TW399224B - A chemical wet treatment device - Google Patents

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五、發明説明（l·) 本發明係關於一種化學之濕式處理裝置，用於處理置 放於一個裝有處理液體的容器内的基質，此裝置含有一個 抽出裝置作為送進及送出至少—組基質承載器和基質之用 ’以及關於使用此種抽出裝置的乾燥程序。 現今自動的濕浸台具有一排的槽或桶用來進行—系列 的化學濕浸程序。基質，例如是排放於一個匣子内的矽晶 圓片，在冗成一系列的化學程序之後或者在程序進行之間 ’則被浸入到一個清洗槽内，並接著被乾燥。 基質的乾燥方法有使用離心機，但也可以在緩慢地從 清洗槽内拉出之時完成。 從文獻EP 0 385 536知悉一種乾燥程序，其方式是當 基質緩慢從浴槽内拉出時，另外運用一種蒸氣加到基質上 面，此處蒸氣不會凝結在基質上面，而是擴散入液體内。 位於基質表面上的液體彎凸面便形成了濃度梯度變化以及 表面張力梯度變化，此表面張力梯度變化則產生從基質離 去而進入液體的液體運動，並導致無液體殘留在基質面上 的乾燥。在化學濕式處理或清洗以及乾燥過程中’位在承 載器，亦稱為晶圓匣，内的基質被支撐在匣子侧壁的内表 面上的缝槽内。此類的標準載器特別也具有相對大的表面 積含邊緣和彎角，因此拖帶相對大量的化學液從一個處理 桶進入到另外一個或者從一個浴槽到別的浴槽’而使得乾 燥的過程困難。在處理過程之中’一般的基質承載器的邊 緣和大的表面也要求特別的相關清潔、清洗以及乾燥步驟 ，此係在表面、邊緣和彎角處餘留下較多的液體之故，以 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210#29虹'藿") f 先聞讀背面之注項再填寫本耳> -訂 經濟部中央橾準局負工消費合作社印裝 經濟部中央橾牟局負工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（2_ ) 及化學物的除淨變得更煩瑣些。若承載器沒有侧旁的導引 ，則在抽取時也缺少為基質所設的側旁導引。在習知的裝 置，當從浴槽内拉出基質時，承載器的側旁導引被使用來 支禮基質，為了預防基質當從承載器取出時掉落下去。 從文獻JP 5-27 06 60(A)知悉一種於開始所述及之裝 置，在此裝置預設一個配帶傳輸滑行架的抽出裝置，作為 在一個化學濕式處理的容器内將基質和基質承載器送進及 送出之用。如同在從文獻EP 0 385 536 A所知悉的排列其 送出及送進的情形，基質是停留在載器内，連同承載器一 齊被帶進和帶出。 從文獻US 52 99 901知悉一種基質操作機械，其中有 一個第一傳輸滑行架移動基質承載器，以及有一個箪二 輸滑行架將基質從承載器移進和移出。在這份文獻並未提 及關於基質及基質承載器從一個化學濕式處理基質容器的 帶進和帶出，以及和此有關的要求及困難問題。 從文獻US 49 63 069知悉一種基質操作裝置，其中有 —個基質承載器被使用一具推升裝置來上下移動，並且另 外預設一個活塞阖拄單元以一個曲时聯結連到推升桿，用 來將基質承載器從上升的運動中移動出去。 從文獻DE 34 25 267 C2知悉一種傳輸和個別處理基 質之裝置，其中基質在承載器内部被抬起，並從這承載器 被移出。 文獻US 34 93 093繪示及説明一種傳輸和操作裝置， 使用在抬起和輸送物件，其中運用一個控制凸輪。 本紙張尺度適财顏家縣（CNS)A4規格（21㈣.穿)' (請先S讀背面之注意事項再填寫本頁) '11 Μ 經濟部中央樣準局貝工消費合作社印製 Α7 Β7 五、發明説明（3.) ' 本發明之課題在於完成或揭示一個裝置以及一项程序 運用在化學濕式處理，特別是在清洗及/或乾燥，在此設 備或在此程序中能連續且安全地將基質抬移出及抬進去。 此訂定之課題則依據本發明的構想來解決，即抽出裝 置具有一個為基質所設的策二傳輸康赶架以及一個為基質 丞襄备所設的第；傳輸滑行架’兩者經由一個曲肘應』吉彼 此連結著。因此基質和基質承載器的抽出控制得以分離而 能達致針對程序要求最佳的運動匹配。一種這類具有滑行 架能彼此相對運動的連結，導致兩具滑行架最佳的運動匹 配’並因而導致基質和基質承載器之間最佳的運動匹配。 根據本發明所述之特徵及措施，可以連續地將承載器連同 停留在内的基質傳動出來，以及後續地將基質從承載器内 抬.移出來，而不會在整個流程中出現這被傳動出之承載器 的靜止或急劇減速，特別也是當從承載器的移動轉換到基 質相對於承載器的移動之時。在處理承載器，特別是晶圓 片必須注意，即當由處理槽、清洗槽或潔淨槽抽出晶圓片 時不能發生靜止態，因為若運動過程被中斷，則在由液體 移出過渡到液體表面上面的空間的區域時，顆粒即沈澱到 晶圓片上面。經由如本發明所述之措施來實現承載器和基 質之間的差異抬移，此能獲致當基質由液體移出以及特別 是脱離液體表面時的一個穩定、持續的運動。 本發明之優異性結構形式在附屬的申請專利範圍内有 説明。 首先這第一傳輸滑行架被連結到一個驅動裝置。