件以一體的方式移向既定方向。亦即， 由於在基板支撐裝置與基板把持構件之間設有用以 將兩者之相對位置關係設定爲既定關係的定位機構 _ 16 故張尺度適用中關家標準（CNS)A4規格（21“297公髮) ~ ------— — — — — I- i — ！ I I I 訂------ill (請先閱讀背面之y .事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 412783 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（A) ，因此，基板把持構件上只要有吸附基板的機構即 已足夠，即使沒有用以吸附基板支撐裝置的真空吸 盤等，亦能在基板支撐裝置被裝載於基板把持構件 上的狀態下使基板把持構件與基板台以一體的方式 移動，進而使基板上的複數領域曝光。 承上所述，第1曝光裝置可更進一步具備有：用 以保持形成有欲複製於前述基板上的圖案之光罩的 光罩台；以及用以使自.光罩射出的能量束投影到基 板上之投影光學系統。亦即，構成作爲投影曝光裝 置之本發明第1曝光裝置。 本發明第1曝光裝置中，能以保持於前述搬送構 件之本發明中所述之任一基板支撐裝置作爲前述基 板支撐裝置。 本發明之第7特徵係一種第2曝光裝置，該裝置 係以能量束來對基板進行曝光，而將既定的圖案複 製到基板上，其具備有：基板把持構件，係形成有 用以與本發明所述之基板支撐裝置中支撐部相嵌合 的槽部；第1搬送機構，係用以將支撐前述基板的 前述基板支撐裝置搬送到前述基板把持構件上方； 第2搬送機構，係用以使前述基板支撐裝置與前述 基板把持構件在與該基板把持構件面垂直的方向相 對移動，而使前述支撐部與前述槽部相互嵌合；以 及與前述基板把持構件以一體的方式移向既定方向 的基板台。 (請先閱讀背面之；.事項再填寫本頁) i 含° τ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 χ 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 412783 A7 ___B7_ 五、發明說明（6) 藉由上述構成，即可以第1搬送機構將基板支撐 裝置與基板以一體的方式搬送到基板把持構件上方 ，而以第2搬送機構使該基板支撐裝置與基板把持 構件在與該基板把持構件面垂直的方向相對移動， 使支撐部與槽部嵌合。由於嵌合後該基板係直接接 觸基板把持構件上面，因此可透過基板支撐裝置之 開口部以基板把持構件吸附保持基板。此外在曝光 等時，可使基板台與基.板把持構件以一體的方式移 向既定方向進行曝光。因此，基板把持構件上無須 設置重且複雜的上下動機構，也不致使基板把持構 件面之平面度惡化，而且即使在基板把持構件之基 板裝載面側的空間甚小時，亦能迅速且安全無傷地 將基板搬送到基板把持構件上。 本發明之第2曝光裝置中，可更進一步具備有： 用以保持形成有欲複製於前述基板上的圖案之光罩 的光罩台；以及用以使自光罩射出的能量束投影到 基板上之投影光學系統。亦即，構成作爲投影曝光 裝置之本發明第1曝光裝置。 本發明之第2曝光裝置中，可更進一步具備用以 解除前述支撐部與前述槽部之嵌合，使支撐前述基 板的前述基板支撐裝置自基板把持構件上退出之第3 搬送機構。此情形下，在取出裝載於基板把持構件 上之基板支撐裝置時，可藉第3搬送機構解除支撐 部與槽部的嵌合，使支撐前述基板的前述基板支撐 18 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） I --------訂·-------- (請先閱讀背面之；..事項再填寫本頁) 412783 經濟部智慧財產局具工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（士） 裝置自基板把持構件上退出。亦即，如藉此方式， 即使在基板把持構件上午之空間甚小時，亦能在該 位置迅速且安全無傷地將進行基板把持構件上之基 板交換，相較於習知之基板交換系統，因能大幅減 少基板交換時的步驟，故可縮短基板交換時間，進 而提高產能。特別是，於投影曝光裝置的情況下， 即使配置於基板把持構件之基板裝載面側的投影光 學系統係大數値孔徑時/亦能在投影光學系統的位 置進行基板的交換，故非常有效。亦即，由於用以 進行基板交換的基板把持構件不需自投影光學系統 處移開，因此能縮小基板把持構件的移動距離，藉 基板交換時間的縮短，提升產能同時亦能縮小裝置 的設置面積。 本發明第2曝光裝置中，前述該第1〜第3搬送 機構，亦可在保持前述基板支撐裝置之狀態下僅具 有一支用以搬送前述基板支撐裝置之共用的搬送手 臂。如此可使構件減少而降低成本。 本發明之第8特徵係一種曝光裝置的製造方法， 係使用於製造微元件時之微影製程中，該製造方法 包含有：提供支撐基板之基板支撐裝置的步驟；提 供用以保持並搬送支撐前述基板之前述基板支撐裝 置之搬送構件的步驟；提供用以承載該基板支撐裝 置之基板把持構件的步驟；於前述基板支撐裝置與 基板把持構件間，設置用以將兩者之相對位置關係 _ 19 本紙張尺度適用中關家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱) ~ --------------裝--------訂·-----If*線 (清先閱讀背面之;+畢項再填寫本頁) A7 412783 ___B7__ 五、發明說明（J ) 設定爲既定關係之定位機構的步驟；以及用以將前 述基板把持構件裝載於向既定方向移動之基板台上 的步驟。 如上述之方法，係準備用以支撐基板的基板支撐 裝置，並設置用以將該基板支撐裝置與基板以一體 的方式搬送的搬送構件，而在設置該搬送構件的前 後，將基板台以及其他各種元件分別組裝於曝光裝 置本體上，此時準備一.基板把持構件，並將此基板 把持構件組裝於基板台上。在組裝該基板把持構件 的前後於基板支撐裝置與基板把持構件間設置定位 機構。接著，對組裝於上述曝光裝置本體上的各元 件進行機械、光學、及電性調整，據此即可製造出 本發明之曝光裝置。 承上所述，前述製造方法可更進一步包含提供用 以保持形成有複製之圖案的光罩之光罩台的步驟， 以及提供用以使自前述光罩射出的能量束投影到前 述基板上之投影光學系統的步驟。此時，即可製造 出一種步進重覆方式或是步進掃描方式的投影曝光 裝置。 本發明之第9特徵係一種第4基板搬送裝置，係 爲了進行對基板的處理時，用以將前述基板搬入裝 載前述基板之基板裝載，其特徵在於：具備有能支 撐前述基板之支撐狀態與解除前述支撐之非支撐狀 態的基板支撐裝置，以及能與前述基板支撐裝置卡 20 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -------------裝--------訂--------"線 (諳先閱讀背面之;i¥項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局貝工消費合作社印製 A7 412783 ___B7____ 五、發明說明（β) 合之卡合狀態與解除前述卡合的非卡合狀態的搬入 構件；當進行前述搬入時，前述搬入構件係由卡合 狀態移行到非卡合狀態之方式動作，隨著此搬入構 件的動作，前述基板支撐裝置即由支撐狀態移行到 非支撐狀態，據此將前述基板裝載於前述基板裝載 面。 藉由上述裝置，將基板搬入基板裝載面時，搬入 構件即由卡合於支撐有基板之基板支撐裝置的卡合 狀態移行到解除卡合狀態的非卡合狀態。隨著此動 作，基板支撐裝置即由支撐狀態移行到非支撐狀態 ，據此將基板裝載於基板裝載面。因此，即使在不 使用支撐棒（參考圖11)等之中間承載機構，亦能 將基板搬入基板裝載面。又，當將基板與基板支撐 裝置裝載於基板裝載面後，不使基板支撐裝置退出 亦可進行基板的處理。 本發明第4基板搬送裝置中，可更進一步具備能 與前述基板支撐裝置相卡合的卡合狀態，以及解除 前述卡合的非卡合狀態之搬出構件；當自前述基板 裝載面搬出前述基板時，前述搬出構件係由前述非 卡合狀態移行到前述卡合狀態後向既定方向移動， 隨著該搬出構件的移動，前述基板支撐裝置則由前 述非支撐狀態移行到前述支撐狀態，據此將前述基 板自前述基板裝載面分離亦可。在此種情況下，自 基板裝載面搬出基板時，搬出構件即與爲非支撐狀 本纸張尺度適用中囷國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -------------裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之;+爭項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 412783 經濟部智慧財1局員工消费合作社印製 B7 五、發明說明（J ) 態之基板支撐裝置卡合而由非卡合狀態移行到卡合 狀態後向既定方向移動，隨著該搬出構件的移動， 基板支撐裝置可由前述非支撐狀態移行到前述支撐 狀態，據以將基板自基板裝載面分離。因此，即使 在不使用支撐棒（參考圖Π)等之中間承載機構， 亦能將基板自基板裝載面搬出或搬入，亦即可進行 基板交換。 本發明第4基板搬送裝置中，可更進一步的具備 設於上述基板裝載面附近，於基板搬入後用以保管 與前述搬入構件呈非卡合狀態的基板支撐裝置之保 管構件。