KR102373173B1 - 회전식 전기 도금 장치 - Google Patents

회전식 전기 도금 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR102373173B1
KR102373173B1 KR1020200102916A KR20200102916A KR102373173B1 KR 102373173 B1 KR102373173 B1 KR 102373173B1 KR 1020200102916 A KR1020200102916 A KR 1020200102916A KR 20200102916 A KR20200102916 A KR 20200102916A KR 102373173 B1 KR102373173 B1 KR 102373173B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
specimen
electroplating apparatus
bath
anode
rotary electroplating
Prior art date
Application number
KR1020200102916A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20220022076A (ko
Inventor
조두환
조홍래
Original Assignee
주식회사 포스코
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 포스코 filed Critical 주식회사 포스코
Priority to KR1020200102916A priority Critical patent/KR102373173B1/ko
Publication of KR20220022076A publication Critical patent/KR20220022076A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102373173B1 publication Critical patent/KR102373173B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
    • G01N33/20—Metals
    • G01N33/208—Coatings, e.g. platings
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D5/00—Electroplating characterised by the process; Pretreatment or after-treatment of workpieces
    • C25D5/04—Electroplating with moving electrodes
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D7/00—Electroplating characterised by the article coated
    • C25D7/06—Wires; Strips; Foils
    • C25D7/0614—Strips or foils
    • C25D7/0621—In horizontal cells
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D7/00—Electroplating characterised by the article coated
    • C25D7/06—Wires; Strips; Foils
    • C25D7/0614—Strips or foils
    • C25D7/0671—Selective plating
    • C25D7/0678—Selective plating using masks
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
    • G01N27/28—Electrolytic cell components
    • G01N27/283—Means for supporting or introducing electrochemical probes
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
    • G01N27/28—Electrolytic cell components
    • G01N27/30—Electrodes, e.g. test electrodes; Half-cells

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Food Science & Technology (AREA)
  • Electroplating Methods And Accessories (AREA)

Abstract

본 발명은, 통상적인 전기도금 실험과 덴드라이트성 모사 도금실험이 가능한 회전식 전기 도금 장치를 제공하기 위한 것으로, 본 발명의 일 실시예에 따른 회전식 전기 도금 장치는 도금 용액이 수납된 중탕조, 상기 중탕조에 담긴 시편에 연결된 음극, 상기 중탕조에 담기고 상기 시편에 수직하게 배치되는 양극, 상기 음극에 연결되어 상기 시편을 회전시키는 회전부, 상기 음극 및 상기 양극에 각각 전류를 공급하는 전류 공급부를 포함할 수 있다.

