TW308564B - - Google Patents

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308564 A7 B7 五、發明説明（1 ) 〔發明所靥之技術領域〕 本發明係有關一種鋼絲鋸之鋼絲移動裝置，特別是有 關將圓柱狀半導體晶錠、陶製、玻璃製等之被加工件以移 動的鋼絲切斷成多個薄板狀晶片之鋼絲鋸之鋼絲移動裝置 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 〔先前技術〕 —種鋼絲鋸將半導體晶錠、陶製、玻璃製等之被加工 件切斷成薄板狀的晶片之切斷裝置。此鋼絲鋸係利用從其 中一邊鋼絲捲輪放出的鋼絲捲掛於多個附溝槽輥而形成鋼 絲列，且利用捲取至另一邊的鋼絲捲輪，同時於前述鋼絲 列供給含研磨粒之加工液而推抵被加工件的形態，利用其 研磨粒的研磨作用將前述被加工件切斷成多個薄板狀之晶 片者。 此鋼絲鋸係分別在一邊的鋦絲捲輪之下流側和另一邊 的鋼絲捲輪之上流側具備鋼絲移動裝置。該些鋼絲移動裝 置係將捲取至鋼絲捲輪的鋼絲和從鋼絲捲輪放出的鋼絲引 導至鋼絲捲輪之軸線方向。 由於此鋼絲是螺旋狀捲取至網絲捲輪，故將鋼絲從鋼 絲捲輪放出時，鋼絲會在鋼絲捲輪之軸線方向移動。然後 ，譬如對鋼絲捲輪不規則捲取鋼絲時，鋼絲放出時的鋼絲 速度會變動。 另一方面網絲移動裝置係具備移動於鋼絲捲輪之軸線 方向之滑件，在滑件設置以規定間隔放置之一對檢知部· 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（2丨0X 297公釐^ " (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 A7 __B7_五、發明説明（2 ) 在此一對檢知部間裝配鋼絲，於鋼絲移動速度和滑件移動 速度產生差異時，鋼絲會接觸在一對檢知部的任何一邊。 然後，根據來自鋼絲接觸檢知部输出的接觸訊號而解除檢 知部和鋼絲的接觸控制鋼絲之引導速度。 雖然上述的鋼絲移動裝置是利用鋼絲與一對檢知部的 接觸控制鋼絲的引導速度，但除了此網絲移動裝置外，將 鋼絲之引導速度用觸式輥的轉數控制鋼絲移動裝置爲眾所 周知。 此鋼絲移動裝置係在鋼絲移動裝置之滑件以一定間隔 放置並旋轉自如支撐一對觸式輥，介由滑件而將一對觸式 輥移動至鋼絲捲輪之軸線方向，此情形於鋼絲移動速度和 滑件移動速度產生差異時，被裝配在一對觸式輥的鋼絲接 觸觸式輥而旋轉觸式輥。然後，當檢知鋼絲接觸觸式輥時 的觸式輥之轉數，而對應檢出之轉數來控制引導鋼絲的一 對觸式輥之移動速度· 〔發明欲解決之課題〕 但是，利用鋼絲和一對檢知部的接觸控制鋼絲之引導 速的鋼絲移動裝置之情形，因爲利用一對檢知部接觸鋼絲 的形態檢知鋼絲之移動速度和一對檢知部之移動速度不吻 合，故會有所謂因與鋼絲的接觸摩耗檢知部而速度不吻合 之檢知精度下降之問題。又，因爲一對檢知部是放置在規 定間隔而配置，故自發生速不吻合到鋼絲接觸一對檢知部 產生時間差，會有所謂對鋼絲移動速度之變動無法使一對 ----：------^------iT------^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙伕尺度適用中國國家樣準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 5 308564 A7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 B7五、發明説明（3 ) 檢知部精確反應之問題。 另一方面以一對觸式辊之轉數控制鋼絲之引導速度的 鋼絲移動裝置之情形，即使鋼絲離開觸式輥，觸式輥的旋 轉還是以慣性力繼績•因而從解除鋼絲和觸式輥之接觸到 觸式輥之旋轉停止會產生時間差，故會有所謂針對鋼絲移 動速度之變動而無法使一對檢知部精確反應之問題》尤其 若此狀態嚴重會對一對觸式輥產生晃動。 