此時，由於基板搬入基板裝載面後，可藉 由該保管構件來保管與呈非卡合狀態的基板支撐裝 置，因此在例將基板裝載面設於基板把持構件上時 ，即可在基板被搬入後立即使基板把持構件移動。 再者，本發明第4基板搬送裝置中，亦可更進一 步具該用以防止呈支撐狀態之基板支撐裝置上的基 板產生位移之位移防止部。或者可更進一步包含能 用以壓住前述基板的至少一端面，而進行相對於前 述基板支撐裝置之前述基板之定位狀態，或解除前 述壓住狀態之非定位狀態的定位機構：當進行前述 搬入時，隨著前述基板被裝載於前述基板裝載面， 前述定位機構即從前述定位狀態移行到前述非定位 狀態。 本發明之第4基板搬送裝置中，前述搬入構件與 22 -------------裝--------訂---------線 (請先閱璜背面之3 争項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消费合作杜印製 A7 ___B7__ 五、發明說明（γ) 前述搬出構件可分別爲不同之構件，但亦可爲相同 之構件。此時，即可減少構件數目進而降低成本。 本發明之第10特徵係一種第5基板搬送裝置， 係用以將裝載於基板裝載面之基板搬出，其特徵在 於：具備能有支撐前述基板之支撐狀態、與解除前 述支撐之非支撐狀態之基板支撐裝置，以及能有與 前述基板支撐裝置卡合的卡合狀態、與解除前述卡 合的非卡合狀態之搬出構件；當進行前述搬出時， 前述搬出構件係由前述非卡合狀態移行到前述卡合 狀態後向既定方向移動，而隨著該搬出構件的動作 ，前述基板支撐裝置即由前述非支撐狀態移行到前 述支撐狀態，據此可將基板自基板裝載面分離。 藉此，在自基板裝載面搬出基板時，搬出構件係 藉與呈非支撐狀態之基板支撐裝置卡合由非卡合狀 態移行至卡合狀態後向既定方向移動，隨著該搬出 構件的動作，基板支撐裝置由前述非支撐狀態移行 到支撐狀態，據以將基板自基板裝載面分離。因此 ，即使不使用支撐棒（參考圖11)等的中間承載機 構，亦能自基板裝載面將基板搬出。 本發明之第5基板搬送裝置中，可更進一步具備 設於前述基板裝載面附近，於前述搬出前用以保管 呈前述非卡合狀態的前述基板支撐裝置之保管構件 〇 本發明之第11特徵係一種第1基板搬送方法， 23 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -----------*裝-------—訂—-------線 (清先閱讀背面之3 •争項再填寫本頁) 412733 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 五、發明說明（4) 爲進行基板處理時，用以將前述基板搬入裝載前述 基板之基板裝載面，其特徵在於包含：提供基板支 撑裝置及搬入構件的步驟；藉則述搬入構件將支撐 前述基板的基板支撐裝置搬送到前述基板裝載面上 的步驟；以及藉將前述搬入構件朝既定方向移動， 而使基板離開前述基板支撐裝置後，使前述基板支 撐裝置從前述搬入構件分開的步驟。 承上所述，基板搬入基板裝載面上時，藉由搬入 構件將支撐基板之基板支撐裝置搬送到基板裝載面 上，接著藉將搬入構件移向既定方向，使基板離開 支撐狀態中的基板支撐裝置後，使基板支撐裝置自 搬入構件脫離。因此，即使不使用支撐棒（請參考 第Π圖）等的中間承載機構，亦可將基板搬入基板 裝載面上。此外，將基板與基板支撐裝置以一體的 方式裝載於基板裝載面後，不必將基板支撐裝置退 出即可進行基板的處理。 本發明第1基板搬送方法中，可更進一步包含於 前述搬入構件將前述基板支撐裝置搬送到前述基板 裝載面時，壓住前述基板之端面中的至少一端面， 據以調整相對於前述基板支撐裝置之基板位置的調 步驟。此時，由於可於搬送中調整基板相對於基板 支撐裝置的位置，因此可藉由將支撐基板的基板支 撐裝置裝載於基板裝載面之既定位置的動作，而輕 易地達成將基板裝載於基板裝載面上的預定位置。 24 本紙張尺度適用_國國家標準（CNS)A4規格（210x297公釐） (請先閱讀背面之注 >項再填寫本頁) =°
T % A7 B7 412Ϊ83 五、發明說明（/) 據此，例如當基板裝載面係設於基板把持構件上時 ’即可省去或是簡化基板裝載於基板把持構件上時 之定位動作。 本發明之第12特徵係一種第2基板搬送方法， 係用以將處理完後的基板自基板裝載面中搬出，其 特徵在於包含：提供基板支撐裝置及搬出構件的步 驟；將與前述基板以一體的方式裝載於前述基板裝 載面上之前述基板支撐裝置卡合於搬出構件之步驟 ;以及藉將前述搬出構件朝既定方向移動，在使前 述基板支撐裝置支撐前述基板後，再使前述基板從 前述基板裝載面分離的步驟。 承上所述，當基板自裝載面搬出時，即能在搬出 構件卡合於裝載基板之基板支撐裝置後，藉使搬出 構件朝既定方向移動，以基板支撐裝置支撐基板後 ，使基板自裝載面離開。因此，即使不使用支撐棒 (參考圖11)等的中間承載機構，亦可自基板裝載 面搬出基板。 【圖式之簡單說明】 圖1係顯示本發明第1實施例中液晶用曝光裝置 的槪略構成立體圖。 圖2係圖1所示之裝置的動作說明圖。 圖3係圖1所示之基板支撐裝置之部份放大槪略 立體圖。 25 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公爱） (請先閱讀背面之注 >項再填寫本頁) •va Γ 經濟部智慧財產局員工消t合作社印製 經濟部智慧財產局具Η消費合作社印製 412733 A7 _B7__ 五、發明說明（4 ) 圖4係顯示基板支撐裝置之變形例的立體圖。 圖5係顯示其他相關變形例之基板支撐裝置與基 板把持構件的槪略立體圖。 圖6係顯示本發明第2實施例中液晶用曝光裝置 的槪略構成立體圖。 圖7係顯示本發明第1實施例中液晶用曝光裝置 的槪略構成立體圖π 圖8係顯示支撐平板之第3實施例中的基板支撐 裝置及爪部之縱截面圖。 圖9係顯示第3實施例中之基板把持構件與由爪 部所保持之基板支撐裝置之縱截面圖。 圖10Α係顯示支撐平板之第3實施例中的基板 支撐裝置正要裝載於把持構件上之狀態的縱截面圖 〇 圖10Β係顯示支撐平板之第3實施例中的基板 支撐裝置已裝載於把持構件上之狀態的縱截面圖。 圖11係顯示習知例的說明圖。 圖1 2係顯示習知例的說明圖。 【本發明之較佳實施例】 《第1實施例》 以下依據圖1〜圖3說明本發明之第1實施例。 圖1係液晶曝光裝置1〇〇的槪略立體說明圖，係 爲包含有第1實施例之基板搬送裝置的曝光裝置。 26 ^^1 ^^1 ^^1 ^^1 ^^1 1^ ^^1 ^^1 - -· I v^i 1^1 1^1 ^^1 · n I n n n ^ife I (請先閱讀背面之注 t項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 經濟部智慧財產局貝工消f合作社印製 412783 A7 ___B7__ 五、發明說明（蚪） 此液晶曝光裝置100,具備有：以曝光用照明光 IL (參考圖1之虛線箭號）照射作爲光罩之標線板r 之未圖示的照明系統’用以保持標線板R之未圖示 的標線板台，配置於此標線板台下方的投影光學系 統PL ’以及在投影光學系統PL下方，用以作爲基 板台可在基座12上向XY 2維方向移動的平板台 PST 等。 平板台PST上，裝載有作爲基板把持構件的平 板把持構件（以下簡稱「把持構件」）14 ^ 前述投影光學系統PL，係使用可進行等倍正立 正像投影的光學系統。 此液晶曝光裝置100，如後所述，可在平板台 PST上之平板把持構件14上裝載作爲基板（及感應 基板）之長方形玻璃平板P (以下簡稱「平板」）的 狀態下，進行步進掃描方式的曝光，將形成於標線 板R上的圖案順序地複寫在平板P上之複數個（例 如4個）區劃領域中。亦即，此液晶曝光裝置1〇〇， 可以未圖示之照明系統所發出的曝光用照明光IL照 射標線板R的縫隙狀照明區域，透過未圖示之驅動 系統，藉由未圖示之控制器使用以保持標線板R的 標線板台、及以平板把持構件14保持平板P的平板 台PST同步以同樣的速度與相同的方向朝既定的掃 描方向（在此係指Y方向）移動，據此即可逐次地 複製到平板P上的一個區劃領域中，亦即進行掃瞄 ___27 -------------裝.-------訂---------線 (钟先背面之注个項再填寫本頁) 参紙張尺度適用中园國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐) 經濟部智慧財產局具工消费合作社印製 412733 A7 _B7___ 五、發明說明（/) 曝光。當一個區劃領域的掃描曝光完成後，即以控 制器進行步進動作，該動作係指使平板台PST朝X 方向移動既定量，直到到達下一個區劃領域之掃描 開始位置爲止。也就是說，液晶曝光裝置100，係藉 重複地進行上述掃描曝光與步進動作，順序地將標 線板R上的圖案複製到4個區劃領域上。 本實施例中，曝光用照明光，亦即作爲能量束 IL，例如係使用由超高壓水銀燈所發出的紫外域之 亮線（g線、i線）或是由KrF準分子雷射光源（振 盪波長248nm)所發出的準分子雷射光等之遠紫外 線光（DUV)。 再者，此液晶曝光裝置100中，作爲標線板台或 平扳台PST之驅動源，可使用線性馬達。有關作爲 台驅動源的線性馬達之詳細構成等可參照美國專利 第5,623,853號、第5,528，118.號等。