Description

회전식 전기 도금 장치{ROTARY ELECTROPLATING APPARATUS}
본 발명은 회전식 전기 도금 장치에 관한 것이다.
종래에 사용되는 전기 도금 장치는 양극과 금속 시편을 음극에 연결하여 서로 마주보게 하여 전기 도금을 실시하는 방법으로서, 도 1에 도시된 바와 같은 수평형 연속 전기도금 라인에서 발생하는 에지부 덴드라이트성 도금현상을 모사할 수 없는 문제점이 있다.
대한민국 공개특허공보 제10-2019-0076279호
본 발명의 일 실시예에 따르면, 통상적인 전기도금 실험과 덴드라이트성 모사 도금실험이 가능한 회전식 전기 도금 장치가 제공된다.
상술한 본 발명의 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 일 실시예에 따른 회전식 전기 도금 장치는 도금 용액이 수납된 중탕조, 상기 중탕조에 담긴 시편에 연결된 음극, 상기 중탕조에 담기고 상기 시편에 수직하게 배치되는 양극, 상기 음극에 연결되어 상기 시편을 회전시키는 회전부, 상기 음극 및 상기 양극에 각각 전류를 공급하는 전류 공급부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 통상적인 전기도금 시편 제조와 강판의 도금 시 에지부에 발생하는 덴드라이트성 도금현상을 모사할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 덴드라이트성 도금결정에 대한 광학현미경 사진이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 회전식 전기 도금 장치의 개략적인 구성도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 회전식 전기 도금 장치에서 시편의 에지부 전류 집중을 나타내는 도면이다.
도 4의 (a) 및 (b)는 본 발명의 일 실시예에 따른 회전식 전기 도금 장치의 양극의 실시예들을 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 회전식 전기 도금 장치의 개략적인 구성도이다.
도 6은 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 회전식 전기 도금 장치에서 마스크의 개략적인 구성도이다.
도 7은 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 회전식 전기 도금 장치에서 슬릿이 있는 마스크의 전류 흐름도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 회전식 전기 도금 장치에 의해 아연도금 시 발생한 덴드라이트성 도금을 나타내는 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있도록 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 회전식 전기 도금 장치의 개략적인 구성도이다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 회전식 전기 도금 장치(100)는 중탕조(110), 양극(120), 음극(130), 회전부(140) 및 전류 공급부(150)를 포함할 수 있다.
중탕조(110)는 내부에 도금 용액이 담겨 있고, 중탕조(110)의 벽 내부에는 실리콘 오일(111)이 주입되어 있으며, 실리콘 오일(111)을 가열하여 도금 용액을 중탕하는 가열부(112)가 배치될 수 있다. 중탕조(110)는 스테인리스 재질 혹은 아크릴 고분자 재질로 구성될 수 있다.
예를 들어, 실리콘 오일(111)은 200℃, 도금 용액은 150℃까지 승온이 가능할 수 있고, 가열부(112)는 승온 속도가 50℃/min으로 실리콘 오일(111)을 가열할 수 있다.
중탕조(110)의 도금 용액 내에는 시편이 잠겨있을 수 있다. 상기 시편은 디스크 형태의 강판일 수 있다.
양극(120)은 중탕조(110)내에서 상기 시편에 수직하게 배치될 수 있다. 양극(120)의 일부는 중탕조(110) 내의 도금 용액에 잠겨있을 수 있다. 양극(120)은 불용성일 수있으며, 이산화이리듐(IrO2) 또는 이산화 탄탈럼(TaO2)을 갖는 금속 산화물이 40 내지 100g/m2 코팅 처리된 티타늄(Ti) 금속판으로 구성될 수 있다.
음극(130)은 상기 시편의 중심에 연결될 수 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 회전식 전기 도금 장치에서 시편의 에지부 전류 집중을 나타내는 도면이다.
도 2와 함께 도 3을 참조하면, 상기 시편의 에지부에 전류가 집중되도록 양극(120)과 음극(130)에 연결된 상기 시편을 수직으로 배치하여 상기 시편의 에지부에 도금이 일어날 수 있다.
도 4의 (a) 및 (b)는 본 발명의 일 실시예에 따른 회전식 전기 도금 장치의 양극의 실시예들을 나타내는 도면이다.
도 2와 함께, 도 4의 (a) 및 (b)를 참조하면, 양극(120)은 중탕조(110)의 내부 둘레를 따라 사각형(도 4의 (a)) 또는 원통형(도 4의 (b))으로 배치될 수 있다.
사각형의 양극(120)의 경우 전극의 크기는 티타늄 금속 판넬은 가로100x세로150x두께2.0㎜T, 원통형의 경우 Ø124x높이150x두께4.0㎜T 크기로 제작하고, 이산화 이리듐(IrO2) 또는 이산화 탄탈럼(TaO2)을 갖는 금속 산화물의 코팅량은 사각형의 일면에 처리하고, 원통형은 안쪽 면에 각각 40 내지 100g/m2 으로 처리하여 제작될 수 있다.
음극(130)은 내산성(耐酸性)이 우수한 전도성 금속 재질에 표면을 고분자 수지로 피복하여 구성될 수 있다.
회전부(140)는 임펠러(141) 및 모터(142)를 포함할 수 있으며, 임펠러(Impeller)(141)는 상기 시편의 하부에 배치되고 상기 시편의 중심에 연결될 수 있다. 임펠러(141)는 0 내지 1,800rpm 으로 속도 조절이 가능하도록 하였고, 절연 및 내부식성의 플라스틱 재질로 구성될 수 있다.