第二 CNS ) Μ 规格（21伙297條） -----------裝-------1,^------#- (請先聞讀背面之注$項再填寫本頁) 經濟部中央橾準局貝工消費合作社印裝 A7 B7 --—-—---— 五、發明説明（4·) 傳輸滑行架在此則不是自主性的，而只是經由第一傳輸滑 行架來帶動。 根據本發明的一項另外的優異性結構形式是曲肘聯結 具有兩支條桿，此處第一條桿和第一傳輸滑行架以及第二 條桿和第二傳輸滑行架活動連結。條桿在它的偏離傳輸滑 行架的尾端，則是使用一支梢軸以能轉動方式連結。 優異的作法是連結兩支條桿的梢軸之一個凸出區域在 一個控制凸輪上面跑動。此控制凸輪因而預設給了兩支條 桿之連結點的運動流程。經由控制凸輪的合宜設計，邛以 一併影響第一和第二傳輸滑行架的運動，但也可以分別獨 立對兩者作用。如此實現了差異抬移，即初始時基質承載 器和基質以同一速度移動，然後基質承載器停止運動，而 基質繼續移動。經由結合一個無侧旁導引的基質承載器， 亦即所謂的"Low Mass Carrier"(低質量載器）或"Low Profile Carrier"(低型載器），在含有一個此類的差異抬 移機構時，即把固定裝配的基質承載器接纳分離配置在容 器内’這承載器接納對於標準載器的處理程序是必須具備 ° 優異的作法是控制凸輪具有一個走勢筆宜、平行於運 動方向的部位以及一處連接到此筆直部位的圓弧部位。 根據一項優異性的結構形式是加大第一和第二傳輸滑 行架之間的間距，以及若梢軸在圓弧部位上面跑動，因此 擴大基質和基質承載器之間的間距。經由基質和基質承載 器之間間距的擴大，基質被從基質承載器抬移出來。 本紙張尺度適用(CNS) A4规格（210讀鉍丨) (锖先si*背面之注«事項存填寫本萸) 订 d. 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 A7 -----— — B7 五、發明説明（5.) 優異的作法是圓弧部位的形狀被選定成為使得第一和 第二傳輸滑行架之間的間距持績加大。經由這設計確保基 質抽出速度的怪定’如此由於逆向運動或者甚至是靜止時 ’導致在基質上面的乾燥潰痕及液體顆粒的堆積即被確實 避免。 首要是圓故部位的形狀在它的尾端部位被設計成使得 這第二傳輸滑行架逐漸來到靜止狀態。第二傳輸滑行架進 到靜止狀態的位置點被選在若基質與一個位在基質承載器 外面的導引器嵌合時，這第二傳輸滑行架就首先停止，然 而基質承載器卻仍未和預設在杯槽外的基質導引器碰撞。 優異的作法是第一傳輸滑行架與一個刀形的抬起裝置 ，亦稱之為「刀」，連結，此裝置或刀將基質支撐在一個 點上，而形成僅有一個點狀的接觸。這個基質的接觸是在 移出時最後離開液體。刀形的優點為，在這位置基質上面 存在的液體經由刀形或者尖的形體來導引排掉。「刀」設 有凹口，以防止基質的偏滑。 較佳的作法是，若梢軸從控制凸輪筆直的部位滑行出 去時，刀形的抬起裝置和基質承載器是以相同速度被抬起 。這情形發生在基質當被抬起時仍位在基質承載器内。若 基質與一個位在基質承載器外面的導引器嵌合時，這第二 傳輸滑行架才進入停止態。 在容器頂上被安置一個罩子的情形時，特別是在乾燥 過程’特別有利的作法是在罩子的側壁内設置導引器。罩 子王要為覆蓋容器或杯槽，但如果這個罩子不和基質承載 (請先W讀背面之注$項再填寫本頁) 訂 經濟部中央揉準局貝工消費合作社印裝 A7 B7 五、發明説明（6.) 器嵌合，則因此亦能作為導引基質之用。較合宜的作法是 在罩子的蓋板上安置一片擴散板，為了產生含有異丙醇（ 1PA)/氮的大氣來改善乾燥的程序。 根據本發明所揭示之更優異的作法是，此抽出裝置具 有另外一個可解閂及可銷定的棘爪機搆，與第一和第二傳 輸滑行架相互固定結合。此介於第一和第二傳輸滑行架之 間的固定結合，對應到曲肘聯結内的梢軸在控制凸輪平行 於運動方向走勢的部位上面之運動。在棘爪機構被鎖定時 ’基質承載器連同基質完全可由容器抽取出來，此例如是 若基質承載器的移交位置發生在杯槽的上邊緣，以及特別 是若基質承載器連同基質要被帶進或帶出杯槽。為了簡化 控制特別配置一支圓柱用來解閂及/或鎖定，此尤其是在 把裝置以模組形式運用在一個自動裝填系統的情形。經由 此可解問的棘爪機構保證傳輸滑行架可以滑動到上邊位置 ，一齊用來裝填或卸載，然而也能被分開從基質承載器抽 取出基質。 本發明另外之課題在於提升半導體晶片及/或晶圓製 作的良率或使用前面所述之裝置進一步來提升生產良率， 以及進一步簡化操作程序和改良製作品質。 此課題和前述之裝置或裝置具有腿聯性，而經由如本 發明所提出之方式來解決，此即預設一個罩子羞在杯槽上 面，而且這杯槽具有一個防土篇人裝置。特別在至少有兩 個杯槽相鄰排列用來處理基質時，若使用習用之裝置所發 生的缺點是，當插入或拉出潮濕的基質及〆或基質承載器 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨〇^2來後_着_) —--I I ^ I I I I I--I I- ^―訂 J----I -贫 (請先《讀背面之注意事項再填寫本X) 經濟部中央搮準局貝工消费合作社印製 A7 _______B7 五、發明説明（7.) 時’液體滴落到鄰近的處理槽之罩子上面。