JPH0227359A - 連続自動露光機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ホトレジストを塗布し、フィルムで覆われた
基板に、感光用の光を照射する露光機に係り、特に、連
続的かつ自動的に高能率で多数の基板を順次に露光せし
め得るように改良した露光機に関するものである。

［従来の技術〕 第５図は従来例の露光機１を示す外観図であって、超高
圧水銀灯（図示せず）を光源として紫外線照射を行う露
光室１ａと、基板の挿入、取出口１ｂとを備えている。

作業員は作業台１ｃの前に立って操作する。

第６図は上記従来例の露光機の作動を説明するため、模
式的に描いた平面図である。

作業台ｌｃ上において、基板搭載用の枠部材２の上に基
板３を置き、フィルム４で覆って（フィルム４を基板３
の下に敷く例もあり、基板３の上下を２枚のフィルム４
で挟む例もある）、矢印ａの如く露光室ｌａ内に挿入し
て紫外線照射を行う。

露光を終った基板３は矢印すの如く取り出し、枠部材２
やフィルム４を取り外してｌサイクルの作業を終り、こ
れを繰り返す。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記の作動説明によって容易に理解できるように、従来
技術に係る露光機による露光作業は、挿入→露光→取出
し、というサイクルの繰り返しとなり、露光作用は間欠
的に行われる。

更に詳しくは、枠部材とフィルムと基板とのセット→挿
入→露光→取出し→リセット（枠部材から基板及びフィ
ルムの取外し）という作業の繰り返しとなり、セット時
間、挿入時間、取出し時間。

及びリセット時間中は露光作用が中断する。

具体例を以て示せば、正味露光時間が２０秒の場合、セ
ットと挿入に１０秒を要し、取出しとりセットに１０秒
を要し、（余裕時間若干も必要であるが）正味稼働率は
約５０％になる。

その上、上記のように間欠的な作動を繰り返すことは自
動化に不利であり、半自動化はできても全自動化は困難
であって、能率向上に限界がある。

本発明は上述の事情に鑑みて為されたもので、１００％
に近い正味稼働率が得られ、しかも自動化に適した露光
機を提供することを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

上記の目的を達成するために創作した本発明の露光機の
基本的原理は次の如くである。

多数の枠部材を構成し、これに基板を搭載して順次に露
光室内を通過させる。

上記の通過は、基本的には一方通行であって、露光室の
入口の手前で基板を搭載された枠部材を、露光室の入口
から連続的に送りこむ。

露光室の出口から連続的に送り出されて（る枠部材から
基板を取り外し、枠部材は露光室の外側を回って入口側
に返す。

このようにして、多数の枠部材を循環させながら露光室
内を通過させ、露光室の入口手前と出口付近で基板の積
み卸しを行う。

上に述べた原理に基づいて、これを実用面に適用するた
めの具体的な構成として、本発明の露光装置は、基板搭
載用の多数の枠部材と、複数個の枠部材（基板が搭載さ
れている）を収納し得る露光室と、上記多数の枠部材を
循環させて露光室内を通過させる搬送手段とを設ける。

（作用〕 上記の構成によれば、枠部材が露光室内を通過している
間は、該枠部材に搭載されている基板が露光される。

これを露光室について見れば、次々に基板が入ってきて
次々に出てゆき、切れ目無く通過するので露光時間の休
止が無い。

枠部材に対する基板、フィルムのセット、リセットは露
光室外で行われるが、先行の基枠と枠とフィルムとがリ
セットされている時間中も後続の基板が露光されており
、該後続の基板の露光中にさらに後続の基板とフィルム
と枠部材とがセ・ントされる。このようにして露光室は
連続的にフル運転される。

