KR970005474A - 와이어 톱의 와이어 트래버스장치 - Google Patents

와이어 톱의 와이어 트래버스장치 Download PDF

Info

Publication number
KR970005474A
KR970005474A KR1019960027639A KR19960027639A KR970005474A KR 970005474 A KR970005474 A KR 970005474A KR 1019960027639 A KR1019960027639 A KR 1019960027639A KR 19960027639 A KR19960027639 A KR 19960027639A KR 970005474 A KR970005474 A KR 970005474A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
wire
displacement
guide roller
angle
reel
Prior art date
Application number
KR1019960027639A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100276048B1 (ko
Inventor
쇼조 카타마치
Original Assignee
오쯔보 히데오
가부시키가이샤 토쿄 세이미쯔
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 오쯔보 히데오, 가부시키가이샤 토쿄 세이미쯔 filed Critical 오쯔보 히데오
Publication of KR970005474A publication Critical patent/KR970005474A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100276048B1 publication Critical patent/KR100276048B1/ko

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23DPLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23D49/00Machines or devices for sawing with straight reciprocating saw blades, e.g. hacksaws
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65HHANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H49/00Unwinding or paying-out filamentary material; Supporting, storing or transporting packages from which filamentary material is to be withdrawn or paid-out
    • B65H49/18Methods or apparatus in which packages rotate
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23DPLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23D57/00Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
    • B23D57/003Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
    • B23D57/0053Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of drives for saw wires; of wheel mountings; of wheels
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65HHANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H54/00Winding, coiling, or depositing filamentary material
    • B65H54/02Winding and traversing material on to reels, bobbins, tubes, or like package cores or formers
    • B65H54/28Traversing devices; Package-shaping arrangements
    • B65H54/2833Traversing devices driven by electromagnetic means
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65HHANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H59/00Adjusting or controlling tension in filamentary material, e.g. for preventing snarling; Applications of tension indicators
    • B65H59/38Adjusting or controlling tension in filamentary material, e.g. for preventing snarling; Applications of tension indicators by regulating speed of driving mechanism of unwinding, paying-out, forwarding, winding, or depositing devices, e.g. automatically in response to variations in tension
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65HHANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H59/00Adjusting or controlling tension in filamentary material, e.g. for preventing snarling; Applications of tension indicators
    • B65H59/40Applications of tension indicators
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65HHANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H2513/00Dynamic entities; Timing aspects
    • B65H2513/10Speed
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T83/00Cutting
    • Y10T83/929Tool or tool with support
    • Y10T83/9292Wire tool

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)

Abstract

본 발명은 와이어 톱의 와이어 트래버스장치에 관한 것으로서, 특히, 원주상의 반도체 잉곳, 세라믹, 유리 등의 피가공물을 주행하는 와이어로 다수의 박판성의 웨이퍼로 절단하는 와이어 톱의 와이어 트래버스장치에 관한 것이다.
본 발명은 와이어(14)가 걸리고 와이어(14)를 와이어 릴(26)의 축선방향으로 안내하는 안내용 가이드 롤러(68)를 구비하였다. 이 안내용 가이드 롤러(68)에 걸린 와이어(14)의 푸는 각의 변위에 따라 변동하는 와이어(14)의 부하를 연속적으로 검출한다. 그리고 검출한 부하가 소정치가 되도록 안내용 가이드 롤러(68)의 안내속도를 연속적으로 제어하여 와이어(14)의 변위를 조정한다. 따라서 와이어(14)의 푸는각도 변위가 변동한 경우에 이 변동에 대해 와이어(14)의 안내속도를 민첩하게 반응시킬 수 있다. 또한 안내용 가이드롤러(68)와 와이어릴(26)을 접근시킬 수 있어 와이어 트래버스장치의 콤팩트화를 도모할 수 있고, 와이어의 감는 피치의 정밀도를 향상시킬 수 있으며 와이어 변위의 검출 정밀도가 향상된다.

Description

와이어 톱의 와이어 트래버스장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 관한 와이어 톱의 전체를 도시한 전체도,제2도는 본 발명에 관한 와이어 톱이 와이어 트래버스장치를 측면에서 본 상태의 요부확대도, 제3도는 제2도의 A-A 화살표방향으로 본 도면, 제4도는 본 발명에 관한 와이어 톱의 와이어 트래버스장치의 구조를 도시한 전체도.

