JP7157587B2 - 保持装置、リソグラフィ装置及び物品の製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第1実施形態における保持装置100の構成を示す概略図である。保持装置100は、例えば、露光装置に用いられるマスクやマスクのパターンが転写される基板などのプレート1を位置決めして保持する。保持装置100は、載置台2と、押付部材3と、基準部材11と、気体供給部30と、を有する。
図3は、本発明の第2実施形態における保持装置100Bの構成を示す概略図である。保持装置100Bでは、載置台2の土手部4に設けられた溝5が複数のエリアに分けられ、それぞれのエリアには孔6が設けられている。本実施形態では、孔6に対して、エリアごとに個別に継手7が設けられ、継手7に接続する供給管8もそれぞれ個別に設けられている。供給管8は、図3に示すように、C1乃至C8の組み合わせごとに集約され、各組み合わせが個別のレギュレータ12に接続され、個別の制御部9によって、C1乃至C8の組み合わせ(エリア)ごとに、気体供給源から供給される気体のオン・オフが制御される。
本実施形態では、図3に示したように、孔6に対して、エリアごとに個別に継手7が設けられ、継手7に接続する供給管8もそれぞれ個別に設けられている。また、第2実施形態と同様に、供給管8は、C1乃至C8の組み合わせごとに集約され、各組み合わせが個別のレギュレータ12に接続されている。本実施形態では、個別の制御部9によって、C1乃至C8の組み合わせ(エリア)ごとに、気体供給源から供給される気体の圧力及び流量の少なくとも一方が制御される。
図4を参照して、保持装置100の動作について説明する。ここでは、保持装置100を例に説明するが、保持装置100Bも同様に動作する。図4は、保持装置100の動作を説明するためのフローチャートである。S102では、搬送ユニットによって、プレート1を載置台2に載置する。この際、上述したように、プレート1は、基準部材11から-X方向側及び+Y方向側にシフトさせた状態で載置台2に載置される。
図5を参照して、本発明の一側面としての露光装置500について説明する。露光装置500は、半導体素子や液晶表示素子の製造工程であるリソグラフィ工程に採用され、基板にパターンを形成するリソグラフィ装置である。露光装置500は、マスク(原版)を介して基板を露光して、マスクのパターンを基板に転写する。
Claims (12)
- プレートを保持する保持装置であって、
前記プレートが載置される載置台と、
前記載置台に設けられ、前記プレートの隣り合う第1側面及び第2側面の位置決めの基準となる基準部材と、
前記載置台に設けられ、前記プレートの前記第1側面及び前記第2側面を前記基準部材に突き当てるように、前記プレートの前記第1側面の反対側の第3側面及び前記第2側面の反対側の第4側面のそれぞれを押す押付部材と、
前記プレートが前記押付部材から前記基準部材に向かう方向に前記載置台上でスライドするように、前記載置台から前記プレートに向けて気体を供給する供給部と、
を有し、
前記供給部は、前記第1側面及び前記第4側面のそれぞれを含む前記プレートの各周辺領域に前記気体を供給するための第1供給管と、前記第2側面及び前記第3側面のそれぞれを含む前記プレートの各周辺領域に前記気体を供給するための第2供給管と、を含むことを特徴とする保持装置。 - 前記押付部材は、前記供給部が前記気体を供給している状態において、前記プレートの前記第3側面及び前記第4側面のそれぞれを押すことを特徴とする請求項1に記載の保持装置。
- 前記基準部材は、前記第1側面が突き当てられる第1基準部材及び第2基準部材と、前記第2側面が突き当てられる第3基準部材と、を含み、
前記第1基準部材及び前記第2基準部材は、前記プレートが前記載置台上で位置決めされた状態において、前記第2側面に沿った前記プレートの中心軸に対して対称に設けられ、
前記第3基準部材は、前記プレートが前記載置台上で位置決めされた状態において、前記第1側面に沿った前記プレートの中心軸上に設けられていることを特徴とする請求項1又は2に記載の保持装置。 - 前記押付部材は、前記第1基準部材及び前記第2基準部材に向かう方向に前記プレートの前記第3側面を押す第1押付部材と、前記第3基準部材に向かう方向に前記プレートの前記第4側面を押す第2押付部材と、を含み、
前記第1押付部材は、前記プレートが前記載置台上で位置決めされた状態において、前記第2側面に沿った前記プレートの中心軸上に設けられ、