また、上述のセット、リセットの作業は、循環搬送路上
においてそれぞれ行われるので自動化が容易である。

〔実施例］ 第１図は本発明の連続自動露光機の１実施例を示す平面
図、第２図は同じく側面図である。

５は、本実施例の露光室であって、３個の枠部材６ｃ、
６ｄ、６ｅを平面的に並べて収納し得るスペースを有し
ている。

本例では、第１図に示すように８個の枠部材６ａ〜６ｈ
を設けである。

上記８個の枠部材は矢印ｉの如く露光室５の中を通って
搬送され、矢印ｊ、に、ｆの如く露光室５の外側を迂回
して返送され、連続的に循環している。

基板３ａはコンベア８によって矢印ｍの如（搬入され、
ローダ９によって枠部材６ａに搭載される。

本例の枠部材は、第２図に示す如く上枠と下枠とよりな
る。第２図において枠部材６ａ、６ｇが上下に分かれた
状態であり、それぞれ上枠６　ａ　−１＋６　ｇ−＋＋
　及び下枠６　ａ−ｚ、　　６　ｇ−ｚが組となって枠
部材を構成している。

第２図において、枠部材６ｇの上枠６ｇ−１は、ブツシ
ュシリンダ１０ａ、ブツシュロッド１０ｂによって押し
上げられている。枠部材６ａの上枠６ａ−１も同様にし
て押し上げられている。

ローダ９は、矩形運動するりフタ９ａと、回転軸９ｂの
回りに回動するように支持された真空吸着盤９Ｃとを備
えていて、リフタ９ａで押し上げられた基板３ｂを、真
空吸着盤で吸着保持して、上枠６ａ−＋と下枠６ａ−２
との間に挿入して搭載する。

この枠部材６ａの位置は位置決めステーションであって
、第３図に示すようにして枠部材６ａとフィルム４との
位置決めが行われる。

説明の便宜上、直交３軸ｘ、ｙ、ｚを想定する。

矢印Ｘは第１図に示した矢印ｉと一致しており、Ｚ軸は
垂直軸である。

枠部材６ａは、水平を保つようにローラ（図示せず）で
支承されている。

そして、矢印Ｙ方向に動かないよう、かつＺ軸回りに回
動しないよう、１対の位置決めローラ１２に突き当てら
れている。

枠部材６ａには位置決め用の切欠６ａ−１が設けられて
おり、位置決め用のローラ１１が上記の切欠に嵌合して
矢印Ｙ方向に押される。これにより、枠部材６ａのＸ方
向位置、Ｙ方向位置が決まる。

枠部材６ａが上記のように機械的に位置決めされた後、
枠部材６ａに装着されたガラス板６ａ上で、フィルム４
が次のようにして光学的に位置決めされる。

この位置決めステーションの下方に、１対のテレビカメ
ラ１３ａ、　１３ｂが設置されていて、フィルム４のア
ライメントマーク４ａ、４ｂをそれぞれ検出して拡大表
示して位置合わせが行われる。