本發明之目的因有鑑於此種情形，故提供一針對鋼絲 移動速度之變動而使鋼絲之引導速度精確反應之鋼絲鋸之 鋼絲移動裝置》 〔用以解決課題之手段〕 本發明爲達成上述目的，故效仿從鋼絲鋸之鋼絲捲輪 放出或捲取之鋼絲移動至前述鋼絲捲輪之軸線方向，且針 對前述鋼絲捲輪之長方向而成略直角之放出角或捲取角來 引導前述鋼絲之鋼絲鋸之鋼絲移動裝置中，其特徵爲：將 前述鋼絲在引導至前述綱絲捲輪之軸線方向之引導用導輥 掛著前述鋼絲*以檢知部連績檢知掛於該引導用導輥的前 述鋼絲之放出角或捲取角之變位，且根據該檢知的前述鋼 絲之放出角或捲取角之變位而將前述放出角或捲取角做成 略直角，連績控制前述引導用導輥之網絲移動速度。 因若依本發明，根據連績檢知鋦絲之放出角或捲取角 之變位而控制引導用導輥之引導速度，故能無間断檢知鋼 絲之放出角或捲取角變位之變動。因而，移動於鏑絲捲輪 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -* 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS } A4規格（210X297公釐} 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（4 ) 之軸線方向的鋼絲移動速度變動而鋼絲之放出角或捲取角 之變位變動的情形，會對變位之變動使鋼絲之引導速度精 確反應。 〔實施例〕 第1圖係表示鋼絲鋸1 0的整體構造圖。捲回至一邊 的鋼絲捲輪12之鋼絲14係經由後述的鋼絲移動裝置 16 '多個固定導輥18、18、跳動輥20而依序捲掛 在三條附溝槽輥22、22、22形成鋼絲列24後，經 過多個固定導輥1 8、1 8、跳動輥20、鋼絲移動裝置 1 6而捲取到另一邊的鋼絲捲輪2 6。 於前述跳動輥2 0吊設規定重置之重錘4 4，賦予移 動的鋼絲1 4正常所要之張力。 在前述鋼絲移動路途中設鋼絲洗淨裝置4 6、46， 藉由此鋼絲洗淨裝置4 6、4 6除去附著在前述鋼絲1 4 之加工液4 0。 分別在前述鋼絲捲輪1 2 ' 2 6連接可正反旋轉之驅 動馬達28、30，也在前述三條之附溝槽輥22、22 、2 2中的一條連接可正反旋轉之驅動馬達3 2。前述鋼 絲1 4係利用驅動前述驅動馬達2 8、3 0、3 2的形態 ，往復移動在一邊之鋼絲捲輪12和另一邊之網絲捲輪 2 6間。 從研磨液供給喷嘴4 2供給儲存在加工液傭存漕3 8 之加工液4 0至前述鋼絲列2 4。在此鋼絲列2 4下方’ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 7 - 經濟部中央樣準局負工消費合作社印装 A7 B7 五、發明説明（5 ) 爲被加工件的半導體晶錠5 4則介於工作塊5 6和切片座 5 8而支撐在工件餵進台4 8。前述工件餵進台4 8是利 用以馬達5 0的轉動螺桿5 2移動自如設在上下方向，藉 著向上方移動將前述半導體晶錠5 4壓抵在高速移動之鋼 絲列2 4 ·被壓於鋼絲列2 4的半導體晶錠5 4係利用加 工液4 0的研磨作用切斷成多個薄板狀晶片。 以下，說明有關前述鋼絲移動裝置1 6。雖然鋼絲移 動裝置16係分別設在一邊之鋼絲捲輪12及另一邊之鋼 絲捲輪2 6附近，但因該些鋼絲移動裝置1 6爲同樣構造 ，故說明有關被設於鋼絲捲輪2 6附近之鋼絲移動裝置 1 6，省略說明有關被設於鋼絲捲輪1 2附近之鋼絲移動 裝置1 6。 如第2圚所示，鋼絲移動裝置1 6之線性馬達6 0係 平行配設在鋼絲捲輪2 6左側，線性馬達6 0之固定子 62於兩側部設導軌64、64，導軌64、64係向著 箭頭Y1—Y2方向移動自如支撐滑件66，然後利用勵 磁電流流入滑件6 6之捲線，將滑件6 6沿著導軌6 4、 6 4而向箭頭Y 1 — Y2方向移動。 又，鋼絲移動裝置1 6具備引導用導輥6 8、載荷管 (檢知部）70及控制部72 (參照第4圖）。