因此若罩子在 杯槽上面被滑動，為了例如在杯槽内取出被乾燥的基質及 /或基質承載器，則極可能液滴在罩子的側旁滾動並滴落 到這已被乾燥的基質上面。此缺點經由如本發明所述之措 施來排除，即配置一個防止滴入裝置。 特別的方式為此防滴罩子是一片滴乾板，被安裝在罩 子的上邊，或者以一個套領的形式被置放或設置在罩子的 周圍。滴乾板或是套領的安裝主要視空間的狀況而定，並 且依照存在的位置來選擇。 根據本發明一個有利的結構形式，此板子或套領突出 在整個罩子的大小範圍上面，並且依據本發明一個特別優 異的結構形式，此滴乾板及/或套領朝向罩子的—個側邊 往下斜傾，此侧邊為當打開杯槽時罩子被推移向的側邊。 如此方式確保在從打開的杯槽上滑離開的罩子側邊上面不 會有液體流動而滴入杯槽内，因為滴乾板或套領是突出在 罩子的側壁上面並且從側壁或從罩子上邊緣向上突起，因 此液體不會滴落。這落在罩子的液體及在側旁表面一直到 套領流動的水滴則經由滴乾板或套領被下斜導引到罩子的 側邊，當打開或關閉杯槽時，此侧邊不會從上面經過杯槽 的開口。 根據本發明一個另外的結構形式，在罩子推移時，不 經過的杯槽邊緣上面加上一個槽緣滴落斜邊到杯槽邊上， 此係若基質和基質裝載器要經由這個區域被傳輸時，用來 防止液體從上面滴落到槽緣並且會污染或再次沾濕杯槽邊 本紙張U適用帽®家料（CNS) M規格（2丨时29--- (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) -訂 A7 A7 五 發明説明（8.) 緣。 此設定之課題也在前述之裝置和裝置上，經由—個^ 在杯槽的清潔開口來被解決。在處理基質，尤其是晶圓^ 的情形，則處理或操作的過程當中發生晶圓片裂開<其部 位拆裂後就停留在杯槽内。這些殘留物必須繁複地由上面 來清移走。經由發明所述之措施，即在杯槽配置—個清潔 開口，可以大大簡化移走殘留物或破碎的晶圓片的過程。 為此措施’此清潔開口較佳的作法是使用一個可開啓，特 別疋可旋開的凸緣來达、封住’就此而言’這清潔開口最好 被預設在杯槽的一邊靠在或接近杯槽底部。如此得以快速 且不繁複直接碰觸到在桶内的殘留物和晶圓碎片。 此設定之課題也在前述之裝置上，經由一個預設在蒸 氣區内用來防止靜電荷附著的電游離來被解決。在蒸氣區 内以及特別也是經由滴乾過程和流動的處理液，例如蒸餾 水或其Έ：液體’則在處理空間内的水表面上以及在封住杯 槽上面的罩子内形成離子，這些離予導致靜電荷附著，並 且引發在基質上面的破壞。經由靜電荷的附著會部分建立 很高的靜電壓，此則導致電崩潰而損壞基質。經由電游離 的離子產生能降低靜電荷的附著，而能防止晶圓片再由於 靜電荷的附著而被損壞。在蒸氣區内特別是充滿氮氣及/ 或異丙醇。 根據此裝置-個有利的結構形式，將把電游離裝置設 在蒸氣區内，在此電游離裝置主要至少有一根游離棒裝於 靠在至 個罩子的内壁上。特別是電赫裝置包含至少 (請先W讀背面之注項再填寫本頁) 訂 經濟部中央橾準局貝工消費合作社印製

經濟部中央樣率局貝工消费合作社印策 五、發明説明（9.) 反電壓電極’同樣讀合宜的方式被安裝於靠在罩 群相對=壁上，以—個選定的間距和游離棒或游離棒組 源_、 反極主要制轉錢$卜個高壓電 Λ、、要頭’此電源的另外接测接到游離棒。 游離棒主要被加到—個5至25千伏特⑽的電壓 別是10至15千伏特的範圍。 根據本發明-個有利的結構形式是高壓電源以脈衝方 式輸出。脈衝的波形寬度主要為1至⑽毫秒(ms)，特別是 在10至40毫秒的範圍。較合宜的作法是脈衝的工作時寬比 値在1:8至1:12的範圍，而特別大約在1:1〇較適宜。 在前述裝置上也經由下述作法來改善製程的品質，此 即在蒸氣區内預設至少一支量測探針，用來監視氣體密度 ，氣體混合組成及/或氣體及氣體混合種類成分。由量測 探針所獲悉的量測數値主要被用來作為控制或調節在蒸氣 區内的氣體密度’氣體混合組成及/或氣體及氣體混合種 類成分的參考。以如此方式得以在整個製作及處理流程中 維持蒸氣區内最佳的比値關係，而保證高的製程品質及低 的廢品率。 根據一項前述之裝置的另外的發明結構形式，製程品 質也依照下述作法來改善，此即在處理液所放流的管路内 安裝一個流量計用來量測處理液的流量。如此能夠快速確 知偏離的流量及/或由流量計所獲悉的量測數値被用來作 為控制或調節流進及/或流出的液體量的參考。在流進及 /或放流的管路内特別預設一個閥門，尤其是一個由一個 本紙張尺度適用中國國家梯车（CNS ) A4規格（2丨的 請 先 閱

