TW201923157A - 鍍覆裝置 - Google Patents

Abstract

鍍覆裝置具有：鍍覆槽；基板保持器，該基板保持器配置於所述鍍覆槽，用於保持基板；陽極，該陽極用於在與所述基板之間產生電場；以及至少一個電場遮蔽體，該至少一個電場遮蔽體用於遮蔽所述基板保持器和所述電場的一部分或者全部，所述電場遮蔽體具有使所述基板與所述陽極之間的電場穿過的開口部，並且，所述電場遮蔽體構成為能夠獨立地調整所述開口部的第一方向上的開口尺寸以及第二方向上的開口尺寸。

Description

鍍覆裝置

本發明有關鍍覆裝置。

以往，在設置於半導體晶圓等基板的表面的微細的配線用槽、孔、或者抗蝕劑開口部形成配線、或者在基板的表面形成與封裝體的電極等電性連接的凸塊（突起狀電極）。作為形成該配線和凸塊的方法，公知有例如電解鍍覆法、蒸鍍法、印刷法、球凸塊法等。伴隨著半導體晶片的I/O數的增加、細間距化，多數情況下使用能夠實現微細化且性能比較穩定的電解鍍覆法。

在利用電解鍍覆法形成配線或者凸塊的情況下，在設置於基板上的配線用槽、孔、或者抗蝕劑開口部的障礙金屬的表面形成有電阻較低的種晶層（供電層）。在該種晶層的表面上，鍍覆膜成長。近年來，伴隨著配線和凸塊的微細化，使用更薄的膜厚的種晶層。當種晶層的膜厚變薄時，種晶層的電阻（薄膜電阻：sheet resistance）增加。

通常情況下，被鍍覆的基板在其周緣部具有電接點。因此，在基板的中央部流過與鍍覆液的電阻值和從基板的中央部到電接點的種晶層的電阻值的合成電阻對應的電流。另一方面，在基板的周緣部（電接點附近）大致流過與鍍覆液的電阻值對應的電流。即，在基板的中央部不容易流過與從基板的中央部到電接點的種晶層的電阻值對應的電流。電流集中於該基板的周緣部的現象被稱為終端效應(terminal effect)。

在具有比較薄的膜厚的種晶層的基板中，從基板的中央部到電接點的種晶層的電阻值比較大。因此，在對具有比較薄的膜厚的種晶層的基板進行鍍覆的情況下，終端效應變得明顯。並且，基板越大型化，則從基板的中央部到電接點的種晶層的電阻值越大。其結果為，基板的中央部的鍍覆速度降低，基板的中央部的鍍覆膜的膜厚比基板的周緣部的鍍覆膜薄，膜厚的面內均勻性有可能降低。

為了抑制由於終端效應而導致的膜厚的面內均勻性的降低，需要調整施加給基板的電場。公知有日本特開2016-98399號公報（專利文獻1）中記載的具有陽極遮罩的鍍覆裝置，該陽極遮罩能夠調整從陽極朝向圓形的基板的電場。並且，公知有日本特開平6-17297號公報（專利文獻2）中記載的在基板與陽極之間在遠離陽極的位置設置有電流阻止部的鍍覆裝置。

但是，在不是對圓形的半導體晶圓那樣的圓形基板而是對矩形或者方形的基板進行鍍覆的情況下，應該處理的基板的縱橫尺寸比是各種各樣的。通過鍍覆來埋入金屬的凹部等圖案的配置的變動也會增加。要想對這樣的矩形的基板進行膜厚均勻性良好的鍍覆，利用以往的電流阻止單元無法充分地進行電場的控制。並且，即使是矩形以外的例如圓形的基板，也有時希望使外周部分的鍍覆膜厚更均勻。

專利文獻1：日本特開2016-98399號公報 專利文獻2：日本特開平6-17297號公報

[本發明所欲解決的問題]

本發明的目的在於，提高鍍覆裝置的電場調整功能。 [用於解決問題的手段]

本發明的一個方式有關鍍覆裝置，該鍍覆裝置具有：鍍覆槽；基板保持器，該基板保持器配置於所述鍍覆槽，用於保持基板；陽極，該陽極與所述基板保持器對置配置；以及至少一個電場遮蔽體，該電場遮蔽體用於遮蔽從所述陽極朝向所述基板的電場的一部分，所述電場遮蔽體具有使所述基板與所述陽極之間的電場通過的開口部，並且，所述電場遮蔽體構成為能夠獨立地調整所述開口部的第一方向上的開口尺寸以及第二方向上的開口尺寸。

本發明的一個方式有關鍍覆裝置，該鍍覆裝置具有：鍍覆槽；基板保持器，該基板保持器配置於所述鍍覆槽，用於保持基板；陽極，該陽極與所述基板保持器對置配置；以及至少一個電場遮蔽體，該電場遮蔽體用於遮蔽從所述陽極朝向所述基板的電場的一部分，所述電場遮蔽體具有三個以上的遮蔽部件，該三個以上的遮蔽部件各自具有用於使來自所述陽極的電場通過的開口部，至少兩個所述遮蔽部件構成為能夠相對於至少一個所述遮蔽部件移動，以對各開口部重疊形成的開口區域進行調整。

以下，與附圖一同對本發明的鍍覆裝置和鍍覆裝置中使用的陽極單元的實施方式進行說明。在附圖中，對相同或者類似的元件標示相同或者類似的參照符號，在各實施方式的說明中有時省略關於相同或者類似的元件的重複的說明。並且，各實施方式中所示的特徵只要彼此不矛盾，也能夠應用於其他的實施方式。另外，在本說明書中，「基板」不僅包含半導體基板、玻璃基板、印刷電路基板，而且還包含磁記錄介質、磁記錄傳感器、反射鏡、光學元件或微小機械元件、或者局部製作出的積體電路。基板包含任意的形狀（方形、圓形等）。並且，在本說明書中使用「前面」、「背面」、「前」、「後」、「上」、「下」、「左」、「右」等表達，它們是為了方便說明，而表示例示的附圖的紙面上的位置、方向，在裝置使用時等的實際的配置上有時不同。

圖1是示出鍍覆裝置的一個實施方式的示意圖。如圖1所示，鍍覆裝置具有：架台101；控制鍍覆裝置的運轉的控制部103；對基板W（參照圖2）進行裝載和卸載的裝載/卸載部170A；基板放置部（機械室、基板裝卸部）170B，該基板放置部（機械室、基板裝卸部）170B將基板W放置於基板保持器11（參照圖2），並且從基板保持器11拆下基板W；對基板W進行鍍覆的處理部（前處理室、鍍覆室）170C；貯藏基板保持器11的保持器貯藏部（堆料室）170D；以及對鍍覆後的基板W進行清洗和乾燥的清洗部170E。本實施方式的鍍覆裝置是通過使電流流過鍍覆液而利用金屬對基板W的被鍍覆面進行鍍覆的電解鍍覆裝置。並且，作為本實施方式的處理對象的基板W是半導體封裝基板等。特別是，本實施方式的鍍覆裝置能夠適用於矩形的基板。並且，在基板W的表面側和背面側分別形成有由種晶層等構成的電導層，此外，在該電導層上的圖案面形成區域形成有抗蝕層，在該抗蝕層預先形成有溝槽(trench)、導通孔(via)。在本實施方式中，能夠包含具有將基板的表面和背面連接的貫通孔的基板（所謂的通孔基板）來作為處理對象。

如圖1所示，架台101由多個架台部件101a～101h構成，這些架台部件101a～101h構成為能夠連結。裝載/卸載部170A的組成元件配置在第一架台部件101a上，基板放置部170B的組成元件配置在第二架台部件101b上，處理部170C的組成元件配置在第三架台部件101c～第六架台部件101f上，保持器貯藏部170D的組成元件配置在第七架台部件101g和第八架台部件101h上。

在裝載/卸載部170A中設置有：裝載台105，該裝載台105搭載有收納了鍍覆前的基板W的盒體(cassette)（未圖示）；以及卸載台107，該卸載台107搭載有接收由處理部170C鍍覆後的基板W的盒體（未圖示）。此外，在裝載/卸載部170A配置有由搬運基板W的搬運用機械手構成的基板搬運裝置122。

基板搬運裝置122構成為，接近搭載於裝載台105的盒體，從盒體取出鍍覆前的基板W，將基板W傳遞給基板放置部170B。在基板放置部170B中，將鍍覆前的基板W放置於基板保持器11，從基板保持器11取出鍍覆後的基板W。

在處理部170C配置有預濕槽126、預浸槽128、第一洗滌槽130a、鼓風槽132、第二洗滌(rinse)槽130b、第一鍍覆槽10a、第二鍍覆槽10b、第三洗滌槽130c、以及第三鍍覆槽10c。這些槽126、128、130a、132、130b、10a、10b、130c、10c被依次配置。在以下的說明中，有時將第一鍍覆槽10a、第二鍍覆槽10b、第三鍍覆槽10c進行總稱為鍍覆槽10、或者參照這些鍍覆槽中的任意的鍍覆槽而稱為鍍覆槽10。

在預濕槽126中，作為前處理準備，將基板W浸漬在純水中。在預浸槽128中，通過藥液對形成於基板W的表面的種晶層等導電層的表面的氧化膜進行蝕刻去除。在第一洗滌槽130a中，利用清洗液（例如，純水）對預浸後的基板W進行清洗。

在第一鍍覆槽10a、第二鍍覆槽10b以及第三鍍覆槽10c中的至少一個鍍覆槽10中，對基板W的被鍍覆面進行鍍覆。另外，在圖1所示的實施方式中，鍍覆槽10為三個，但作為其他的實施方式，也可以具有任意數量的鍍覆槽10。並且，這裡，舉例說明對基板W的單面進行鍍覆的情況，但也能夠將本發明應用於兩面鍍覆的情況。

在第二洗滌槽130b中，由第一鍍覆槽10a或者第二鍍覆槽10b鍍覆後的基板W與基板保持器11一同由清洗液（例如，純水）進行清洗。在第三洗滌槽130c中，由第三鍍覆槽10c鍍覆後的基板W與基板保持器11一同由清洗液（例如，純水）進行清洗。在鼓風槽132中，在鍍覆處理前後進行清洗後的基板W的脫液。

預濕槽126、預浸槽128、洗滌槽130a～130c以及鍍覆槽10a～10c是能夠在它們的內部貯存處理液（液體）的處理槽。這些處理槽具有貯存處理液的多個處理單元，但不限於該實施方式，這些處理槽也可以具有單一的處理單元。並且，也可以是，這些處理槽的至少一部分具有單一的處理單元，其他的處理槽具有多個處理單元。

鍍覆裝置還具有對基板保持器11進行搬運的搬運機140。搬運機140構成為能夠在鍍覆裝置的組成元件之間移動。搬運機140具有：固定基座142，該固定基座142從基板放置部170B到處理部170C沿水平方向延伸；以及多個運輸機(transporter)141，該多個運輸機141構成為能夠沿著固定基座142移動。

這些運輸機141構成為分別具有用於保持基板保持器11的可動部（未圖示），對基板保持器11進行保持。運輸機141構成為，在基板放置部170B、保持器貯藏部170D以及處理部170C之間搬運基板保持器11，進一步使基板保持器11與基板W一同上下移動。例如，運輸機141中的一個通過使保持著基板W的基板保持器11從鍍覆槽10的上方下降，能夠使基板W與基板保持器11一同浸漬到鍍覆槽10內的鍍覆液中。作為運輸機141的移動機構，能夠列舉例如馬達與小齒輪齒條的組合。另外，在圖1所示的實施方式中，設置有三個運輸機，但作為其他的實施方式也可以採用任意數量的運輸機。

（鍍覆槽的結構） 圖2是概略性地示出鍍覆槽的結構的側視圖。在鍍覆處理中，在鍍覆槽10配置有保持基板W的基板保持器11、保持陽極電極AN的陽極單元12、調整板14、以及攪拌器15。鍍覆槽10收容鍍覆液，將基板W和陽極電極AN浸漬在鍍覆液中。陽極單元12具有：保持陽極電極AN的陽極保持器200；以及用於對陽極電極AN與基板W之間的電場進行調整的陽極遮罩300。在一例中，陽極單元12收容在陽極盒13內。在陽極盒13的與陽極電極AN對置的位置設置有開口部，在開口部配置有隔膜13a。陽極遮罩300包含由例如電介質材料構成的一個或者多個大致板狀的部件。關於陽極遮罩的詳細情況，後述進行說明。調整板14具有開口部，與陽極遮罩300同樣地調整與基板W之間的電場。在一例中，調整板14的開口部的尺寸固定，更換使用不同的開口尺寸的調整板。在其他的例中，調整板14的開口尺寸能夠調整。攪拌器15對基板W的被鍍覆面附近的鍍覆液進行攪拌。攪拌器15例如能夠採用大致棒狀的部件，能夠以朝向鉛垂方向的方式設置在鍍覆槽10內。攪拌器15構成為能夠通過未圖示的驅動裝置而沿著基板W的被鍍覆面進行水平移動。並且，攪拌器15也可以是在板狀部件設置多個縱向的縫的結構。另外，從鍍覆品質的觀點出發，較佳為處於（基板W的被鍍覆面的露出面積或者尺寸）＞（調整板的開口面積或者尺寸）＞（陽極遮罩的開口面積或者尺寸）的關係。在該情況下，基板W自身的面積或者尺寸比調整板的開口部的面積或者尺寸大。因此，較佳為對陽極遮罩的開口面積（或者開口尺寸）和調整板的開口面積（或者開口尺寸）進行設定和調整至少其中之一者以滿足上述關係。

陽極電極AN經由陽極保持器200內的配線而與外部電源（未圖示）連接。並且，基板W的被鍍覆面經由基板保持器11內的配線而與外部電源連接。當從外部電源對陽極電極AN與基板W之間供給電壓時，鍍覆電流按照從外部電源穿過陽極電極AN、鍍覆液、基板W的被鍍覆面的種晶層而返回外部電源的路徑流動。由此，鍍覆液中的金屬析出到基板W的被鍍覆面上，對基板W進行鍍覆處理。

在鍍覆槽10設置有使鍍覆液在鍍覆槽10與外槽16之間循環的循環機構700。循環機構700具有循環線路702，該循環線路702將接受從鍍覆槽10溢出的鍍覆液的外槽16和鍍覆槽10連接。在一例中，循環線路702與鍍覆槽10的底部和外槽16的底部連接。在循環線路702中設置有閥704，能夠進行循環線路702的開閉。也可以是，閥704能夠採用例如電磁閥，能夠通過控制部103（參照圖1）來控制循環線路702的開閉。在循環線路702中設置有泵706，能夠通過泵706使鍍覆液穿過循環線路702而從外槽16循環到鍍覆槽10。在循環線路702設置有溫度控制裝置708，能夠對穿過循環線路702的鍍覆液的溫度進行控制。例如，也可以在鍍覆槽10中設置未圖示溫度計，根據該溫度計所測定出的鍍覆液溫度，通過控制部103來控制溫度控制裝置708。在循環線路702中設置有過濾器710，能夠除去穿過循環線路702的鍍覆液的固體物。

（陽極單元） （第一實施方式） 圖3是第一實施方式的陽極單元的立體圖。圖4是第一實施方式的陽極單元的將下遮罩省略而示出的立體圖。圖5是第一實施方式的陽極單元的將上和下遮罩省略而示出的立體圖。

陽極單元12具有：保持陽極電極AN的陽極保持器200；以及用於調整陽極電極AN的露出區域（開口區域）的陽極遮罩300。陽極保持器200具有陽極主體201和臂部202。陽極遮罩300一體地安裝於陽極保持器200的前面。陽極主體201具有開口部204。陽極主體201構成為保持陽極電極AN，使陽極電極AN從開口部204露出。臂部202構成為在其兩端部將陽極保持器200裝配於鍍覆槽10，在一個端部設置有與外部電源（未圖示）電連接的供電端子203a。在按照兩個供電路徑對陽極電極AN供電的情況下，也可以進一步在臂部202的另一個端部設置有供電端子203b。在以下的說明中，將陽極單元（陽極保持器、陽極遮罩）的與基板保持器11對置的一側稱為陽極單元（陽極保持器、陽極遮罩）的前面（正面），將相反側稱為後面（背面）。

陽極遮罩300具有左遮罩311、右遮罩312、上遮罩313和下遮罩314。左遮罩311、右遮罩312、上遮罩313和下遮罩314分別對陽極主體201的開口部204的左側端部、右側端部、上側端部、下側端部的開口部204的開口區域（開口尺寸、開口位置）進行調整。各遮罩311～314由例如電介質材料構成。

如圖5所示，左遮罩311是大致L字狀的板狀部件，沿著陽極主體201的開口部204的左側端部延伸。在陽極主體201的前面設置有在開口部204的下部沿著下邊延伸的引導件333。在引導件333的內側設置有縫。左遮罩311的下部與引導件333的縫卡合，通過由引導件333被沿著左右方向引導。在左遮罩311的上部安裝有引導部件315。引導部件315也可以設置兩個以上。引導部件315可以作為其他部件而安裝於左遮罩311，也可以與左遮罩311一體形成。引導部件315具有沿著陽極主體201的左右方向延伸的貫通孔，在貫通孔的內周設置有內螺紋。可以在引導部件315的貫通孔直接設置內螺紋，也可以將設置有在內周具有內螺紋的貫通孔的其他部件安裝於引導部件315。

右遮罩312是大致L字狀的板狀部件，沿著陽極主體201的開口部204的右側端部延伸。右遮罩312的下部通過引導件333被沿著左右方向引導。在右遮罩312的上部安裝有引導部件316。引導部件316的結構與引導部件315的結構相同。

在引導部件315、316的貫通孔中插入有沿陽極主體201的左右方向延伸的桿324。在桿324的外周設置有外螺紋。引導部件315、316的內螺紋與桿324的外螺紋螺合，構成進給螺桿機構。桿324支承於軸承341、342，桿324的一端與馬達321的旋轉軸連結。引導部件315的內螺紋和引導部件316的內螺紋以通過桿324的旋轉而沿著桿324的軸向彼此向相反方向移動的方式與桿324的外螺紋卡合。另外，在其他的實施方式中，也可以是，引導部件315的內螺紋和引導部件316的內螺紋以通過桿324的旋轉而沿著桿324的軸向向相同方向移動的方式與桿324的外螺紋卡合。

當桿324通過馬達321而旋轉時，引導部件315、316沿著左右方向以彼此接近或者分離的方式移動，由此，固定於引導部件315、316的左遮罩311、右遮罩312沿著左右方向以彼此接近或者分離的方式移動。其結果為，對陽極主體201的開口部204的左側端部和右側端部的開口區域進行調整。換言之，對開口部204的左右方向的開口尺寸進行調整。

如圖4所示，上遮罩313在陽極主體201的開口部204的上部沿著上邊延伸。在陽極主體201的前面設置有在開口部204的左邊和右邊的外側沿著左邊和右邊延伸的引導件331a、331b。在引導件331a、331b的內側設置有縫。上遮罩313的左部和右部與引導件331a、331b的縫卡合，被引導件331a、331b引導為沿著上下方向移動。在上遮罩313上設置有兩個齒條317、318。各齒條317、318具有齒條齒。各齒條317、318設置於上遮罩313的左右對稱的位置。齒條的數量可以是一個，也可以是三個以上。各齒條317、318分別與設置於沿左右方向延伸的桿325的兩個小齒輪(pinion gear)326、327卡合。通過齒條317、318和小齒輪326、327而構成齒條小齒輪機構。桿325由軸承343、344支承，桿325的一端與馬達322的旋轉軸連結。當桿325通過馬達322而旋轉時，通過齒條小齒輪機構而使上遮罩313沿著上下方向移動。其結果為，對陽極主體201的開口部204的上側端部的開口區域進行調整。

另外，馬達321、322固定於鍍覆槽10。並且，雖然在圖3～圖6B中未圖示，但能夠在引導部件315與軸承341之間將桿324分割成兩個，利用接頭將兩個桿324之間連結（參照圖13）。同樣，能夠在齒條317與軸承343之間將桿325分割成兩個，利用接頭將兩個桿325之間連結。關於軸承342、344側的桿324、325，也能夠同樣地構成。在像這樣構成的情況下，在進行陽極電極AN的更換等陽極單元12的維護時，通過解除接頭對桿間的連結，能夠從鍍覆槽10取出陽極單元12。

如圖3所示，下遮罩314具有：下遮罩部314a，該下遮罩部314a在陽極主體201的開口部204的下側端部沿著開口部204的下邊延伸；左延長部314b和右延長部314c，該左延長部314b和右延長部314c在開口部204的左邊和右邊的外側沿著左邊和右邊延伸；以及上延長部314d，該上延長部314d形成為將左延長部314b和右延長部314c彼此連結。左延長部314b和右延長部314c的上部向遠離陽極主體201的方向屈曲以避免與上遮罩313發生干涉，進一步以沿與陽極主體201平行的方向延伸的方式屈曲，與上延長部314d連結。並且，在正面觀察時，上延長部314d配置在避免與上遮罩313發生干涉的位置。換言之，上延長部314d構成為從前方觀察陽極單元12時與上遮罩313不重疊。

在陽極主體201的前面設置有在開口部204的左邊和右邊的外側沿著左邊和右邊延伸的引導件332a、332b。在引導件332a、332b的內側設置有縫。左延長部314b和右延長部314c與引導件332a、332b的縫卡合，被引導件332a、332b引導為沿著上下方向移動。在下遮罩314的上延長部314d的背面設置有齒條319、320（圖3、圖4）。齒條319、320的結構與齒條317、318的結構相同。齒條319、320分別與小齒輪326、327卡合。通過齒條319、320和小齒輪326、327來構成齒條小齒輪機構。當桿325通過馬達322而旋轉時，通過齒條小齒輪機構而使上延長部314d沿著上下方向移動，由此，下遮罩314沿著引導件332a、332b而沿上下方向移動。其結果為，對陽極主體201的開口部204的下側端部的開口區域進行調整。

上遮罩313和下遮罩314通過齒條小齒輪機構而沿著上下方向向相反方向移動。上遮罩313的齒條317、318和下遮罩314的齒條319、320以通過小齒輪326、327的旋轉而彼此向相反方向移動的方式與小齒輪326、327卡合。另外，在其他的實施方式中，也可以是，上遮罩313與下遮罩314一體形成，通過齒條小齒輪機構以向上下方向的相同方向移動的方式卡合。

根據以上說明的陽極單元12，左遮罩311與右遮罩312能夠以沿著左右方向接近、分離的方式移動，並且上遮罩313和下遮罩314能夠以沿著上下方向接近、分離的方式移動。其結果為，能夠彼此獨立地調整陽極保持器200的開口部204的左右方向的開口區域和上下方向的開口區域。由此，能夠更精細地對基板上的應該鍍覆的圖案的配置、由於對基板或者陽極電極的供電方法而受到影響的基板上的鍍覆膜厚分佈進行調整。

並且，由於左遮罩311和右遮罩312以沿著左右方向同步地接近、分離的方式移動，因此能夠按照相同的量來調整開口部204的左右的各端部的開口區域。並且，能夠對稱地調整開口部204的左右的各端部的開口區域。同樣，由於上遮罩313和下遮罩314以沿著上下方向同步地接近、分離的方式移動，因此能夠按照相同的量來調整開口部204的上下的各端部的開口區域。能夠對稱地調整開口部204的上下的各端部的開口區域。例如，在以基板、陽極電極、陽極遮罩的開口部204的中心處於一條直線上的方式配置各部件的狀態下，能夠保持開口部的中心不移動地調整成開口部204的左右方向的開口尺寸和上下方向的開口尺寸分別為最佳，因此鍍覆膜厚的調整方法變簡單，也容易抑制鍍覆槽間的鍍覆膜厚的均勻性的離散程度(dispersion)。

（第一實施方式的變形例） 圖6A是從第一實施方式的變形例的陽極單元的左上方觀察的立體圖。圖6B是從第一實施方式的變形例的陽極單元的右上方觀察的立體圖。在變形例的陽極單元12中，左遮罩311和右遮罩312由獨立的驅動機構進行驅動，上遮罩313和下遮罩314由獨立的驅動機構進行驅動。左遮罩311和右遮罩312能夠由獨立的驅動機構同步地進行驅動、或者不同步地進行驅動。左遮罩311和右遮罩312能夠以接近、分離的方式被驅動，能夠以向相同方向移動的方式被驅動。上遮罩313和下遮罩314也相同。

如圖6A和圖6B所示，桿324被分割成桿324a和桿324b，桿324a的一端與馬達321a的旋轉軸連結，桿324b的一端與馬達321b的旋轉軸連結。桿324a與左遮罩311的引導部件315卡合。桿324b與右遮罩312的引導部件316卡合。與桿324同樣，在桿324a和桿324b的外周分別設置有外螺紋。利用桿324a的外周的外螺紋和引導部件315的貫通孔的內螺紋來構成進給螺桿機構。利用桿324b的外周的外螺紋和引導部件316的貫通孔的內螺紋來構成進給螺桿機構。左遮罩311和右遮罩312能夠通過作為獨立的驅動源的馬達321a、321b的旋轉而同步地或者不同步地在左右方向上移動。左遮罩311和右遮罩312能夠通過作為獨立的驅動源的馬達321a、321b的旋轉而沿著左右方向以接近或者分離的方式移動或者向相同方向移動。

如圖6A和圖6B所示，桿325被分割成桿325a和桿325b。桿325a的一端與馬達322a的旋轉軸連結，桿325b的一端與馬達322b的旋轉軸連結。桿325a的小齒輪326與上遮罩313的齒條317卡合。桿325b的小齒輪327與下遮罩314的齒條320卡合。桿325a的另一端由安裝於陽極保持器200的軸承345進行支承。桿325b的另一端由安裝於陽極保持器200的軸承346進行支承。在上遮罩313的右側上方部設置有用於避免與軸承346發生干涉的凹口。在下遮罩314的上延長部314d的左側上方部設置有用於避免與軸承346發生干涉的凹口。

上遮罩313和下遮罩314能夠通過作為獨立的驅動源的馬達322a、322b的旋轉而同步地或者不同步地沿著上下方向移動。上遮罩313和下遮罩314能夠通過作為獨立的驅動源的馬達322a、322b的旋轉而沿著上下方向以接近或者分離的方式移動或者向相同方向移動。

另外，各馬達321a、321b、322a、322b固定於鍍覆槽10。並且，能夠將各桿324a、324b、325a、325b分割成兩個，利用接頭進行連結。在該情況下，在進行陽極電極AN的更換等陽極單元12的維護時，通過解除接頭對各桿的連結，能夠從鍍覆槽10取出陽極單元12。

根據變形例的陽極單元12，由於能夠按照不同的量對左遮罩311和右遮罩312進行調整，能夠按照不同的量對上遮罩313和下遮罩314進行調整，因此能夠對開口區域的中心位置進行調整。例如，在基板W與陽極遮罩的中心位置的對位存在偏差的情況下，能夠通過陽極遮罩的開口區域的調整來校正對位的偏差。並且，在基板W、調整板與陽極遮罩的中心位置的對位存在偏差的情況下，能夠通過陽極遮罩的開口區域的調整來校正對位的偏差。並且，在對應該鍍覆的圖案的配置偏向左右或者上下的基板進行處理時，也能夠調整電場而不使陽極遮罩自身的位置移動。另外，若使用後述的調整板的應用例，由於也能夠同樣地調整調整板的開口區域，因此能夠進一步提高中心對位的精度。

另外，在變形例的陽極單元12中，通過控制部103的控制而能夠同步地調整左遮罩311和右遮罩312，能夠同步地調整上遮罩313和下遮罩314。

（對調整板的應用） 圖26是應用了本發明的調整板的立體圖。調整板14’具有底板140’和調節板12’。底板140’是具有一定的開口面積的開口部140a的屏蔽板。調節板12’是具有與上述實施方式的陽極遮罩300相同的結構的板。調節板12’具有與陽極遮罩300同樣地貫通的開口部，能夠通過與陽極遮罩300相同的機構而改變開口部的大小或者位置或者形狀。由此，能夠通過與陽極遮罩300相同的機構而調整與陽極電極稍稍分離的配置在基板與陽極電極的中間的調整板的開口部從而控制電場。另外，調節板12’能夠具有與各實施方式的陽極遮罩相同的結構。例如，調節板12’能夠採用後述的圖7～圖9B所示的第二實施方式的陽極遮罩的結構、圖10A～圖12B所示的第三實施方式的陽極遮罩的結構、圖13～圖25所示的第四實施方式的陽極遮罩的結構。通過這樣的結構，能夠利用調節板12’來調整陽極遮罩的各遮罩的位置，由此調整底板140’的開口部140a的開口區域。

另外，由於陽極遮罩接近陽極電極而遠離基板，因此對於控制基板的鍍覆面整體的膜厚來說是有效的。另一方面，調節板比陽極遮罩接近基板側，調節板比較有利於控制基板的外周部的膜厚。較佳為通過使陽極遮罩和調節板雙方在兩個方向上獨立可變，能夠進行更精細的鍍覆膜厚控制。

另外，在圖26中描述了使底板140’和調節板12’組合的方式，該底板140’具備具有一定的開口面積的開口部140a，該調節板12’具有與陽極遮罩300相同的結構，只要能夠充分地進行電場的遮蔽控制，也可以不設置底板140’。即，也可以僅將能夠使開口區域可變的調節板12’ 配置在基板保持器11與陽極單元12之間，而用作調整板。在使用調節板12’而使調整板的開口區域可變的情況下，作為陽極單元的陽極遮罩，也可以使用具有固定的開口區域的陽極遮罩。並且，在使調整板的開口區域和陽極遮罩的開口區域雙方都可變的情況下，能夠調整各個開口尺寸的方向也可以彼此不同。

（陽極遮罩開口區域的調整控制） 陽極遮罩的各遮罩的移動控制由控制部103來執行。控制部103具有執行陽極遮罩的各遮罩的移動控制的程式、或者從外部的記憶體等取得。例如，陽極單元（陽極遮罩）的開口區域的資訊（例如，各遮罩的位置、致動器的移動量）包含在處方程式(recipe)的項目中，存儲在記憶體等中。並且，控制部103讀出處方程式項目，根據開口區域的資訊來控制致動器，從而調整陽極單元（陽極遮罩）的開口區域。此時，能夠通過致動器而獨立地控制開口區域的左右方向和上下方向的開口尺寸。致動器能夠採用馬達、螺線管、氣壓缸等任意的驅動源。並且，陽極單元（陽極遮罩）的開口區域的調整能夠在鍍覆處理前、處理中進行。例如，能夠在鍍覆處理前按照基板的種類來變更開口區域。並且，也能夠在鍍覆處理中調整開口區域（開口部）的面積或者尺寸。例如，由於在鍍覆初期，終端效應強力地作用，因此減小開口區域而防止基板的外周部的鍍覆膜厚變厚，在鍍覆進行而鍍覆膜厚整體上變厚的階段，由於終端效應緩和，因此能夠擴大開口區域而進一步提高鍍覆膜厚的均勻性。能夠對調整板也同樣地進行控制。另外，調整板的開口區域的調整也能夠同樣地由控制部103進行。以下說明的實施方式也相同。

另外，較佳為對調整板的開口區域（或者開口尺寸）、陽極遮罩的開口面積（或者開口尺寸）進行調整，以處於（基板W的面積或者尺寸）＞（調整板的開口面積或者尺寸）＞（陽極遮罩的開口面積或者尺寸）的關係。以下說明的實施方式也相同。

在上述實施方式中，也可以不使用來自致動器的動力，而手動地使各遮罩移動。其他的實施方式也同樣，也可以不使用來自致動器的動力，而手動地使各遮罩移動。

（第二實施方式） 圖7是第二實施方式的陽極單元的立體圖。圖8是第二實施方式的陽極單元的省略了驅動部的立體圖。圖9A是第二實施方式的陽極單元的第一狀態下的前視圖。圖9B是第二實施方式的陽極單元的第二狀態下的前視圖。

本實施方式的陽極單元12具有陽極保持器200和陽極遮罩400。由於陽極保持器200的結構與第一實施方式大致相同，因此省略詳細的說明。另外，與第一實施方式同樣，在將陽極保持器和陽極遮罩分開設置的情況下，能夠將上述陽極保持器200作為陽極遮罩300的底板而使用。

陽極遮罩400具有左遮罩411、右遮罩412、上遮罩413、以及下遮罩414。左遮罩411、右遮罩412、上遮罩413和下遮罩414分別對陽極主體201的開口部204的左側端部、右側端部、上側端部、下側端部的開口部204的開口區域（開口尺寸等）進行調整。各遮罩411～414由例如電介質材料構成。

左遮罩411是板狀部件，沿著陽極主體201的開口部204的左側端部延伸。左遮罩411的下端部經由鏈結件(link)451而與陽極保持器200連接，左遮罩411的上端部經由鏈結件453而與陽極保持器200連接。左遮罩411的下端部通過銷451a而相對與鏈結件451的一端部以能夠旋轉的方式連接。鏈結件451的另一端部通過銷451b而以能夠旋轉的方式與陽極保持器200連接。在本實施方式中，鏈結件453為大致三角形狀，但也可以是其他的形狀。左遮罩411的上端部通過銷453a而相對於鏈結件453以能夠旋轉的方式連接。鏈結件453通過銷453b而以能夠旋轉的方式與陽極保持器200連接。並且，鏈結件453經由鏈結件455而與移動部件425的一端連接。鏈結件455通過銷453c而以能夠旋轉的方式與鏈結件453連接，通過銷426a而以能夠旋轉的方式與移動部件425的一端連接。

右遮罩412是板狀部件，沿著陽極主體201的開口部204的右側端部延伸。右遮罩412的下端部經由鏈結件452而與陽極保持器200連接，右遮罩412的上端部經由鏈結件454而與陽極保持器200連接。右遮罩412的下端部通過銷452a而相對於鏈結件452的一端部以能夠旋轉的方式連接。鏈結件452的另一端部通過銷452b而以能夠旋轉的方式與陽極保持器200連接。在本實施方式中，鏈結件454為大致三角形狀，但也可以是其他的形狀。右遮罩412的上端部通過銷454a而相對於鏈結件454以能夠旋轉的方式連接。鏈結件454通過銷454b而以能夠旋轉的方式與陽極保持器200連接。並且，鏈結件454經由鏈結件456而與移動部件425的一端連接。鏈結件456通過銷454c而以能夠旋轉的方式與鏈結件454連接，通過銷427a而以能夠旋轉的方式與移動部件425的一端連接。

移動部件425採用具有沿上下方向延伸的上下邊426、427且將上下邊426、427的上端部彼此連結的結構。在各上下邊426、427分別設置有引導槽428、429。設置於陽極保持器200的引導銷205、206分別與各引導槽428、429卡合。通過引導銷205、206而沿著引導槽428、429對移動部件425的上下方向上的移動進行引導。並且，在移動部件425的上下邊426、427的連結部的大致中央部設置有手柄425a。手柄425a是在通過手動使左遮罩411、右遮罩412移動的情況下使用的。

如圖7所示，移動部件425與移動部件424連結。在本實施方式中，移動部件424從與移動部件425的連結部向上方延伸，然後，沿著左右方向向左側延伸。另外，移動部件424的結構是一例，也可以是其他的結構。移動部件424的左側端部被定位為能夠與致動器421的輸出軸抵接。致動器421能夠使移動部件424在上下方向上移動。致動器421固定於鍍覆槽10，例如具有馬達以及將馬達的旋轉轉換成直線運動的旋轉直動轉換機構（滾珠螺桿機構、滾珠滑道(ball ramp)機構等）。致動器421也可以是螺線管、氣壓缸等其他的驅動源。

當在圖9A的左遮罩411的位置（第一狀態）下，移動部件424、425通過致動器421而向上方移動時，如圖9B（第二狀態）所示，鏈結件453經由鏈結件455而被移動部件425向上方提拉，鏈結件453以銷453b為中心而逆時針旋轉。雖然左遮罩411通過鏈結件453的旋轉而也要旋轉，但左遮罩411的下端部經由鏈結件451而與陽極保持器200連接，因此左遮罩411上升並且向左方平行移動。右遮罩412也同樣地從圖9A的位置（第一狀態）向圖9B（第二狀態）移動。但是，由於鏈結件454的旋轉方向與鏈結件453的旋轉方向為相反方向，因此右遮罩412向右方移動。其結果為，左遮罩411和右遮罩412以接近的方式移動。並且，當移動部件424、425通過致動器421而向下方移動時，鏈結件453、454分別向相反方向旋轉，左遮罩411與右遮罩412向分離的方向移動。如上所述，左遮罩411與右遮罩412經由移動部件425而同步地沿著左右方向以接近、分離的方式移動。其結果為，根據左遮罩411與右遮罩412的移動量而對陽極主體201的開口部204的左側端部和右側端部的開口區域進行調整。

當移動部件424、425通過致動器421在上下方向上移動時，鏈結件453、454繞銷453b、454b旋轉，該鏈結件453、454旋轉被轉換成左遮罩411、右遮罩412的左右方向的移動。其結果為，對陽極主體201的開口部204的左側端部和右側端部的開口區域（左右方向的開口尺寸）進行調整。

另外，也可以使鏈結件453、454的旋轉方向為相同方向，而使左遮罩411和右遮罩412向相同方向移動。在該情況下，能夠變更開口面積或者不變更開口面積地使開口部204的開口區域的中心在左右方向上位移。

上遮罩413在陽極主體201的開口部204的上側端部沿著上邊延伸。例如，在圖9B的第二狀態下，上遮罩413的下邊被配置為與開口部204的上邊重疊、或者位於開口部的上邊的外側。在上遮罩413設置有：用於避讓鏈結件453的銷453b的開口部413b；用於避讓鏈結件454的銷454b的開口部413c；以及用於避讓鏈結件416的銷416b的開口部413d。並且，在上遮罩413設置有長孔413a。通過使銷416a與長孔413a卡合，使上遮罩413與鏈結件416的一端部連接。銷416a能夠沿著長孔413a移動。鏈結件416的中間部分通過銷416b而以能夠旋轉的方式與陽極保持器200連接。鏈結件416的另一端部與鏈結件417的一端部都通過銷417b而與設置於下遮罩414的上延長部414d的長孔414e連接（圖9A）。銷417b能夠沿著長孔414e移動。在鏈結件417的另一端部設置有手柄417a。手柄417a是在手動地使上遮罩413、下遮罩414移動的情況下使用的。

下遮罩414是框狀的部件。下遮罩414具有：在陽極主體201的開口部204的下側端部沿著開口部204的下邊延伸的下遮罩部414a；在開口部204的左邊和右邊的外側沿著左邊和右邊延伸的左延長部414b和右延長部414c；以及形成為將左延長部414b和右延長部414c彼此連結的上延長部414d。下遮罩414以在第一狀態（圖9A）下下遮罩部414a與開口部204重疊的區域最大的方式、以及在第二狀態（圖9B）下下遮罩部414a與開口部204重疊的區域最小（包含0）的方式配置於陽極保持器200。例如，在圖9B的第二狀態下，下遮罩414的下遮罩部414a的上邊配置成與開口部204的下邊重疊的方式、或者位於開口部204的下邊的外側。在上延長部414d設置有長孔414e，將鏈結件416、417支承為能夠旋轉的銷417b與長孔414e卡合。在陽極主體201的前面設置有引導部207。在本實施方式中，引導部207作為設置於陽極主體201的凹部而構成。另外，引導部207可以是將其他部件安裝於陽極主體201而構成的，也可以使陽極主體201的凹部與其他部件組合。通過引導部207的側壁而沿著上下方向對下遮罩414的左延長部414b和右延長部414c進行引導。通過下遮罩414的左延長部414b和右延長部414c的內側面而對上遮罩413的上下方向的移動進行引導。

如圖7所示，移動部件435的一端與鏈結件417的上端部連結。在本實施方式中，移動部件435是沿著開口部204的上邊延伸的板狀部件，移動部件434與移動部件435的另一端連結。在本實施方式中，移動部件434從與移動部件435的連結部向上方延伸，然後，沿著左右方向向左側延伸。另外，移動部件434、435的結構是一例，也可以是其他的結構。移動部件434的左側端部被定位為能夠與致動器422的輸出軸抵接。致動器422能夠使移動部件434在上下方向上移動。致動器422固定於鍍覆槽10，例如具有馬達以及將馬達的旋轉轉換成直線運動的旋轉直動轉換機構（滾珠螺桿機構、滾珠滑道機構等）。致動器422也可以是螺線管、氣壓缸等其他的驅動源。

當在圖9A的上遮罩413、下遮罩414的位置（第一狀態），移動部件434、435通過致動器422而向下方移動時，如圖9B（第二狀態）所示，鏈結件417向下方移動，銷417b在長孔414e內向左方移動並且向下方移動，使下遮罩414的上延長部414d向下方移動。並且，銷417b向下方的移動使鏈結件416繞銷416b順時針旋轉，銷416a在長孔413a內向右方移動並且向上方移動，使上遮罩413向上方移動。其結果為，上遮罩413與下遮罩414（下遮罩部414a）同步地沿著上下方向以分離的方式移動。即，由於上遮罩413向上方移動，下遮罩414向下方移動，因此開口部204的上側端部和下側端部的開口區域擴大。

當在圖9B的上遮罩413、下遮罩414的位置（第二狀態），移動部件434、435通過致動器422而向上方移動時，如圖9A（第一狀態）所示，鏈結件417向上方移動，銷417b在長孔414e內向右方移動並且向上方移動，使下遮罩414的上延長部414d向上方移動。並且，銷417b向上方的移動使鏈結件416繞銷416b逆時針旋轉，銷416a在長孔413a內向左方移動並且向下方移動，使上遮罩413向下方移動。其結果為，上遮罩413與下遮罩414（下遮罩部414a）同步地沿著上下方向以接近的方式移動。即，由於上遮罩413向下方移動，下遮罩414向上方移動，因此開口部204的上側端部和下側端部的開口區域縮小。

通過使上遮罩413和下遮罩414同步地沿著上下方向以接近、分離的方式移動，從而根據其移動量對陽極主體201的開口部204的上側端部和下側端部的開口區域進行調整。

另外，在第一狀態（圖9A）下，示出了左遮罩和右遮罩接近到最小，上遮罩和下遮罩接近到最小的狀態，在第二狀態（圖9B）下，示出了左遮罩和右遮罩擴大到最大，上遮罩和下遮罩擴大到最大的狀態，但左遮罩和右遮罩的移動與上遮罩和下遮罩的移動能夠通過獨立的致動器421、422或者手動而獨立調整。

根據以上說明的陽極單元12，左遮罩411和右遮罩412能夠沿著左右方向以接近、分離的方式移動，並且上遮罩413和下遮罩414能夠沿著上下方向以接近、分離的方式移動。其結果為，能夠彼此獨立地調整陽極保持器200的開口部204的左右方向的開口區域和上下方向的開口區域。

並且，由於左遮罩411和右遮罩412沿著左右方向同步地以接近、分離的方式移動，因此能夠按照相同的量來調整開口部204的左右的各端部的開口區域。並且，能夠對稱地調整開口部204的左右的各端部的開口區域。同樣，由於上遮罩413和下遮罩414沿著上下方向同步地以接近、分離的方式移動，因此能夠按照相同的量來調整開口部204的上下的各端部的開口區域。能夠對稱地調整開口部204的上下的各端部的開口區域。

另外，也可以以上遮罩413、下遮罩414向相同方向移動的方式構成鏈結機構。在該情況下，能夠變更開口面積或者不變更開口面積地使開口部204的開口區域的中心在上下方向上位移。並且，也可以利用獨立的驅動源使上遮罩413、下遮罩414移動。即，也可以分別獨立地具有用於使上遮罩413和下遮罩414移動的上述的機構。

並且，若構成為使左遮罩411和右遮罩412向相同方向移動而進行調整（例如，獨立地驅動鏈結件453、454），則能夠變更開口面積或者不變更開口面積地使開口部204的開口區域的中心在左右方向上位移。並且，也可以利用獨立的驅動源使左遮罩411和右遮罩412移動。

另外，也可以不使用來自致動器的動力，而手動地使各遮罩移動。

另外，第二實施方式的陽極遮罩的結構也與第一實施方式中描述的結構同樣地能夠應用於調整板。並且，第二實施方式的陽極遮罩和調整板的開口區域也與第一實施方式中描述的內容同樣地能夠通過控制部進行調整。

（第三實施方式） 圖10A是從前面側觀察第三實施方式的陽極單元的陽極遮罩的立體圖。圖10B是從背面側觀察第三實施方式的陽極單元的陽極遮罩的立體圖。圖10C是第三實施方式的陽極單元的陽極遮罩的側視圖。圖10D是沿著圖10C的A-A線的向視圖。圖10E是沿著圖10C的B-B線的向視圖。

陽極遮罩500配置在上述的陽極保持器200的具有開口部204的一側的前方。陽極遮罩500具有基座501、遮蔽部件510以及遮蔽部件520。基座501、遮蔽部件510和遮蔽部件520分別構成第一至第三遮蔽部件。

基座501具有開口部502。在基座501的前面形成有引導部503，該引導部503由用於引導遮蔽部件510的移動的凹部構成。在基座501的背面形成有引導部504，該引導部504由用於引導遮蔽部件520的移動的凹部構成。另外，引導部503、504的一方或者雙方也可以是凹部以外的結構。例如，可以是安裝了其他部件的引導部件的結構、使凹部與其他部件的引導部件組合的結構。另外，引導部503具有用於引導遮蔽部件510向傾斜方向（左右方向與上下方向之間的方向）的移動的傾斜引導部503a～503c（圖11A）。並且，遮蔽部件510在與傾斜引導部503a～503c對應的位置還具有傾斜邊部515a～515c。引導部504具有用於引導遮蔽部件520向傾斜方向（左右方向與上下方向之間的方向）的移動的傾斜引導部504a～504c（圖12A）。並且，遮蔽部件520在與傾斜引導部504a～504c對應的位置還具有傾斜邊部525a～525c。

遮蔽部件510是框狀的部件，具有開口部513。遮蔽部件510具有下遮罩510a、左遮罩510b、右遮罩510c以及上遮罩510d。在第一狀態（圖10A、10B、圖11A、11B）下，將遮蔽部件510的開口部513設定成與基座501的開口部502相同的形狀和尺寸、或者比基座501的開口部502小的尺寸，以使遮蔽部件510的開口部513規定基座501的開口部502的開口區域。遮蔽部件510還具有比上遮罩510d更向上方延伸的延長部511，在延長部511設置有銷512。銷512與鏈結件541的長孔541a卡合。

遮蔽部件520是框狀的部件，具有開口部523。遮蔽部件520具有下遮罩520a、左遮罩520b、右遮罩520c以及上遮罩520d。在第一狀態（圖10A、10B、圖11A、11B）下，將遮蔽部件520的開口部523設定成與基座501的開口部502相同的形狀和尺寸、或者比基座501的開口部502小的尺寸，以使遮蔽部件520的開口部523規定基座501的開口部502的開口區域。遮蔽部件520還具有比上遮罩520d更向上方延伸的延長部521，在延長部521設置有銷522。銷522與鏈結件542的長孔542a卡合。

在本實施方式中，遮蔽部件520的開口部523具有與遮蔽部件510的開口部513相同的形狀和尺寸。另外，在第一狀態下，基座501的開口部502的開口區域由遮蔽部件520的開口部523以及遮蔽部件510的開口部513來規定，為最大。另外，在第一狀態下，也可以將遮蔽部件510、520的開口部513、523形成得比基座501的開口部502大，基座501的開口部502的開口區域由開口部502的開口區域自身來規定。並且，在第一狀態下，基座501的開口部502的開口區域的上邊、下邊、左邊、右邊的至少一部分也可以由遮蔽部件520的開口部523以及遮蔽部件510的開口部513的至少一方來限制。

陽極遮罩500具有作為驅動源的馬達530。在本實施方式中，馬達530設置於基座501的前面側。馬達530的旋轉軸與齒輪531和帶輪(pulley)533連結。如圖10A、10E所示，帶輪533通過帶(belt)537而與帶輪534、535連接。如圖10A所示，帶輪534構成為與鏈結件541的一端側連結，向鏈結件541傳遞旋轉運動。如圖10A、10D所示，齒輪531與齒輪532嚙合，將與齒輪531的旋轉相反方向的旋轉傳遞給齒輪532。齒輪532的軸從基座501的前面側貫通到背面側，如圖10B所示，帶輪536與該軸連結。帶輪536經由帶538與帶輪539連結。如圖10B所示，帶輪539與鏈結件542的一端側連結，向鏈結件542傳遞旋轉運動。在該結構中，與馬達530的旋轉相同方向的旋轉經由帶輪533、534而傳遞給鏈結件541，與馬達530的旋轉相反方向的旋轉經由齒輪532、帶輪536、539而傳遞給鏈結件542。其結果為，遮蔽部件510和遮蔽部件520通過馬達530的旋轉而在對角線上向相反方向移動。

圖11A是第一狀態下的陽極遮罩的前視圖。圖11B是第二狀態下的陽極遮罩的前視圖。圖12A是第一狀態下的陽極遮罩的後視圖。圖12B是第二狀態下的陽極遮罩的後視圖。

當在圖11A中帶輪534通過馬達530的旋轉而逆時針旋轉時，如圖11B所示，鏈結件541逆時針旋轉，遮蔽部件510經由與長孔541a卡合的銷512而向斜上方移動。此時，遮蔽部件510的銷512在鏈結件541的長孔541a內移動，並且遮蔽部件510沿著位於引導部503的對角線上的傾斜引導部而向斜上方移動。其結果為，遮蔽部件510的下遮罩510a和右遮罩510c將開口部502的下側端部和右側端部的開口區域縮小。

當在圖12A中，帶輪539通過馬達530的旋轉而逆時針旋轉時，如圖12B所示，鏈結件542逆時針旋轉，遮蔽部件520經由與長孔542a卡合的銷522而向斜下方移動。此時，遮蔽部件520的銷522在鏈結件542的長孔542a內移動，並且遮蔽部件520沿著位於引導部504的對角線上的傾斜引導部向斜下方移動。其結果為，遮蔽部件520的上遮罩520d和左遮罩520b將開口部502的上側端部和左側端部的開口區域縮小。

另外，從圖11B和圖12B（第二狀態）向圖11A和圖12A（第一狀態）的移動是通過使馬達逆旋轉而以相反的動作來進行。通過馬達的旋轉來調整鏈結件541、542的旋轉角，由此調整基於遮蔽部件510、520的開口部502的開口區域。

如圖11B和圖12B所示，遮蔽部件510向左斜上方移動，而由遮蔽部件510的下遮罩510a和右遮罩510c將開口部502的下側端部和右側端部的開口區域縮小，並且遮蔽部件520向右斜下方移動，而由遮蔽部件520的上遮罩520d和左遮罩520b將開口部502的上側端部和左側端部的開口區域縮小。由此，開口部502的開口區域在上下左右的各端部同步地縮小。換言之，遮蔽部件510、520沿著遮蔽部件510、520的對角線方向向相反方向移動，從而根據它們的移動量來調整開口部502的開口區域。

另外，在上述中，對遮蔽部件510、520沿著對角線移動的情況進行了說明，但也可以構成為向對角線以外的傾斜方向移動。並且，各遮蔽部件510、520也可以構成為沿著彼此不同的直線移動。

第三實施方式的陽極遮罩的結構也與第一實施方式中描述的結構同樣地能夠應用於調整板。並且，第三實施方式的陽極遮罩和調整板的開口區域也與第一實施方式中描述的內容同樣地能夠通過控制部進行調整。

（第四實施方式） 圖13是第四實施方式的陽極單元的立體圖。圖14是第四實施方式的陽極單元的局部剖面立體圖。圖15A是從第四實施方式的陽極單元的前面側觀察的分解立體圖。圖15B是從第四實施方式的陽極單元的背面側觀察的分解立體圖。圖16是陽極保持器的前視圖。圖17是左右遮罩可變槓桿的前視圖、側視圖和後視圖。圖18是左右遮罩葉片的前視圖和側視圖。圖19是中間引導部件的前視圖和後視圖。圖20是上下遮罩可變槓桿的前視圖、側視圖和後視圖。圖21是上下遮罩葉片的前視圖和側視圖。圖22是前面引導部件的後視圖。

本實施方式的陽極單元12具有陽極保持器200和陽極遮罩600。陽極保持器200具有開口部204，使陽極電極AN從開口部204露出。另外，與第一實施方式同樣，在將陽極保持器和陽極遮罩分開設置的情況下，能夠將上述陽極保持器200作為陽極遮罩300的底板而使用。

如圖15B和圖16所示，陽極保持器200具有用於引導後述的左右遮罩610的左右遮罩可變槓桿611的動作的引導部208。引導部208形成為設置於陽極主體201的沉孔，該沉孔的深度比將左右遮罩可變槓桿611和左右葉片612、613重疊的厚度稍大。在引導部208中的四角，特別地設置有葉片避讓部208a～208d，該葉片避讓部208a～208d用於在左右葉片612、613移動時避讓左右葉片612、613。

陽極遮罩600具有左右遮罩610、上下遮罩620、中間引導部件630以及前面引導部件640。左右遮罩610配置在陽極保持器200與中間引導部件630之間，上下遮罩620配置在中間引導部件630與前面引導部件640之間。中間引導部件630夾在陽極保持器200與前面引導部件640之間，對外周部分進行螺紋緊固。即，可以說是，中間引導部件630相對於陽極保持器200或者陽極遮罩600固定。中間引導部件630不與左右遮罩610和上下遮罩620一同移動，而作為陽極遮罩600的底板發揮功能。左右遮罩610被收容於在陽極保持器200的前面所形成的引導部208內。上下遮罩620像後述那樣被收容在前面引導部件640的引導部641內。

如圖22所示，前面引導部件640具有比開口部204大的開口部640a。前面引導部件640具有用於引導後述的上下遮罩620的上下遮罩可變槓桿621的動作的引導部641（圖15B、圖22）。引導部641形成為設置於前面引導部件640的背面的沉孔，該沉孔深度比將上下遮罩可變槓桿621和上下葉片622、623重疊的厚度稍大。在引導部641中的四角特別地設置有葉片避讓部641a～641d，該葉片避讓部641a～641d用於在上下葉片622、623移動時避讓上下葉片622、623。

如圖15B所示，左右遮罩610具有左右遮罩可變槓桿611和左右葉片（遮罩）612、613。如圖17所示，左右遮罩可變槓桿611呈從大致圓形的輪廓的框狀部件在下部和左右部的外周部分設置了直線部分的形狀。左右遮罩可變槓桿611具有大致矩形的開口部611a。開口部611a配置為比開口部204大，包圍開口部204的外側。在左右遮罩可變槓桿611的開口部611a的大致對角線上的兩個部位設置有卡合孔614、615。後述的左右葉片612、613的卡合銷616與這些卡合孔614、615卡合，左右葉片612、613與左右遮罩可變槓桿611卡合。

在左右遮罩可變槓桿611的上端部設置有卡合銷613a（圖15A）。如圖13、圖14所示，卡合銷613a在貫穿了上下遮罩可變槓桿621的引導槽627的狀態下，與固定於桿654的卡合鉤661卡合。桿654由固定於陽極保持器200的引導部件659、660引導為能夠往復移動。桿654經由接頭657而與桿653連接，桿653與致動器651連接。致動器651是能夠使桿653、654在左右方向上往復移動的裝置。致動器651固定於鍍覆槽10，例如具有馬達以及將馬達的旋轉轉換成直進運動的旋轉直動轉換機構（滾珠螺桿機構、滾珠滑道機構等）。致動器651也可以是螺線管、氣壓缸等其他的結構。當致動器651經由桿653、654、卡合鉤661而使卡合銷613a向左方移動時，從前面側觀察，左右遮罩可變槓桿611順時針旋轉。當致動器651經由桿653、654、卡合鉤661而使卡合銷613a向右方移動時，從前面側觀察，左右遮罩可變槓桿611逆時針旋轉。

左右葉片612、613具有相同的結構，如圖18所示，在第一面具有卡合銷616，在第二面具有引導銷671、672。左右葉片612的卡合銷616與左右遮罩可變槓桿611的卡合孔614卡合，左右葉片612與左右遮罩可變槓桿611卡合（圖15B）。左右葉片612的引導銷671、672與中間引導部件630的引導槽675、676分別卡合（圖15B）。由此，在左右遮罩可變槓桿611旋轉時，左右葉片612維持著與開口部204的右邊平行的狀態，被引導為沿著引導槽675、676向傾斜方向移動。其結果為，左右葉片612維持著與開口部204的左邊平行的狀態，在左右方向上移動，以使開口部204的左側端部的開口區域變化。

同樣，左右葉片613的卡合銷616與左右遮罩可變槓桿611的卡合孔615卡合，左右葉片613與左右遮罩可變槓桿611卡合（圖15B）。左右葉片613的引導銷671、672與中間引導部件630的引導槽677、678分別卡合（圖15B）。由此，左右葉片613維持著與開口部204的右邊平行的狀態，被引導為沿著引導槽677、678向傾斜方向移動。其結果為，左右葉片613維持著與開口部204的右邊平行的狀態，在大致左右方向上移動，以使開口部204的右邊側端部的開口區域變化。

上下遮罩620具有與左右遮罩610大致相同的結構。上下遮罩620具有上下遮罩可變槓桿621和上下葉片（遮罩）622、623。如圖20所示，上下遮罩可變槓桿621呈從大致圓形的輪廓的框狀部件在下部和左右部的外周部分設置了直線部分的形狀。上下遮罩可變槓桿621具有大致矩形的開口部621a。開口部621a配置為比開口部204大，包圍開口部204的外側。在上下遮罩可變槓桿621的開口部621a的大致對角線上的兩個部位設置有卡合孔624、625。後述的上下葉片622、623的卡合銷626與這些卡合孔624、625卡合，上下葉片622、623與上下遮罩可變槓桿621卡合。

在上下遮罩可變槓桿621的上端部設置有卡合銷623a（圖15A、圖20）。如圖13、圖14所示，卡合銷623a與固定於桿656的卡合鉤662卡合。桿656由固定於陽極保持器200的引導部件659、660引導為能夠往復移動。桿656經由接頭658而與桿655連接，桿655與致動器652連接。致動器652是能夠使桿655、656在左右方向上往復移動的裝置。致動器652例如具有馬達以及將馬達的旋轉轉換成直進運動的旋轉直動轉換機構（滾珠螺桿機構、滾珠滑道機構等）。致動器652也可以是螺線管、氣壓缸等其他的結構。當致動器652經由桿655、656、卡合鉤662而使卡合銷623a向左方移動時，從前面側觀察，上下遮罩可變槓桿621順時針旋轉。當致動器652經由桿655、656、卡合鉤662而使卡合銷623向右方移動時，從前面側觀察，上下遮罩可變槓桿621逆時針旋轉。

上下葉片622、623具有相同的結構，如圖21所示，在第一面具有卡合銷626，在第二面具有引導銷681、682。上下葉片622的卡合銷626與上下遮罩可變槓桿621的卡合孔625卡合，上下葉片622與上下遮罩可變槓桿621卡合（圖15B、圖20）。上下葉片622的引導銷681、682與中間引導部件630的引導槽687、688分別卡合（圖15B、圖19）。由此，在上下遮罩可變槓桿621旋轉時，上下葉片622維持著與開口部204的下邊平行的狀態，被引導為沿著引導槽687、688向傾斜方向移動。其結果為，上下葉片622維持著與開口部204的下邊平行的狀態，在上下方向上移動，以使開口部204的下側端部的開口區域變化。

同樣，上下葉片623的卡合銷626與上下遮罩可變槓桿621的卡合孔624卡合，上下葉片623與上下遮罩可變槓桿621卡合（圖15B、圖20）。上下葉片623的引導銷681、682與中間引導部件630的引導槽685、686分別卡合（圖15B、圖19）。由此，上下葉片623維持著與開口部204的上邊平行的狀態，被引導為沿著引導槽685、686向傾斜方向移動。其結果為，上下葉片623維持著與開口部204的上邊平行的狀態，在上下方向上移動，以使開口部204的上側端部的開口區域變化。

圖23A是第一狀態下的左右遮罩的前視圖。圖23B是第二狀態下的左右遮罩的前視圖。在第一狀態（圖23A）下，左右葉片612、613處於擴大到最大的狀態，左右葉片612和613的內側邊分別與陽極保持器200的開口部204的左邊和右邊一致。另外，左右葉片612和613的內側邊也可以處於陽極保持器200的開口部204的左邊和右邊的外側。並且，也可以構成為，在第一狀態下，左右葉片612、613的一部分與開口部204重疊。在第二狀態（圖23B）下，左右葉片612、613處於縮小到最小的狀態，左右葉片612、613的內側邊處於按照最大量位移到陽極保持器200的開口部204的左邊和右邊的內側的狀態。

當在第一狀態（圖23A）下，從正面觀察，左右葉片可變槓桿611根據來自致動器651的動力而順時針旋轉時，左右葉片612、613的銷616也順時針旋轉，但通過中間引導部件630的引導槽675、676（677、678）來引導左右葉片612、613的引導銷671、672，由此左右葉片612、613保持與開口部204的左邊和右邊平行的狀態，並且以彼此接近的方式移動（參照圖23B）。關於從第二狀態（圖23B）向第一狀態（圖23A）的位移，從正面觀察，左右葉片可變槓桿611根據來自致動器651的動力而逆時針旋轉，由此，通過與上述相反的動作而使左右葉片612、613保持與開口部204的左邊和右邊平行的狀態並且以彼此分離的方式移動。通過調整基於致動器651的左右遮罩可變槓桿611的旋轉角，能夠調整基於左右葉片612、613的開口部204的左側端部和右側端部的開口區域。

圖24A是第一狀態下的上下遮罩的前視圖。圖24B是第二狀態下的上下遮罩的前視圖。在第一狀態（圖24A）下，上下葉片622和623處於擴大到最大的狀態，上下葉片622和623的內側邊分別與陽極保持器200的開口部204的上邊和下邊一致。另外，上下葉片622和623的內側邊也可以處於陽極保持器200的開口部204的上邊和下邊的外側。並且，在第一狀態下，也可以構成為上下葉片622、623的一部分與開口部204重疊。在第二狀態（圖24B）下，上下葉片622、623處於縮小到最小的狀態，上下葉片622、623的內側邊處於按照最大量位移到陽極保持器200的開口部204的上邊和下邊的內側的狀態。

當在第一狀態（圖24A）下，從正面觀察，上下葉片可變槓桿621根據來自致動器652的動力而順時針旋轉時，上下葉片622、623的銷626也順時針旋轉，但通過中間引導部件630的引導槽687、688（685、686）來引導上下葉片622、623的引導銷681、682，由此上下葉片622、623保持與開口部204的上邊和下邊平行的狀態並且以彼此接近的方式移動（參照圖24B）。關於從第二狀態（圖24B）向第一狀態（圖24A）的位移，從正面觀察，上下葉片可變槓桿621根據來自致動器652的動力而逆時針旋轉，由此，通過與上述相反的動作而使上下葉片622、623保持與開口部204的上邊和下邊平行的狀態並且以彼此分離的方式移動。通過調整基於致動器652的上下遮罩可變槓桿621的旋轉角，能夠調整基於上下葉片622、623的開口部204的上側端部和下側端部的開口區域。

圖25是第四實施方式的陽極保持器的變形例。如圖25所示，也可以在左右遮罩610與陽極保持器200之間以及上下遮罩620與前面引導部件640之間的至少一方設置滑動部件670。由此，能夠使左右遮罩610和上下遮罩620至少其中之一者的旋轉運動變得圓滑。

另外，在上述中，在陽極保持器200與中間引導部件630之間配置左右遮罩610，在中間引導部件630與前面引導部件640之間配置上下遮罩620，但也可以與之相反，在陽極保持器200與中間引導部件630之間配置上下遮罩620，在中間引導部件630與前面引導部件640之間配置左右遮罩610。

另外，在上述中，為了引導左右葉片612、613，而在中間引導部件630設置引導槽，以與形成於左右葉片的引導銷卡合，但也可以在中間引導部件630設置引導銷，而在左右葉片612、613設置引導槽。但總之，較佳為引導銷與引導槽中的任意一方相對於陽極遮罩600固定。換言之，較佳為引導銷與引導槽中的任意一方固定於陽極遮罩600中的不移動的結構（作為陽極遮罩的底板發揮功能的部件：例如中間引導部件、前面引導部件、陽極保持器）。並且，在上述中，為了使左右葉片612、613移動，而在左右葉片可變槓桿611設置卡合孔，以與左右葉片612、613的卡合銷卡合，但也可以在左右葉片可變槓桿611設置引導槽而與左右葉片612、613的卡合銷卡合，使左右葉片612相對於左右葉片可變槓桿611一邊旋轉一邊滑動。

此外，在上述中，為了使左右葉片移動而在與左右葉片可變槓桿611之間設置一個卡合部位，為了引導左右葉片而在與中間引導部件630之間設置兩個卡合部位，但卡合部位的數量不限於上述。例如，也可以為了使左右葉片移動而在與左右葉片可變槓桿611之間設置兩個卡合部位，為了引導左右葉片而在與中間引導部件630之間設置一個卡合部位。

第四實施方式的陽極遮罩的結構也與第一實施方式中描述的結構同樣，能夠應用於調整板。並且，第四實施方式的陽極遮罩和調整板的開口區域也與第一實施方式中描述的內容同樣，能夠通過控制部進行調整。

根據上述，陽極遮罩一體地安裝於陽極保持器200，用於調整陽極電極AN的露出區域（開口區域），陽極遮罩能夠彼此獨立地調整陽極遮罩的開口部的左右方向的開口區域和上下方向的開口區域。並且，配置在基板保持器11與陽極單元12之間的調整板12’也具有與陽極遮罩相同的機構，能夠彼此獨立地調整調整板12’的開口部的左右方向的開口區域和上下方向的開口區域。將陽極遮罩和調整板12’總稱為「電場遮蔽體」。電場遮蔽體在像陽極遮罩那樣配置在陽極電極的附近的情況下對於基板整體的鍍覆膜厚的調整來說是有效的，在像調整板12’那樣配置在比較接近基板保持器的位置的情況下對於調整基板的外周部的鍍覆膜厚來說是有效的。

將陽極電極AN、或者用於保持陽極電極AN的陽極保持器總稱為「陽極」。陽極配置在與基板保持器對置的位置。

根據上述實施方式，能夠至少掌握以下的方式。

根據第一方式，提供鍍覆裝置，該鍍覆裝置具有：鍍覆槽；基板保持器，該基板保持器配置於所述鍍覆槽，用於保持基板；陽極，該陽極與所述基板保持器對置配置；以及至少一個電場遮蔽體，該電場遮蔽體用於遮蔽從所述陽極朝向所述基板的電場的一部分，所述電場遮蔽體具有使所述基板與所述陽極之間的電場通過的開口部，並且，所述電場遮蔽體構成為能夠獨立地調整所述開口部的第一方向上的開口尺寸以及第二方向上的開口尺寸。這裡，陽極具有陽極電極。並且，存在如下情況：陽極具有陽極電極、以及保持陽極電極的陽極保持器。電場遮蔽體能夠包含陽極遮罩、調整板中的至少一個。

根據第一方式，能夠在第一方向和第二方向（例如，左右方向、上下方向）上獨立地調整電場遮蔽體的開口區域。由此，能夠在第一方向和第二方向（例如，左右方向、上下方向）上獨立地調整基板與陽極之間的電場，能夠根據鍍覆圖案的配置、對陽極的供電方法而更精密地控制電場，能夠提高鍍覆膜厚的均勻性。

根據第二方式，在第一方式的鍍覆裝置中，所述電場遮蔽體具有一個或者多個第一遮蔽部件以及一個或者多個第二遮蔽部件，所述第一遮蔽部件配置在所述開口部的所述第一方向上的第一端部和第二端部中的至少一方側，所述第二遮蔽部件配置在所述開口部的所述第二方向上的第三端部和第四端部中的至少一方側。 根據第二方式，能夠在開口部的第一方向上的第一端部和第二端部中的至少一方側調整開口區域，並且能夠在開口部的所述第二方向上的第三端部和第四端部中的至少一方側調整開口區域。

根據第三方式，在第二方式的鍍覆裝置中，所述第一遮蔽部件配置在所述開口部的所述第一方向上的第一端部和第二端部的雙方側，各端部處的所述第一遮蔽部件彼此向相反方向移動。 根據第三方式，由於在開口部的所述第一方向上的第一端部和第二端部側的雙方側沿相反方向調整開口尺寸，因此容易保持對稱性地調整開口區域。

根據第四方式，在第二方式的鍍覆裝置中，所述第一遮蔽部件配置在所述開口部的所述第一方向上的第一端部和第二端部的雙方側，各端部處的所述第一遮蔽部件按照相同的量進行移動。 根據第四方式，由於在開口部的所述第一方向上的第一端部和第二端部的雙方側按照相同的量來調整開口尺寸，因此容易保持對稱性地調整開口區域。

根據第五方式，在第二方式的鍍覆裝置中，所述第一遮蔽部件配置在所述開口部的所述第一方向上的第一端部和第二端部的雙方側，各端部處的所述第一遮蔽部件通過彼此獨立的驅動源而移動。 根據第五方式，能夠在開口部的第一方向上的第一端部和第二端部的雙方側單獨地調整開口區域。在該情況下，能夠以調整開口部的開口區域的中心位置的方式調整開口部的第一方向上的開口區域。另外，也可以控制各驅動源以使各端部處的第一遮蔽部件同步地移動。

根據第六方式，在第二至第五方式中的任意的鍍覆裝置中，所述一個或者多個第一遮蔽部件和所述一個或者多個第二遮蔽部件中的至少一個遮蔽部件通過進給螺桿機構而移動。 根據第六方式，能夠通過進給螺桿機構而簡單地構成遮蔽部件的驅動機構。並且，能夠使多個遮蔽部件精度良好地同步移動。

根據第七方式，在第二至第五方式中的任意的鍍覆裝置中，所述一個或者多個第一遮蔽部件和所述一個或者多個第二遮蔽部件中的至少一個遮蔽部件通過齒條小齒輪機構而移動。 根據第七方式，能夠通過齒條小齒輪機構而簡單地構成遮蔽部件的驅動機構。並且，能夠使多個遮蔽部件精度良好地同步移動。

根據第八方式，在第二方式的鍍覆裝置中，所述電場遮蔽體具有配置在所述開口部的所述第一方向上的所述第一端部側的所述第一遮蔽部件，相對於所述第一遮蔽部件以能夠旋轉的方式連接的第一鏈結部件與所述第一遮蔽部件一同形成第一鏈結機構，所述第一鏈結部件的旋轉被轉換成所述第一遮蔽部件的移動。 根據第八方式，由於將第一鏈結部件的旋轉運動轉換成第一遮蔽部件的移動，因此能夠以節省空間且簡單的結構構成第一遮蔽部件的驅動機構。

根據第九方式，在第八方式的鍍覆裝置中，所述電場遮蔽體還具有基座，所述第一遮蔽部件的一端以能夠旋轉的方式與所述第一鏈結部件連接，所述第一遮蔽部件的另一端以能夠旋轉的方式與第二鏈結部件連接，該第二鏈結部件以能夠旋轉的方式與所述基座連接，所述第二鏈結部件與所述第一遮蔽部件一同形成第二鏈結機構，所述第一遮蔽部件通過所述第一鏈結部件和所述第二鏈結部件的旋轉而平移移動。 根據第九方式，能夠通過與第一遮蔽部件的兩端連接的第一鏈結部件和第二鏈結部件的旋轉，以節省空間且簡單的結構實現第一遮蔽部件的平移運動。

根據第十方式，在第二方式的鍍覆裝置中，所述電場遮蔽體還具有基座，在配置於所述開口部的所述第一方向上的第一端部和第二端部的雙方側的所述第一遮蔽部件各自形成有長孔，形成於第三鏈結部件的兩個銷插入於各第一遮蔽部件的所述長孔中，該第三鏈結部件相對於所述基座以能夠旋轉的方式連接，通過所述第三鏈結部件的旋轉，使配置在所述開口部的所述第一方向上的第一端部側的所述第一遮蔽部件與配置在所述開口部的所述第一方向上的第二端部側的所述第一遮蔽部件彼此向相反方向移動。 根據第十方式，能夠使兩端部的第一遮蔽部件同步地移動。並且，如果在一端側的第一遮蔽部件形成向另一端側延伸的延長部，而在另一端側使各第一遮蔽部件與第三鏈結件卡合，則能夠使驅動機構彙集在另一端側，能夠實現節省空間化。例如，能夠將上端部和下端部處的第一遮蔽部件的驅動機構彙集在鍍覆液面的上方。

根據第十一方式，在第二方式的鍍覆裝置中，所述電場遮蔽體具有：基座；所述第一遮蔽部件，所述第一遮蔽部件配置在所述開口部的所述第一方向上的所述第一端部側；引導槽，該引導槽相對於所述基座固定；以及引導銷，該引導銷相對於所述第一遮蔽部件固定，通過使所述引導銷沿著所述引導槽移動而引導所述第一遮蔽部件。相對於所述基座固定的引導槽可以是在基座、或者固定於基座的部件上設置的引導槽。 根據第十一方式，由於採用使第一遮蔽部件與卡合部卡合而進行引導的結構，該卡合部相對於基座固定，因此能夠提高第一遮蔽部件的移動方向的精度，能夠精度良好地控制第一遮蔽部件的移動量。

根據第十二方式，在第二方式的鍍覆裝置中，所述電場遮蔽體具有：基座；所述第一遮蔽部件，所述第一遮蔽部件配置在所述開口部的所述第一方向上的所述第一端部側；引導銷，該引導銷相對於所述基座固定；以及引導槽，該引導槽相對於所述第一遮蔽部件固定，通過使所述引導銷沿著所述引導槽移動而引導所述第一遮蔽部件。相對於所述第一遮蔽部件固定的引導槽可以是在第一遮蔽部件、或者固定於第一遮蔽部件的部件上設置的引導槽。 根據第十二方式，由於採用使第一遮蔽部件與卡合部卡合而進行引導的結構，該卡合部相對於基座固定，因此能夠提高第一遮蔽部件的移動方向的精度，能夠精度良好地控制第一遮蔽部件的移動量。

根據第十三方式，提供鍍覆裝置，該鍍覆裝置具有：鍍覆槽；基板保持器，該基板保持器配置於所述鍍覆槽，用於保持基板；陽極，該陽極與所述基板保持器對置配置；以及至少一個電場遮蔽體，該至少一個電場遮蔽體用於遮蔽從所述陽極朝向所述基板的電場的一部分，所述電場遮蔽體具有三個以上的遮蔽部件，該三個以上的遮蔽部件各自具有用於使來自所述陽極的電場通過的開口部，至少兩個所述遮蔽部件構成為能夠相對於至少一個所述遮蔽部件移動，以對各開口部重疊形成的開口區域進行調整。 根據第十三方式，通過具有開口部的至少兩個遮蔽部件的移動來調整電場遮蔽部件的開口區域，因此能夠以簡單的結構進行開口區域的調整。

根據第十四方式，在第十三方式的鍍覆裝置中，所述電場遮蔽體具有：第一遮蔽部件，該第一遮蔽部件具有第一開口部，該第一開口部具有第一方向上的尺寸和第二方向上的尺寸；第二遮蔽部件，該第二遮蔽部件具有第二開口部；以及第三遮蔽部件，該第三遮蔽部件具有第三開口部，所述第二遮蔽部件能夠沿著所述第一方向與所述第二方向之間的第三方向相對於所述第一遮蔽部件移動，以調整所述第一開口部與所述第二開口部重疊的區域，所述第三遮蔽部件能夠沿著所述第一方向與所述第二方向之間的第四方向相對於所述第一遮蔽部件移動，以調整所述第一開口部與所述第三開口部重疊的區域。 根據第十四方式，通過使各遮蔽部件在第一方向和第二方向之間的方向上移動，能夠通過各遮蔽部件來同時調整第一方向和第二方向上的開口區域。並且，能夠以各遮蔽部件的較小的移動量而得到開口區域的較大的調整量。

根據第十五方式，在第一至第十四方式中的任意的鍍覆裝置中，所述陽極包含用於保持陽極電極的陽極保持器，且具有一體地設置於所述陽極保持器的所述電場遮蔽體。 在一體地設置於陽極保持器的電場遮蔽體的情況下，由於能夠將電場遮蔽體配置為接近陽極電極且遠離基板，因此有利於控制基板的鍍覆面整體的膜厚。並且，由於使陽極保持器與電場遮蔽體一體化，因此能夠實現節省空間化。

根據第十六方式，在第一至第十五方式中的任意的鍍覆裝置中，所述陽極包含用於保持陽極電極的陽極保持器，且具有與所述陽極保持器分開設置的所述電場遮蔽體。 在與陽極保持器分開設置的電場遮蔽體的情況下，能夠將電場遮蔽體配置為接近基板，有利於基板的外周部的膜厚的控制。並且，若設置了配置為接近基板的電場遮蔽體以及配置為接近陽極電極且遠離基板的電場遮蔽體，則能夠進一步提高基板的膜厚的控制。並且，能夠單獨地維護陽極和電場遮蔽體。

根據第十七方式，在第一至第十六方式中的任意鍍覆裝置中，所述第一遮蔽部件和所述第二遮蔽部件至少其中之一者通過來自馬達、螺線管或者氣壓缸的動力而被驅動。 根據第十七方式，能夠通過來自馬達、螺線管或者氣壓缸的動力而精度良好地進行遮蔽部件的移動的控制。

根據第十八方式，在第一至第十七方式中的任意的鍍覆裝置中，所述開口部是矩形。 根據該方式，能夠根據矩形的基板的各種縱橫比而更精密地控制電場，能夠提高鍍覆膜厚的均勻性。並且，能夠根據鍍覆圖案的配置、對陽極的供電方法而更精密地控制電場，能夠提高鍍覆膜厚的均勻性。

根據第十九方式，在第一至第十八方式中的任意的鍍覆裝置中，所述陽極包含用於保持陽極電極的陽極保持器，所述至少一個電場遮蔽體具有：第一電場遮蔽體、以及相比於所述第一電場遮蔽體配置在所述基板側的第二電場遮蔽體，所述第一電場遮蔽體與所述陽極保持器一體設置，所述第二電場遮蔽體與所述陽極保持器分開設置，且所述第二電場遮蔽體配置在所述基板保持器與所述陽極保持器的中間。 根據該方式，在配置為接近基板的第二電場遮蔽體和配置為遠離基板且接近陽極的第一電場遮蔽體中，通過獨立地控制各個開口區域的多個方向上的開口尺寸、以及通過精度良好地控制電場遮蔽體的多個方向上的開口尺寸至少其中之一手段，能夠更精細地控制鍍覆膜厚的分佈。

根據第二十方式，在第十九方式的鍍覆裝置中，所述基板保持器所保持的所述基板的面積比所述第二電場遮蔽體的開口面積大，並且所述第二電場遮蔽體的所述第二開口部的開口面積比所述第一電場遮蔽體的開口面積大。 根據第二十方式，能夠良好地調整陽極與基板之間的電場，能夠提高鍍覆膜厚的均勻性。

根據第二十一方式，在第一至第二十方式中的任意的鍍覆裝置中，該鍍覆裝置還具有控制部，所述控制部控制所述至少一個電場遮蔽體，以使所述至少一個電場遮蔽體的所述開口部的面積在鍍覆中發生變化。 根據第二十一方式，能夠根據鍍覆處理中的終端效應的強度的變化來調整基板上的電場。例如，由於在鍍覆初期，終端效應強力地作用，因此減小至少一個電場遮蔽體的開口區域而防止基板的外周部的鍍覆膜厚變厚，由於在鍍覆進行而鍍覆膜厚整體上變厚的階段，終端效應緩和，因此擴大至少一個電場遮蔽體開口區域而能夠進一步提高鍍覆膜厚的均勻性。

以上，根據幾個例子對本發明的實施方式進行了說明，但上述的發明的實施方式是為了容易理解本發明而進行的說明，並沒有限定本發明。本發明在沒有脫離其主旨的情況下能夠進行變更、改良，並且在本發明中當然包含其均等物。例如，大型基板的形狀不限於矩形，可以是正方形，也可以是除此以外的多邊形形狀、例如五邊形或六邊形。並且，當然本發明也能夠應用於對圓形形狀的基板進行處理的鍍覆裝置。並且，在能夠解決上述問題的至少一部分的範圍內、或者在實現效果的至少一部分的範圍內，能夠使申請專利範圍和說明書中記載的各組成元件進行任意的組合、或者省略。

本申請案基於在2017年9月22日提出的日本專利申請案特願2017-182570來主張優先權。通過參照將包含在2017年9月22日提出的日本專利申請案特願2017-182570的說明書、申請專利範圍、摘要在內的所有的公開內容作為整體編入本申請案。

通過參照將包含了日本特開2016-98399號公報（專利文獻1）、日本特開平6-17297號公報（專利文獻2）的說明書、申請專利範圍、摘要在內的公開內容作為整體編入本申請案。

10、10a、10b、10c‧‧‧鍍覆槽

12‧‧‧陽極單元

14’‧‧‧調整板

200‧‧‧陽極保持器

204‧‧‧開口部

300、400、500、600‧‧‧陽極遮罩

311‧‧‧左遮罩

312‧‧‧右遮罩

313‧‧‧上遮罩

314‧‧‧下遮罩

315、316‧‧‧引導部件

317、318、319、320‧‧‧齒條

326、327‧‧‧小齒輪

321、322‧‧‧馬達

416‧‧‧鏈結件

421、422‧‧‧致動器

411‧‧‧左遮罩

412‧‧‧右遮罩

413‧‧‧上遮罩

414‧‧‧下遮罩

453、454‧‧‧鏈結件

501‧‧‧基座

510、520‧‧‧遮蔽部件

530‧‧‧馬達

534‧‧‧帶輪

537‧‧‧帶

541、542‧‧‧鏈結件

612、613‧‧‧左右葉片

622、623‧‧‧上下葉片

651、652‧‧‧致動器

AN‧‧‧陽極電極

圖1是示出鍍覆裝置的一個實施方式的示意圖。 圖2是概略性地示出鍍覆槽的結構的側視圖。 圖3是第一實施方式的陽極單元的立體圖。 圖4是第一實施方式的陽極單元的將下遮罩省略而示出的立體圖。 圖5是第一實施方式的陽極單元的將上部和下遮罩省略而示出的立體圖。 圖6A是從第一實施方式的變形例的陽極單元的右上方觀察的立體圖。 圖6B是從第一實施方式的變形例的陽極單元的左上方觀察的立體圖。 圖7是第二實施方式的陽極單元的立體圖。 圖8是第二實施方式的陽極單元的將驅動部省略後的立體圖。 圖9A是第二實施方式的陽極單元的第一狀態下的前視圖。 圖9B是第二實施方式的陽極單元的第二狀態下的前視圖。 圖10A是從前面側觀察第三實施方式的陽極單元的陽極遮罩的立體圖。 圖10B是從背面側觀察第三實施方式的陽極單元的陽極遮罩的立體圖。 圖10C是第三實施方式的陽極單元的陽極遮罩的側視圖。 圖10D是沿著圖10C的A-A線的向視圖。 圖10E是沿著圖10C的B-B線的向視圖。 圖11A是第一狀態下的陽極遮罩的前視圖。 圖11B是第二狀態下的陽極遮罩的前視圖。 圖12A是第一狀態下的陽極遮罩的後視圖。 圖12B是第二狀態下的陽極遮罩的後視圖。 圖13是第四實施方式的陽極單元的立體圖。 圖14是第四實施方式的陽極單元的局部剖面立體圖。 圖15A是從第四實施方式的陽極單元的前面側觀察的分解立體圖。 圖15B是從第四實施方式的陽極單元的背面側觀察的分解立體圖。 圖16是陽極保持器的前視圖。 圖17是左右遮罩可變槓桿的前視圖、側視圖和後視圖。 圖18是左右遮罩葉片(mask blade)的前視圖和側視圖。 圖19是中間引導部件的前視圖和後視圖。 圖20是上下遮罩可變槓桿的前視圖、側視圖和後視圖。 圖21是上下遮罩葉片的前視圖和側視圖。 圖22是前面引導部件的後視圖。 圖23A是第一狀態下的左右遮罩的前視圖。 圖23B是第二狀態下的左右遮罩的前視圖。 圖24A是第一狀態下的上下遮罩的前視圖。 圖24B是第二狀態下的上下遮罩的前視圖。 圖25是第四實施方式的陽極保持器的變形例。 圖26是應用了本發明的調整板(regulation plate)的立體圖。

Claims (21)

1. 一種鍍覆裝置，其具有： 鍍覆槽； 基板保持器，該基板保持器配置於所述鍍覆槽，用於保持基板； 陽極，該陽極與所述基板保持器對置配置；以及 至少一個電場遮蔽體，該電場遮蔽體用於遮蔽從所述陽極朝向所述基板的電場的一部分， 所述電場遮蔽體具有使所述基板與所述陽極之間的電場通過的開口部，並且，所述電場遮蔽體構成為能夠獨立地調整所述開口部的第一方向上的開口尺寸以及第二方向上的開口尺寸。
2. 根據申請專利範圍第1項所述的鍍覆裝置，其中，所述電場遮蔽體具有一個或者多個第一遮蔽部件以及一個或者多個第二遮蔽部件， 所述第一遮蔽部件配置在所述開口部的所述第一方向上的第一端部和第二端部中的至少一方側， 所述第二遮蔽部件配置在所述開口部的所述第二方向上的第三端部和第四端部中的至少一方側。
3. 根據申請專利範圍第2項所述的鍍覆裝置，其中，所述第一遮蔽部件配置在所述開口部的所述第一方向上的第一端部和第二端部的雙方側，各端部處的所述第一遮蔽部件彼此向相反方向移動。
4. 根據申請專利範圍第2項所述的鍍覆裝置，其中，所述第一遮蔽部件配置在所述開口部的所述第一方向上的第一端部和第二端部的雙方側，各端部處的所述第一遮蔽部件按照相同的量進行移動。
5. 根據申請專利範圍第2項所述的鍍覆裝置，其中，所述第一遮蔽部件配置在所述開口部的所述第一方向上的第一端部和第二端部的雙方側，各端部處的所述第一遮蔽部件通過彼此獨立的驅動源而移動。
6. 根據申請專利範圍第2項至第5項中的任意一項所述的鍍覆裝置，其中，所述一個或者多個第一遮蔽部件和所述一個或者多個第二遮蔽部件中的至少一個遮蔽部件通過進給螺桿機構而移動。
7. 根據申請專利範圍第2項至第5項中的任意一項所述的鍍覆裝置，其中，所述一個或者多個第一遮蔽部件和所述一個或者多個第二遮蔽部件中的至少一個遮蔽部件通過齒條小齒輪機構而移動。
8. 根據申請專利範圍第2項所述的鍍覆裝置，其中，所述電場遮蔽體具有配置在所述開口部的所述第一方向上的所述第一端部側的所述第一遮蔽部件， 相對於所述第一遮蔽部件以能夠旋轉的方式連接的第一鏈結部件與所述第一遮蔽部件一同形成第一鏈結機構，所述第一鏈結部件的旋轉被轉換成所述第一遮蔽部件的移動。
9. 根據申請專利範圍第8項所述的鍍覆裝置，其中，所述電場遮蔽體還具有基座， 所述第一遮蔽部件的一端以能夠旋轉的方式與所述第一鏈結部件連接， 所述第一遮蔽部件的另一端以能夠旋轉的方式與第二鏈結部件連接，該第二鏈結部件以能夠旋轉的方式與所述基座連接，所述第二鏈結部件與所述第一遮蔽部件一同形成第二鏈結機構， 所述第一遮蔽部件通過所述第一鏈結部件和所述第二鏈結部件的旋轉而平移移動。
10. 根據申請專利範圍第2項所述的鍍覆裝置，其中，所述電場遮蔽體還具有基座， 在配置於所述開口部的所述第一方向上的第一端部和第二端部的雙方側的所述第一遮蔽部件各自形成有長孔， 形成於第三鏈結部件的兩個銷插入於各第一遮蔽部件的所述長孔中，該第三鏈結部件相對於所述基座以能夠旋轉的方式連接， 通過所述第三鏈結部件的旋轉，使配置在所述開口部的所述第一方向上的第一端部側的所述第一遮蔽部件與配置在所述開口部的所述第一方向上的第二端部側的所述第一遮蔽部件彼此向相反方向移動。
11. 根據申請專利範圍第2項所述的鍍覆裝置，其中，所述電場遮蔽體具有： 基座； 所述第一遮蔽部件，所述第一遮蔽部件配置在所述開口部的所述第一方向上的所述第一端部側； 引導槽，該引導槽相對於所述基座固定；以及 引導銷，該引導銷相對於所述第一遮蔽部件固定， 通過使所述引導銷沿著所述引導槽移動而引導所述第一遮蔽部件。
12. 根據申請專利範圍第2項所述的鍍覆裝置，其中，所述電場遮蔽體具有： 基座； 所述第一遮蔽部件，所述第一遮蔽部件配置在所述開口部的所述第一方向上的所述第一端部側； 引導銷，該引導銷相對於所述基座固定；以及 引導槽，該引導槽相對於所述第一遮蔽部件固定， 通過使所述引導銷沿著所述引導槽移動而引導所述第一遮蔽部件。
13. 一種鍍覆裝置，其具有： 鍍覆槽； 基板保持器，該基板保持器配置於所述鍍覆槽，用於保持基板； 陽極，該陽極與所述基板保持器對置配置；以及 所述基板保持器與所述陽極之間的至少一個電場遮蔽體， 所述電場遮蔽體具有三個以上的遮蔽部件，該三個以上的遮蔽部件各自具有用於使來自所述陽極的電場通過的開口部， 至少兩個所述遮蔽部件構成為能夠相對於至少一個所述遮蔽部件移動，以對各開口部重疊形成的開口區域進行調整。
14. 根據申請專利範圍第13項所述的鍍覆裝置，其中，所述電場遮蔽體具有： 第一遮蔽部件，該第一遮蔽部件具有第一開口部，該第一開口部具有第一方向上的尺寸和第二方向上的尺寸； 第二遮蔽部件，該第二遮蔽部件具有第二開口部；以及 第三遮蔽部件，該第三遮蔽部件具有第三開口部， 所述第二遮蔽部件能夠沿著所述第一方向與所述第二方向之間的第三方向相對於所述第一遮蔽部件移動，以調整所述第一開口部與所述第二開口部重疊的區域， 所述第三遮蔽部件能夠沿著所述第一方向與所述第二方向之間的第四方向相對於所述第一遮蔽部件移動，以調整所述第一開口部與所述第三開口部重疊的區域。
15. 根據申請專利範圍第1項至第5項、第8項至第14項中的任意一項所述的鍍覆裝置，其中，所述陽極包含用於保持陽極電極的陽極保持器，且具有一體地設置於所述陽極保持器的所述電場遮蔽體。
16. 根據申請專利範圍第1項至第5項、第8項至第14項中的任意一項所述的鍍覆裝置，其中，所述陽極包含用於保持陽極電極的陽極保持器，且具有與所述陽極保持器分開設置的所述電場遮蔽體。
17. 根據申請專利範圍第1項至第5項、第8項至第14項中的任意一項所述的鍍覆裝置，其中，所述第一遮蔽部件和所述第二遮蔽部件其中至少一個遮蔽部件通過來自馬達、螺線管或者氣壓缸的動力而被驅動。
18. 根據申請專利範圍第1項至第5項、第8項至第14項中的任意一項所述的鍍覆裝置，其中，所述開口部是矩形。
19. 根據申請專利範圍第1項至第5項、第8項至第14項中的任意一項所述的鍍覆裝置，其中，所述陽極包含用於保持陽極電極的陽極保持器， 所述至少一個電場遮蔽體具有第一電場遮蔽體、以及相比於所述第一電場遮蔽體配置在所述基板側的第二電場遮蔽體， 所述第一電場遮蔽體與所述陽極保持器一體設置，所述第二電場遮蔽體與所述陽極保持器分開設置，且所述第二電場遮蔽體配置在所述基板保持器與所述陽極保持器的中間。
20. 根據申請專利範圍第19項所述的鍍覆裝置，其中，所述基板保持器所保持的所述基板的面積比所述第二電場遮蔽體的開口面積大，並且所述第二電場遮蔽體的所述第二開口部的開口面積比所述第一電場遮蔽體的開口面積大。
21. 根據申請專利範圍第1項至第5項、第8項至第14項中的任意一項所述的鍍覆裝置，其中，還具有控制部，所述控制部控制所述至少一個電場遮蔽體，以使所述至少一個電場遮蔽體的所述開口部的面積在鍍覆中發生變化。