음극(130)은 상기 시편의 중심에 연결되어 상기 모터(142)의 회전축에 연결될 수 있다. 음극(130)과 상기 시편의 중심 간에는 시편의 전류를 공급하기 위해 슬립링(미도시)이 배치될 수 있다. 상기 모터(142)는 기어 등의 구성이 더하여 음극(130)을 상하로 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 시편 및 임펠러(141)의 설치 또는 전기 도금시 도금 용액에 상기 시편과 음극(130)이 잠기도록 상하 조절할 수 있다.
전류 공급부(150)은 양극(120) 및 음극(130)에 전류를 공급할 수 있으며, 양극(120) 및 음극(130)의 전류 공급 방식이 다를 수 있므로 각각 전류를 공급할 수 있다.
도 5는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 회전식 전기 도금 장치의 개략적인 구성도이다.
도 5를 참조하면, 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 회전식 전기 도금 장치(200)는 마스크(260)를 더 포함할 수 있다.
이외의 중탕조(210)의 실리콘 오일(211) 및 가열부(212), 양극(220), 음극(230), 회전부(240)의 임펠러(241) 및 모터(242), 전류 공급부(250)은 도 2에서의 구성과 동일하므로 상세한 설명은 생략하도록 한다.
마스크(260)는 슬릿(261)을 포함할 수 있다.
도 6은 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 회전식 전기 도금 장치에서 마스크의 개략적인 구성도이고, 도 7은 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 회전식 전기 도금 장치에서 슬릿이 있는 마스크의 전류 흐름도이며, 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 회전식 전기 도금 장치에 의해 아연도금 시 발생한 덴드라이트성 도금을 나타내는 도면이다.
도 5와 함께, 도 6 내지 도 8을 참조하면, 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 회전식 전기 도금 장치(200)는 덴드라이트성 도금현상을 제정하기 위해 즉 양극(220)에서 시편으로의 전류집중을 막기 위해 마스크(260)를 포함할 수 있다.
마스크(260)의 재질은 양극(220)으로부터 발생하는 전류를 막을 수 있는 비 전도성 재료인 0.5 내지 3mm 두께의 PE, PP 혹은 폴리카보네이트(Polycarbonate) 필름일 수 있다. 양극(220)으로부터 불필요한 전류에 의한 도금을 막기 위해, 상기 시편과 상기 양극(220)의 일부가 서로 마주볼 수 있는, 상기 시편의 가장 근거리 부분의 마스크(260)에 슬릿(261) 형태로 절단하여 양극의 전류를 제어할 수 있다.
슬릿(261)의 크기를 0, 2, 5, 10mm 로 하였을 때 시편에 발생하는 덴드라이트 도금의 결정의 수와 양으로 효과를 하기의 실시예로 판단하였다.
이하, 실시예를 통하여 본 발명에 대하여 보다 상세하게 설명한다. 다만, 하기 실시예로 본 발명에 대하여 한정하는 것은 아니다.
실시예
본 발명에서 사용된 전기아연도금 강판용 도금용액은 [Zn] 45g/L, pH 1.5 인 황산계 용액을 사용하였다. 도금 온도는 40 내지 60°C, 전류는 10A (전류밀도 80A/dm2) 내지 20A (전류밀도 160A/dm2) 조건에서 실시하였다. 양극으로부터 전류 집중에 의한 Dendrite성 도금 발생에 미치는 영향인자로서 시편의 에지 가공방법, 전류밀도, 도금액 온도, 유속, 전해질 농도 및 pH 의 효과에 대한 실험을 수행하였다.
본 발명에 사용된 시편은 에지부 가공방법에 따른 덴드라이트성 도금성 모사실험을 위해 3가지 방법으로 시편 디스크를 제작하였다.
첫째, 쉐어링 (Shearing) 가공 시 에지면은 거칠고 버(Burr) 발생이 많았다.
둘째, 쉐어링 및 연마 처리 - 쉐어링 가공부의 버를 제거하기 위해 G80 사포로 폴리싱 (Polishing) (2500rpm, 2min.) 처리를 하여 라운드(Round) 형상을 만들었다.
셋째, 레이저(Laser) 가공 - 레이저가공 (주, 한광레이저, 0.45T_Model4020/Power 4.0kW; 0.8T_Model3015/Power4.4)으로 단면을 절단하였다.
시편의 에지부 덴드라이트성 도금현상을 제어하기 위해 도 6과 같은 원통형의 마스크를 제작하였다. 이때 도 7과 같이 시편의 에지부에 대한 전류 집중의 크기를 제어하기 위해 마스크의 슬릿의 간격을 0, 2, 5, 10mm 달리하여 평가하였다.
상기 실시예에 대한 도금조건과 덴드라이트 도금에 대한 상대평가 결과를 하기의 표에 나타내었다. 도 8에 도시된 바와 같이 덴드라이트 도금의 결정크기와 양을 육안으로 비교하여 수치로 (크고-많음) 5 - 4 - 3 - 2 - 1 (작고-적음) 상대적으로 표시하였다.
[표]
Figure 112020086127000-pat00001
상술한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 통상적인 전기도금 시편 제조와 강판의 도금 시 에지부에 발생하는 덴드라이트성 도금현상을 모사할 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고 후술하는 특허청구범위에 의해 한정되며, 본 발명의 구성은 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 그 구성을 다양하게 변경 및 개조할 수 있다는 것을 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 쉽게 알 수 있다.
100, 200: 회전식 도금 장치
110, 210: 중탕조
111, 211: 실리콘 오일
112, 212: 가열부
120, 220: 양극
130, 230: 음극
140, 240: 회전부
141, 241: 임펠러
142, 242: 모터
150, 250: 전류 공급부
260: 마스크
261: 슬릿