本發明之部份 內容在符合本案指定或選擇之申請國的各國國內相 關法令下，沿用上述美國專利中所述的內容。此外 ，作爲台之上升方式，亦可採用利用氣體軸承之氣 壓上升方式以及採用利用羅倫茲力或阻抗力的磁性 上升方式。又，上述之台，可以是沿導軌而移動的 型式，亦可以是不設置導軌的無導軌型式。 於進行上述之掃描曝光時，因標線板台移動所產 生的反作用力，例如特開平8-330224號公報及美國 專利申請號第08/416,558號中所述般，利用一框構 __28 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 了297公釐） ---------------------—訂--------- (請先閱續背面之;tr爭項再填寫本頁) 412783 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 五、發明說明（；） 件而使其以機械性的方式釋放至地面。對此，本發 明之部份內容在符合本案指定或選擇之申請國的各 國國內相關法令下，沿用上述公報及美國專利申請 案中所述的內容。 此外，平板台PST之移動所產生的反作用力， 可如特開平8-166475號公報及美國專利第5,528，118 號中所述般，利用一框構件而使其以機械性的方式 而釋放至地面。對此，本發明之部份內容在符合本 案指定或選擇之申請國的各國國內相關法令下，沿 用上述公報及美國專利申請案中所述的內容。 再者，此液晶曝光裝置1〇〇中，設有一水平關節 型機械手20(無向量機械手）。此機械手20,具備有 透過垂直關節軸連結之複數部份所形成的手臂部22 ，設於此手臂部22前端，具有兩個爪部23 (參考圖 2)的搬送手臂24、以及用以驅動前述手臂部22的 驅動裝置2 5。 圖1係顯示，在支撐平板p的基板支撐裝置26 的兩端分別設有兩個、合計四個的突緣部27，係藉 由前述兩根爪部23而由下方將其保持住，而基板支 撐裝置26係藉由搬送手臂24保持的狀態。 前述基板支撐裝置26,具備有比平板P還大的 矩形外框28、及相隔既定間隔呈格子狀地設於此外 框28內的複數支線狀構件32。藉此等線狀構件32 所形成的每一格子內部分別形成有一矩形開口。此 29 · I — (請先閱讀背面之注>項再填寫本頁) ί Γ ί 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 412783 A7 B7 五、發明說明（/)) 處此等線狀構件32係相互熔接，或是組合成格子狀 後熔接於外框28上。 圖3係基板支撐裝置26的部份擴大圖，如圖3 所示，在各線狀構件32靠近外框28側的端部附近 上分別形成有用以卡合比外框28還小之平板P的梯 部40，藉由形成於該等線狀構件32上的梯部40即 可構成用以定位平板P的定位部（位移防止部）。本實 施例中，係以外框28與各線狀構件32之梯部40的 外側部份32b(亦即，較高一階的部分），構成外周部 50，而各線狀構件32之梯部40的內側部份32a則 構成用以支撐平板P的支撐部。在下述說明中，爲 方便起見，以符號32a來表示此支撐部。 構成上述支撐部的各線狀構件的截面形狀及規格 等並沒有特定，例如其截面可爲圓形、矩形、細長 矩形等形狀。此外，支撐部32a中，上述複數支線 狀構件係配置成格子狀，並以熔接或黏著等方式連 結形成格子面，但並不只限於此，亦可以一體形成 格子狀。又，格子的間距，係因應平板P的大小及 厚度決定，俾使平板P不致產生較大的彎曲而破損 〇 承上所述，由於基板支撐裝置26係由外框28與 線狀構件32之組合（含一體成形）而成，因此若使用 剛性較高之如鐵等之金屬，則可使其具有輕量高剛 性的特性，而能進行快速的搬送。 30 各紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（2〗0 X 297公釐） -^^1 1^ 1^ 1^ ^1 ^^1 ^^1 n ^^1 1 4 n D n n ^^1 ^^1 訂---------線 {請先閱讀背面之注v項再填寫本頁) 412J83 B7 五、發明說明（J) 將平板P裝載於基板支撐裝置26上的動作，係 以未圖不之平板裝載裝置來進彳了，例如，係包含有 前述習知之支撐棒及其上下動機構的構成部份，可 暫時將平板P支撐在基板支撐裝置26的上方，而下 降後將平板P移載到基板支撐裝置26上。此裝置之 作業，可於較寬的空間場所，以多數支支撐棒安全 地來進行，俾使平板P不致產生彎曲。 回到圖1，前述把持構件14的上面，對應於格 子狀之支撐部32a，形成有該支撐部32a能卡合（或 嵌合），且具有能埋入支撐部32a之深度的格子狀的 槽14a。此外，此把持構件14的上面具有良好的平 面度，以便裝載平板P時，避免平板P產生彎曲。 另外，此把持構件14的上面，對應複數個開口部33 而設有複數個用以使該平板P附著的吸氣孔。更進 —步的，此把持構件14的周邊部，亦設有用以吸附 基板支撐裝置26之外框28下部平面的吸氣孔。各 吸氣孔係透過未圖示的配管而分別連接於未圖示的 真空幫浦。 接著，說明有關以上述方式構成之機械手20將 平板P裝載於平板把持構件I4的動作。 (1)藉由驅動裝置25透過手臂部22驅動搬送手 臂24,將基板支撐裝置26與平板P以一體的方式搬 送到把持構件14的上方。此時，驅動裝置25，係以 構成支撐部32a之格子的各線狀構件與把持構件14 31 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 χ 297公釐) -- (請先閱讀背面之·;ί,>項再填寫本頁) 兮° r 經濟部智慧財產局員工消f合作社印製 412V83 A7 B7 經濟部智慧財產局貝工消费合作社印製 五、發明說明（β) 上的槽部14a正好對向之方式，調整搬送手臂24的 位置。 (2)其次，藉由驅動裝置25驅動搬送手臂24下 降一既定量，使構成支撐部32a之格子的各線狀構 件嵌入把持構件14上的槽部14a，支撐部32a進而 下降至把持構件14上面的下方，成爲只有平板P接 觸於把持構件Μ上面的狀態。此時，以未圖示的控 制器及未圖示的真空幫浦開始吸引，透過對應於複 數個開口部33形成於把持構件14之各吸氣孔，將 平板Ρ的下面吸附並固定於把持構件14上=此時， 基板支撐裝置26之部份外框28亦同時被吸附於把 持構件14上。（3)當完成將平板Ρ裝載於把持構件 14上的動作後，藉由驅動裝置25來驅動搬送手臂 24,使其自把持構件14退出。圖2係顯示搬送手臂 24正好自把持構件14退出後的狀態。又，圖2亦係 顯示開始從把持構件14取出平板Ρ的狀態。 其次，說明有關曝光完成後，自把持構件14取 出平板Ρ的動作。 (1)曝光完成後，藉驅動裝置25驅動搬送手臂 24,在裝載於把持構件14上之基板支撐裝置26下 方，於把持構件14之X方向的兩側使搬送手臂24 的兩個爪部23從把持構件Μ之Υ方向一側插入。 同時，藉由未圖示的控制器解除未圖示之真空幫浦 所進行的吸引，以解除把持構件14對平板Ρ的吸引 32 05- (請先閱ίί背面之注：♦項再填寫本頁) 士& Γ ί 本紙張尺度遡用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印紫 A7 B7 五、發明說明（y) 〇 (2) 接著，以驅動裝置25驅動搬送手臂24使搬 送手臂24上升一既定量，進而使搬送手臂24的兩 個爪部23接觸到基板支撐裝置26之突緣部27，之 後再使搬送手臂24上升，透過突緣部27將支撐平 板P的基板支撐裝置26舉起到把持構件14上方， 以解除支撐部32a與槽部14a的嵌合（或卡合）。 (3) 當基板支撐裝置26上升到可使支撐部32a 與槽部14a的嵌合解除時，再度藉由驅動裝置25驅 動搬送手臂24,而使支撐平板P的基板支撐裝置26 自把持構件14上方退出。 由上述說明可知，本實施例中由機械手20所構 成的機構，係具有用以保持基板支撐裝置26之外周 部（正確而言爲突緣部27)而將基板支撐裝置26搬 送到把持構件14上方的第1搬送機構，使基板支撐 裝置26與把持構件14於垂直於把持構件14之面的 方向上相互移動，而使支撐部32a與槽部Wa相嵌 合的第1搬送機構，用以解除支撐部32a與槽部Ma 嵌合狀態，並使保持平板P之基板支撐裝置26自把 持構件14退出的第3搬送機構。因此，此時第1〜 第3搬送機構均具有在保持基板支撐裝置26之突緣 部27的狀態，搬送基板支撐裝置26之共同的搬送 手臂24。 如上所述，就本實施例而言，由於與平板P以一 _33___ 本紙張尺度中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公蹵） -------------. I — 111—— *-------- (請先閱讀背面之.-"項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局貝工消费合作社印製 4127^3 _______B7_ 五、發明說明（Μ ) 體的方式被搬送及交換的基板支撐裝置26係以線的 形式而非以點的形式與平板p接觸，因此可均等地 幾乎保持平板P之全面，所以即使對於大型的平板p 而言’亦能於搬送時（含交換時）有效地防止平板p 彎曲、以及防止因彎曲所引起的破損。