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I 經濟部中央標率局貝工消費合作社印製 A7 B7 —I _ 五、發明説明（ίο.) 馬達所操控的關，此馬達或_則依據流量計的量測數 値來被控制或調節。 前述之裝置可經由如本發明所述之方式維持一低的製 作成本，做法是將由杯槽流出的處理液再到一個重新再生 的裝置内健新再生。此㈣節省生產成本蚁作為防止 環境污染的過程。重新再生的液體主要再被運㈣液體杯 槽内。全部重新再生的液體或其中—部分也可以在再生之 後放流到使用㈣排水管内。若_大概為在基f的乾燥 程序時的_水’這方式更合適在再生處置之後毫無問題 地將水導放入社區的廢水系統内。 根據本發明所述之抽出裝置更合適運用到一個乾燥程 序。在此疋將基質從清洗液抬舉出，並且把基質支架留在 槽内。接著把液體水面降底到基質支架的下面，例如可經 由打開一個放流口來降低液面。接著已被乾燥的基質被放 下回到同樣已被乾燥的基質支架内。基質的乾燥方式因而 發生在由杯槽内移出基質時，而另外基質承載器是經由降 低清洗液的液面來被乾燥。 本發明以及更詳盡的細節和本身的優點則在下文以妗 構範例在圖形的參考標7JT之下加以説明。圖示： ^ 圖一 一個抽出裝置之結構形式的背側視圖，運用在如 本發明所述之乾燥裝置； 圖二 如圖一所示之抽出裝置的側視圖； 圖三 用在化學濕式處理之乾燥裝置的剖視圖，並同時 表示根據本發明所述之乾燥程序的第一步； 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > A4規格（2丨^2來公；«~) (請先閲讀背面之注$項再填寫本頁) 訂 -.c_ 五、發明説明（11. B7 圖四 圖五 圖六 圖七 圖八 圖九 圖十 圖十一 經濟部中夬標隼局貝工消費合作社印—

Sir月所述之乾燥程序的第二步驟 乾燥程序的第三步驟 根撼士明所述之乾燥程序的第四步驟 =發明所述之乾燥程序的第确 :=明所述之乾燥程序的第六步驟 相祕發明所述之乾燥程序的第七步驟； ^發明所述之乾燥程序的第八步驟； 據本發明所述之裝a的結卿式之示意圖， 片覆蓋在罩子上的滴乾板； 根據本發明所述之裝置，其另外的結構形式含有 =固防滴裝置’以—_繞住罩子的套領形式安 衣考"， 如圖十二所示之結構形式俯視圖； 根據本發明所述之裝置的結構形式側視圖，含有 一在杯槽内的清潔開口； 一個沿著在圖十四内所標示上去剖線I - I的示 意截面，以及； 一個罩子的結構形式含有一個以示意圖表示的電游離機構。 於圖一和圖二内繪示一個抽出裝置i配屬在對應圖三 如本發明所述之裝置20内，用來乾燥晶圓片25。抽出裝置 1具有一個第一傳輸滑行架2連同一支為一個刀形抬起裝 置16設置的載臂14 ’以及一個第二傳輸滑行架3連同一支 為基質承載器Π設置的載臂15，兩個傳輸滑行架經由一個 項

含 I 頁 圖十三 圖十四 圖十五 圖十六 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨〇^2潘良釐) 發明説明（12.) 曲肘聯4相互連結。曲肘聯結4包含—支第—條桿$和 (请先閱讀背面之注f項再填寫本頁} -支第二條桿6，此鱗和第—傳輸滑行架2以及和第二 傳輸滑行架3科独。兩支鱗5，6_-支_7 相互連、‘。第-傳輸滑行架2被__具（未被㈣的）馬達 驅動並且在抽出之時經由曲肘聯結4一併拉動第二傳輸滑 行架3在導引軌1()上面向上滑行。在此，梢轴7滑動在一 個控制A兔11上’這控制凸輪由一個筆直的部位12和一處 彎曲的圓弧部位13構成。 經濟部中央橾隼局員工消費合作社印裝 若梢軸7在筆直的部位12上面運動，則曲肘聯結4在 第一和第二傳輸滑行架2，3之間主要形成一個亂定^動 的連結。在此狀態農备霉车25被 一查抬升’而這刀形抬起裝置16還未靠到晶圓片25邊上。 從控制凸輪11的圓弧部位13被開始接觸以後，第二傳輸滑 行架3漸漸變得比第一傳輸滑行架2後1。因而此刀形抬 起裝置16來到晶圓片25邊上，並且抬升起晶圓片而從基質 承載器17的支架抬移出。在這時間點此晶圓片25已被支撐 在一個罩予22的導引39内，此可以從下文還要加以説明的 圖五看出來。然而這傳輸滑行架3在此並未全然的停住， 而是對應於圓弧部位13的曲面跟隨著第一傳輸滑行架2的 運動來跑動，風為條捍5」.m這H性，繞著梢紐轉 敷基JAMir向妁夾魚速讀_地_擴大。第二傳輸滑行架3 停住的時間點是在當梢軸7被送到圓弧部位13過渡到一個 圓弓形的位置時，此圓弓形的半徑和從梢軸到第二條桿6 和第二傳輸滑行架3之間連結點的轉軸的間距大小一致。 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS〉A4規格（ B7 五、發明説明（13·) 在此第二傳輸滑行架3的停住是由本身的重量作用而停住 圖娘邵位】3範園内的半徑，此範園為從筆直的部位12 -直到81轉位腦停止點，纽是比在停止點之後的圓 弧部位13區域的半徑為大。 於圖三至圖十中説明運用在這些圖内並未緣示出的柚 出裝置1來執行乾燥程序的流程。在圖三至圖十内同樣的 標示符號代表同樣的元件。 根據圖三如本發明所述之裝置2〇具有一個杯禮或者一 個象器21，在其上面一假策子22被朝向側旁推移。在杯槽 21的内部可以看到這裝在碁質臂14上的刀形抬^^^。 一具基H戴器U連同排列在裏面的晶圓片25被使用 支裝置操作桿24放置到位於晶圓片的下面尾端位置裏的 抽出裝置1。清洗液23從底部注入到杯槽23内，並且經由 一個溢出邊緣28流進在外面的一個溢出杯槽29。因為抽出 裝置1位於晶圓片的下面尾端位置，因此晶圓片25完全被 浸入到清洗液23内。 基質承載器17設有兩片平行安置的側板，其中在圖三 的視圖内只能看到一片侧板3〇。在侧板之間裝上四支長形 窄缝的桿予31，32, 33, 34用來接納晶圓片25。