Claims (9)

  1. 도금 용액이 수납된 중탕조;
    상기 중탕조에 담긴 시편에 연결된 음극;
    상기 중탕조에 담기고 상기 시편에 수직하게 배치되는 양극;
    상기 음극에 연결되어 상기 시편을 회전시키는 회전부; 및
    상기 음극 및 상기 양극에 각각 전류를 공급하는 전류 공급부를 포함하고,
    상기 양극은 상기 시편의 에지부와 마주보도록 배치되는 회전식 전기 도금 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 양극은 상기 중탕조 내부의 둘레를 따라 원형 또는 사각형으로 배치되는 회전식 전기 도금 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 양극은 이산화이리듐(IrO2) 또는 이산화 탄탈럼(TaO2)을 갖는 금속 산화물이 40 내지 100g/m2 코팅 처리된 티타늄(Ti) 금속판으로 구성된 회전식 전기 도금 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 회전부는
    상기 시편의 중심에 연결된 상기 음극을 회전시키는 모터; 및
    상기 시편의 하부에 배치되고 상기 시편의 중심에 연결된 임펠러
    를 포함하는 회전식 전기 도금 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 음극은 표면이 비전도성 고분자 필름으로 피복되는 전도성 로드(rod)로 구성된 회전식 전기 도금 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 회전부는 상기 시편 교체를 위해 상기 음극을 상하로 이동시키는 회전식 전기 도금 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 중탕조의 벽 내부에는 실리콘 오일이 주입되어 있고,
    상기 벽 내부에는 상기 실리콘 오일을 가열하여 상기 도금 용액을 중탕하는 가열부가 배치되는 회전식 전기 도금 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 중탕조는 스테인리스(stainless) 또는 아크릴 고분자 재질로 구성되는 회전식 전기 도금 장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 시편과 상기 양극 사이에 배치되는 마스크를 더 포함하고,
    상기 마스크는 상기 시편의 에지부와 대향하는 상기 양극의 일부가 마주보도록 하는 슬릿(slit)을 갖는 회전식 전기 도금 장치.
KR1020200102916A 2020-08-17 2020-08-17 회전식 전기 도금 장치 KR102373173B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200102916A KR102373173B1 (ko) 2020-08-17 2020-08-17 회전식 전기 도금 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200102916A KR102373173B1 (ko) 2020-08-17 2020-08-17 회전식 전기 도금 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20220022076A KR20220022076A (ko) 2022-02-24
KR102373173B1 true KR102373173B1 (ko) 2022-03-10

