JP2017175070A - 保持装置、保持方法、リソグラフィ装置、および物品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は本発明の第1実施形態に係る保持装置を備えた露光装置の概略図である。当該保持装置は、他のリソグラフィ装置(例えばインプリント装置)へ適用することもできるが本実施形態では露光装置への適用を例に説明する。本実施形態に係る保持装置を備えた露光装置は、光源110と、照明光学系120と、投影光学系130と、ステージ140と、制御部150と、を含む。また、本実施形態に係る保持装置は、吸着部160と、吸着制御部170と、を含む。なお、投影光学系130の光軸をZ軸とし、それに垂直な平面をXY平面とする。
本実施形態は、基板Wの反り形状の情報が実測などにより分かっている場合の真空吸着方法である。基板Wの反り形状が予め分かっている場合は、工程S103では、制御部150が基板Wと吸着部160との間の距離に基づいて(例えば、距離が近い順に)吸着順序を設定する。したがって、工程S101および工程S102は不要となる。本実施形態によっても第1実施形態と同様の効果が得られる。
本実施形態は、第1実施形態の工程S101および工程S102を省略する真空吸着方法である。本実施形態では、吸着部160に基板Wを載置する前の工程にて、吸着部160による吸着保持と同様の保持をする部材により、工程S101および工程S102に相当する工程を行う。工程S103では、制御部150が圧力データに基づいて吸着順序を設定する。本実施形態によっても第1実施形態と同様の効果が得られる。当該部材としては、温調プレート等がある。
本発明の実施形態における物品の製造方法は、例えば、半導体デバイス等のマイクロデバイスや微細構造を有する素子等の物品を製造するのに好適である。本実施形態の物品の製造方法は、上記保持装置により保持された基板に対し、上記露光装置を用いてパターンを基板に形成する(露光する)工程と、かかる工程でパターンを形成された基板を加工(現像)する工程とを含む。リソグラフィ装置がインプリント装置である場合は、現像する工程の代わりに、例えば残膜を除去する工程を含む。更に、かかる製造方法は、他の周知の工程(酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等)を含む。本実施形態の物品の製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
170 吸着制御部
W 基板
Claims (13)
- 基板を真空吸着して保持する保持装置であって、
複数の吸着領域を有する吸着部と、
吸着部を制御する制御部と、を有し、
前記制御部は、
第1の基板を吸着部により吸着したときの圧力に基づいて、前記複数の吸着領域による前記基板の吸着を始める順序を求め、
求めた順序により、第2の基板を吸着するように前記吸着部を制御する、
ことを特徴とする保持装置。 - 前記圧力は、前記第1の基板を前記複数の吸着領域により吸着したときの圧力であることを特徴とする請求項1に記載の保持装置。
- 前記順序は、前記圧力が小さい順に設定されることを特徴とする請求項1または2に記載の保持装置。
- 前記順序は、前記複数の吸着領域のうち、前記圧力が所定の範囲内にある吸着領域による吸着を同じタイミングで開始するように設定されることを特徴とする請求項1乃至3のうちいずれか1項に記載の保持装置。
- 基板を真空吸着して保持する保持装置であって、
複数の吸着領域を有する吸着部と、
吸着部を制御する制御部と、を有し、
前記制御部は、
第1の基板の形状に関する情報に基づいて、前記複数の吸着領域による前記基板の吸着を始める順序を求め、
求めた順序により、第2の基板を吸着するように前記吸着部を制御する、
ことを特徴とする保持装置。 - 前記情報は、前記第1の基板と前記吸着部との間の距離であることを特徴とする請求項5に記載の保持装置。
- 前記順序は、前記距離が近い順に設定されることを特徴とする請求項6に記載の保持装置。
- 前記順序は、前記複数の吸着領域のうち、前記距離が所定の範囲内にある吸着領域による吸着を同じタイミングで開始するように設定されることを特徴とする請求項6または7に記載の保持装置。
- 前記第1の基板および前記第2の基板は、同一の形状となるように選択されることを特徴とする請求項1乃至8のうちいずれか1項に記載の保持装置。
- 前記第1の基板および前記第2の基板は、同一のロットから選択されることを特徴とする請求項1乃至9のうちいずれか1項に記載の保持装置。
- 複数の吸着領域により基板を真空吸着して保持する保持方法であって、
第1の基板の形状に関する情報に基づいて、前記複数の吸着領域による前記基板の吸着を始める順序を求め、
求めた順序により、第2の基板を吸着する、
ことを特徴とする保持方法。 - パターンを基板に形成するリソグラフィ装置であって、
前記基板を真空吸着して保持する請求項1乃至10のうちいずれか1項に記載の保持装置を備えることを特徴とするリソグラフィ装置。 - 請求項12に記載のリソグラフィ装置を用いてパターンを基板に形成する工程と、
前記工程でパターンを形成された前記基板を加工する工程と、
を有することを特徴とする物品の製造方法。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11456195B2 (en) | 2019-07-23 | 2022-09-27 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Wafer processing apparatus and wafer processing method using the same apparatus |
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