Claims (3)

  1. 와이어 톱의 와이어 릴에서 풀어지거나 또는 감겨지는 와이어를 따라 상기 와이어 릴의 축선방향으로 이동하고 상기 와이어 릴의 길이방향에 대해 푸는각 또는 감는각이 거의 직각이 되도록 상기 와이어를 안내하는 와이어 톱의 와이어 트래버스장치에 있어서, 상기 와이어를 상기 와이어 릴의 축선방향을 안내하는 안내용 가이드 롤러에 상기 와이어를 걸고 상기 안내용 가이드롤러에 걸린 상기 와이어의 푸는각 또는 감는각의 변위를 검출부에서 연속적으로 검출하고 그 검출된 상기 와이어의 푸는각 또는 감는각의 변위에 의거하여 상기 와이어의 푸는각 또는 감는각이 거의 직각이 되도록 상기 안내용 가이드 롤러의 와이어 안내속도를 연속적으로 제어하는 것을 특징으로 하는 와이어 톱 와이어 톱의 와이어 트래버스장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 안내용 가이드 롤러를 로드 셀에 지지하고 상기 와이어 푸는각 또는 감는각의 변위를 상기 로드 셀에 가해지는 하중으로 검출하는 것을 특징으로 하는 와이어 톱 와이어 톱의 와이어 트래버스장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 로드 셀은 상기 하중에 의해 굽힘변형되고 이 굽힘변형에 상당하는 전기신호를 제어신호로 출력하는 것을 특징으로 하는 와이어 톱의 와이어 트래버스장치.
KR1019960027639A 1995-07-14 1996-07-09 와이어 톱의 와이어 트래버스장치 KR100276048B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7-178675 1995-07-14
JP17867595A JP3107143B2 (ja) 1995-07-14 1995-07-14 ワイヤソーのワイヤトラバース装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR970005474A true KR970005474A (ko) 1997-02-19
KR100276048B1 KR100276048B1 (ko) 2000-12-15

Family

ID=16052599

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019960027639A KR100276048B1 (ko) 1995-07-14 1996-07-09 와이어 톱의 와이어 트래버스장치

Country Status (6)

Country Link
US (1) US5628301A (ko)
JP (1) JP3107143B2 (ko)
KR (1) KR100276048B1 (ko)
CH (1) CH693132A5 (ko)
MY (1) MY116541A (ko)
TW (1) TW308564B (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19990007070A (ko) * 1997-06-19 1999-01-25 다구마 시로 와이어 소 및 피가공물 절삭방법
KR20010039437A (ko) * 1999-10-30 2001-05-15 유선종 히드록시 말단의 탄화수소기로 치환된 폴리스티렌 구형 수지 제조 방법

Families Citing this family (41)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH691673A5 (de) * 1995-09-08 2001-09-14 Tokyo Seimitsu Co Ltd Vorrichtung zur Erfassung eines Drahtführungsfehlers an einer Drahtsäge.
CH691292A5 (fr) * 1995-10-03 2001-06-29 Hct Shaping Systems Sa Dispositif de sciage par fil équipé d'un système de gestion de fil permettant l'utilisation de bobines de fil de très grande longueur.
US5944007A (en) * 1996-02-08 1999-08-31 Tokyo Rope Mfg. Co., Ltd. Wire type slicing machine and method
CZ283541B6 (cs) * 1996-03-06 1998-04-15 Trimex Tesla, S.R.O. Způsob řezání ingotů z tvrdých materiálů na desky a pila k provádění tohoto způsobu
JPH09286021A (ja) * 1996-04-22 1997-11-04 Komatsu Electron Metals Co Ltd 半導体インゴットの切断方法
JPH1052816A (ja) * 1996-08-13 1998-02-24 M Ii M C Kk ワイヤ式切断方法
WO1998050209A1 (fr) * 1997-05-07 1998-11-12 Hct Shaping Systems Sa Dispositif de sciage par fil pour la decoupe de tranches fines utilisant le croisement angulaire d'au moins deux nappes de fils
WO1999002295A2 (en) * 1997-07-07 1999-01-21 Laser Technology West, Limited Apparatus and method for slicing a workpiece utilizing a diamond impregnated wire
US6024080A (en) * 1997-07-07 2000-02-15 Laser Technology West Limited Apparatus and method for slicing a workpiece utilizing a diamond impregnated wire
US5878737A (en) * 1997-07-07 1999-03-09 Laser Technology West Limited Apparatus and method for slicing a workpiece utilizing a diamond impregnated wire
US6279564B1 (en) 1997-07-07 2001-08-28 John B. Hodsden Rocking apparatus and method for slicing a workpiece utilizing a diamond impregnated wire
DE19739966A1 (de) * 1997-09-11 1999-03-18 Wacker Siltronic Halbleitermat Drahtsäge und Verfahren zum Abtrennen von Formkörpern
US6065462A (en) * 1997-11-28 2000-05-23 Laser Technology West Limited Continuous wire saw loop and method of manufacture thereof
JPH11179644A (ja) * 1997-12-16 1999-07-06 Tokyo Seimitsu Co Ltd ワイヤソー
JP3256503B2 (ja) * 1998-11-05 2002-02-12 日本碍子株式会社 セラミック生素地製品の切断装置
JP2000202755A (ja) * 1999-01-12 2000-07-25 Super Silicon Kenkyusho:Kk ワイヤ洗浄装置
JP4066112B2 (ja) * 1999-01-28 2008-03-26 株式会社スーパーシリコン研究所 ワイヤソーの制御方法及びワイヤソー
GB9903081D0 (en) * 1999-02-12 1999-03-31 Shin Etsu Handotai Europ Limit Improvements in or relating to the slicing of monocrystalline silicon ingots
JP4397320B2 (ja) * 2003-11-13 2010-01-13 日本碍子株式会社 ワイヤーソー加工装置、及びワイヤーソー加工方法
CH696806A5 (fr) * 2003-11-18 2007-12-14 Walter Ebner Scie à fil à mouvement alternatif.
JP4411062B2 (ja) * 2003-12-25 2010-02-10 株式会社アライドマテリアル 超砥粒ワイヤソー巻き付け構造、超砥粒ワイヤソー切断装置および超砥粒ワイヤソーの巻き付け方法
CN101301734B (zh) * 2008-06-25 2010-12-08 周文敏 微机控制多线切割机
JP5177701B2 (ja) * 2009-02-16 2013-04-10 コマツNtc株式会社 トラバース制御方法およびその装置
EP2218532B1 (en) * 2009-02-17 2013-10-30 Applied Materials, Inc. Wire saw device and method for operating same
JP5527987B2 (ja) * 2009-02-25 2014-06-25 京セラ株式会社 ワイヤーソー装置と基板の製造方法
WO2011032598A1 (en) * 2009-09-18 2011-03-24 Applied Materials, Inc. Wire handling unit, wire saw device and method for operating same
CN102791427B (zh) * 2010-02-08 2015-05-13 东洋先进机床有限公司 线锯
WO2011096018A1 (ja) * 2010-02-08 2011-08-11 トーヨーエイテック株式会社 ワイヤソーによるワークの切断方法及びワイヤソー
IT1401683B1 (it) * 2010-08-27 2013-08-02 Gambini Int Sa Dispositivo di taglio per rotoli di materiale nastriforme, in particolare cartaceo.
CN102101325B (zh) * 2010-12-15 2014-05-21 湖南宇晶机器实业有限公司 多线切割机自动排线装置的径向平衡机构
JP5155428B2 (ja) 2011-07-15 2013-03-06 コマツNtc株式会社 ワイヤソー
DE102011082366B3 (de) * 2011-09-08 2013-02-28 Siltronic Ag Einlagiges Wickeln von Sägedraht mit fest gebundenem Schneidkorn für Drahtsägen zum Abtrennen von Scheiben von einem Werkstück
US20150114189A1 (en) * 2012-09-17 2015-04-30 Jon Khachaturian Method and apparatus for removing underwater platforms
US10252357B2 (en) * 2012-12-04 2019-04-09 Meyer Burger Ag Wire management system
JP6256870B2 (ja) * 2013-10-11 2018-01-10 株式会社タカトリ ワイヤソー及びその制御方法
US10549375B2 (en) * 2016-07-08 2020-02-04 Norsk Titanium As Metal wire feeding system
JP6823978B2 (ja) * 2016-09-12 2021-02-03 日立オムロンターミナルソリューションズ株式会社 紙葉類取扱装置、自動取引装置及び紙葉類取扱方法
US10593537B1 (en) 2019-03-21 2020-03-17 Samuel Messinger Longitudinal silicon ingot slicing machine and jig fixture
US11276577B2 (en) * 2019-03-21 2022-03-15 Samuel Messinger Longitudinal silicon ingot slicing apparatus
CN109866342A (zh) * 2019-04-04 2019-06-11 苏州高新区鼎正精密机电有限公司 一种金钢线缠绕设备
CN113649433A (zh) * 2021-06-29 2021-11-16 江苏景昇新材料有限公司 一种铜线拉丝收卷张力控制机构

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3831576A (en) * 1971-11-22 1974-08-27 Motorola Inc Machine and method for cutting brittle materials using a reciprocating cutting wire
US3841297A (en) * 1971-12-01 1974-10-15 Motorola Inc Machine for cutting brittle materials
CA1013240A (en) * 1973-12-29 1977-07-05 Yasunaga Engineering Kabushiki Kaisha Wire saw
US4494523A (en) * 1983-08-05 1985-01-22 Motorola, Inc. Wire saw
US4655191A (en) * 1985-03-08 1987-04-07 Motorola, Inc. Wire saw machine
CA1262415A (en) * 1986-04-12 1989-10-24 Johnston, Edward P. Guide pulley base for wire saw
US4903682A (en) * 1987-04-30 1990-02-27 Technoslice Ltd. Wire saw
JPH0635107B2 (ja) * 1987-12-26 1994-05-11 株式会社タカトリハイテック ワイヤソー
JP2673544B2 (ja) * 1988-06-14 1997-11-05 株式会社日平トヤマ 脆性材料の切断方法
JP2516717B2 (ja) * 1991-11-29 1996-07-24 信越半導体株式会社 ワイヤソ―及びその切断方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19990007070A (ko) * 1997-06-19 1999-01-25 다구마 시로 와이어 소 및 피가공물 절삭방법
KR20010039437A (ko) * 1999-10-30 2001-05-15 유선종 히드록시 말단의 탄화수소기로 치환된 폴리스티렌 구형 수지 제조 방법

Also Published As

Publication number Publication date
JP3107143B2 (ja) 2000-11-06
CH693132A5 (de) 2003-03-14
US5628301A (en) 1997-05-13
JPH0929611A (ja) 1997-02-04
TW308564B (ko) 1997-06-21
MY116541A (en) 2004-02-28
KR100276048B1 (ko) 2000-12-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR970005474A (ko) 와이어 톱의 와이어 트래버스장치
US7651046B2 (en) Bobbin winding device
KR19990036300A (ko) 권취 조정 방법
KR950008051A (ko) 자주식로보트의 전원코드의 장력제어장치 및 그 제어방법
US4163126A (en) Tension indicating device
US6595454B2 (en) Optical fiber tensioning device and method of controlling the tension applied to an optical fiber
US5320266A (en) Strip storage arrangement with independent tension control of synchronously operated support carriages
KR890003141B1 (ko) 선장력 제어용 댄서 롤러 장치
JPH0815971B2 (ja) 動かされる広幅支持帯上に繊維シート帯を同じ向きに載せる装置
JP2607291B2 (ja) 帯状物の供給装置
JPH052521Y2 (ko)
JPS56146625A (en) Wire-cut discharge processing machine
DE59907347D1 (de) Aufspulvorrichtung
JPH07147723A (ja) ケーブル巻取り装置の制御方法
JPH10119031A (ja) ワイヤソーのワイヤ走行制御装置
JPH0915073A (ja) 走行中の電線・ケーブルの張力測定方法
JPH0195834A (ja) 直線機
KR20060020380A (ko) 케이블의 종첨 테이핑 장치
JP2996088B2 (ja) 電線送給装置およびそれに用いる弛み量制御ユニット
SU1180181A1 (ru) НАПРАВЛЯЮЩАЯ КАРЕТКА РОЛИКОВЫХ НОЖНИЦ преимущественно для резки металлической ленты с полосчатым плакированием
JPS5940434Y2 (ja) ル−ピングピット内帯状体の張力制御装置
JPH11306878A (ja) 自己支持型ケーブルの張力調整装置
JP2530708B2 (ja) 帯状材巻取り装置
JPH04152061A (ja) ワイヤーソー装置の張力制御装置
JPS628890Y2 (ko)

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application
J201 Request for trial against refusal decision
J301 Trial decision

Free format text: TRIAL DECISION FOR APPEAL AGAINST DECISION TO DECLINE REFUSAL REQUESTED 19990817

Effective date: 20000628

S901 Examination by remand of revocation
GRNO Decision to grant (after opposition)
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20040723

Year of fee payment: 5

LAPS Lapse due to unpaid annual fee