Family

ID=80474618

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020200102916A KR102373173B1 (ko) 2020-08-17 2020-08-17 회전식 전기 도금 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102373173B1 (ko)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100426159B1 (ko) * 1995-06-17 2004-06-09 아토테크 도이칠란드 게엠베하 금속막의전착방법및이를위한장치
KR101272586B1 (ko) * 2012-10-23 2013-06-10 (주)에코앤파워 전기분해를 이용한 폐수 중 유가금속 회수 장치 및 이를 이용한 회수시스템

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20040088892A (ko) * 2003-04-14 2004-10-20 이규한 전기도금장치
KR20110041054A (ko) * 2009-10-15 2011-04-21 주식회사 케이피엠테크 중탕가열 구조를 갖는 기판도금장치
KR20140141979A (ko) * 2013-06-03 2014-12-11 주식회사 바이오알파 스텐트의 표면 가공 장치
JP7014553B2 (ja) * 2017-09-22 2022-02-01 株式会社荏原製作所 めっき装置
KR102065220B1 (ko) 2017-12-22 2020-01-10 주식회사 포스코 에지 마스크를 구비한 전기 도금 장치

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100426159B1 (ko) * 1995-06-17 2004-06-09 아토테크 도이칠란드 게엠베하 금속막의전착방법및이를위한장치
KR101272586B1 (ko) * 2012-10-23 2013-06-10 (주)에코앤파워 전기분해를 이용한 폐수 중 유가금속 회수 장치 및 이를 이용한 회수시스템

Also Published As

Publication number Publication date
KR20220022076A (ko) 2022-02-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4647345A (en) Metallurgical structure control of electrodeposits using ultrasonic agitation
CN105256368A (zh) 一种不锈钢抛光方法
KR102373173B1 (ko) 회전식 전기 도금 장치
JP2011517629A (ja) グラビア印刷シリンダの加工方法および加工装置
JP2023062067A (ja) 化学および電解の少なくとも一方の表面処理のためのシステム
Saravanan et al. A study on electrochemical micromachining of super duplex stainless steel for biomedical filters
JPWO2018134970A1 (ja) アルミニウム又はアルミ合金の着色処理方法
Clerc et al. On the theory of anodic levelling: model experiments with triangular nickel profiles in chloride solution
US20210108327A1 (en) Method of forming a protective oxide ceramic coating on the surface of valve metals and alloys
JP4579306B2 (ja) 円形めっき槽
JPS59190383A (ja) 高速部分めつき方法およびその装置
AU2020256911A1 (en) Electropolishing method
KR101560977B1 (ko) 도금조 내의 발생 가스를 제거하는 도금장치 및 도금방법
WO2021153647A1 (ja) 金属箔、その製造方法、およびそれに用いる電着ドラムの加工方法
RU2579717C2 (ru) Способ удаления покрытия с обрабатываемых деталей
US2871174A (en) Method for electropolishing semiconducting material
US6361673B1 (en) Electroforming cell
JP2019173164A (ja) アルミニウム箔の製造方法
RU2661135C1 (ru) Способ обработки деталей из сплавов металлов вентильной группы со сквозными отверстиями электрохимическим оксидированием
JP5602563B2 (ja) エッチング方法およびエッチング装置
CN114990687B (zh) 一种电化学抛光装置及其使用方法、经导管介入泵的工件
JPWO2014185159A1 (ja) 基板めっき装置
KR102065221B1 (ko) 합금 포일 제조장치 및 이를 이용하여 제조된 합금포일
US2153188A (en) Cathode support for electrolytic units
JP2006274363A (ja) 金属繊維製造用陰極及び金属繊維製造装置

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant