KR970005474A - 와이어 톱의 와이어 트래버스장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 와이어 톱의 와이어 트래버스장치에 관한 것으로서, 특히, 원주상의 반도체 잉곳, 세라믹, 유리 등의 피가공물을 주행하는 와이어로 다수의 박판성의 웨이퍼로 절단하는 와이어 톱의 와이어 트래버스장치에 관한 것이다.
본 발명은 와이어(14)가 걸리고 와이어(14)를 와이어 릴(26)의 축선방향으로 안내하는 안내용 가이드 롤러(68)를 구비하였다. 이 안내용 가이드 롤러(68)에 걸린 와이어(14)의 푸는 각의 변위에 따라 변동하는 와이어(14)의 부하를 연속적으로 검출한다. 그리고 검출한 부하가 소정치가 되도록 안내용 가이드 롤러(68)의 안내속도를 연속적으로 제어하여 와이어(14)의 변위를 조정한다. 따라서 와이어(14)의 푸는각도 변위가 변동한 경우에 이 변동에 대해 와이어(14)의 안내속도를 민첩하게 반응시킬 수 있다. 또한 안내용 가이드롤러(68)와 와이어릴(26)을 접근시킬 수 있어 와이어 트래버스장치의 콤팩트화를 도모할 수 있고, 와이어의 감는 피치의 정밀도를 향상시킬 수 있으며 와이어 변위의 검출 정밀도가 향상된다.

Description

와이어 톱의 와이어 트래버스장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 관한 와이어 톱의 전체를 도시한 전체도,제2도는 본 발명에 관한 와이어 톱이 와이어 트래버스장치를 측면에서 본 상태의 요부확대도, 제3도는 제2도의 A-A 화살표방향으로 본 도면, 제4도는 본 발명에 관한 와이어 톱의 와이어 트래버스장치의 구조를 도시한 전체도.

Claims (3)

  1. 와이어 톱의 와이어 릴에서 풀어지거나 또는 감겨지는 와이어를 따라 상기 와이어 릴의 축선방향으로 이동하고 상기 와이어 릴의 길이방향에 대해 푸는각 또는 감는각이 거의 직각이 되도록 상기 와이어를 안내하는 와이어 톱의 와이어 트래버스장치에 있어서, 상기 와이어를 상기 와이어 릴의 축선방향을 안내하는 안내용 가이드 롤러에 상기 와이어를 걸고 상기 안내용 가이드롤러에 걸린 상기 와이어의 푸는각 또는 감는각의 변위를 검출부에서 연속적으로 검출하고 그 검출된 상기 와이어의 푸는각 또는 감는각의 변위에 의거하여 상기 와이어의 푸는각 또는 감는각이 거의 직각이 되도록 상기 안내용 가이드 롤러의 와이어 안내속도를 연속적으로 제어하는 것을 특징으로 하는 와이어 톱 와이어 톱의 와이어 트래버스장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 안내용 가이드 롤러를 로드 셀에 지지하고 상기 와이어 푸는각 또는 감는각의 변위를 상기 로드 셀에 가해지는 하중으로 검출하는 것을 특징으로 하는 와이어 톱 와이어 톱의 와이어 트래버스장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 로드 셀은 상기 하중에 의해 굽힘변형되고 이 굽힘변형에 상당하는 전기신호를 제어신호로 출력하는 것을 특징으로 하는 와이어 톱의 와이어 트래버스장치.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19990007070A (ko) * 1997-06-19 1999-01-25 다구마 시로 와이어 소 및 피가공물 절삭방법
KR20010039437A (ko) * 1999-10-30 2001-05-15 유선종 히드록시 말단의 탄화수소기로 치환된 폴리스티렌 구형 수지 제조 방법