此類也稱之 為「低質量載器（L〇w Mass Carrier)」的基質承載器之結 構細節在未發表的德國公報44 28 169已被描述，此公報 作為描述它的内容而不再重複敘述。 一種氣體從上面被引入到罩子22内，並且經由杯槽的 本紙張尺度適用中國國家橾率（CNS > A4规格（21&^2^兼~) A7 ---— B7 五、發明説明（14·) 液體溢流口從乾燥室内逸出。 用來乾燥的氣體是經由一條位於罩子22之上蓋區内的 長管來被導引入。被安裝在長管與蓋子内部之間的擴散板 設有一特定的孔樣，導致在蓋子的長寬部位產生一個均勻 的氣體分布。若同時有多個基質承載器17被放到乾燥裝置 20内來處理，則特別在蓋子内位於晶圓片匣組的前端各設 有分隔板’用來保證在罩子22内針對各個晶圓片匡組有一 個均勻的氣體分_佈’主要是在整個空間均勻的IpA/氮氣 混合。另外的情形為造成不同的氣流比例，而在匣組的各 片晶圓片25具有不同的乾燥結果。在相同的内側面上有導 引狹缝39用來導引晶圓片25。在罩子22内的導JJJiL缝39有 大約5度的傾斜角。與之一致的，是基質承載器17以同樣 的傾斜角被沈入到杯槽21内。經由此構造晶圓片25的位置 ’在整個乾燥程序内被界定住，並且基質承載器的乾燥過 程同樣被改善。 根據本發明所述之裝置，依據圖四的描示與圖三僅有 的差異處為’軍子22被推移到杯槽21的上面。在此之後， 基質承載器17連同晶圓片25被抬升起。在此，經由 篕一僂鲅度社的驅動而從控盤旮輪IX之筆·直ϋ趣仗12 上滑行過。 在圖五，運動位置來到一個定點，即當，捎轴<7從控^制 凸輪丄的部位離去而開始進入控故JII 部。控制凸輪11的形狀和大小被構造成，若晶圓 片25來和罩子22内的側旁導引39嵌合時，此定點即被達到 本紙張尺度適用中國國家橾率（CNS ) A4規格（2ΐθχ 2|7备釐 > .ϋ·· · {請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 1訂一Γ 經濟部中央標準局負工消費合作杜印製 經濟部中央標準局貝工消费合作社印装 A7 -----'______ B7 五、發明説明（15. ) ' ’石县用來導引晶岡碎刊之用。在這 之後’，晶圓片25經由刀夏抬起裝置16被抬升起。 當晶圓片25從清洗液23内移出之後，這晶圓片25便被 乾燥。乾燥的雜是借助輕H21上面的IPA/ll氣的大氣 ’因為在基$25上面氣體和清洗液23溶合而經由存在表面 張力内的梯度變化來防止一層的液體薄膜停留在基質烈上 面。 如圖7T所示’基質承載器17緩慢的相對於刀形抬起裝 置16停留住。因而刀形抬起裝置16接替了從容器21内繼續 抬升起晶圓片25的動作。 在圖七標示出基質承載器17完全停止的位置，以及只 有刀形的抬起裝置16還向上運動。因而基質承載器17不會 被擠壓到罩子22的導引39上’否則可能導致導引片的損壞 及基質承載器17的破損。 在圖八緣示出基質25在結束乾燥過程的情形。晶圓片 25到達它運動的最高點，並且完全從液面27被抬升起來。 右·要基質承載器17乾燥，打開一個放流口來降低液面。晶 圓片25和基質承載器π因此就處在充滿”八/氮氣的大氣内 〇 於圖九中’清洗液23的液面27被降低至基質承載器17 的下面。這過程之間使用圖四至圖七所示之運動過程則被 以反向順序執行’因而基質臂14及基質承載器的臂15再回 到它們位於下面的終止位置。而晶圓片25和基質承載器17 即被乾燥完畢。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210^2亦9^||1 d—^訂-Γ-----贫 {請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央橾準局貝工消費合作社印裝 A7 B7 五、發明説明（16.) 如圖十所示，罩子22被侧向推移，如此基質承載器17 連同晶圓# 25可以使用填24從容器21内被移出來 〇 圖十一描述一個迅束^為盖質的化學處理之裝置的結 歷式，在其内部有-彳_滴機構被設置在―個罩子42的 -個上邊壁41的上面’其形式是—個滴乾板43被安置和罩 子42的上邊壁41成-個角度’例如5度，排放。覆蓋板仏 的侧邊尾端44, 45突出在罩子42的側壁46, 47上面。特別是 在至少有兩個處理杯槽在被靠放著時，被液體沾濕的被處 理基質以及基質承載器從罩子42的上面被傳輸經過，不可 避免的液體滴在罩子42上面或滴在如本發明所述之滴乾板 43上面。若無滴乾板43，這液體便在罩子42的壁46 47上 流動，而且當打開罩子42時，例如特別是侧壁π向左推移 ，液體就滴入一個僅是示意的杯槽48内，在該杯槽内有別 的處理液或者已乾燥的基質及/或基質承載器，此導致處 理液被污染或是已被乾燥的基質或基質承載器再度被沾濕 。因此產生的缺點，例如常更換處理液或者由於再被液體 沾濕的晶圓片而產生的廢品，皆由如本發明所預設的 板43來避免掉。滴乾板43阻止液體滴落在罩子42的側表面 46, 47上，並也特別防止滴落在側表面47上，此表面大致 在罩子42向左推移而打開杯槽48時來到開著的杯槽48 口上 面。經由滴乾板43朝向罩子42被推移的一邊而向下傾斜的 安置，滴乾板43上<液體就在杯B远城外面說動咸满落 並且因此不會到杯槽48内。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21&χ2必也愛^ (請先閱讀背面之注$項再填寫本頁) 裝. 訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印«. A7 ---------B7____ 五、發明说明（17.) 〜~--- 在所描述的結構形式，當打開杯槽時，罩子^不移動 經過的杯槽48側邊上，固定裝置一個另外的槽壁滴乾斜面 49到這杯槽的槽緣50上’滴落到滴乾斜面49上的液體則被 從這斜面導引掉，而不會碰觸槽緣5〇。 於圖十二和圖十三内所述之結構形式，其與圖十—所 述之構造主要的不同僅為，這防滴裝置在這情形被構造成 為-個麵Μ的形式，它被安裝在至少包含罩子犯的側壁 46, 47的區域内，而_住罩子42或者至少被安裝在側壁 46, 47的區域内。經由從套領61突出的區域犯⑽則亦如藉 由圖十一的個別構造所示之相對應方式來保證，當經由在 所繪示的平面上向左推移罩子42打開杯槽48時，這從上面 到達罩子42的液體不會沿著侧壁46, 47向下滴落到開啓的 杯槽48内。這在圖十二中内所述之槽緣斜面49與圖十—的 斜面相似’且也有同樣功能。 圖十四和圖十五中所述之杯槽71結構形式，在其窄邊 72上設有一個潔淨開口73，從下端靠近杯槽底座被截開。 如特別藉由圖十五可以看出，潔淨開口73被使用一個 能取下的凸緣74密封住並且經由螺絲75被固定在杯槽71上 。在所述之結構形式，介於凸緣74和杯槽71之間另外再設 有一個中間凸緣76。為了緊閉，在凸緣74及/或中間凸緣 76的邊緣上安裝一條環繞的緊閉橡皮77。 在杯槽71内的潔淨開口 73能簡化桶底的清洗及簡易移 走殘遺物或基質碎片。 在圖十六所述之結構形式，預费一個雷液愈裝，賈，含 (請先聞讀背面之注$項再填寫本頁) ”裝 Ί . -絲 本紙張尺度通用中國國家標準（CNS ) Μ規格（2丨扣2必公着_| ____B7 五、發明説明（18. ) ~~ ' - 有游離棒91，練在罩子42_壁46，似，在此結構範例 内，游離棒各以固定機構93, 94被定位在罩子42的上邊緣 區内。 位於游離棒91，92下面，選定的一個間距’各有一支 反電壓電極95, 96 ’被接地或連到大地。 在游離棒91，92與所屬的負電極95或96之間加上一個 高壓’則產生離子，防止在基質，基質承載器上及/或在 處理裝置的組件上累積靜電荷。以此方式來預防這和靜電 荷附著有關的缺點，如電崩讀;友電_擊穿，不致於發生而損 壞_秦質。 本發明藉由一些主要的結構範例加以説明。然而基於 本發明的構想，對專家而言，有多種的變化及構造可能。 例如，防滴裝置以滴乾板43的形式或以套領61安裝在罩子 42邊的形式，能各依照可用的空間關係來更朝上或朝下安 裝，或依照需求來選擇斜度的大小。另外例如可能設置多 條的游離棒91，92與負電極95或96並且分配安裝在處理空 間内，使仔在罩子42内獲得一個最佳而均勻的游離。 < a^i n --------^I — (請先聞讀背面之注$項再填寫本K) 訂 銶 經濟部中央橾準局貝工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21扣<2金灸爱

Claims (1)

1. 4. A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 第85100109號春利案申請專利範面條正太 1.—種化學之濕式處理裝置（20)，用在處理置放於一個 裝有處理液體（23)的容器（21)内的基質（25)，此 裝置含有一個抽出裝置（1)作為送進及送出至少一組 基質承載器（17)和基質（25)之用，而抽出裝置d) 具有一個為基質（25)所設的第一傳輸滑行架（2)， 其特徵為，抽出裝置（1)具有一個為基質承載器（17) 所設的第二傳輸滑行架（3)，並且兩個傳輸滑行架（2、 3)經由一個曲肘聯結（4)相互連結》 2·根據申請專利範圍第1項所述之裝置（20)，其特徵為， 第一和第二傳輸滑行架（2、3)可以在一條垂直的導引 軌（1〇)上面運動。 3·根據申請專利範圍第1項所述之裝置（20)，其特徵為， 第一傳輸滑行架（2)與一驅動裝置連結在—起。 根據申請專利範圍第1項所述之裝置（20)，其特徵為， 曲肘聯結（4)具有兩支條桿（5、6)，此處第一條桿 (5)和第一傳輸滑行架（2)以及第二條样（6)和第 二傳輸滑行架（3 )活動料，並且第—和第二條桿（5、 6)偏離傳輸滑行架（2、3)的尾端，相互經由一支梢 軸（7)以可轉動之方式結合。 =據中請專圍第4項所述之裝置（2G)，其特徵為， 二〇兩支條桿（5 ' 6)之梢軸的—個前突部位在一個控 制凸輪（11)上滑動。 纽速用中國國 丨'--^------ 裝—„---^丨：~訂.| (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 5. 張 紙 本 - 23-