在第2圖 上，引導用導輥6 8的軸線是與鋼絲捲輪2 6的軸線平行 配置·此引導用導軌6 8轉動自如支撐在後述載荷管7 〇 的右端部。於引導用導輥6 8外周形成溝槽6 8 A ’於溝 槽68A掛設網絲14。掛設在溝槽68A的鋼絲14是 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） ---：------名------訂------線- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

繼鱗民国时年以修it _ B7 fl年U片: 4壬· :，. 。丨 U 7 Li 五、發明説明（6 ) 介由導輥7 4 (參照第3圖）被引導至第1圖上說明之固 定導輥1 8。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 此例，因鋼絲捲輪2 6爲螺旋狀捲取鋼絲1 4，故從 鋼絲捲輪2 6放出被捲取的鋼絲1 4，鋼絲1 4只向軸線 方向移動1 (即鋼絲14之放出角係相對略直角而做規定 角度變位）。此時’若鋼絲1 4的張力爲T，於引導用導 軌6 8作用箭頭方向之荷重p，此荷重p由下列式子算.出 T X ( 1 / D ) 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 D :鋼 載荷管 端部則 輪2 6 方向之 部作用 0會彎 訊號。 部7 2 6 6之 鋼絲1 軸線方 室。 但， 前述 6 8，左 從鋼絲捲 作用箭頭 7 0右端 載荷管7 P之電氣 控制 控制滑件 輥6 8的 輪2 6的 馬達控制 絲捲輪2 6與引導用導輥6 8之中心距離 7 0係於右端部轉動自如支撐引導用導輥 介由塞件7 1而固定滑件6 6。因而利用 放出鋼絲1 4的形態，對引導用導輥6 8 荷重P時（參照第2圖），會對載荷管 箭頭方向之荷重P (參照第4圖）。依此 曲變形，而從載荷管7 0輸出相當於荷重 係製成從載荷管7 0輸入的荷重P爲零， 移動速度。依此得以控制自掛於引導用導 4之移動速度，鋼絲1 4則相對於鋼絲捲 向而直角的放出。又，在第4圖上7 5爲 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（2I0X297公釐） -9 - 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（7 ) 說明如前述構成的前述實施形態之鋼絲鋸之鋼絲移動 裝置之作用。 首先，自鋼絲捲輪2 6放出鋼絲1 4。此時因鋼絲 1 4爲螺旋狀捲取至鋼絲捲輪2 6，故傾斜狀捲取至鋼絲 捲輪2 6。因而利用從鋼絲捲輪2 6放出鋼絲1 4的形態 ，鋼絲14僅向鋼絲捲輪2 6之軸線方向移動1 (傾斜狀 捲取部分）。依此會對引導用導輥68作用箭頭方向之荷 重P (參照第2圖）。 此種利用對引導用導輥6 8作用箭頭方向之荷重P的 形態，會對載荷管7 0右端部作用箭頭方向之荷重P (參 照第4圖）。依此載荷管70會彎曲變形，並自載荷管 7 0輸出相當於荷重P之電氣訊號。自載荷管7 0输出的 電氣訊號輸入控制部7 2。 控制部7 2基於來自載荷管7 0输入的電氣訊號*而 成作用於載荷管7 0的荷重P爲零，控制滑件6 6之移動 速度。即，控制部7 2係成作用於載荷管7 0的荷重P爲 零，以求得的滑件6 6之移動速度·以此求得的移動速度 使滑件6 6移動的指令訊號输出至馬達控制室7 5。馬達 控制室7 5係根據來自控制部7 2之指令訊號，而以指令 速度移動線性馬達6 0之滑件6 6。依此鋼絲1 4係以放 出角略直角之狀態自鋼絲捲輪2 6被放出，而補正鋼絲 1 4之變位。 