此外，由於 基板支撐裝置26與平板P係藉由搬送手臂24而將 其裝載於把持構件14上，或是自把持構件14上取 出，因此，即使在不設置如習知之支撐棒（參考圖 11)的中間承載機構下，亦可避免於搬送時（含交 換時）平板P的彎曲，所以即使把持構件14與其上 方構件（如投影光學系統PL)間之空隙僅較基板支 撐裝置26底部與平板P上部面之厚度稍大之情形下 ，亦能進行平板P的交換動作。據此，即使把持構 件14上方僅有狹小的空間時，亦能安全無損地搬送 平板P，此外，即使投影光學系統PL爲大數値孔徑 ，平板P之交換動作亦可於投影光學系統PL之下進 行。據此結果，平板p之交換動作即無須離開投影 光學系統PL進行，所以，能減小把持構件14的移 動行程，且基板承載時間將縮短而使產能提高’同 時裝置的設置面積亦可變小。 此外，由於相較於習知之基板交換系統，平板交 換時的步驟可大幅減少’因此基板交換時間縮短’ 可進一步提高產能。 再者，如上所述，由於不需要支撐棒’故把持構 34 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公爱） -------------裝--------訂·--------線 (埼先閱讀背面之注 >項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局具工消費合作社印製 41278^ Β7 五、發明說明（w) 件14中不需設置支撐棒的上下動機構，亦不需於把 持構件1 4中開設用以供支提棒上下動的孔涧，所以 把持構件14上所設的複數個吸氣孔即可均勻地對應 基板支撐裝置26的複數個開口部33之位置，而使 平板P得以平均地被吸附在把持構件ί4上，以提高 平坦度。 此外，由於交換時平板Ρ不致產生彎曲，因此可 以有效地防止在把持構件14上面的一部份產生磨損 ，得以永保把持構件14上面具有良好的平面度》 再者，由於本發明係採用平板Ρ與基板支撐裝置 26以一體的方式搬送的方式，故可同時搬送數枚平 板。 又，於上述實施例中雖已針對機械手20所構成 之第1〜第3搬送機構加以說明，但本發明並不只限 於此，每一搬送機構亦可分別以單獨的裝置構成， 或者以其中任意兩個搬送機構來構成一裝置，例如 以第1搬送機構與第2搬送機構構成一裝置。 另外，於上述實施例中雖已針對搬送手臂24向 垂直於把持構件14平面之方向移動，以進行或解除 支撐部與槽部之嵌合加以說明，但相反地亦可使把 持構件14向垂直於把持構件14平面之方向移動， 以進行或解除支撐部與槽部之嵌合 此外，基板支撐裝置26的構成當然不限於上述 ，例如，亦可只使用相隔一定間距、同一方向配置 35 ---I--------- I — ί I I 訂·1111 ^^ (請先闓讀背面之注^-項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格<210 X 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 412783 A7 _B7_ 五、發明說明（0) 之複數根條狀構件形成支撐部，亦可以一中央控成 矩形的矩形板狀構件形成外周部，或者以一枚板子 分別控出各開口，據以構成基板支撐裝置，其重點 在於，具備支撐基板的支撐部，且該支撐部至少形 成有一封閉的開口即可。此情形下，若設置複數個 開口部時，由於對開口部的大小並無硬性規定，因 此至少支撐部之一部份可由一設有多數微小開口的 板狀多孔質構件來形成。 再者，亦可在對應於圖3所示之梯部40內適當 選擇3〜4處（平板Ρ之四邊內至少對向於三邊之位 置）設置向上方突出的擋塊，例如以定位栓形成位防 止部亦可。 再者，亦可以含外框28的外周部50支撐基板Ρ 。圖4係顯示基板支撐裝置26之變形例的圖，圖中 相同或同等於圖1〜圖3之基板支撐裝置26的構成 部份，皆賦予相同的符號，並省略其說明。 本變形例之基板支撐裝置26，外框28較基板Ρ 小，其外周部係此該外框28以及設於此外框28之 雨端的兩組共四個的突緣部27所構成。而藉由此四 個突緣部27(外周部的一部分），由下方支撐基板Ρ。 如本變形例般，能藉由由作爲外周部之一部份的突 緣部27支撐基板Ρ，而減輕基板支撐裝置26的重量 ，且減小基板Ρ之彎曲度。當然，亦可由支撐部及 圖3之外周部的一部分來支撐基板Ρ’此種方式亦可 36 本ϋ尺度適用t國國家標準（CNS>A4規格（210 X 297公釐) " -----------------I I I I 訂- -------- (請先閱讀背面之注 i項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局貝工消f合作社印製 412783 A7 _______B7_ 五、發明說明（u) 使基板支撐裝置26的重量變輕，且減小基板P之彎 曲度。 此處，若仔細觀察上述第1實施例及變形例中的 基板支撐裝置26之機能，即可發現基板支撐裝置26 只要具有下列兩種機能即可，其一係用以支撐基板P ，並使其支撐的基板P不致產生彎曲的支撐機能， 另一則係用以補強支撐部，並使支撐部不致因基板P 本身的重量而產生變形的補強機能。圖3所示之基 板支撐裝置中，其線狀構件即兼具支撐機能及補強 機能，且外框28具有補強機能；而圖4所示之變形 例中，突緣部27、外框28、及線狀構件32分別兼 具支撐機能及補強機能。 然而，本發明之基板支撐裝置，其上述機能的分 配方式並不限於上述方法，亦可有各種的變化。 亦即，可與圖3所示之基板支撐裝置相反的，使 其外框兼具有支撐機能及補強機能，而線狀構件不 具支撐機能而僅具補強機能。此時，由於線狀構件 不接觸平板，因此該線狀構件之表面加工精度的容 許値較大，較容易製作。 或者，可使線狀構件兼具有支撐機能及補強機能 ，而省略外框。此時，由於無外框而能減輕重量。 或者，亦可使外框兼具有支撐機能及補強機能， 而省略線狀構件》此時，由於把持構件14上可免去 用以嵌合線狀構件的槽部，因此把持構件之製作更 37 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS〉A4規格（210 X 297公釐） -------------裝.-------訂---------線 (請先閒讀背面之注 項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局負工消費合作社印製 412783 _— ___B7_ 五、發明說明（6) 爲容易，同時亦可減輕線狀構件所佔的重量。 另外’至此爲止所說明的基板支撐裝置均係具有 複數個開口部，但本發明並非只限於此，例如與圖3 所示之基板支撐裝置相同之基板支撐裝置中，亦可 將線狀構件的數目減至4支，而成井字狀的（#狀）組 成。此時，雖只有一個封閉的開口部，但仍可使之 兼具充分的支撐機能及補強機能。 對本發明之基板支撐裝置而言，設於支撐部的開 口部爲封閉狀態者實屬重要。其理由如下。 亦即，當開口部不是封閉狀態時，未封閉的部份 將無法支撐平板，將使支撐機能降低，同時無法防 止以未封閉的部份相隔開之端部間的相互變形，上 述補強機能恐有不充分之虞。相對於此，當開口部 爲封閉狀態時，即使開口係由線狀構件所組成，亦 能以開口部周圍的全體構件支撐平板，發揮充分的 支撐機能，同時即使受到外力作用，該封閉開口的 周圍由於相鄰構件間的連結，可防止相互變形，而 能充分的具有上述之補強機能（堅牢性）。 再者，於第1實施例中，已針對圖3所示於外框 28兩側平行延伸設置各兩支突緣部27的情形加以說 明，但本發明並不限於此，亦可於開口部（或外框 )周圍配置複數個呈放射狀的突緣部。此時，即可 安定地支撐比開口部面積還大的基板。此外，亦可 將突緣部設成比外框或線狀構件還高，而使突緣部 38 裳--------訂·---------線 (請先閱讀背面之生 T項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公蹵） 412783^7 B7 五、發明說明（4) 單獨地具有支撐機能。此時，由於其開口部不與平 板接觸，因此其表面加工精度的容許値係較大，較 容易製作。 除此之外，若僅以基板支撐裝置的突緣部來支撐 平板P時，亦可採用如圖5所示之另一變形例。此 圖5之變形例，係使用例如以四個較大面積的長形 突緣部27、及連結此四個突緣部27之板狀連結部 30 —體形成之基板支撐裝置26'。此時，把持構件 14中形成有可使基板支撐裝置26f幾乎全體埋入形狀 的相連槽部15，而當基板支撐裝置26'支撐之平板P 被裝載於把持構件Μ上時，即以槽部15以外的部 份進行平板Ρ的吸附。如此，即不一定要在突緣部 27或連結部30設置開口部。 不論採用上述任一種的基板支撐裝置之構成，本 發明皆可藉由基板支撐裝置及搬入構件、或是藉由 基板支撐裝置及搬出構件進行平板的支撐及裝載於 把持構件上的基板裝載面，因此不需如習知支撐棒 般的中間承載構件及其驅動機構。 接著，以圖6說明有關本發明之第2實施例。此 處，與前述述第1實施例相同或相等的構成部份係 賦予相同之符號，並省略其說明。 圖6中，顯示了含有第2實施例之基板支撐裝置 39 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注、項再填寫本頁) 丁 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 施 實 2 第 4127^3 B7 五、發明說明（</]) 的液晶用曝光裝置200的槪略立體圖。