   4. A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 第85100109號春利案申請專利範面條正太 1.—種化學之濕式處理裝置（20)，用在處理置放於一個 裝有處理液體（23)的容器（21)内的基質（25)，此 裝置含有一個抽出裝置（1)作為送進及送出至少一組 基質承載器（17)和基質（25)之用，而抽出裝置d) 具有一個為基質（25)所設的第一傳輸滑行架（2)， 其特徵為，抽出裝置（1)具有一個為基質承載器（17) 所設的第二傳輸滑行架（3)，並且兩個傳輸滑行架（2、 3)經由一個曲肘聯結（4)相互連結》 2·根據申請專利範圍第1項所述之裝置（20)，其特徵為， 第一和第二傳輸滑行架（2、3)可以在一條垂直的導引 軌（1〇)上面運動。 3·根據申請專利範圍第1項所述之裝置（20)，其特徵為， 第一傳輸滑行架（2)與一驅動裝置連結在—起。 根據申請專利範圍第1項所述之裝置（20)，其特徵為， 曲肘聯結（4)具有兩支條桿（5、6)，此處第一條桿 (5)和第一傳輸滑行架（2)以及第二條样（6)和第 二傳輸滑行架（3 )活動料，並且第—和第二條桿（5、 6)偏離傳輸滑行架（2、3)的尾端，相互經由一支梢 軸（7)以可轉動之方式結合。 =據中請專圍第4項所述之裝置（2G)，其特徵為， 二〇兩支條桿（5 ' 6)之梢軸的—個前突部位在一個控 制凸輪（11)上滑動。 纽速用中國國 丨'--^------ 裝—„---^丨：~訂.| (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 5. 張 紙 本 - 23- 根據申4專利範圍第5項所述之裝置（20) ，其特徵為， ^ 輪（u)具有一個筆直、平行於傳輸滑行架(2、 勢的部位（I2)和—處連接到筆直部位的圓紙部 位（13)。 7. =據中請專利範圍第6項所述之裝置⑼），其特徵為， 田梢軸（7)在筆直部位（12)上滑動時，第-和第二 傳輸滑行架（2、3)_距維持不變。 8. ^據中請專圍第6項所述之裝置⑽，其特徵為， ▲梢轴（7)在圓狐部位（⑴上滑動時第一和第二 傳輸滑行架（2、3)的間距變大。 9. 根據巾請專利範固第6項所述之裝置⑽，其特徵為， 圓弧部位（13)的形狀被選定為，介於第一和第二傳輸 滑行架（2、3)的間距持續變大。 10. 根據申請專利範圍第6項所述之裝置（2〇)，其特徵為， 圓弧部位（13)在其尾端部位的形狀被選定為，能使第 二傳輸滑行架（3)逐漸變緩慢而停住。 11·根據申請專利範圍第1項所述之裝置(2〇)，其特徵為， 第一傳輸滑行架（2)與一個刀形抬起裝置（16)連結。 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 12·根據申請專利範圍第11項所述之裝置（2〇)，其特徵 為，當梢轴（7)在控制凸輪（11)的筆直部位（12) 上滑動時，刀形抬起裝置（16)及基質承載器（17)以 相同速度被抬升。 13.根據申請專利範圍第n項所述之裝置（2〇),其特徵 為，當基質（25)進入位在基質承載器（17)外面的導 本紙張尺度適用中國國家榡率（CNS ) A4规格（210X297公釐) -24- A8 !1 ___________ _D8 六、申請專利範圍 引（39)而與之嵌合時，第二傳輸滑行架⑴逐漸變 緩慢而停住。 14. 根據中請專利範圍帛13項所述之裝置（2())，其特徵 為’導引（39)被安置在一個位於容器（21)上面的罩 子（22)内。 15. 根據申請專利範圍第η項所述之裝置（20)，其特徵 為，在第二傳輸滑行架（3)停住後，基質（25)的取 出是經由刀形抬起裝置（16)來執行。 16. 根據申請專利範圍第丨項所述之裝置（2〇)，其特徵為， 此裝置（20)被設計為清洗及/或乾燥基質（25)之用。 17. 根據申請專利範圍第1項所述之裝置（2〇)，其特徵為， 基質及/或基質承載器在乾燥的過程中，兩者或其中一 者疋以一種氣體，特別是異丙醇和氮的混合氣體，來吹 喷。 根據申請專利範園第！項所述之裝置（2〇)，其特徵為， 設置一個可解閂及可鎖定的棘爪機構，與第一和第二傳 輸滑行架（2、3)相互固定結合。 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 19.根據申請專利範圍第18項所述之裝置（2〇)，其特徵 為’設置一支圓柱作為棘爪機構的解閂及/或鎖定之用。 2〇·根據申請專利範圍第14項所述之裝置（20),其特徵 為，在杯槽（48)上面放置一個罩子（42)，而且軍子 (42)具有一個防滴裝置（43、61) ^ 21.根據申請專利範圍第20項所述之裝置，其特徵為，防 滴裝置是一片滴乾板（43)(參照囷十一）。 本i張;Hi用中國®家梯準（CNS ) A4^_ ( 21QX297公釐） ~~~ -25- A8 B8 C8 ----------D8 、申請專利範圍 ~~-- 22,=申請專利範圍第21項所述之裝置，其特徵為，滴 乾板（43)被安置在罩子⑹的上面（參照圖十一）。 .根據申請專利賴第％顿述之裝置其特徵為，防 滴裝置（43、61)被以套領⑻的形式安裝，環繞在 罩子（42)的周園（參照圖十二）。 24. 根據申請專利範圍帛21項所述之裝置，其特徵為滴 乾板（43)或套領（Q)從罩子（42)上面突越出去。 