Families Citing this family (41)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH691673A5 (de) * 1995-09-08 2001-09-14 Tokyo Seimitsu Co Ltd Vorrichtung zur Erfassung eines Drahtführungsfehlers an einer Drahtsäge.
CH691292A5 (fr) * 1995-10-03 2001-06-29 Hct Shaping Systems Sa Dispositif de sciage par fil équipé d'un système de gestion de fil permettant l'utilisation de bobines de fil de très grande longueur.
US5944007A (en) * 1996-02-08 1999-08-31 Tokyo Rope Mfg. Co., Ltd. Wire type slicing machine and method
CZ283541B6 (cs) * 1996-03-06 1998-04-15 Trimex Tesla, S.R.O. Způsob řezání ingotů z tvrdých materiálů na desky a pila k provádění tohoto způsobu
JPH09286021A (ja) * 1996-04-22 1997-11-04 Komatsu Electron Metals Co Ltd 半導体インゴットの切断方法
JPH1052816A (ja) * 1996-08-13 1998-02-24 M Ii M C Kk ワイヤ式切断方法
EP0980303B1 (fr) * 1997-05-07 2002-09-18 HCT Shaping Systems SA Dispositif de sciage par fil pour la decoupe de tranches fines utilisant le croisement angulaire d'au moins deux nappes de fils
US5878737A (en) * 1997-07-07 1999-03-09 Laser Technology West Limited Apparatus and method for slicing a workpiece utilizing a diamond impregnated wire
US6024080A (en) * 1997-07-07 2000-02-15 Laser Technology West Limited Apparatus and method for slicing a workpiece utilizing a diamond impregnated wire
EP1009569A2 (en) * 1997-07-07 2000-06-21 Laser Technology West Limited Apparatus and method for slicing a workpiece utilizing a diamond impregnated wire
US6279564B1 (en) 1997-07-07 2001-08-28 John B. Hodsden Rocking apparatus and method for slicing a workpiece utilizing a diamond impregnated wire
DE19739966A1 (de) * 1997-09-11 1999-03-18 Wacker Siltronic Halbleitermat Drahtsäge und Verfahren zum Abtrennen von Formkörpern
US6065462A (en) * 1997-11-28 2000-05-23 Laser Technology West Limited Continuous wire saw loop and method of manufacture thereof
JPH11179644A (ja) * 1997-12-16 1999-07-06 Tokyo Seimitsu Co Ltd ワイヤソー
JP3256503B2 (ja) * 1998-11-05 2002-02-12 日本碍子株式会社 セラミック生素地製品の切断装置
JP2000202755A (ja) * 1999-01-12 2000-07-25 Super Silicon Kenkyusho:Kk ワイヤ洗浄装置
JP4066112B2 (ja) * 1999-01-28 2008-03-26 株式会社スーパーシリコン研究所 ワイヤソーの制御方法及びワイヤソー
GB9903081D0 (en) * 1999-02-12 1999-03-31 Shin Etsu Handotai Europ Limit Improvements in or relating to the slicing of monocrystalline silicon ingots
JP4397320B2 (ja) * 2003-11-13 2010-01-13 日本碍子株式会社 ワイヤーソー加工装置、及びワイヤーソー加工方法
CH696806A5 (fr) * 2003-11-18 2007-12-14 Walter Ebner Scie à fil à mouvement alternatif.
JP4411062B2 (ja) * 2003-12-25 2010-02-10 株式会社アライドマテリアル 超砥粒ワイヤソー巻き付け構造、超砥粒ワイヤソー切断装置および超砥粒ワイヤソーの巻き付け方法
CN101301734B (zh) * 2008-06-25 2010-12-08 周文敏 微机控制多线切割机
JP5177701B2 (ja) * 2009-02-16 2013-04-10 コマツNtc株式会社 トラバース制御方法およびその装置
EP2218532B1 (en) * 2009-02-17 2013-10-30 Applied Materials, Inc. Wire saw device and method for operating same
JP5527987B2 (ja) * 2009-02-25 2014-06-25 京セラ株式会社 ワイヤーソー装置と基板の製造方法
WO2011032598A1 (en) * 2009-09-18 2011-03-24 Applied Materials, Inc. Wire handling unit, wire saw device and method for operating same
US8881716B2 (en) * 2010-02-08 2014-11-11 Toyo Advanced Technologies Co., Ltd. Wire saw with tension detecting means and guide roller speed control
US8991381B2 (en) * 2010-02-08 2015-03-31 Toyo Advanced Technologies Co., Ltd. Method of cutting workpiece with wire saw, and wire saw
IT1401683B1 (it) * 2010-08-27 2013-08-02 Gambini Int Sa Dispositivo di taglio per rotoli di materiale nastriforme, in particolare cartaceo.
CN102101325B (zh) * 2010-12-15 2014-05-21 湖南宇晶机器实业有限公司 多线切割机自动排线装置的径向平衡机构
JP5155428B2 (ja) 2011-07-15 2013-03-06 コマツNtc株式会社 ワイヤソー
DE102011082366B3 (de) * 2011-09-08 2013-02-28 Siltronic Ag Einlagiges Wickeln von Sägedraht mit fest gebundenem Schneidkorn für Drahtsägen zum Abtrennen von Scheiben von einem Werkstück
US20150114189A1 (en) * 2012-09-17 2015-04-30 Jon Khachaturian Method and apparatus for removing underwater platforms
KR102056958B1 (ko) * 2012-12-04 2019-12-30 프리시전 써페이싱 솔루션즈 게엠베하 와이어 관리시스템
JP6256870B2 (ja) * 2013-10-11 2018-01-10 株式会社タカトリ ワイヤソー及びその制御方法
US10549375B2 (en) * 2016-07-08 2020-02-04 Norsk Titanium As Metal wire feeding system
JP6823978B2 (ja) * 2016-09-12 2021-02-03 日立オムロンターミナルソリューションズ株式会社 紙葉類取扱装置、自動取引装置及び紙葉類取扱方法
US11276577B2 (en) * 2019-03-21 2022-03-15 Samuel Messinger Longitudinal silicon ingot slicing apparatus
US10593537B1 (en) 2019-03-21 2020-03-17 Samuel Messinger Longitudinal silicon ingot slicing machine and jig fixture
CN109866342A (zh) * 2019-04-04 2019-06-11 苏州高新区鼎正精密机电有限公司 一种金钢线缠绕设备
CN113649433A (zh) * 2021-06-29 2021-11-16 江苏景昇新材料有限公司 一种铜线拉丝收卷张力控制机构

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3831576A (en) * 1971-11-22 1974-08-27 Motorola Inc Machine and method for cutting brittle materials using a reciprocating cutting wire
US3841297A (en) * 1971-12-01 1974-10-15 Motorola Inc Machine for cutting brittle materials
CA1013240A (en) * 1973-12-29 1977-07-05 Yasunaga Engineering Kabushiki Kaisha Wire saw
US4494523A (en) * 1983-08-05 1985-01-22 Motorola, Inc. Wire saw
US4655191A (en) * 1985-03-08 1987-04-07 Motorola, Inc. Wire saw machine
CA1262415A (en) * 1986-04-12 1989-10-24 Johnston, Edward P. Guide pulley base for wire saw
US4903682A (en) * 1987-04-30 1990-02-27 Technoslice Ltd. Wire saw
JPH0635107B2 (ja) * 1987-12-26 1994-05-11 株式会社タカトリハイテック ワイヤソー
JP2673544B2 (ja) * 1988-06-14 1997-11-05 株式会社日平トヤマ 脆性材料の切断方法
JP2516717B2 (ja) * 1991-11-29 1996-07-24 信越半導体株式会社 ワイヤソ―及びその切断方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19990007070A (ko) * 1997-06-19 1999-01-25 다구마 시로 와이어 소 및 피가공물 절삭방법
KR20010039437A (ko) * 1999-10-30 2001-05-15 유선종 히드록시 말단의 탄화수소기로 치환된 폴리스티렌 구형 수지 제조 방법

Also Published As

Publication number Publication date
US5628301A (en) 1997-05-13
JP3107143B2 (ja) 2000-11-06
CH693132A5 (de) 2003-03-14
KR100276048B1 (ko) 2000-12-15
JPH0929611A (ja) 1997-02-04
TW308564B (ko) 1997-06-21
MY116541A (en) 2004-02-28

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