前記第2押付部材は、前記プレートが前記載置台上で位置決めされた状態において、前記第1側面に沿った前記プレートの中心軸上に設けられていることを特徴とする請求項3に記載の保持装置。 - 前記押付部材は、前記プレートの前記第1側面を前記第1基準部材及び前記第2基準部材に突き当てるように前記第1押付部材により前記プレートの前記第3側面を押した後、前記プレートの前記第2側面を前記第3基準部材に突き当てるように前記第2押付部材により前記プレートの前記第4側面を押すことを特徴とする請求項4に記載の保持装置。
- プレートを保持する保持装置であって、
前記プレートが載置される載置台と、
前記載置台に設けられ、前記プレートの隣り合う第1側面及び第2側面の位置決めの基準となる基準部材と、
前記載置台に設けられ、前記プレートの前記第1側面及び前記第2側面を前記基準部材に突き当てるように、前記プレートの前記第1側面の反対側の第3側面及び前記第2側面の反対側の第4側面のそれぞれを押す押付部材と、
前記プレートが前記押付部材から前記基準部材に向かう方向に前記載置台上でスライドするように、前記載置台から前記プレートに向けて気体を供給する供給部と、
を有し、
前記供給部は、
前記プレートが前記載置台上で位置決めされた状態において、前記第1側面、前記第2側面、前記第3側面及び前記第4側面のそれぞれを含む前記プレートの各周辺領域に対向する前記載置台の第1領域、第2領域、第3領域及び第4領域のそれぞれに設けられ、前記プレートに向けて前記気体を供給するための複数の孔と、
前記気体の供給源と前記第1領域に設けられた前記複数の孔及び前記第4領域に設けられた前記複数の孔とを接続して当該孔に前記気体を供給するための第1供給管と、
前記供給源と前記第2領域に設けられた前記複数の孔及び前記第3領域に設けられた前記複数の孔とを接続して当該孔に前記気体を供給するための第2供給管と、
を含むことを特徴とする保持装置。 - 前記供給部は、
前記プレートが前記載置台上で位置決めされた状態において、前記第1側面、前記第2側面、前記第3側面及び前記第4側面のそれぞれを含む前記プレートの各周辺領域に対向する前記載置台の第1領域、第2領域、第3領域及び第4領域のそれぞれに設けられ、前記プレートに向けて前記気体を供給するための複数の孔と、
前記プレートが前記押付部材から前記基準部材に向かう方向に前記載置台上でスライドするように、前記気体の供給源から前記第1供給管及び前記第2供給管のそれぞれに前記気体を供給するタイミングを制御する制御部と、
を含み、
前記第1供給管及び前記第2供給管は、前記供給源と前記複数の孔のうちの少なくとも1つの孔とを接続して当該孔に前記気体を供給することを特徴とする請求項1乃至5のうちいずれか1項に記載の保持装置。 - 前記供給部は、
前記プレートが前記載置台上で位置決めされた状態において、前記第1側面、前記第2側面、前記第3側面及び前記第4側面のそれぞれを含む前記プレートの各周辺領域に対向する前記載置台の第1領域、第2領域、第3領域及び第4領域のそれぞれに設けられ、前記プレートに向けて前記気体を供給するための複数の孔と、
前記プレートが前記押付部材から前記基準部材に向かう方向に前記載置台上でスライドするように、前記気体の供給源から前記第1供給管及び前記第2供給管のそれぞれに供給される前記気体の圧力及び流量の少なくとも一方を制御する制御部と、
を含み、
前記第1供給管及び前記第2供給管は、前記供給源と前記複数の孔のうちの少なくとも1つの孔とを接続して当該孔に前記気体を供給することを特徴とする請求項1乃至5のうちいずれか1項に記載の保持装置。 - 基板にパターンを形成するリソグラフィ装置であって、
前記基板を保持する基板ステージを有し、
前記基板ステージは、前記基板をプレートとして保持する請求項1乃至8のうちいずれか1項に記載の保持装置を含むことを特徴とするリソグラフィ装置。 - 前記基板に転写すべきパターンを有するマスクを保持するマスクステージを更に有し、
前記マスクステージは、前記マスクをプレートとして保持する請求項1乃至8のうちいずれか1項に記載の保持装置を含むことを特徴とする請求項9に記載のリソグラフィ装置。 - 基板にパターンを形成するリソグラフィ装置であって、
前記基板に転写すべきパターンを有するマスクを保持するマスクステージを有し、
前記マスクステージは、前記マスクをプレートとして保持する請求項1乃至8のうちいずれか1項に記載の保持装置を含むことを特徴とするリソグラフィ装置。 - 請求項9乃至11のうちいずれか1項に記載のリソグラフィ装置を用いてパターンを基板に形成する工程と、
前記工程で前記パターンが形成された前記基板を処理する工程と、
処理された前記基板から物品を製造する工程と、
を有することを特徴とする物品の製造方法。
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