25. 根據申請專利範圍第21項所述之裝置，其特徵為滴 乾板（43)或套領（61)朝向罩子（〇的一邊（45) 往下斜傾’此侧邊為當打開杯槽（48)時，罩子（42) 被推移向的侧邊。 26. 根據申請專利範圍第2〇項所述之裝置，其特徵為，在 罩子（42)不移動經過的杯槽（58)邊緣（5〇)上面， 設置一個槽緣滴乾斜面（49)。 27. 根據申請專利範圍第1項所述之裝置，其特徵為，杯槽 (71)具有一個清潔開口（73)(參照圖十三和圖十四）。 28. 根據申請專利範圍第27項所述之裝置，其特徵為，至 少使用一個凸緣（74、76)密封住清潔開口（73)。 29. 根據申請專利範圍第27項所述之裝置，其特徵為，清 潔開口（73)被設置在杯槽（71)的一個侧邊（72)上， 或者靠近杯槽底座邊。 30. 根據申請專利範圍第1項所述之裝置（20)，其特徵為， 設置一個電游離裝置。 31. 根據申請專利範圍第30項所述之裝置，其特徵為，電 本紙張尺度適用中國國家榡準（CNS ) A4规格（210 X 297公釐） -26 - (請先閱讀背面之注項再填寫本頁) 裝. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A8 B8 ------- D8 六、申請專利範圍 游離裝置被設置在位於杯槽（48)上面的一個罩子（42) 内。 32’根據申請專利範圍第30項所述之裝置，其特徵為，電 游離裝置被設置在一個蒸氣區域内 ，在此區域内從容器 移出的基質即被暴露在一種氣體，特別是氮及/或異丙 醇。 33.根據申請專利範園第31項所述之裝置，其特徵為，電 游離裳置含有至少一支游離棒（91、92)安裝在罩子（42) 的至少一個侧壁（46、47)上》 34·根據申請專利範圍第30項所述之裝置，其特徵為，電 游離裝置含有至少一支反電壓電極（55、56)。 35·根據申請專利範圍第34項所述之裝置，其特徵為，反 電壓電極（95、96)接地。 36.根據申請專利範圍第30項所述之裝置，其特徵為，電 游離裝置被加上5至25千伏特的高電壓，特別是10至 15千伏特較適宜。 37·根據申請專利範圍第30項所述之裝置，其特徵為，高 電壓疋脈衝形式’且脈衝具有一個1至毫秒（ms)， 特別是10至40毫秒的脈衝寬度較適宜。 38. 根據申請專利範園第37項所述之裝置，其特徵為’高 電壓脈衝的工作時寬比值在1 : 8至1 : 12的範圍，特 別是約在1 : 10較適宜。 39. 根據申請專利範圍第1項所述之裝置，其特徵為，在蒸 氣區内設置至少一支量測探針，用來監視氣體密度、氣 本^適用中國國家梯率（CNS)从胁（21〇χ297公董） - -27- I- --^ y/f\ (請先閲讀背面之注^4-項再填寫本頁) -vm , i 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 體混合組成及/或氣體及氣體混合種類成分。 1·——：-----''裝丨.. /IV (請先閱讀背面之注$項再f本I) 4〇.根據申請專利範固第39項所述之寒置，其特徵為，由 量測探針所獲悉的量測數值被用來作為控制或調節在蒸 氣區内的氣體密度，氣體混合組成及/或氣體及氣體混 合種類成分的依據。 41·根據申請專利範圍第1項所述之裝置，其特徵為，在處 理液所放流的一條管路内，設置一個流量計用來量測處 理液的流量。 42. 根據申請專利範園第41項所述之裝置，其特徵為，由 流量計所獲悉的量測值被用來作為控制或調節流進及/ 或流出的液體量之依據。 43. 根據申請專利範圍第41項所述之裝置，其特徵為，流 進及/或流出之液體量的控制或調節是使用一個閥門， 尤其是一個由馬達所操控的閥門來執行。 44·根據申請專利範圍第1項所述之裝置，其特徵為，由容 器流出的液體在一個重新再生的裝置内被重新再生。 45.根據申請專利範圍第44項所述之裝置，其特徵為，被 重新再生的液體回到容器内將被再使用。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 46·根據申請專利範圍第44項所述之裝置，其特徵為，被 重新再生的液髏至少部分被放流到使用水的排水管。 47. —種乾燥程序配合運用一個抽出裝置（1)作為送進及 送出至少一組基質承載器（17)和基質（25)之用，而 此處的抽出裝置（1)具有一個為基質（25.)所設的第 一傳輸滑行架（2)以及一個為基質承載器（17)所設 本紙張尺度逍用中國固家樣準（CNS ) A4规格（210><297公釐） A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 的第二傳輸滑行架（3)，其特徵包括下列的程序步驟： 一把基質（25)從清洗液（23)抬舉出，並將基質承 載器（17)留在槽（21)内， -把清洗液（23)降低到基質承載器（17)的下面， 乾燥程序結束之後，基質（25)被降下進入基質承 載器（17)。 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4规格（210 X 297公釐） -29-