第４図は、位置決めされたフィルム４の固定方法の説明
図である。

枠部材６ａ上にガラス板６ａ−４が置かれ、金具６ａ−
５とネジ６ａ−６とで固定されており、その位置は微調
整可能である。

上記のガラス板６ａ−４とフィルム４との間に両面粘着
テープ１４を挟んで相互に固定する。

上記のフィルム４には予め孔４Ｃが設けられていて、両
面粘着テープ１４の一部は上記の孔４Ｃの中で盛り上が
る。

このため、フィルム４の上に置かれた基板３が粘着され
て固定される。

第１図において、フィルム及び基板（共に図示せず）を
乗せて固定された枠部材６ａは、同６ｂの位置を経て露
光室５内へ、図示しないブツシャで送りこまれる。

さらに後続の枠部材に押されて枠部材６Ｃの位置から、
同６ｄの位置、同６ｅの位置まで進められる。

枠部材が６０位置から６ｅ位置まで押し進められる間、
その上に乗せられた基板（図示省略）は絶えず露光を受
ける。

露光室５内を通過した枠部材は６ｆ位置を経て６ｇ位置
に進められアンローダ１５によって基板を卸される。

上記のアンローダ１５は、先に説明したローダ９と類似
の構成である。図示の３ｄは、アンローダ１５の真空吸
着盤１５ｃで吸着保持された基板である。

この基板３ｄは、枠部材６ｇから取り卸されてコンベア
８′に送り出される。

基板を卸された枠部材６ｇは矢印ｊ、　　ｋ、　　ｆｆ
の如く搬送されて位置決めステーションの位置（第１図
において枠部材６ａの位置）に還される。

１６は矢印ｊ方向の枠部材搬送路、１６ａは駆動用のシ
リンダである。

１７は矢印！方向の枠部材搬送路、１７ａは駆動用シリ
ンダである。

１８は矢印に方向の搬送手段で。６ｈは矢印に方向に搬
送中の枠部材である。

スライダ１８ａは、枠部材６ｈを把持した状態でロッド
レスシリンダ１８ｂにより矢印に方向に搬送される。

以上に説明したようにして、８個の枠部材６ａ〜６ｈは
矢印ｉ−＋ｊ　−＋　ｋ−＋　ｌの如く循環し続けなが
ら、図示の位置６ａで基板を搭載され、位置６０〜６ｅ
の間で露光され、位置６ｇで基板を取り卸される。

このようにして８個の枠部材は何回も繰り返して使用さ
れる。そして、該８個の枠部材の一つ一つについて第３
図に示したようにフィルムを位置合わせしておくと、８
個の枠部材のいずれを用いても、フィルムのパターンが
基板上の正しい位置に焼きつけられる。

第３図に示したように枠部材を機械的に位置決めする手
段を設けておくと、簡単な構成で高精度の位置決めが出
来る。また、フィルムは柔軟な部材であるから機械的な
位置決めは適しないが、第３図のように光学的位置決め
手段（例えばテレビカメラ）を設けておくと高精度の位
置決めができる。

第１図及び第２図に示したように、露光室５の入口側に
ローダ９を設けるとともに、出口側にアンローダ１５を
設けておくと、この露光機を全自動化するために有効で
ある。

〔発明の効果〕

本発明の露光機は、複数個の枠部材を平面的に並べて収
納できる露光室と、複数個の枠部材を順次に搬送して露
光室内を通過させる搬送手段とを設けたので、高能率、
高稼働率で露光操作を遂行できる。

さらに、上記複数個の枠部材を循環させる搬送手段を設
けたので、枠部材を繰り返し使用できて経済的である。

その上、これらの枠部材に対してフィルムを一旦正確に
位置決めすれば、その後も露光を何回繰り返しても基板
上の正しい位置にフィルムのパターンを焼きつけること
ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る連続自動露光機の１実施例を示す
平面図、第２図は同じく側面図である。 第３図は上記実施例における位置決め機構の説明図、第
４図は同じくフィルム等の固定手段の説明図である。 第５図は従来例の露光機の外観斜視図、第６図は上記従
来例の作用を説明するための模式図である。 ３　３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ・・・基板、４・・・フィ
ルム、４ａ、４ｂ・・・アライメントパターン、４Ｃ・
・・孔、５・・・露光室、６ａ〜６ｈ・・・枠部材、　
８゜８′・・・コンベア、９・・・ローダ、１５・・・
アンローダ。 第３図

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. １．ホトレジストを塗布した基板に光を照射する露光機
   において、基板搭載用の複数個の枠部材と、少なくとも
   ２個の枠部材を平面的に並べて収納し得る露光室と、複
   数個の枠部材を順次に搬送して上記露光室内を通過させ
   て循環させる搬送手段とを有することを特徴とする、連
   続自動露光機。
2. ２．前記の搬送手段は、露光室を通過する手前の位置で
   搬送中の枠部材を一時的に停止させて基板を搭載するロ
   ータ、及び、露光室を通過し終えた位置の枠部材から基
   板を受け取って次工程に受け渡しするアンローダを備え
   たものであることを特徴とする、請求項１に記載の連続
   自動露光機。
3. ３．前記の搬送手段は、枠部材を一時的に停止させて機
   械的に位置決めする手段と、位置決めされた状態の枠の
   上に置かれた露光用のフィルムを光学的に位置決めする
   手段とを備えたものであることを特徴とする、請求項１
   又は同２に記載の連続自動露光機。