此第2實施 例中，基板支撐裝置126具備有：較比平板P還大 的矩形外框2 8，及以蜂巢狀（h ο n e y c 〇 m b)設於該外框 28中之複數的線狀構件132而成之支撐部130。因 此，此時於支撐部130中係以一既定的間隔形成一 六角形的開口部。又，此情形中，平板P係以較粗 的精度定位於支撐部130上。此一定位動作，係藉 由未圖示之平板承載裝置在將平板裝載於基板支撐 裝置126上之前進行。此外，與前述第1實施例相 同的，可於蜂巢狀之支撐部130中央設置可供平板P 剛好嵌合、由梯部所構成之定位部，或是，亦可設 置定位栓。 另外，構成上述支撐部130的各線狀構件132的 截面形狀及規格等並無特別限定，例如可爲圓形、 矩形、細長矩形等形狀。此外，構成上述支撐部1 3 0 的各線狀構件132可以一體成形的方式形成，或者 將複數之線狀構件132配置成蜂巢狀後，藉熔接或 黏著形成一蜂巢狀的平面亦可。再者，線狀構件132 相互間之空隙尺寸，係因應平板Ρ的大小及厚度來 決定，以避免平板Ρ產生較大的彎曲而破損。 在把持構件14上面，配合基板支撐裝置126之 支撐部130之蜂巢形狀，形成有蜂巢狀之狹小且淺 的槽部14ρ 其他相關構件等，與前述第1實施例相同。 40 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 χ 297公釐） (請先閱讀背面之注T·項再填寫本頁) -*\& r 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 412783 經濟部智慧財產局員工消費合作社印數 B7 五、發明說明（^) 藉以此方式構成之第1實施例，除能得到與前述 第1實施例相同或相等之作用效果外，由於基板支 撐裝置126之支撐部130係呈蜂巢狀，因此可構成 一輕量且抗彎曲性強的基板支撐裝置，若使用具高 剛性的材料，可使之具有輕量高剛性的特點。 《第3實施例》 以下依據圖7〜圖10說明本發明之第3實施例 。此處，與前述第1實施例相同或相等的構成部份 ，係賦予相同符號，同時以簡略的敘述或省略其說 明。 圖7中，顯示有含有第3實施例之基板支撐裝置 的步進掃描方式液晶用曝光裝置300的槪略立體圖 。此第3實施例之液晶用曝光裝置300，其特徵在於 設有：取代前述第1實施例中之基板支撐裝置26的 基板支撐裝置226,取代機械手20之搬送手臂24的 搬送手臂24'，以及取代把持構件14之作爲基板把 持構件的平板把持構件IV (以下簡稱「把持構件」 )。 基板支撐裝置226，相較於前述基板支撐裝置26 ，爲用以支撐較大面積的平板P者，係具有：較平 板P還小的矩形外框28，及以格子狀設於該外框28 中之複數支線狀構件32。由此等線狀構件32所形成 的各個格子的內部，形成有複數之矩形開口部33 ^ -------------裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注 T項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS>A4規格<210 X 297公爱） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 41278¾ B7 五、發明說明（Vj ) 在此，作爲此等線狀構件32，係使用截面在高度方 向呈細長方形之物，此等線狀構件32係相互組合成 格子狀，且其前端分別熔接於外框28的內周面上。 此外’在外框28的一對長邊部上，與前述第1實施 例相同地分別向外側突出設有一對共四個的突緣部 27 ° 如圖7所示，本第3實施例中，作爲基板的平板 P+係由外框28，該外框28內形成格子狀的線狀構件 32 ’以及各突緣部27之各一部份所支撐（參考圖8 )。亦即，由外框28及該外框28內形成格子狀的 線狀構件32以及四個突緣部27構成用以支撐平板P 的支撐部。 此外，如圖7所示，在外框28的一對短邊部上 ，設有各一對之基板保持機構70A〜70D。 圖8中，係顯示用以說明藉由搬送手臂24f之爪 部23自基板支撐裝置226之突緣部27的下方支撐 時的定位以及保持方法的截面圖。此圖8,係以截面 圖顯示爪部23欲支撐裝載有平板P的基板支撐裝置 226時的狀態。該圖係以大致通過左右兩突緣部27 的中心線之面作爲截面。 如圖8所示，各突緣部27的下面，分別形成有 作爲凹部之圓錐槽52,相對於此，在爪部23上面形 成有與圓錐槽52相同的凹部，此凹部中鑲有一球體 51並以粘著等方式固定。此時，球體51係呈半露於 42 ---------------------訂·--------線 (請先閱讀背面之注'Γ項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 41278¾ _B7_ 五、發明說明（P ) 爪部23上面的狀態，而該球體51的上半部係作爲 與圓錐槽52相嵌合用的半球狀凸部。爲方便起見， 以下之說明中，將此半球狀凸部簡稱爲凸部5 1。又 ，球體51的材質並無特定，金屬、橡膠或陶瓷等皆 可。 本實施例中，由於突緣部27係左右各一對共有 四個，且各突緣部27分別形成有一圓錐槽52，因此 基板支撐裝置226設有四個圓錐槽52。此外，用以 嵌合於上述圓錐槽52中的四個凸部51係分別形成 於一對的爪部23上，且分別對應於圓錐槽52所設 之位置。據此，每一圓錐槽52與其對應的凸部51 係粗略地定位於對向的位置上，此時只須將基板支 撐裝置226裝載於爪部23上，基板支撐裝置226即 可因應爪部23而定位於所期望的位置上，而能保於 搬送手臂24'上。換言之，以上述各個圓錐槽52及 與此對應的凸部51構成一定位單元，藉由合計4組 的定位單元，即可構成用以依既定關係來設定基板 支撐裝置226與搬送手臂24'間之相對位置關係的定 位機構。 此處，之所以採用粗略地定位，係因即使基板支 撐裝置226與搬送手臂24'之一對爪部23間的相對 位置有若干偏離，在將基板支撐裝置226裝載於搬 送手臂2V時，圓錐槽52亦能沿凸部5 1的表面滑下 ，據以自動地調整基板支撐裝置226與爪部23間的 43 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -------------t--------訂---------線 (請先閱讀背面之汶-r項再填寫本頁) 4127^ B7 五、發明說明（Μ) 相對位置，最後使圓錐槽52與凸部51定位在中心 位置一致的期望位置上（參照圖9 )。 此定位狀態中，基板支撐裝置226之水平移動受 到限制，以防止其位置的偏離。此外，由於在上下 方向並未受到任何限制，因此爪部23的凸部51與 基板支撐裝置226的圓錐槽52間的嵌合可簡單地解 除。此時，由於藉由上述定位機構即可防止基板支 撐裝置226於搬送中的位置偏離，因此，在搬送手 臂之爪部23上無需設置真空吸盤等之動力源， 故可以降低該等裝置所占的成本。 此外，上述各定位單元中的一組，若其凸部與圓 錐槽間的關係與上述相反時亦不會有所妨礙。亦即 ，圓錐槽係形成於爪部23上，而凸部設於基板支撐 裝置上時.，亦無任何影響。 回到圖7，搭載於平板台PST上的把持構件IV ，係因應大型化的平板P，而形成的較前述把持構件 14還大。此把持構件14'的上面，係形成有分別用以 嵌合外框28、連結於外框28內並形成格子狀的線狀 構件32、四個突緣部27、以及四個基板保持機構 70A~70D之一連串的槽部15'。此槽部15'，包含有 與上述槽部14a —樣形狀’用以嵌合設成格子狀的 複數支線狀構件32的格子狀槽部14a'，用以嵌合較 寬的外框28之長方形環狀槽部14b，形成於把持構 件W之X軸方向兩端、連通環狀槽部14b、且比環 44 本紙張尺度適用中囤囷家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -- 1 -----αη-τη --- (請先閱讀背面之注·τ·項再填寫本頁) Γ 經濟部智慧財產局貝工消費合作社印製 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 41278| __B7____ 五、發明說明（眇） 狀槽部14b還寬，分別用以嵌合突緣部27之基部的 槽部14d，以及形成於把持構件If之Y軸方向兩端 ’連通環狀槽部14b ’約與槽部Md等寬，分別用以 嵌合基板保持機構7〇A〜7〇D的槽部。 其中，槽部】4e之深度，較其他槽部14a^ 14b 、！4d的深度稍深。而槽部、1仆、14d的深度 大致相同，皆爲約可使外框28及線狀構件32完全 埋入的深度。 圖9係顯示裝載平板P2的基板支撐裝置226被 保持於搬送手臂24'之爪部23上，正要被裝載於把 持構件If上時之截面圖。如此圖9所示，本第3實 施例中，在基板支撐裝置226之外框28下面的複數 個既定位置上，分別彤成有作爲凹部的圓錐槽62, 對應於此在把持構件中的環狀槽部14b內底面之 既定的四個位置上，分別形成有與圓錐槽62同樣的 凹部，每一凹部中鑲有球體61並以粘著等方式固定 。此時，球體61係呈自環狀槽部14b之內底面半露 出的狀態，而該球體61的上半部係用以作爲與圓錐 槽62相嵌合用的半球狀凸部。以下，爲便於說明， 將此半球狀凸部簡稱爲凸部61。又，球體61的材質 可爲金屬、橡膠或是陶瓷等皆無所謂。 分別用以嵌合上述四個圓錐槽62中的四個凸部 6 1，係分別設於對應該等圓錐槽6之相關位置。據 此，即可將保持有基板支撐裝置226的搬送手臂2^ 45 本紙張尺度適用中ΐ园家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐) ' ---------------------訂·------- (請先閱讀背面之注-?項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消f合作社印製 412783 A7 _B7 五、發明說明（A) ，對向把持構件If上之由前述槽部14a〜14b' 14d 以及14e所構成的槽部15^而粗略地加以定位，據此 使各個圓錐槽62與其對應的凸部61成大致對向的 狀態。接著，在上述粗略定位完成後，使搬送手臂 2V下降，並如同第1實施例中所述般地只要將基板 支撐裝置226裝載於把持構件14'上，即可使基板支 撐裝置226定位於相對把持構件If的相關位置上。 換言之，係由上述各圓錐槽62與其所對應的凸部61 形成一組定位單元，藉由四組定位單元即可構成一 用以依既定關係來設定該基板支撐裝置226與搬送 手臂24'間之相對位置關係的定位機構。 此時，在將基板支撐裝置226裝載於把持構件 14'上時，即使基板支撐裝置226與把持構件14'間的 相對位置有若干偏離，圓錐槽62亦能沿凸部61的 表面滑下，而自動地調整基板支撐裝置226與把持 構件14'間的相對位置關係，最後使圓錐槽62與凸 部6 1定位在中心位置一致的期望位置上。 此定位狀態中，因基板支撐裝置226之水平移動 受到限制，故可防止其位置的偏離。另一方面，由 於在上下方向並未受到任何限制，因此凸部61與基 板支撐裝置226的圓錐槽62間的嵌合可簡單地被解 除。此時，由於藉上述定位機構即可防止基板支撐 裝置226於平板台移動時，例如掃描曝光時、或步 進時之位置偏離，因此，在把持構件14'上無需設置 46 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 1 ^^1 ^^1 ^^1 ^^1 ^^1 ^^1 ^^1 ^^1 ^^1 ^^1 I « HI n« 1^1 ^^1 n m ^ ^ 9 n» n ϋν «ΙΚ I 3^. 言 劣 (請先間讀背面之汰·τ·項再填寫本頁) Β7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（#) 用以吸附外框28之下部面的吸氣孔（真空吸盤）等 ，因此不需設置真空用的配管，而能降低該等裝置 所占的成本。 此外，上述定位單元中若至少有一組，其凸部與 圓錐槽間的關係與上述相反時亦無任何影響。亦即 ，圓錐槽係形成於把持構件上，而凸部係設於基 板支撐裝置上時，亦無所謂。 其次，針對前述基板保持機構70A〜71B之構成 及作用，代表性的舉基板保持機構70B爲例，參照 圖10A及圖10B加以說明。 圖10A係顯示支撐平板P的基板支撐裝置226, 正被裝載於把持構件14'上之狀態的截面圖，圖10B 係顯示支撐平板P的基板支撐裝置226,已被裝載於 把持構件14'上之狀態的截面圖 如圖10Α及圖10Β所示，基板保持機構70Β， 包含有由4節搖動連鎖所構成的連桿機構，以及用 以作爲彈性構件之拉伸線圈彈簧74，其中，該連桿 機構尙包含藉由未圖示之把持構件等而被固定於基 板支撐裝置226之外框28上的基台76。 詳而言之，基台76,係由爲減輕重量而以既定 間隔形成有圓形開口 76a、具既定厚度的板狀構件所 形成。此基台76與外框28之反對側的端部，形成 有既定形狀之延設部，而以此延設部構成前述連桿 機構的固定部（以下稱爲「固定連桿」）。此固定 47 (請先閱讀背面之注 卞項再填寫本頁) 今° Γ ί 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 412T83 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（π) 連桿的一端部透過軸77與可自由轉動的第1連桿73 之一端相連接；此連桿73之另一端透過連結軸而與 第2連桿71之一端相連接；更進一步的，此連桿71 之長軸方向之中央部透過連結軸而與最短的第3連 桿72之一端相連接。此連桿72之另一端，透過軸 78以轉動自如的方式連結於固定連桿的另一端部上 。此時，如圖10A所示，當第1連桿73以軸77爲 中心而朝反時針方向搖動（轉動）時，則受其連動 之故，第2連桿71與第3連桿72將以連結軸爲中 心而朝時針方向搖動（轉動）。本實施例中，在轉 動時第2連桿71之另一端幾乎沿Y軸方向平行移動 。亦即，本實施例中，上述的連桿機構係一種可進 行司格特羅素近似平行移動（Scott Russell’s parallel motion)的司格特羅素機構，亦即所謂的蝗蟲型近似 平行移動機構。 此時，若第1連桿73之長度較其他連桿越長， 則連桿71之另一端的移動越接近真正的平行移動。 承上所述，所謂的連桿71之另一端的移動接近 真正的平行移動，係指當連桿73係經常地被保持迫 向圖10A中的順時方向時，連桿71之另一端可大致 自正橫方向壓向平板P。本第3實施例中，上述迫使 力可由作爲彈性構件之拉伸線圈彈簧74的彈性力所 賦予，而在上述連桿71之另一端固定一保持墊75, 以此保持墊75自正橫方向壓住平板P。 48 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注'^項再填寫本頁) 言 Γ —惠. 良 A7 412783 B7_ 五、發明說明（00 其他的基板保持機構70A、70C、70D亦與上述 基板保持機構70B —樣的構成。 本實施例，如圖7所示，由於外框28之基板保 持機構70C、70D所安裝的位置係大致對向於基板保 持機構7〇A、70B所安裝的位置，因此平板P係藉上 述四個基板保持機構70A、70B、70C、7〇D自長軸 方向的一端及另一端將其挾持。 另一方面，如圖10B所示，當將支撐平板P的 基板支撐裝置226裝載於把持構件14'上時，第1連 桿73與第2連桿71的連結部係接觸於槽部14e的 內底面，相當於基板與基板支撐裝置226本身重量 的力量將該內底面壓向下方，藉由此反作用力即可 抵抗拉伸線圏彈簧74的彈力，而使連桿73向圖10B 中的反時針方向轉動，如前所述，各保持墊75進行 近似平行運動，進而解除四個基板保持機構70A〜 70D對平板P的挾持。 承上所述，由於將其裝載於把持構件上時， 並未加上任何外力，而是利用基板與基板支撐裝置 226本身重量的作用來解除對平板P的挾持，因此對 掃描曝光或步進時之平板台PST移動而言，作用於 把持構件14f之平板P吸附面的慣性較平板P與基板 支撐裝置226以一體的方式移動時還小，所以把持 構件14f用以吸附平板P的吸附力可被設定爲較小的 値。 49 本紙張尺度適用t國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -------------裝--------訂·--------線 (請先閱讀背面之注·,·-項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 經濟部智慧財產局員Η消费合作社印製 412783 A7 _B7__ 五、發明說明（4) 當然，於曝光完成而進行平板交換時，當裝載於 把持構件If上的基板支撐裝置226以搬送手臂24' 舉起時，如圖10A所示，作用於基板保持機構70A 〜7〇D上之基板支撐裝置226之本身重量的作用消 失，而藉由拉伸線圈彈簧74的拉力，四個保持墊75 將會近似平行運動而自略水平方向挾持平板P。 承上所述，若藉由本第3實施例，即可以基板保 持機構70A〜70D，視需要而將平板P挾持於基板支 撐裝置226上或是解除基板支撐裝置226之挾持， 而無須藉助外力來達成。此外，由於此基板保持機 構70A〜70D非常小而輕，故亦能適用於較窄的空間 α 再者，此第3實施例中，若基板支撐裝置226爲 金屬製時，如圖10Α及圖10Β所示，在線狀構件32 間的交會點或是基台76的複數個位置上，可分別安 裝由低摩擦滑動材所形成如蓋般之間隔構件79、80 ，以自下方支撐平板Ρ，使平板Ρ不致直接與金屬製 之基板支撐裝置226接觸。 有關其他部份之構成、平板Ρ之搬送方法、交換 方法等之各部動作等，因與上述第1實施例相同， 故省略其詳細說明。 由上述之第3實施例可知，除具有與第1實施例 相同之效果外，尙可以簡單的構成進行基板支撐裝 置與搬送手臂之爪部間的定位，或進行基板支撐裝 ' 50 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -------------裝--------訂·--------線 . (請先閱讀背面之注 τ項再填寫本頁) A7 B7 五、發明說明（4) 置與把持構件間的定位，此外，亦可因應基板支撐 裝置本身重量的作用、及非作用狀態進行對平板P 之支撐或解除支撐。 再者，上述第3實施例中，已針對在基板支撐裝 置226的四個突緣部27的四個位置上分別形成有一 圓錐槽52,且在相對於該等位置上的搬送手臂24'之 爪部23上分別設有兩個球面狀凸部51，並由該圓錐 槽52與半球狀的凸部51分別組成4組定位單元， 據以構成用以將基板支撐裝置226與搬送手臂24'間 之相對關係設定爲既定關係的定位機構加以說明， 然而本發明並不限於此。 例如，可在四個突緣部27中的二個或三個位置 上，各形成圓錐槽，相對於此，在爪部23之既定的 二或三處設置凸部51，據以組合成二組或散組的定 位單元亦可。當然，若其中一組定位單元的圓錐槽 與凸部係相反的配置亦可。 此外，亦可在基板支撐裝置上設置自其外框縱向 延伸左右各一對的突緣部，以增大其與爪部23的接 觸面積，而透過凸緣部，該基板支撐裝置即可由一 對的爪部23來加以保持。此時，由上述圓錐槽與凸 部所組成的定位單元，只要設置二組即可。 又，構成上述定位單元之圓錐槽亦可由作爲凹部 、用以與凸部相嵌合的V槽所替代。但，若所有的 定位單元之凹部均由V槽構成時，則其中至少有一 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） · J ! <請先閱讀背面之注Γ·項再填寫本頁)
T 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 A7 412783 B7__ 五、發明說明（Μ ) V槽的方向必須與其他V槽不同。但，若至少一個 定位單元之凹部爲圓錐槽時，則無需考慮上述限制 〇 此外，上述複數之定位單元中的至少一個凸部可 爲球面狀凸部以外的凸部。此時，用以嵌合該凸部 的凹部形狀須與其相對應。例如，凸部爲圓錐台狀 時，則凹部須爲圓錐槽。 再者，上述第3實施例中，已針對在基板支撐裝 置226之外框28的底部的四個位置上分別形成圓錐 槽62，對應於此，在把持構件14'分別設置四個半球 面狀的凸部61，並由圓錐槽62及與此對應之半球狀 的凸部61構成四組定位單元，據以構成用以將基板 支撐裝置226與把持構件14'間之相對關設定爲既定 關係的定位機構加以說明，然而本發明並不限於此 〇 例如，亦可在基板支撐裝置226之底部中的二個 或三個位置上各形成圓錐槽，對應於此，於把持構 件If之既定位置設置二或三處的凸部61，據以組合 成二組或三組的定位單元。當然，若其中一組定位 單元的圓錐槽與凸部係相反的配置亦可。 又，構成用以進行上述基板支撐裝置與把持構件 14'間定位的定位單元中的圓錐槽，亦可由作爲凹部 、用以與凸部相嵌合的V槽所替代。但，若所有的 定位單元之凹部均由V槽構成時，則其中至少有一 52 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -------------裝--------訂·--------線 (請先閱讀背面之;£ί-項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 41柳 A7 〇 B7 五、發明說明（) V槽的方向須與其他V槽不同。此外，若至少一個 定位單元之凹部爲圓錐槽時，則無需考慮上述限制 〇 此時，作爲複數之定位單元中的至少一個凸部， 亦可爲球面狀凸部以外的凸部（例如圓錐台狀之凸部） 。此時，用以嵌合該凸部的凹部形狀須與其相對應 〇 又，如上述第3實施例所述，當圓錐槽52係設 於該基板支撐裝置226之突緣部27下面，且凸部51 係設於搬送手臂24'之爪部23上面，而凸部61係設 於把持構件上面時，上述圓錐槽52均可與凸部 51、凸部61相嵌合。具體而言，例如使凸部51、凸 部61之形狀相同，凸部61設於用以與四個突緣部 27分別相嵌合之槽部14d中的內底面即可。如此， 即不需在基板支撐裝置226之外框28上形成圓錐槽 62 °
此外，上述第3實施例中，已針對由四個基板保 持機構70A〜70D所構成，藉由此基板保持機構即可 防止平板P的位置偏離，其中，基板保持機構係因 應基板支撐裝置226之本身重量的有無來挾持平板P 或解除對平板P的挾持之位置偏離防止部之構成； 然而，基板保持機構亦可藉由適當地設定各拉伸線 圈彈簧74的拉力來使其具有其他各項機能D 亦即，若基板保持機構7〇A、70B的保持墊75 53 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 χ 297公釐） * - - {請先閱讀背面之注.、項再填寫本頁) 言 Γ 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 412783 A7 JB7 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 五、發明說明（q) 對平板P的總壓力、以及基板保持機構70C、70D的 保持墊75對平板P的總壓力的任何一壓力，遠較平 板P與基板支撐裝置226間的摩擦力（垂直抵抗力 X靜摩擦係數）小時，可藉由平板裝載裝置（未圖示 )而將平板P裝載於基板支撐裝置226上’利用基 板保持機構將平板P挾持住以使其不會在基板支撐 裝置226上移動，同時亦能防止於搬送途中平板P 在基板支撐裝置226上產生偏移。換言之，基板保 持機構70A、70D具有單純作爲位置偏離防止部的機 ft ° 此外，若基板保持機構70A、7〇D與拉伸線圏彈 簧74均爲相同構成，且拉伸線圈彈簧74的拉力係 被設定爲使基板保持機構70A、70B的保持墊"75對 平板P的總壓力、以及基板保持機構7〇C、70D的保 持墊75對平板P的總壓力，均遠大於平板P與基板 支撐裝置226間的摩擦力時，平板P即可被定位於 基板保持機構70A、70B以及基板保持機構70C ' 70D間的中間位置。亦即，基板保持機構70A〜7〇D 具有作爲定位機構的機能，而能在基板支撐裝置 上對平板P進行所謂的預定位（pre，alignment )。此 時，當然亦能防止於搬送途中因振動等而造成平板p 在基板支撐裝置226上產生偏移。 此外，作爲基板保持機構，若設置與上述基板保 持機構70A〜70D相同之機構時，則只需在平板P的 54 09^ (請先閱讀背面之注 _，項再填寫本頁) i *1° r 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 χ 297公釐） 412733 A7 B7 五、發明說明（π) 一側及其相對側分別設置一個即足夠。此時，同樣 地亦可藉由適當地設定拉伸線圈彈簧74的拉为以@ 行上述之預定位動作。 另外，若僅在基板支撐裝置2 26的一側，至少設 置與上述基板保持機構70 Α〜70D相同之機構構成的 基板移動機構，且在與此對向的基台76上設置與平 板P相接觸爲定基準的基準構件，則可作爲定位機 構（位置修正裝置）構成一位置偏離防止裝置。 構成此位置偏離防止裝置之基板移動機構，爲使 基板P移動，係以較平板P與基板支撐裝置226間 之摩擦力還大的力量壓於平板P之側面。例如，若 以彈力定數較大的拉伸線圈彈簧作爲前述基板保持 機構70B中的彈簧74時，該基板保持機構70B即可 做爲構成位置偏離防止裝置之基板移動機構。另外 ，構成位置偏離防止裝置之基準構件係由兩個沿外 框28之短邊方向、且以既定間隔而設的凸起構件所 構成。 以下，簡單地說明具有以上述方式構成上述位置 偏離防止裝置之基板支撐裝置226於平板搬送中的 作用。首先，以未圖示的平板裝載裝置將平板P裝 載於基板支撐裝置226上，此時，平板P未與基準 構件相接觸。之後，以搬送手臂將支撐平板P的基 板支撐裝置226舉起，並使基板移動機構壓於基準 構件的相對側。據此，平板p朝基準構件移動，至 55 本紙張尺度適用中國囷家標準（CNS)A4規格（210 X 297公《 ) (請先間讀背面之注：‘項再填寫本頁) Γ ί 經濟部智慧財產局負工消費合作社印製 4127Β3 五、發明說明（β) 抵接基準構件之位後停止。藉此，平板P被定位於 所期望的位置。亦即，此基板支撐裝置中，即使平 板p自期望位置產生偏移時，亦能修正其偏位。完 成上述定位後，基板移動機構雖已完成其任務，但 仍會持續地壓住平板P，以使平板P安定地保持在其 位置上。亦即，當基板移動機構完成定位後，係與 基準構件以一體的方式作動而發揮位置偏離防止機 tb ° 再者，只要基準構件能接觸平板之側面並防止其 移動，對其形狀與構造並沒有一定的限制。 此外，上述位置偏離防止裝置中，雖然基準構件 係被固定，但亦可爲可動的基準構件，藉由此種基 準構件與上述基板移動機構則可構成另一種機能的 位置偏離防止裝置。在此種機能之位置偏離防止裝 置的基板支撐裝置中，基準構件係設置於基板支撐 裝置上的端部附近，且可於第1可動端及第2可動 端間往返移動。此基準構件，係藉由較基板移動機 構的迫使力還弱的迫使構件（如彈簧等）而常時地 迫向第1可動端側。此處，第1可動端，係在未與 平板p接觸之狀態下，由迫使構件所逼迫的基準構 件的移動極限位置。第2可動端，係基準構件透過 基板移動機構所壓住的平板p在壓住時的移動極限 位置。 具有此可動基準構件的基板支撐裝置於平板搬送 56 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） (請先閲讀背面之注 .‘項再填寫本頁) r ί 經濟部智慧財產局®:工消費合作社印製 經濟部智慧財產局貝工消費合作社印製 412783 a? __B7_ 五、發明說明（外） 中的作用如下。首先，平板P係由未圖示的裝載裝 置而裝載於基板支撐裝置上，此時與前述同樣的， 平板P並未抵接於基準構件。之後，當以搬送手臂 將裝載平板p的基板支撐裝置舉起時，基板移動機 構即將平板P壓向位於第1可動端之基準構件。接 著，當平板p抵接位於第1可動端之基準構件時， 基準構件即抵抗迫使構件的迫使力，且由於基板移 動機構壓住平板P，因此基準構件將會朝第2可動端 移動。當基準構件到達第2可動端時，即停於該處 ，藉此，平板P被定位於期望的位置。之後，與上 述相同般，基板移動機構與基準構件共同發揮位置 偏離防止機能。 包含具有此可動基準構件之位置偏離防止裝置的 基板支撐裝置中，由於可動基準構件在由第1可動 端移動到第2可動端間，係持續抵接於平板P，因此 ，平板P係以被可動基準構件與基板移動機構挾持 之狀態下移動到期望的位置。因此，基板支撐裝置 具有即使移動中的平板P受到外力作用時，平板P 亦不會自基板支撐裝置脫離的特長（merit)。此外， 相較於之前的固定型基準構件，此基準構件對於平 板P歸位於期望位置時的衝擊較爲緩和。 再者，若利用一具既定彈簧係數的彈簧作爲基板 保持機構的拉伸線圈彈簧時，能將保持墊75作爲上 述可動基準構件使用。 57 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） — — — — — — — — —-------I I I I 訂- - ------- (請先閱讀背面之沒 >項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消费合作社印^ 412783 A7 B7 五、發明說明（<) 至此所說明的，係利用搬送手臂將基板支撐裝置 舉起，亦即利用解除基板支撐裝置的本身重量的作 用，藉基板保持機構或基板移動機構來壓住平板P 之例’又’此情況下的壓力係由彈簧所提供，但， 本發明之實施並不只限於此。亦即，亦可採用壓力 之產生無關基板支撐裝置的本身重量作用之有無的 構造。此時的壓合力（迫使力）產生源，可爲設於 基板支撐裝置上或外部的電動傳動裝置或汽缸等， 藉由使用該等器具的基板動裝置即可進行平板P的 壓住與移動。 另外，若利用氣流而使平板p與基板支撐裝置之 間的摩擦力減小時，即能以較小的力移動平板P。 再者，當然亦可使用橡膠來做爲彈性構件，以取 代基板保持機構70A〜70D的拉伸線圈彈簧，藉由橡 膠的彈力亦可移動平板P，或是防止位置偏離。 又，上述第3實施例中，已對使用一種可進行司 格特羅素近似平行運動之所謂蝗蟲型近似平行運動 機構構成基板保持機構70A〜70D的連桿機構之例加 以說明，但並不受限於此，亦可採用其他的連桿構 造，同時亦可藉由彈簧或橡膠等的彈性構件之迫使 力而使其連桿構造中的一連桿部份壓接於平板P側 面，並利用基板支撐裝置本身重量的作用而使該連 桿部份自平板P側面脫離。 此外，如第3實施例所述，當具有基板支撐裝置 58 本紙張尺度適用中國國^標準（CNS〉A4規格（210 X 297公釐） -------------裝i ------訂---------線 (請先閱讀背面之注'"項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局B工消費合作社印製 412783 A7 B7 五、發明說明（头） 與搬送手臂間的定位機構、基板支撐裝置與基板把 持構件間的定位機構、及兼具有基板與基板支撐裝 置間的位置偏離防止部之基板保持機構時，則無需 搬送手臂的真空機構，且基板把持構件的真空機構 亦不一定要設置。此時’作爲基板支撐裝置之支撐 部，亦可使用不具開口部的板狀構件。此時，只要 在基板把持構件上面形成用以嵌合支撐部的槽部即 可。 上述第3實施例之液晶用曝光裝置300，係以下 述步驟來製造。亦即，先準備裝載平板P的基板支 撐裝置226，並將具有搬送手臂24的機械手20設置 於地面上，此搬送手臂24係用以舉持基板支撐裝置 226，同時搬送平板P的搬送構件。在此前後，將由 複數個透鏡之光學元件所構成的照明光學系統、投 影光學系統PL裝配於包含有基座12的曝光裝置本 體上，並且進行光學調整，同時將由多數機械構件 所構成之標線板台或平板台PST裝配於曝光裝置本 體上，並將配線及配管連接。更進一步的，再準備 用以裝載基板支撐裝置220的把持構件14f，並將該 把持構件I4'裝配於平板台PST上，將配線及配管連 接。在組裝此把持構件14'之前，基板支撐裝置與把 持構件之間預先設置構成前述四組定位單元的凹部 及凸部。接著，最後藉進行總和調整（電氣調整、 動作確認等），以製造出液晶用曝光裝置300。此外 __59 _ 本紙張k度適用中國1家標準（CNS)A4規格（210x297公爱3 ^ -------------裝·-------訂---------線 (請先閱讀背面之注 -項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 412783 a7 ____B7__ 五、發明說明（S)) ，曝光裝置的製造最好是在對溫度及潔淨度有管制 的潔淨室中進行者較佳。 再者，上述第1、第2及第3實施例中，已對利 用搬送手臂24、24'而由下方來支撐基板支撐裝置26 、126或226之兩側的情況加以說明，但，事實上並 不受限於此，只要能安全地搬送平板P，亦可自基板 支撐裝置的前方、或是前方及側方來保持基板支撐 裝置。 又，外框28的突緣部27並非一定需要，若將外 框28做得較大，即可藉搬送手臂24挾持外框的一 部分而將其保持住。 又，於上述各實施例中，已針對將本發明之基板 搬送裝置及基板交換方法適用於液晶用步進掃描方 式曝光裝置時的情況做過說明，但本發明亦可適用 於一種同步移動光罩與基板，而使光罩上的圖案逐 次地複製到基板上的等倍率一次複製型液晶用掃描 曝光裝置、或是一種依序步進地移動基板之步進重 覆型液晶用曝光裝置。除此之外，本發明之基板搬 送裝置及基板交換方法亦可適用於近接式（proximity) 曝光裝置，此種裝置不使用投影光學系統，而是將 光罩與基板密接而使光罩上的圖案複製到基板上。 此外，曝光裝置的用途亦不限定於液晶顯示板製 造用的曝光裝置，例如亦可作爲將積體電路圖案複 製於晶圓上的半導體製造用曝光裝置，或是用以製 ____60_ 本紙尺度適用令國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐) ^ ---------— ！ · — I — f I — 訂--- - ----- (請先閱讀背面之注'r項再填寫本頁) B7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（si) 造薄膜磁頭的曝光裝置。再者，本發明之基板支撐 裝置、基板搬送裝置及基板交換方法非只適用於曝 光裝置，亦可廣泛適用於基板檢查裝置等的基板處 理裝置或是具有用以保持基板之基板把持構件的裝 置° 另外，作爲本發明之曝光裝置曝光用的能量束， 除g線（436nm) ' i線（365nm)、或是KrF準分子雷射 光等（ 248nm)等的DUV光之外，亦可使用ArF準 分子雷射光（193nm) 、F2雷射光（157nm)、或是 X線即電子線等的電荷粒子線。例如，在使用電子 線時，可使用熱電子放射型的LaB6、Ta(釔）來作爲 電子槍。 再者，本發明曝光裝置之投影光學系統的倍率除 等倍系統之外，尙可爲縮小系統或擴大系統。 作爲投影光學系統，若使用準分子雷射光等遠紫 外線時係使用可透過遠紫外線的石英或螢石作爲硝 材，而當使用F2雷射光或X線時，爲反射曲折系或 反射系的光學系統（標線板亦使用反射型之物）， 此外，在使用電子線時，可利用由電子透鏡及偏向 器構成的電子光學系統作爲光學系統。而電子線通 過的光路當然應呈真空狀態。在使用此種電子光學 系統的電子線曝光裝置中，或不使用光罩、或是事 先將光罩組裝於電子鏡筒中，因此，先前說明過的 曝光裝置製造步驟中之光罩台組裝步驟可以省去。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -------------裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之沒 ·項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 412783 A7 _B7 五、發明說明（4) 【產業上利用的可能性】 綜上所述，本發明之基板支撐裝置有利於搬送基 板，特別是對於大型基板的搬送。此外，本發明之 基板搬送裝置及基板搬送方法有利於將基板搬送到 基板把持構件上，特別是在基板把持構件之基板裝 載側面空間狹小之情形下，將基板搬送到基板把持 構件上時非合適。再者，本發明之基板交換方法有 利於交換基板把持構件上的基板，特別是對於大型 基板的交換。又，本發明之曝光裝置有利於液晶顯 示元件、半導體元件等的製造，特別是由於可以縮 短基板交換時間，因此可以提升液晶顯示元件等的 生產性。 -------------裳'-------訂---------線 (請先閱讀背面之注 々項再填寫本頁) 62 本紙張尺度適用t國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）