雖然前述實施形態係說明有關本發明之鋼絲鋸之鋼絲 動裝置自鋼絲捲輪2 6放出鋼絲1 4的形態，但不限於此 本紙張尺度適用中國國家揉芈（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） ----.-----14------ir------It (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央樣準局員工消費合作社印製 A7 __B7_ 五、發明説明（8 ) ，也可適用於鋼絲1 4捲取至網絲捲輪2 6的情形。 〔發明之效果〕 若依有關如以上說明本發明之鋼絲鋸之鋼絲移動裝置 ，因根據連績檢知的鋼絲之放出角或捲取角之變位而控制 引導用導輥之引導速度，故得以無階段檢知鋼絲之放出角 或捲取角變位之變動。因而向鋼絲捲輪軸線方向移動的鋼 絲之移動速度變動，而鋼絲之放出角或捲取角之變位變動 時，可針對變位之變動而使鋼絲之引導速度精確反應。依 此可將鋼絲之引導速度制控成適當的速度。 又，因對於引導用導輥的檢知鋼絲變位之鋼絲變位檢 知功能保持在引導用導輥，故可靠近引導用導輥和鋼絲捲 輪。因而可達成鋼絲移動裝置之小型化，又，可提高鋼絲 捲輪捲取鋼絲之際的銅絲捲取間距之精度，甚至提高鋼絲 變位之檢知精度。 甚至將對引導用導辊之鋼絲變位，利用檢知作用於引 導用導輥的鋼絲之負荷形態檢知。依此因不需使檢知部接 觸鋼絲，故得以防止檢知部消耗。 〔圖面之簡單說明〕 第1圖係表示有關本發明鋼絲鋸整體之整體圖： 第2圖係有關本發明鋼絲鋸之網絲移動裝置由側面觀 看狀態之主要部放大圖： 第3圖係第2之A — A剖視圖； 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ----：----— ^------.訂------線- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -11 A7 B7 五、發明説明（9 ) 第4圖係表示有關本發明鋼絲鋸之鋼絲移動裝置構造 之整體圖。 〔符號說明〕 ----1.----~4------1T------^ . (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 1 0 . • ·鋼 絲 鋸 1 2、 2 6. • • ΛΚΠ 鋼 絲 捲 輪 1 4 . ΛΚΠ ..鋼 絲 1 6 · ..鋼 絲 移 動 裝 置 6 8 . •.引 導 用 引 導 輥 7 0 . ..載 荷 管 ( 檢 知 部） 7 2 . ..控 制 部 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -12 -

Claims (1)

1. AB,CD 308564 ^、申請專利範圍 1 、一種網絲鋸之鋼絲移動裝置，在效仿自鋼絲鋸的 鋼絲捲輪放出或捲取的鋼絲而向前述鋼絲捲輪之軸線方向 移動，對上述鋼絲捲輪的長方向而放出角或捲取角爲略直 角引導前述鋼絲之鋼絲鋸之鋼絲移動裝置中，其特徵爲： 在將前述鋼絲引導至前述鋼絲捲輪之軸線方向之引導 用導輥掛設前述鋼絲； 以檢知部連績檢知掛於該引導用導輥的前述鋼絲之放 出角或捲取角之變位； 根據該檢知的前述鋼絲之放出角或捲取角之變位而做 成略直角之前述放出角或捲取角，連績控制前述引導用導 輥之鋼絲引導速度。 2、 如申請專利範圍第1項所述之鋼絲鋸之鋼絲移動 裝置，其將前述引導用導輥支撐在載荷管，用以檢知前述 鋼絲的放出角和捲取角之變位諸於前述載荷管之荷重。 3、 如申請專利範圍第2項所述之鋼絲鋸之鋼絲移動 裝置，其前述載荷管係根據前述彎曲變形，而將相當於此 彎曲變形之電氣訊號作爲控制訊號而输出。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線 經濟部中央揉準局貝工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α·4说格（210 X 297公釐） 13 -